JP3196324U - 塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】処理液を回収するカップ体の洗浄をスループットを低下させること無く、効率的に行なうことが可能な塗布装置を提供する。【解決手段】塗布装置1は、基板を水平に保持するスピンチャック(基板保持部)11と、スピンチャックを鉛直軸周りに回転させるスピンチャックモータ(回転機構)13と、処理液を基板に供給する処理液供給機構と、基板の外周に設けられ排気経路を形成する第1のカップ部材21と、第1のカップ部材の内側に設けられ、基板から振り切られた処理液を回収する第2のカップ部材22と、第2のカップ部材を(i)基板の周囲を覆う処理位置と、(ii)処理位置より下方の位置である待機位置との間でさせる昇降機構25と、第2のカップ部材が待機位置にある際に第2のカップ部材に洗浄流体を供給する洗浄液体供給部材32とを備える。【選択図】図2
Description
本考案は、基板に塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布装置に関する。
半導体製造工程の一つであるフォトレジスト工程においては、半導体ウエハ(以下、ウエハWという)の表面にレジストを塗布し、このレジストを所定のパターンで露光した後に現像してレジストパターンを形成している。このような処理は、一般にレジストの塗布や現像を行う塗布・現像装置に露光装置を接続したシステムを用いて行われる。
この塗布・現像装置にはウエハWに塗布液を供給して塗布膜形成を行う塗布装置が設けられている。この塗布装置はウエハW上に塗布液としてのレジスト液が滴下され、ウエハWの回転に伴う遠心力により滴下されたレジスト液がウエハ表面で拡散し、レジスト膜が塗布される。このとき、余剰のレジスト液はウエハW外周から飛散し、ウエハW外周を取り囲むように形成された容器の内面に付着する。容器内面に付着したレジストは、ウエハWへのレジスト塗布を繰り返すたびに厚くなり、容器内の圧損が増加して処理条件にばらつきが生じ、その結果として塗布膜の厚さや特性にばらつきが生じる要因となる。また、容器内に付着した塗布液が乾燥して、容器から剥離した場合には剥離したレジストがウエハWの表面に付着すれば、製造歩留まりが低下するという問題が生じることになる。
このため、容器の内面に定期的に溶剤を供給して、容器内面に付着したレジストを洗い流すことが行われている。容器の内面への溶剤の供給方法として、容器の内面に開口する複数の導管を設け、これらの導管から容器内面へ溶剤を供給する方法や、ウエハWの代わりに円盤状の洗浄用治具を回転させて、洗浄用治具から容器内面へ向けて溶剤を散布する方法などが知られている(特許文献1〜3)。しかしながらこれらの方法の場合、容器を洗浄している際は容器内やウエハWの周囲に溶剤の雰囲気が拡散し、塗布膜の膜厚や膜質に影響するため、容器の洗浄処理はウエハW処理時に行うことができず、容器の洗浄の頻度を高くするとウエハWの処理枚数を低下させる要因となる。
とりわけ、塗布液として膜厚の厚いレジスト膜やポリイミド膜を形成するための粘度の高いレジスト液、ポリイミド液などの塗布液や、ウエハW同士を接着するための接着剤などを基板に供給する際には容器への固着がより早く進みやすくなる他、カップ洗浄を行う頻度やカップを交換する頻度も高くなる。そのため、ウエハWの処理時間に影響を及ぼさないような容器の洗浄方法が期待されている。
本考案は、上記の事情に鑑みて為され、ウエハWの処理に影響を与えることなく容器を洗浄することが可能な塗布装置を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するため、本考案にかかる塗布装置は基板を水平に保持する基板保持部と、基板保持部を鉛直軸周りに回転させる回転機構と、処理液を基板に供給する処理液供給機構と、基板の外周に設けられ排気経路を形成する第1のカップ部材と、第1のカップ部材の内側に設けられ、基板から振り切られた処理液を回収する第2のカップ部材と、前記第2のカップ部材を(i)基板の周囲を覆う処理位置と、(ii)前記処理位置より下方の位置である待機位置と、の間で昇降させる昇降機構と、前記第2のカップ部材が前記待機位置にある際に第2のカップ部材に洗浄流体を供給する洗浄流体供給機構とをそなえることを特徴とする。
また、本考案の塗布装置においては、さらに前記第2のカップ部材の上端を閉塞する閉塞部材をさらに有し、この閉塞部材は第2のカップ部材が記待機位置にある際に閉塞することが好ましい。
さらに第1のカップ部材の外周側に第3のカップ部材を有することが好ましい。
また、第2のカップ部材はその上端部が基板保持部により保持された基板より低いことが好ましい。
