JP3210140B2 - ディスク成形品の冷却装置 - Google Patents
ディスク成形品の冷却装置Info
- Publication number
- JP3210140B2 JP3210140B2 JP15151193A JP15151193A JP3210140B2 JP 3210140 B2 JP3210140 B2 JP 3210140B2 JP 15151193 A JP15151193 A JP 15151193A JP 15151193 A JP15151193 A JP 15151193A JP 3210140 B2 JP3210140 B2 JP 3210140B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk
- cooling
- molded product
- holding
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/17—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C45/72—Heating or cooling
- B29C45/7207—Heating or cooling of the moulded articles
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
- Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はディスク成形品の冷却
装置に関する。
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５に一般的なインライン方式によるデ
ィスク成形品の成形装置を示す。符号５０はディスク成
形装置、５１はディスク成形機、５２は冷却装置、５３
はスパッタ装置、５４はコーター機、５５は検査機、５
７，５８，５９は搬送用ロボットである。
ィスク成形品の成形装置を示す。符号５０はディスク成
形装置、５１はディスク成形機、５２は冷却装置、５３
はスパッタ装置、５４はコーター機、５５は検査機、５
７，５８，５９は搬送用ロボットである。
【０００３】ディスク成形品Ｄは、公知の射出装置５６
を備えたディスク成形機５１によって所定の形状に成形
され、脱型後搬送ロボット５７によって冷却装置５２に
運ばれる。この冷却装置５２は、図６に示されるよう
に、二か所のディスク保持部６１，６１と送風機６２と
からなり、成形後のディスク成形品Ｄ，Ｄを前記ディス
ク保持部６１，６１に乗せその上方から前記送風機６２
によって冷却エアを吹き付けることにより冷却するもの
である。
を備えたディスク成形機５１によって所定の形状に成形
され、脱型後搬送ロボット５７によって冷却装置５２に
運ばれる。この冷却装置５２は、図６に示されるよう
に、二か所のディスク保持部６１，６１と送風機６２と
からなり、成形後のディスク成形品Ｄ，Ｄを前記ディス
ク保持部６１，６１に乗せその上方から前記送風機６２
によって冷却エアを吹き付けることにより冷却するもの
である。
【０００４】しかしながら、かかる冷却装置にあって
は、特に図５に示されるような限られた小さなスペース
の中では一度に処理できる成形品の枚数が少なく、作業
効率をあげることが困難であった。また、この装置をイ
ンライン方式に用いた場合には、冷却可能時間が短くデ
ィスク成形品を完全に冷却できないことがあった。その
ため、送風機６２からのエア量を増して急冷する方法も
あるが、この方法ではディスク成形品に歪みが生じやす
く変形の原因となったり、製品の電気特性を劣化させる
ことがあるばかりか、かかるエアによってディスク成形
品が吹き飛ばされ傷ついたり割れたりするおそれもあ
る。
は、特に図５に示されるような限られた小さなスペース
の中では一度に処理できる成形品の枚数が少なく、作業
効率をあげることが困難であった。また、この装置をイ
ンライン方式に用いた場合には、冷却可能時間が短くデ
ィスク成形品を完全に冷却できないことがあった。その
ため、送風機６２からのエア量を増して急冷する方法も
あるが、この方法ではディスク成形品に歪みが生じやす
く変形の原因となったり、製品の電気特性を劣化させる
