JP3183536U - 検出プローブ - Google Patents

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Abstract

【課題】半導体回路基板の検査用検出プローブを提供する。
【解決手段】
試験装置10のプローブ孔内に設置されて、該試験装置及び測定待ち回路基板40に導接する検出プローブであって、
導電ロッド体100と弾性導電柱200とからなり
該導電ロッド体両端がそれぞれ弾性導電柱に接続される連結端130及び前記測定待ち回路基板に接触する検出端120であり、
上記弾性導電柱は、両端がそれぞれ連結端に接続する自由端210及び前記検出回路基板に係止する固定端220からなり、
測定待ち回路基板が該試験装置にセットされて導電ロッド体の検出端120が測定待ち回路基板40の接合電極に押圧されると、その押圧力で弾性導電柱が圧縮され、確実に電気的導通状態が確認される。
【選択図】図4

Description

本考案は、検出プローブに関し、特に、回路プローブに用いる半導体試験プローブに関する。
プローブカードは、半導体製造工程において、回路検出にしばしば使用する部材であり、その内部に複数のプローブを配列して設置し、プローブの配列位置は、このプローブカードが検出する測定待ち回路基板上の回路配置と互いに対応する。プローブカードは、通常、検出機台の上に設置され、測定待ち回路基板上において、治具により挟持され、プローブ上に圧制される。従って、各プローブを測定待ち回路基板上の回路に導通させ、プローブにより測定待ち回路基板上の回路ループが正常動作するか否かを検出する。
従来のプローブ構造は、一般に1つのスリーブを具え、スリーブ内に2つの電極及び2つの電極の間に接続するバネを設ける。そのうち、1つの電極は、検出機台に固定されて検出機台に電気接続され、もう1つの電極は、スリーブ内に滑動可能に位置し、測定待ち回路基板を導接することに用いられる。ウエハがプローブに触圧する時、バネが圧縮されてスライドして電極に接し、これにより、この電極及び測定待ち回路基板を加圧接触させて確実に導通させる。或いは、ただ1つのスライド可能な電極を設置し、バネにより電極及び検出機台を直接導接する。プローブは、微小な部材であり、その構造が複雑であるので、部品の製作及び組み立ては、何れも容易ではない。
これに鑑み、本考案者は、上記現有技術に対し、特に、研究に専念し、学理の運用を合わせ、上記問題点の解決に資することが、改良の目標となっている。
特開2000−304824号公報
本考案の目的は、構造が簡単な検出プローブを提供することにある。
上記の目的を達成する為、本考案が提供する検出プローブは、試験装置中に設置され、試験装置及び測定待ち回路基板を導接することに用い、この試験装置は、検出回路基板を有する。本考案の検出プローブは、導電ロッド体及び弾性導電柱を具える。導電ロッド体の両端は、それぞれ連結端及び測定待ち回路基板に接触することに用いる検出端である。弾性導電柱は、導電ロッド体に軸方向に接続し、弾性導電柱の両端は、それぞれ連結端に接続する自由端及び検出回路基板に係止することに用いる固定端である。
好ましくは、前記検出プローブは、その弾性導電柱が内部に複数の金属顆粒を埋設した軟質柱体である。
好ましくは、前記検出プローブは、その弾性導電柱が内部に金属導線を埋設した軟質柱体である。
好ましくは、前記検出プローブは、その弾性導電柱が導電ロッド体を覆う。
好ましくは、前記検出プローブは、その導電ロッド体が少なくとも1つの滑り止め部を具え、滑り止め部は、導電ロッド体の側面から延伸し、弾性導電柱の自由端は、滑り止め部を覆う。
好ましくは、前記検出プローブは、その導電ロッド体は、位置限定部を具え、位置限定部は、導電ロッド体の側面から延伸し、位置限定部は、プローブ孔の内側に係止され、導電ロッド体の活動行程を制限する。
好ましくは、前記検出プローブは、更にコイルバネを具え、コイルバネは、弾性導電柱の外に被せ設けられる。
好ましくは、前記検出プローブは、そのコイルバネは、位置限定部に係止される。
本考案の検出プローブは、弾性導電柱により従来技術が採用するバネ及びスリーブに取って代わり、その構造を簡易化し、このように、従来技術の構造が複雑過ぎて製造及び組み立てが容易でない欠陥を効率的に改善する。
本考案の第1実施例の検出プローブの立体分解説明図である。 図1中の本考案の第1実施例の検出プローブの軸方向断面図である。 本考案の第1実施例の検出プローブの設置状態説明図である。 本考案の第1実施例の検出プローブの使用状態説明図である。 本考案の第2実施例の検出プローブの設置状態説明図である。 本考案の第2実施例の検出プローブの使用状態説明図である。 本考案の第3実施例の検出プローブの立体分解説明図である。 本考案の第3実施例の検出プローブの設置状態説明図である。 本考案の第3実施例の検出プローブの使用状態説明図である。
図1及び図2を参照して、本考案の好適実施例の検出プローブを説明する。それは、導電ロッド体100及び弾性導電柱200を具える。
導電ロッド体100は、好ましくは、金属で製造され、導電ロッド体100の両端は、それぞれ連結端110及び検出端120であり、導電ロッド体100は、更に、滑り止め部130及び位置限定部140を有する。連結端110は、弾性導電柱200に接続され、検出端120の末端は、導接部121を有し、導接部121は、切欠き溝状又は凸出弧面状を呈するが、本考案は、これに限定するものではない。滑り止め部130は、連結端110及び検出端120との間にあって、導電ロッド体100の中段の側壁から外向きに延伸し、好ましくは、環リブ状を呈して延伸する。位置限定部140は、導電体100の側面から拡大して形成され、好ましくは、円コイルを呈する。本実施例において、図示するように、滑り止め部130は連結端110に接し、位置限定部140は検出端120に接するが、本考案は、これに限定するものではない。
