JPS63503564A - 補間装置 - Google Patents

補間装置

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JPS63503564A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 補間装置 技術分野 本発明は、周期関数の値を補間手法によって決定する装置に関する。
背景技術 この種の公知装置は、周期関数の少なくとも4個の値を読み取るための読取手段 と、該少なくとも4個の値をそれらより導出された一対の導出正弦関数および余 弦関数に変換するための変換手段とを有する。補間値は、ある所与の間隔におけ る正弦関数の値と余弦関数の値との間の関係を確立することによって決定される 。
かかる読取手段は相互にある間隔を置いて配置されたトランスジューサを有して いるので、その読取手段は、ある公称位相間隔に一致する周期関数の値しか読み 取ることができない。また、かかる補間は、正弦関数と余弦関数との間の位相差 が90°であるという限りにおいてのみ正確である。実際の位相間隔と前記所与 の位相間隔との間に不一致があると、前記正弦関数と余弦関数が前記90°位相 差から外れることになり、その結果、補間の精度が低下することになる。例えば 、このような不一致は、周期関数の周期性がトランスジューサの間隔と正確に一 致していない場合に発生する。
前記公知装置では、変換手段は、前記正弦関数および余弦関数の各々を周期関数 の前記2つの値の関数として発生する構成になっている。例えば、4つの値が公 称上は直角位相の信号A、B、CおよびDによって表されている場合、正弦関数 および余弦関数は、それぞれ、これらの信号を(A−C)および(B−D)とし て組合わせることにより、導くことができる。この結果、前記補間精度は、前記 位相間隔に大きく依存することになる。
発明の開示 本発明によれば、変換手段は、前記値のうちの少なくとも3つを組合せることに よりて前記導出関数のうちの少なくとも1つを発生させる手段を含む。少なくと も本発明の好適実施例によれば、これにより、前記補間精度が前記位相間隔に依 存する度合が減少する。
図面の簡単な説明 以下、本発明の実施例を、添付図面を参照して説明する。ここで、 第1図は、スケール読取装置の機成的構成の正面図である。
第2図は、第1図の平面図である。
第3図は、周期的光信号と光検出ダイオードの関連配置を示す図である。
第4図は、前記ダイオードの出力が結合される電気回路網を示す回路図である。
第5図は、前記回路網の出力として得られる正弦関数および余弦関数を示す図で ある。
第6図は°、前記光信号の位相間隔が変化したときの影響を示す図である。
第7図は、第4図の回路網の動作を例示するベクトル図である。
第8図は、第3図および第4図の実施例に対応するが、これら実施例を変形した 実施例を示す回路図である。
第9図は、第8図の実施例の動作を例示するベクトル図である。
第1O図は、第3図および第4図の実施例に対応し、これらを更に変形した実施 例を示す回路図である。
発明を実施するための最良の形態 スケール10(第1図および第2図)はX方向に長さスもち、X方向に直交する Y方向に延在する線形マーク11が配列されている。これらのマークは間隔PI Oをもっている。読取ヘッド13はX方向に線形的に変位するように支持されて いる。読取ヘッド13は、スケール・マーク11に対し角度αをなしてセッ′ト されたインデックス格子12を有し、モアレじま信号142(第3図)の形態を もつ周期関数を発生するようになっている。
信号142は、はぼ正弦曲線に沿って変化する光強度を、モアレじまの格子12 上での変位値Ylに対して描くことにより定義される。
信号142の周期はP22であり、この周期に対応する位相間隔つまり直角位相 (quadrature) Q22をもフている。周期P22と直角位相Q22 は角度αの関数である。
読取ヘッド13は、格子12に対し等間隔P30で配列された4個のトランスジ ューサすなわち光ダイオード16、つまり16A、168.16G、160の形 態の読取手段を含み、信号142の直角位相光強度値QA、QB、QC,QDに 対応する4つの直角位相電圧信号A、B、C,Dを発生するようになっている。
これまでに述べた装置は公知である。
信号A、B、C,Dは変換手段、つまり回路網21に供給され(第4図)、そこ で信号A、B、C,Dは組合わされて、信号142に対して導出された正弦およ び余弦関数である2個の信号SNおよびC5によって定義された一対の正弦関数 および余弦関数を発生する0回路網21はSN= 28− A −DおよびC5 = 2C−A −Bとな、る゛ように構成されている。より具体的に説明すれば 、回路網21では、信号A、B、C,Dはまず最初にスケール増幅器20に通し て取り出され、その後、これらの信号のうちの3つ、つまりA、B、Dが加減算 差動増幅器22に通して取り出される。差動増幅器22の出力は抵抗、本実施例 では6個の同一抵抗Rによって制御されて、値2B−A −Dをもつ電圧として 信号SNが増幅器22から取り出される。この種の増幅器を使用して所望値をめ ることはそれ自体公知である。もう1つの加減算差動増幅器23を増幅器22と 同一に構成するが、これは信号A、B、Cに結ばれて、値2C−A −Bをもつ 電圧として信号C5が得られる。
読取ヘッド13の変位×1は、SN/ C5の関係つまり比率(第5図)の瞬時 値からめることができ、これは信号SNおよびC5が入力されるコンピュータ2 5(第4図)によって定められる。あるいはまた、公知のように、専用回路に同 じ機能をもたせてもよい。導出された正弦および余弦関数の周期P40は、スケ ール・マークの間隔PIOに対応し、SlおよびC1のような中間値はマーク間 の補間値である。変位×1と値SNおよびC5との間の関係は基本的に下式で表 される。
XI −(P40/360°)[arctan(SN/C5)] (1)回路網 20の動作によって、これは次のようになる。
XI −(P40/360°) (arctan[(2B−A−D)/(2C− A−8)])(2)従来の装置では、対応する式は次のようになる。
XI −(P40/360°) (arctan [(A−C)/ (B−D)  ]) (3)式(2)と(3)に共通する特徴は、関数SNを得るために組合 わされる信号の公称位相のベクトル和が、関数C5を得るために組合わされる信 号の公称位相の対応するベクトル和に対して90度の位置にあることである。
これについては、第7図のベクトル図を参照して以下に説明する。
公称上は、信号A、B、C,Dは直角位相関係にある。つまり、これらの信号の 公称位相は、第7図に示すように、相互に90°のベクトルをもっている。同じ く、第7図にはベクトル和(A−C)と(B−D)も示されているが、これらは 従来の装置で関数SNとcsを得るために組合わされたものである(式(3)参 照)。
これらのベクトル和は成分信号A、B、−C,−Dのベクトルに単に平行になっ ているだけであり、従って、これらも相互に90°になっている。
また、第7図からも明らかなように、式(2)において信号SNを作るベクトル 和 (2B−’A −D )も信号C5を作るベクトル和(2C−A−B)に対 して900になっている。しかし、ベクトル和はもはや成分ベクトルに対して平 行になっていない。これは、信号A、B、C。
Dのうちの2つではなくて3つを組合わせることにより導出関数の各々を得てい るためである。
これらの信号のうちの2つではなく、少なくとも3つから導出関数SNおよびC 5の各々を発生させることの利点は、信号A、B、C,Dの実際の位相がそれぞ れの公称位相から変化した場合に、どのようなことが起こるかについての以下の 説明により明らかになる。
理想的には、信号SNおよびC5は正確に90’の位相差P41(第5図)をも つべきであるが、そのためには、ダイオード16の間隔P30と信号140の位 相間隔Q22とが正確に一致していることが要求される。前述したように、後者 の間隔は角度αの関数である。必要とされる精度で角度αを設定することが困難 である限り、前記一致を得ることは困難であり、このことが信号A。
B、C,Dの実際の位相が公称位相から変化する理由の1つである。
説明の便宜上(第3図)、正確な値とは異なる角度αが、公称信号142のいず れかの側に信号141.143を発生するものと想定する。これらの3個号14 1,142゜143(以下140と総称する)はそれぞれ対応する直角位相Q2 1.Q22.Q23(以下Q20と総称する)および位相角θ1.θ2.θ3( 以下θと総称する)をもっている。信号142は、間隔P30が位相角θ2と等 価である限り、基準信号として取扱われる。ここで、位相角θ2は90゜である 。
明らかなように、信号141は、信号141に対して、角度θ2より小さく、か つ式θ1−90’ x C22/Q21で与えられる位相角θlを定義する2点 でダイオード16Aおよび16Bにより読み取られる。C21に対する値が1. 125 x C22のとき、C1は80°になる。
同様に対応して、信号143は、信号143に対して、角度θ2より大きく、か つ式 C3−90°X C22/C23で与えられる位相角θ3を定義する2点 でダイオード16八および16Bにより読み取られる。C23に対する値が0. 69 x C22のとき、C3は130°になる。本発明の装置によれば、以下 で第6図を参照して明らかになるように、モアレじまピッチが基準信号142の ピッチの1.125〜0.69倍に変化するのに対して良好に補償を行なうこと ができる。
第6図は、上式(2)に基づいて変位x1が定められるときに、位相差P41の 角度θに対するプロットMを示す、第6図から明らかなように、θが80〜13 0度の範囲にあれば、P41の値は公称角90°から+3〜−2度の範囲で変化 する。言い換えれば、θが50’の範囲を越えて変化すると、P41は5°変化 することになる。
また、第6図は、上式(3)に基づく、つまり、従来の公式によるθに対するP 41のプロットNをも示している。同図から明らかなように、Nは横座標に対し 45°の直線になっているので、θが50°を越えて変化すると、P41も50 °変化することになる。
角度αが変化すると、どのような影響があるかを以下に例を示して説明する。ス ケールlOの間隔PIOが20μmであり、インデックス格子12がスケール・ マーク11に対しα= 0.35°の角度でセットされていると、得られるモア レじまの周期P22は3.2mmとなる。このような場合、αが±0.1°だけ 変化すると、計算でめたモアレじま周期P22の変化は◆1.3から−0,7m mとなり、その結果、第6図に示すように、位相角θの変化は約±25°になる 。従来の回路網(式(3))によれば、この場合、約±2μmの補間誤差が発生 する。回路網20を使用すると、αが同じ量変化したときの補間誤差は約0.2 μmであり、すなわち、従来の回路網で発生する誤差の171Oである。逆に、 2μmの補間誤差が許容しつるものならば、角αに対する許容誤差は±1゜まで 上げることが可能である。
第7図と類似のベクトル図を使用すれば、信号A。
B、C,Dのうちの3つまたはそれ以上をいろいろな方法で組合せて、90°の ベクトル和をもつ信号SNおよびC5が得られることは明らかである。従って、 たとえば、距離x1に対する式は次式で表すことができる。
Xl−(P407360°) (arctan[(3B−A−C−D)/(3C −A−B−D)])または Xl−(P40/360°) (arctan[(4a−2o−A−c)/(< c−zA−a−o)])式(2) 、 (4) 、 (5)および類似の式の特 性として、それらによって発生する正弦および余弦の項SNおよびC5は、たと え光信号140の位相直角Q20が信号140を読み取るために使用されるダイ オード16の間隔P30に正確に一致していなくても、公知の補間技術で与えら れる場合よりも実質的に大きい有用な範囲にわたってそれらの90°位相関係を 実質的に保持する。また、直角位相Q22が周期P22の0.2と0.36との 間の範囲にわたって間隔P30に対して変化しても、得られる結果は従来の手法 による場合と少なくとも同程度に良好であることが明らかになっている。しかし 、ある信号140の直角位相Q20を等しくする必要があり、これは間隔P30 も同じである。さらにまた、正弦および余弦の項SNおよびC5の振幅の比は類 似の範囲にわたってほぼ一定のままであり、これはコンピュータまたは専用回路 25で実行される補間の精度に影響を与える要因となるものである。
式(2) 、 (4)および(5)ニおいて、信号A、B、C。
Dを組合わせて関数SNを発生させるときに、これらの信号に乗算されるそれぞ れの係数を加えるとゼロになることは明らかである。このことは、関数C5を発 生する係数についても同じである。例えば、式(2)では、SNとC5のいずれ についても係数は2、−1および−1であるのに対し、式(5)では、係数は4 、−2、−1および−1である。いずれの場合にも、係数の和はゼロである。こ の関係が好ましいのは次の理由による。
どの実施例においても、信号A、B、C,Dは、それぞれ、(例えば、種々の要 因のうちでもとりわけ、スケールlOと読取ヘッド13の周囲照明量とスケール の反射率に関係する)不所望の直流オフセットに重なった正弦状の変化となる可 能性がある。通常、これらの直流オフセットをフィルタで除去すると、スケール が読取ヘッドに対し静止しているとき出力が得られなくなるので、実用的でない 。しかし、係数を上の方法で加算してゼロにすれば、すべての信号に共通するい かなる直流オフセットも信号が組合わされるときに打ち消し合うことになる。
それにもかかわらず、本発明は、かかる直流オフセットがいかなる場合において も大きくない場合や、これらが他の方法で除去される場合には、係数の和がゼロ になるという関係に限定されるものではない。従って、係数の和がゼロにならな い例を挙げれば、SN −(B−A−D)およびC5−(C−A−8)である。
上の例では、すべて、全部で4つの信号A、B。
C,Dがあり、これらの信号がすべて公称上は相互に直角位相にあることを想定 している。各々の関数SNおよびC5を発生するために、これらの信号のうちの 少なくとも3つ、可能ならば、4つ全部が組合わされている。しかし、公称上の 直角位相関係にある信号を4つとすることは、必須要件ではない。また、本発明 の利点は、関数SNおよびC5の一方だけを導出すれば得られるので、これらの 信号のうちの少なくとも3つから両方の関数SNおよびC5を導出することもま た必須要件ではない。次に、この点をもっと分かりやすくするために、第8図お よび第9図を参照して本発明の詳細な説明する。
第8図において、トランスジューサ16A1.16B1および16C1はモアレ じま信号142に対し公称120’の間隔で配置されている。この配置について は、同時に出願した国際出願PCT/GB87100434 (W087107 944)および当該国際出願および本件国際出願の双方の優先権主張の基礎とな っている本件出願人による英国特許出願第8615196号明細書に詳しく説明 されている。
トランスジューサ16^1,16B1.16C1は、それぞれ、信号Al、Bl 、CIを出力し、これら信号AI、Bl、CIは、信号値81−八lおよびB1 −Clを出力する差動増幅器51および52と、導出正弦関数および余弦関数S NおよびCSをそれぞれ定義した信号値Al−Clおよび2B1− (AI+C I)を出力するように接続された別の差動増幅器53および54からなる回路5 0に人力される。増幅器51〜54は第4図示の実施例の増幅器22.23と一 般的には類似している。前述の実施例と同様に、信号に乗算される係数は、関数 SNおよび関数C5のいずれにおいても、加算されるとゼロになる。このことは 、例えば、周囲光のレベルやスケールの反射率によフて起こる、すべての信号に 共通の直流オフセットに対して関数SN、C5が独立であることを意味する。
第9図を参照するに、3つの出力A1.B1.CIはベクトルで示しである。ベ クトルA1およびC1は、それぞれ、ベクトルBlより進み、および遅れている 。ベクトル和−(A1+CI)は、ベクトルB1と同じ公称位相角をもち、ベク トル^1.CI間に現れており、ベクトル和281−(Al4C3)は、公称上 はベクトルB1に重なフて示されている。ベクトル和^1−CI はベクトルB lに対し90°の角でベクトルAI、81間に現れている。このことは、項2B 1−(AI+CI)と^1−01との間に正弦および余弦の関係があることを意 味する。この90°の関係はベクトル八1およびC1が、それぞれ、ベクトルB 1より同量だけ進み、および遅れている限り保持され、そしてこの関係は、ベク トルA1とCIとの間およびC1と81との間の位相角の絶対値を公称120° 間隔から導出することにより(妥当な限度内において)乱されない。言い換えれ ば、信号C5は3つのすべての信号AI、Bl、C1の組合わせから導かれるの で、前記実施例と同じ利点が得られる。このことは、実用上、軸13Aのまわり でのスケールと読取ヘッドとの間の角方向の位置ずれに対する許容誤差を、そう でない場合よりも大きくできることを意味する。以上の説明から理解されるよう に、本発明は公称上は直角位相関係にある4つの信号A、B。
C,D、または公称上は120’の3つの信号を使用することに限定されない。
直角位相信号を3つ使用することも、あるいは5つまたはそれ以上の信号を使用 することも可能である。
第1O図は、モアレじま信号142に対して相互に72゜の公称位相間隔で5つ のトランスジューサ16A2.16B2゜16G2,1602,16E2が配列 されている実施例を示している。これらトランスジューサから発生した信号A2 .B2゜C2,C2,C2は変換回路70に入力され、そこでこれらの信号が組 合わされて、第4図における回路20と同じようにして正弦および余弦関数SN およびC5が得られる。これら関数は、ついで第4図に示すように、コンピュー タ25または同等の手段により補間される。
しかし、回路70では、信号が組合わされるときにこわら信号に乗算される係数 は、人力信号A2.B2.C2,C2。
C2の実際の位相間隔のきわめて広い範囲にわたフて、関数SNとCSとの間の 位相関係が90°に非常に近く保たれるように最適化されている。人力信号の実 際の位相間隔は5°〜175°の範囲で変化することが考えられるが、その場合 でも、SNとC5との間の位相差はほぼ90°に保たれる。また、これらの係数 は、位相間隔のかかる広い範囲にわたフて関数SNおよびC5の振幅の比が変化 することによって発生する補間誤差を最小にす°゛るように最適化されている。
前述したように、係数の和は導出関数SNおよびC5の各々に対してゼロである 。
この最適化は、人力信号に下記の係数を掛けて、関数SNおよびC5を発生させ ることにより達成される。
XI −(P40/360°) [arctan (SN/C5) ] (]) ただし、 SN −5,00x B2−5.00x C2+1.00x C2−1,00x  A2C5−6,72xC2−2,24xA2−1.12xB2−1.12xD 2−2.24X C2 第10図は人力信号の公称位相間隔が72°である場合を示しているが、この実 施例では、関数SNおよびC5が実際の位相間隔の広い範囲にわたって正確に導 出されるので、所望ならば、トランスジューサに(モアレじま信号142に対し て)他の公称位相間隔をもたせることが可能であることもわかる0例えば、5個 のトランスジューサ(従って、入力信号)の、相互の公称間隔を、60°にも、 90° (直角位相)にも、または120゜にもすることが可能である。しかし 、導出関数SNおよびCSの振幅は、入力信号の位相間隔が許容範囲の限界に近 づくとともに減少する。
以上述べてきた実施例では、光学スケールと光電読取ヘッドを使用しているが、 本発明は、例えば、磁気スケールと読取ヘッドのように、他の種類でも使用可能 である。本発明は、角運動や回転運動の測定値を補間するためにも使用できるの で、スケールは線形である必要はない。
国際調査報告 −1・12D2−2・24E2) ANNEX To 15E INTERNATIONAL 5EARCHREP ORτ0NINTER,NATIONAf、A?PtJCATION No、  PCT/にB 87100433 (SA 17678)

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.周期関数(140)の少なくとも3つの値を読み取り、その3つの値から各 々が他の前記信号に対し予め定めた公称位相間隔をもつ少なくとも3つの信号を 発するための読取手段(16)と、 前記少なくとも3つの信号を組合わせることによって、前記少なくとも3つの信 号を一対の導出関数(SN,CS)に変換するための変換手段(20,50,7 0)とを有し、その導出関数の一方を形成する信号の公称位相が、前記導出関数 の他方を形成する信号の公称位相のベクトル和に対してほぼ90°にあるベクト ル和をもつことにより、前記導出関数の間の位相差がほぼ90°となるようにし て、 補間手法により周期関数(140)の値を決定する装置において、 前記変換手段(20,50,70)は前記信号のうちの少なくとも3つを組合わ せることにより前記導出関数のうちの少なくとも1つを発生する手段(22;2 3;51,52,54)を備えたことを特徴とする装置。
  2. 2.前記変換手段は、複数の前記信号にそれぞれの係数を掛けて、該信号を組合 わせることによって前記導出関数の各々を発生し、各導出関数に対する前記係数 の和がゼロとなるようにしたことを特徴とする請求の範囲第1項に記載の装置。
  3. 3.変換手段(20)は、前記信号のうちの少なくとも3つを組合わせることに より前記導出関数(SN,CS)の各々を発生する手段(22,23)を備えた ことを特徴とする請求の範囲第1項または第2項に記載の装置。
  4. 4.前記信号は4つ(A,B,C,D)であることを特徴とする請求の範囲第1 項,第2項または第3項に記載の装置。
  5. 5.前記予め定めた公称位相間隔は90度であることを特徴とする請求の範囲第 1項ないし第4項のいずれかひとつの項に記載の装置。
  6. 6.前記導出関数(SN,CS)は、それぞれ、式2B−A−Dおよび2C−A −Bにより定義され、ここでA,B,CおよびDは順次の前記信号であることを 特徴とする請求の範囲第5項に記載の装置。
  7. 7.前記信号の実際の位相間隔は前記公称位相間隔を1.125ないし0.69 倍した範囲内にほぼ存在することを特徴とする請求の範囲第6項に記載の装置。
  8. 8.前記導出関数(SN,CS)は、それぞれ、式3B−A−C−Dおよび3C −A−B−Dにより定義され、ここでA,B,CおよびDは順次の前記信号であ ることを特徴とする請求の範囲第5項に記載の装置。
  9. 9.前記導出関数(SN,CS)は、それぞれ、式4B−2D−A−Cおよび4 C−2A−B−Dにより定義され、ここでA,B,CおよびDは順次の前記信号 であることを特徴とする請求の範囲第5項に記載の装置。
  10. 10.前記予め定めた公称位相間隔は120度であることを特徴とする請求の範 囲第1項または第2項に記載の装置。
  11. 11.前記導出関数(SN,CS)は、それぞれ、式A1−C1および2B1− (A1+C1)により定義され、ここでA1,B1およびC1は順次の前記信号 であることを特徴とする請求の範囲第10項に記載の装置。
  12. 12.前記読取手段は5つの前記信号を発生し、前記係数はほぼ下表に示す通り であり、ここでA2,B2,C2,D2,E2は前記5つの信号であり、および SNとCSは前記一対の導出関数であることを特徴とする請求の範囲第2項に記 載の装置。 ▲数式、化学式、表等があります▼
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