ことがあるばかりか、かかるエアによってディスク成形
品が吹き飛ばされ傷ついたり割れたりするおそれもあ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、このよう
な問題点に鑑み提案されたものであって、少ないスペー
スで多数枚のディスク成形品を効率よく冷却することの
できるディスク成形品の冷却装置を提供しようとするも
のである。
な問題点に鑑み提案されたものであって、少ないスペー
スで多数枚のディスク成形品を効率よく冷却することの
できるディスク成形品の冷却装置を提供しようとするも
のである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】すなわち、この発明は、
冷却部と排気部を有する冷却チャンバと、前記チャンバ
内で上下方向に連続回転する無端ベルトを有する回転装
置と、前記回転装置の無端ベルトに適宜間隔を置いて設
けられたディスク成形品のための保持部と、前記保持部
に対してディスク成形品を前記冷却チャンバ内外の間で
受け渡しする受け渡し装置とからなることを特徴とする
ディスク成形品の冷却装置に係る。
冷却部と排気部を有する冷却チャンバと、前記チャンバ
内で上下方向に連続回転する無端ベルトを有する回転装
置と、前記回転装置の無端ベルトに適宜間隔を置いて設
けられたディスク成形品のための保持部と、前記保持部
に対してディスク成形品を前記冷却チャンバ内外の間で
受け渡しする受け渡し装置とからなることを特徴とする
ディスク成形品の冷却装置に係る。
【０００７】
【実施例】以下添付の図面に従ってこの発明を詳細に説
明する。図１はこの発明のディスク成形品の冷却装置の
一例を示す縦断面図、図２はその側部から見た断面図、
図３は回転装置の一例を示す正面図、図４はその４−４
線における断面図である。
明する。図１はこの発明のディスク成形品の冷却装置の
一例を示す縦断面図、図２はその側部から見た断面図、
図３は回転装置の一例を示す正面図、図４はその４−４
線における断面図である。
【０００８】図１および図２に示されるように、この発
明のディスク成形品の冷却装置１０は冷却チャンバ１１
と回転装置２０と保持部３０と受け渡し装置４０とから
なり、前記したようなインライン方式によるディスク成
形品の成形に好適に用いられる。
明のディスク成形品の冷却装置１０は冷却チャンバ１１
と回転装置２０と保持部３０と受け渡し装置４０とから
なり、前記したようなインライン方式によるディスク成
形品の成形に好適に用いられる。
【０００９】冷却チャンバ１１は適宜の大きさの箱形状
に形成され、冷却用のエアが送り込まれる冷却部１２
と、チャンバ内を循環した冷却エアを排出する排気部１
３とを有している。なお、少ないスペースで多数枚のデ
ィスク成形品を処理するために、前記冷却チャンバ１１
は縦長形状に形成されることが好ましい。
に形成され、冷却用のエアが送り込まれる冷却部１２
と、チャンバ内を循環した冷却エアを排出する排気部１
３とを有している。なお、少ないスペースで多数枚のデ
ィスク成形品を処理するために、前記冷却チャンバ１１
は縦長形状に形成されることが好ましい。
【００１０】冷却部１２は前記冷却チャンバ１１の下方
壁部に設けられ、図示しない機外のエアポンプなどによ
りチャンバ１１内に冷却エアを送る。符号１８はフィル
ターである。また、排気部１３は前記冷却チャンバ１１
の上方壁部に設けられ、前記チャンバ１１内を循環しデ
ィスク成形品の温度によって温められたエアをチャンバ
１１外に排気する。
壁部に設けられ、図示しない機外のエアポンプなどによ
りチャンバ１１内に冷却エアを送る。符号１８はフィル
ターである。また、排気部１３は前記冷却チャンバ１１
の上方壁部に設けられ、前記チャンバ１１内を循環しデ
ィスク成形品の温度によって温められたエアをチャンバ
１１外に排気する。
【００１１】回転装置２０は、図示しないモーターなど
によって回転する４つのギア部材２１よりなり、その周
囲に設けられた無端ベルト２２によって環状に連結され
ている。図３に示されるように、この無端ベルト２２の
内周面には歯２４が設けられ、前記ギア部材２１の歯２
３と噛み合っている。無端ベルト２２は、当該ギア部材