また、第2のカップ部材は鉛直軸周りに回転可能に構成されることが好ましく、さらに第2のカップ部材は基板保持部の回転機構に接続され、基板の回転に同期して回転するようにしても良い。
そして、待機位置の第2のカップ部材に乾燥流体を供給する乾燥流体供給機構をさらにそなえ、この乾燥流体供給機構は洗浄流体供給機構が前記第2のカップ部材に洗浄液を供給した後に乾燥流体を供給するようにしても良い。
本考案の実施形態によれば、ウエハの塗布膜形成処理のスループットに影響することなく、カップ部材を洗浄することが可能な塗布装置が提供される。
以下、本考案の実施の形態について説明する。図1は、本実施の形態にかかる塗布装置としてのレジスト塗布装置1の構成の概略を示す縦断面図である。図1を参照すると、レジスト塗布装置1は例えば直方体の筐体10を有しており、その内部に液処理が行われる処理空間10aが画成されている。塗布ユニットCOTは、筐体10内に処理対象であるウエハWを保持するスピンチャック(基板保持部)11と、スピンチャック11に保持されるウエハWの表面にレジスト液やプリウェット液としてのシンナーを供給する塗布ノズル15と、ウエハWの表面から飛散したレジスト液やレジスト液のミスト等を受けるためのカップ体2とを備えている。
このスピンチャック11は、軸部12を介して回転機構(スピンチャックモータ)13に接続されており、このスピンチャックモータ13により回転及び昇降自在に構成されている。また、スピンチャック11の下方には円盤上に形成されたチャックベース30と、チャックベース30の外周端部から下方に伸びる円筒状のベース体31を有し、ウエハW裏面に回りこんだ処理液が回転機構13に到達しないようになっているとともに、後述するカップ体2とともに排気・排液経路を形成している。
カップ体2は、ウエハWの外周部に排気・排液経路を形成する第1のカップ部材21と、第1のカップ部材21の内側に設けられた第2のカップ部材22と第1のカップ部材21(第2のカップ部材22)の外側に設けられる第3のカップ部材23とをそなえる。
第2のカップ部材22は、その上端部にウエハWから振り切られた処理液を受け止め、回収する第2の回収部22aが設けられ、回収部22aの下部には円筒状の垂直壁22bが接続されている。さらに垂直壁22bの下端部には第2のカップ部材22を上下に昇降させる昇降機構が接続されており、後述するように第2のカップ部材22がウエハWから振り切られた処理液を回収可能である処理位置P1(図1参照)と、第1のカップ部材21の内部空間である待機位置P2(図2参照)との間で昇降可能に構成されている。また、第2のカップ部材22には図示しない回転駆動機構が接続されており、ウエハWと同期(同調)して回転可能に形成されている。ウエハWの裏面側にはバックリンスノズル14が設けられており、ウエハWの裏面に回り込んだレジスト等を除去するシンナーなどのリンス液を供給するようになっている。
また、ベース体31には、洗浄液および乾燥流体を供給可能に構成された洗浄液供給部材32、乾燥流体供給部材33をそなえ、後述するように第2のカップ部材22が待機位置P2にある際に第2のカップ部材22の回収部22aに対して、溶剤などからなる洗浄液を供給して第2のカップ部材22に付着、固着した処理液を洗浄した後に、N2ガスなどの乾燥流体を供給するようになっている。その結果、ウエハWの周囲空間に影響を与えること無く、第2のカップ部材22が処理位置P1にある際に捕集、固着したレジスト液を洗浄できるようになっている。なお、これらの洗浄液供給部材32、乾燥流体供給部材33はベース体31に所定角度ごとに複数個設けても良いし、第2のカップ部材22が鉛直軸周に回転可能に構成されている際には複数でなくとも少なくとも1ヶ所でもかまわない。
さらにまた第2のカップ部材22およびベース体31には、排気・排液経路の上下を遮蔽するための仕切り部材26が設けられており、仕切り部材26の下方に処理液、洗浄が入らないように構成されて、仕切り部材26の上下にはそれぞれ、図示しない排液ポートおよび排気ポートが形成され、処理液、洗浄液と排気が仕切り部材26の上下でそれぞれ分離回収されるようになっている。
第1のカップ部材21は、第2のカップ部材22の外側に設けられ、円筒状の垂直壁21bとこの垂直壁21bの上端部から内側に屈曲する水平壁21aを有する。そして、第1のカップ部材21の水平壁21aには第1のカップ部材21の内側の空間(第1のカップ部材21とベース体31とにより形成する空間)と第1のカップ部材21の上方空間とを区画し、第1のカップ部材21の上端(第1のカップ部材21とベース体31との間の開口)を閉塞して第2のカップ部材22の上方を覆う閉塞部材(シャッター)27をそなえている。
この閉塞部材27は例えば、図3、4に示すように複数の扇型の薄板31aで形成されており、第1のカップ部材21の水平壁21aに図示しない駆動機構を介して取り付けられており、内側に向けて進退可能に構成されている。薄板31aは内側方向にスライドすることで図4のように、第1のカップ部材21の上端部を閉塞することができ、その結果、第1のカップ部材21の内側の空間を第1のカップ部材21の外側の空間から区画することができるようになっている。
スピンチャック11の上方には、スピンチャック11 の直上位置と退避位置との間で移動可能に塗布ノズル15 が設けられており、図示しない駆動機構によりウエハWの上方位置および待機位置の間を移動可能に構成されている。塗布ノズル15は塗布液であるレジスト液を供給するレジスト液供給ノズル15aと、塗布液を溶解させ得る溶剤を供給するプリウェットノズル15b とが互いに近接した状態で設けられており、レジストなどの塗布液を塗布する前にプリウェットノズル15bからシンナーを供給し、レジストの消費量を低減させるようになっている。
さらに、レジスト塗布装置1は各機器の動作を統括制御する役割を果たす制御部6を備えており、この制御部6にはスピンチャック11のスピンチャックモータ13や第2のカップ部材22の昇降機構25等が接続されている。制御部6は、構成要素としてCPUを含む例えばコンピュータであって良く、また、制御部6には記憶装置6aや入出力装置6bが接続されている。また、制御部6は、後述する洗浄方法をレジスト塗布装置に実行させるためのプログラムに基づいて、レジスト塗布装置の各機器を動作させ、その洗浄方法を実施する。このプログラムは、ハードディスク、光ディスク、磁気ディスク、半導体メモリデバイスなどのコンピュータ可読記録媒体に格納されて良く、所定の読み取り装置により記憶装置6aに記憶され、必要に応じて制御部6に読み出される。
次に、以上のように構成されたレジスト塗布装置1で行われる塗布処理プロセスおよび本考案にかかるカップ洗浄動作について説明する。図5は塗布処理プロセスの各工程におけるウエハWの回転数と、カップ洗浄処理の各工程を示すタイムチャートであって、図5(a)はウエハWおよび第2のカップ部材22の回転数、図5(b)は第2のカップ部材22の位置、図5(c)は閉塞部材の動作、図5(d)は洗浄液供給部材32の動作、図5(e)は乾燥流体供給部材33の動作に関するタイムチャートである。なお、図5おけるプロセス、工程の時間の長さは、技術の理解の容易さを優先させるため、必ずしも実際の時間の長さに対応していない。
レジスト塗布装置1に搬入されたウエハWは、先ず、スピンチャック11に吸着保持される。続いて図示しない駆動機構により塗布ノズル15がウエハWの中心部の上方まで移動する。次に、ウエハWが停止している状態で、塗布ノズル15のプリウェットノズル15bからウエハWの中心部に所定量の溶剤が供給される(時刻t1)。その後、回転機構13を制御してスピンチャック11によりウエハWを回転させ、その回転数を例えば2000rpmまで上昇させる。この2000rpmの回転数でウエハWを例えば1秒間回転させることにより、ウエハWの中心部に供給された溶剤は外周部に向かって拡散し、すなわちプリウェットが行われ、ウエハWの表面が溶剤で濡れた状態になる(時刻t2〜t3)。その後、溶剤がウエハWの表面の全面に拡散する(時刻t1〜t3:プリウェット工程)。
その後、図5(a)に示すようにウエハWを例えば3000rpm(第1の回転数)まで加速させ、その後ウエハWを第1の回転数で例えば0.8秒間回転させる。そして、このウエハWの加速回転中及び第1の回転数での回転中において、レジスト液供給ノズル15aからレジスト液が連続して供給される(時刻t4〜t5:レジスト供給工程)。
続いて、図5(a)に示すよう例えば100rpm(第2の回転数)まで減速させ、その後ウエハWを100rpmの回転数で例えば0.4秒間回転させる(時刻t5〜t6)。そして、このウエハWの減速回転中及び第2の回転数での回転の途中までにおいて、レジスト液供給ノズル15aからレジスト液が連続して供給される。この工程において、ウエハWが第2の回転数で低速回転しているため、例えばウエハWの外周部のレジスト液に中央部へ引き寄せられる力が作用し、ウエハW上のレジスト液は平坦化される(時刻t5〜t6:レジスト膜調整工程1)。
その後、ウエハWの回転を1500rpm(第3の回転数)まで加速させ、その後ウエハWを第3の回転数で例えば所定の時間回転させる。この工程で、レジスト液はウエハWの表面の全面に拡散し、ウエハWの端部に到達する。次いで、レジスト液がウエハWの端部に到達すると、ウエハWの回転を1500rpm(第4の回転数)まで減速させ、その後ウエハWを第4の回転数で例えば2秒間回転させる。このように第4の回転数で回転させることで、ウエハW上のレジスト液の乾燥を抑えつつウエハ中心部のレジスト液をウエハWの外周へ広げることができる。そうすると、レジスト液の供給量を従来よりも少量に抑えた場合であっても、ウエハW中心部のレジスト液がウエハWの外周へ広げられ、結果としてウエハWの外周縁部における膜厚の低下を発生させることなくウエハWの面内で均一にレジスト液が塗布される(時刻t6〜t13:レジスト膜調整工程2)。
その後、ウエハWの回転数を、例えば2000rpm(第5の回転数)まで加速させ、その後ウエハWを第5の回転数で例えば10秒間回転させる。この工程では、ウエハWの表面の全面に拡散されたレジスト液は乾燥され、ウエハW上にレジスト膜が形成される(t14〜t15レジスト乾燥工程)。
その後、ウエハWの裏面が洗浄され、レジスト塗布装置1における一連の塗布処理が終了する。
続いて、本願の実施形態に関するカップ洗浄機構の動作について説明する。先ず、前述プリウェット工程(t1〜t3)、レジスト塗布工程(t4〜t5)、レジスト膜調整工程1(t5〜t6)の期間およびレジスト膜調整工程2の途中までの期間(t6〜t7)には、ウエハWからプリウェット液、レジスト液が周囲に振り切られるので、基板の周囲を覆い処理液を回収可能な位置である処理位置P1に位置して、ウエハWから振り切られたプリウェット液およびレジスト液を捕集するようになっている。
なお、この際第2のカップ部材22は、時刻t3〜t4および時刻t5〜t6以外はウエハWの回転数と同期する速度で回転するようになっているが、これはウエハWの回転数と同期することでウエハWの振り切られたプリウェット液と、レジスト液が第2のカップ部材22の内側に衝突して、ウエハWに跳ね返るのを防止するためである。また、時刻t3〜t4および時刻t5〜t6に第2のカップ部材22がウエハWの回転数と同期していないのは、この期間はウエハWから振り切られる液が少なく、ウエハWへの液の跳ね返りをあまり考慮しなくとも良い期間であるためであるが、ウエハWの回転数に完全に同期するようにしても良い。また、ウエハWと回転数を完全に同期する場合には、第2のカップ部材22を回転させるための機構は、スピンチャックの回転機構を用いるようにしても良い。
そして、レジスト液がウエハWから実質的に振り切られなくなった後に、第2のカップ部材22は昇降機構25によって前記処理位置P1より下方の位置である待機位置P2に下降し(時刻t7)、その後シャッターが閉じることで、第2のカップ部材22の内部空間が第2のカップ部材22の上方空間と隔離するようになっている(時刻t8)。
続いて、洗浄ノズルから洗浄流体(例えば、OK−73、シクロヘキサノンなどシンナー)を待機位置P2にある第2のカップ部材22に供給することで、第2のカップ部材22に付着したレジストを洗い流すことができる(時刻t9〜t10:カップ洗浄工程)。この際、第2のカップ部材22の洗浄は、ウエハWの周囲から離間した待機位置P2で行われ、さらにシャッターが閉塞して第2のカップ部材22の内部空間とウエハWの周囲空間を区画しているために、ウエハWの処理に影響すること無く洗浄を行うことができる。
続いて、乾燥ノズルから乾燥流体としてのN2ガスが待機位置P2の第2のカップ部材22に供給されることで第2のカップ部材22を乾燥させ(カップ乾燥工程)、第2のカップ部材22の洗浄が終了する。なお、カップ洗浄工程ならびカップ乾燥工程時には第2のカップ部材22は待機位置にあり、ウエハWへの液の跳ね返りが発生する可能性は極めて低く必ずしも回転させる必要は無いが、第2のカップ部材22が回転することで、洗浄液供給部材32、乾燥流体供給部材33を少なくとも一つずつ設ければ、第2のカップ部材22の全周にわたって洗浄液、乾燥流体を効果的に供給することができる。
本実施例において、第2のカップ部材22が処理位置P1でプリウェット液およびレジスト液を回収した後に待機位置P2に下降した状態で洗浄を行うことにより、ウエハWの処理に影響を与えること無く、第2のカップ部材22を洗浄することができた。
以上、本考案を説明したが、本考案はこれらの実施形態に限定されることなく、添付の特許請求の範囲内において種々に変更が可能である。例えば、上記実施の形態では、半導体ウエハにレジスト液を塗布する塗布膜形成装置について説明したが、半導体ウエハ以外の他の被処理基板、例えばL C D 基板にレジスト液を塗布する場合にも本考案を適用することができる。また、基板に供給される塗布液としては、レジスト膜を形成するためのレジスト液について説明したが、これに限らず、スピンオンカーボン(SOC)膜、反射防止膜(BARC、TARC)などを形成する装置や、ウエハWを接着するために接着剤を基板に供給する装置などにも適応することが可能である。また、上述の実施形態においては、乾燥流体供給部材33からN2ガスを供給する場合について説明したが、乾燥流体は必ずしも必要ではなく、洗浄流体を第2のカップ22部材に供給した後に、何も供給することなく第2のカップ部材22を回転させることで振り切り乾燥するようにしても良く、また、乾燥流体としてイソプロピルアルコールなどの有機溶剤を供給するようにしても良い。
1:塗布装置(レジスト塗布装置)
2:カップ体
21:第1のカップ部材
21a:水平壁
21b:垂直壁
22:第2のカップ部材
22a:回収部
22b:垂直壁
23:第3のカップ部材
10:筐体
10a:処理空間
1 1 ; スピンチャック( 基板保持部)
12:軸部
13:回転機構(スピンチャックモータ)
14:バックリンスノズル
15:塗布ノズル
15a:プリウェットノズル
15b:レジストノズル
25:昇降機構
26:仕切り部材
27:閉塞部材(シャッター)
30:チャックベース
31:ベース体
32:洗浄液供給部材
33:乾燥流体供給部材
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21:第1のカップ部材
21a:水平壁
21b:垂直壁
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23:第3のカップ部材
10:筐体
10a:処理空間
1 1 ; スピンチャック( 基板保持部)
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32:洗浄液供給部材
33:乾燥流体供給部材
Claims (9)
- 基板を水平に保持する基板保持部と、
基板保持部を鉛直軸周りに回転させる回転機構と、
処理液を基板に供給する処理液供給機構と、
基板の外周に設けられ排気経路を形成する第1のカップ部材と、
第1のカップ部材の内側に設けられ、基板から振り切られた処理液を回収する第2のカップ部材と、
前記第2のカップ部材を(i)基板の周囲を覆う処理位置と、(ii)前記処理位置より下方の位置である待機位置との間で昇降させる昇降機構と、
前記第2のカップ部材が前記待機位置にある際に第2のカップ部材に洗浄流体を供給する洗浄流体供給機構とをそなえる塗布装置。 - 前記第1のカップ部材の上端を閉塞する閉塞部材を有することを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。
- 前記閉塞部材は前記第2のカップ部材が前記待機位置にある際に閉塞することを特徴とする請求項2に記載の塗布装置。
- 前記第1のカップ部材の外周側に第3のカップ部材を有することを特徴とする請求項1ないし3に記載の塗布装置。
- 前記第2のカップ部材の上端部が前記基板保持部により保持された基板より低いことを特徴とする請求項1ないし4に記載の塗布装置。
- 前記第2のカップ部材は鉛直軸周りに回転可能に構成されていることを特徴する請求項1ないし5に記載の塗布装置。
- 前記第2のカップ部材は前記回転機構に接続され、基板の回転に同期して回転することを特徴とする請求項6に記載の塗布装置。
- 前記待機位置の第2のカップ部材に乾燥流体を供給する乾燥流体供給機構をさらにそなえる請求項1ないし7に記載の塗布装置。
- 前記乾燥流体供給機構は、前記洗浄流体供給機構が前記第2のカップ部材に洗浄液を供給した後に乾燥流体を供給することを特徴とする請求項8に記載の塗布装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014006730U JP3196324U (ja) | 2014-12-19 | 2014-12-19 | 塗布装置 |
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JP2014006730U JP3196324U (ja) | 2014-12-19 | 2014-12-19 | 塗布装置 |
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JP (1) | JP3196324U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110890291A (zh) * | 2018-09-07 | 2020-03-17 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置和基板处理方法 |
-
2014
- 2014-12-19 JP JP2014006730U patent/JP3196324U/ja active Active
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CN110890291A (zh) * | 2018-09-07 | 2020-03-17 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置和基板处理方法 |
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