JP3185858U - Automatic optical detection equipment - Google Patents
Automatic optical detection equipment Download PDFInfo
- Publication number
- JP3185858U JP3185858U JP2013003622U JP2013003622U JP3185858U JP 3185858 U JP3185858 U JP 3185858U JP 2013003622 U JP2013003622 U JP 2013003622U JP 2013003622 U JP2013003622 U JP 2013003622U JP 3185858 U JP3185858 U JP 3185858U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roller
- optical detection
- automatic optical
- roll
- detection equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
- G01B11/2518—Projection by scanning of the object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements
- H01L22/34—Circuits for electrically characterising or monitoring manufacturing processes, e. g. whole test die, wafers filled with test structures, on-board-devices incorporated on each die, process control monitors or pad structures thereof, devices in scribe line
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Operations Research (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【課題】フレキシブル回路シートを検出するための自動光学検出設備を提供する。
【解決手段】フレキシブル回路シート3は、その長軸に沿って配列される複数の回路区域を有する。自動光学検出設備1は、ベース10と、ロールツーロール式装置12と、光学検出装置14と、を備える。ロールツーロール式装置12は、ベース10に設けられ、第1ローラー120と、第2ローラー122と、を含み、フレキシブル回路シート3を第1ローラー120から第2ローラー122に送ることに用いられる。光学検出装置14は、ベース10に設けられ、第1ローラー120及び第2ローラー122の上方に位置して、走査方向に沿って回路区域を往復的に走査することに用いられる。第1ローラー120と第2ローラー122との間の距離は、いずれか回路区域の長軸における長さと同じ又はそれより短い。
【選択図】図1An automatic optical detection facility for detecting a flexible circuit sheet is provided.
A flexible circuit sheet has a plurality of circuit areas arranged along a major axis thereof. The automatic optical detection facility 1 includes a base 10, a roll-to-roll device 12, and an optical detection device 14. The roll-to-roll apparatus 12 is provided on the base 10, includes a first roller 120 and a second roller 122, and is used for feeding the flexible circuit sheet 3 from the first roller 120 to the second roller 122. The optical detection device 14 is provided on the base 10 and is located above the first roller 120 and the second roller 122 and used for reciprocally scanning the circuit area along the scanning direction. The distance between the first roller 120 and the second roller 122 is equal to or shorter than the length in the major axis of any circuit area.
[Selection] Figure 1
Description
本考案は、自動光学検出設備に関する。 The present invention relates to an automatic optical detection facility.
高解像度装置の発展、プロセス技術の改良及び工業生産の自動化に対する需要につれて、従来の目視検査(manual visual inspection;MVI)を用いる検出方式は、次第に限定されて、一般的に素子の欠落、型番分類及び一部の明らかなミスしか検査できず、人為的かつ主観的・客観的な要因の影響を受けやすく、不安定度、困難度及びコストが高いため、自動光学検出設備(automated optical inspection;AOI)の発明がそれに応じて現れた。 With the development of high resolution equipment, improvement of process technology and automation of industrial production, the detection method using conventional visual inspection (MVI) is gradually limited, generally missing elements, part number classification In addition, only some obvious mistakes can be inspected, and are easily affected by artificial, subjective and objective factors, and are unstable, difficult, and expensive. Therefore, automatic optical inspection equipment (AOI) ) Appeared accordingly.
自動光学検出設備は、近年、かなり市場潜在力のある検出設備であり、その基本的な作業原理は、主に、映像センサによって被検出物の図形映像情報を得て、次に、コンピュータの内蔵ソフトウェアによる処理・計算で照合、分析及び判断を行うことである。これより分かるように、自動光学検出は、目視検査によるエラー率を低下させるだけでなく、更に時間と労働コストを大いに節約する。また、自動光学検出設備は、高い安定性及び操作における柔軟性等のメリットを更に有する。 Automatic optical detection equipment is a detection equipment with considerable market potential in recent years, and its basic working principle is mainly to obtain graphic image information of an object to be detected by an image sensor, and then to incorporate a computer. It is to perform collation, analysis and judgment by software processing and calculation. As can be seen, automatic optical detection not only reduces the error rate due to visual inspection, but also greatly saves time and labor costs. Moreover, the automatic optical detection equipment further has merits such as high stability and flexibility in operation.
