JP3186285U - Precision alignment platform - Google Patents

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JP3186285U
JP3186285U JP2013004128U JP2013004128U JP3186285U JP 3186285 U JP3186285 U JP 3186285U JP 2013004128 U JP2013004128 U JP 2013004128U JP 2013004128 U JP2013004128 U JP 2013004128U JP 3186285 U JP3186285 U JP 3186285U
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呉茂祥
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▲呉▼ 茂祥
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Abstract

【課題】回転角度を精密に制御可能であり、ワークの移動及び回転が容易となり、位置合せ用プラットフォームの操作の複雑度を降下可能であり、全体を薄型化することが可能な精密位置合せ用プラットフォームを提供する。
【解決手段】三組の動力装置により第3移動ユニット9を移動させ、三組の動力装置のうちの二組は、それぞれ第3移動ユニット9をX方向とY方向に移動させ、三組の動力装置のうちの残りの一組にワーム112が設けられているため、第2移動ユニット6と第3移動ユニット9の間に設けられている円弧形ラック101を駆動して、第3移動ユニット9を回転することが可能である。
【選択図】図3
[PROBLEMS] To precisely control the rotation angle, facilitate the movement and rotation of the workpiece, reduce the complexity of the operation of the alignment platform, and reduce the overall thickness. Provide a platform.
A third moving unit 9 is moved by three sets of power units, and two sets of the three sets of power units move the third moving unit 9 in the X direction and the Y direction, respectively. Since the worm 112 is provided in the remaining set of the power units, the arc-shaped rack 101 provided between the second moving unit 6 and the third moving unit 9 is driven to perform the third movement. It is possible to rotate the unit 9.
[Selection] Figure 3

Description

本考案は、プラットフォームに関し、特に、精密位置合せ用プラットフォームに関するものである。   The present invention relates to a platform, and more particularly to a precision alignment platform.

従来の工作プラットフォームは、例えば台湾特許TW200912688号の「超高正方向負荷用位置合せ装置」が提案された。これは、三組の駆動装置により、三組の変位装置を直線的に移動して、プラットフォームを移動し、又は回動するものである。前記プラットフォームを回動しようとする場合には、三組の駆動装置を同時に移動することが必要であるため、前記プラットフォームを円弧に沿って移動することが容易ではない。制御器又はコンピュータによって前記プラットフォームを駆動する場合には、制御器又はコンピュータが大量の関数を計算することが必要であるため、応答時間が増加し、工作効率が降下する。   As a conventional work platform, for example, “super high-positive load alignment device” of Taiwan Patent TW200909688 has been proposed. This means that the three sets of displacement devices are moved linearly by the three sets of driving devices, and the platform is moved or rotated. When the platform is to be rotated, it is necessary to move the three sets of driving devices at the same time. Therefore, it is not easy to move the platform along an arc. When the platform is driven by a controller or a computer, since the controller or computer needs to calculate a large amount of functions, the response time increases and the machining efficiency decreases.

上記の問題を解決するために、本願の出願者は、台湾特許出願第099118614号の「位置合せ用プラットフォーム」を出願して、特許文献1の台湾特許第I390144号の特許を得た。当該位置合せプラットフォームは、三組の動力装置により、第3移動ユニットを移動させ、前記三組の動力装置のうちの二組は、それぞれ前記第3移動ユニットを二つの方向に移動させ、残りの一組の前記動力装置は、前記第3移動ユニットを回転させる。これにより、制御器と電気的に接続している前記各動力装置は、それぞれ前記制御器に制御される。前記第3移動ユニットを単純に回転させる場合には、単一の前記動力装置を駆動するだけでよいため、前記各動力装置を同時に作動することが必要ない。このように、前記位置合せプラットフォームの操作の困難度を減少することが可能であり、工作効率を増加することも可能である。当該位置合せプラットフォームは、市場の極めて高い評価を得ている。   In order to solve the above-mentioned problem, the applicant of the present application has applied for a “alignment platform” of Taiwan Patent Application No. 099118614 and obtained a patent of Taiwan Patent No. I390144 of Patent Document 1. The alignment platform moves the third moving unit by three sets of power units, and two of the three sets of power units move the third moving unit in two directions, respectively, The set of the power devices rotates the third moving unit. Thus, each of the power devices that are electrically connected to the controller is controlled by the controller. When the third moving unit is simply rotated, it is only necessary to drive a single power unit, so that it is not necessary to simultaneously operate the power units. In this way, it is possible to reduce the difficulty of operation of the alignment platform and increase the work efficiency. The alignment platform has an extremely high market reputation.

台湾特許第I390144号公報Taiwan Patent No. I390144

本考案の主な目的は、回転角度を精密に制御可能な精密位置合せ用プラットフォームを提供することにある。   The main object of the present invention is to provide a precision alignment platform capable of precisely controlling the rotation angle.

本考案の次の目的は、ワークの移動及び回転が容易となり、位置合せ用プラットフォームの操作の複雑度を降下可能な精密位置合せ用プラットフォームを提供することにある。
本考案の別の目的は、位置合せ用プラットフォーム全体の高さを降下可能であり、薄型化することが可能な精密位置合せ用プラットフォームを提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a precision alignment platform that can easily move and rotate a workpiece and can lower the complexity of operation of the alignment platform.
Another object of the present invention is to provide a precision alignment platform that can lower the overall height of the alignment platform and can be made thinner.

