JP3199041B2 - 3次元形状測定装置、方法及び記録媒体 - Google Patents

3次元形状測定装置、方法及び記録媒体

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JP3199041B2 JP32628898A JP32628898A JP3199041B2 JP 3199041 B2 JP3199041 B2 JP 3199041B2 JP 32628898 A JP32628898 A JP 32628898A JP 32628898 A JP32628898 A JP 32628898A JP 3199041 B2 JP3199041 B2 JP 3199041B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、3次元形状測定装
置、方法及びこの方法を実行するためのプログラムを記
録した記録媒体に関し、特に位相シフト法に基づく、位
相の接続関係を容易に決定し、かつ従来より短い時間で
実行可能な3次元形状の測定に関するものである。
【0002】
【従来の技術】非接触で対象物体の3次元構造を測定す
る手法はこれまで数多く提案されている。その中のひと
つである位相シフト法に基づく3次元形状測定装置を、
文献「縞走査を導入した格子パターン投影法(第2
報)」、1992年7月、精密工学会誌、58−7、1
173〜1178頁(以下、文献1という)に基づいて
説明する。本文献に記載の3次元形状測定装置は、外観
的には後述する本発明の第1の実施の形態で用いられる
ものと実質的に同一である。
【0003】パターン投射器1は、輝度値が空間的に正
弦波変調された光パターンを測定対象物体2へと投射す
る。パターン投射器1は、光源11、位相格子12、格
子駆動装置13から構成されており、位相格子12には
軸x方向に沿って正弦波状に光の透過率が変わるよう
に、正弦波濃淡パターンを描画したフィルムが用いられ
ている。
【0004】位相格子12は、格子駆動装置13によっ
て軸x方向に駆動できるようになっており、計測対象物
体2へ投射する光パターンをずらすことができる。物体
表面上の点Pに着目すると、パターン投射器1から本点
Pへ投射される光強度E(t)は、数式5で表すこと
ができる。
【0005】
【数5】
【0006】ここで、Aは光パターン投射器1から点P
へ投射される光強度の最大値の1/2の値、φは位相格
子12が初期位置にある時に、光源11と点Pを結ぶ直
線と位相格子12の交点が持つ位相値、tは格子駆動装
置13によって格子をずらした移動量を位相で表したも
のである。したがって、本点Pをカメラ3で撮影した時
に得られる画像の輝度I(t)は、数式6で表すこと
ができる。
【0007】
【数6】
【0008】ここで、I biasはバイアス項、A’
は画像上での正弦波パターンの輝度振幅である。
【0009】コンピュータ4によって、格子駆動装置1
3を制御し適当な位相分ずつ駆動しながらその度毎にカ
メラ3によって撮影される画像を取り込むことにより、
1周期分の画像系列を撮影する。例えば、文献1に記載
されている例では、格子駆動装置13を1/4周期ずつ
駆動し、t=0,π/2,π,3π/2での4枚の画像
系列を撮影する。すると、数式7によって本画像系列か
ら各画素に対応する対象物体2上の測定点Pに投射され
る光パターンの位相φを求めることができる。
【0010】
【数7】
【0011】しかし、数式7の計算では、tan−
周期2πの周期関数であるために位相φは周期の整数倍
の不定性を残してしか求められない。これは、位相が周
期の整数倍だけ異なる位置に対応する点に投射される光
パターンは全て同じになることと対応している。
【0012】また、文献「縞走査を導入した格子パター
ン投影法」、1989年10月、精密工学会誌、55−
10、1817〜1822頁(以下、文献2という)に
は、この周期の整数倍の不定性を除くために、次のよう
にして位相接続を行う方法が記載されている。
【0013】まず、全ての点について数式7の計算によ
り−πからπの範囲で位相φを計算する。次に、基準と
なる点を決定し、その点の位相をゼロとし、隣り合う画
素間で位相が2πの80%程度変化したときに2πを加
減算することで、周囲の点の位相を順次計算していく。
そして、φが求まれば、パターン投射器1からの点Pの
見込み角を求めることができ、また、点Pの画像の座標
(x,y)からカメラ3からの見込み角も求められるの
で、三角測量の原理によって点Pの3次元座標を計算す
ることができる。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例による3次元形状の計測によっては、単一の測定デ
ータにおいては、位相の接続がうまくできない場合があ
った。すなわち、物体形状の奥行き方向の変化が大きい
部分や不連続がある部分で位相の接続に失敗し、正しい
3次元形状データが求まらない場合が生ずるという問題
点があった。
【0015】例えば、図3の(*)の部分のように、対
象物体の形状が奥行き方向に急激に変化している部分が
あると、隣り合う画素間で位相が急激に変化し、図3
(b)の(*)のように2つのピークがつながって測定
されてしまう。このような場合、本来ここで2πを加算
すべきであるのにそれがなされず正しい位相が求まらな
くなる。
【0016】このような場合には、より長い周期のパタ
ーンを投影し、図3(c)のように大局的な構造を得て
おきそれを参照することで解決できる。図3の例では
(c)は2倍の周期での位相であるので(b)に比べて
位相の変化量は1/2になる。従って、(*)の部分で
の位相の変化も正しく測定することができる。長い周期
のパターンを用いれば、それだけ大きい形状変化に対応
できることになるが、長い周期の光パターンを用いて測
定を行うと位相の測定精度は低下する。
【0017】図8に同じ光パターン強度差ΔIに対応す
る基本周期での位相差Δφと2倍周期での位相差Δφ
を示す。測定される光パターン強度の差ΔIに対する
位相の差Δφはパターンの周期が長い程小さくなるた
め、それだけ分解能が低下することになる。図8の例で
は周期が2倍になると分解能が1/2になることが分か
る。したがって、同じ測定精度を保つためには基本の周
期の光パターンでの位相と長い周期の光パターンでの位
相の両方を測定する必要がある。従って、測定精度を保
ちつつ、位相接続を確実に行うためには、もともとの周
期の正弦波パターンと、より長い周期のパターンの両方
について測定を行わなければならない。
【0018】これを行うためには、2つのパターンの位
相格子を用意して取り換えるか、または、図9に示した
ように位相格子に複数のパターンを印刷しておき、2つ
のパターンを連続して投射したり(図9(a))、新た
な駆動装置を付加する(図9(b))などの手段を用い
てパターンを切替える方法が考えられる。しかし、これ
らの手法は測定時間が長くなることや、装置が複雑にな
るために精度の低下をまねくことなどの問題があった。
【0019】なお、文献1、文献2の他に、特開平9−
21620号公報には、カラーカメラを用い、撮影した
画像を処理して分離した色成分毎の毎の変形格子画像か
ら物体の形状を測定する3次元形状測定方法が開示され
ている。この方法では、カラー液晶パネルに任意の色と
強度をもつパターンを表示し、そのパターンに基づくパ
ターン光をプロジェクタから投射し、カラーカメラで撮
影されたカラー画像を色分離することが必要となってい
る。
【0020】すなわち、この3次元形状測定方法では、
カラー液晶パネルを用いなければならないので、そのた
めの装置を製造するのにコストがかかり、また、撮影さ
れたカラー画像を色分離しなければならなかったため、
画像の処理が複雑になるという問題点があった。
【0021】本発明の目的は、位相の接続関係を容易に
決定することができ、しかも従来よりも短い測定時間し
か要しない3次元形状測定装置、方法及び記憶媒体を提
供することにある。
【0022】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の第1の観点にかかる3次元形状測定装置
は、任意の位相を有する複数の正弦波を足し合わせた信
号で、前記複数の正弦波がそれぞれ最も周期の短い正弦
波の整数倍の周期を有する信号によって表される強度変
化を有する光パターンを計測対象物に投射する光投射手
段と、前記光投射手段からの光パターンが投射された計
測対象物の画像を撮影する画像撮影手段と、前記画像撮
影手段によって撮影された画像に基づいて、前記複数の
正弦波のそれぞれの位相を計算する位相計算手段と、前
記位相計算手段によって計算された各位相を、対応する
正弦波の周期の長いものから順番により周期が長い正弦
波の位相を参照しながら、接続していく位相接続手段
と、前記位相接続手段によって接続された位相と、前記
光投射手段及び前記画像撮影手段との位置関係と、前記
画像撮影手段によって撮影された画像中の各画素の位置
とに基づいて、前記計測対象物の形状を求める形状算出
手段とを備えることを特徴とする。
【0023】上記3次元形状測定装置では、複数の周波
数の異なる正弦波を足し合わせた信号で表される強度変
化を有する光パターンを計測対象物へ1回照射すれば、
それぞれの周波数に対応する位相を求めることができ
る。このように、光パターンの照射回数が1回で済むの
で、3次元形状の測定を高速に行うことができる。
【0024】また、上記3次元形状測定装置では、位相
の接続は、周期の長いものから順番により周期が長い正
弦波の位相を参照しながら行っていくので、位相接続を
確実に行うことが可能となる。
【0025】上記3次元形状測定装置において、前記光
投射手段は、たとえば、所定の輝度の光を発する光源
と、前記複数の正弦波を重ね合わせた信号によって表さ
れる強度変化に対応する濃淡パターンを有する位相格子
と、前記位相格子を駆動する駆動手段とを備え、前記駆
動手段によって駆動される位相格子を介して前記光源か
らの光を前記計測対象物に投射するものとすることがで
きる。
【0026】このように光照射手段の構成として位相格
子を含めた場合には、この3次元形状測定装置では、異
なる濃淡パターンを有する位相格子を複数用意して、そ
れを取り替えたり、特殊な駆動手段を用意したりする必
要がない。
【0027】また、前記光投射手段は、所定の輝度の光
を発する光源と、前記複数の正弦波を重ね合わせた信号
によって表される強度変化に対応して光の透過率を変化
させる光透過手段とを備え、前記光透過手段を介して前
記光源からの光を前記計測対象物に投射するものとする
こともできる。
【0028】さらには、前記光投射手段は、前記複数の
正弦波を重ね合わせた信号によって表される強度変化で
発光する発光素子を備え、前記発光素子が発した光を前
記計測対象物に投射するものとすることもできる。
【0029】このように光投射手段の構成として、光源
と光透過手段とを組み合わせたものや、発光素子を適用
することによって、光パターンの強度変化を容易に制御
することが可能となる。また、投射する光パターンが複
雑なものとなる場合でも、格子の作成が困難になるとい
った問題を回避できる。
【0030】上記3次元形状測定装置において、前記光
投射手段が投射する光パターンを構成する正弦波ψ
(i=1,2,・・・,n)は、数式8によって表さ
れるものとすることができる。
【数8】 (但し、iは正弦波信号の番号であり1からnまでをと
り、周期の短い順に番号をつけて1が基本の周期でnを
最長の周期の正弦波とする。kは1または正の整数で
