JP3214408B2 - セラミックグリーンシートの製造方法および製造装置 - Google Patents
セラミックグリーンシートの製造方法および製造装置Info
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- B28B1/26—Producing shaped prefabricated articles from the material by slip-casting, i.e. by casting a suspension or dispersion of the material in a liquid-absorbent or porous mould, the liquid being allowed to soak into or pass through the walls of the mould; Moulds therefor ; specially for manufacturing articles starting from a ceramic slip; Moulds therefor
- B28B1/267—Producing shaped prefabricated articles from the material by slip-casting, i.e. by casting a suspension or dispersion of the material in a liquid-absorbent or porous mould, the liquid being allowed to soak into or pass through the walls of the mould; Moulds therefor ; specially for manufacturing articles starting from a ceramic slip; Moulds therefor in moulds or on moulding surfaces supported by, or formed in or by, conveyors
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- B28B17/00—Details of, or accessories for, apparatus for shaping the material; Auxiliary measures taken in connection with such shaping
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- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0245—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to a moving work of indefinite length, e.g. to a moving web
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、セラミックグリ
ーンシートの製造方法および製造装置に関するもので、
特に、キャリアフィルムによって裏打ちされた状態でセ
ラミックグリーンシートを製造するための方法および装
置に関するものである。
ーンシートの製造方法および製造装置に関するもので、
特に、キャリアフィルムによって裏打ちされた状態でセ
ラミックグリーンシートを製造するための方法および装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】たとえば積層セラミックコンデンサのよ
うな積層セラミック電子部品を製造する場合、セラミッ
クグリーンシートを積層することが行なわれるが、積層
セラミック電子部品の小型化あるいは薄型化を図りなが
ら、高性能化を図るためには、セラミックグリーンシー
トを薄層化することが有効である。
うな積層セラミック電子部品を製造する場合、セラミッ
クグリーンシートを積層することが行なわれるが、積層
セラミック電子部品の小型化あるいは薄型化を図りなが
ら、高性能化を図るためには、セラミックグリーンシー
トを薄層化することが有効である。
【０００３】他方、セラミックグリーンシートは機械的
に軟弱である。したがって、上述のように薄層化された
場合、その機械的強度を補うため、可撓性のキャリアフ
ィルムが用意され、このキャリアフィルム上にセラミッ
クスラリーを付与してセラミックグリーンシートを成形
することが行なわれ、さらに、このようにキャリアフィ
ルムによって裏打ちした状態のまま、セラミックグリー
ンシートを以後のいくつかの工程において取り扱うこと
も行なわれている。
に軟弱である。したがって、上述のように薄層化された
場合、その機械的強度を補うため、可撓性のキャリアフ
ィルムが用意され、このキャリアフィルム上にセラミッ
クスラリーを付与してセラミックグリーンシートを成形
することが行なわれ、さらに、このようにキャリアフィ
ルムによって裏打ちした状態のまま、セラミックグリー
ンシートを以後のいくつかの工程において取り扱うこと
も行なわれている。
【０００４】従来、上述のように、キャリアフィルム上
でセラミックグリーンシートを成形するため、たとえ
ば、ドクターブレード法が用いられている。
でセラミックグリーンシートを成形するため、たとえ
ば、ドクターブレード法が用いられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たドクターブレード法では、得られたセラミックグリー
ンシートの厚みのばらつきが比較的大きく生じやすいと
いう問題がある。なぜなら、得られたセラミックグリー
ンシートの厚みは、用いられるセラミックスラリーの粘
度、比重、固形分濃度等のセラミックスラリーの物性に
よって変動するとともに、ドクターブレード部分に供給
すべきセラミックスラリーを貯留するタンク内での液面
の高さがセラミックスラリーの消費等によって変化する
ことによっても変動するからである。
たドクターブレード法では、得られたセラミックグリー
ンシートの厚みのばらつきが比較的大きく生じやすいと
いう問題がある。なぜなら、得られたセラミックグリー
ンシートの厚みは、用いられるセラミックスラリーの粘
度、比重、固形分濃度等のセラミックスラリーの物性に
よって変動するとともに、ドクターブレード部分に供給
すべきセラミックスラリーを貯留するタンク内での液面
の高さがセラミックスラリーの消費等によって変化する
ことによっても変動するからである。
【０００６】これに対して、キャリアフィルム上に粘着
剤等の塗膜を成形するための方法として、塗液（スラリ
ー）の供給を受けるもので、外部に向く開口が形成され
たスラリー室を備え、この開口の一側縁に沿ってドクタ
ーエッジが形成された、スラリーコータを用いる方法も