本実施例において、弾性導電柱200は、軟質柱体であり、好ましくは、シリコーン又はゴムで製造され、弾性導電柱200の内部に多数の金属顆粒を埋設するが(例えば、液体シリコーン又はゴム液体接着剤混合金属粉末)、本考案は、これに限定するものではない。弾性導電柱200は、軸方向に導電ロッド体100を接続し、弾性導電柱200の両端は、それぞれ自由端210及び固定端220であり、自由端210は、導電ロッド体100の連結端110に固定接続され、固定端220は、検出回路基板20へ延伸する。弾性導電柱200の自由端210は、導電ロッド体100を連結する連結端110を覆い、好ましくは、滑り止め部130を覆ってこの弾性導電柱200が導電ロッド体100から脱落することを防止する。弾性導電柱200は、その自由端において、その軸方向に沿って套接孔211を開設し、導電ロッド体100の連結端110を套接し、或いは、弾性導電柱200は、射出成形によって導電ロッド体を覆う連結端110を成形することができるが、本考案をこれに限定するものではない。
図3を参する。本考案の検出プローブは、試験装置10中に設置し、測定待ち回路基板40を検出することに用いるものであり、測定待ち回路基板40上に接合電極41を有する。前記試験装置10内に検出回路基板20及び検出回路基板20に連結するプローブソケット30を具える。検出回路基板20上に検出回路(図示せず)を設け、プローブソケット30上に複数のマトリクス配列されたプローブ孔31を貫通開設する。
また、各プローブ孔31の一端の開口が検出回路基板20に附され、検出回路に対応して配置される。本考案の半導体検出プローブは、これらのプローブ孔31内に収容設置される。導電ロッド体100の検出端120は、プローブ孔31に突出配置され、検出端120上の導接部121は、測定待ち回路基板40に接触することに用いる。好ましくは、前記プローブ孔31内側に段差を形成する凸縁32を設け、凸縁32は、導電ロッド体100の位置限定部140に合わせて配置される。位置限定部140は、凸縁32に係止され、これにより、導電ロッド体100の軸方向の動作行程を限定する。弾性導電柱200の固定端220は、検出回路基板20に係止される。
図4を参照する。試験装置10は、測定待ち回路基板40を検出する時、測定待ち回路基板40は、試験装置10に移行し、測定待ち回路基板40上の接合電極41を導電ロッド体100の検出端120に接触させ、接合電極41は、好ましくは、検出端120の導接部121に位置して検出端120及び接合電極41を確実に接触導通させる。測定待ち回路基板40は、更に、検出端120を測定待ち回路基板40に押し当てるので、導電ロッド体100がその圧力を受けて検出端120をプローブ孔31内に向けて退縮させ、弾性導電柱200は、滑り止め部130から押圧を受けてその軸方向に沿って圧縮される。これにより、測定待ち回路基板40を検出回路基板20上に検出回路に確実に電気接続させることができる。
図5及び図6を参照する。本考案の第2実施例は、検出プローブの構造は、ほぼ前記第1実施例と同一である。本実施例及び第1実施例の異なる箇所は、弾性導電柱200の内部に金属導線201を埋設し、金属導線201により弾性導電柱200の両端を導通する。検出装置10が測定待ち回路基板40を検出する時、金属導線201の両端は、それぞれ導電ロッド体100の連結端110及び検出回路基板20上の検出回路を導通し、測定待ち回路基板40を検出回路基板20上の検出回路に接続させる。
図7を参照する。本考案の第2実施例は、検出プローブの構造は、ほぼ前記第1実施例と同一である。本実施例及び第1実施例の異なる箇所は、本考案の検出プローブは、更にコイルバネ300を具え、コイルバネは、弾性導電柱200の外に被せて設けられる。
図8を参照する。位置限定部140及びコイルバネ300は、何れも凸縁32に接して位置限定部140が係止され、コイルバネ300は、基板21と位置限定部140の間に係止され、これにより導電ロッド体100の軸方向の動作行程を限定し、プローブ孔31内に導電ロッド体100の位置を固定することができる。
図9を参照する。本実施例において、試験装置10が測定待ち回路基板40を検出する時、検出回路基板40が試験装置10に移行し、測定待ち回路基板40上の接合電極41を導電ロッド体100の検出端120に接触させ、接合電極41は、好ましくは、検出端120の導接部121に接して検出端120及び接合電極41を確実に接触導接させる。測定待ち回路基板40は、更に押し迫って、検出端120を測定待ち回路基板40に押圧するので、導電ロッド体100がその圧力を受けてその検出端120をプローブ孔31内に向けて退縮させ、弾性導電柱200が係止部130の押圧を受けてその軸方向に沿って圧縮され、同時にコイルバネ300も位置限定部140の押圧を受けてその軸方向に沿って圧縮される。これにより測定待ち回路基板40を検出回路基板20上の検出回路に確実に電気接続させる。本実施例において、コイルバネ300が弾性導電柱200を補助し、導電ロッド体100の動作の安定性を増加させる。
本考案の検出プローブは、弾性導電柱200により従来の技術のバネ及びスリーブの構造に取って代わる。従って、本考案の検出プローブは、構造が簡単で、その製造及び組み立ては、何れも従来技術より容易であるので、従来技術の欠陥を効率的に改善する。
なお、本考案では好ましい実施例を前述の通り開示したが、これらは決して本考案に限定するものではなく、当該技術を熟知する者なら誰でも、本考案の精神と領域を脱しない均等の範囲内で各種の変動や潤色を加えることができることは勿論である。
10 試験装置
20 検出回路基板
21 検出回路
30 プローブソケット
31 プローブ孔
32 凸縁
40 測定待ち回路基板
41 接合電極
100 導電ロッド体
110 連結端
120 検出端
121 導接部
130 滑り止め部
140 位置限定部
200 弾性導電柱
210 自由端
220 固定端
221 套接孔
300 コイルバネ

Claims (9)

  1. 試験装置中のプローブ孔内に設置されて、該試験装置及び測定待ち回路基板に導接することに用いる検出プローブであって、
    前記試験装置は、検出回路基板を具え、
    該検出プローブは、導電ロッド体と弾性導電柱とからなり
    上記導電ロッド体は、その両端がそれぞれ弾性導電柱に接続される連結端及び前記測定待ち回路基板に接触することに用いる検出端であり、
    上記弾性導電柱は、該導電ロッド体に軸方向に接続する弾性導電柱であり、該弾性導電柱の両端がそれぞれ連結端に接続する自由端及び前記検出回路基板に係止する固定端である、検出プローブ。
  2. 前記弾性導電柱が内部に多数の金属顆粒を埋設した軟質柱体である請求項1に記載の検出プローブ。
  3. 前記弾性導電柱が内部に金属導線を埋設した軟質柱体である請求項1に記載の検出プローブ。
  4. 前記弾性導電柱が導電ロッド体を覆って接続される請求項1に記載の検出プローブ。
  5. 前記導電ロッド体は、少なくとも1つの滑り止め部を具え、該滑り止め部は、該導電ロッド体の側面に突出して形成され、該弾性導電柱の該自由端は、該滑り止め部を覆う請求項1に記載の検出プローブ。
  6. 前記導電ロッド体は、位置限定部を具え、該位置限定部は、該導電ロッド体の側面から径を拡大して形成され、
    該位置限定部は、前記プローブ孔の内側段差に係止されて該導電ロッド体の活動行程を制限する請求項1に記載の検出プローブ。
  7. 更にコイルバネを具え、コイルバネは、弾性導電柱の外に被せ設けられる請求項6に記載の検出プローブ。
  8. 前記コイルバネは、該位置限定部に係止される請求項7に記載の検出プローブ。
  9. 更にコイルバネを具え、コイルバネは、弾性導電柱の外に被せ設けられる請求項1に記載の検出プローブ。
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