=1<k<・・・<kであり、Aはそれぞれ
の周期における光強度である。)この場合、前記計測対
象物上の点Pにおける光強度E(t)は、数式9によ
って表すことができ、
【数9】 (但し、φは光源から点Pへの見込み角に応じて定ま
る、t=0時点での各周期の正弦波毎の位相である。) 前記画像取込手段によって前記画像撮影手段から取り込
んだ画像の前記点Pに対応する画素の輝度I(t)
は、数式10によって表すことができる。
【数10】 (但し、I biasは輝度のバイアス項、A’は各周期
における輝度の振幅である。)
【0031】この場合、前記位相計算手段は、前記光パ
ターンを構成する正弦波ψの位相φを、数式11に
よって計算するものとすることができる。
【数11】
【0032】上記3次元形状測定装置において、前記位
相接続手段は、画像全体で隣接する画素間の位相が滑ら
かになるように2πラジアンの整数倍を足し引きして、
各位相を接続していくものとすることができる。
【0033】上記目的を達成するため、本発明の第2の
観点にかかる3次元形状測定装置は、互いに直交する複
数の周期関数を足し合わせた信号で表される強度変化を
有する光パターンを計測対象物に投射する光投射手段
と、前記光投射手段からの光パターンが投射された計測
対象物の画像を撮影する画像撮影手段と、前記画像撮影
手段によって撮影された画像に基づいて、前記複数の周
期関数のそれぞれの位相を計算する位相計算手段と、前
記位相計算手段によって計算された各位相を、対応する
周期関数の周期の長いものから順番により周期が長い周
期関数の位相を参照しながら、接続していく位相接続手
段と、前記位相接続手段によって接続された位相と、前
記光投射手段及び前記画像撮影手段との位置関係と、前
記画像撮影手段によって撮影された画像中の各画素の位
置とに基づいて、前記計測対象物の形状を求める形状算
出手段とを備えることを特徴とする。
【0034】このように、本発明は、複数の正弦波を足
し合わせた信号以外であっても、互いに直交する複数の
周期関数を足し合わせた信号で表される強度変化を有す
る光パターンでも、計測対象物への照射を1回行うだけ
で、当該計測対象物の3次元形状を測定することができ
る。
【0035】上記目的を達成するため、本発明の第3の
観点にかかる3次元形状測定方法は、任意の位相を有す
複数の正弦波を足し合わせた信号で、前記複数の正弦
波がそれぞれ最も周期の短い正弦波の整数倍の周期を有
する信号によって表される強度変化を有する光パターン
を計測対象物に投射する光投射ステップと、前記光投射
ステップで光パターンが投射された計測対象物の画像を
撮影する画像撮影ステップと、前記画像撮影ステップに
おいて撮影された画像に基づいて、前記複数の正弦波の
それぞれの位相を計算する位相計算ステップと、前記位
相計算ステップで計算された各位相を、対応する正弦波
の周期の長いものから順番により周期が長い正弦波の位
相を参照しながら、接続していく位相接続ステップと、
前記位相接続ステップで接続された位相と、前記光投射
ステップで投射する光の発生位置及び前記画像撮影ステ
ップでの撮影位置の位置関係と、前記画像撮影ステップ
で撮影された画像中の各画素の位置とに基づいて、前記
計測対象物の形状を求める形状算出ステップとを含むこ
とを特徴とする。上記目的を達成するため、本発明の第
4の観点にかかる3次元形状測定方法は、互いに直交す
る複数の周期関数を足し合わせた信号で表される強度変
化を有する光パターンを計測対象物に投射する光投射ス
テップと、前記光投射ステップで光パターンが投射され
た計測対象物の画像を撮影する画像撮影ステップと、前
記画像撮影ステップにおいて撮影された画像に基づい
て、前記複数の周期関数のそれぞれの位相を計算する位
相計算ステップと、前記位相計算ステップで計算された
各位相を、対応する周期関数の周期の長いものから順番
により周期が長い周期関数の位相を参照しながら、接続
していく位相接続ステップと、 前記位相接続ステップで
接続された位相と、前記光投射ステップで投射する光の
発生位置及び前記画像撮影ステップでの撮影位置の位置
関係と、前記画像撮影ステップで撮影された画像中の各
画素の位置とに基づいて、前記計測対象物の形状を求め
る形状算出ステップとを含むことを特徴とする。
【0036】上記目的を達成するため、本発明の第
観点にかかるコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、
任意の位相を有する複数の正弦波を足し合わせた信号
で、前記複数の正弦波がそれぞれ最も周期の短い正弦波
の整数倍の周期を有する信号によって表される強度変化
を有する光パターンを計測対象物に投射させる光投射ス
テップと、前記光投射ステップで光パターンが投射され
た計測対象物について撮影された画像を取り込む画像取
込ステップと、前記画像取込ステップで取り込まれた画
像に基づいて、前記複数の正弦波のそれぞれの位相を計
算する位相計算ステップと、前記位相計算ステップで計
算された各位相を、対応する正弦波の周期の長いものか
ら順番により周期が長い正弦波の位相を参照しながら、
接続していく位相接続ステップと、前記位相接続ステッ
プで接続された位相と、前記光投射ステップで投射する
光の発生位置及び前記画像撮影ステップでの撮影位置の
位置関係と、前記画像取込ステップで取り込まれた画像
中の各画素の位置とに基づいて、前記計測対象物の形状
を求める形状算出ステップとを実行させるプログラムを
記録することを特徴とする。上記目的を達成するため、
本発明の第6の観点にかかるコンピュータ読み取り可能
な記録媒体は、互いに直交する複数の周期関数を足し合
わせた信号で表される強度変化を有する光パターンを計
測対象物に投射する光投射ステップと、前記光投射ステ
ップで光パターンが投射された計測対象物の画像を撮影
する画像撮影ステップと、前記画像撮影ステップにおい
て撮影された画像に基づいて、前記複数の周期関数のそ
れぞれの位相を計算する位相計算ステップと、前記位相
計算ステップで計算された各位相を、対応する周期関数
の周期の長いものから順番により周期が長い周期関数の
位相を参照しながら、接続していく位相接続ステップ
と、 前記位相接続ステップで接続された位相と、前記光
投射ステップで投射する光の発生位置及び前記画像撮影
ステップでの撮影位置の位置関係と、前記画像撮影ステ
ップで撮影された画像中の各画素の位置とに基づいて、
前記計測対象物の形状を求める形状算出ステップとを実
行させるプログラムを記録することを特徴とする。
【0037】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明の実施の形態について説明する。
【0038】図1は、この実施の形態にかかる3次元形
状測定装置の構成を示すブロック図であり、図2は、そ
の外観構成図である。図2を参照すると、この3次元形
状測定装置は、計測対象物体2に対して光パターンを投
射するパターン投射器1と、投射されたパターンの画像
を撮影するカメラ3と、画像の取り込みやパターン投射
器1の制御および演算処理を行うコンピュータ4とを含
む。なお、図1において、パターン投射器1、計測対象
物体2、カメラ3及び画像取込装置41は、2つずつ示
されているが、この実施の形態の機能を説明するための
ものであり、物理的な構成としては、これらは1つずつ
で構成されている。
【0039】パターン投射器1は、光源11と、位相格
子12と、位相格子駆動装置13とを備えている。
【0040】光源11は、対象物体に光パターンを投射
するために十分な輝度の投射光を発する光源である。位
相格子12は、格子駆動装置13によって駆動される方
向の軸xに沿っての光透過率分布が投射光パターンに対
応するような濃淡パターンが印刷されている。この実施
の形態では、図4に示すように、投射する光パターン
は、基本の周期πの正弦波信号101にその2倍の周期
2πの正弦波信号102を加えた信号103とする。し
たがって、カメラ3で撮影したとき画像上の画素(x,
y)の位置にうつる点にパターン投射器1から投射され
る光パターンE(x,y,t)は、数式12で表され
る。
【0041】
【数12】
【0042】ここで、Aが基本の周期の正弦波光パタ
ーンの光強度の最大値、Aが2倍の周期の正弦波光パ
ターンの光強度の最大値、tは格子駆動装置13によっ
て格子を動かした移動量を位相で表したもの、φは基
本の周期での位相、φは2倍の周期での位相である。
【0043】格子駆動装置13は、コンピュータ4から
の制御によって位相格子12を駆動し、必要なタイミン
グで投射する光パターンを変化させる。
【0044】カメラ3は、パターン投射器1から測定対
象物体2に投射された光パターンを撮影し、その撮影し
た画像をコンピュータ4に伝送する。
【0045】コンピュータ4は、パーソナルコンピュー
タやエンジニアリングワークステーションによって構成
され、画像取り込み装置41と、位相計算処理部42,
43と、位相接続処理部54と、距離演算処理部55
と、測定制御処理部56を備える。
【0046】画像取り込み装置41は、カメラ3によっ
て撮影された光パターンの画像を、測定制御処理56か
らの制御により適切なタイミングでコンピュータの記憶
装置に取り込む。この実施例では、t={0,π/
2,π,3π/2,2π,5π/2,3π,7π/2}
の各時刻において合計8枚の画像I=I(x,y,t
)を取り込む。すなわち、画像取込装置41は、格子
駆動装置13の動きと合わせて適切なタイミングで画像
を取り込むように制御される。
【0047】位相計算処理部42,43は、取り込んだ
時系列画像から、画像上の各画素に対応する測定対象物
体2上の点に投射される光パターンの位相を計算する。
第1の位相計算処理部42は、基本の周期の正弦波に対
する位相φを数式13に従って計算する。また、第2
の位相計算処理部43は、2倍の周期の正弦波に対する
位相φを数式14に従って計算する。
【0048】
【数13】
【0049】
【数14】
【0050】上記の数式13、数式14からそれぞれ求
められる位相φ,φの値には2πの整数倍の不定性
が残っている。位相接続処理部54は、この不定性を除
くため、次に説明するような方法により位相の接続を行
う。
【0051】位相接続処理部54は、まず、数式14で
求めた位相φを接続する。この場合、従来手法と同様
に、まず位相接続の基準点をある1点に決め、そこから
周囲の画素を次々に見ていき、隣り合う画素間で位相が
2πの80%以上変化した場合に2πを足し引きする。
【0052】すでに従来例において、図3を参照して説
明したように、この方法では隣り合う画素の間で大きな
位相変化を起こすような対象物体の形状の変化や不連続
があると接続ができなくなる。しかし、2倍の周期では
十分周期が長いのでそのような問題は起きずに接続が行
える。
【0053】位相接続処理部54は、次に、数式13で
求めた位相φを接続する。ここでは基本の周期が短い
ために上述の問題が発生するが、2倍の周期で測定した
位相φを参照することで解決できる。位相φは位相
φに比べて同じ形状変化に対する変化量が1/2であ
るので、処理している画素の周囲でのφの変化を参照
することで容易に位相接続が行える。
【0054】例えば、図3の場合では、φ(図の
(b))を見ただけでは(*)の部分で位相が大きく変
化していることが検出できず誤った接続を行ってしまう
が、φの接続された値を参照することで位相の変化が
大きいことが検出でき、正しい接続を行うことができ
る。
【0055】距離演算処理部55は、カメラ3と光源1
1の位置関係と、各画素の接続された位相値を用いて計
測対象物体2の表面までの奥行きを計算する。画素の座
標(x,y)および位相接続処理部54によって求めた
位相値φを用いて、従来例で説明した文献「縞走査を
導入した格子パターン投影法」に記載の手法により、測
定対象物体2の表面の3次元座標を計算する。
【0056】測定制御処理部56は、格子駆動装置13
と画像入力装置41とを同期して駆動し、適切なタイミ
ングでパターン投射器1からのパターンの投影とカメラ
3による画像の取り込みとが行えるようにする。
【0057】以下、この実施の形態にかかる3次元形状
測定装置の動作について、説明する。コンピュータ4の
測定制御処理部56は、格子駆動装置13を駆動制御し
て、パターン投射器1から信号103と同様の強度変化
を有する光パターンを計測対象物体2に投射させる。計
測対象物体2に投射された光パターンによる画像は、カ
メラ3によって撮影される。このとき、画像の画素
(x,y)に位置での光パターンE(x,y,t)は、
上記したように数式12で表される。
【0058】測定処理制御部56は、また、格子駆動装
置13の駆動に同期して、画像取込装置41を制御し、
カメラ3で撮影された画像を、t={0,π/2,
π,3π/2,2π,5π/2,3π,7π/2}の各
時刻において合計8枚の時系列画像I=I(x,y,
)を取り込んでいく。
【0059】このように時系列画像が画像取込装置41
に取り込まれると、上記で説明したような方法により、
第1位相計算処理部42は位相φを、第2位相計算処
理部43は位相φを、それぞれ計算する。
【0060】次に、位相接続処理部54で位相の接続が
行われるが、位相接続処理部54は、まず、位相接続の
基準点をある1点に決め、そこから周囲の画素を次々に
見ていき、隣り合う画素間で位相が2πの80%以上変
化した場合に2πを足し引きすることによって、位相φ
を接続する。さらに、位相接続処理部54は、位相φ
の2倍の周期で測定した位相φを参照することによ
って、さらに位相φを接続する。
【0061】そして、距離演算処理部55において、カ
メラ3と光源11の位置関係と、各画素の接続された位
相値を基づいて計測対象物体2の表面までの奥行きが計
算され、画素の座標(x,y)および位相接続処理部5
4によって求めた位相値φを用いて、測定対象物体2
の表面の3次元座標が計算される。
【0062】以上説明したように、この実施の形態の3
次元形状測定装置では、パターン投射器1から計測対象
物体2に投射する光パターンを、基本周期の正弦波とそ
の2倍周期の正弦波とを足し合わせた強度変化を有する
ものとしている。そして、カメラ3で撮影した画像のう
ち、それぞれの周期の正弦波成分から位相φとφ
が計算される。このため、計測対象物体2の3次元形状
の測定のために、光パターンの照射を1回だけで行える
ので、3次元形状の測定に必要となる時間を従来に比べ
て大きく短縮することができる。
【0063】また、位相接続処理部44において、基本
周期の正弦波成分に対応する位相φ を接続する場合
に、その2倍の周期の正弦波成分に対応する位相φ
参照しているため、位相接続を確実に行うことが可能と
なる。
【0064】さらには、この実施の形態の3次元形状測
定装置では、位相格子12は1つだけ用意すればよいの
で、異なる濃淡パターンを有する位相格子を複数用意し
て、それを取り替えたり、特殊な駆動手段を用意したり
する必要がない。
【0065】この実施の形態では、基本の周期と2倍の
周期で測定を行っているが、さらに長い周期での測定が
必要であれば3倍、4倍、…の周期の光パターンを用い
ることもできる。また、測定回数(画像の取り込み回
数)を8回としているが、この測定回数は変えることも
できる。例えば、測定回数を増やせばそれだけ位相の計
算精度が向上することが期待される。また、参照用に2
倍の周期の光パターンを用いているが、さらに長い周期
の光パターンを用いればより大きな形状変化にも対応で
きることになる。また、正弦波以外の直交関数系による
周期関数を用いることもできる。
【0066】さらには、この実施の形態において、コン
ピュータ4の各機能を実現し、上記処理の各手順を実行
するためのプログラムは、CD−ROMなどのコンピュ
ータ読み取り可能な記録媒体に格納して配布してもよ
い。
【0067】[第2の実施の形態]図5は、この実施の
形態にかかる3次元形状測定装置の外観構成を示す。図
示するように、この実施の形態の3次元形状測定装置
は、図2の位相格子12を液晶格子14に置き換えてい
る。また、液晶格子14を用いたことで、図2の格子駆
動装置13が必要なくなる点で、第1の実施の形態の3
次元形状測定装置と異なっている。また、コンピュータ
4の構成は、図1に示す第1の実施の形態のものとほぼ
同様であるが、測定制御装置56は、画像入力装置41
に同期して液晶格子14を駆動制御する。
【0068】この実施の形態にかかる3次元形状測定装
置は、測定制御処理部56は、画像入力装置41に同期
して液晶格子14を駆動して、光源11からの光の透過
率を変化させることによって、第1の実施の形態で撮影
した印刷されている濃淡パターンと同様のパターンが発
生させる点を除けば、第1の実施の形態の場合と同様に
して動作させることができる。
【0069】以上説明したように、この実施の形態の3
次元形状測定装置では、液晶格子14を用いているの
で、格子駆動装置13によって格子を駆動する必要がな
く、パターンの変化をより正確に制御することができ
る。また、液晶格子14では、格子の生成を容易に行う
ことができるので、投射パターンを複雑なものとした場
合に、格子の作成が困難になるといった問題を回避する
ことができる。
【0070】なお、この実施の形態においても、コンピ
ュータ4の各機能を実現し、上記処理の各手順を実行す
るためのプログラムは、CD−ROMなどのコンピュー
タ読み取り可能な記録媒体に格納して配布してもよい。
【0071】[第3の実施の形態]図6は、この実施の
形態にかかる3次元形状測定装置の外観構成を示す。図
示するように、この実施の形態の3次元形状測定装置
は、図2のパターン投射器1は、光源11と位相格子1
2の代わりに、自発光素子であるプラズマ・ディスプレ
イ・パネル(PDP)15を備える。また、PDP15
を用いたことで、図2の格子駆動装置13が必要なくな
る点で、第1の実施の形態の3次元形状測定装置と異な
っている。また、コンピュータ4の構成は、図1に示す
第1の実施の形態のものとほぼ同様であるが、測定制御
装置56は、画像入力装置41に同期してPDP15を
駆動制御する。
【0072】この実施の形態にかかる3次元形状測定装
置は、測定制御処理部56は、画像入力装置41に同期
してPDP15を駆動制御して、PDP15が発生する
光のパターンを変化させることによって、第1の実施の
形態で撮影した印刷されている濃淡パターンと同様のパ
ターンが発生させる点を除けば、第1の実施の形態の場
合と同様にして動作させることができる。
【0073】以上説明したように、この実施の形態の3
次元形状測定装置においても、PDP15を用いている
ので、格子駆動装置13によって格子を駆動する必要が
なく、パターンの変化をより正確に制御することができ
る。また、PDP15では、所望の光パターンを容易に
発生することができるので、投射パターンを複雑なもの
とした場合に、格子の作成が困難になるといった問題を
回避することができる。
【0074】なお、この実施の形態においても、コンピ
ュータ4の各機能を実現し、上記処理の各手順を実行す
るためのプログラムは、CD−ROMなどのコンピュー
タ読み取り可能な記録媒体に格納して配布してもよい。
【0075】[第4の実施の形態]上記第1〜第3の実
施の形態では、2つの周期の正弦波を足し合わせた光パ
ターンを用いた場合について説明したが、この実施の形
態では、任意の数nの正弦波を足し合わせた光パターン
を用いて3次元形状を測定する場合について、説明す
る。
【0076】図7は、この実施の形態にかかる3次元形
状測定装置の構成を示すブロック図である。図示するよ
うに、この実施の形態にかかる3次元形状測定装置は、
第1の実施の形態のもの(図1)とほぼ同様であるが、
パターン投射器1から投射される光パターンのそれぞれ
の正弦波信号成分は、数式15で表される。
【0077】
【数15】
【0078】ここで、iは正弦波信号の番号であり1か
らnまでをとり、周期の短い順に番号をつけて1が基本
の周期でnを最長の周期の正弦波とする。kは1また
は正の整数でk=1<k<・・・<kであり、A
はそれぞれの周期における光強度であるとする。即ち
ψは基本の周期のk倍の周期の正弦波であり、k
をk,k,・・・,kの最小公倍数とすれば、ψ
,ψ,・・・,ψ は区間t=[0,2kπ]で
直交している。
【0079】従って、パターン投射器1から物体上の点
Pへ投射される光強度E(t)は、数式16で表すも
のとなる。
【0080】
【数16】
【0081】ここで、φは光源から点Pへの見込み角
に応じて定まる、t=0時点での各周期の正弦波毎の位
相である。
【0082】また、コンピュータ4において、画像取込
装置41は、カメラ3によって撮影された画像を取り込
むが、画像取込装置41が取り込んだ画像の点Pにおけ
る輝度I(t)は、数式17で表される。
【0083】
【数17】
【0084】ここで、I biasは輝度のバイアス項、A
’は各周期における輝度の振幅を表している。
【0085】コンピュータ4内には、光パターンとして
足し合わされる正弦波がn個であることに対応して、n
個の位相計算処理部41〜4nが設けられている。位相
計算処理部41〜4nでは、光パターンをt=0から2
πまで均等にmステップ、tからtまで変化さ
せながら画像I(t)を観測するとすると、各周期の
正弦波は互いに直交しているためにそれぞれの位相φ
は、数式18により求められる。
【0086】
【数18】
【0087】位相接続処理部54は、画像全体で隣接す
る画素間の位相が滑らかになるように2πの整数倍を足
し引きして、位相φから順番に位相φの接続を行っ
ていくが、このとき、より周期の長い正弦波で測定した
位相φ(j=i〜n)を参照する。
【0088】ここで、最も長い周期を図3に示したよう
な位相接続の問題が起こらないような十分長い周期にし
ておけば、φの位相接続は従来例で説明した文献「縞
走査を導入した格子パターン投影法」に記載の手法と同
様の手法で行うことができる。こうして長い周期での接
続された位相φを得ておけば、短い周期での位相の位
相接続において、図3に示したような問題が起こった場
合にも、より長い周期での位相を参照することで正しく
位相接続を行うことができる。
【0089】以上、この実施の形態で示したように、任
意の個数nの異なる周期の正弦波信号成分を有する光パ
ターンを計測対象物体2に1回だけ投射するだけで、各
正弦波成分に対応する位相を同時に測定することができ
る。これにより、位相格子12に複数のパターンを用意
して、測定を繰り返す必要がなくなる。あるいは、液晶
格子14またはPDP15の駆動制御を繰り返す必要が
なくなる。さらに、より長い周期の正弦波成分での位相
を参照することで、位相接続を確実に行うことができ
る。
【0090】なお、この場合においても、正弦波以外の
直交関数系による周期関数を用いる。さらには、この実
施の形態においても、コンピュータ4の各機能を実現
し、上記処理の各手順を実行するためのプログラムは、
CD−ROMなどのコンピュータ読み取り可能な記録媒
体に格納して配布してもよい。こともできる。
【0091】
【発明の効果】本発明を用いれば、異なる周期での位相
の測定を同時に行うことができ、位相接続を確実に行う
ことができるとともに、それぞれの周期で測定を繰り返
す従来の手法に比べて必要な測定時間を短縮できるとい
う効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態にかかる3次元形状
測定装置のブロック図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態にかかる3次元形状
測定装置の構成を示す図である。
【図3】位相の接続のための手法を説明する図である。
【図4】パターン投射器から投射する光パターンを説明
するための図である。
【図5】本発明の第2の実施の形態にかかる3次元画像
計測装置の構成を示す図である。
【図6】本発明の第3の実施の形態にかかる3次元画像
計測装置の構成を示す図である。
【図7】本発明の第4の実施の形態にかかる3次元画像
計測装置のブロック図である。
【図8】従来技術において、測定に用いる正弦波の周期
と測定精度の関係を説明する図である。
【図9】従来技術によって異なる周期での測定を行うた
めに用いる位相格子を説明する図である。
【符号の説明】
1 パターン投射器 2 測定対象物体 3 カメラ 4 コンピュータ 11 光源 12 位相格子 13 位相格子駆動装置 14 液晶格子 15 プラズマ・ディスプレイ・パネル(PDP) 41 画像取込装置 42 位相計算処理部 43 位相計算処理部 4n 位相計算処理部 54 位相接続処理部 55 距離演算処理部 56 測定制御処理部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01B 11/00 - 11/30 102 G06T 1/00 315 G06T 7/00

Claims (12)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】任意の位相を有する複数の正弦波を足し合
    わせた信号で、前記複数の正弦波がそれぞれ最も周期の
    短い正弦波の整数倍の周期を有する信号によって表され
    る強度変化を有する光パターンを計測対象物に投射する
    光投射手段と、 前記光投射手段からの光パターンが投射された計測対象
    物の画像を撮影する画像撮影手段と、 前記画像撮影手段によって撮影された画像に基づいて、
    前記複数の正弦波のそれぞれの位相を計算する位相計算
    手段と、 前記位相計算手段によって計算された各位相を、対応す
    る正弦波の周期の長いものから順番により周期が長い正
    弦波の位相を参照しながら、接続していく位相接続手段
    と、 前記位相接続手段によって接続された位相と、前記光投
    射手段及び前記画像撮影手段との位置関係と、前記画像
    撮影手段によって撮影された画像中の各画素の位置とに
    基づいて、前記計測対象物の形状を求める形状算出手段
    とを備えることを特徴とする3次元形状測定装置。
  2. 【請求項2】前記光投射手段は、所定の輝度の光を発す
    る光源と、前記複数の正弦波を重ね合わせた信号によっ
    て表される強度変化に対応する濃淡パターンを有する位
    相格子と、前記位相格子を駆動する駆動手段とを備え、
    前記駆動手段によって駆動される位相格子を介して前記
    光源からの光を前記計測対象物に投射することを特徴と
    する請求項1に記載の3次元形状測定装置。
  3. 【請求項3】前記光投射手段は、所定の輝度の光を発す
    る光源と、前記複数の正弦波を重ね合わせた信号によっ
    て表される強度変化に対応して光の透過率を変化させる
    光透過手段とを備え、前記光透過手段を介して前記光源
    からの光を前記計測対象物に投射することを特徴とする
    請求項1に記載の3次元形状測定装置。
  4. 【請求項4】前記光投射手段は、前記複数の正弦波を重
    ね合わせた信号によって表される強度変化で発光する発
    光素子を備え、前記発光素子が発した光を前記計測対象
    物に投射することを特徴とする請求項1に記載の3次元
    形状測定装置。
  5. 【請求項5】前記光投射手段が投射する光パターンを構
    成する正弦波ψ(i=1,2,・・・,n)は、数式
    1によって表され、 【数1】 (但し、iは正弦波信号の番号であり1からnまでをと
    り、周期の短い順に番号をつけて1が基本の周期でnを
    最長の周期の正弦波とする。kは1または正の整数で
    =1<k<・・・<kであり、Aはそれぞれ
    の周期における光強度である。)前記計測対象物上の点
    Pにおける光強度E(t)は、数式2によって表さ
    れ、 【数2】 (但し、φは光源から点Pへの見込み角に応じて定ま
    る、t=0時点での各周期の正弦波毎の位相である。)
    前記画像取込手段によって前記画像撮影手段から取り込
    んだ画像の前記点Pに対応する画素の輝度I(t)
    は、数式3によって表される 【数3】 (但し、I biasは輝度のバイアス項、A’は各周期
    における輝度の振幅である。)ことを特徴とする請求項
    1乃至4のいずれか1項に記載の3次元形状測定装置。
  6. 【請求項6】前記位相計算手段は、前記光パターンを構
    成する正弦波ψの位相φを、数式4によって計算す
    る 【数4】 ことを特徴とする請求項5に記載の3次元形状測定装
    置。
  7. 【請求項7】前記位相接続手段は、画像全体で隣接する
    画素間の位相が滑らかになるように2πラジアンの整数
    倍を足し引きして、各位相を接続していくことを特徴と
    する請求項1乃至6のいずれか1項に記載の3次元形状
    測定装置。
  8. 【請求項8】互いに直交する複数の周期関数を足し合わ
    せた信号で表される強度変化を有する光パターンを計測
    対象物に投射する光投射手段と、 前記光投射手段からの光パターンが投射された計測対象
    物の画像を撮影する画像撮影手段と、 前記画像撮影手段によって撮影された画像に基づいて、
    前記複数の周期関数のそれぞれの位相を計算する位相計
    算手段と、 前記位相計算手段によって計算された各位相を、対応す
    る周期関数の周期の長いものから順番により周期が長い
    周期関数の位相を参照しながら、接続していく位相接続
    手段と、 前記位相接続手段によって接続された位相と、前記光投
    射手段及び前記画像撮影手段との位置関係と、前記画像
    撮影手段によって撮影された画像中の各画素の位置とに
    基づいて、前記計測対象物の形状を求める形状算出手段
    とを備えることを特徴とする3次元形状測定装置。
  9. 【請求項9】任意の位相を有する複数の正弦波を足し合
    わせた信号で、前記複数の正弦波がそれぞれ最も周期の
    短い正弦波の整数倍の周期を有する信号によって表され
    る強度変化を有する光パターンを計測対象物に投射する
    光投射ステップと、 前記光投射ステップで光パターンが投射された計測対象
    物の画像を撮影する画像撮影ステップと、 前記画像撮影ステップにおいて撮影された画像に基づい
    て、前記複数の正弦波のそれぞれの位相を計算する位相
    計算ステップと、 前記位相計算ステップで計算された各位相を、対応する
    正弦波の周期の長いものから順番により周期が長い正弦
    波の位相を参照しながら、接続していく位相接続ステッ
    プと、 前記位相接続ステップで接続された位相と、前記光投射
    ステップで投射する光の発生位置及び前記画像撮影ステ
    ップでの撮影位置の位置関係と、前記画像撮影ステップ
    で撮影された画像中の各画素の位置とに基づいて、前記
    計測対象物の形状を求める形状算出ステップとを含むこ
    とを特徴とする3次元形状測定方法。
  10. 【請求項10】互いに直交する複数の周期関数を足し合
    わせた信号で表される強度変化を有する光パターンを計
    測対象物に投射する光投射ステップと、 前記光投射ステップで光パターンが投射された計測対象
    物の画像を撮影する画像撮影ステップと、 前記画像撮影ステップにおいて撮影された画像に基づい
    て、前記複数の周期関数のそれぞれの位相を計算する位
    相計算ステップと、 前記位相計算ステップで計算された各位相を、対応する
    周期関数の周期の長いものから順番により周期が長い周
    期関数の位相を参照しながら、接続していく位相接続ス
    テップと、 前記位相接続ステップで接続された位相と、前記光投射
    ステップで投射する光の発生位置及び前記画像撮影ステ
    ップでの撮影位置の位置関係と、前記画像撮影ステップ
    で撮影された画像中の各画素の位置とに基づいて、前記
    計測対象物の形状を求める形状算出ステップとを含むこ
    とを特徴とする3次元形状測定方法。
  11. 【請求項11】任意の位相を有する複数の正弦波を足し
    合わせた信号で、前記複数の正弦波がそれぞれ最も周期
    の短い正弦波の整数倍の周期を有する信号によって表さ
    れる強度変化を有する光パターンを計測対象物に投射さ
    せる光投射ステップと、 前記光投射ステップで光パターンが投射された計測対象
    物について撮影された画像を取り込む画像取込ステップ
    と、 前記画像取込ステップで取り込まれた画像に基づいて、
    前記複数の正弦波のそれぞれの位相を計算する位相計算
    ステップと、 前記位相計算ステップで計算された各位相を、対応する
    正弦波の周期の長いものから順番により周期が長い正弦
    波の位相を参照しながら、接続していく位相接続ステッ
    プと、 前記位相接続ステップで接続された位相と、前記光投射
    ステップで投射する光の発生位置及び前記画像撮影ステ
    ップでの撮影位置の位置関係と、前記画像取込ステップ
    で取り込まれた画像中の各画素の位置とに基づいて、前
    記計測対象物の形状を求める形状算出ステップとを実行
    させるプログラムを記録することを特徴とするコンピュ
    ータ読み取り可能な記録媒体。
  12. 【請求項12】互いに直交する複数の周期関数を足し合
    わせた信号で表される強度変化を有する光パターンを計
    測対象物に投射する光投射ステップと、 前記光投射ステップで光パターンが投射された計測対象
    物の画像を撮影する画像撮影ステップと、 前記画像撮影ステップにおいて撮影された画像に基づい
    て、前記複数の周期関数のそれぞれの位相を計算する位
    相計算ステップと、 前記位相計算ステップで計算された各位相を、対応する
    周期関数の周期の長いものから順番により周期が長い周
    期関数の位相を参照しながら、接続していく位相接続ス
    テップと、 前記位相接続ステップで接続された位相と、前記光投射
    ステップで投射する光の発生位置及び前記画像撮影ステ
    ップでの撮影位置の位置関係と、前記画像撮影 ステップ
    で撮影された画像中の各画素の位置とに基づいて、前記
    計測対象物の形状を求める形状算出ステップとを実行さ
    せるプログラムを記録することを特徴とするコンピュー
    タ読み取り可能な記録媒体。
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