また、自動光学検出設備は、非破壊検査という特性を持つため、一般的に集積回路、液晶表示パネル、発光ダイオード、プリント基板等、延いては生物医学等の関連産業を含む非常に広い分野に適用可能である。 In addition, since automatic optical detection equipment has the characteristic of non-destructive inspection, it is generally used in a very wide field including integrated circuits, liquid crystal display panels, light emitting diodes, printed circuit boards, and related industries such as biomedicine. Applicable.
フレキシブル回路シートを検出するための従来の枚葉式(一枚ずつ検査する)自動光学検出設備において、フレキシブル回路シートが、載置台に載置され、映像走査モジュールによりX−Y平面の走査を行う。既存の設備をロールツーロール式(roll−to−roll)自動光学検出設備に修正しようとする場合、ローラーを外部接続の方式で載置台の両側に設けなければならない。しかしながら、上記外部接続ローラーの方式において、自動光学検出設備全体の体積が大きすぎ、フレキシブル回路シートを送る過程において、次のフレキシブル回路シートを送る前に、巻き上げる動作が、必要のため、生産周期(cycle time)を短くすることができない問題をもたらす。 In a conventional single-wafer type (one-by-one inspection) automatic optical detection facility for detecting a flexible circuit sheet, the flexible circuit sheet is mounted on a mounting table, and an XY plane is scanned by an image scanning module. . When the existing equipment is to be modified to a roll-to-roll automatic optical detection equipment, the rollers must be provided on both sides of the mounting table in an external connection manner. However, in the method of the external connection roller, the volume of the entire automatic optical detection equipment is too large, and in the process of sending the flexible circuit sheet, before the next flexible circuit sheet is sent, an operation of winding up is necessary. (cycle time) cannot be shortened.
本考案は、フレキシブル回路シートを検出するための自動光学検出設備を提供する。フレキシブル回路シートは、その長軸に沿って配列される複数の回路区域(circuit region)を有する。自動光学検出設備は、ベースと、ロールツーロール式装置と、光学検出装置と、を備える。ロールツーロール式装置は、ベースに設けられ、第1ローラーと、第2ローラーと、を含み、フレキシブル回路シートを第1ローラーから第2ローラーに送ることに用いられる。光学検出装置は、ベースに設けられ、第1ローラー及び第2ローラーの上方に位置して、走査方向に沿って回路区域を往復的に走査することに用いられる。第1ローラーと第2ローラーとの間の距離は、いずれかの回路区域の長軸における長さと同じ又はそれより短い。 The present invention provides an automatic optical detection facility for detecting a flexible circuit sheet. The flexible circuit sheet has a plurality of circuit regions arranged along its long axis. The automatic optical detection facility includes a base, a roll-to-roll device, and an optical detection device. The roll-to-roll apparatus is provided on a base, includes a first roller and a second roller, and is used for feeding a flexible circuit sheet from the first roller to the second roller. The optical detection device is provided on the base and is located above the first roller and the second roller, and is used for reciprocally scanning the circuit area along the scanning direction. The distance between the first roller and the second roller is equal to or shorter than the length in the major axis of any circuit area.
本考案の一実施形態において、上記フレキシブル回路シートは、第1ローラーと第2ローラーとの間に、平坦部を有する。光学検出装置は、レンズモジュールと、映像走査モジュールと、を含む。レンズモジュールは、平坦部の上方に位置する。映像走査モジュールは、レンズモジュールの上方に位置して、レンズモジュールによって回路区域を走査することに用いられる。 In one embodiment of the present invention, the flexible circuit sheet has a flat portion between the first roller and the second roller. The optical detection device includes a lens module and a video scanning module. The lens module is located above the flat portion. The image scanning module is located above the lens module and used to scan the circuit area by the lens module.
本考案の一実施形態において、上記光学検出装置は、少なくとも1つの光源を更に含む。光源は、レンズモジュールに隣接し平坦部の真向かいに位置し、平坦部に対して補光を行うことに用いられる。 In one embodiment of the present invention, the optical detection device further includes at least one light source. The light source is located adjacent to the lens module and directly opposite the flat portion, and is used for supplementing the flat portion.
