JP3195504B2 - スライシング装置のブレード変位検出装置 - Google Patents

スライシング装置のブレード変位検出装置

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JP3195504B2 JP28947494A JP28947494A JP3195504B2 JP 3195504 B2 JP3195504 B2 JP 3195504B2 JP 28947494 A JP28947494 A JP 28947494A JP 28947494 A JP28947494 A JP 28947494A JP 3195504 B2 JP3195504 B2 JP 3195504B2
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    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
    • B23D59/001—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade
    • B23D59/002—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade for the position of the saw blade

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  • Mechanical Engineering (AREA)
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  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体インゴット等の
ワークを切断して半導体ウエハ等の薄片を切り出すため
のスライシング装置において、上記切断に用いられるブ
レードの変位量を検出する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、上記のようなスライシング装置と
しては、円形状の内周刃をもつブレードの内側にワーク
の一端部を臨ませ、上記ブレードを回転させながらワー
クに対してブレードの半径方向に相対移動させることに
より上記ワークから薄片を切り出すものが知られてい
る。この装置では、切断中にブレードが撓み易く、この
撓みによって加工精度が低下するおそれがあるため、そ
の修正をすべく、ブレード撓みの検出が従来より試みら
れている。その手段としては、上記ブレードに対向する
位置に渦電流センサ等の距離センサを配設し、その検出
距離の変動をブレード変位量として出力するものが知ら
れている。
【０００３】ところで、上記ブレードにおいて、ワーク
のスライス時に最も長くワークと接触しているのは、ブ
レードの中央部近傍部分であり、この部分の撓み量がワ
ークの加工精度に最も強く影響する。従って、この部分
の変位を検出するのが最も好ましいが、このブレード中
央部分近傍はワークの送り経路であるため、このワーク
とセンサとの干渉を避けるための工夫が必要である。
【０００４】そこで近年は、上記ワークの切断時にこの
ワークの前端面と対向する位置に渦電流センサ等からな
る撓み量検出センサを設け、上記ブレードにおけるワー
ク切断部位、特に中央部近傍の撓み量を上記ワークから
切り出されるウェハ（薄片）越しに検出するようにした
ものが提案されている（特開平４−１３８２１０号公報
参照）。このような装置によれば、上記スライス時に移
動するワークと撓み量検出センサとの干渉を避けなが
ら、撓み量検出センサをワーク中央部近傍の位置に配設
することができ、この位置でのブレード撓み量を検出す
ることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記装置では、ワーク
から切り出されるウェハを透すようにしてブレードの撓
み状態が検出されることになるが、上記ワークの中に
は、抵抗率が低くて金属に近い導電性をもつものもあ
り、特にこのようなワークのスライス時にはセンサとブ
レードとの間に介在するウェハが検出結果に大きく影響
を及ぼすことになる。より具体的に、上記渦電流センサ
による検出でのワークの抵抗率とウェハが検出値に与え
る影響度との関係は図７のようになっており、例えばワ
ークの抵抗率が１Ω・cm以上の場合にはウェハの介在に
よる影響がほとんどないが、ワークの抵抗率が 0.1Ω・
cmもしくはその近傍まで下がると、ウェハの介在による
影響は無視できなくなる。