本考案の精密位置合せ用プラットフォームによると、台座と、
台座に設けられている少なくとも一つのY軸案内具と、
各Y軸案内具に摺動可能に設けられており、台座に平行している第1移動ユニットと、
第1モータと、第1モータに駆動され可能な第1プッシャと、を備え、第1モータは、台座に設けられており、第1プッシャを駆動することにより、第1移動ユニットを各Y軸案内具に沿って移動させ可能な第1動力装置と、
第1移動ユニットと連動可能であり、Y軸案内具に平行しない少なくとも一つのX軸案内具と、
各X軸案内具に摺動可能に設けられており、台座に平行している第2移動ユニットと、
第2モータと、第2モータに駆動され可能な第2プッシャと、を備え、第2モータは、第1移動ユニット、第1プッシャ及び各X軸案内具のうちの一つに設けられており、第2プッシャを駆動することにより、第2移動ユニットを各X軸案内具に沿って移動させ可能な第2動力装置と、
第2移動ユニットの上方に回動可能に設けられており、台座に平行している第3移動ユニットと、
第2移動ユニットと第3移動ユニットの間に設けられており、その外周面に円弧形ラックが設けられている回動ユニットと、
第2移動ユニットの一側に設けられており、第3モータと、第3モータに駆動され、円弧形ラックと噛合うワームと、を備え、第3モータは、ワームを回転して円弧形ラックを駆動することにより、第3移動ユニットを台座に対して回動することが可能な第3動力装置と、を含むことを特徴とする。
According to the precision alignment platform of the present invention,
At least one Y-axis guide provided on the base;
A first moving unit that is slidably provided on each Y-axis guide and is parallel to the pedestal;
A first motor, and a first pusher that can be driven by the first motor. The first motor is provided on a pedestal. By driving the first pusher, the first moving unit is moved to each Y-axis. A first power unit movable along the guide;
At least one X-axis guide that is interlocked with the first movement unit and not parallel to the Y-axis guide;
A second moving unit that is slidably provided on each X-axis guide and is parallel to the pedestal;
A second motor and a second pusher that can be driven by the second motor. The second motor is provided in one of the first moving unit, the first pusher, and each X-axis guide. A second power unit capable of moving the second moving unit along each X-axis guide by driving the second pusher;
A third moving unit which is rotatably provided above the second moving unit and is parallel to the pedestal;
A rotating unit that is provided between the second moving unit and the third moving unit, and an arc-shaped rack is provided on the outer peripheral surface thereof;
A third motor, and a worm driven by the third motor and meshing with the arc-shaped rack; the third motor rotates the worm to form an arc And a third power unit capable of rotating the third moving unit with respect to the base by driving the shape rack.

本考案の精密位置合せ用プラットフォームによると、台座に対して、回動ユニットの上面は、第3移動ユニットの上面よりも高くないことを特徴とする。   According to the precision alignment platform of the present invention, the upper surface of the rotating unit is not higher than the upper surface of the third moving unit with respect to the pedestal.

本考案の精密位置合せ用プラットフォームによると、回動ユニットは、更に、軸受を含み、円弧形ラックは、円環状なラックであり、軸受を囲んでおり、円環状なラックは、第3移動ユニットに連動され、軸受を回るように回動可能であることを特徴とする。   According to the precision alignment platform of the present invention, the rotating unit further includes a bearing, the arc-shaped rack is an annular rack, surrounds the bearing, and the annular rack is the third movement. It is interlocked with the unit and can be rotated to turn the bearing.

本考案の精密位置合せ用プラットフォームによると、円弧形ラックは、クローズ構造ではなく、環状を呈するラックの一部であることを特徴とする。   According to the precision alignment platform of the present invention, the arc-shaped rack is not a closed structure, but is a part of an annular rack.

本考案の精密位置合せ用プラットフォームによると、更に、第2移動ユニットに設けられている複数のθ軸案内具を含み、各θ軸案内具は円弧形なガイドレールであることを特徴とする。   According to the precision alignment platform of the present invention, the platform further includes a plurality of θ-axis guides provided in the second moving unit, and each θ-axis guide is an arc-shaped guide rail. .

本考案の精密位置合せ用プラットフォームによると、台座には、レール溝が少なくとも一つ形成されており、各Y軸案内具は各レール溝に押付けており、第1移動ユニットはプレートを含み、第1移動ユニットのプレートには、溝が少なくとも一つ形成されており、各X軸案内具は各溝に押付けており、第2移動ユニットは別のプレートを含み、第2移動ユニットのプレートには、長穴が少なくとも一つ形成されており、各θ軸案内具は各長穴に押付けていることを特徴とする。   According to the precision alignment platform of the present invention, at least one rail groove is formed on the pedestal, each Y-axis guide is pressed against each rail groove, the first moving unit includes a plate, At least one groove is formed in the plate of one moving unit, each X-axis guide is pressed against each groove, the second moving unit includes another plate, and the plate of the second moving unit includes At least one elongated hole is formed, and each θ-axis guide is pressed against each elongated hole.