本考案の一実施形態において、上記自動光学検出設備は、レールを更に備える。レールは、ベースに設けられ、ロールツーロール式装置と光学検出装置との間にあって、光学検出装置を、走査方向に沿って平坦部の上方で移動させるように導くことに用いられる。 In one embodiment of the present invention, the automatic optical detection facility further includes a rail. The rail is provided on the base and is used between the roll-to-roll device and the optical detection device to guide the optical detection device to move above the flat portion in the scanning direction.
本考案の一実施形態において、上記自動光学検出設備は、第1ドライバーを更に備える。第1ドライバーは、レールに設けられ光学検出装置に操作可能に接続されて、光学検出装置を、平坦部の上方でレールに沿って往復的に移動させるように駆動することに用いられる。 In one embodiment of the present invention, the automatic optical detection facility further includes a first driver. The first driver is provided on the rail and operably connected to the optical detection device, and is used to drive the optical detection device to reciprocate along the rail above the flat portion.
本考案の一実施形態において、上記光学検出装置は、映像合成モジュールを更に含む。映像合成モジュールは、映像走査モジュールに電気的に接続されて、映像走査モジュールによる走査結果により、回路区域の画像を合成することに用いられる。 In one embodiment of the present invention, the optical detection device further includes a video synthesis module. The video synthesizing module is electrically connected to the video scanning module, and is used to synthesize an image of a circuit area based on a scanning result by the video scanning module.
本考案の一実施形態において、上記自動光学検出設備は、第2ドライバーを更に備える。第2ドライバーは、第1ローラー及び第2ローラーに操作可能に接続されて、第1ローラー及び第2ローラーを、回転させるように駆動することに用いられる。 In one embodiment of the present invention, the automatic optical detection facility further includes a second driver. The second driver is operably connected to the first roller and the second roller, and is used to drive the first roller and the second roller to rotate.
本考案の一実施形態において、上記自動光学検出設備は、画像取得装置を更に備える。画像取得装置は、第2ドライバーに電気的に接続されて、いずれかの回路区域の平坦部における位置を検出することに用いられる。第2ドライバーは、画像取得装置による検出結果により、第1ローラー及び第2ローラーを、回転させるように駆動する。 In one embodiment of the present invention, the automatic optical detection facility further includes an image acquisition device. The image acquisition device is electrically connected to the second driver and is used to detect a position on a flat portion of any circuit area. The second driver drives the first roller and the second roller to rotate according to the detection result by the image acquisition device.
本考案の一実施形態において、上記走査方向は、長軸に垂直である。 In one embodiment of the present invention, the scanning direction is perpendicular to the major axis.
本考案の一実施形態において、上記第1ローラー及び第2ローラーは、長軸に垂直である。 In one embodiment of the present invention, the first roller and the second roller are perpendicular to the long axis.
本考案により提供される自動光学検出設備の1つの主な技術的特徴は、自動光学検出設備にロールツーロール式装置のみを設けてフレキシブル回路シートを連続的に送り、フレキシブル回路シートを搭載するための従来のキャリアプレートを取り外し、そして、光学検出装置に合わせて単一の走査方向のみで走査を行うため、フレキシブル回路シートの巻き上げ及び巻き込みの準備時間を直接的に削減することができる他、更に自動光学検出設備の全体の体積を大いに削減する効果を達することができることにある。本考案により提供される自動光学検出設備の別の主な技術的特徴は、別に追加された画像取得装置が、フレキシブル回路シートにおけるある回路区域を検出する過程において、先に次の回路区域の位置を決めて、ロールツーロール式装置による送りの位置決め精度を高めることができることである。 One main technical feature of the automatic optical detection equipment provided by the present invention is that the automatic optical detection equipment is provided with only a roll-to-roll type device, and a flexible circuit sheet is continuously fed and mounted. Since the conventional carrier plate is removed and scanning is performed only in a single scanning direction in accordance with the optical detection device, it is possible to directly reduce the preparation time for winding up and winding up the flexible circuit sheet. It is possible to achieve the effect of greatly reducing the overall volume of the automatic optical detection equipment. Another main technical feature of the automatic optical detection equipment provided by the present invention is that the position of the next circuit area is previously detected in the process in which a separately added image acquisition device detects a circuit area in the flexible circuit sheet. And the positioning accuracy of the feed by the roll-to-roll apparatus can be improved.
