JP3198557U - 6フッ化硫黄ガス高純度化装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ボンベに収容したままで6フッ化硫黄ガスを効率良く高純度化する装置を提供する。【解決手段】気体状の6フッ化硫黄を収容するボンベを摂氏−100度以下に冷却する冷却器4と、ボンベ20内の気体を排気する排気器6とを備えることを特徴とする6フッ化硫黄高純度化装置1であって、冷却器4を冷却チャンバ4aと冷却チャンバ4aに充填される冷媒とで構成することができ、効率的である。また、ボンベ20を冷却するので、排気される気体中の6フッ化硫黄が微量である。【選択図】図2
Description
本考案は、6フッ化硫黄ガスを高純度化する6フッ化硫黄ガス高純度化装置に関する。
6フッ化硫黄(SF6)は、常温大気圧下において、化学的に安定な無毒、無臭、無色、且つ不燃性の気体であり、電気及び電子機器における絶縁材等として広く利用されている。一方、6フッ化硫黄ガスには、不純物が含まれ、不純物の除去が課題となる。ここで、水等の不純物は、高性能フィルタを用いることで、比較的容易に取り除くことができる。それに対して、6フッ化硫黄ガスに最も多く含まれ得る空気を取り除くことは、通常、容易ではない。そこで、例えば特許文献1では、6フッ化硫黄ガスを冷却して液化することで不純物ガスを取り除く6フッ化硫黄ガス生成装置が開示されている。
また、6フッ化硫黄ガスは、その温室効果のため、地球温暖化防止のための排出規制対象である。そこで、6フッ化硫黄ガスのリサイクルが広まっている。リサイクルにおいては、使用済みの6フッ化硫黄ガスに含まれる不純物を取り除くことが必須である。
特許文献1に開示された6フッ化硫黄ガス生成装置には、以下の問題があった。(1)冷凍機が6フッ化硫黄ガスを冷却していない。このため、排出されるガス中に6フッ化硫黄が多く含まれ、これを復元するためにコストのかかるコールドトラップを用いざるを得ない。(2)6フッ化硫黄ガスを使用するために収容するボンベとは異なった特殊構造の容器を使用する。このため、不純物ガスを取り除くために、6フッ化硫黄ガスをボンベから排出する必要がある。
上記(1)の問題点について補足する。6フッ化硫黄ガス生成装置がボンベとは別に設けられているので、6フッ化硫黄ガス生成装置内におけるガスの圧力は100KPa程度(1気圧程度)と考えられる。してみれば、液化のための凝縮温度は−60℃程度である。図1は、6フッ化硫黄、窒素及び酸素の飽和蒸気圧を示す図である。−60℃において、6フッ化硫黄の飽和蒸気圧は100KPa程度あり、空気と6フッ化硫黄とが混合した気体中の6フッ化硫黄の分圧が高い。気体を除去する際に、相当量の6フッ化硫黄を除去してしまう。このため、その6フッ化硫黄を復元するためのコールドトラップを必要とする。
本考案は、ボンベに収容したままで6フッ化硫黄ガスを効率良く高純度化する装置を提供することを課題とする。
本考案の6フッ化硫黄高純度化装置は、
6フッ化硫黄を収容するボンベを摂氏−100度以下に冷却する冷却器と、
前記ボンベ内の気体を排気する排気器と、
を備えることを特徴とする。
6フッ化硫黄を収容するボンベを摂氏−100度以下に冷却する冷却器と、
前記ボンベ内の気体を排気する排気器と、
を備えることを特徴とする。
この特徴によれば、ボンベ内の6フッ化硫黄の飽和蒸気圧と空気(N2及びO2)の飽和蒸気圧の比が、1:150以上になる。すなわち、液化6フッ化硫黄ボンベ内の気体の大部分が空気であり、6フッ化硫黄は微量である。この状態でボンベ内の気体を排気することで、6フッ化硫黄を殆ど排出せずに空気のみを排出することができる。その結果として、高純度の6フッ化硫黄を得ることができる。なお、収容されたボンベが特殊な構造を有する必要がない。
本考案の6フッ化硫黄高純度化装置は、
前記冷却器は、前記ボンベを収容する冷却チャンバと該冷却チャンバに充填される冷媒とからなることを特徴とする。
前記冷却器は、前記ボンベを収容する冷却チャンバと該冷却チャンバに充填される冷媒とからなることを特徴とする。
この特徴によれば、特段の電気回路等を設けずに冷却器が構成される。
本考案の6フッ化硫黄高純度化装置は、
前記冷媒は液体窒素であることを特徴とする。
前記冷媒は液体窒素であることを特徴とする。
液体窒素は、広く用いられる冷媒であり、ボンベを摂氏−100度以下に冷却する。摂氏−100度において、6フッ化硫黄の飽和蒸気圧と空気の飽和蒸気圧の比は、およそ1:150である。
本考案の6フッ化硫黄高純度化装置は、
前記排気器は、前記ボンベが備える配管から気体を排気することを特徴とする。
前記排気器は、前記ボンベが備える配管から気体を排気することを特徴とする。
この特徴によれば、気体を排気するための特別な配管等をボンベに設ける必要がない。
本考案の6フッ化硫黄高純度化装置は、
前記排気器は、真空ポンプによって気体を排気することを特徴とする。
前記排気器は、真空ポンプによって気体を排気することを特徴とする。
真空ポンプは、気体を排気するために広く用いられている。本考案を容易に実現し得る。
本考案の6フッ化硫黄高純度化装置によれば、6フッ化硫黄ガスを効率良く高純度化することが可能になる。
以下、本考案の6フッ化硫黄高純度化装置の一実施形態について説明する。
図2に、本実施形態に係る6フッ化硫黄高純度化装置(以下、単に高純度化装置とも呼ぶ)1を示す。高純度化装置1は、6フッ化硫黄を高純度化する装置であり、冷却器4、真空計5及び排気器6を含み、これらが配管7によって接続されている。配管7には弁12及び弁13が設けられている。図において、太線で示された部分(冷媒4dを含む)が高純度化装置1である。
冷却器4は、6フッ化硫黄ガスが充填されたボンベ20を冷却する装置であり、冷却チャンバ4a及び冷媒供給装置4bを有する。冷却チャンバ4a及び冷媒供給装置4bは、弁4cを有する配管を介して互いに接続され、弁4cを開くことで冷媒4dが冷却チャンバ4aに供給される。
冷却チャンバ4aは、外部から断熱された内部空間を有し、配管7の先端にボンベ20の口21が着脱可能に取付けられる。図中に黒塗り矢印を用いて示すように、ボンベ20(20a)を出し入れ可能(交換可能)に格納する。
冷媒供給装置4bは、冷却チャンバ4a内にボンベ20を冷却するための冷媒4dを供給する。冷媒としては、液体窒素を採用する。ただし、−100℃以下の低温を実現するものであれば、いずれの冷媒を採用することもできる。
真空計5は、ボンベ20内の圧力を測定する測定器であり、ボンベ20が取付けられる配管に接続されている。
排気器6は、排気ポンプを有し、これを用いてボンベ20内の残留ガスを高純度化装置1外に排気する。排気器6、すなわち排気ポンプは、配管7を介して、それに取り付けられたボンベ20に接続されている。
なお、ボンベ20の内部は、常温において2000kPa程度の圧力である。ボンベ20は、例えば一般的なマンガン鋼製高圧容器を使用する。
実際に高純度化装置を使用する際には、ボンベ20に高純度化前の6フッ化硫黄ガスが導入される。導入されたガスは液化されボンベに溜まる。このために、供給部2及びフィルタ部3が用いられる。供給部2及びフィルタ部3は、公知の物である。
供給部2は、本実施形態の高純度化装置1により高純度化する不純物を含む6フッ化硫黄ガスを含み、その6フッ化硫黄ガスをフィルタ部3に向けて送り出す。
フィルタ部3は、高性能フィルタを有し、これを用いて6フッ化硫黄ガスをフィルタリングすることで、6フッ化硫黄ガスから主に水分を含む不純物を取り除く。一方、空気を取り除くことはできない。フィルタ部3は、弁11を有する配管を介して供給部2に接続されて6フッ化硫黄ガスを取込み、配管7を介してボンベ20に接続されてフィルタリング後の6フッ化硫黄ガスを送出する。
高純度化装置1による6フッ化硫黄の高純度化の手順100を図3及び図4のフローチャートに示す。供給される6フッ化硫黄がガスの場合(図3)と液体の場合(図4)とで異なる。
図3に与えるフローチャートに、供給される6フッ化硫黄がガスの場合における高純度化装置1による6フッ化硫黄の高純度化の手順100を示す。手順100の開始に先立って、すべての弁11,12,12a,13,4cは閉じられている。
ステップ102では、ボンベ20を冷却チャンバ4a内に格納し、ボンベ20の口21を配管7の先端に取り付ける。
ステップ104では、ボンベ20を冷却する。弁4cを開くことで、冷媒供給装置4bから冷媒4dが冷却チャンバ4a内に供給される。冷媒供給後、弁4cを閉じる。ここで、冷媒として液体窒素を用いているので、ボンベ内の温度は−100℃以下となる。
ステップ106では、ボンベ20内に高純度化する6フッ化硫黄ガスを充填する。弁11,12を開くことで、供給部2から6フッ化硫黄ガスが、フィルタ部3を介して、ボンベ20内に供給される。6フッ化硫黄ガスがフィルタ部3のフィルタを通ることで、主に、その中に含まれる水分を含む不純物が取り除かれる。
ここで、ボンベ20が冷却されているので、充填された6フッ化硫黄ガスは温度が低下し液化される。充填されたボンベ内の6フッ化硫黄ガスの温度が−100℃以下となるまで、ステップ106の充填中も冷却を続ける。冷却に要する時間を実験的に求めておくことができ、また、−100℃未満に(例えば−105℃に)冷却してもよいので、温度を測定しなくても問題ない。
常温では、ボンベ内の気体は2000kPa程度の圧力であり、空気と6フッ化硫黄ガスが混在している。例えば6フッ化硫黄ガスが95%、空気が5%の割合である。その後温度の低下と共に残留ガスの圧力は減少する。温度低下に対する圧力は空気の比率により異なる。上記の例ではー100℃で50KPa程度である。
ステップ108では、ボンベ20内の残留ガスを排気する。排気器6の排気ポンプを作動し、弁12,13を開くことで、ボンベ20内の残留ガスが高純度化装置1外に排気される。
−100℃の温度では、6フッ化硫黄の飽和蒸気圧は8kPa程度であり、空気に対する6フッ化硫黄ガスの体積比は常温時における体積比(1とする)に対して0.007程度(≒1/150)である。したがって、ボンベ20を冷却することで気体も冷却されるので、本考案の6フッ化硫黄高純度化装置においては、排気の際に排出されてしまう6フッ化硫黄ガスが極めて少ない。出願人の実験によれば、45kgの6フッ化硫黄に対して本考案の6フッ化硫黄高純度化装置を適用した場合、排気の際に排出されてしまう6フッ化硫黄は0.1kg以下であった。
なお、6フッ化硫黄液に対する空気(窒素、酸素)の溶解率は低い。残留ガス6フッ化硫黄が液化して空気から分離されることで、99.99%以上の高純度の液化した6フッ化硫黄が得られることになる。
排気終了後、排気ポンプを停止し、弁12,13を閉じる。ここで、排気終了は、排気に要する時間を実験的に求めてその時間で終了すればよい。
ステップ110では、ボンベ20の口を配管の先端から取り外し、ボンベ20を冷却チャンバ4aから取り出す。
図4に与えるフローチャートに、供給される6フッ化硫黄が液体の場合における高純度化装置1による6フッ化硫黄の高純度化の手順100を示す。例えば、水等の不純物を除去した6フッ化硫黄が事前に充填されたボンベ20に対して処理を行う場合である。
なお、水等の不純物の除去されていない6フッ化硫黄が液体で供給される場合には、不純物の除去のために気化させるので、図3のフローチャートとなる。
図4を図3と比較すると、6フッ化硫黄ガスを充填するステップ106がない。事前に充填されているためである。ステップ104における冷却を、ボンベ20内の気体部がー100℃以下となるまで行う。他は上述した図3の場合と同様である。
以上詳細に説明したように、本実施形態の6フッ化硫黄高純度化装置1は、液体状の6フッ化硫黄が充填されたボンベ20を冷却して6フッ化硫黄の飽和蒸気圧を下げ、ボンベ20内の残留ガス中の6フッ化硫黄の含有率を下げる。残留ガスを排気する際に廃棄されてしまう6フッ化硫黄が極めて少ない。排気後に気化する6フッ化硫黄は純度が高く、ボンベ20内に不純物が取り除かれた高純度の6フッ化硫黄ガスを得ることができる。
また、本実施形態の6フッ化硫黄高純度化装置1によれば、冷却器4は、ボンベ20を、冷媒を用いて冷却することを特徴とする。冷媒として液体窒素等を採用することができるため、ボンベ20に供給された気体状の6フッ化硫黄を簡易に冷却することができる。
以上、本考案の6フッ化硫黄高純度化装置の一実施形態について説明した。この実施形態は、6フッ化硫黄高純度化装置でなく6フッ化硫黄高純度化方法として把握することもできる。すなわち、本明細書において、以下の6フッ化硫黄高純度化方法を開示していることとなる。
気体状の6フッ化硫黄を収容するボンベを冷却器によって摂氏−100度以下に冷却し、
前記ボンベ内の気体を排気器によって排気する、
ことを特徴とする6フッ化硫黄高純度化方法。
前記ボンベ内の気体を排気器によって排気する、
ことを特徴とする6フッ化硫黄高純度化方法。
前記冷却器は、前記ボンベを収容する冷却チャンバと該冷却チャンバに充填される冷媒とからなることを特徴とする、上述の6フッ化硫黄高純度化方法。
前記冷媒は液体窒素であることを特徴とする、上述の6フッ化硫黄高純度化方法。
前記排気器は、前記ボンベが備える配管から気体を排気することを特徴とする、上述の6フッ化硫黄高純度化方法。
前記排気器は、真空ポンプによって気体を排気することを特徴とする、上述の6フッ化硫黄高純度化方法。
6フッ化硫黄ガスを効率良く高純度化する6フッ化硫黄高純度化装置である。多くの6フッ化硫黄ガス使用業者による利用が考えられる。
1 6フッ化硫黄高純度化装置(高純度化装置)
2 供給部
3 フィルタ部
4 冷却器
4a 冷却チャンバ
4b 冷媒供給装置
4c 弁
5 真空計
6 排気器
7 配管
11 弁
12 弁
13 弁
20 ボンベ
100 手順
2 供給部
3 フィルタ部
4 冷却器
4a 冷却チャンバ
4b 冷媒供給装置
4c 弁
5 真空計
6 排気器
7 配管
11 弁
12 弁
13 弁
20 ボンベ
100 手順
Claims (5)
- 気体状の6フッ化硫黄を収容するボンベを摂氏−100度以下に冷却する冷却器と、
前記ボンベ内の気体を排気する排気器と、
を備えることを特徴とする6フッ化硫黄高純度化装置。 - 前記冷却器は、前記ボンベを収容する冷却チャンバと該冷却チャンバに充填される冷媒とからなることを特徴とする、請求項1に記載の6フッ化硫黄高純度化装置。
- 前記冷媒は液体窒素であることを特徴とする、請求項2に記載の6フッ化硫黄高純度化装置。
- 前記排気器は、前記ボンベが備える配管から気体を排気することを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の6フッ化硫黄高純度化装置。
- 前記排気器は、真空ポンプによって気体を排気することを特徴とする、請求項4に記載の6フッ化硫黄高純度化装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015002094U JP3198557U (ja) | 2015-04-25 | 2015-04-25 | 6フッ化硫黄ガス高純度化装置 |
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JP2015002094U JP3198557U (ja) | 2015-04-25 | 2015-04-25 | 6フッ化硫黄ガス高純度化装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112279219A (zh) * | 2020-10-28 | 2021-01-29 | 兰州裕隆气体股份有限公司 | 一种对瓶装六氟化硫气体纯化的方法 |
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2015
- 2015-04-25 JP JP2015002094U patent/JP3198557U/ja not_active Expired - Fee Related
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