本考案の精密位置合せ用プラットフォームによると、第3移動ユニットは、プレートと、スライドブロックと、を含み、θ軸案内具は環状なガイドレールであることを特徴とする。   According to the precision alignment platform of the present invention, the third moving unit includes a plate and a slide block, and the θ-axis guide is an annular guide rail.

本考案の精密位置合せ用プラットフォームによると、第3移動ユニットのスライドブロックは、環状のガイドレールの内周面に回動可能に設けられていることを特徴とする。   According to the precision alignment platform of the present invention, the slide block of the third moving unit is rotatably provided on the inner peripheral surface of the annular guide rail.

本考案の精密位置合せ用プラットフォームによると、第1動力装置は、複数組の第1モータと、複数組の第1プッシャと、を含み、第2動力装置は、複数組の第2モータと、複数組の第2プッシャと、を含み、複数の第1モータと複数の第2モータとは、台座と第1移動ユニットとの周りに沿って設けられていることを特徴とする。   According to the precision alignment platform of the present invention, the first power unit includes a plurality of sets of first motors and a plurality of sets of first pushers, and the second power unit includes a plurality of sets of second motors; A plurality of second pushers, and the plurality of first motors and the plurality of second motors are provided around the base and the first moving unit.

本考案の精密位置合せ用プラットフォームによると、各プレートは、完全の矩形を呈することを特徴とする。   According to the precision alignment platform of the present invention, each plate is characterized by a perfect rectangle.

本考案の精密位置合せ用プラットフォームによると、各プレートは、中央部が貫通された矩形を呈することを特徴とする。   According to the precision alignment platform of the present invention, each plate has a rectangular shape with a central portion passing therethrough.

本考案の精密位置合せ用プラットフォームによれば、次のような効果がある。
(1)回転角度を精密に制御することが可能である。
The precision alignment platform of the present invention has the following effects.
(1) The rotation angle can be precisely controlled.

(2)ワークの移動及び回転が容易となり、位置合せ用プラットフォームの操作の複雑度を降下することが可能である。 (2) The workpiece can be moved and rotated easily, and the complexity of operation of the alignment platform can be reduced.

(3)位置合せ用プラットフォーム全体の高さを降下可能であり、薄型化することが可能である。 (3) The overall height of the alignment platform can be lowered and the thickness can be reduced.

本考案の実施例1を示す斜視図である。It is a perspective view which shows Example 1 of this invention. 本考案の実施例1の一部を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows a part of Example 1 of this invention. 本考案の実施例1を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows Example 1 of this invention. 本考案の実施例1を示す側面図である。It is a side view which shows Example 1 of this invention. 本考案の実施例1に複数組の第1動力装置と複数組の第2動力装置とが設けられている状態を示す分解斜視図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is an exploded perspective view showing a state in which a plurality of sets of first power devices and a plurality of sets of second power devices are provided in Embodiment 1 of the present invention. 本考案の実施例1の動作を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows operation | movement of Example 1 of this invention. 本考案の実施例1の動作を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows operation | movement of Example 1 of this invention. 本考案の実施例1の動作を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows operation | movement of Example 1 of this invention. 本考案の実施例2の一部を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows a part of Example 2 of this invention. 本考案の実施例3を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows Example 3 of this invention. 本考案の実施例4を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows Example 4 of this invention.

以下、本考案の実施の形態を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1から図4を参照する。図1は本考案の実施例1を示す斜視図であり、図2は本考案の実施例1の一部を示す分解斜視図であり、図3は本考案の実施例1を示す分解斜視図であり、図4は本考案の実施例1を示す側面図である。本考案の実施例1の精密位置合せ用プラットフォームは、台座1と、四つのY軸案内具2と、第1移動ユニット3と、第1動力装置4と、四つのX軸案内具5と、第2移動ユニット6と、第2動力装置7と、四つのθ軸案内具8と、第3移動ユニット9と、回動ユニット10と、第3動力装置11と、を含む。   Please refer to FIG. 1 to FIG. 1 is a perspective view showing a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view showing a part of the first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an exploded perspective view showing the first embodiment of the present invention. FIG. 4 is a side view showing Embodiment 1 of the present invention. The precision alignment platform according to the first embodiment of the present invention includes a base 1, four Y-axis guides 2, a first moving unit 3, a first power unit 4, and four X-axis guides 5. A second moving unit 6, a second power device 7, four θ-axis guides 8, a third moving unit 9, a turning unit 10, and a third power device 11 are included.

台座1は、プレート状を呈し、水平な面、又は水平ではない面に置くことが可能である。台座1は、長さ方向と、幅方向と、を有する。台座1には、一つから複数のレール溝が設けられている。   The pedestal 1 has a plate shape and can be placed on a horizontal surface or a non-horizontal surface. The pedestal 1 has a length direction and a width direction. The pedestal 1 is provided with one to a plurality of rail grooves.

これらのY軸案内具2は、台座1に設けられており、前記各レール溝に押付けている。これらのY軸案内具2は、互いに平行しているが、一つだけあってもよい。   These Y-axis guides 2 are provided on the base 1 and pressed against the rail grooves. These Y-axis guides 2 are parallel to each other, but there may be only one.

第1移動ユニット3は、各Y軸案内具2に摺動可能に設けられており、これにより、第1移動ユニット3がこれらのY軸案内具2に沿って移動することが可能である。第1移動ユニット3は台座1に平行している。第1移動ユニット3は、プレート31と、一つから複数のスライドブロック32と、を含む。各第1移動ユニット3のスライドブロック32が第1移動ユニット3のプレート31に設けられているため、各第1移動ユニット3のスライドブロック32は、第1移動ユニット3のプレート31と連動する。そして各第1移動ユニット3のスライドブロック32は、それぞれY軸案内具2のうちの一つに移動可能に設けられている。第1移動ユニット3のプレート31には、一つから複数の溝311が形成されている。   The first moving unit 3 is slidably provided on each Y-axis guide 2, so that the first moving unit 3 can move along these Y-axis guides 2. The first moving unit 3 is parallel to the base 1. The first moving unit 3 includes a plate 31 and one to a plurality of slide blocks 32. Since the slide block 32 of each first moving unit 3 is provided on the plate 31 of the first moving unit 3, the slide block 32 of each first moving unit 3 is interlocked with the plate 31 of the first moving unit 3. The slide block 32 of each first moving unit 3 is provided so as to be movable in one of the Y-axis guides 2. One to a plurality of grooves 311 are formed in the plate 31 of the first moving unit 3.

第1動力装置4は、第1モータ41と、第1モータ41に駆動され可能な第1プッシャ42と、を含む。第1モータ41は、台座1に設けられており、第1プッシャ42を駆動することにより、第1移動ユニット3を各Y軸案内具2に沿って移動させ可能である。   The first power unit 4 includes a first motor 41 and a first pusher 42 that can be driven by the first motor 41. The first motor 41 is provided on the base 1, and can drive the first moving unit 3 along each Y-axis guide 2 by driving the first pusher 42.

これらのX軸案内具5は、第1移動ユニット3に設けられており、又は各溝311に押付けている。このように、各X軸案内具5は、第1移動ユニット3と連動し、各Y軸案内具2に平行しない。もちろん、本考案では、X軸案内具5が一つだけあってもよい。   These X-axis guides 5 are provided in the first moving unit 3 or pressed against each groove 311. Thus, each X-axis guide 5 is interlocked with the first moving unit 3 and is not parallel to each Y-axis guide 2. Of course, in the present invention, only one X-axis guide 5 may be provided.

第2移動ユニット6は、各X軸案内具5に摺動可能に設けられており、これにより、第2移動ユニット6はこれらのX軸案内具5に沿って移動することが可能である。第2移動ユニット6は台座1に平行していることが好ましい。第2移動ユニット6は、プレート61と、一つから複数のスライドブロック62と、を含んでもよい。各第2移動ユニット6のスライドブロック62が第2移動ユニット6のプレート61に設けられているため、各第2移動ユニット6のスライドブロック62は、第2移動ユニット6のプレート61と連動する。これらの第2移動ユニット6のスライドブロック62は、それぞれX軸案内具5のうちの一つに移動可能に設けられている。第2移動ユニット6のプレート61には、一つから複数の長穴611が設けられていてもよい。   The second moving unit 6 is slidably provided on each X-axis guide 5, whereby the second moving unit 6 can move along these X-axis guides 5. The second moving unit 6 is preferably parallel to the base 1. The second moving unit 6 may include a plate 61 and one to a plurality of slide blocks 62. Since the slide block 62 of each second moving unit 6 is provided on the plate 61 of the second moving unit 6, the slide block 62 of each second moving unit 6 is interlocked with the plate 61 of the second moving unit 6. Each of the slide blocks 62 of the second moving unit 6 is movably provided in one of the X-axis guides 5. One to a plurality of long holes 611 may be provided in the plate 61 of the second moving unit 6.

第2動力装置7は、第2モータ71と、第2モータ71に駆動され可能な第2プッシャ72と、を含む。第2モータ71は第1移動ユニット3に設けられている。具体的には、第2モータ71は第1移動ユニット3のプレート31に設けられている。他の実施例では、第2モータ71が第1プッシャ42、又はX軸案内具5のうちの一つに設けられていてもよい。このように、第1移動ユニット3が移動しているときには、第2モータ71が駆動されて同期に移動する。第2モータ71は、第2プッシャ72を駆動して移動させ可能である。第2プッシャ72が移動しているときに、第2移動ユニット6は駆動されてこれらのX軸案内具5に沿って移動する。第2動力装置7と第1動力装置4は、それぞれ第2移動ユニット6と第1移動ユニット3とを相違する方向に移動させる。第2プッシャ72の伸び方向は、第1プッシャ42の伸び方向と相違する。図5を参照する。図5は本考案の実施例1に複数組の第1動力装置と複数組の第2動力装置とが設けられている状態を示す分解斜視図である。第1動力装置4は、複数組の第1モータ41と、複数組の第1プッシャ42と、を含んでもよい。第2動力装置7は、複数組の第2モータ71と、複数組の第2プッシャ72と、を含んでもよい。複数組の第1モータ41と複数組の第2モータ71とは、それぞれ台座1と第1移動ユニット3との周りに沿って設けられている。   The second power unit 7 includes a second motor 71 and a second pusher 72 that can be driven by the second motor 71. The second motor 71 is provided in the first moving unit 3. Specifically, the second motor 71 is provided on the plate 31 of the first moving unit 3. In another embodiment, the second motor 71 may be provided in one of the first pusher 42 or the X-axis guide 5. Thus, when the 1st movement unit 3 is moving, the 2nd motor 71 is driven and it moves synchronously. The second motor 71 can be moved by driving the second pusher 72. When the second pusher 72 is moving, the second moving unit 6 is driven to move along these X-axis guides 5. The second power unit 7 and the first power unit 4 move the second moving unit 6 and the first moving unit 3 in different directions, respectively. The extension direction of the second pusher 72 is different from the extension direction of the first pusher 42. Please refer to FIG. FIG. 5 is an exploded perspective view showing a state in which a plurality of sets of first power units and a plurality of sets of second power units are provided in Embodiment 1 of the present invention. The first power unit 4 may include a plurality of sets of first motors 41 and a plurality of sets of first pushers 42. The second power unit 7 may include a plurality of sets of second motors 71 and a plurality of sets of second pushers 72. The plurality of sets of first motors 41 and the plurality of sets of second motors 71 are provided around the base 1 and the first moving unit 3, respectively.

これらのθ軸案内具8は、第2移動ユニット6に設けられており、又は各溝穴611に押付けている。このように、各θ軸案内具8は第2移動ユニット6と連動する。これらのθ軸案内具8は円弧形なガイドレールである。しかし、θ軸案内具8は一つだけあってもよい。そしてθ軸案内具8は、環状を呈するように延びてもよい。   These θ-axis guides 8 are provided in the second moving unit 6 or pressed against the slots 611. Thus, each θ-axis guide 8 is interlocked with the second moving unit 6. These θ-axis guides 8 are arc-shaped guide rails. However, there may be only one θ-axis guide 8. The θ-axis guide 8 may extend so as to have an annular shape.

第3移動ユニット9は、第2移動ユニット6の上方に回動可能に設けられており、これらのθ軸案内具8に沿って回動できるように、θ軸案内具8に設けられている。第3移動ユニット9は台座1に平行している。本実施例では、第3移動ユニット9は、プレート91と、一つから複数のスライドブロック92と、を含んでもよい。各第3移動ユニット9のスライドブロック92は、第3移動ユニット9のプレート91に設けられている。そしてこれらの第3移動ユニット9のスライドブロック92は、θ軸案内具8のうちの一つに移動可能に設けられている。   The third moving unit 9 is rotatably provided above the second moving unit 6, and is provided on the θ-axis guide 8 so that it can be rotated along these θ-axis guides 8. . The third moving unit 9 is parallel to the base 1. In the present embodiment, the third moving unit 9 may include a plate 91 and one to a plurality of slide blocks 92. The slide block 92 of each third moving unit 9 is provided on the plate 91 of the third moving unit 9. The slide block 92 of the third moving unit 9 is provided so as to be movable in one of the θ-axis guides 8.

回動ユニット10は、第2移動ユニット6と第3移動ユニット9の間に設けられており、その外周面に円弧形ラック101が設けられている。具体的には、円弧形ラック101が環状を呈するラックである。円弧形ラック101は第3移動ユニット9のサイドの範囲内に設けられていることが好ましい。このように、本考案の精密位置合せ用プラットフォームの横方向の寸法を減少することが可能である。台座1に対して、回動ユニット10の上面は、第3移動ユニット9の上面よりも高くないことが好ましい。台座1に対して、回動ユニット10の上面は、第3移動ユニット9の上面よりも低いことが更に好ましい。このように、台座1と第3移動ユニット9の間の距離を縮小することが可能であり、本考案の精密位置合せ用プラットフォームを薄型化することが可能である。一方、回動ユニット10は、第2移動ユニット6と第3移動ユニット9の間に挟まれてもよい。このように、回動ユニット10は、保護され可能であり、外部からの干渉、破壊や誤接触を回避することも可能である。   The rotating unit 10 is provided between the second moving unit 6 and the third moving unit 9, and an arc-shaped rack 101 is provided on the outer peripheral surface thereof. Specifically, the arc-shaped rack 101 is an annular rack. The arc-shaped rack 101 is preferably provided within the range of the side of the third moving unit 9. In this way, it is possible to reduce the lateral dimensions of the precision alignment platform of the present invention. It is preferable that the upper surface of the rotation unit 10 is not higher than the upper surface of the third moving unit 9 with respect to the base 1. More preferably, the upper surface of the rotation unit 10 is lower than the upper surface of the third moving unit 9 with respect to the base 1. As described above, the distance between the base 1 and the third moving unit 9 can be reduced, and the precision alignment platform of the present invention can be thinned. On the other hand, the turning unit 10 may be sandwiched between the second moving unit 6 and the third moving unit 9. Thus, the rotation unit 10 can be protected, and it is also possible to avoid external interference, destruction, and erroneous contact.

第3動力装置11は、第2移動ユニット6の一側に設けられており、第3モータ111と、第3モータ111に駆動され、円弧形ラック101と噛合うワーム112と、を含む。第2移動ユニット6が移動しているときには、第3モータ111が駆動されて同期に移動する。第3モータ111は、ワーム112を回転して円弧形ラック101を駆動することにより、第3移動ユニット9を各θ軸案内具8に沿って台座1に対して回動することが可能である。   The third power unit 11 is provided on one side of the second moving unit 6 and includes a third motor 111 and a worm 112 that is driven by the third motor 111 and meshes with the arc-shaped rack 101. When the second moving unit 6 is moving, the third motor 111 is driven to move synchronously. The third motor 111 can rotate the worm 112 to drive the arc-shaped rack 101 to rotate the third moving unit 9 with respect to the base 1 along each θ-axis guide 8. is there.

図6を参照する。図6は本考案の実施例1の動作を示す模式図である。第1モータ41が稼動しているときには、第1移動ユニット3がY軸案内具2に沿って移動して、これらのX軸案内具5が同時に移動されて、第2移動ユニット6と第3移動ユニット9とが駆動されてY軸案内具2に沿って移動する。図7を参照する。図7は本考案の実施例1の動作を示す模式図である。第2モータ71が稼動しているときには、第2移動ユニット6がX軸案内具5に沿って移動して、これらのθ軸案内具8が同時に移動されて、第3移動ユニット9が駆動されてX軸案内具5に沿って移動する。図8を参照する。図8は本考案の実施例1の動作を示す模式図である。第3モータ111が稼動しているときには、ワーム112が駆動されて円弧形ラック101を駆動して、第3移動ユニット9がθ軸案内具8に沿って回動する。このように、本考案では、第3移動ユニット9が駆動されて、Y軸案内具2に沿って移動し、X軸案内具5に沿って移動し、又はθ軸案内具8に沿って回動することが可能である。第3移動ユニット9を回動しようとする場合には、第1モータ41及び第2モータ71を駆動することが必要ない。このように、駆動及び使用方式を簡単化することが可能であり、制御器の計算負荷を減少することが可能であり、制御器の応答時間を短縮することも可能である。   Please refer to FIG. FIG. 6 is a schematic diagram showing the operation of the first embodiment of the present invention. When the first motor 41 is in operation, the first moving unit 3 moves along the Y-axis guide 2 and these X-axis guides 5 are moved at the same time, so that the second moving unit 6 and the third moving unit 3 are moved. The moving unit 9 is driven to move along the Y-axis guide 2. Please refer to FIG. FIG. 7 is a schematic diagram showing the operation of the first embodiment of the present invention. When the second motor 71 is in operation, the second moving unit 6 moves along the X-axis guide 5 and these θ-axis guides 8 are simultaneously moved to drive the third moving unit 9. And move along the X-axis guide 5. Please refer to FIG. FIG. 8 is a schematic diagram showing the operation of the first embodiment of the present invention. When the third motor 111 is operating, the worm 112 is driven to drive the arc-shaped rack 101 and the third moving unit 9 rotates along the θ-axis guide 8. Thus, in the present invention, the third moving unit 9 is driven to move along the Y-axis guide 2, move along the X-axis guide 5, or rotate along the θ-axis guide 8. It is possible to move. In order to rotate the third moving unit 9, it is not necessary to drive the first motor 41 and the second motor 71. As described above, it is possible to simplify the driving and using method, to reduce the calculation load on the controller, and to shorten the response time of the controller.

もちろん、本考案の構造を変化してもよい。図9を参照する。図9は本考案の実施例2の一部を示す分解斜視図である。本考案の実施例2では、回動ユニットは、更に、軸受102を含む。前記回動ユニットの円弧形ラック101´は、円環状なラックであり、軸受102を囲んでいる。円環状なラックは、第3移動ユニット9´に連動され、軸受102を回るように回動可能である。上記の実施例では、各プレートは、中央部が貫通された矩形を呈するが、貫通孔が設けられていない完全の矩形を呈してもよい(例えば最上層の第3移動ユニット9´)。図10を参照する。図10は本考案の実施例3を示す分解斜視図である。本考案の実施例3では、円弧形ラック101″は、環状を呈するラックの一部であり、その長さが調整しようとする角度範囲によって設計され、又は互いに間隔している複数の円弧形ラックを配列して形成されてもよい。図11を参照する。図11は本考案の実施例4を示す分解斜視図である。本考案の実施例4では、軸受102´は、第2移動ユニット6と第3移動ユニット9の間に設けられている。   Of course, the structure of the present invention may be changed. Please refer to FIG. FIG. 9 is an exploded perspective view showing a part of the second embodiment of the present invention. In the second embodiment of the present invention, the rotation unit further includes a bearing 102. The arc-shaped rack 101 ′ of the rotating unit is an annular rack and surrounds the bearing 102. The annular rack is interlocked with the third moving unit 9 ′ and is rotatable so as to rotate around the bearing 102. In the above embodiment, each plate has a rectangular shape with a central portion penetrating, but may have a perfect rectangular shape with no through hole (for example, the third moving unit 9 ′ in the uppermost layer). Please refer to FIG. FIG. 10 is an exploded perspective view showing a third embodiment of the present invention. In the third embodiment of the present invention, the arc-shaped rack 101 ″ is a part of an annular rack, and a plurality of arcs whose lengths are designed according to an angle range to be adjusted or spaced from each other. The racks may be formed in an array, see Fig. 11. Fig. 11 is an exploded perspective view showing a fourth embodiment of the present invention, in which the bearing 102 'is a second one. It is provided between the moving unit 6 and the third moving unit 9.

特に説明したいのは、本考案の精密位置合せ用プラットフォームに光学式スケールを設けることが好ましい。これにより、精密に測定することが可能であり、回転角度の微調整をデジタル化することも可能であり、精密位置合せ用プラットフォームの回転角度を精確に調整することが可能である。このように、極めて小型な部品の組付が可能となり、例えば機械加工やエッチングなどの作業に適用する場合には、極めて高い加工精度を得ることが可能である。   It is particularly desirable to provide an optical scale on the precision alignment platform of the present invention. Thereby, it is possible to measure accurately, it is also possible to digitize the fine adjustment of the rotation angle, and it is possible to accurately adjust the rotation angle of the precision alignment platform. In this way, it is possible to assemble extremely small parts. For example, when applied to operations such as machining and etching, extremely high processing accuracy can be obtained.

本考案では、ワークと円弧形ラックを巧妙に合せることにより、前記ワークを一回転に回転するときに、前記円弧形ラックが一歯の距離だけに回転するため、第3モータの速い回転速度により駆動距離がより大きくになって、回転角度を微調整できないという欠点を回避することが可能である。このように、本考案の精密位置合せ用プラットフォームは、回転角度を精密に制御することが可能である。   In the present invention, by skillfully combining the workpiece and the arc-shaped rack, the arc-shaped rack rotates only by one tooth distance when the workpiece is rotated by one rotation. It is possible to avoid the disadvantage that the driving distance becomes larger depending on the speed and the rotation angle cannot be finely adjusted. Thus, the precision alignment platform of the present invention can precisely control the rotation angle.

本考案では、各モータが第1移動ユニット又は第2移動ユニットの周面のうちの一側に設けられているため、各モータが各プラットフォームと重ねず、精密位置合せ用プラットフォームを薄型化することが可能である。   In the present invention, since each motor is provided on one side of the peripheral surface of the first moving unit or the second moving unit, each motor does not overlap with each platform, and the precision alignment platform is made thin. Is possible.

本考案は、位置合せ用プラットフォームに適用することができる。   The present invention can be applied to an alignment platform.

1:台座
2:Y軸案内具
3:第1移動ユニット
4:第1動力装置
5:X軸案内具
6:第2移動ユニット
7:第2動力装置
8:θ軸案内具
9:第3移動ユニット
9´:第3移動ユニット
10:回動ユニット
11:第3動力装置
31:プレート
32:スライドブロック
41:第1モータ
42:第1プッシャ
61:プレート
62:スライドブロック
71:第2モータ
72:第2プッシャ
91:プレート
92:スライドブロック
311:溝
101:円弧形ラック
101´:円弧形ラック
101″:円弧形ラック
102:軸受
102´:軸受
111:第3モータ
112:ワーム
611:長穴
1: Pedestal 2: Y-axis guide 3: First movement unit 4: First power unit 5: X-axis guide 6: Second movement unit 7: Second power unit 8: θ-axis guide 9: Third movement Unit 9 ′: third moving unit 10: rotating unit 11: third power unit 31: plate 32: slide block 41: first motor 42: first pusher 61: plate 62: slide block 71: second motor 72: Second pusher 91: plate 92: slide block 311: groove 101: arc-shaped rack 101 ': arc-shaped rack 101 ": arc-shaped rack 102: bearing 102': bearing 111: third motor 112: worm 611: Long hole

Claims (11)

台座と、
前記台座に設けられている少なくとも一つのY軸案内具と、
前記各Y軸案内具に摺動可能に設けられており、前記台座に平行している第1移動ユニットと、
第1モータと、前記第1モータに駆動され可能な第1プッシャと、を備え、前記第1モータは、前記台座に設けられており、前記第1プッシャを駆動することにより、前記第1移動ユニットを前記各Y軸案内具に沿って移動させ可能な第1動力装置と、
前記第1移動ユニットと連動可能であり、前記Y軸案内具に平行しない少なくとも一つのX軸案内具と、
前記各X軸案内具に摺動可能に設けられており、前記台座に平行している第2移動ユニットと、
第2モータと、前記第2モータに駆動され可能な第2プッシャと、を備え、前記第2モータは、前記第1移動ユニット、前記第1プッシャ及び前記各X軸案内具のうちの一つに設けられており、前記第2プッシャを駆動することにより、前記第2移動ユニットを前記各X軸案内具に沿って移動させ可能な第2動力装置と、
前記第2移動ユニットの上方に回動可能に設けられており、前記台座に平行している第3移動ユニットと、
前記第2移動ユニットと前記第3移動ユニットの間に設けられており、その外周面に円弧形ラックが設けられている回動ユニットと、
前記第2移動ユニットの一側に設けられており、第3モータと、前記第3モータに駆動され、前記円弧形ラックと噛合うワームと、を備え、前記第3モータは、 前記ワームを回転して前記円弧形ラックを駆動することにより、前記第3移動ユニットを前記台座に対して回動することが可能な第3動力装置と、を含むことを特徴とする精密位置合せ用プラットフォーム。
A pedestal,
At least one Y-axis guide provided on the pedestal;
A first moving unit that is slidably provided on each Y-axis guide and is parallel to the pedestal;
A first pusher that can be driven by the first motor, and the first motor is provided on the pedestal, and the first movement is performed by driving the first pusher. A first power unit capable of moving a unit along each Y-axis guide;
At least one X-axis guide that is interlocked with the first moving unit and is not parallel to the Y-axis guide;
A second moving unit that is slidably provided on each X-axis guide and is parallel to the pedestal;
A second motor and a second pusher that can be driven by the second motor, wherein the second motor is one of the first moving unit, the first pusher, and each X-axis guide. A second power unit capable of moving the second moving unit along the X-axis guides by driving the second pusher;
A third moving unit which is rotatably provided above the second moving unit and is parallel to the pedestal;
A rotating unit provided between the second moving unit and the third moving unit, and an arc-shaped rack provided on an outer peripheral surface thereof;
A third motor; and a worm driven by the third motor and meshing with the arc-shaped rack; and the third motor includes the worm. And a third power unit capable of rotating the third moving unit with respect to the pedestal by rotating and driving the arc-shaped rack. .
前記台座に対して、前記回動ユニットの上面は、前記第3移動ユニットの上面よりも高くないことを特徴とする、請求項1に記載の精密位置合せ用プラットフォーム。   2. The precision alignment platform according to claim 1, wherein an upper surface of the rotating unit is not higher than an upper surface of the third moving unit with respect to the pedestal. 前記回動ユニットは、更に、軸受を含み、前記円弧形ラックは、円環状なラックであり、前記軸受を囲んでおり、円環状な前記ラックは、前記第3移動ユニットに連動され、前記軸受を回るように回動可能であることを特徴とする、請求項1に記載の精密位置合せ用プラットフォーム。   The rotating unit further includes a bearing, the arc-shaped rack is an annular rack, surrounds the bearing, and the annular rack is interlocked with the third moving unit, The precision alignment platform according to claim 1, wherein the precision alignment platform is rotatable to rotate around a bearing. 前記円弧形ラックは、クローズ構造ではなく、環状を呈するラックの一部であることを特徴とする、請求項1に記載の精密位置合せ用プラットフォーム。   The precision alignment platform according to claim 1, wherein the arc-shaped rack is not a closed structure but is a part of an annular rack. 更に、前記第2移動ユニットに設けられている複数のθ軸案内具を含み、前記各θ軸案内具は円弧形なガイドレールであることを特徴とする、請求項1に記載の精密位置合せ用プラットフォーム。   2. The precision position according to claim 1, further comprising a plurality of θ-axis guides provided in the second moving unit, wherein each θ-axis guide is an arcuate guide rail. Matching platform. 前記台座には、レール溝が少なくとも一つ形成されており、前記各Y軸案内具は前記各レール溝に押付けており、前記第1移動ユニットはプレートを含み、前記第1移動ユニットの前記プレートには、溝が少なくとも一つ形成されており、前記各X軸案内具は前記各溝に押付けており、前記第2移動ユニットは別のプレートを含み、前記第2移動ユニットの前記プレートには、長穴が少なくとも一つ形成されており、前記各θ軸案内具は前記各長穴に押付けていることを特徴とする、請求項5に記載の精密位置合せ用プラットフォーム。   At least one rail groove is formed on the pedestal, each Y-axis guide is pressed against each rail groove, the first moving unit includes a plate, and the plate of the first moving unit , At least one groove is formed, each X-axis guide is pressed against each groove, the second moving unit includes another plate, and the plate of the second moving unit includes 6. The precision alignment platform according to claim 5, wherein at least one long hole is formed, and each θ-axis guide is pressed against each long hole. 前記第3移動ユニットは、プレートと、スライドブロックと、を含み、前記θ軸案内具は環状なガイドレールであることを特徴とする、請求項6に記載の精密位置合せ用プラットフォーム。   The precision alignment platform according to claim 6, wherein the third moving unit includes a plate and a slide block, and the θ-axis guide is an annular guide rail. 前記第3移動ユニットの前記スライドブロックは、環状の前記ガイドレールの内周面に回動可能に設けられていることを特徴とする、請求項7に記載の精密位置合せ用プラットフォーム。   The precision alignment platform according to claim 7, wherein the slide block of the third moving unit is rotatably provided on an inner peripheral surface of the annular guide rail. 前記第1動力装置は、複数組の前記第1モータと、複数組の前記第1プッシャと、を含み、前記第2動力装置は、複数組の前記第2モータと、複数組の前記第2プッシャと、を含み、複数の前記第1モータと複数の前記第2モータとは、前記台座と前記第1移動ユニットとの周りに沿って設けられていることを特徴とする、請求項1に記載の精密位置合せ用プラットフォーム。   The first power unit includes a plurality of sets of the first motors and a plurality of sets of the first pushers, and the second power unit includes a plurality of sets of the second motors and a plurality of sets of the second pushers. The pusher, wherein the plurality of first motors and the plurality of second motors are provided around the base and the first moving unit. The precision alignment platform described. 前記各プレートは、完全の矩形を呈することを特徴とする、請求項7に記載の精密位置合せ用プラットフォーム。   The precision alignment platform according to claim 7, wherein each of the plates has a complete rectangular shape. 前記各プレートは、中央部が貫通された矩形を呈することを特徴とする、請求項7に記載の精密位置合せ用プラットフォーム。   The precision alignment platform according to claim 7, wherein each of the plates has a rectangular shape with a central portion passing therethrough.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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