JP3189270B2 - Bonding method - Google Patents

Bonding method

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JP3189270B2
JP3189270B2 JP35574598A JP35574598A JP3189270B2 JP 3189270 B2 JP3189270 B2 JP 3189270B2 JP 35574598 A JP35574598 A JP 35574598A JP 35574598 A JP35574598 A JP 35574598A JP 3189270 B2 JP3189270 B2 JP 3189270B2
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    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、接着方法及び半導
体装置に関し、特に、半導体チップを搭載したプリント
基板に放熱板を接着する接着方法、及びこの接着方法に
よる半導体装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a bonding method and a semiconductor device, and more particularly, to a bonding method of bonding a heat sink to a printed board on which a semiconductor chip is mounted, and a semiconductor device using the bonding method.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のテープ・ボールグリッドアレイ
(Tape-Ball Grid Array(BGA))構造を有する半導体
装置が特開平8−51128号公報(第1の従来例)に
記載されている。図5はこの公報に記載の半導体装置を
示す断面図、図6はヒートスプレッダとスティフナーと
の接合工程を示す斜視図である。図5に示すように、半
導体装置は、所定の配線パターンを有する実装基板に半
田ボール26を介して接続されるTAB(Tape Automate
d Bonding)テープ22と、TABテープ22の導電リー
ドを介してTABテープ22に実装された半導体チップ
21と、TABテープ22に対向するヒートスプレッダ
28とを有する。TABテープ22裏面(ランド面)に
は、複数の半田ボール26がマトリックス状に接合され
る。
2. Description of the Related Art A semiconductor device having a conventional tape-ball grid array (BGA) structure is described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-51128 (first conventional example). FIG. 5 is a cross-sectional view showing a semiconductor device described in this publication, and FIG. 6 is a perspective view showing a joining process between a heat spreader and a stiffener. As shown in FIG. 5, the semiconductor device has a TAB (Tape Automate) connected to a mounting substrate having a predetermined wiring pattern via solder balls 26.
d Bonding) tape 22, a semiconductor chip 21 mounted on the TAB tape 22 via conductive leads of the TAB tape 22, and a heat spreader 28 facing the TAB tape 22. On the back surface (land surface) of the TAB tape 22, a plurality of solder balls 26 are joined in a matrix.

【0003】上記半導体装置では、TABテープ22及
びヒートスプレッダ28が相互に対応する四角形状を有
し、TABテープ22の中央部分に形成された貫通孔
に、半導体チップ21が位置決めされた状態で絶縁性樹
脂25によって封止されている。TABテープ22とヒ
ートスプレッダ28との間には、TABテープ22上の
半導体チップ21を囲む形状のスティフナー23が配設
されており、スティフナー23はTABテープ22に接
着剤24で固定される。図6に示すように、ヒートスプ
レッダ28は、半導体チップ21の裏面(上面)及びス
ティフナー23の上面に夫々塗布されたシリコーン系の
エラストマー液状接着剤27によって半導体チップ21
とスティフナー23に夫々固定される。
In the above-described semiconductor device, the TAB tape 22 and the heat spreader 28 have rectangular shapes corresponding to each other, and an insulating material is provided in a state where the semiconductor chip 21 is positioned in a through hole formed in a central portion of the TAB tape 22. It is sealed with a resin 25. A stiffener 23 having a shape surrounding the semiconductor chip 21 on the TAB tape 22 is provided between the TAB tape 22 and the heat spreader 28, and the stiffener 23 is fixed to the TAB tape 22 with an adhesive 24. As shown in FIG. 6, the heat spreader 28 is bonded to the semiconductor chip 21 by a silicone-based elastomer liquid adhesive 27 applied to the back surface (upper surface) of the semiconductor chip 21 and the upper surface of the stiffener 23, respectively.
And stiffeners 23 respectively.

【0004】また、別のTape−BGA構造を有する
半導体装置が、特開平9−8186号公報(第2の従来
例)に記載されている。図7は、この公報に記載の半導
体装置の製造方法を示す斜視図である。この半導体装置
では、作製されるLSIパッケージ(PKG)の反り防
止を図るために、ヒートスプレッダ28の図の上面と、
図示しないTABテープに実装されスティフナー23の
中央部分に位置する半導体チップ21の図の下面とに熱
硬化性接着剤20を夫々塗布し、スティフナー23及び
半導体チップ21をヒートスプレッダ28に固定してい
る。
Another semiconductor device having a Tape-BGA structure is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-8186 (second conventional example). FIG. 7 is a perspective view showing a method for manufacturing the semiconductor device described in this publication. In this semiconductor device, in order to prevent warpage of the LSI package (PKG) to be manufactured, the upper surface of the heat spreader 28 in FIG.
A thermosetting adhesive 20 is applied to the lower surface of the semiconductor chip 21 which is mounted on a TAB tape (not shown) and is located at the center of the stiffener 23, respectively, and the stiffener 23 and the semiconductor chip 21 are fixed to the heat spreader 28.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】第1の従来例では、液
状接着剤27のみを使用して、半導体チップ21及びヒ
ートスプレッダ28、スティフナー23及びヒートスプ
レッダ28の双方を相互に夫々固定していた。液状接着
剤27を用いる場合、パッケージの反りや変形を防止す
る効果は得られるが、ヒートスプレッダ28をスティフ
ナー23側に貼り付けた後の双方の位置ずれを防止する
ため、専用の治具で固定して振動を与えないようにする
等の煩雑な工程が必要であった。しかも、液状接着剤2
7が硬化した後は、硬化時の熱収縮によってヒートスプ
レッダ28が位置ずれすることもあった。また、ヒート
スプレッダ28を液状接着剤27で固定するには、ヒー
トスプレッダ28を半導体チップ21及びスティフナー
23に向かって押圧する工程が必要であるが、このとき
にヒートスプレッダ28が傾いたり、スティフナー23
とヒートスプレッダ28との距離が安定しない等の不具
合が生じることがあった。
In the first conventional example, the semiconductor chip 21 and the heat spreader 28, and both the stiffener 23 and the heat spreader 28 are fixed to each other by using only the liquid adhesive 27. When the liquid adhesive 27 is used, the effect of preventing the package from being warped or deformed is obtained. However, in order to prevent the two positions from shifting after the heat spreader 28 is attached to the stiffener 23, the package is fixed with a special jig. A complicated process such as not giving vibration is required. Moreover, the liquid adhesive 2
After curing of 7, the heat spreader 28 may be displaced due to heat shrinkage during curing. In order to fix the heat spreader 28 with the liquid adhesive 27, a step of pressing the heat spreader 28 toward the semiconductor chip 21 and the stiffener 23 is required.
In some cases, the distance between the heat spreader 28 and the heat spreader 28 is not stable.

【0006】第2の従来例では、スティフナー23及び
ヒートスプレッダ28を熱硬化性接着剤20で固定する
ため、スティフナー23に対するヒートスプレッダ28
の位置ずれは無くなるものの、熱硬化性接着剤20の接
着強度が強過ぎるため、スティフナー23やヒートスプ
レッダ28が熱膨張する際に変形し、ストレスによる製
品破壊を起こすおそれがある。また、スティフナー23
の変形によって半田ボールの高さが変化し、コプラナリ
ティのばらつきが生じ、実装時に半田ボールが、実装基
板に塗布された半田ペーストに接触しなくなり、オープ
ン不良が発生するおそれがある。
In the second conventional example, since the stiffener 23 and the heat spreader 28 are fixed with the thermosetting adhesive 20, the heat spreader 28 with respect to the stiffener 23 is fixed.
, The adhesive strength of the thermosetting adhesive 20 is too strong, so that the stiffener 23 and the heat spreader 28 may be deformed when thermally expanded, and the product may be broken by stress. Also, stiffener 23
The deformation of the solder ball changes the height of the solder ball, causing variations in coplanarity. At the time of mounting, the solder ball does not come into contact with the solder paste applied to the mounting board, and an open defect may occur.

【0007】本発明は、上記に鑑み、簡便な工程によ
り、熱膨張による変形を回避してパッケージを良好な状
態に組み立てることができる接着方法、及びこの接着方
法による半導体装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above, it is an object of the present invention to provide a bonding method capable of avoiding deformation due to thermal expansion and assembling a package in a favorable state by a simple process, and a semiconductor device using the bonding method. And

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の接着方法(第1の発明)は、半導体チップ
を搭載したプリント基板に放熱板を接着する接着方法に
おいて、前記放熱板とプリント基板の接着面に熱硬化性
接着剤及び熱可塑性接着剤を交互に配設して接着する工
程を有し、前記接着工程では、前記放熱板及びプリント
基板が相互に対応する四角形状を有し、前記プリント基
板の相互に対向する2コーナー部に前記熱硬化性接着剤
を付着させ、前記放熱板の相互に対向する2コーナー部
に前記熱可塑性接着剤を付着させることを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a bonding method for bonding a heat sink to a printed circuit board on which a semiconductor chip is mounted. And a step of alternately arranging and setting a thermosetting adhesive and a thermoplastic adhesive on the bonding surface of the printed circuit board, and bonding the heat sink and the printed circuit board to each other in the bonding step. Wherein the thermosetting adhesive is attached to two mutually opposing corners of the printed circuit board, and the thermoplastic adhesive is attached to two mutually opposing corners of the heat sink. .

【0009】本発明における「プリント基板」は、プリ
ント基板と該プリント基板上に固定された補強部材とか
ら構成される。
The "printed board" in the present invention comprises a printed board and a reinforcing member fixed on the printed board.

【0010】本発明の接着方法では、プリント基板に対
して放熱板を貼り付ける際に、熱可塑性接着剤で放熱板
をプリント基板に位置決めした状態で、熱硬化性接着剤
を硬化させて放熱板を完全に固定することができる。こ
のため、放熱板とプリント基板との位置ずれを回避し、
熱硬化性接着剤によって放熱板の反りや変形を防止する
ことができる。従って、接着剤の熱収縮によって放熱板
が位置ずれする従来の不具合を回避でき、放熱板等の位
置ずれを防ぐため専用の治具で固定する等の煩雑な工程
を省くことができる。また、放熱板がプリント基板に対
して傾き、或いは、放熱板とプリント基板との距離が安
定しない等の不具合を無くすることができる。更に、放
熱板及びプリント基板が相互に対応する四角形状を有
し、プリント基板の相互に対向する2コーナー部に熱硬
化性接着剤を付着させ、放熱板の相互に対向する2コー
ナー部に熱可塑性接着剤を付着させるので、放熱板をプ
リント基板に精度良く位置決めすることができ、この状
態で熱硬化性接着剤を硬化させることによって放熱板を
プリント基板に完全に固定することができる。
In the bonding method according to the present invention, when the heat sink is attached to the printed board, the thermosetting adhesive is cured while the heat sink is positioned on the printed board with a thermoplastic adhesive. Can be completely fixed. For this reason, the displacement between the heat sink and the printed circuit board is avoided,
The thermosetting adhesive can prevent the heat sink from warping or deforming. Therefore, it is possible to avoid the conventional problem that the heat sink is displaced due to the heat shrinkage of the adhesive, and it is possible to omit a complicated process such as fixing with a dedicated jig to prevent the heat sink or the like from being displaced. Further, it is possible to eliminate such a problem that the heat sink is inclined with respect to the printed board or the distance between the heat sink and the printed board is not stable. Furthermore, the heat sink and the printed circuit board have mutually corresponding square shapes, and a thermosetting adhesive is attached to the two opposite corners of the printed circuit board, and the heat is applied to the two opposite corners of the heat sink. Since the plastic adhesive is adhered, the heat radiating plate can be accurately positioned on the printed circuit board, and the heat radiating plate can be completely fixed to the printed circuit board by curing the thermosetting adhesive in this state.

【0011】[0011]

【0012】本発明の接着方法(第2の発明)は、半導
体チップを搭載したプリント基板に放熱板を接着する接
着方法において、前記放熱板とプリント基板の接着面に
熱硬化性接着剤及び熱可塑性接着剤を交互に配設して接
着する工程を有し、前記接着工程では、前記放熱板及び
プリント基板が相互に対応する四角形状を有し、前記プ
リント基板における各コーナー部に前記熱硬化性接着剤
を付着させ、前記放熱板における各辺の中央部分に前記
熱可塑性接着剤を付着させることを特徴とする。本第2
の発明では、第1の発明と同様の効果が得られると共
に、放熱板及びプリント基板が相互に対応する四角形状
を有し、プリント基板における各コーナー部に熱硬化性
接着剤を付着させ、放熱板における各辺の中央部分に熱
可塑性接着剤を付着させるので、放熱板の各辺の中央部
分に熱可塑性接着剤が位置し、放熱板の位置ずれの抑止
効果や、プリント基板と放熱板との傾きを抑える効果が
更に向上する。
[0012] The bonding method (second invention) of the present invention is a bonding method for bonding a heat sink to a printed board on which a semiconductor chip is mounted. A step of alternately arranging and bonding plastic adhesives, wherein in the bonding step, the heat radiating plate and the printed board have a rectangular shape corresponding to each other, and the thermosetting is performed at each corner of the printed board. A thermoplastic adhesive is attached, and the thermoplastic adhesive is attached to a central portion of each side of the heat sink. Book second
According to the invention, the same effect as that of the first invention is obtained, and the heat sink and the printed board have a square shape corresponding to each other, and a thermosetting adhesive is attached to each corner of the printed board, and the heat dissipation is performed. Since the thermoplastic adhesive is attached to the center of each side of the board, the thermoplastic adhesive is located at the center of each side of the heat sink, which suppresses the displacement of the heat sink and the printed board and heat sink. Is further improved.

【0013】本発明の接着方法(第3の発明)は、半導
体チップを搭載したプリント基板に放熱板を接着する接
着方法において、前記放熱板とプリント基板の接着面に
熱硬化性接着剤及び熱可塑性接着剤を交互に配設して接
着する工程を有し、前記接着工程では、前記放熱板及び
プリント基板が相互に対応する四角形状を有し、前記プ
リント基板における各辺の中央部分に前記熱硬化性接着
剤を付着させ、前記放熱板における各コーナー部に前記
熱可塑性接着剤を付着させることを特徴とする。本第3
の発明では、第1の発明と同様の効果が得られると共
に、放熱板及びプリント基板が相互に対応する四角形状
を有し、プリント基板における各辺の中央部分に熱硬化
性接着剤を付着させ、放熱板における各コーナー部に熱
可塑性接着剤を付着させるので、熱硬化性接着剤と熱可
塑性接着剤とによって、放熱板及びプリント基板で形成
される内部空間に位置する半導体チップを良好に封止す
ることができる。この場合、放熱板の4つのコーナー部
に熱可塑性接着剤が存在することにより、放熱板の位置
ずれ抑止効果及び放熱板の傾きを抑える効果を一層向上
させることができる。
The bonding method (third invention) of the present invention is a bonding method for bonding a heat sink to a printed board on which a semiconductor chip is mounted, wherein a thermosetting adhesive and a thermosetting adhesive are applied to the bonding surface between the heat sink and the printed board. A step of alternately arranging and bonding plastic adhesives, and in the bonding step, the heat radiating plate and the printed board have a square shape corresponding to each other, and the central portion of each side of the printed board is A thermosetting adhesive is attached, and the thermoplastic adhesive is attached to each corner of the heat sink. Book 3
According to the invention, the same effect as that of the first invention can be obtained, and the heat sink and the printed board have a square shape corresponding to each other, and a thermosetting adhesive is attached to the center portion of each side of the printed board. Since the thermoplastic adhesive is attached to each corner of the heat sink, the semiconductor chip located in the internal space formed by the heat sink and the printed board is sealed well by the thermosetting adhesive and the thermoplastic adhesive. Can be stopped. In this case, the presence of the thermoplastic adhesive at the four corners of the radiator plate can further improve the effect of suppressing the displacement of the radiator plate and the effect of suppressing the inclination of the radiator plate.

【0014】具体的には、前記熱硬化性接着剤が、熱伝
導性を有するシリコーン系のエラストマー液状接着剤か
ら構成される。この場合、半導体チップで発生する熱を
放熱板に効率良く伝えて放熱することができる。また、
具体的には、前記プリント基板の接着面は、該プリント
基板に固定された補強部材の表面によって構成される。
Specifically, the thermosetting adhesive is composed of a silicone-based elastomer liquid adhesive having thermal conductivity. In this case, heat generated in the semiconductor chip can be efficiently transmitted to the heat radiating plate and radiated. Also,
Specifically, the adhesive surface of the printed board is constituted by the surface of a reinforcing member fixed to the printed board.

【0015】[0015]

【0016】[0016]

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】図面を参照して本発明を更に詳細
に説明する。図1は、本発明の第1実施形態例における
Tape−BGA構造の半導体装置を示す断面図であ
る。半導体装置は、所定の配線パターンを有する実装基
板に半田ボール16を介して接続されるTABテープ
(プリント基板)12と、TABテープ12の導電リー
ド(ILB:Inner Lead Bond)を介して信号接続されてTA
Bテープ12に実装された半導体チップ11と、TAB
テープ12に対向するヒートスプレッダ(放熱板)18
とを有する。TABテープ12の裏面のランド部には、
半導体チップ11からの信号を外部に出力する複数の半
田ボール16がマトリックス状に接合される。
The present invention will be described in more detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing a semiconductor device having a Tape-BGA structure according to a first embodiment of the present invention. The semiconductor device is connected to a TAB tape (printed board) 12 connected to a mounting board having a predetermined wiring pattern via a solder ball 16 via a conductive lead (ILB: Inner Lead Bond) of the TAB tape 12. TA
A semiconductor chip 11 mounted on a B tape 12 and a TAB
Heat spreader (radiator plate) 18 facing tape 12
And On the land on the back of the TAB tape 12,
A plurality of solder balls 16 for outputting signals from the semiconductor chip 11 to the outside are joined in a matrix.

【0018】TABテープ12及びヒートスプレッダ1
8は、相互に対応する四角形状を有し、TABテープ1
2の中央部分に形成された貫通孔に、半導体チップ11
が位置決めされた状態で絶縁性樹脂15によって封止さ
れている。TABテープ12とヒートスプレッダ18と
の間には、ヒートスプレッダ18に対応する四角形状を
有し、TABテープ12上の半導体チップ11を囲む形
状のスティフナー(補強部材)13が配設されており、
スティフナー13はTABテープ12に接着剤14で固
定される。接着剤14は、TABテープ12の反りなど
を抑制する。
TAB tape 12 and heat spreader 1
8 has a mutually corresponding square shape, and the TAB tape 1
The semiconductor chip 11 is inserted into a through hole formed in the center of the semiconductor chip 11.
Are sealed with the insulating resin 15 in a state where the are positioned. A stiffener (reinforcing member) 13 having a square shape corresponding to the heat spreader 18 and surrounding the semiconductor chip 11 on the TAB tape 12 is provided between the TAB tape 12 and the heat spreader 18.
The stiffener 13 is fixed to the TAB tape 12 with an adhesive 14. The adhesive 14 suppresses warpage of the TAB tape 12 and the like.

【0019】ヒートスプレッダ18は、裏面に付着させ
た粘着剤19と(図2)、半導体チップ11の裏面及び
スティフナー13の上面に夫々塗布されたシリコーン系
のエラストマー液状接着剤(熱硬化性接着剤)17とに
よって、半導体チップ11及びスティフナー13に夫々
固定される。粘着剤19は、熱を加えた際に硬化しない
熱可塑性接着剤を構成し、予めテープに塗布した粘着テ
ープとしてヒートスプレッダ18に付着させることもで
きる。エラストマー液状接着剤17は、弾性と良好な放
熱性とを有し、接着時及び接着後におけるストレスを緩
和することができ、更に、半導体チップ11で発生する
熱を効率良くヒートスプレッダ18に伝えて放熱特性を
向上させる。
The heat spreader 18 includes an adhesive 19 adhered to the back surface (FIG. 2) and a silicone-based elastomer liquid adhesive (thermosetting adhesive) applied to the back surface of the semiconductor chip 11 and the upper surface of the stiffener 13, respectively. 17 to the semiconductor chip 11 and the stiffener 13, respectively. The adhesive 19 constitutes a thermoplastic adhesive that does not cure when heat is applied, and can be attached to the heat spreader 18 as an adhesive tape applied to a tape in advance. The elastomer liquid adhesive 17 has elasticity and good heat dissipation, can reduce stress at the time of adhesion and at the time of adhesion, and further efficiently transmits heat generated in the semiconductor chip 11 to the heat spreader 18 to release heat. Improve characteristics.

【0020】図2はヒートスプレッダとスティフナーと
の接合工程を示す斜視図である。まず、TABテープ1
2に半導体チップ11を実装し、TABテープ12の周
縁部近傍にスティフナー13を接着剤14で固定した
後、スティフナー13の相互に対向する2コーナー部
と、半導体チップ11の裏面とにエラストマー液状接着
剤17を夫々塗布する。
FIG. 2 is a perspective view showing a step of joining the heat spreader and the stiffener. First, TAB tape 1
2, a stiffener 13 is fixed in the vicinity of the peripheral edge of the TAB tape 12 with an adhesive 14, and then an elastomer liquid is adhered to two opposite corners of the stiffener 13 and the back surface of the semiconductor chip 11. Each of the agents 17 is applied.

【0021】次いで、ヒートスプレッダ18の相互に対
向する2コーナー部及びその近傍に粘着剤19を付着さ
せる。この際に、粘着剤19を付着させる2コーナー部
は、スティフナー13におけるエラストマー液状接着剤
17を塗布した2コーナー部及びその近傍とは対向しな
い部分であり、2コーナー部の粘着剤19の全長は、エ
ラストマー液状接着剤17が塗布されない部分の長さに
相当することが好ましい。更に、ヒートスプレッダ18
をスティフナー13に位置精度良く合わせて貼り付け、
ヒートスプレッダ18を粘着剤19で簡易に固定し、こ
の状態でオーブンを使用して半導体装置を所定の温度で
加熱する。この際に、熱可塑性接着剤19は硬化せず、
エラストマー液状接着剤17のみが熱硬化してヒートス
プレッダ18を完全に固定する。
Next, an adhesive 19 is applied to the two corners of the heat spreader 18 facing each other and the vicinity thereof. At this time, the two corners to which the adhesive 19 is adhered are portions that do not face the two corners of the stiffener 13 where the elastomer liquid adhesive 17 is applied and the vicinity thereof, and the total length of the adhesive 19 at the two corners is Preferably, it corresponds to the length of the portion where the elastomer liquid adhesive 17 is not applied. Further, the heat spreader 18
To the stiffener 13 with good positional accuracy and paste
The heat spreader 18 is easily fixed with the adhesive 19, and in this state, the semiconductor device is heated at a predetermined temperature using an oven. At this time, the thermoplastic adhesive 19 does not cure,
Only the elastomer liquid adhesive 17 is thermally cured to completely fix the heat spreader 18.

【0022】従って、本実施形態例では、振動や接着剤
の熱収縮等によるヒートスプレッダ18とスティフナー
13との位置ずれを回避することができるので、ヒート
スプレッダ18等の位置ずれを防ぐため専用の治具で固
定する等の煩雑な工程を省くことができる。また、ステ
ィフナー13及びヒートスプレッダ18が熱膨張する際
の変形を粘着剤19及び液状接着剤17によって吸収
し、硬化後の液状接着剤17によってヒートスプレッダ
18の反りや変形を防止できる。更に、ヒートスプレッ
ダ18が傾き、或いは、ヒートスプレッダ18とスティ
フナー13との距離が安定しない等の不具合を解消する
ことができる。
Therefore, in this embodiment, since the displacement between the heat spreader 18 and the stiffener 13 due to vibration, heat shrinkage of the adhesive or the like can be avoided, a special jig for preventing the displacement of the heat spreader 18 and the like can be avoided. It is possible to omit a complicated process such as fixing by using. Further, the deformation when the stiffener 13 and the heat spreader 18 thermally expand is absorbed by the adhesive 19 and the liquid adhesive 17, and the liquid adhesive 17 after curing can prevent the heat spreader 18 from warping or deforming. Further, it is possible to solve problems such as the inclination of the heat spreader 18 or the unstable distance between the heat spreader 18 and the stiffener 13.

【0023】また、本実施形態例では、接着剤の接着強
度が強過ぎて、熱膨張するスティフナー13やヒートス
プレッダ18の変形を招き、パッケージにストレスが加
わって製品破壊を起こす等の従来の問題点を解消するこ
とができる。更に、半田ボール16が、実装基板(図示
せず)に塗布された半田ペーストに接触しなくなってオ
ープン不良が発生する等の不具合を回避することができ
る。また、エラストマー液状接着剤17と粘着剤19と
によってヒートスプレッダ18、スティフナー13及び
TABテープ12で形成される内部空間に位置する半導
体チップ11を確実に封止することができる。
Further, in the present embodiment, the conventional problems such as the adhesive strength of the adhesive being too strong, causing deformation of the stiffener 13 and the heat spreader 18 which thermally expand, and applying stress to the package to cause product breakage. Can be eliminated. Furthermore, it is possible to avoid such a problem that the solder ball 16 does not come into contact with the solder paste applied to the mounting board (not shown) and an open defect occurs. Further, the semiconductor chip 11 located in the internal space formed by the heat spreader 18, the stiffener 13 and the TAB tape 12 can be reliably sealed by the elastomer liquid adhesive 17 and the adhesive 19.

【0024】次に、本発明の第2実施形態例について説
明する。図3は、本実施形態例の組立て工程を説明する
ための斜視図である。本実施形態例では、第1実施形態
例と同様にスティフナー13及びヒートスプレッダ18
が相互に対応する四角形状を有しており、組立て工程は
第1実施形態例とほぼ同様であるが、エラストマー液状
接着剤17及び粘着剤19の各付着位置が異なる。
Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 3 is a perspective view for explaining the assembling process of the embodiment. In the present embodiment, the stiffener 13 and the heat spreader 18 are used similarly to the first embodiment.
Have quadrangular shapes corresponding to each other, and the assembling process is almost the same as that of the first embodiment, but the positions where the elastomer liquid adhesive 17 and the adhesive 19 are attached are different.

【0025】本実施形態例では、スティフナー13にお
ける4つのコーナー部及びその近傍にエラストマー液状
接着剤17を夫々塗布し、ヒートスプレッダ18におけ
る各辺の中央部分に粘着剤19を夫々塗布する。この場
合、粘着剤19を付着させる部分は、スティフナー13
におけるエラストマー液状接着剤17を塗布した部分と
は対向しない部分であり、粘着剤19の各付着部分の長
さは、エラストマー液状接着剤17が塗布されない部分
の長さに相当することが好ましい。
In this embodiment, an elastomer liquid adhesive 17 is applied to the four corners of the stiffener 13 and the vicinity thereof, and an adhesive 19 is applied to the center of each side of the heat spreader 18. In this case, the portion where the adhesive 19 is adhered is the stiffener 13
It is a portion that does not face the portion where the elastomer liquid adhesive 17 is applied, and the length of each attached portion of the adhesive 19 preferably corresponds to the length of the portion where the elastomer liquid adhesive 17 is not applied.

【0026】以上の本実施形態例では、第1実施形態例
と同様の効果を得ることができると共に、ヒートスプレ
ッダ18の各辺の中央部分に粘着剤19が位置するの
で、ヒートスプレッダ18の位置ずれの抑止効果や、ス
ティフナー13とヒートスプレッダ18との傾きを抑え
る効果が、第1実施形態例に比して更に向上する。
In the above embodiment, the same effects as those of the first embodiment can be obtained, and the adhesive 19 is located at the center of each side of the heat spreader 18. The suppression effect and the effect of suppressing the inclination between the stiffener 13 and the heat spreader 18 are further improved as compared with the first embodiment.

【0027】次に、本発明の第3実施形態例について説
明する。図4は、本実施形態例の組立て工程を説明する
ための斜視図である。本実施形態例においても、第1実
施形態例と同様にスティフナー13及びヒートスプレッ
ダ18が相互に対応する四角形状を有しており、組立工
程は第1実施形態例とほぼ同様であるが、エラストマー
液状接着剤17及び粘着剤19の各付着位置が異なる。
Next, a third embodiment of the present invention will be described. FIG. 4 is a perspective view for explaining the assembling process of the embodiment. Also in this embodiment, the stiffener 13 and the heat spreader 18 have square shapes corresponding to each other as in the first embodiment, and the assembling process is almost the same as in the first embodiment. The attachment positions of the adhesive 17 and the adhesive 19 are different.

【0028】本実施形態例では、スティフナー13にお
ける各辺の中央部分及びその近傍にエラストマー液状接
着剤17を夫々塗布し、ヒートスプレッダ18における
各コーナー部に粘着剤19を夫々塗布する。この場合、
粘着剤19を付着させる部分は、スティフナー13にお
けるエラストマー液状接着剤17を塗布した部分とは対
向しない部分であり、粘着剤19の各付着部分の長さ
は、エラストマー液状接着剤17が塗布されない部分の
長さに相当することが好ましい。
In the present embodiment, an elastomer liquid adhesive 17 is applied to the central portion of each side of the stiffener 13 and its vicinity, and an adhesive 19 is applied to each corner of the heat spreader 18. in this case,
The portion where the adhesive 19 is adhered is a portion that does not face the portion of the stiffener 13 where the elastomer liquid adhesive 17 is applied, and the length of each adhered portion of the adhesive 19 is the portion where the elastomer liquid adhesive 17 is not applied. Preferably corresponds to the length of

【0029】以上の本実施形態例では、第1実施形態例
と同様の効果を得ることができると共に、ヒートスプレ
ッダ18の4つのコーナー部に粘着剤19が存在するの
で、ヒートスプレッダ18の位置ずれの抑止効果が第2
実施形態例よりも一層向上する。また、本実施形態例で
は、ヒートスプレッダ18及びスティフナー13の4コ
ーナー部を簡易に固定した状態で液状接着剤17を硬化
させて完全に固定するので、スティフナー13とヒート
スプレッダ18との傾きを抑える効果も一層向上する。
In the present embodiment described above, the same effects as in the first embodiment can be obtained, and since the adhesive 19 is present at the four corners of the heat spreader 18, the displacement of the heat spreader 18 is suppressed. The effect is second
It is further improved than in the embodiment. Further, in the present embodiment, the liquid adhesive 17 is cured and completely fixed in a state where the four corners of the heat spreader 18 and the stiffener 13 are simply fixed, so that the effect of suppressing the inclination between the stiffener 13 and the heat spreader 18 is also improved. Further improve.

【0030】以上、本発明をその好適な実施形態例に基
づいて説明したが、本発明の接着方法及び半導体装置
は、上記実施形態例の構成にのみ限定されるものではな
く、上記実施形態例の構成から種々の修正及び変更を施
した接着方法及び半導体装置も、本発明の範囲に含まれ
る。
Although the present invention has been described based on the preferred embodiment, the bonding method and the semiconductor device of the present invention are not limited only to the configuration of the above-described embodiment. The bonding method and the semiconductor device obtained by making various modifications and changes from the configuration described above are also included in the scope of the present invention.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の接着方法
及び半導体装置によると、簡便な工程により、熱膨張に
よる変形を回避してパッケージを良好な状態に組み立て
ることができる。
As described above, according to the bonding method and the semiconductor device of the present invention, it is possible to avoid deformation due to thermal expansion and to assemble the package in a favorable state by simple steps.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施形態例におけるTape−B
GA構造の半導体装置を示す断面図である。
FIG. 1 shows a Tape-B according to a first embodiment of the present invention.
It is sectional drawing which shows the semiconductor device of GA structure.

【図2】第1実施形態例における組立て工程を説明する
ための斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view for explaining an assembling process in the first embodiment.

【図3】本発明の第2実施形態例における組立て工程を
説明するための斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view for explaining an assembling process according to a second embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第3実施形態例における組立て工程を
説明するための斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view for explaining an assembling process according to a third embodiment of the present invention.

【図5】従来の半導体装置を示す断面図である。FIG. 5 is a sectional view showing a conventional semiconductor device.

【図6】従来の半導体装置の組立て工程を説明するため
の斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view illustrating a process of assembling a conventional semiconductor device.

【図7】従来の半導体装置の別の組立て工程を説明する
ための斜視図である。
FIG. 7 is a perspective view for explaining another assembly process of a conventional semiconductor device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11:半導体チップ 12:TABテープ(プリント基板) 13:スティフナー(補強部材) 14:接着剤 15:絶縁性樹脂 16:半田ボール 17:エラストマー液状接着剤(熱硬化性接着剤) 18:ヒートスプレッダ(放熱板) 19:粘着剤(熱可塑性接着剤) 11: Semiconductor chip 12: TAB tape (printed circuit board) 13: Stiffener (reinforcing member) 14: Adhesive 15: Insulating resin 16: Solder ball 17: Elastomer liquid adhesive (thermosetting adhesive) 18: Heat spreader (Heat dissipation) Board) 19: Adhesive (thermoplastic adhesive)

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 半導体チップを搭載したプリント基板に
放熱板を接着する接着方法において、 前記放熱板とプリント基板の接着面に熱硬化性接着剤及
び熱可塑性接着剤を交互に配設して接着する工程を有
し、 前記接着工程では、前記放熱板及びプリント基板が相互
に対応する四角形状を有し、前記プリント基板の相互に
対向する2コーナー部に前記熱硬化性接着剤を付着さ
せ、前記放熱板の相互に対向する2コーナー部に前記熱
可塑性接着剤を付着させることを特徴とする接着方法。
1. A bonding method for bonding a heat sink to a printed board on which a semiconductor chip is mounted, wherein a thermosetting adhesive and a thermoplastic adhesive are alternately disposed on the bonding surface of the heat sink and the printed board. In the bonding step, the heat radiating plate and the printed board have a square shape corresponding to each other, and the thermosetting adhesive is attached to two mutually facing corners of the printed board, The bonding method, wherein the thermoplastic adhesive is attached to two corner portions of the heat sink that face each other.
【請求項2】 半導体チップを搭載したプリント基板に
放熱板を接着する接着方法において、 前記放熱板とプリント基板の接着面に熱硬化性接着剤及
び熱可塑性接着剤を交互に配設して接着する工程を有
し、 前記接着工程では、前記放熱板及びプリント基板が相互
に対応する四角形状を有し、前記プリント基板における
各コーナー部に前記熱硬化性接着剤を付着させ、前記放
熱板における各辺の中央部分に前記熱可塑性接着剤を付
着させることを特徴とする接着方法。
2. A bonding method for bonding a heat sink to a printed board on which a semiconductor chip is mounted, wherein a thermosetting adhesive and a thermoplastic adhesive are alternately arranged on the bonding surface of the heat sink and the printed board. In the bonding step, the heat radiating plate and the printed board have a square shape corresponding to each other, and the thermosetting adhesive is attached to each corner of the printed board, A bonding method, wherein the thermoplastic adhesive is attached to a central portion of each side.
【請求項3】 半導体チップを搭載したプリント基板に
放熱板を接着する接着方法において、 前記放熱板とプリント基板の接着面に熱硬化性接着剤及
び熱可塑性接着剤を交互に配設して接着する工程を有
し、 前記接着工程では、前記放熱板及びプリント基板が相互
に対応する四角形状を有し、前記プリント基板における
各辺の中央部分に前記熱硬化性接着剤を付着させ、前記
放熱板における各コーナー部に前記熱可塑性接着剤を付
着させることを特徴とする接着方法。
3. A bonding method for bonding a heat sink to a printed board on which a semiconductor chip is mounted, wherein a thermosetting adhesive and a thermoplastic adhesive are alternately arranged on the bonding surface of the heat sink and the printed board. In the bonding step, the heat radiating plate and the printed board have a rectangular shape corresponding to each other, and the thermosetting adhesive is attached to a central portion of each side of the printed board, and the heat dissipation is performed. A bonding method, wherein the thermoplastic adhesive is applied to each corner of a plate.
【請求項4】 前記熱硬化性接着剤が、熱伝導性を有す
るシリコーン系のエラストマー液状接着剤から成ること
を特徴とする請求項1乃至3の内の何れか1項に記載の
接着方法。
4. The bonding method according to claim 1, wherein the thermosetting adhesive is a silicone-based elastomer liquid adhesive having thermal conductivity.
【請求項5】 前記プリント基板の接着面が、該プリン
ト基板に固定された補強部材の表面によって構成される
ことを特徴とする請求項1乃至4の内の何れか1項に記
載の接着方法。
5. The bonding method according to claim 1, wherein the bonding surface of the printed board is constituted by a surface of a reinforcing member fixed to the printed board. .
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