２１が回転することにより、その周囲を上下方向に連続
的に回転移動する。
によって回転する４つのギア部材２１よりなり、その周
囲に設けられた無端ベルト２２によって環状に連結され
ている。図３に示されるように、この無端ベルト２２の
内周面には歯２４が設けられ、前記ギア部材２１の歯２
３と噛み合っている。無端ベルト２２は、当該ギア部材
２１が回転することにより、その周囲を上下方向に連続
的に回転移動する。
【００１２】前記無端ベルト２２の外周面には、適宜の
間隔を置いてディスク成形品のための保持部３０が設け
られている。この保持部３０は、ベアリング部材３１と
保持アーム３２とディスク保持部材３３とからなる。ベ
アリング部材３１は前記無端ベルト２２の外周面に取り
付けられ、保持アーム３２をその軸を中心に回動自在に
かつ略水平に保持する。保持アーム３２はそのほぼ中央
に屈曲部３４が設けられ、一端は前記ベアリング部材３
１に保持され他端にはディスク保持部材３３を有してい
る。ディスク保持部材３３は、前記保持アーム３１の先
端から略垂直状に突設されており、ディスクＤの中心孔
ｄに挿入されディスクＤを水平保持するようになってい
る。
間隔を置いてディスク成形品のための保持部３０が設け
られている。この保持部３０は、ベアリング部材３１と
保持アーム３２とディスク保持部材３３とからなる。ベ
アリング部材３１は前記無端ベルト２２の外周面に取り
付けられ、保持アーム３２をその軸を中心に回動自在に
かつ略水平に保持する。保持アーム３２はそのほぼ中央
に屈曲部３４が設けられ、一端は前記ベアリング部材３
１に保持され他端にはディスク保持部材３３を有してい
る。ディスク保持部材３３は、前記保持アーム３１の先
端から略垂直状に突設されており、ディスクＤの中心孔
ｄに挿入されディスクＤを水平保持するようになってい
る。
【００１３】この保持部３０によれば、ディスク成形品
は前記ディスク保持部材３３に保持されつつ、前記無端
ベルト２２の回転に伴って、冷却チャンバ１１内を周回
して冷却される。その際、前記保持アーム３１の屈曲部
３４が錘として機能するため、前記無端ベルト２２が回
転して保持部３０の向きが変わっても、ベアリング部材
３１によって保持アーム３２が回動し、ディスク保持部
材３３は常に垂直方向に保たれる。したがって、冷却チ
ャンバ１１内でのディスク成形品Ｄを水平状態で保持す
ることができる。なお、図４のように、ベアリング部材
３１に保持されている保持アーム３２の端部３６を下方
に屈曲させることにより、さらに錘の効果が加わってデ
ィスクを水平に確実に保持することができる。符号３５
は止め輪である。
は前記ディスク保持部材３３に保持されつつ、前記無端
ベルト２２の回転に伴って、冷却チャンバ１１内を周回
して冷却される。その際、前記保持アーム３１の屈曲部
３４が錘として機能するため、前記無端ベルト２２が回
転して保持部３０の向きが変わっても、ベアリング部材
３１によって保持アーム３２が回動し、ディスク保持部
材３３は常に垂直方向に保たれる。したがって、冷却チ
ャンバ１１内でのディスク成形品Ｄを水平状態で保持す
ることができる。なお、図４のように、ベアリング部材
３１に保持されている保持アーム３２の端部３６を下方
に屈曲させることにより、さらに錘の効果が加わってデ
ィスクを水平に確実に保持することができる。符号３５
は止め輪である。
【００１４】受け渡し装置４０は、図１および図２に示
したように、前記冷却チャンバ１１の上方の開口部１４
近傍に設けられ、上下にディスク保持部４２，４３を有
している。このディスク保持部４２，４３は吸盤部より
なり、エアの切替えによってディスク成形品Ｄを吸着し
または開放するようになっている。受け渡し装置４０
は、搬送ロボット１５によって射出装置から送られるデ
ィスク成形品Ｄを冷却チャンバ１１内に導入するととも
に、冷却終了したディスク成形品Ｄを前記冷却チャンバ
１１外に取り出すためのもので、公知の回転駆動装置４
１によって１８０°毎に回転自在に構成されている。す
なわち、前記ディスク保持部４２，４３にディスク成形
品Ｄを保持したところで、受け渡し装置４０を１８０°
回転させることにより、冷却チャンバ１１内のディスク
Ｄ２を外へ、前記チャンバ１１外のディスクＤ１をチャ
ンバ内へと受け渡しする。
したように、前記冷却チャンバ１１の上方の開口部１４
近傍に設けられ、上下にディスク保持部４２，４３を有
している。このディスク保持部４２，４３は吸盤部より
なり、エアの切替えによってディスク成形品Ｄを吸着し
または開放するようになっている。受け渡し装置４０
は、搬送ロボット１５によって射出装置から送られるデ
ィスク成形品Ｄを冷却チャンバ１１内に導入するととも
に、冷却終了したディスク成形品Ｄを前記冷却チャンバ
１１外に取り出すためのもので、公知の回転駆動装置４
１によって１８０°毎に回転自在に構成されている。す
なわち、前記ディスク保持部４２，４３にディスク成形
品Ｄを保持したところで、受け渡し装置４０を１８０°
回転させることにより、冷却チャンバ１１内のディスク
Ｄ２を外へ、前記チャンバ１１外のディスクＤ１をチャ
ンバ内へと受け渡しする。
【００１５】この実施例において、前記保持部３０と受
け渡し装置４０との間には、中間受け渡し装置７０が設
けられている。この中間受け渡し装置７０はシリンダ装
置７１によって、前記保持部３０と受け渡し装置４０と
の間を上下動しかつ１８０°毎に回転自在に構成され、
前記保持部３０と受け渡し装置４０との間でディスク成
形品を受け渡しする。この中間受け渡し装置７０には、
前記した受け渡し装置４０と同様に、ディスク保持部７
２が設けられており、ディスク成形品を吸着しまたは開
放する。
け渡し装置４０との間には、中間受け渡し装置７０が設
けられている。この中間受け渡し装置７０はシリンダ装
置７１によって、前記保持部３０と受け渡し装置４０と
の間を上下動しかつ１８０°毎に回転自在に構成され、
前記保持部３０と受け渡し装置４０との間でディスク成
形品を受け渡しする。この中間受け渡し装置７０には、
前記した受け渡し装置４０と同様に、ディスク保持部７
２が設けられており、ディスク成形品を吸着しまたは開
放する。
【００１６】前記中間受け渡し装置７０は、まず開口部
１４方向に上昇して前記受け渡し装置４０からディスク
成形品を受け取ると、１８０°回転しつつ下降して直下
の保持部３０上でディスクを開放しディスク保持部材３
３に乗せる。無端ベルト２２の作動によって、次の保持
部３０が前記中間受け渡し装置７０の直下に移動する
と、前記中間受け渡し装置７０のディスク保持部７２に
冷却完了したディスク成形品が吸着され上昇しつつ１８
０°回転して受け渡し部材４０へと渡される。
１４方向に上昇して前記受け渡し装置４０からディスク
成形品を受け取ると、１８０°回転しつつ下降して直下
の保持部３０上でディスクを開放しディスク保持部材３
３に乗せる。無端ベルト２２の作動によって、次の保持
部３０が前記中間受け渡し装置７０の直下に移動する
と、前記中間受け渡し装置７０のディスク保持部７２に
冷却完了したディスク成形品が吸着され上昇しつつ１８
０°回転して受け渡し部材４０へと渡される。
【００１７】次に、この発明の冷却装置を用いた、イン
ライン方式によるディスク成形品の冷却方法について示
す。冷却されるディスク成形品Ｄ１は、搬送ロボット１
５によって、図示しない成形機から受け渡し装置４０上
方に送られ、上側のディスク保持部４２に吸着保持され
る。一方、下側のディスク保持部４３には、中間受け渡
し装置７０を介して、その直下の保持部３０に保持され
ていたディスク成形品Ｄ２が吸着される。このディスク
成形品Ｄ２は、無端ベルト２２の回転によって冷却チャ
ンバ１１内を周回しており、ディスク保持部４３に保持
されるときには、その熱が完全に除去され冷却は完了し
ている。
ライン方式によるディスク成形品の冷却方法について示
す。冷却されるディスク成形品Ｄ１は、搬送ロボット１
５によって、図示しない成形機から受け渡し装置４０上
方に送られ、上側のディスク保持部４２に吸着保持され
る。一方、下側のディスク保持部４３には、中間受け渡
し装置７０を介して、その直下の保持部３０に保持され
ていたディスク成形品Ｄ２が吸着される。このディスク
成形品Ｄ２は、無端ベルト２２の回転によって冷却チャ
ンバ１１内を周回しており、ディスク保持部４３に保持
されるときには、その熱が完全に除去され冷却は完了し
ている。
【００１８】続いて、前記シリンダ装置４１の作動によ
り受け渡し装置４０が１８０°回転すると、上側ディス
ク保持部４２と下側ディスク保持部４３の位置が逆転
し、これから冷却されるディスク成形品Ｄ１が冷却チャ
ンバ１１内に導入される。そして、先に取り出されたデ
ィスク成形品Ｄ２が保持されていたディスク保持部材３
３に、未冷却のディスク成形品Ｄ１が保持される。
り受け渡し装置４０が１８０°回転すると、上側ディス
ク保持部４２と下側ディスク保持部４３の位置が逆転
し、これから冷却されるディスク成形品Ｄ１が冷却チャ
ンバ１１内に導入される。そして、先に取り出されたデ
ィスク成形品Ｄ２が保持されていたディスク保持部材３
３に、未冷却のディスク成形品Ｄ１が保持される。
【００１９】冷却完了したディスク成形品Ｄ２は開口部
１４を介して外部に取り出され、搬送ロボット１６によ
ってさらに後工程へ搬送される。チャンバ１１内に導入
されたディスク成形品Ｄ１は、無端ベルト２２の回転に
よってチャンバ１１内を一周し、再び受け渡し装置４０
によってチャンバ外へ受け渡される。
１４を介して外部に取り出され、搬送ロボット１６によ
ってさらに後工程へ搬送される。チャンバ１１内に導入
されたディスク成形品Ｄ１は、無端ベルト２２の回転に
よってチャンバ１１内を一周し、再び受け渡し装置４０
によってチャンバ外へ受け渡される。
【００２０】この冷却装置１０によれば、ディスク成形
品Ｄは保持部３０に保持されチャンバ１１内を周回させ
ることにより、充分な時間をかけて冷却することができ
るので、成形品の変形や歪みの発生を抑えることができ
る。また、少ないスペースで多数枚のディスク成形品を
冷却することができ、冷却作業を効率的に行うことがで
きる また、前記冷却部１２から６０〜１２０℃の温調エアを
吹き込むことにより、冷却と同時にアニーリング処理も
行うことができる。
品Ｄは保持部３０に保持されチャンバ１１内を周回させ
ることにより、充分な時間をかけて冷却することができ
るので、成形品の変形や歪みの発生を抑えることができ
る。また、少ないスペースで多数枚のディスク成形品を
冷却することができ、冷却作業を効率的に行うことがで
きる また、前記冷却部１２から６０〜１２０℃の温調エアを
吹き込むことにより、冷却と同時にアニーリング処理も
行うことができる。
【００２１】
【発明の効果】以上図示し説明したように、この発明の
ディスク成形品の冷却装置によれば、少ないスペースで
多数枚のディスク成形品を充分な時間をかけて冷却する
ことができる。したがって、ディスク成形品を連続的に
製造するインライン方式において極めて好適で、省スペ
ースを実現することができるだけでなく、得られた成形
品には熱歪みなどの発生もなく電気特性は良好である。
ディスク成形品の冷却装置によれば、少ないスペースで
多数枚のディスク成形品を充分な時間をかけて冷却する
ことができる。したがって、ディスク成形品を連続的に
製造するインライン方式において極めて好適で、省スペ
ースを実現することができるだけでなく、得られた成形
品には熱歪みなどの発生もなく電気特性は良好である。
【図１】この発明の冷却装置の一例を示す縦断面図であ
る。
る。
【図２】その側部から見た断面図である。
【図３】回転装置の一例を示す正面図である。
【図４】その４−４線における断面図である。
【図５】一般的なインライン方式によるディスク成形品
の成形装置の一例を示す平面図である。
の成形装置の一例を示す平面図である。
【図６】成形品の冷却装置の一例を示す正面図である。
１０ 冷却装置 １１ 冷却チャンバ １２ 冷却部 １３ 排気部 ２０ 回転装置 ２２ 無端ベルト ３０ 保持部 ４０ 受け渡し装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B29C 35/16 B29C 45/17 - 45/84 B29C 71/00
Claims (1)
- 【請求項１】 冷却部と排気部を有する冷却チャンバ
と、 前記チャンバ内で上下方向に連続回転する無端ベルトを
有する回転装置と、 前記回転装置の無端ベルトに適宜間隔を置いて設けられ
たディスク成形品のための保持部と、 前記保持部に対してディスク成形品を前記冷却チャンバ
内外の間で受け渡しする受け渡し装置とからなることを
特徴とするディスク成形品の冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15151193A JP3210140B2 (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | ディスク成形品の冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15151193A JP3210140B2 (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | ディスク成形品の冷却装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06335924A JPH06335924A (ja) | 1994-12-06 |
| JP3210140B2 true JP3210140B2 (ja) | 2001-09-17 |
Family
ID=15520114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15151193A Expired - Fee Related JP3210140B2 (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | ディスク成形品の冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3210140B2 (ja) |
-
1993
- 1993-05-28 JP JP15151193A patent/JP3210140B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06335924A (ja) | 1994-12-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1393825A1 (en) | Disassembling method of electronic appliance and disassembling apparatus thereof | |
| JPH11502812A (ja) | フリーズドライ方法及び装置 | |
| JPS63162436A (ja) | カ−トン取出し装置 | |
| JPH07125841A (ja) | 長尺ウェブ巻取物の転倒装置 | |
| JP3210140B2 (ja) | ディスク成形品の冷却装置 | |
| JP2003257945A5 (ja) | ||
| US6162042A (en) | Rotary molding system | |
| JP2706905B2 (ja) | ディスク状射出成形品の静電気除去および冷却装置 | |
| JPH0560660B2 (ja) | ||
| JP4105420B2 (ja) | ガラス熱処理システム | |
| JPH11345435A (ja) | 光ディスク基板の搬送方法および搬送装置 | |
| JPH11292275A (ja) | 成形品取出し装置 | |
| JP3771092B2 (ja) | プリフォームの搬出装置及び方法 | |
| JPS6296335A (ja) | ガラス成形品の取出し徐光装置 | |
| JP2982281B2 (ja) | ウエハスクラバ装置 | |
| JP3467341B2 (ja) | ブロー成形機 | |
| JP4290307B2 (ja) | ディスク状プラスチック成形品の冷却装置 | |
| JPH09132309A (ja) | 基板搬送装置 | |
| JP3138291B2 (ja) | 半導体ウエハの熱処理方法 | |
| JPH11314248A (ja) | ディスク基板の冷却・ストック方法および冷却・ストック装置 | |
| JP3656992B2 (ja) | 成形物の処理方法及び処理装置 | |
| JPH055722B2 (ja) | ||
| JPH0476882B2 (ja) | ||
| JPH08136144A (ja) | 連続式熱処理炉 | |
| JPS6141237Y2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |