JP3202316B2 - 読取ヘッド - Google Patents
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- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/245—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
- G01D5/2454—Encoders incorporating incremental and absolute signals
- G01D5/2455—Encoders incorporating incremental and absolute signals with incremental and absolute tracks on the same encoder
- G01D5/2457—Incremental encoders having reference marks
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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-
- G—PHYSICS
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- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はクアドラチュア（直角位
相関係にある）出力を発生するデバイスをセットアップ
するのに役立つ装置に関するものである。斯種の装置
は、座標測長機または工作機械に用いて斯種機械の固定
部に対する可動部の位置を測定するような、スケールと
読取ヘッドをセットアップするのに有効である。
相関係にある）出力を発生するデバイスをセットアップ
するのに役立つ装置に関するものである。斯種の装置
は、座標測長機または工作機械に用いて斯種機械の固定
部に対する可動部の位置を測定するような、スケールと
読取ヘッドをセットアップするのに有効である。
【０００２】
【従来の技術】斯種のスケールおよび読取ヘッドで、読
取ヘッドが２つの正弦波出力をクアドラチュアに発生す
るようにしたものは周知である。これらの出力は、クア
ドラチュア出力信号のサイクルを計数するための他の回
路に供給して、位置を測定することができる。上記他の
回路は、どちらのクアドラチュア信号が他方の信号より
も先行しているかを求めることにより読取ヘッドの移動
方向を求めたりおよび／または出力の１サイクル内で位
置の補間をとったりすることもできる。良好な結果を得
るために、例えばスケールから適当な距離離れた所で読
取ヘッドをスケールに対して正確に整列するようにセッ
トアップして、良好な信号レベルを達成すべきことは勿
論である。
取ヘッドが２つの正弦波出力をクアドラチュアに発生す
るようにしたものは周知である。これらの出力は、クア
ドラチュア出力信号のサイクルを計数するための他の回
路に供給して、位置を測定することができる。上記他の
回路は、どちらのクアドラチュア信号が他方の信号より
も先行しているかを求めることにより読取ヘッドの移動
方向を求めたりおよび／または出力の１サイクル内で位
置の補間をとったりすることもできる。良好な結果を得
るために、例えばスケールから適当な距離離れた所で読
取ヘッドをスケールに対して正確に整列するようにセッ
トアップして、良好な信号レベルを達成すべきことは勿
論である。
【０００３】斯様な目的のためのセットアップ装置につ
いては本願人の先の出願に係る国際特許出願公開明細書
ＷＯ９０／０２９５６号に開示されている。実際上、こ
のような装置は読取ヘッドの外側に設けて、読取ヘッド
からの２つの正弦波状のクアドラチュア出力を受信する
ようにしている。
いては本願人の先の出願に係る国際特許出願公開明細書
ＷＯ９０／０２９５６号に開示されている。実際上、こ
のような装置は読取ヘッドの外側に設けて、読取ヘッド
からの２つの正弦波状のクアドラチュア出力を受信する
ようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、正弦波
状でなく、方形波のクアドラチュア出力を発生する読取
ヘッドの需要がある。これは読取ヘッド内にゼロ交差検
出器を設けて、正弦波状の信号を読取ヘッドから出力す
る前にこれらの信号を方形波にすることにより達成する
ことができる。しかしこの場合、前記ＷＯ９０／０２９
５６号に開示されている外部セットアップ装置は斯様な
方形波出力信号では作動しないために問題がある。
状でなく、方形波のクアドラチュア出力を発生する読取
ヘッドの需要がある。これは読取ヘッド内にゼロ交差検
出器を設けて、正弦波状の信号を読取ヘッドから出力す
る前にこれらの信号を方形波にすることにより達成する
ことができる。しかしこの場合、前記ＷＯ９０／０２９
５６号に開示されている外部セットアップ装置は斯様な
方形波出力信号では作動しないために問題がある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、スケールに沿
って横送りされるときに信号を発生する読取ヘッドであ
って、ハウジングと；このハウジングに内蔵され、前記
スケールの目盛を検知すると共にこれに応答してクアド
ラチュアの信号を発生する目盛検知手段と；前記ハウジ
ングに内蔵され、読取ヘッドの適切なセットアップを示
す前記クアドラチュア信号のレベルを検出するためのセ
ットアップ検出手段とを具え、前記セットアップ検出手
段により前記信号レベルが所定レベル以上か、以下であ
るかを識別して、所定レベル以下では前記信号は使用で
きるも、最適な信号ではない旨のそれ相当の指示を与え
るようにしたことを特徴とする。
って横送りされるときに信号を発生する読取ヘッドであ
って、ハウジングと；このハウジングに内蔵され、前記
スケールの目盛を検知すると共にこれに応答してクアド
ラチュアの信号を発生する目盛検知手段と；前記ハウジ
ングに内蔵され、読取ヘッドの適切なセットアップを示
す前記クアドラチュア信号のレベルを検出するためのセ
ットアップ検出手段とを具え、前記セットアップ検出手
段により前記信号レベルが所定レベル以上か、以下であ
るかを識別して、所定レベル以下では前記信号は使用で
きるも、最適な信号ではない旨のそれ相当の指示を与え
るようにしたことを特徴とする。
【０００６】要約するに、本発明は、読取ヘッドの適切
なセットアップを示す信号レベルを検出するための回路
を一様に内蔵した読取ヘッドにある。読取ヘッドにはス
ケールの目盛を検出し、それに応答してクアドラチュア
信号を発生する検知手段を設けることができ、この場合
に前記信号レベルを検出する回路は検知手段の出力に作
用して、スケールに対する読取ヘッドの適切なセットア
ップの指示を与える。検知手段のクアドラチュア出力は
読取ヘッドから方形波クアドラチュア出力を発生するス
クエアリング手段に供給することもできる。
なセットアップを示す信号レベルを検出するための回路
を一様に内蔵した読取ヘッドにある。読取ヘッドにはス
ケールの目盛を検出し、それに応答してクアドラチュア
信号を発生する検知手段を設けることができ、この場合
に前記信号レベルを検出する回路は検知手段の出力に作
用して、スケールに対する読取ヘッドの適切なセットア
ップの指示を与える。検知手段のクアドラチュア出力は
読取ヘッドから方形波クアドラチュア出力を発生するス
クエアリング手段に供給することもできる。
【０００７】前記信号レベル検出回路は読取ヘッド内に
設けるのが好適であるが、これは必ずしもそのようにす
る必要はなく、本発明の或る実施例では斯様な回路を読
取ヘッドの外部に設けるようにする。
設けるのが好適であるが、これは必ずしもそのようにす
る必要はなく、本発明の或る実施例では斯様な回路を読
取ヘッドの外部に設けるようにする。
【０００８】本発明の好適な形態では、本発明は、スケ
ールの目盛を検知すると共にそれからクアドラチュア信
号を発生する目盛検知手段と、セットアップ検出手段
（読取ヘッドの内部または外部に設けられる）とを具え
ている読取ヘッドであって、前記セットアップ検出手段
が：前記クアドラチュア信号の内の第１クアドラチュア
信号に作用し、この第１クアドラチュア信号と、しきい
値とを比較し、このしきい値以下では前記第１信号は使
用できるも、最適な信号ではないものとして、第１クア
ドラチュア信号が前記しきい値以下の場合に出力を発生
する第１比較器と；前記クアドラチュア信号の内の第２
クアドラチュア信号に作用し、この第２クアドラチュア
信号と、しきい値とを比較し、このしきい値以下では前
記第２信号は使用できるも、最適な信号ではないものと
して、第２クアドラチュア信号が前記しきい値以下の場
合に出力を発生する第２比較器と；前記２つの比較器の
出力端子に接続され、双方のクアドラチュア出力が同時
にそれぞれ前記しきい値以下となる場合に指示を与える
手段と；を具えていることを特徴とする。
ールの目盛を検知すると共にそれからクアドラチュア信
号を発生する目盛検知手段と、セットアップ検出手段
（読取ヘッドの内部または外部に設けられる）とを具え
ている読取ヘッドであって、前記セットアップ検出手段
が：前記クアドラチュア信号の内の第１クアドラチュア
信号に作用し、この第１クアドラチュア信号と、しきい
値とを比較し、このしきい値以下では前記第１信号は使
用できるも、最適な信号ではないものとして、第１クア
ドラチュア信号が前記しきい値以下の場合に出力を発生
する第１比較器と；前記クアドラチュア信号の内の第２
クアドラチュア信号に作用し、この第２クアドラチュア
信号と、しきい値とを比較し、このしきい値以下では前
記第２信号は使用できるも、最適な信号ではないものと
して、第２クアドラチュア信号が前記しきい値以下の場
合に出力を発生する第２比較器と；前記２つの比較器の
出力端子に接続され、双方のクアドラチュア出力が同時
にそれぞれ前記しきい値以下となる場合に指示を与える
手段と；を具えていることを特徴とする。
【０００９】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。
に説明する。
【００１０】図１は、例えば工作機械または座標測長機
（ＣＭＭ）の相対的可動部１１に固着したハウジング１
０を有している読取ヘッドを示す。この読取ヘッドのハ
ウジング１０は図に矢印にて示すようにスケール１２に
沿って横送り可能である。スケール１２は工作機械また
は座標測長機の相対的固定部１４に取付けられている。
スケール１２は、その長さ方向に沿って例えば２０μｍ
の間隔で離間させた周期的な目盛を有しており、読取ヘ
ッドハウジング１０は目盛が読取ヘッドを通過するとき
にこれらの目盛を検出すると共に読取ヘッドを動かすと
直角位相関係（正弦および余弦）にある（クアドラチュ
アの）２つの正弦波状出力信号を発生するためのセンサ
１５（図２）を収容している。このようなセンサは周知
であり、例えば米国特許第４，９５９，５４２号および
第４，９４９，２８９号に開示されている。
（ＣＭＭ）の相対的可動部１１に固着したハウジング１
０を有している読取ヘッドを示す。この読取ヘッドのハ
ウジング１０は図に矢印にて示すようにスケール１２に
沿って横送り可能である。スケール１２は工作機械また
は座標測長機の相対的固定部１４に取付けられている。
スケール１２は、その長さ方向に沿って例えば２０μｍ
の間隔で離間させた周期的な目盛を有しており、読取ヘ
ッドハウジング１０は目盛が読取ヘッドを通過するとき
にこれらの目盛を検出すると共に読取ヘッドを動かすと
直角位相関係（正弦および余弦）にある（クアドラチュ
アの）２つの正弦波状出力信号を発生するためのセンサ
１５（図２）を収容している。このようなセンサは周知
であり、例えば米国特許第４，９５９，５４２号および
第４，９４９，２８９号に開示されている。
【００１１】図２は図１の読取ヘッド１０内に入れる回
路の回路図であり、センサ１５からのクアドラチュアの
２つの正弦波状の出力をそれぞれライン１６，１８を経
てスクエアリング回路２０，２２に供給する。これらの
スクエアリング回路は慣例のものであり、これらはそれ
ぞれのライン２４，２６にクアドラチュアの方形波出力
を発生するようにゼロ交差検出器を具えている。前記方
形波出力は読取ヘッド１０の主出力であり、図１に示す
ように外部カウンタ２８に取り出される。カウンタ２８
は全く慣例のものであり、これは工作機械またはＣＭＭ
の制御部３４内に入れる。カウンタ２８はライン２４，
２６に現われる方形波のサイクル数を計数し、それに応
じて出力を発生し、この出力は読取ヘッド１０がスケー
ル１２に沿って横送りした距離を示す。カウンタ２８は
上向きに計数するのか、下向きに計数するのかを決める
ために方形波の相対位相から読取ヘッドの移動方向も検
出する。
路の回路図であり、センサ１５からのクアドラチュアの
２つの正弦波状の出力をそれぞれライン１６，１８を経
てスクエアリング回路２０，２２に供給する。これらの
スクエアリング回路は慣例のものであり、これらはそれ
ぞれのライン２４，２６にクアドラチュアの方形波出力
を発生するようにゼロ交差検出器を具えている。前記方
形波出力は読取ヘッド１０の主出力であり、図１に示す
ように外部カウンタ２８に取り出される。カウンタ２８
は全く慣例のものであり、これは工作機械またはＣＭＭ
の制御部３４内に入れる。カウンタ２８はライン２４，
２６に現われる方形波のサイクル数を計数し、それに応
じて出力を発生し、この出力は読取ヘッド１０がスケー
ル１２に沿って横送りした距離を示す。カウンタ２８は
上向きに計数するのか、下向きに計数するのかを決める
ために方形波の相対位相から読取ヘッドの移動方向も検
出する。
【００１２】読取ヘッド１０がライン２４，２６にクア
ドラチュアの方形波を発生するということは、必要に応
じて方形波入力を期待する既存の機械の制御部３４に斯
種の読取ヘッドを適用するのが容易であることを意味し
ている。ライン２４，２６に本来ディジタル信号を用い
ても、このような信号は雑音に対する免疫（ｉｍｍｕｎ
ｉｔｙ）が良好なため、相互接続配線を容易に、しかも
安価に行うことができる。
ドラチュアの方形波を発生するということは、必要に応
じて方形波入力を期待する既存の機械の制御部３４に斯
種の読取ヘッドを適用するのが容易であることを意味し
ている。ライン２４，２６に本来ディジタル信号を用い
ても、このような信号は雑音に対する免疫（ｉｍｍｕｎ
ｉｔｙ）が良好なため、相互接続配線を容易に、しかも
安価に行うことができる。
【００１３】図２には誤差検出回路３０も示してあり、
これは読取ヘッドの正常の作動時にライン１６，１８の
正弦波および余弦波信号のレベルが信頼できないか、ま
たは使用できないような低レベルにある場合に読取ヘッ
ド１０から機械の制御部３４にライン３２で誤差信号を
供給する。この誤差信号が発生する状況は図３から理解
することができる。図３はライン１６，１８における正
弦波および余弦波信号をオシロスコープのｘおよびｙ入
力端子にそれぞれ供給した場合に得られる円形のリサー
ジュ図形３６を示している。この仮想リサージュ図形３
６は、読取ヘッド１０がスケール１２に対して正しく整
列している場合にだけ図示のように完全な円となるので
ある。さらに、読取ヘッドとスケールとの離間距離が正
確にセットアップされていない場合には、リサージュ図
形３６の半径が図示のものよりも小さくなる。誤差検出
回路３０の効果は、図３のリサージュ線図に小さな正方
形として表わした誤差領域４０を規定することにある。
ライン１６，１８の信号により発生される仮想リサージ
ュ図形が、例えば線４２で示すように誤差領域４０内に
完全に、または部分的に落ちる場合には、ライン３２に
誤差信号が発生して、機械の制御部３４が運転を停止し
たり、アラームを作動させたりする。線４２で示すよう
にリサージュ図形がくずれるのは、読取ヘッドがスケー
ルに対して誤整列したり、またはスケールからの離間距
離の調整が誤ったりする場合に生ずる。
これは読取ヘッドの正常の作動時にライン１６，１８の
正弦波および余弦波信号のレベルが信頼できないか、ま
たは使用できないような低レベルにある場合に読取ヘッ
ド１０から機械の制御部３４にライン３２で誤差信号を
供給する。この誤差信号が発生する状況は図３から理解
することができる。図３はライン１６，１８における正
弦波および余弦波信号をオシロスコープのｘおよびｙ入
力端子にそれぞれ供給した場合に得られる円形のリサー
ジュ図形３６を示している。この仮想リサージュ図形３
６は、読取ヘッド１０がスケール１２に対して正しく整
列している場合にだけ図示のように完全な円となるので
ある。さらに、読取ヘッドとスケールとの離間距離が正
確にセットアップされていない場合には、リサージュ図
形３６の半径が図示のものよりも小さくなる。誤差検出
回路３０の効果は、図３のリサージュ線図に小さな正方
形として表わした誤差領域４０を規定することにある。
ライン１６，１８の信号により発生される仮想リサージ
ュ図形が、例えば線４２で示すように誤差領域４０内に
完全に、または部分的に落ちる場合には、ライン３２に
誤差信号が発生して、機械の制御部３４が運転を停止し
たり、アラームを作動させたりする。線４２で示すよう
にリサージュ図形がくずれるのは、読取ヘッドがスケー
ルに対して誤整列したり、またはスケールからの離間距
離の調整が誤ったりする場合に生ずる。
【００１４】誤差検出回路３０は２つのウィンドウ比較
器を具えている。第１ウィンドウ比較器は２個のしきい
値比較器４４を具えており、これらの比較器はライン１
８の正弦波信号を正方形４０の対向する２辺の電圧に相
当する正および負の基準しきい値電圧Ｖpos およびＶ
neg とそれぞれ比較する。同様に、第２ウィンドウ比較
器も２個のしきい値比較器４６を具えており、これらの
比較器はライン１６の余弦波信号を正方形４０の他の２
辺の電圧に相当する同じ基準しきい値電圧Ｖposおよび
Ｖneg とそれぞれ比較する。４個の比較器４４，４６の
出力端子をワイヤード・オア構造に一緒に接続して、ラ
イン３２に誤差信号を与える。ワイヤード・オア構造と
は、ライン１８の正弦波信号がしきい値電圧Ｖpos とＶ
neg との狭い範囲内にあり、また同時にライン１６の余
弦波信号が同じくＶpos とＶneg との間の範囲内にある
場合にだけライン３２の信号が高レベルとなるようなも
のである。このようにライン３２の信号が高レベルとな
るのは、図３の線４２が方形波４０内に位置する瞬時に
相当する。読取ヘッドが満足に機能している時には常に
仮想リサージュ図形が小さな正方形４０の外にあり、ラ
イン３２に誤差信号は現われない。
器を具えている。第１ウィンドウ比較器は２個のしきい
値比較器４４を具えており、これらの比較器はライン１
８の正弦波信号を正方形４０の対向する２辺の電圧に相
当する正および負の基準しきい値電圧Ｖpos およびＶ
neg とそれぞれ比較する。同様に、第２ウィンドウ比較
器も２個のしきい値比較器４６を具えており、これらの
比較器はライン１６の余弦波信号を正方形４０の他の２
辺の電圧に相当する同じ基準しきい値電圧Ｖposおよび
Ｖneg とそれぞれ比較する。４個の比較器４４，４６の
出力端子をワイヤード・オア構造に一緒に接続して、ラ
イン３２に誤差信号を与える。ワイヤード・オア構造と
は、ライン１８の正弦波信号がしきい値電圧Ｖpos とＶ
neg との狭い範囲内にあり、また同時にライン１６の余
弦波信号が同じくＶpos とＶneg との間の範囲内にある
場合にだけライン３２の信号が高レベルとなるようなも
のである。このようにライン３２の信号が高レベルとな
るのは、図３の線４２が方形波４０内に位置する瞬時に
相当する。読取ヘッドが満足に機能している時には常に
仮想リサージュ図形が小さな正方形４０の外にあり、ラ
イン３２に誤差信号は現われない。
【００１５】しかし、誤差検出回路３０は装置の正常な
作動における誤りを検出するのにだけ有効であり、この
ためには比較的小さな誤差領域４０に相当する比較的小
さなしきい値が必要である。このような回路は読取ヘッ
ドをスケールに対して初期設定（セットアップ）するの
にはあまり使用されない。その理由は、リサージュ図形
が丁度正方形の誤差領域４０の外側に落ちるように読取
ヘッドをセットアップしても、ライン１６，１８の正弦
波および余弦波信号が所望な大きさの最適値を有するよ
うになり、しかもこれらの信号が使用時に誤差領域４０
内にあまり急速に押し戻されないようにすることはでき
ないからである。
作動における誤りを検出するのにだけ有効であり、この
ためには比較的小さな誤差領域４０に相当する比較的小
さなしきい値が必要である。このような回路は読取ヘッ
ドをスケールに対して初期設定（セットアップ）するの
にはあまり使用されない。その理由は、リサージュ図形
が丁度正方形の誤差領域４０の外側に落ちるように読取
ヘッドをセットアップしても、ライン１６，１８の正弦
波および余弦波信号が所望な大きさの最適値を有するよ
うになり、しかもこれらの信号が使用時に誤差領域４０
内にあまり急速に押し戻されないようにすることはでき
ないからである。
【００１６】こうした問題点を克服するために、読取ヘ
ッドはセットアップ回路５２を具えている。この回路は
２個の別のウィンドウ比較器を具えており、これらの比
較器もライン１６，１８から到来する正弦波および余弦
波信号を受信する。しかし、誤差検出回路３０とは異な
り、このセットアップ回路５２は抵抗分圧器５４を具え
ており、これは到来する正弦波および余弦波信号をこの
特定の例では約１／３にする。なお、一般にこの値は電
源電圧；信号のダイナミックレンジ（誤差領域）；許容
可能な信号の限定サイズに応じて変えることができる。
上記２つのウィンドウ比較器の内で最初のものは２個の
しきい値比較器５６を具えており、これらの比較器は正
弦波信号（ライン１８の正弦波信号の１／３）を正およ
び負の基準しきい値電圧Ｖpos およびＶneg とそれぞれ
比較する。第２ウィンドウ比較器は２個のしきい値比較
器５８を具えており、これらの比較器はライン１６の信
号を１／３にした余弦波信号を基準しきい値電圧Ｖpos
およびＶneg と比較する。誤差検出器３０の比較器と同
様に比較器５６，５８の出力端子をワイヤード・オアの
形態に接続して、正弦波および余弦波信号の双方が図３
の正方形４８によって規定される領域内に入る場合にだ
けセットアップ回路５２から高レベルの出力を発生させ
るようにする。ライン１６，１８の正弦波および余弦波
信号を１／３にするために、正方形４８は誤差領域４０
の大きさの３倍となる。しきい値Ｖpos およびＶneg の
大きさの３倍の基準しきい値電圧を用いることにより同
じ結果を達成することができることは明らかである。
ッドはセットアップ回路５２を具えている。この回路は
２個の別のウィンドウ比較器を具えており、これらの比
較器もライン１６，１８から到来する正弦波および余弦
波信号を受信する。しかし、誤差検出回路３０とは異な
り、このセットアップ回路５２は抵抗分圧器５４を具え
ており、これは到来する正弦波および余弦波信号をこの
特定の例では約１／３にする。なお、一般にこの値は電
源電圧；信号のダイナミックレンジ（誤差領域）；許容
可能な信号の限定サイズに応じて変えることができる。
上記２つのウィンドウ比較器の内で最初のものは２個の
しきい値比較器５６を具えており、これらの比較器は正
弦波信号（ライン１８の正弦波信号の１／３）を正およ
び負の基準しきい値電圧Ｖpos およびＶneg とそれぞれ
比較する。第２ウィンドウ比較器は２個のしきい値比較
器５８を具えており、これらの比較器はライン１６の信
号を１／３にした余弦波信号を基準しきい値電圧Ｖpos
およびＶneg と比較する。誤差検出器３０の比較器と同
様に比較器５６，５８の出力端子をワイヤード・オアの
形態に接続して、正弦波および余弦波信号の双方が図３
の正方形４８によって規定される領域内に入る場合にだ
けセットアップ回路５２から高レベルの出力を発生させ
るようにする。ライン１６，１８の正弦波および余弦波
信号を１／３にするために、正方形４８は誤差領域４０
の大きさの３倍となる。しきい値Ｖpos およびＶneg の
大きさの３倍の基準しきい値電圧を用いることにより同
じ結果を達成することができることは明らかである。
【００１７】ウィンドウ比較器５６，５８の合成出力を
バッファ６０を介して読取ヘッドのハウジングに設けた
２色に発光するダイオード（ＬＥＤ）６２の形態の可視
表示器に供給する。このＬＥＤ６２は一方の方向にバイ
アスされる場合に赤色に発光し、逆方向にバイアスされ
る場合に緑色に発光する。ＬＥＤ６２の双方の端子をバ
ッファ６０の出力端子により駆動させ、一方の端子はイ
ンバータ６４を介して駆動させる。このようにすること
により仮想リサージュ図形３６が正方形４８の外側にあ
る期間中は緑色光を放ち、リサージュ図形が正方形４８
の中にある場合には赤色光を放つことになる。
バッファ６０を介して読取ヘッドのハウジングに設けた
２色に発光するダイオード（ＬＥＤ）６２の形態の可視
表示器に供給する。このＬＥＤ６２は一方の方向にバイ
アスされる場合に赤色に発光し、逆方向にバイアスされ
る場合に緑色に発光する。ＬＥＤ６２の双方の端子をバ
ッファ６０の出力端子により駆動させ、一方の端子はイ
ンバータ６４を介して駆動させる。このようにすること
により仮想リサージュ図形３６が正方形４８の外側にあ
る期間中は緑色光を放ち、リサージュ図形が正方形４８
の中にある場合には赤色光を放つことになる。
【００１８】セットアップ操作は全く簡単に行うことが
できる。読取ヘッド１０を据え付ける人は、その読取ヘ
ッドに設けてあるＬＥＤ６２を見ながら読取ヘッドをス
ケールに沿って単に横送りするだけである。最初はたぶ
ん仮想リサージュが図３に円５１で示すように正方形４
８内に完全に入っていることを示す赤色光に発光するこ
とになる。読取ヘッドをスケールに対して離間させて整
列させ、スケールに沿う読取ヘッドの横送りを繰り返
す。スケールに対する読取ヘッドのセットアップが改善
されると、ＬＥＤはこれが或る時間は赤色光に発光し、
或りの時間には緑色光を発光したりするために赤でなく
黄色に見えるようになる。これは例えば図３のリサージ
ュ図形５０に相当する。スケールに対する読取ヘッドの
セットアップをさらに調整するとＬＥＤが完全な緑色光
を放つようになり、これはリサージュ図形が図３に３６
で示すように正方形４８の外に完全に位置し、従ってセ
ットアップが満足のいくものであることを示す。
できる。読取ヘッド１０を据え付ける人は、その読取ヘ
ッドに設けてあるＬＥＤ６２を見ながら読取ヘッドをス
ケールに沿って単に横送りするだけである。最初はたぶ
ん仮想リサージュが図３に円５１で示すように正方形４
８内に完全に入っていることを示す赤色光に発光するこ
とになる。読取ヘッドをスケールに対して離間させて整
列させ、スケールに沿う読取ヘッドの横送りを繰り返
す。スケールに対する読取ヘッドのセットアップが改善
されると、ＬＥＤはこれが或る時間は赤色光に発光し、
或りの時間には緑色光を発光したりするために赤でなく
黄色に見えるようになる。これは例えば図３のリサージ
ュ図形５０に相当する。スケールに対する読取ヘッドの
セットアップをさらに調整するとＬＥＤが完全な緑色光
を放つようになり、これはリサージュ図形が図３に３６
で示すように正方形４８の外に完全に位置し、従ってセ
ットアップが満足のいくものであることを示す。
【００１９】ＬＥＤをメータで直接モニタし、メータの
読取値に従って読取ヘッドとスケールとの整合およびこ
れら両者間の距離（スタンド−オフ）を調整することも
できる。メータはＬＥＤの出力が次のようなことを表わ
すべくセットアップすることができる。即ち、
読取値に従って読取ヘッドとスケールとの整合およびこ
れら両者間の距離（スタンド−オフ）を調整することも
できる。メータはＬＥＤの出力が次のようなことを表わ
すべくセットアップすることができる。即ち、
【００２０】
【表１】 ＬＥＤ信号 メータ読取値 緑 指針のフルスケール振れ 黄 指針の中点値振れ 赤 指針の振れがない これは何等かの理由によりＬＥＤを容易に見ることがで
きない場合に有効である。
きない場合に有効である。
【００２１】スケールおよび読取ヘッドを長期にわたり
使用したことにより、セットアップがやがてドリフトを
生ずる場合に、リサージュ図形の一部が再度正方形４８
内に落ちてしまい、ＬＥＤ６２が緑色でなく、再び黄色
に発光してしまう。このようなことは、セットアップが
問題を提起するよりもずっと前に、すなわちリサージュ
図形が誤差領域４０内に落ちるずっと前に観測される。
このようなことが最もありがちな原因は、スケールがよ
く用いられて汚れたために、ライン１６および１８に現
われる正弦波および余弦波信号の振幅が低くなることに
起因している。従って、ＬＥＤ６２の色をモニタするこ
とによって、ライン３２の誤差信号により指示されるこ
とになる実際の問題が生ずる前に、スケールをきれいに
するようなメインテナンスを必要とする旨の早期警告を
機械のユーザに与えるようにする。
使用したことにより、セットアップがやがてドリフトを
生ずる場合に、リサージュ図形の一部が再度正方形４８
内に落ちてしまい、ＬＥＤ６２が緑色でなく、再び黄色
に発光してしまう。このようなことは、セットアップが
問題を提起するよりもずっと前に、すなわちリサージュ
図形が誤差領域４０内に落ちるずっと前に観測される。
このようなことが最もありがちな原因は、スケールがよ
く用いられて汚れたために、ライン１６および１８に現
われる正弦波および余弦波信号の振幅が低くなることに
起因している。従って、ＬＥＤ６２の色をモニタするこ
とによって、ライン３２の誤差信号により指示されるこ
とになる実際の問題が生ずる前に、スケールをきれいに
するようなメインテナンスを必要とする旨の早期警告を
機械のユーザに与えるようにする。
【００２２】図３に示すように、セットアップ領域は正
方形４８内に位置させる。このようにすれば、正方形の
緑を規定するのに簡単なウィンドウ比較器を使用できる
という利点がある。しかし、セットアップ領域は図３に
示した以外の形状、例えば円５０の半径と円３６の半径
との間の半径を有している円によって規定することもで
きる。このようにすれば、セットアップ領域からこの円
の外側の許容領域までの移行をより速く、より公正にす
ることができるという利点がある。しかし、この場合に
は電子回路が一層複雑となり、例えばマルチプライヤの
使用を伴うことになる。
方形４８内に位置させる。このようにすれば、正方形の
緑を規定するのに簡単なウィンドウ比較器を使用できる
という利点がある。しかし、セットアップ領域は図３に
示した以外の形状、例えば円５０の半径と円３６の半径
との間の半径を有している円によって規定することもで
きる。このようにすれば、セットアップ領域からこの円
の外側の許容領域までの移行をより速く、より公正にす
ることができるという利点がある。しかし、この場合に
は電子回路が一層複雑となり、例えばマルチプライヤの
使用を伴うことになる。
【００２３】スケール１２にはその長さ方向に沿う或る
位置にスケールに並べて立上がり突起物６８を設けるこ
とができる。これはゼロまたは基準位置を示し、読取ヘ
ッド１０は突起物の通過を検出する突起検出器７０を内
蔵している。回路７１は突起検出器７０の出力を処理し
て、ライン７２でカウンタ２８に基準マーカパルスを供
給する。従って、カウンタ２８が例えば電源不良のため
にその計数値を失う場合に、そのカウンタをゼロにリセ
ット（または既知の値にプリセット）することができ
る。このマーカパルスは、突起物６８の前縁が検出器７
０を通過する時でなく、むしろ次の正弦波および余弦波
信号が双方共に「高」となる場合、即ちライン２４，２
６の信号が共に低となる場合に発生させて、安定性およ
び精度をさらに高めるようにする。このようにするため
に、ＮＯＲ−ゲート７３はライン２４，２６の信号が共
に低となる場合に出力を発生し、この出力を回路７１の
突起検出器７０の出力でゲートして、マーカパルスを形
成する。
位置にスケールに並べて立上がり突起物６８を設けるこ
とができる。これはゼロまたは基準位置を示し、読取ヘ
ッド１０は突起物の通過を検出する突起検出器７０を内
蔵している。回路７１は突起検出器７０の出力を処理し
て、ライン７２でカウンタ２８に基準マーカパルスを供
給する。従って、カウンタ２８が例えば電源不良のため
にその計数値を失う場合に、そのカウンタをゼロにリセ
ット（または既知の値にプリセット）することができ
る。このマーカパルスは、突起物６８の前縁が検出器７
０を通過する時でなく、むしろ次の正弦波および余弦波
信号が双方共に「高」となる場合、即ちライン２４，２
６の信号が共に低となる場合に発生させて、安定性およ
び精度をさらに高めるようにする。このようにするため
に、ＮＯＲ−ゲート７３はライン２４，２６の信号が共
に低となる場合に出力を発生し、この出力を回路７１の
突起検出器７０の出力でゲートして、マーカパルスを形
成する。
【００２４】突起物６８は可調整に取付ける。この突起
物６８は、その前縁が、ライン２４，２６の双方の信号
が低となる際の方形波の前縁に近付かないように設定す
るのが好適である。これは、突起物６８の位置に僅かの
ドリフトがある場合に、マーカパルスが意図したサイク
ルでなく、むしろ方形波の隣りのサイクルの前縁にてト
リガされてしまうことのないようにするのに役立つ。従
って、突起物を設定するには、ライン２４，２６の信号
が共に「高」である間に突起物の前縁が生ずるようにす
るのが望ましい。
物６８は、その前縁が、ライン２４，２６の双方の信号
が低となる際の方形波の前縁に近付かないように設定す
るのが好適である。これは、突起物６８の位置に僅かの
ドリフトがある場合に、マーカパルスが意図したサイク
ルでなく、むしろ方形波の隣りのサイクルの前縁にてト
リガされてしまうことのないようにするのに役立つ。従
って、突起物を設定するには、ライン２４，２６の信号
が共に「高」である間に突起物の前縁が生ずるようにす
るのが望ましい。
【００２５】突起物６８をこうしてセットアップするの
は次のような追加の回路によって容易に行うことができ
る。単安定回路７４は突起物の前縁の通過によりトリガ
されて、幅狭パルスを発生する。このパルスをライン２
４および２６における直角位相関係にあるクアドラチュ
ア信号と共にＮＡＮＤゲート７６にてゲートし、ライン
２４および２６の双方の信号が「高」である場合に、突
起物の前縁が通過したことにする。この状態が現われる
場合に、別の単安定回路７８が長目の出力パルスを発生
する。このパルスをゲート８０でバッファ６０の出力と
共にゲートして、突起物が通過するとＬＥＤ６２を赤色
に閃光させ、突起物の位置の正しいセットアップを指示
させる。
は次のような追加の回路によって容易に行うことができ
る。単安定回路７４は突起物の前縁の通過によりトリガ
されて、幅狭パルスを発生する。このパルスをライン２
４および２６における直角位相関係にあるクアドラチュ
ア信号と共にＮＡＮＤゲート７６にてゲートし、ライン
２４および２６の双方の信号が「高」である場合に、突
起物の前縁が通過したことにする。この状態が現われる
場合に、別の単安定回路７８が長目の出力パルスを発生
する。このパルスをゲート８０でバッファ６０の出力と
共にゲートして、突起物が通過するとＬＥＤ６２を赤色
に閃光させ、突起物の位置の正しいセットアップを指示
させる。
【００２６】図４は図２の回路の変形例を示し、これは
回路および指示器用のスペースがある場合に、読取ヘッ
ドハウジング１０の外部にセットアップ回路を設けるよ
うにする場合にとりわけ有効である。しかし、セットア
ップ回路は必要に応じて読取ヘッドハウジング１０内に
設けることができる。この変形例ではライン２４，２６
のクアドラチュア方形波出力をクアドラント（象限）デ
コーダ回路８２に供給する。これは図３の４象限のリサ
ージュ線図のどこをいずれの瞬時に信号が占めて、４つ
の出力ライン８４のそれぞれの信号を「高」とするのか
を決める簡単なゲート回路を内蔵している。４つの出力
ライン８４の各信号は図２のバッファ６０の出力を４つ
の各ゲート回路８６でゲートするのに用いられる。これ
らの各ゲート回路は、クアドラチュア信号が１サイクル
を通過する度毎にエネーブル状態となることは明らかで
ある。バッファ６０の出力がいずれかの所定の象限にて
「高」となり、不満足な信号レベルを示す場合に、４個
の赤色発光するＬＥＤ８８の内の対応するものが発光す
る。バッファ６０の出力が所定の象限にて「低」となる
場合には、対応する緑色発光のＬＥＤ９２がインバータ
９０を介して発光する。読取ヘッドのセットアップは、
この例の場合には全ての緑ＬＥＤ９２を発光させ、且つ
全ての赤ＬＥＤ８８を消すようにすること以外は前例と
同じように処置する。この場合、ユーザにはリサージュ
が円形でなく、楕円形となる場合に、リサージュのどこ
の象限に問題があるかについての情報が与えられるた
め、これによりユーザにはスケールからの読取ヘッドの
離間距離だけでなく、読取ヘッドとスケールとの整合に
ついての調整に役立つより多くの情報が与えられる。
回路および指示器用のスペースがある場合に、読取ヘッ
ドハウジング１０の外部にセットアップ回路を設けるよ
うにする場合にとりわけ有効である。しかし、セットア
ップ回路は必要に応じて読取ヘッドハウジング１０内に
設けることができる。この変形例ではライン２４，２６
のクアドラチュア方形波出力をクアドラント（象限）デ
コーダ回路８２に供給する。これは図３の４象限のリサ
ージュ線図のどこをいずれの瞬時に信号が占めて、４つ
の出力ライン８４のそれぞれの信号を「高」とするのか
を決める簡単なゲート回路を内蔵している。４つの出力
ライン８４の各信号は図２のバッファ６０の出力を４つ
の各ゲート回路８６でゲートするのに用いられる。これ
らの各ゲート回路は、クアドラチュア信号が１サイクル
を通過する度毎にエネーブル状態となることは明らかで
ある。バッファ６０の出力がいずれかの所定の象限にて
「高」となり、不満足な信号レベルを示す場合に、４個
の赤色発光するＬＥＤ８８の内の対応するものが発光す
る。バッファ６０の出力が所定の象限にて「低」となる
場合には、対応する緑色発光のＬＥＤ９２がインバータ
９０を介して発光する。読取ヘッドのセットアップは、
この例の場合には全ての緑ＬＥＤ９２を発光させ、且つ
全ての赤ＬＥＤ８８を消すようにすること以外は前例と
同じように処置する。この場合、ユーザにはリサージュ
が円形でなく、楕円形となる場合に、リサージュのどこ
の象限に問題があるかについての情報が与えられるた
め、これによりユーザにはスケールからの読取ヘッドの
離間距離だけでなく、読取ヘッドとスケールとの整合に
ついての調整に役立つより多くの情報が与えられる。
【００２７】本発明は、上述したような直線的なスケー
ルを読取る読取ヘッドだけでなく、角度エンコーダに見
られるような環状スケールを読取る読取ヘッドにも用い
ることができることは勿論である。
ルを読取る読取ヘッドだけでなく、角度エンコーダに見
られるような環状スケールを読取る読取ヘッドにも用い
ることができることは勿論である。
【図１】機械に取付けたスケールおよび読取ヘッドを概
略的に示す線図である。
略的に示す線図である。
【図２】図１の読取ヘッドに内蔵させる回路を示す回路
図である。
図である。
【図３】図２の回路の作動説明用のリサージュ線図であ
る。
る。
【図４】図２の回路の変形例を示す回路図である。
１０ 読取ヘッド １１ 可動部 １２ スケール １４ 固定部 １５ センサ ２０，２２ スクエアリング回路 ２８ カウンタ ３０ 誤差検出器 ３４ 制御部 ４４，４６ しきい値比較器 ５２ セットアップ回路 ５４ 分配器 ５６，５８ しきい値（ウィンドウ）比較器 ６０ バッファ ６２ ＬＥＤ ６４ インバータ ６８ 突起物 ７０ 突起検出器 ７１ マーカパルス形成回路 ７４，７８ 単安定回路 ７６ ＮＡＮＤゲート ８２ クアドラントデコーダ回路 ８６ ゲート回路 ８８，９２ ＬＥＤ ９０ インバータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヘンショー， ジェイムズ レイノルズ イギリス ジィエル５ ４ビィビィ グ ロスターシャ州 ストラウド パガンヒ ル フィールド プレイス １ (56)参考文献 特開 昭60−35208（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−200213（ＪＰ，Ａ) 実開 昭58−2622（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−30818（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−140405（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−104711（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 21/00 G01B 7/14
Claims (10)
- 【請求項１】 スケールに沿って横送りされるときに信
号を発生する読取ヘッドであって、ハウジングと；この
ハウジングに内蔵され、前記スケールの目盛を検知する
と共にこれに応答してクアドラチュアの信号を発生する
目盛検知手段と；前記ハウジングに内蔵され、読取ヘッ
ドの適切なセットアップを示す前記クアドラチュア信号
のレベルを検出するためのセットアップ検出手段とを具
え、前記セットアップ検出手段により前記信号レベルが
所定レベル以上か、以下であるかを識別して、所定レベ
ル以下では前記信号は使用できるも、最適な信号ではな
い旨のそれ相当の指示を与えるようにしたことを特徴と
する読取ヘッド。 - 【請求項２】 前記セットアップ検出手段が：前記クア
ドラチュア信号の内の第１クアドラチュア信号に作用
し、この第１クアドラチュア信号と、しきい値とを比較
し、このしきい値以下では前記第１信号は使用できる
も、最適な信号ではないものとして、第１クアドラチュ
ア信号が前記しきい値以下の場合に出力を発生する第１
比較器と；前記クアドラチュア信号の内の第２クアドラ
チュア信号に作用し、この第２クアドラチュア信号と、
しきい値とを比較し、このしきい値以下では前記第２信
号は使用できるも、最適な信号ではないものとして、第
２クアドラチュア信号が前記しきい値以下の場合に出力
を発生する第２比較器と；前記２つの比較器の出力端子
に接続され、双方のクアドラチュア出力が同時にそれぞ
れ前記しきい値以下となる場合に指示を与える手段と；
を具えていることを特徴とする請求項１に記載の読取ヘ
ッド。 - 【請求項３】 スケールに沿って横送りされるときに信
号を発生する読取ヘッドであって、前記スケールの目盛
を検知すると共にこれに応答してクアドラチュアの信号
を発生する目盛検知手段と、セットアップ検出手段とを
具え、該セットアップ検出手段が：前記クアドラチュア
信号の内の第１クアドラチュア信号に作用し、この第１
クアドラチュア信号と、しきい値とを比較し、このしき
い値以下では前記第１信号は使用できるも、最適な信号
ではないものとして、第１クアドラチュア信号が前記し
きい値以下の場合に出力を発生する第１比較器と；前記
クアドラチュア信号の内の第２クアドラチュア信号に作
用し、この第２クアドラチュア信号と、しきい値とを比
較し、このしきい値以下では前記第２信号は使用できる
も、最適な信号ではないものとして、第２クアドラチュ
ア信号が前記しきい値以下の場合に出力を発生する第２
比較器と；前記２つの比較器の出力端子に接続され、双
方のクアドラチュア出力が同時にそれぞれ前記しきい値
以下となる場合に指示を与える手段と；を具えているこ
とを特徴とする読取ヘッド。 - 【請求項４】 前記目盛検知手段からのクアドラチュア
信号を受信し、且つ読取ヘッドからクアドラチュア方形
波出力を供給するスクエアリング手段を具えていること
を特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の
読取ヘッド。 - 【請求項５】 前記セットアップ検出手段が前記指示を
与えるための可視表示器を具えていることを特徴とする
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の読取ヘッド。 - 【請求項６】 前記可視表示器が前記指示を与えるのに
色を変えるようにしたことを特徴とする請求項５に記載
の読取ヘッド。 - 【請求項７】 前記読取ヘッドの不確定作動を示す前記
クアドラチュア信号のレベルを検出する誤差検出手段を
具え、この誤差検出手段によって検出されるレベルが前
記セットアップ検出手段によって検出されるレベルより
も低くなるようにしたことを特徴とする請求項１ないし
６のいずれか一項に記載の読取ヘッド。 - 【請求項８】 前記クアドラチュア信号に対応するリサ
ージュ図形の四象限の内のどこでクアドラチュア信号の
レベルが、まだ使用できるも、最適ではないレベル以下
に降下するのかを示す手段を具えていることを特徴とす
る請求項１ないし７のいずれか一項に記載の読取ヘッ
ド。 - 【請求項９】 前記スケールにおけるゼロまたは基準位
置の通過を検出する手段を具えていることを特徴とする
請求項１ないし８のいずれか一項に記載の読取ヘッド。 - 【請求項１０】 前記ゼロまたは基準位置の通過が、ク
アドラチュア信号のサイクルの所望部分にて生ずるか、
否かを示す手段を具えていることを特徴とする請求項９
に記載の読取ヘッド。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB9110598.1 | 1991-05-16 | ||
| GB919110598A GB9110598D0 (en) | 1991-05-16 | 1991-05-16 | Setting up of quadrature signals |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05133732A JPH05133732A (ja) | 1993-05-28 |
| JP3202316B2 true JP3202316B2 (ja) | 2001-08-27 |
Family
ID=10695091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12512592A Expired - Fee Related JP3202316B2 (ja) | 1991-05-16 | 1992-05-18 | 読取ヘッド |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5241173A (ja) |
| EP (1) | EP0514081B1 (ja) |
| JP (1) | JP3202316B2 (ja) |
| DE (1) | DE69208516T2 (ja) |
| GB (1) | GB9110598D0 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1619476A2 (en) | 2004-06-21 | 2006-01-25 | Mitutoyo Corporation | Encoder and signal adjustment method for the same |
Families Citing this family (34)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0668486A3 (de) * | 1994-02-22 | 1997-07-30 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längen- oder Winkelmesseinrichtung. |
| DE19613884B4 (de) * | 1996-04-06 | 2004-09-23 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Verfahren zur Übertragung von Informationen und hierzu geeignete Vorrichtung |
| DE19642200A1 (de) * | 1996-10-12 | 1998-04-16 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Kontrollvorrichtung und Verfahren zur Prüfung von positionsabhängigen Abtastsignalen |
| DE19642199A1 (de) * | 1996-10-12 | 1998-04-16 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Kontrollvorrichtung und Verfahren zur Prüfung von positionsabhängigen Abtastsignalen |
| JP2001174289A (ja) * | 1999-12-17 | 2001-06-29 | Alps Electric Co Ltd | 回転角検出装置 |
| DE10050392A1 (de) | 2000-10-12 | 2002-04-18 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmesseinrichtung und Verfahren zum Betrieb einer Positionsmesseinrichtung |
| JP3989718B2 (ja) * | 2001-01-18 | 2007-10-10 | シャープ株式会社 | メモリ一体型表示素子 |
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