JP3215473U - プローブシートをテストするプローブ構造改良 - Google Patents

Abstract

【課題】プローブシートをテストするプローブ構造改良を提供する。【解決手段】プローブシート１をテストするプローブ構造改良は、プローブシートの収容空間１０の二側がそれぞれ複数の第１貫通孔１１１および複数の第２貫通孔１２１を設け、且つ複数の第１貫通孔および複数の第２貫通孔中に複数のプローブ２を挿入し、各プローブの一端は、第１貫通孔の外周縁に係止させる係止部２１を設け、プローブの係止部に相対する他端に複数の第２貫通孔箇所を通過させるドッキング部２２を設け、係止部により第１貫通孔外周縁に係止し、係止部を利用して複数のプローブのドッキング部の第２貫通孔外部に露出する長さを有効に制御することができ、複数のプローブの取り付け時間を節約し、且つ同時に複数のプローブの送入の精度を高め、これにより、複数のプローブに外部の被検体と確実に電気接触を形成させることができ、検出作業の精度を向上する効果を達成する。【選択図】図１

Description

本考案は、プローブシートをテストするプローブ構造改良に関し、特に、プローブの一端にプローブシートの第１貫通孔の外周縁に係止させる係止部を設け、係止部が複数のプローブのドッキング部の第２貫通孔外部に露出する長さを有効に制御することによって、複数のプローブ取り付け時間を節減し、複数のプローブ挿入の精度を向上し、これにより、検出作業時の精度を向上する。

現在の印刷回路板（ＰＣＢ）、ウエハ、液晶表示器（ＬＣＤ）または集積回路チップ（ＩＣ）等の電子素子のパッケージング前に、通常検出機台の複数のプローブ（Ｐｒｏｂｅ）を利用して電気的パフォーマンスまたは信頼性等の性能検測作業を行い、電子素子に欠陥があるかどうかを確認し、事前に不良品を篩にかけ、後続のプロセスの製造歩留まりを向上でき、これにより、材料、時間の浪費を回避し、生産コストを低減する効果を有することができる。

また、図５を参照し、それは、従来技術の側面断面図であり、図から明確に分かるように、該検出装置Ａは、回路板Ａ１の一側にプローブシートＢを設け、プローブシートＢの二側表面は、それぞれ複数の上通孔Ｂ１および複数の下通孔Ｂ２を貫通設置し、且つ複数の上通孔Ｂ１および複数の下通孔Ｂ２は、複数のプローブＣを設け、複数のプローブＣを利用して予め設ける被検体（例えば、印刷回路板、ウエハ、液晶表示器または集積回路チップ等の電子素子）に対して検出作業を行い、しかしながら、複数のプローブＣは、一本一本プローブシートＢに挿入され、従って、複数のプローブＣがプローブシートＢに挿入する時、誤差を生じ、複数のプローブＣの複数の下通孔Ｂ２における挿入長さを精確に制御することができず、挿入する長さを更に調整する必要があり、そうしてようやく複数のプローブＣに検出作業を精確に行わせ、多くの時間、および組み立て上のコストを浪費する。

従って、上記従来の欠陥及び不便を如何に解決するかは、関連業者が改善を欲する方向となっている。

特開2007-285802号公報

故に、考案者は、上記欠陥に鑑み、関連資料を収集し、多方面の評価、考量を経て、当業界に長年従事した経験により、絶えず試作及び修正を経て、このようなプローブシートをテストするプローブ構造改良を設計している。

本考案の目的は、該プローブシートの収容空間の二側がそれぞれ複数の第１貫通孔および複数の第２貫通孔を設け、且つ複数の第１貫通孔および複数の第２貫通孔中に複数のプローブを挿入し、各プローブの一端は、第１貫通孔の外周縁に係止させる係止部を設け、プローブの係止部に相対する他端に複数の第２貫通孔箇所を通過させるドッキング部を設け、係止部により第１貫通孔外周縁に係止し、係止部を利用して複数のプローブのドッキング部の第２貫通孔外部に露出する長さを有効に制御することができ、複数のプローブの取り付け時間を節約し、且つ同時に複数のプローブの送入の精度を高め、これにより、複数のプローブに外部の被検体と確実に電気接触を形成させることができ、検出作業の精度を向上する目的を達成することにある。

本考案のもう１つの目的は、該プローブは、外径が比較的大きな係止部によって確かに検出装置の回路板底面の接点と電気接触を形成し、電気接触の安定性を向上する目的を達成することにある。

本考案のもう１つの目的は、該プローブシート内の少なくとも一つのパッドに複数のプローブを貫通設置し、複数のプローブの検出作業時に少なくとも１つのパッドにより安定性を増加し、複数のプローブの検出作業中に発生する揺動を低減し、複数のプローブに外部の被検体表面の複数の検出点と精確に電気接触を形成させ、これによりテストの精度を維持する目的を達成することにある。

本考案のもう１つの目的は、該プローブシートが、少なくとも１つのパッドを取り出す方式によって、複数のプローブのドッキング部の第２基材外部に露出する長さを維持し、複数のプローブの使用寿命を向上させ、挿入量を調整し、材料コスト節減の目的を達成することにある。

本考案のプローブシートをテストするプローブ構造改良は、プローブシート及び複数のプローブを含み、該プローブシート内部に収容空間を形成し、プローブシートの二側表面にそれぞれ収容空間内に連通する複数の第１貫通孔および複数の第２貫通孔を設け、該複数のプローブは、複数の第１貫通孔および複数の第２貫通孔中に挿入設置され、且つ各プローブの一端に第１貫通孔外周縁箇所に係止させ且つ予め設ける検出設備と電気接触を形成する係止部を設け、プローブの係止部に相対する他端は、複数の第２貫通孔を貫通させ、予め設ける被検体と電気接触を形成するドッキング部を設ける。

本考案のプローブシートをテストするプローブ構造改良は、プローブシートの収容空間の二側がそれぞれ複数の第１貫通孔および複数の第２貫通孔を設け、且つ複数の第１貫通孔および複数の第２貫通孔中に複数のプローブを挿入し、各プローブの一端は、第１貫通孔の外周縁に係止させる係止部を設け、プローブの係止部に相対する他端に複数の第２貫通孔箇所を通過させるドッキング部を設け、係止部により第１貫通孔外周縁に係止し、係止部を利用して複数のプローブのドッキング部の第２貫通孔外部に露出する長さを有効に制御することができ、複数のプローブの取り付け時間を節約し、且つ同時に複数のプローブの送入の精度を高め、これにより、複数のプローブに外部の被検体と確実に電気接触を形成させることができ、検出作業の精度を向上する効果を達成する。

本考案の側面断面図である。 本考案の図１のａ部分の拡大図である。 本考案のパッド取り出し時の側面断面図である。 本考案のパッド取り出し後の側面断面図である。 従来の側面断面図である。

上記目的及び効果を達成する為、本考案が採用する技術手段及びその構造について分かり易くする為、図面を合わせ、本考案の好適実施例を挙げ、その特徴及び機能を詳細に説明する。

図１、図２、図３、図４を参照し、それは、本考案の側面断面図、図１のａ部分の拡大図、パッドの取り出し時の側面断面図、パッド取り出し後の側面断面図であり、図から明確に分かるように、本考案は、プローブシート１および複数のプローブ２を含む。

該プローブシート１は、第１基材１１および第２基材１２を含み、第１基材１１および第２基材の間に収容空間１０を形成し、且つ第１基材１１及び第２基材１２表面にそれぞれ複数の第１貫通孔１１１及び複数の第２貫通孔１２１を設け、第１基材１１および第２基材１２の間に少なくとも１つの絶縁材質で形成され、収容空間１０中に位置するパッド１３を結合し、且つパッド１３上の複数の第１貫通孔１１１に位置合わせされる箇所に複数の通孔１３１を設け、第１基材１１外表面に絶縁材質で形成されるチップ体１４を設け、チップ体１４上の複数の第１貫通孔１１１に位置合わせされる個所に収容孔１３１を設け、且つ収容孔１３１の孔径は、第１貫通孔１１１の孔径よりも大きい。

該プローブ２は、導電材質で形成され、プローブ２の一端に係止部２１を設け、且つ係止部２１にＴ字型のストッパ２１１を設け、プローブ２の係止部２１に相対する他端にドッキング部２２を設け、且つプローブ２の係止部２１およびドッキング部２２の間に位置する表面にバリア層２３を設ける。

上記プローブ２の一端は、電鋳または電気めっき等の成形方式によって係止部２１に形成できるストッパ２１１であるが、プローブ２が係止部２１に成形される方式は、多く、その他の本考案の開示する技術精神を離脱せずに完成される等価の変化及び修飾変更は、いずれも本考案が含む保護範囲に含まれるべきである。

また、上記プローブ２のバリア層２３は、電磁信号を阻隔させることができる材質、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（Ｐｏｌｙｔｅｔｒａｆｌｕｏｒｏｅｔｈｅｎｅ）、俗称テフロンで形成される。

本考案の組み立て時、先ず複数のプローブ２のドッキング部２２をプローブシート１の第１基材１１の複数の第１貫通孔１１１中に挿入し、複数のプローブ２を持続的にプローブシート１の第２基材１２方向へ挿入し、且つ少なくとも１つのパッド１３の通孔１３１を介して、第２基材１２の第２貫通孔１２１から出て、この時、該プローブ２の係止部２１は、第１基材１１の第１貫通孔１１１外周縁に係止して位置決めし、且つ係止部２１のストッパ２１１は、チップ体１４の収容孔１４１に位置して限位し、これにより本考案の組み立てを完成する。

本考案の実際の使用時、半導体ウエハ、印刷回路板（ＰＣＢ）または液晶表示器に応用でき、且つ複数のプローブ２は、係止部２１によって検出装置３の回路板３１底面の複数の接点３１１と電気接続を形成でき、該回路板３１は、複数のはんだボール３１２を利用して検出回路板３２と電気接続を形成でき、且つ検出回路板３２は、周囲上面の複数の金属接点３２１によって外部検出計器（図示せず）と電気接続を形成し、外部検出計器の起動時、複数のプローブ２のドッキング部２２を外部被検体（例えば、ウエハ、印刷回路板または液晶表示器等、図示せず）表面の複数の検出点に接触させ、電気接触を形成させ、検出作業を行い、複数のプローブ２は、電気的テスト信号および電源信号を得て、検出装置３の回路板３１に伝送し、検出回路板３２によって外部検出計器に伝送し、外部被検体に欠陥を有するか否かを確認する。

複数のプローブ２が長時間検出作業を行い、ドッキング部２２が摩耗して短縮される時、プローブシート１の第２基材１２を取り外し、少なくとも１つのパッド１３を外向きに取り出し、第２基材１２を戻し、複数のプローブ２のドッキング部２２の第２基材１２外部に露出する長さを増加させることができ、複数のプローブ２に再度検出作業を行わせることができる。

本考案は、以下の利点を有することができる。
（一）該複数のプローブ２がプローブシート１に結合する時、その各プローブ２は、外径が比較的大きな係止部２１によって第１基材１１の第１貫通孔１１１外周縁に係止でき、係止部２１を利用して複数のプローブ２のドッキング部２２の第２基材１２外部に露出する長さを有効に制御でき、複数のプローブ２の取り付け時間を節減し、且つ同時に複数のプローブ２の挿入の精度を高め、これにより、複数のプローブ２を外部の被検体と確実に電気的接触を形成させ、検出作業の精度の効果を達成する。
（二）該プローブ２の係止部２１の外径が大きく、従って、検出装置３の回路板３１底面の接点３１１と確かに電気接触を形成でき、電気接触の安定性を向上する効果を達成する。
（三）該複数のプローブ２は、プローブシート１の少なくとも１つのパッド１３に貫通設置され、従って、複数のプローブ２の検出作業時、少なくとも１つのパッド１３によって安定性を高め、複数のプローブ２の検出作業に生じる揺動を低減し、複数のプローブ２に外部被検体の複数の検出点と精確に電気接触を形成させ、これにより試験の精度を維持する。
（四）該プローブシート１は、少なくとも１つのパッド１３を取り出すことによって複数のプローブ２のドッキング部２２の第２基材１２外部に露出する長さを維持し、複数のプローブ２の使用寿命を高め、挿入量を調整し、材料コストを節減する効果を達成する。
（五）該複数のプローブ２表面にバリア層２３を設け、そのバリア層２３は、複数のプローブ２の伝送の過程で発生する電磁波、静電またはノイズ等を有効に防止でき、構成素子間の相互干渉の発生を防止し、これにより、信号伝送全体の安定性と信頼性を確保し、安定使用および損壊し難い効果を達成する。

なお、本考案では好ましい実施例を前述の通り開示したが、これらは決して本考案に限定するものではなく、当該技術を熟知する者なら誰でも、本考案の精神と領域を脱しない均等の範囲内で各種の変動や潤色を加えることができることは勿論である。

上記のように、本考案のプローブシートをテストするプローブ構造改良の使用時、確かにその効果および目的を達成でき、故に本考案は、実用性に優れた考案であり、実用新案の出願要件に符合する。

１ プローブシート
１０ 収容空間
１１ 第１基材
１１１ 第１貫通孔
１２ 第２基材
１２１ 第２貫通孔
１３ パッド
１３１ 通孔
１４ チップ体
１４１ 収容孔
２ プローブ
２１ 係止部
２１１ ストッパ
２２ ドッキング部
２３ バリア層
３ 検出装置
３１ 回路板
３１１ 接点
３１２ はんだボール
３２ 検出回路板
３２１ 金属接点
Ａ 検出装置
Ａ１ 回路板
Ｂ プローブシート
Ｂ１ 上通孔
Ｂ２ 下通孔
Ｃ プローブ

Claims (3)

1. プローブシート及び複数のプローブを含み、
   該プローブシート内部に収容空間を形成し、プローブシートの二側表面にそれぞれ収容空間内に連通する複数の第１貫通孔および複数の第２貫通孔を設け、
   該複数のプローブは、複数の第１貫通孔および複数の第２貫通孔中に挿入設置され、且つ各プローブの一端に第１貫通孔外周縁箇所に係止させ且つ予め設ける検出設備と電気接触を形成する係止部を設け、プローブの係止部に相対する他端は、複数の第２貫通孔を貫通させ、予め設ける被検体と電気接触を形成するドッキング部を設ける、プローブシートをテストするプローブ構造改良。
2. 前記プローブシートは、第１基材および第２基材を含み、第１基材と第２基材の間に収容空間を形成し、且つ第１基材と第２基材の表面上にそれぞれ複数の第１貫通孔および複数の第２貫通孔を設け、第１基材および第２基材の間にすくなくとも１つの絶縁材質で形成され、収容空間中に位置するパッドを結合し、且つパッド上の複数の第１貫通孔に位置合わせられる箇所に複数の通孔を設け、第１基材外表面上に絶縁材質で形成されるチップ体を設け、チップ体の複数の第１貫通孔に位置合わせられる箇所に孔径が第１貫通孔の孔径よりも大きく且つ係止部を挿入させる収容孔を設ける、請求項１に記載のプローブシートをテストするプローブ構造改良。
3. 前記プローブの係止部は、電鋳または電気めっきの方式で形成されるＴ字型係止ブロックを有し、且つプローブは、係止部とドッキング部の間の表面上に電磁信号を阻隔させるバリア層を設ける、請求項１に記載のプローブシートをテストするプローブ構造改良。