考えられている。この方法によれば、スラリー室にスラ
リーを供給するとともに、スラリー室の開口の周縁部に
キャリアフィルムを圧接させることによってこの開口を
閉じ、その状態で、ドクターエッジが下流側になる方向
にキャリアフィルムを開口に沿って移動させることによ
って、キャリアフィルム上にスラリーからなる塗膜を成
形することが行なわれる。
剤等の塗膜を成形するための方法として、塗液（スラリ
ー）の供給を受けるもので、外部に向く開口が形成され
たスラリー室を備え、この開口の一側縁に沿ってドクタ
ーエッジが形成された、スラリーコータを用いる方法も
考えられている。この方法によれば、スラリー室にスラ
リーを供給するとともに、スラリー室の開口の周縁部に
キャリアフィルムを圧接させることによってこの開口を
閉じ、その状態で、ドクターエッジが下流側になる方向
にキャリアフィルムを開口に沿って移動させることによ
って、キャリアフィルム上にスラリーからなる塗膜を成
形することが行なわれる。
【０００７】この方法では、スラリー室の内圧が、キャ
リアフィルム上に成形される塗膜の厚みに影響を及ぼす
要因の１つであるので、塗膜の厚みの均一化を図るため
には、このスラリー室内の圧力を一定に保つことが重要
である。そのため、スラリー室内に圧力センサを設け
て、スラリー室内の圧力を常に測定しながら、その測定
結果に基づき、スラリー室内に圧送されるスラリーの圧
力を制御して、スラリー室内の圧力を一定に保つように
することが考えられる。
リアフィルム上に成形される塗膜の厚みに影響を及ぼす
要因の１つであるので、塗膜の厚みの均一化を図るため
には、このスラリー室内の圧力を一定に保つことが重要
である。そのため、スラリー室内に圧力センサを設け
て、スラリー室内の圧力を常に測定しながら、その測定
結果に基づき、スラリー室内に圧送されるスラリーの圧
力を制御して、スラリー室内の圧力を一定に保つように
することが考えられる。
【０００８】しかしながら、上述のように、圧力センサ
の測定結果に基づいて、スラリーの圧送の圧力を制御し
ようとすると、圧力センサがスラリー室内に設けられて
いることから、圧力センサが過敏に作動するようにな
り、それゆえ、スラリー室に供給されるスラリーの圧力
変化を頻繁に生じさせ、その結果、塗膜の厚みがかえっ
て変動するといった不都合を招くことがある。
の測定結果に基づいて、スラリーの圧送の圧力を制御し
ようとすると、圧力センサがスラリー室内に設けられて
いることから、圧力センサが過敏に作動するようにな
り、それゆえ、スラリー室に供給されるスラリーの圧力
変化を頻繁に生じさせ、その結果、塗膜の厚みがかえっ
て変動するといった不都合を招くことがある。
【０００９】したがって、セラミックグリーンシートを
キャリアフィルム上に形成するための方法として、この
スラリーコータを用いた方法を適用しようとすると、グ
リーンシートの膜厚ばらつきが大きく、安定した特性の
積層セラミック電子部品を得ることができないという欠
点がある。これは電子部品が小型になればなるほど大き
な欠点となる。
キャリアフィルム上に形成するための方法として、この
スラリーコータを用いた方法を適用しようとすると、グ
リーンシートの膜厚ばらつきが大きく、安定した特性の
積層セラミック電子部品を得ることができないという欠
点がある。これは電子部品が小型になればなるほど大き
な欠点となる。
【００１０】そこで、この発明の目的は、上述の問題を
解決し、均一な厚みでセラミックグリーンシートを製造
できる、セラミックグリーンシートの製造方法および製
造装置を提供しようとすることである。
解決し、均一な厚みでセラミックグリーンシートを製造
できる、セラミックグリーンシートの製造方法および製
造装置を提供しようとすることである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明に係るセラミッ
クグリーンシートの製造方法は、セラミックスラリーの
供給を受けるもので、外部に向く開口が形成されたスラ
リー室を備え、開口の一側縁に沿ってドクターエッジが
形成された、スラリーコータを用意する工程と、セラミ
ックスラリーからなるセラミックグリーンシートをその
上で成形するためのキャリアフィルムを用意する工程
と、スラリー室にセラミックスラリーを供給するととも
に、スラリー室の開口の周縁部にキャリアフィルムを圧
接させることによって当該開口を閉じ、その状態で、ド
クターエッジが下流側になる方向にキャリアフィルムを
開口に沿って移動させることによって、キャリアフィル
ム上にセラミックスラリーからなるセラミックグリーン
シートを成形する工程とを備える、セラミックグリーン
シートの製造方法であって、特に、上述の技術的課題を
解決するため、スラリー室に現に供給されているセラミ
ックスラリーの流量を測定するとともに、キャリアフィ
ルム上に現に成形されているセラミックグリーンシート
の厚みを測定する工程と、測定されたセラミックスラリ
ーの流量に関する現流量データと測定されたセラミック
グリーンシートの厚みに関する現厚みデータとに基づ
き、所望の厚みのセラミックグリーンシートを得るため
にスラリー室に供給されるべきセラミックスラリーの適
正流量に関する適正流量データを求める工程と、適正流
量データに基づき、スラリー室に供給されるセラミック
スラリーの流量を制御する工程とをさらに備えることを
特徴としている。
クグリーンシートの製造方法は、セラミックスラリーの
供給を受けるもので、外部に向く開口が形成されたスラ
リー室を備え、開口の一側縁に沿ってドクターエッジが
形成された、スラリーコータを用意する工程と、セラミ
ックスラリーからなるセラミックグリーンシートをその
上で成形するためのキャリアフィルムを用意する工程
と、スラリー室にセラミックスラリーを供給するととも
に、スラリー室の開口の周縁部にキャリアフィルムを圧
接させることによって当該開口を閉じ、その状態で、ド
クターエッジが下流側になる方向にキャリアフィルムを
開口に沿って移動させることによって、キャリアフィル
ム上にセラミックスラリーからなるセラミックグリーン
シートを成形する工程とを備える、セラミックグリーン
シートの製造方法であって、特に、上述の技術的課題を
解決するため、スラリー室に現に供給されているセラミ
ックスラリーの流量を測定するとともに、キャリアフィ
ルム上に現に成形されているセラミックグリーンシート
の厚みを測定する工程と、測定されたセラミックスラリ
ーの流量に関する現流量データと測定されたセラミック
グリーンシートの厚みに関する現厚みデータとに基づ
き、所望の厚みのセラミックグリーンシートを得るため
にスラリー室に供給されるべきセラミックスラリーの適
正流量に関する適正流量データを求める工程と、適正流
量データに基づき、スラリー室に供給されるセラミック
スラリーの流量を制御する工程とをさらに備えることを
特徴としている。
【００１２】この発明に係るセラミックグリーンシート
の製造方法において用いられるスラリーコータにおい
て、好ましくは、スラリー室は、第１のスラリー室と、
第１のスラリー室に連通しかつ第１のスラリー室より狭
い断面を有するスラリー流路と、スラリー流路に連通し
かつスラリー流路より広い断面を有する第２のスラリー
室とを備え、セラミックスラリーの供給は第１のスラリ
ー室によって受け、第２のスラリー室に開口が形成され
る。
の製造方法において用いられるスラリーコータにおい
て、好ましくは、スラリー室は、第１のスラリー室と、
第１のスラリー室に連通しかつ第１のスラリー室より狭
い断面を有するスラリー流路と、スラリー流路に連通し
かつスラリー流路より広い断面を有する第２のスラリー
室とを備え、セラミックスラリーの供給は第１のスラリ
ー室によって受け、第２のスラリー室に開口が形成され
る。
【００１３】他方、この発明に係るセラミックグリーン
シートの製造装置は、上述した製造方法を実施するため
のものである。この製造装置は、セラミックスラリーの
供給を受けるもので、外部に向く開口が形成されたスラ
リー室を備え、開口の一側縁に沿ってドクターエッジが
形成された、スラリーコータと、セラミックスラリーか
らなるセラミックグリーンシートをその上で成形するた
めのキャリアフィルムをスラリー室の開口の周縁部に圧
接させることによってスラリー室の開口を閉じるととも
に、ドクターエッジが下流側になる方向にキャリアフィ
ルムを移動させるように、キャリアフィルムを保持する
ためのキャリアフィルム保持部材と、スラリー室に現に
供給されているセラミックスラリーの流量を測定するた
めの流量測定手段と、キャリアフィルム上に現に成形さ
れているセラミックグリーンシートの厚みを測定するた
めの厚み測定手段と、流量測定手段によって測定された
セラミックスラリーの流量に関する現流量データと厚み
測定手段によって測定されたセラミックグリーンシート
の厚みに関する現厚みデータとに基づき、所望の厚みの
セラミックグリーンシートを得るためにスラリー室に供
給されるべきセラミックスラリーの適正流量に関する適
正流量データを求めるための適正流量データ演算手段
と、適正流量データに基づき、スラリー室に供給される
セラミックスラリーの流量を制御するための流量制御手
段とを備えることを特徴としている。
シートの製造装置は、上述した製造方法を実施するため
のものである。この製造装置は、セラミックスラリーの
供給を受けるもので、外部に向く開口が形成されたスラ
リー室を備え、開口の一側縁に沿ってドクターエッジが
形成された、スラリーコータと、セラミックスラリーか
らなるセラミックグリーンシートをその上で成形するた
めのキャリアフィルムをスラリー室の開口の周縁部に圧
接させることによってスラリー室の開口を閉じるととも
に、ドクターエッジが下流側になる方向にキャリアフィ
ルムを移動させるように、キャリアフィルムを保持する
ためのキャリアフィルム保持部材と、スラリー室に現に
供給されているセラミックスラリーの流量を測定するた
めの流量測定手段と、キャリアフィルム上に現に成形さ
れているセラミックグリーンシートの厚みを測定するた
めの厚み測定手段と、流量測定手段によって測定された
セラミックスラリーの流量に関する現流量データと厚み
測定手段によって測定されたセラミックグリーンシート
の厚みに関する現厚みデータとに基づき、所望の厚みの
セラミックグリーンシートを得るためにスラリー室に供
給されるべきセラミックスラリーの適正流量に関する適
正流量データを求めるための適正流量データ演算手段
と、適正流量データに基づき、スラリー室に供給される
セラミックスラリーの流量を制御するための流量制御手
段とを備えることを特徴としている。
【００１４】この発明に係るセラミックグリーンシート
の製造装置において、好ましくは、スラリー室は、第１
のスラリー室と、第１のスラリー室に連通しかつ第１の
スラリー室より狭い断面を有するスラリー流路と、スラ
リー流路に連通しかつスラリー流路より広い断面を有す
る第２のスラリー室とを備え、セラミックスラリーの供
給は第１のスラリー室によって受けるようにされ、第２
のスラリー室に開口が形成される。
の製造装置において、好ましくは、スラリー室は、第１
のスラリー室と、第１のスラリー室に連通しかつ第１の
スラリー室より狭い断面を有するスラリー流路と、スラ
リー流路に連通しかつスラリー流路より広い断面を有す
る第２のスラリー室とを備え、セラミックスラリーの供
給は第１のスラリー室によって受けるようにされ、第２
のスラリー室に開口が形成される。
【００１５】また、この発明に係るセラミックグリーン
シートの製造装置において、好ましくは、流量測定手段
は、質量流量計を含み、厚み測定手段は、Ｘ線、β線、
レーザなどの非接触型膜厚計を含み、キャリアフィルム
保持部材は、キャリアフィルムをその周面上に配置しな
がら、当該キャリアフィルムをスラリー室の開口の周縁
部に圧接させることによって当該開口を閉じるように位
置されるものであって、その回転によってドクターエッ
ジが下流側になる方向にキャリアフィルムを移動させ
る、バッキングロールを含む。
シートの製造装置において、好ましくは、流量測定手段
は、質量流量計を含み、厚み測定手段は、Ｘ線、β線、
レーザなどの非接触型膜厚計を含み、キャリアフィルム
保持部材は、キャリアフィルムをその周面上に配置しな
がら、当該キャリアフィルムをスラリー室の開口の周縁
部に圧接させることによって当該開口を閉じるように位
置されるものであって、その回転によってドクターエッ
ジが下流側になる方向にキャリアフィルムを移動させ
る、バッキングロールを含む。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１および図２は、この発明の一
実施形態によるセラミックグリーンシートの製造方法お
よび製造装置を説明するためのもので、セラミックグリ
ーンシートの製造を実施している状態を示している。図
１には、製造装置１全体の構成が制御系も含めて示され
ている。図１に示すように、製造装置１は、セラミック
スラリー２をキャリアフィルム３上に付与し、それによ
って、キャリアフィルム３上でセラミックグリーンシー
ト４を成形しようとするもので、セラミックスラリー２
をキャリアフィルム３上に付与するためのスラリーコー
タ５を備えている。図２には、スラリーコータ５および
これに関連して設けられるバッキングロール６が示され
ている。
実施形態によるセラミックグリーンシートの製造方法お
よび製造装置を説明するためのもので、セラミックグリ
ーンシートの製造を実施している状態を示している。図
１には、製造装置１全体の構成が制御系も含めて示され
ている。図１に示すように、製造装置１は、セラミック
スラリー２をキャリアフィルム３上に付与し、それによ
って、キャリアフィルム３上でセラミックグリーンシー
ト４を成形しようとするもので、セラミックスラリー２
をキャリアフィルム３上に付与するためのスラリーコー
タ５を備えている。図２には、スラリーコータ５および
これに関連して設けられるバッキングロール６が示され
ている。
【００１７】まず、図２を参照して、スラリーコータ５
およびバッキングロール６の構成について説明する。ス
ラリーコータ５は、矢印７で示すように圧送されるセラ
ミックスラリー２の供給を受ける第１のスラリー室８
と、第１のスラリー室８に連通しかつ第１のスラリー室
８より狭い断面を有するスラリー流路９と、スラリー流
路９に連通しかつスラリー流路９より広い断面を有する
とともに外部に向く開口１０が形成された第２のスラリ
ー室１１とを備えている。開口１０の周縁部であって、
その一側縁に沿うように、ドクターエッジ１２が形成さ
れている。
およびバッキングロール６の構成について説明する。ス
ラリーコータ５は、矢印７で示すように圧送されるセラ
ミックスラリー２の供給を受ける第１のスラリー室８
と、第１のスラリー室８に連通しかつ第１のスラリー室
８より狭い断面を有するスラリー流路９と、スラリー流
路９に連通しかつスラリー流路９より広い断面を有する
とともに外部に向く開口１０が形成された第２のスラリ
ー室１１とを備えている。開口１０の周縁部であって、
その一側縁に沿うように、ドクターエッジ１２が形成さ
れている。
【００１８】このスラリーコータ５において、第１のス
ラリー室８に供給されたセラミックスラリー２は、スラ
リー流路９を通して、第２のスラリー室１１まで供給さ
れる。このように、第１のスラリー室８から第２のスラ
リー室１１にまでセラミックスラリー２を供給するにあ
たり、断面の比較的狭いスラリー流路９を通すことによ
って、第２のスラリー室１１の内部圧力を高くかつ一定
に保つことが容易になる。
ラリー室８に供給されたセラミックスラリー２は、スラ
リー流路９を通して、第２のスラリー室１１まで供給さ
れる。このように、第１のスラリー室８から第２のスラ
リー室１１にまでセラミックスラリー２を供給するにあ
たり、断面の比較的狭いスラリー流路９を通すことによ
って、第２のスラリー室１１の内部圧力を高くかつ一定
に保つことが容易になる。
【００１９】なお、第１のスラリー室８に圧送されるセ
ラミックスラリー２は、当該セラミックスラリー２に含
まれるセラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒
子を予め除去したものであることが好ましい。そのた
め、たとえば、このようなセラミック粉末の平均粒径の
１０倍以上の凝集粒子を確実に捕集できる絶対濾過フィ
ルタが用いられ、このフィルタによって濾過したセラミ
ックスラリーのみが、セラミックスラリー２として、第
１のスラリー室８に供給される。
ラミックスラリー２は、当該セラミックスラリー２に含
まれるセラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒
子を予め除去したものであることが好ましい。そのた
め、たとえば、このようなセラミック粉末の平均粒径の
１０倍以上の凝集粒子を確実に捕集できる絶対濾過フィ
ルタが用いられ、このフィルタによって濾過したセラミ
ックスラリーのみが、セラミックスラリー２として、第
１のスラリー室８に供給される。
【００２０】他方、バッキングロール６は、キャリアフ
ィルム保持部材として機能するもので、キャリアフィル
ム３をその周面上に配置しながら、このキャリアフィル
ム３を第２のスラリー室１１の開口１０の周縁部に圧接
させることによって開口１０を閉じるように位置してい
る。キャリアフィルム３は、ガイドロール１３を介して
バッキングロール６の周面へ供給され、バッキングロー
ル６が矢印１４方向に回転されることによって、ドクタ
ーエッジ１２が下流側になる方向に移動される。
ィルム保持部材として機能するもので、キャリアフィル
ム３をその周面上に配置しながら、このキャリアフィル
ム３を第２のスラリー室１１の開口１０の周縁部に圧接
させることによって開口１０を閉じるように位置してい
る。キャリアフィルム３は、ガイドロール１３を介して
バッキングロール６の周面へ供給され、バッキングロー
ル６が矢印１４方向に回転されることによって、ドクタ
ーエッジ１２が下流側になる方向に移動される。
【００２１】ここまで述べた構成において、セラミック
スラリー２は、第１のスラリー室８に圧送され、次い
で、スラリー流路９を通して、第２のスラリー室１１ま
で供給される。他方、バッキングロール６の周面上に配
置されたキャリアフィルム３は、第２のスラリー室１１
の開口１０を閉じながら、バッキングロール６の回転に
従って、第２のスラリー室１１の開口１０に沿って移動
する。したがって、キャリアフィルム３がドクターエッ
ジ１２を通過するとき、ドクターエッジ１２によって及
ぼされる圧力によって、第２のスラリー室１１内のセラ
ミックスラリー２がキャリアフィルム３に付与される。
このようにして、キャリアフィルム３上において、セラ
ミックスラリー２からなるセラミックグリーンシート４
が成形される。
スラリー２は、第１のスラリー室８に圧送され、次い
で、スラリー流路９を通して、第２のスラリー室１１ま
で供給される。他方、バッキングロール６の周面上に配
置されたキャリアフィルム３は、第２のスラリー室１１
の開口１０を閉じながら、バッキングロール６の回転に
従って、第２のスラリー室１１の開口１０に沿って移動
する。したがって、キャリアフィルム３がドクターエッ
ジ１２を通過するとき、ドクターエッジ１２によって及
ぼされる圧力によって、第２のスラリー室１１内のセラ
ミックスラリー２がキャリアフィルム３に付与される。
このようにして、キャリアフィルム３上において、セラ
ミックスラリー２からなるセラミックグリーンシート４
が成形される。
【００２２】なお、図１に示すように、スラリーコータ
５へと搬送されるキャリアフィルム３は、たとえば供給
リール１５に巻かれた状態で用意され、ここから矢印１
６方向に引き出されて、バッキングロール６の周面へ供
給され、また、スラリーコータ５を通過した後、キャリ
アフィルム３上に成形されたセラミックグリーンシート
４は、矢印１７方向に搬送される間に乾燥され、その後
において、キャリアフィルム３とともに巻取りリール１
８に巻き取られる。
５へと搬送されるキャリアフィルム３は、たとえば供給
リール１５に巻かれた状態で用意され、ここから矢印１
６方向に引き出されて、バッキングロール６の周面へ供
給され、また、スラリーコータ５を通過した後、キャリ
アフィルム３上に成形されたセラミックグリーンシート
４は、矢印１７方向に搬送される間に乾燥され、その後
において、キャリアフィルム３とともに巻取りリール１
８に巻き取られる。
【００２３】また、第１のスラリー室８に供給されるセ
ラミックスラリー２は、図１に示すように、スラリータ
ンク１９からポンプ２０を介して圧送される。前述のよ
うに成形されたセラミックグリーンシート４の厚みは、
基本的には、バッキングロール６とドクターエッジ１２
との間隔を変更することにより調整されるものである
が、たとえば、第２のスラリー室１１の内圧が変化した
り、用いるセラミックスラリー２の粘度、比重、固形分
濃度等が変化したりすることにより、得られたセラミッ
クグリーンシート４の厚みに変動が生じることがある。
ラミックスラリー２は、図１に示すように、スラリータ
ンク１９からポンプ２０を介して圧送される。前述のよ
うに成形されたセラミックグリーンシート４の厚みは、
基本的には、バッキングロール６とドクターエッジ１２
との間隔を変更することにより調整されるものである
が、たとえば、第２のスラリー室１１の内圧が変化した
り、用いるセラミックスラリー２の粘度、比重、固形分
濃度等が変化したりすることにより、得られたセラミッ
クグリーンシート４の厚みに変動が生じることがある。
【００２４】このようなセラミックグリーンシート４の
厚みの変動を防止して、均一な厚みのセラミックグリー
ンシート４を製造しようとするため、この実施形態で
は、以下のような構成が採用されている。図１に示すよ
うに、第１のスラリー室８（図２参照）に現に供給され
ているセラミックスラリー２の流量を測定するための流
量測定手段としての流量計２１が、ポンプ２０からスラ
リーコータ５に至るセラミックスラリー２の供給経路の
途中に配置される。この流量計２１としては、電磁流量
計、コリオリ式質量流量計、超音波流量計、差圧式流量
計が有利に用いられる。
厚みの変動を防止して、均一な厚みのセラミックグリー
ンシート４を製造しようとするため、この実施形態で
は、以下のような構成が採用されている。図１に示すよ
うに、第１のスラリー室８（図２参照）に現に供給され
ているセラミックスラリー２の流量を測定するための流
量測定手段としての流量計２１が、ポンプ２０からスラ
リーコータ５に至るセラミックスラリー２の供給経路の
途中に配置される。この流量計２１としては、電磁流量
計、コリオリ式質量流量計、超音波流量計、差圧式流量
計が有利に用いられる。
【００２５】また、キャリアフィルム３上に現に成形さ
れているセラミックグリーンシート４の厚みを測定する
ための厚み測定手段としての膜厚計２２が、セラミック
グリーンシート４の矢印１７方向への搬送経路に関連し
て設けられる。この膜厚計２２としては、たとえば、レ
ーザ変位、放射線、静電容量の変化など、非接触式の厚
み測定技術を利用することが望ましい。
れているセラミックグリーンシート４の厚みを測定する
ための厚み測定手段としての膜厚計２２が、セラミック
グリーンシート４の矢印１７方向への搬送経路に関連し
て設けられる。この膜厚計２２としては、たとえば、レ
ーザ変位、放射線、静電容量の変化など、非接触式の厚
み測定技術を利用することが望ましい。
【００２６】また、流量計２１によって測定されたセラ
ミックスラリー２の流量に関する現流量データ２３と膜
厚計２２によって測定されたセラミックグリーンシート
４の厚みに関する現厚みデータ２４とに基づき、所望の
厚みのセラミックグリーンシートを得るために第１のス
ラリー室８に供給されるべきセラミックスラリー２の適
正流量に関する適正流量データ２５を求めるための適正
流量データ演算手段２６が設けられる。適正流量データ
演算手段２６は、たとえばパーソナルコンピュータによ
って構成される。
ミックスラリー２の流量に関する現流量データ２３と膜
厚計２２によって測定されたセラミックグリーンシート
４の厚みに関する現厚みデータ２４とに基づき、所望の
厚みのセラミックグリーンシートを得るために第１のス
ラリー室８に供給されるべきセラミックスラリー２の適
正流量に関する適正流量データ２５を求めるための適正
流量データ演算手段２６が設けられる。適正流量データ
演算手段２６は、たとえばパーソナルコンピュータによ
って構成される。
【００２７】また、上述の適正流量データ２５に基づ
き、第１のスラリー室８に供給されるセラミックスラリ
ー２の流量を制御するための流量制御手段２７が、ポン
プ２０から流量計２１に至るセラミックスラリー２の供
給経路の途中に配置される。流量制御手段２７は、たと
えばバルブによって構成される。なお、ポンプ２０を用
いず、たとえばスラリータンク１９に背圧をかけること
によってセラミックスラリー２を圧送する場合には、こ
の背圧を制御する手段が流量制御手段となる。また、ポ
ンプ２０としてたとえばギヤポンプ等の回転ポンプが用
いられる場合には、この回転ポンプの回転数を制御する
手段が流量制御手段となる。
き、第１のスラリー室８に供給されるセラミックスラリ
ー２の流量を制御するための流量制御手段２７が、ポン
プ２０から流量計２１に至るセラミックスラリー２の供
給経路の途中に配置される。流量制御手段２７は、たと
えばバルブによって構成される。なお、ポンプ２０を用
いず、たとえばスラリータンク１９に背圧をかけること
によってセラミックスラリー２を圧送する場合には、こ
の背圧を制御する手段が流量制御手段となる。また、ポ
ンプ２０としてたとえばギヤポンプ等の回転ポンプが用
いられる場合には、この回転ポンプの回転数を制御する
手段が流量制御手段となる。
【００２８】このような制御系は、セラミックグリーン
シート製造装置１において、次のように機能する。第１
のスラリー室８に現に供給されているセラミックスラリ
ー２の流量が流量計２１によって測定されるともに、キ
ャリアフィルム３上に現に成形されているセラミックグ
リーンシート４の厚みが膜厚計２２によって測定され
る。
シート製造装置１において、次のように機能する。第１
のスラリー室８に現に供給されているセラミックスラリ
ー２の流量が流量計２１によって測定されるともに、キ
ャリアフィルム３上に現に成形されているセラミックグ
リーンシート４の厚みが膜厚計２２によって測定され
る。
【００２９】次いで、このように測定された、セラミッ
クスラリー２の流量に関する現流量データ２３とセラミ
ックグリーンシート４の厚みに関する現厚みデータ２４
とは、適正流量データ演算手段２６に入力される。適正
流量データ演算手段２６においては、これら現流量デー
タ２３と現厚みデータ２４に基づき、所望の厚みのセラ
ミックグリーンシート４を得るために第１のスラリー室
８に供給されるべきセラミックスラリー２の適正流量に
関する適正流量データ２５が求められる。このように適
正流量データ２５を求めるため、セラミックスラリー２
の比重と流量との関係やセラミックグリーンシート４の
幅および目的とする厚みやキャリアフィルム３の移動速
度から必要となるセラミックスラリー２の流量データを
予め算出しておき、この流量データを適正流量データ演
算手段２６に格納している。
クスラリー２の流量に関する現流量データ２３とセラミ
ックグリーンシート４の厚みに関する現厚みデータ２４
とは、適正流量データ演算手段２６に入力される。適正
流量データ演算手段２６においては、これら現流量デー
タ２３と現厚みデータ２４に基づき、所望の厚みのセラ
ミックグリーンシート４を得るために第１のスラリー室
８に供給されるべきセラミックスラリー２の適正流量に
関する適正流量データ２５が求められる。このように適
正流量データ２５を求めるため、セラミックスラリー２
の比重と流量との関係やセラミックグリーンシート４の
幅および目的とする厚みやキャリアフィルム３の移動速
度から必要となるセラミックスラリー２の流量データを
予め算出しておき、この流量データを適正流量データ演
算手段２６に格納している。
【００３０】上述した適正流量データ２５は、流量制御
手段２７に入力される。この適正流量データ２５に基づ
き、流量制御手段２７は、第１のスラリー室８に供給さ
れるセラミックスラリー２の流量を制御する。このよう
に、この実施形態は、第１のスラリー室８に現に供給さ
れているセラミックスラリー２の流量を測定しながら、
キャリアフィルム３上に現に成形されているセラミック
グリーンシート４の厚みを測定し、これら現流量および
現厚みにそれぞれ関する現流量データ２３および現厚み
データ２４によって、第２のスラリー室１１から比較的
離れて位置する流量制御手段２７をフィードバック制御
して、セラミックスラリー２の流量を調整しようとする
ものである。したがって、前述したような圧力センサを
スラリー室（第２のスラリー室１１に相当する。）に設
けて、スラリー室内の圧力を常に測定しながら、その測
定結果に基づき、スラリー室内に圧送されるスラリーの
圧力を制御して、スラリー室内の圧力を一定に保ち、そ
れによって塗膜の厚みの均一化を図ろうとする場合のよ
うに、過剰な制御が引き起こされることがない。また、
キャリアフィルム３上に現に成形されているセラミック
グリーンシート４の厚みを監視しながら、当該厚みの制
御を行なうので、精度の高い制御が可能となり、また、
不良な厚みのセラミックグリーンシートが製造され続け
ることも防止できる。
手段２７に入力される。この適正流量データ２５に基づ
き、流量制御手段２７は、第１のスラリー室８に供給さ
れるセラミックスラリー２の流量を制御する。このよう
に、この実施形態は、第１のスラリー室８に現に供給さ
れているセラミックスラリー２の流量を測定しながら、
キャリアフィルム３上に現に成形されているセラミック
グリーンシート４の厚みを測定し、これら現流量および
現厚みにそれぞれ関する現流量データ２３および現厚み
データ２４によって、第２のスラリー室１１から比較的
離れて位置する流量制御手段２７をフィードバック制御
して、セラミックスラリー２の流量を調整しようとする
ものである。したがって、前述したような圧力センサを
スラリー室（第２のスラリー室１１に相当する。）に設
けて、スラリー室内の圧力を常に測定しながら、その測
定結果に基づき、スラリー室内に圧送されるスラリーの
圧力を制御して、スラリー室内の圧力を一定に保ち、そ
れによって塗膜の厚みの均一化を図ろうとする場合のよ
うに、過剰な制御が引き起こされることがない。また、
キャリアフィルム３上に現に成形されているセラミック
グリーンシート４の厚みを監視しながら、当該厚みの制
御を行なうので、精度の高い制御が可能となり、また、
不良な厚みのセラミックグリーンシートが製造され続け
ることも防止できる。
【００３１】
【発明の効果】このように、この発明に係るセラミック
グリーンシートの製造方法によれば、スラリーコータの
スラリー室に現に供給されているセラミックスラリーの
流量を測定しながら、キャリアフィルム上に現に成形さ
れているセラミックグリーンシートの厚みを測定し、こ
れら現流量および現厚みにそれぞれ関する現流量データ
および現厚みデータに基づき、所望の厚みのセラミック
グリーンシートを得るためにスラリー室に供給されるべ
きセラミックスラリーの適正流量に関する適正流量デー
タを求め、この適正流量データに基づき、スラリー室に
供給されるセラミックスラリーの流量を制御するように
している。したがって、流量制御はスラリー室から比較
的離れた位置で行なえるので、過剰な制御が引き起こさ
れることがなく、また、キャリアフィルム上に現に成形
されているセラミックグリーンシートの厚みを監視しな
がら、当該厚みの制御を行なうので、精度の高い制御が
可能となり、また、不良な厚みのセラミックグリーンシ
ートが製造され続けることも防止でき、これを積層セラ
ミック電子部品に適用すれば、特性の安定化や小型化に
より有効となる。
グリーンシートの製造方法によれば、スラリーコータの
スラリー室に現に供給されているセラミックスラリーの
流量を測定しながら、キャリアフィルム上に現に成形さ
れているセラミックグリーンシートの厚みを測定し、こ
れら現流量および現厚みにそれぞれ関する現流量データ
および現厚みデータに基づき、所望の厚みのセラミック
グリーンシートを得るためにスラリー室に供給されるべ
きセラミックスラリーの適正流量に関する適正流量デー
タを求め、この適正流量データに基づき、スラリー室に
供給されるセラミックスラリーの流量を制御するように
している。したがって、流量制御はスラリー室から比較
的離れた位置で行なえるので、過剰な制御が引き起こさ
れることがなく、また、キャリアフィルム上に現に成形
されているセラミックグリーンシートの厚みを監視しな
がら、当該厚みの制御を行なうので、精度の高い制御が
可能となり、また、不良な厚みのセラミックグリーンシ
ートが製造され続けることも防止でき、これを積層セラ
ミック電子部品に適用すれば、特性の安定化や小型化に
より有効となる。
【００３２】この発明に係るセラミックグリーンシート
の製造方法において、スラリー室が、第１のスラリー室
と、第１のスラリー室に連通しかつ第１のスラリー室よ
り狭い断面を有するスラリー流路と、スラリー流路に連
通しかつスラリー流路より広い断面を有する第２のスラ
リー室とを備え、セラミックスラリーの供給は第１のス
ラリー室によって受け、第２のスラリー室に開口が形成
されている、そのようなスラリーコータが用いられる
と、第２のスラリー室においては、第１のスラリー室に
供給されるべきセラミックスラリーを供給するためのポ
ンプの脈動などの不整の影響を受けにくくすることがで
き、第２のスラリー室の内部圧力を高くかつ一定に保つ
ことが容易になる。したがって、このこともセラミック
グリーンシートの厚みの均一化に寄与させることができ
る。
の製造方法において、スラリー室が、第１のスラリー室
と、第１のスラリー室に連通しかつ第１のスラリー室よ
り狭い断面を有するスラリー流路と、スラリー流路に連
通しかつスラリー流路より広い断面を有する第２のスラ
リー室とを備え、セラミックスラリーの供給は第１のス
ラリー室によって受け、第２のスラリー室に開口が形成
されている、そのようなスラリーコータが用いられる
と、第２のスラリー室においては、第１のスラリー室に
供給されるべきセラミックスラリーを供給するためのポ
ンプの脈動などの不整の影響を受けにくくすることがで
き、第２のスラリー室の内部圧力を高くかつ一定に保つ
ことが容易になる。したがって、このこともセラミック
グリーンシートの厚みの均一化に寄与させることができ
る。
【００３３】他方、この発明に係るセラミックグリーン
シートの製造装置によれば、スラリー室に現に供給され
ているセラミックスラリーの流量を測定するための流量
測定手段と、キャリアフィルム上に現に成形されている
セラミックグリーンシートの厚みを測定するための厚み
測定手段と、流量測定手段によって測定されたセラミッ
クスラリーの流量に関する現流量データと厚み測定手段
によって測定されたセラミックグリーンシートの厚みに
関する現厚みデータとに基づき、所望の厚みのセラミッ
クグリーンシートを得るためにスラリー室に供給される
べきセラミックスラリーの適正流量に関する適正流量デ
ータを求めるための適正流量データ演算手段と、適正流
量データに基づき、スラリー室に供給されるセラミック
スラリーの流量を制御するための流量制御手段とを備え
ており、流量制御手段をスラリー室から比較的離れて位
置させることができるので、この製造装置を用いてセラ
ミックグリーンシートの製造を実施したときには、前述
した製造方法によって奏される効果と同様の効果が奏さ
れる。
シートの製造装置によれば、スラリー室に現に供給され
ているセラミックスラリーの流量を測定するための流量
測定手段と、キャリアフィルム上に現に成形されている
セラミックグリーンシートの厚みを測定するための厚み
測定手段と、流量測定手段によって測定されたセラミッ
クスラリーの流量に関する現流量データと厚み測定手段
によって測定されたセラミックグリーンシートの厚みに
関する現厚みデータとに基づき、所望の厚みのセラミッ
クグリーンシートを得るためにスラリー室に供給される
べきセラミックスラリーの適正流量に関する適正流量デ
ータを求めるための適正流量データ演算手段と、適正流
量データに基づき、スラリー室に供給されるセラミック
スラリーの流量を制御するための流量制御手段とを備え
ており、流量制御手段をスラリー室から比較的離れて位
置させることができるので、この製造装置を用いてセラ
ミックグリーンシートの製造を実施したときには、前述
した製造方法によって奏される効果と同様の効果が奏さ
れる。
【００３４】また、この発明に係るセラミックグリーン
シートの製造装置に備えるスラリーコータにおいて、ス
ラリー室が、第１のスラリー室と、第１のスラリー室に
連通しかつ第１のスラリー室より狭い断面を有するスラ
リー流路と、スラリー流路に連通しかつスラリー流路よ
り広い断面を有する第２のスラリー室とを備え、セラミ
ックスラリーの供給は第１のスラリー室によって受け、
第２のスラリー室に開口が形成されていると、第２のス
ラリー室においては、第１のスラリー室に供給されるべ
きセラミックスラリーを供給するためのポンプの脈動な
どの不整の影響を受けにくくすることができ、第２のス
ラリー室の内部圧力を高くかつ一定に保つことが容易に
なる。したがって、このこともセラミックグリーンシー
トの厚みの均一化に寄与させることができる。
シートの製造装置に備えるスラリーコータにおいて、ス
ラリー室が、第１のスラリー室と、第１のスラリー室に
連通しかつ第１のスラリー室より狭い断面を有するスラ
リー流路と、スラリー流路に連通しかつスラリー流路よ
り広い断面を有する第２のスラリー室とを備え、セラミ
ックスラリーの供給は第１のスラリー室によって受け、
第２のスラリー室に開口が形成されていると、第２のス
ラリー室においては、第１のスラリー室に供給されるべ
きセラミックスラリーを供給するためのポンプの脈動な
どの不整の影響を受けにくくすることができ、第２のス
ラリー室の内部圧力を高くかつ一定に保つことが容易に
なる。したがって、このこともセラミックグリーンシー
トの厚みの均一化に寄与させることができる。
【００３５】また、この発明に係るセラミックグリーン
シートの製造装置に備える流量測定手段が質量流量計を
含んでいると、質量流量計は、ここを通過する単位時間
当たりの質量を測定するので、セラミックスラリーの比
重、粘度等が変動したり、セラミックスラリーをスラリ
ータンクから供給する場合にセラミックスラリーの液面
の高さがセラミックスラリーの消費等によって変化する
などしてセラミックスラリーの圧力が変動したりして
も、問題なく正確な測定を行なうことができる。
シートの製造装置に備える流量測定手段が質量流量計を
含んでいると、質量流量計は、ここを通過する単位時間
当たりの質量を測定するので、セラミックスラリーの比
重、粘度等が変動したり、セラミックスラリーをスラリ
ータンクから供給する場合にセラミックスラリーの液面
の高さがセラミックスラリーの消費等によって変化する
などしてセラミックスラリーの圧力が変動したりして
も、問題なく正確な測定を行なうことができる。
【００３６】また、この発明に係るセラミックグリーン
シートの製造装置に備える厚み測定手段が非接触型膜厚
計を含んでいると、セラミックグリーンシートに対して
高精度な厚み測定を実施することができ、より高精度な
セラミックグリーンシートの厚み制御に寄与し得る。ま
た、この発明に係るセラミックグリーンシートの製造装
置において、キャリアフィルムをスラリー室の開口の周
縁部に圧接させることによってスラリー室の開口を閉じ
るとともに、ドクターエッジが下流側になる方向にキャ
リアフィルムを移動させるように、キャリアフィルムを
保持するためのキャリアフィルム保持部材として、キャ
リアフィルムをその周面上に配置するバッキングロール
を備えていると、このバッキングロールによって、キャ
リアフィルムをスラリー室の開口の周縁部に圧接させて
当該開口を閉じる状態に安定的に維持できるとともに、
バッキングロールの回転によってキャリアフィルムを所
望のごとく移動させることができる。また、バッキング
ロールとドクターエッジとの間隔を変更することによっ
て、得ようとするセラミックグリーンシートの厚みの設
定を容易に変更することができる。
シートの製造装置に備える厚み測定手段が非接触型膜厚
計を含んでいると、セラミックグリーンシートに対して
高精度な厚み測定を実施することができ、より高精度な
セラミックグリーンシートの厚み制御に寄与し得る。ま
た、この発明に係るセラミックグリーンシートの製造装
置において、キャリアフィルムをスラリー室の開口の周
縁部に圧接させることによってスラリー室の開口を閉じ
るとともに、ドクターエッジが下流側になる方向にキャ
リアフィルムを移動させるように、キャリアフィルムを
保持するためのキャリアフィルム保持部材として、キャ
リアフィルムをその周面上に配置するバッキングロール
を備えていると、このバッキングロールによって、キャ
リアフィルムをスラリー室の開口の周縁部に圧接させて
当該開口を閉じる状態に安定的に維持できるとともに、
バッキングロールの回転によってキャリアフィルムを所
望のごとく移動させることができる。また、バッキング
ロールとドクターエッジとの間隔を変更することによっ
て、得ようとするセラミックグリーンシートの厚みの設
定を容易に変更することができる。
【図１】この発明の一実施形態によるセラミックグリー
ンシートの製造方法および製造装置を説明するためのも
ので、セラミックグリーンシートの成形を実施している
状態にある製造装置１を図解的に示すブロック図であ
る。
ンシートの製造方法および製造装置を説明するためのも
ので、セラミックグリーンシートの成形を実施している
状態にある製造装置１を図解的に示すブロック図であ
る。
【図２】図１に示したスラリーコータ５およびこれに関
連して設けられるバッキングロール６を図解的に示す断
面図である。
連して設けられるバッキングロール６を図解的に示す断
面図である。
１ セラミックグリーンシートの製造装置 ２ セラミックスラリー ３ キャリアフィルム ４ セラミックグリーンシート ５ スラリーコータ ６ バッキングロール ８ 第１のスラリー室 ９ スラリー流路 １０ 開口 １１ 第２のスラリー室 １２ ドクターエッジ １９ スラリータンク ２０ ポンプ ２１ 流量計 ２２ 膜厚計 ２３ 現流量データ ２４ 現厚みデータ ２５ 適正流量データ ２６ 適正流量データ演算手段 ２７ 流量制御手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B28B 1/30 101 G05B 13/00 G05D 5/02
Claims (7)
- 【請求項１】 セラミックスラリーの供給を受けるもの
で、外部に向く開口が形成されたスラリー室を備え、前
記開口の一側縁に沿ってドクターエッジが形成された、
スラリーコータを用意し、 前記セラミックスラリーからなるセラミックグリーンシ
ートをその上で成形するためのキャリアフィルムを用意
し、 前記スラリー室に前記セラミックスラリーを供給すると
ともに、前記スラリー室の前記開口の周縁部に前記キャ
リアフィルムを圧接させることによって当該開口を閉
じ、その状態で、前記ドクターエッジが下流側になる方
向に前記キャリアフィルムを前記開口に沿って移動させ
ることによって、前記キャリアフィルム上に前記セラミ
ックスラリーからなるセラミックグリーンシートを成形
する、各工程を備える、セラミックグリーンシートの製
造方法であって、 前記スラリー室に現に供給されている前記セラミックス
ラリーの流量を測定するとともに、前記キャリアフィル
ム上に現に成形されている前記セラミックグリーンシー
トの厚みを測定し、 測定された前記セラミックスラリーの流量に関する現流
量データと測定された前記セラミックグリーンシートの
厚みに関する現厚みデータとに基づき、所望の厚みのセ
ラミックグリーンシートを得るために前記スラリー室に
供給されるべきセラミックスラリーの適正流量に関する
適正流量データを求め、 前記適正流量データに基づき、前記スラリー室に供給さ
れるセラミックスラリーの流量を制御する、各工程をさ
らに備えることを特徴とする、セラミックグリーンシー
トの製造方法。 - 【請求項２】 前記スラリー室は、第１のスラリー室
と、前記第１のスラリー室に連通しかつ第１のスラリー
室より狭い断面を有するスラリー流路と、前記スラリー
流路に連通しかつスラリー流路より広い断面を有する第
２のスラリー室とを備え、前記セラミックスラリーの供
給は前記第１のスラリー室によって受け、前記第２のス
ラリー室に前記開口が形成される、請求項１に記載のセ
ラミックグリーンシートの製造方法。 - 【請求項３】 セラミックスラリーの供給を受けるもの
で、外部に向く開口が形成されたスラリー室を備え、前
記開口の一側縁に沿ってドクターエッジが形成された、
スラリーコータと、 前記セラミックスラリーからなるセラミックグリーンシ
ートをその上で成形するためのキャリアフィルムを前記
スラリー室の前記開口の周縁部に圧接させることによっ
て前記スラリー室の前記開口を閉じるとともに、前記ド
クターエッジが下流側になる方向に前記キャリアフィル
ムを移動させるように、前記キャリアフィルムを保持す
るためのキャリアフィルム保持部材と、 前記スラリー室に現に供給されている前記セラミックス
ラリーの流量を測定するための流量測定手段と、 前記キャリアフィルム上に現に成形されている前記セラ
ミックグリーンシートの厚みを測定するための厚み測定
手段と、 前記流量測定手段によって測定された前記セラミックス
ラリーの流量に関する現流量データと前記厚み測定手段
によって測定された前記セラミックグリーンシートの厚
みに関する現厚みデータとに基づき、所望の厚みのセラ
ミックグリーンシートを得るために前記スラリー室に供
給されるべきセラミックスラリーの適正流量に関する適
正流量データを求めるための適正流量データ演算手段
と、 前記適正流量データに基づき、前記スラリー室に供給さ
れるセラミックスラリーの流量を制御するための流量制
御手段とを備えることを特徴とする、セラミックグリー
ンシートの製造装置。 - 【請求項４】 前記スラリー室は、第１のスラリー室
と、前記第１のスラリー室に連通しかつ第１のスラリー
室より狭い断面を有するスラリー流路と、前記スラリー
流路に連通しかつスラリー流路より広い断面を有する第
２のスラリー室とを備え、前記セラミックスラリーの供
給は前記第１のスラリー室によって受けるようにされ、
前記第２のスラリー室に前記開口が形成される、請求項
３に記載のセラミックグリーンシートの製造装置。 - 【請求項５】 前記流量測定手段は、質量流量計を含
む、請求項３または４に記載のセラミックグリーンシー
トの製造装置。 - 【請求項６】 前記厚み測定手段は、非接触型膜厚計を
含む、請求項３ないし５のいずれかに記載のセラミック
グリーンシートの製造装置。 - 【請求項７】 前記キャリアフィルム保持部材は、前記
キャリアフィルムをその周面上に配置しながら、当該キ
ャリアフィルムを前記スラリー室の前記開口の周縁部に
圧接させることによって当該開口を閉じるように位置さ
れるものであって、その回転によって前記ドクターエッ
ジが下流側になる方向に前記キャリアフィルムを移動さ
せる、バッキングロールを含む、請求項３ないし６のい
ずれかに記載のセラミックグリーンシートの製造装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24359397A JP3214408B2 (ja) | 1997-09-09 | 1997-09-09 | セラミックグリーンシートの製造方法および製造装置 |
| SG1998003097A SG65780A1 (en) | 1997-09-09 | 1998-08-27 | Production method and production apparatus of ceramic green sheet |
| US09/150,004 US6096370A (en) | 1997-09-09 | 1998-09-09 | Method and apparatus for producing a green sheet with an even thickness |
Applications Claiming Priority (1)
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