以下、図面で本考案の複数の実施形態を開示し、明確に説明するために、数多くの実務上の細部を下記叙述で合わせて説明する。しかしながら、理解すべきなのは、これらの実務上の細部が、本考案を制限するためのものではない。つまり、本考案の実施形態の一部において、これらの実務上の細部は、必須なものではない。また、図面を簡略化するために、ある従来慣用の構造及び素子は、図面において簡単で模式的に示される。 In the following description, numerous practical details are set forth in the following description in order to disclose and clearly describe the several embodiments of the present invention in the drawings. However, it should be understood that these practical details are not intended to limit the invention. That is, these practical details are not essential in some of the embodiments of the present invention. Also, to simplify the drawings, some conventional structures and elements are shown schematically and simply in the drawings.
本考案の一実施形態の自動光学検出設備1を示す正面図である図1、図1に示した光学検出装置14、レール16及び第1ドライバー18を示す斜視図である図2、及び図1に示した第1ローラー120、第2ローラー122及びフレキシブル回路シート3を示す部分斜視図である図3を参照されたい。
FIG. 1 is a front view showing an automatic optical detection equipment 1 according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing an
図1及び図3に示すように、本実施形態において、自動光学検出設備1は、主にフレキシブル回路シート3を検出することに用いられる。フレキシブル回路シート3は、その長軸Aに沿って配列される複数の回路区域32を有する。
As shown in FIG.1 and FIG.3, in this embodiment, the automatic optical detection equipment 1 is mainly used for detecting the
図1に示すように、自動光学検出設備1は、ベース10と、ロールツーロール式装置12と、光学検出装置14と、を備える。自動光学検出設備1のロールツーロール式装置12は、ベース10に設けられ、第1ローラー120と、第2ローラー122と、を含み、フレキシブル回路シート3を第1ローラー120から第2ローラー122に送ることに用いられる。本実施形態において、ロールツーロール式装置12に設けられる第1ローラー120及び第2ローラー122は、フレキシブル回路シート3の長軸A(図3に示す)に垂直である。
As shown in FIG. 1, the automatic optical detection facility 1 includes a
光学検出装置14は、ベース10に設けられ、第1ローラー120及び第2ローラー122の上方に位置して、所定の走査方向S(図3に示す)に沿ってフレキシブル回路シート3の回路区域32を往復的に走査することに用いられる。本実施形態において、上記走査方向Sは、フレキシブル回路シート3の長軸Aに垂直である。
The
特には、ロールツーロール式装置12の第1ローラー120と第2ローラー122との間の距離は、いずれかの回路区域32の長軸Aにおける長さと同じ又はそれより短い。
In particular, the distance between the
これより分かるように、本考案の自動光学検出設備1は、ロールツーロール式装置12でフレキシブル回路シート3を連続的に送り、フレキシブル回路シート3を搭載するための従来のキャリアプレートを省略し、そして、光学検出装置14に合わせて単一の走査方向Sで走査を行うため、その全体の体積を大いに削減する効果を達することができる。
As can be seen, the automatic optical detection equipment 1 of the present invention continuously feeds the
図2及び図3に示すように、本実施形態において、フレキシブル回路シート3は、第1ローラー120と第2ローラー122との間において、平坦部30を有する。第1ローラー120と第2ローラー122との間の距離は、いずれかの回路区域32の長軸Aにおける長さと同じ又はそれより短いため、フレキシブル回路シート3の平坦部30の長軸Aにおける長さは、いずれかの回路区域32の長軸Aにおける長さと同じ又はそれより短い。
As shown in FIGS. 2 and 3, in the present embodiment, the
自動光学検出設備1の光学検出装置14は、レンズモジュール140と、映像走査モジュール142と、光源144と、を含む。光学検出装置14のレンズモジュール140は、フレキシブル回路シート3の平坦部30の上方に位置する。光学検出装置14の映像走査モジュール142は、レンズモジュール140の上方に位置して、レンズモジュール140によってフレキシブル回路シート3の回路区域32を走査することに用いられる。光学検出装置14の光源144は、レンズモジュール140に隣接しフレキシブル回路シート3の平坦部30に対向して、平坦部30に対して補光を行うことに用いられる。
The
同様に図2に示すように、自動光学検出設備1は、レール16を更に備える。自動光学検出設備1のレール16は、ベース10に設けられ、ロールツーロール式装置12と光学検出装置14との間に位置し、自動光学検出設備1のレール16の向きは、走査方向Sに平行である。自動光学検出設備1の光学検出装置14は、レール16に摺動可能に設けられるため、レール16により光学検出装置14を、走査方向Sに沿って平坦部30の上方で移動させるように導くことができる。
Similarly, as shown in FIG. 2, the automatic optical detection equipment 1 further includes a