【０００６】本発明は、このような事情に鑑み、ウェハ
越しにブレード変位を検出する装置において、その検出
精度をより高めることができるものを提供することを目
的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、円形状の内周
刃をもつブレードの内側にワークの一端部を臨ませ、上
記ブレードを回転させながらワークに対してブレードの
半径方向に相対移動させることにより上記ワークから薄
片を切り出すスライシング装置において、上記薄片の切
り出し中にこの薄片を挾んで上記ブレードに対向する位
置にこのブレードとの離間距離を検出する距離検出手段
を設けるとともに、上記薄片が上記ブレードと距離検出
手段との間に介在する際に上記距離検出手段による検出
値にこの検出値に対して上記薄片の介在により与えられ
る影響を相殺するための補正を施してから出力する出力
補正手段を備えたものである（請求項１）。
【０００８】より具体的には、上記薄片が上記ブレード
と距離検出手段との間に介在する前の状態から上記薄片
が上記ブレードと距離検出手段との間に介在した後の状
態へ移行する際の距離検出手段による検出値の変化に基
づいて上記補正のための補正値を設定する補正値設定手
段を備えたものが、好適である（請求項２）。
【０００９】ここで、上記補正値設定手段としては、上
記距離検出手段による検出値の変化率が予め定められた
第１の値よりも大きくなる前の時点での距離検出手段に
よる検出値と、上記距離検出手段による検出値の変化率
が予め定められた第１の値よりも大きくなりかつその後
に上記変化率が上記第１の値よりも低い第２の値よりも
小さくなった時点での距離検出手段による検出値との差
を上記補正値として記憶するものや（請求項３）、上記
薄片が上記ブレードと距離検出手段との間に介在し始め
るワーク送り位置を予め記憶しておき、このワーク送り
位置までワークとブレードとが相対移動する時点よりも
前の時点での距離検出手段による検出値と上記時点後の
距離検出手段による検出値との差を上記補正値として記
憶するもの（請求項４）が、好適である。
【００１０】また、予め上記ワークの抵抗率に応じた補
正値を記憶する補正値記憶手段を備え、この補正値記憶
手段により記憶されている補正値に基づいて上記距離検
出手段による検出値を補正するように上記出力補正手段
を構成してもよい（請求項５）。
【００１１】この場合、上記距離検出手段による検出値
の変化率が予め定められた第１の値よりも大きくなりか
つその後に上記変化率が上記第１の値よりも低い第２の
値よりも小さくなった時点から上記補正を開始するよう
に上記出力補正手段を構成してもよいし（請求項６）、
上記薄片が上記ブレードと距離検出手段との間に介在し
始めるワーク送り位置を予め記憶しておき、このワーク
送り位置までワークとブレードとが相対移動した時点か
ら上記補正を開始するように上記出力補正手段を構成し
てもよい（請求項７）。
【００１２】
【作用】上記装置によれば、ワークとブレードとを相対
移動させてワークから薄片を切り出す際、出力補正手段
によって上記距離検出手段による検出値が補正されるこ
とにより、この検出値に対して上記薄片の介在により与
えられる影響が相殺され、より正確なブレード変位の検
出が実現される。
【００１３】より具体的に、請求項２記載の装置によれ
ば、ワークとブレードとを相対移動させてワークから薄
片を切り出す際、上記薄片が上記ブレードと距離検出手
段との間に介在する前の状態から上記薄片が上記ブレー
ドと距離検出手段との間に介在した後の状態への移行に
伴う検出値の変化に基づいて補正値が設定され、この補
正値に基づくことにより、ウェハの厚みや反り等にかか
わらず適正な補正が実行される。
【００１４】特に、請求項３記載の装置によれば、上記
距離検出手段による検出値の変化率が予め定められた第
１の値よりも大きくなる前の時点での距離検出手段によ
る検出値と、上記距離検出手段による検出値の変化率が
予め定められた第１の値よりも大きくなりかつその後に
上記変化率が上記第１の値よりも低い第２の値よりも小
さくなった時点での検出値との差が上記補正値として設
定されるため、ワークの形状や寸法にも関係なく、薄片
の介在による影響を相殺するための適正な補正値が設定
される。
【００１５】一方、請求項４記載の装置では、上記薄片
が上記ブレードと距離検出手段との間に介在し始めるワ
ーク送り位置が予め記憶され、このワーク送り位置まで
ワークとブレードとが相対移動する時点よりも前の時点
での距離検出手段による検出値と上記時点後の距離検出
手段による検出値との差が上記補正値として設定され
る。従って、この補正値を利用して、ウェハの厚みや反
りにかかわらずその介在による影響を相殺するための補
正が可能である。
【００１６】請求項５記載の装置では、予め上記ワーク
の抵抗率に応じた一定の補正値が記憶され、この記憶さ
れた補正値に基づいて上記補正が実行される。
【００１７】その補正開始時点について、請求項６記載
の装置では、上記距離検出手段による検出値の変化率が
予め定められた第１の値よりも大きくなりかつその後に
上記変化率が上記第１の値よりも低い第２の値よりも小
さくなった時点がウェハ介在開始時点とみなされ、この
時点から上記補正が開始される。
【００１８】一方、請求項７記載の装置では、上記薄片
が上記ブレードと距離検出手段との間に介在し始めるワ
ーク送り位置が予め記憶され、このワーク送り位置まで
ワークとブレードとが相対移動した時点から上記補正が
開始される。
【００１９】
【実施例】本発明の一実施例を図面に基づいて説明す
る。
【００２０】図２，３に示すスライシング装置は、基台
１を備え、この基台１上にガイドレール２が設置されて
おり、このガイドレール２に沿ってスライド可能にスラ
イドテーブル３が支持されている。
【００２１】上記基台１上において、スライドテーブル
３に対向する位置には主軸台４が設置されている。この
主軸台４の上部には主軸受４ａが設けられ、この主軸受
４ａによって主軸６が回転可能に支持されるとともに、
この主軸６にベルト伝動機構を介して主軸駆動モータ８
の出力軸が連結されている。主軸６の先端部にはテンシ
ョンディスク９が固着され、このテンションディスク９
が、上記主軸６、ベルト伝動機構７、及び主軸駆動モー
タ８からなる回転駆動手段５により回転駆動されるよう
になっている。
【００２２】テンションディスク９の周縁部には、ドー
ナツ状の薄板からなるブレード１０が装着され、このブ
レード１０の内周縁にダイヤモンド粒子等からなる内周
刃１１が固着されている。そして、上記テンションディ
スク９の回転中にその単位時間あたりの回転数（以下、
単に回転数と称する。）ｆが変化することにより、この
回転数ｆに応じて上記ブレード１０が主軸６の軸方向
（すなわちブレード１０の回転軸方向；以下、Ｚ軸方向
と称する。）に変位するようになっている。すなわち、
テンションディスク９が回転すると、このテンションデ
ィスク９の周縁部に回転数ｆに比例した遠心力が作用す
るため、この回転数ｆによって、テンションディスク９
からブレード１０に付与される回転軸方向の変位の大き
さ及び方向が決定されることとなる。
【００２３】上記スライドテーブル３上には、保持部材
１５及び割出し送り手段（ワーク送り手段）１８が設け
られ、保持部材１５にはシリコン製半導体インゴット等
からなるワーク３０が保持されている。割出し送り手段
１８は、ボールねじ１６と、このボールねじ１６を回転
駆動する保持部材駆動モータ１７とを有し、この割出し
送り手段１８によって上記保持部材１５がＺ軸方向にス
ライド駆動されることにより、上記ワーク３０の一端部
がブレード１０の表面１０ａ側（ワーク保持側）からブ
レード１０の中央孔を通じて裏面１０ｂ側へ微小量突出
することが可能となっている。
【００２４】また、このスライドテーブル３上には、内
周刃１１をドレスするためのドレス装置１９が設けら
れ、このドレス装置１９は、その工具先端がブレード１
０の内側に臨む位置に配されている。
【００２５】上記基台１上には切断送り手段１４が設置
されている。この切断送り手段１４は、ボールねじ１２
と、このボールねじ１２を回転駆動する切断送りモータ
１３とを備え、この切断送り手段１４によって、上記ス
ライドテーブル３全体がガイドレール２に沿って主軸６
と直交する方向（図２の奥行き方向；以下、Ｘ軸方向と
称する。）にスライド駆動される。従って、このスライ
ドテーブル３を図２の手前から奥へスライドさせること
により、ワーク３０がブレード１０に対してその半径方
向（図３では矢印Ａ1方向）に相対移動し（すなわち切
断送りされ）、このブレード１０を回転させかつブレー
ド１０の内側にワーク３０の一端部を臨ませた状態で上
記切断送りを行うことにより、ワーク３０の一端部が内
周刃１１によってスライスされ、ウエハ（薄片）が切り
出されることとなる。
【００２６】ワーク３０の切断送り方向下流側の外周部
分、すなわち、ワーク３０において内周刃１１で最終的
に切断される部分には、カーボン等からなるスライスベ
ース３１が固着されている。このスライスベース３１の
固着により、ワーク３０の切断終了時にブレード１０に
作用する切断抵抗が急減して上記ワーク３０の最終切断
部分が欠けることが防がれる。
【００２７】ブレード１０の近傍には、距離センサ（こ
の実施例では渦電流センサ）からなり、上記ブレード１
０の撓みによるこのブレード１０内周部の回転軸方向変
位量を検出するブレード撓み検出センサ２０が設けられ
ている。このブレード撓み検出センサ２０は、図１
（ａ）（ｂ）に示すように、ワーク３０が切断される際
にこのワーク３０から切り出されるウェハＷを挾んでブ
レード１０の裏面１０ｂに対向する位置に設けられてい
る。
【００２８】このブレード撓み検出センサ２０は、図４
に示すアンプ２２を介して同図の演算制御部４０に接続
されている。この演算制御部４０は、コンピュータから
なり、上記切断送りモータ１３及び保持部材駆動モータ
１７の駆動を制御するとともに、ブレード１０の回転軸
方向の変位の検出結果に基づいて主軸駆動モータ８の駆
動を制御するものであり、後者の制御のための機能とし
て、ブレード変位量演算手段４１Ａ、補正値設定手段４
１Ｂ、ブレード回転数フィードバック補正演算手段４
２、及び主軸駆動制御手段４３を備えている。
【００２９】ブレード変位量演算手段４１Ａは、切断送
りモータ１３の駆動によってワーク３０が切断開始直前
の位置（図３に左側の二点鎖線で示す位置よりも僅かに
左寄りの位置；以下、直前位置と称する）に移動した時
点（以下、基準時と称する）でブレード撓み検出センサ
２０により検出されるブレード１０の位置を基準位置と
して記憶し、切断開始後、時々刻々上記ブレード撓み検
出センサ２０により検出されるブレード位置と上記基準
位置との差をブレード基本変位量ｓとして演算するもの
である。
【００３０】補正値設定手段４１Ｂは、図１（ａ）に示
す状態、すなわちブレード撓み検出センサ２０がブレー
ド１０に直接対向する状態から、図１（ｂ）に示す状
態、すなわち上記ブレード撓み検出センサ２０とブレー
ド１０との間にウェハＷが介在する状態への移行に伴う
ブレード撓み検出センサ２０の出力値の変化に基づき、
上記ウェハＷの介在により検出結果に与えられる影響を
相殺するための補正値を設定し、記憶するものであり、
その具体的な設定動作は後に詳述する。そして、上記ブ
レード変位量演算手段４１Ａは、上記ブレード基本変位
量ｓに上記補正値を加えた値を最終的な検出値として出
力するように構成されている。
【００３１】ブレード回転数フィードバック補正演算手
段４２は、上記ブレード変位量演算手段４１Ａにより演
算されたブレード変位量に基づき、このブレード変位量
を減少させる方向のブレード回転数フィードバック補正
量Δｆを演算するものである。主軸駆動制御手段４３
は、主軸駆動モータ８に制御信号を出力し、ブレード１
０の回転数を制御するものである。具体的には、上記ワ
ーク３０の切断開始直前までは予め設定された基準回転
数ｆｏでブレード１０を回転駆動させ、切断開始後は、
上記基準回転数ｆｏに上記ブレード回転数フィードバッ
ク補正量Δｆを加えた補正後回転数ｆ（＝ｆｏ＋Δｆ）
でブレード１０を回転駆動させるように、構成されてい
る。
【００３２】次に、この装置の作用を説明する。
【００３３】まず、演算制御部４０は、回転駆動手段５
の主軸駆動モータ８を作動させ、テンションディスク９
を基準回転数ｆｏで回転させるとともに、割出し送り手
段１８の保持部材駆動モータ１７を作動させて、保持部
材１５に保持されたワーク３０をＺ軸に沿って主軸６側
にスライド移動させる。これにより、ワーク３０の一端
部がブレード１０の表面１０ａ側からブレード１０の内
側に挿通してブレード１０の裏面１０ｂ側へ微小量突出
する位置（切断開始位置Ｚｏ）にワーク３０が位置決め
される。
【００３４】演算制御部４０は、切断送り手段１４の切
断送りモータ１３を作動させ、ワーク３０をブレード１
０の半径方向に所定の切断送り速度で移動させる。この
際、ワーク３０が切断開始位置に達する前の時点でブレ
ード撓み検出センサ２０により読み取られたブレード１
０内周部の位置をブレード変位量演算手段４１Ａが基準
位置として記憶する。
【００３５】切断開始後は、その切断抵抗によりブレー
ド１０が撓み、上記基準位置から回転軸方向に変位す
る。この変位量は、ブレード変位量演算手段４１Ａによ
り時々刻々演算される。この変位量に基づき、ブレード
回転数フィードバック補正演算手段４２は、上記変位量
を減少させるためのブレード回転数フィードバック補正
量Δｆを演算し、主軸駆動制御手段４３は、上記基準回
転数ｆｏから上記ブレード回転数フィードバック補正量
Δｆだけ実際のブレード回転数ｆを変化させる制御を行
う。このようなブレード回転数制御により、スライシン
グ中のブレード１０の撓みが抑制される。
【００３６】次に、上記演算制御部４０で行われるブレ
ード変位検出動作を図５のフローチャートに基づいて説
明する。
【００３７】ワーク３０の切断送りが開始された後、所
定量（基本的にはワーク３０の切断が開始されてウェハ
Ｗがブレード撓み検出センサ２０とブレード１０との間
に介在する位置にワーク３０が到達するまでの送り量）
が送られるまでの期間（ステップＳ１でＮＯ）であっ
て、かつ、ブレード変位量演算手段で演算されるブレー
ド基本変位量ｓの時間変化率ｄｓ／ｄｔが予め設定され
た第１の一定値Ｃ１未満にとどまっている期間は、補正
を行わずに上記ブレード基本変位量ｓをそのまま検出値
として出力する（ステップＳ３）。
【００３８】そして、上記所定量が送られるまでの間に
上記時間変化率ｄｓ／ｄｔが上記第１の値Ｃ１以上とな
った場合には（ステップＳ２でＹＥＳ）、この時点でブ
レード１０とブレード撓み検出センサ２０とブレード１
０との間にウェハＷが介在し始めたとみなし、その後上
記時間変化率ｄｓ／ｄｔが予め設定された第２の値Ｃ２
（＜Ｃ１）に下がるまでは補正しないが（ステップＳ
４）、Ｃ２まで下がった時点からは（ステップＳ５でＹ
ＥＳ）、この時点での検出値とステップＳ２に該当する
直前の検出値との差であるシフト値ａ（図６の下段参
照）を補正値として記憶し（ステップＳ６）、その後
は、切断が終了するまで（ステップＳ８でＮＯ）、上記
ブレード基本変位量ｓに上記シフト値ａを加えた値を検
出値として出力する（ステップＳ７）。
【００３９】なお、ブレード基本変位量ｓの時間変化率
ｄｓ／ｄｔが第１の値Ｃ１に到達しない間に所定量ワー
ク送りが進んでしまった場合は（ステップＳ１でＹＥ
Ｓ）、ワーク３０の抵抗率が比較的大きく、図６上段に
示されるようにウェハ介在の影響が検出値にほとんど及
ぼされていないと判断できるため、切断が終了するまで
（ステップＳ１０でＮＯ）ブレード基本変位量ｓをその
まま検出値として出力する。
【００４０】このような装置によれば、ブレード撓み検
出センサ２０によってウェハＷ越しにブレード１０の変
位を検出していても、このウェハＷの介在に伴うセンサ
出力値の変化に基づいて補正値（リフト値）ａを設定す
ることにより、この補正値ａを用いて上記ウェハＷの介
在による影響を相殺でき、ワーク３０の材質や形状・寸
法、あるいはウェハＷの厚みや反りに関係なく、常に正
確なブレード撓み検出をすることができる。
【００４１】なお、本発明は以上の実施例に限定される
ものでなく、例として次のような態様をとることも可能
である。
【００４２】(1) 上記実施例では、ブレード撓み検出セ
ンサ２０として渦電流センサを用いたものを示したが、
その他の距離センサ、例えば超音波センサやＸ線センサ
を用いる場合にも、上記と同様の効果が得られる。
【００４３】(2) 上記実施例では、ブレード基本変位量
ｓの時間変化率に基づいてウェハＷ介在の判定をしてい
るが、ワーク３０の形状、寸法が一定の場合には、この
ワーク３０の切断が開始されてウェハＷがブレード撓み
検出センサ２０とブレード１０との間に介在し始めるワ
ーク送り位置を予め記憶しておき、この位置までワーク
３０が到達した時点をウェハＷの介在開始時点と判定す
るようにしてもよい。ただし、上記実施例のようにブレ
ード基本変位量ｓの時間変化率を利用すれば、ワーク３
０の形状、寸法（特に径）にかかわらず、ウェハＷの介
在開始時点を常に的確に把握できる利点がある。
【００４４】(3) 上記実施例では、ウェハＷが介在する
前の実際の検出値とウェハＷ介在後の実際の検出値との
差に基づいて補正値を設定しているが、ウェハＷの切り
出し厚み寸法のバラツキが極めて小さい場合には、ワー
クの抵抗率と前記図７に示したグラフとに基づいて予め
一定の補正値を補正値記憶手段に記憶させておき、この
記憶値に基づいて出力補正をするようにしてもよい。こ
の場合、補正を開始する時点、すなわちウェハＷが介在
し始めたとみなす時点は、ブレード撓み検出センサ２０
による検出値の変化率が予め定められた第１の値Ｃ１よ
りも大きくなりかつその後に上記変化率が上記第１の値
Ｃ１よりも低い第２の値Ｃ２よりも小さくなった時点に
設定してもよいし、ウェハＷが上記ブレード１０とブレ
ード撓み検出センサ２０との間に介在し始めるワーク送
り位置を予め記憶しておき、このワーク送り位置までワ
ーク３０とブレード１０とが相対移動した時点に設定し
てもよい。
【００４５】(4) 上記実施例では、ワーク３０をＸ軸方
向に移動させて切断送りをしているが、これに代え、テ
ンションディスク９側をＸ軸方向に移動させる装置にも
本発明を適用することが可能である。
【００４６】
【発明の効果】以上のように本発明は、上記薄片の切り
出し中にこの薄片を挾んで上記ブレードに対向する位置
にこのブレードとの離間距離を検出する距離検出手段を
設けるとともに、ワークから切り出した薄片が上記ブレ
ードと距離検出手段との間に介在する際に上記距離検出
手段による検出値にこの検出値に対して上記薄片の介在
により与えられる影響を相殺するための補正を施してか
ら出力するようにしたものであるので、ウェハ越しにブ
レード変位を検出するにもかかわらず、上記ウェハの介
在による影響を考慮した正確な検出を実現できる効果が
ある。
【００４７】より具体的に、請求項２記載の装置では、
上記薄片が上記ブレードと距離検出手段との間に介在す
る前の状態から上記薄片が上記ブレードと距離検出手段
との間に介在した後の状態への移行に伴う検出値の変化
に基づいて上記補正のための補正値を設定するものであ
るので、薄片の厚みや反り状態にかかわらず、適正な補
正値を設定でき、この補正値に基づく補正によってより
正確な検出を実現できる効果がある。
【００４８】特に、請求項３記載の装置では、上記距離
検出手段による検出値の変化率が予め定められた第１の
値よりも大きくなる前の時点での距離検出手段による検
出値と、上記距離検出手段による検出値の変化率が予め
定められた第１の値よりも大きくなりかつその後に上記
変化率が上記第１の値よりも低い第２の値よりも小さく
なった時点での検出値との差を上記補正値として設定す
るので、ワークの形状や寸法にも関係なく、薄片がブレ
ードと距離検出手段との間に介在し始める時点を的確に
把握して常に適正な補正値を設定できる効果がある。
【００４９】一方、請求項４記載の装置では、上記薄片
が上記ブレードと距離検出手段との間に介在し始めるワ
ーク送り位置を予め記憶しておき、このワーク送り位置
までワークとブレードとが相対移動する時点よりも前の
時点での距離検出手段による検出値と上記時点後の距離
検出手段による検出値との差を上記補正値として設定し
たものであるので、ワークの送り位置だけでウェハの介
在開始時点を容易に判断でき、これに基づいて、ウェハ
の厚みや反りにかかわらず、ウェハの介在による影響を
相殺するための補正を実行できる効果がある。
【００５０】請求項５記載の装置では、予め上記ワーク
の抵抗率に応じた一定の補正値を記憶しておくことによ
り、この記憶された補正値に基づいて簡単な動作で上記
補正を実行できる効果がある。
【００５１】ここで、請求項６，７記載の装置では、上
記距離検出手段による検出値の変化率が予め定められた
第１の値よりも大きくなりかつその後に上記変化率が上
記第１の値よりも低い第２の値よりも小さくなった時点
や、予め記憶されたウェハ介在開始位置であるワーク送
り位置までワークとブレードとが相対移動した時点から
上記補正を開始するようにしているので、実際にウェハ
が介在したとみなせる適正な時点から補正を実行できる
効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の一実施例におけるスライシン
グ装置でブレードとブレード撓み検出センサとの間にウ
ェハが介在していない状態を示す断面平面図、（ｂ）は
同ウェハが介在している状態を示す断面平面図である。
【図２】上記スライシング装置の全体正面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】上記スライシング装置に装備された演算制御部
の機能構成を示すブロック図である。
【図５】上記演算制御部で行われるブレード変位検出動
作を示すフローチャートである。
【図６】上記スライシング装置でのワーク送り位置と変
位量検出値との関係を示すグラフである。
【図７】ワークの抵抗率とこのワークから切り出される
ウェハの介在が検出値に影響を与える度合いとの関係を
示すグラフである。
【符号の説明】
１０ ブレード １１ 内周刃 １４ 切断送り手段 ２０ ブレード撓み検出センサ（距離検出手段） ３０ ワーク ４０ 演算制御部 ４１Ａ ブレード変位量演算手段（出力補正手段） ４１Ｂ 補正値設定手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松本 勲 広島市南区宇品東５丁目３番38号 トー ヨーエイテック株式会社内 (56)参考文献 特開 平５−116138（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−278127（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−167703（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−138211（ＪＰ，Ａ) 実開 平６−712（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−69109（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B28D 5/02 B24B 27/06

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 円形状の内周刃をもつブレードの内側に
    ワークの一端部を臨ませ、上記ブレードを回転させなが
    らワークに対してブレードの半径方向に相対移動させる
    ことにより上記ワークから薄片を切り出すスライシング
    装置において、上記薄片の切り出し中にこの薄片を挾ん
    で上記ブレードに対向する位置にこのブレードとの離間
    距離を検出する距離検出手段を設けるとともに、上記薄
    片が上記ブレードと距離検出手段との間に介在する際に
    上記距離検出手段による検出値にこの検出値に対して上
    記薄片の介在により与えられる影響を相殺するための補
    正を施してから出力する出力補正手段を備えたことを特
    徴とするスライシング装置のブレード変位検出装置。
  2. 【請求項２】 請求項１記載のスライシング装置のブレ
    ード変位検出装置において、上記薄片が上記ブレードと
    距離検出手段との間に介在する前の状態から上記薄片が
    上記ブレードと距離検出手段との間に介在した後の状態
    へ移行する際の距離検出手段による検出値の変化に基づ
    いて上記補正のための補正値を設定する補正値設定手段
    を備えたことを特徴とするスライシング装置のブレード
    変位検出装置。
  3. 【請求項３】 請求項２記載のスライシング装置のブレ
    ード変位検出装置において、上記補正値設定手段は、上
    記距離検出手段による検出値の変化率が予め定められた
    第１の値よりも大きくなる前の時点での距離検出手段に
    よる検出値と、上記距離検出手段による検出値の変化率
    が予め定められた第１の値よりも大きくなりかつその後
    に上記変化率が上記第１の値よりも低い第２の値よりも
    小さくなった時点での距離検出手段による検出値との差
    を上記補正値として記憶するように構成されていること
    を特徴とするスライシング装置のブレード変位検出装
    置。
  4. 【請求項４】 請求項２記載のスライシング装置のブレ
    ード変位検出装置において、上記補正値設定手段は、上
    記薄片が上記ブレードと距離検出手段との間に介在し始
    めるワーク送り位置を予め記憶しておき、このワーク送
    り位置までワークとブレードとが相対移動する時点より
    も前の時点での距離検出手段による検出値と上記時点後
    の距離検出手段による検出値との差を上記補正値として
    記憶するように構成されていることを特徴とするスライ
    シング装置のブレード変位検出装置。
  5. 【請求項５】 請求項１記載のスライシング装置のブレ
    ード変位検出装置において、予め上記ワークの抵抗率に
    応じた補正値を記憶する補正値記憶手段を備え、この補
    正値記憶手段により記憶されている補正値に基づいて上
    記距離検出手段による検出値を補正するように上記出力
    補正手段を構成したことを特徴とするスライシング装置
    のブレード変位検出装置。
  6. 【請求項６】 請求項５記載のスライシング装置のブレ
    ード変位検出装置において、上記距離検出手段による検
    出値の変化率が予め定められた第１の値よりも大きくな
    りかつその後に上記変化率が上記第１の値よりも低い第
    ２の値よりも小さくなった時点から上記補正を開始する
    ように上記出力補正手段を構成したことを特徴とするス
    ライシング装置のブレード変位検出装置。
  7. 【請求項７】 請求項５記載のスライシング装置のブレ
    ード変位検出装置において、上記出力補正手段は、上記
    薄片が上記ブレードと距離検出手段との間に介在し始め
    るワーク送り位置を予め記憶しておき、このワーク送り
    位置までワークとブレードとが相対移動した時点から上
    記補正を開始するように構成されていることを特徴とす
    るスライシング装置のブレード変位検出装置。
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