また、自動光学検出設備1は、第1ドライバー18を更に備える。自動光学検出設備1の第1ドライバー18は、レール16に設けられ、光学検出装置14に操作可能に接続されて、光学検出装置14を、フレキシブル回路シート3の平坦部30の上方でレール16に沿って往復的に移動させるように駆動することに用いられる。
The automatic optical detection facility 1 further includes a
図1に示すように、本実施形態において、自動光学検出設備1は、第2ドライバー20を更に備える。自動光学検出設備1の第2ドライバー20は、ロールツーロール式装置12の第1ローラー120及び第2ローラー122に操作可能に接続されて、第1ローラー120及び第2ローラー122を、回転させるように駆動することに用いられる。
As shown in FIG. 1, in the present embodiment, the automatic optical detection equipment 1 further includes a
光学検出装置14による走査過程において、自動光学検出設備1の第2ドライバー20は、まず、ロールツーロール式装置12の第1ローラー120及び第2ローラー122を駆動し、送りステップ(step)を動かす。そして、光学検出装置14の第1ドライバー18は、光学検出装置14を駆動し、フレキシブル回路シート3の平坦部30の上方でレール16に沿って往復的に移動させ、走査を行って回路区域32の一部の画像を取得する。また、光学検出装置14によりいずれかの送りステップにおいて走査される一部の画像は、前の送りステップ及び次の送りステップにおいて走査される一部の画像と部分的に重なる。
In the scanning process by the
自動光学検出設備1の光学検出装置14は、映像合成モジュール146(図1の破線で示すように)を更に含む。光学検出装置14の映像合成モジュール146は、映像走査モジュール142に電気的に接続されて、映像走査モジュール142による走査結果により回路区域32の画像を合成することに用いられる。つまり、光学検出装置14の映像合成モジュール146は、2つずつ部分的に重なる画像を完全な回路区域32の画像に合成することができる。
The
同様に図1に示すように、自動光学検出設備1は、画像取得装置22を更に備える。自動光学検出設備1の画像取得装置22は、第2ドライバー20に電気的に接続されて、フレキシブル回路シート3のいずれかの回路区域32の平坦部30における位置を検出することに用いられる。自動光学検出設備1の第2ドライバー20は、画像取得装置22による検出結果により、ロールツーロール式装置12の第1ローラー120及び第2ローラー122を、回転させるように駆動する。
Similarly, as shown in FIG. 1, the automatic optical detection facility 1 further includes an
これによって、光学検出装置14によりフレキシブル回路シート3におけるある回路区域32を走査する過程において、画像取得装置22は、先に次の回路区域32の位置を決めて、ロールツーロール式装置12による送りの位置決め精度を補う効果を達することができる。
Thereby, in the process of scanning a
以上本考案の具体的な実施例に対する詳しい叙述から明らかに分かるように、本考案により提供される自動光学検出設備の1つの主な技術的特徴は、自動光学検出設備にロールツーロール式装置のみを設けてフレキシブル回路シートを連続的に送り、フレキシブル回路シートを搭載するための従来のキャリアプレートを取り外し、そして、光学検出装置に合わせて単一の走査方向のみで走査を行うため、フレキシブル回路シートの巻き上げ及び巻き込みの準備時間を直接的に削減することができる他、更に自動光学検出設備の全体の敷地面積を大いに削減する効果を達することができることにある。本考案により提供される自動光学検出設備の別の主な技術的特徴は、別に追加された画像取得装置が、フレキシブル回路シートにおけるある回路区域を検出する過程において、先に次の回路区域の位置を決めて、ロールツーロール式装置による送りの位置決め精度を高めることができることにある。 As can be clearly understood from the detailed description of the specific embodiments of the present invention, one main technical feature of the automatic optical detection equipment provided by the present invention is that only the roll-to-roll apparatus is included in the automatic optical detection equipment. The flexible circuit sheet is continuously fed, the conventional carrier plate for mounting the flexible circuit sheet is removed, and scanning is performed only in a single scanning direction according to the optical detection device. In addition to being able to directly reduce the preparation time for the hoisting and entraining, it is possible to achieve the effect of greatly reducing the entire site area of the automatic optical detection equipment. Another main technical feature of the automatic optical detection equipment provided by the present invention is that the position of the next circuit area is previously detected in the process in which a separately added image acquisition device detects a circuit area in the flexible circuit sheet. The positioning accuracy of the feed by the roll-to-roll apparatus can be improved.
本考案では実施形態を前述の通り開示したが、それは本考案を限定するものではなく、当該分野の技術を熟知しているものであれば、本考案の精神と領域を離脱しない範囲内で、多様の変動や修正を加えることができ、従って本考案の保護範囲は、実用新案登録請求の範囲で指定した内容を基準とする。 In the present invention, the embodiment has been disclosed as described above, but this does not limit the present invention, and as long as the person skilled in the art is familiar with the technology, the spirit and scope of the present invention are not departed. Various changes and modifications can be made. Therefore, the scope of protection of the present invention is based on the contents specified in the claims for utility model registration.
1:自動光学検出設備
3:フレキシブル回路シート
10:ベース
12:ロールツーロール式装置
14:光学検出装置
16:レール
18:第1ドライバー
20:第2ドライバー
22:画像取得装置
30:平坦部
32:回路区域
120:第1ローラー
122:第2ローラー
140:レンズモジュール
142:映像走査モジュール
144:光源
146:映像合成モジュール
A:長軸
S:走査方向
1: Automatic optical detection equipment 3: Flexible circuit sheet 10: Base 12: Roll-to-roll device 14: Optical detection device 16: Rail 18: First driver 20: Second driver 22: Image acquisition device 30: Flat part 32: Circuit area 120: first roller 122: second roller 140: lens module 142: video scanning module 144: light source 146: video composition module A: long axis S: scanning direction
Claims (10)
ベースと、
前記ベースに設けられ、第1ローラーと、第2ローラーと、を含み、前記フレキシブル回路シートを前記第1ローラーから前記第2ローラーに送るためのロールツーロール式装置と、
前記ベースに設けられ、前記第1ローラー及び前記第2ローラーの上方に位置して、走査方向に沿って前記回路区域を往復的に走査するための光学検出装置と、
を備え、
前記第1ローラーと前記第2ローラーとの間の距離は、いずれかの前記回路区域の前記長軸における長さと同じ又はそれより短い自動光学検出設備。 The flexible circuit sheet has a plurality of circuit areas arranged along the long axis of the flexible circuit sheet, and is used for detection.
Base and
A roll-to-roll apparatus for feeding the flexible circuit sheet from the first roller to the second roller, the first roller being provided on the base and including a first roller;
An optical detection device provided on the base and positioned above the first roller and the second roller for reciprocally scanning the circuit area along a scanning direction;
With
The automatic optical detection equipment, wherein the distance between the first roller and the second roller is the same as or shorter than the length of any one of the circuit sections on the major axis.
前記平坦部の上方に位置するレンズモジュールと、
前記レンズモジュールの上方に位置して、前記レンズモジュールによって前記回路区域を走査するための映像走査モジュールと、を含む請求項1に記載の自動光学検出設備。 The flexible circuit sheet has a flat portion between the first roller and the second roller, and the optical detection device comprises:
A lens module located above the flat part;
The automatic optical detection facility according to claim 1, further comprising an image scanning module positioned above the lens module for scanning the circuit area by the lens module.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW102208122 | 2013-05-02 | ||
TW102208122U TWM462365U (en) | 2013-05-02 | 2013-05-02 | Automatic optical inspection equipment |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3185858U true JP3185858U (en) | 2013-09-05 |
Family
ID=49629916
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013003622U Expired - Lifetime JP3185858U (en) | 2013-05-02 | 2013-06-26 | Automatic optical detection equipment |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3185858U (en) |
KR (1) | KR20140005766U (en) |
TW (1) | TWM462365U (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104101609A (en) * | 2014-07-03 | 2014-10-15 | 宁波摩米创新工场电子科技有限公司 | Visual detection device for circuit boards |
CN113777114A (en) * | 2021-11-15 | 2021-12-10 | 佛山市坦斯盯科技有限公司 | Flexible circuit board rechecking equipment |
CN115065761A (en) * | 2022-06-13 | 2022-09-16 | 中亿启航数码科技(北京)有限公司 | Multi-lens scanning device and scanning method thereof |
-
2013
- 2013-05-02 TW TW102208122U patent/TWM462365U/en not_active IP Right Cessation
- 2013-06-26 JP JP2013003622U patent/JP3185858U/en not_active Expired - Lifetime
- 2013-09-03 KR KR2020130007381U patent/KR20140005766U/en not_active Application Discontinuation
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104101609A (en) * | 2014-07-03 | 2014-10-15 | 宁波摩米创新工场电子科技有限公司 | Visual detection device for circuit boards |
CN104101609B (en) * | 2014-07-03 | 2016-08-24 | 宁波摩米创新工场电子科技有限公司 | A kind of visual detection equipment of circuit board |
CN113777114A (en) * | 2021-11-15 | 2021-12-10 | 佛山市坦斯盯科技有限公司 | Flexible circuit board rechecking equipment |
CN113777114B (en) * | 2021-11-15 | 2022-02-22 | 佛山市坦斯盯科技有限公司 | Flexible circuit board rechecking equipment |
CN115065761A (en) * | 2022-06-13 | 2022-09-16 | 中亿启航数码科技(北京)有限公司 | Multi-lens scanning device and scanning method thereof |
CN115065761B (en) * | 2022-06-13 | 2023-09-12 | 中亿启航数码科技(北京)有限公司 | Multi-lens scanning device and scanning method thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWM462365U (en) | 2013-09-21 |
KR20140005766U (en) | 2014-11-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101975557B (en) | Ceramic plate detection equipment and detection method | |
TWI393878B (en) | Panel inspection device and inspection method of panel | |
JP2007205724A (en) | Shape measuring device and measuring method of glass substrate | |
CN102680495A (en) | Device and method for automatic optical detection | |
CN103076330A (en) | AOI (automated optical inspection) device with multiple area-array cameras and image shooting method thereof | |
WO2016188348A1 (en) | Cell alignment apparatus and aligning method | |
CN101794842A (en) | Vision device of solar cell back silver printing equipment | |
JP3185858U (en) | Automatic optical detection equipment | |
CN103135855A (en) | Optical touch device and touch image processing method | |
CN103542805A (en) | Vision inspection system based on high-speed image sensor and parallel processing | |
CN103075962A (en) | Automatic equipment for detecting plate holes and slot positions of furniture plates and implementation method thereof | |
CN103674966A (en) | Apparatus and method for detecting wafer surface flaws | |
CN109524320B (en) | Semiconductor manufacturing apparatus and method for manufacturing semiconductor device | |
CN103293867B (en) | Pre-alignment device and method of square substrates | |
US20150373884A1 (en) | Support pin arrangement determination assisting apparatus and support pin arrangement determination assisting method | |
JP2013092469A (en) | Work inspection system | |
JPS61251705A (en) | Method and apparatus for inspecting pattern | |
JP6823156B2 (en) | Backup pin recognition method and component mounting device | |
CN113256568A (en) | Machine vision plate counting general system and method based on deep learning | |
CN203265306U (en) | Accurate measuring device for punching accuracy of workpiece | |
TWM443849U (en) | Optical defect detection device | |
CN202433317U (en) | Automatic optical intelligent detecting system | |
WO2018096577A1 (en) | Image processing system and image processing method | |
JP5572247B2 (en) | Image distortion correction method | |
CN206618383U (en) | A kind of visual detection equipment |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3185858 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |