JP3183133B2 - 渦流量計 - Google Patents

渦流量計

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JP3183133B2
JP3183133B2 JP30128295A JP30128295A JP3183133B2 JP 3183133 B2 JP3183133 B2 JP 3183133B2 JP 30128295 A JP30128295 A JP 30128295A JP 30128295 A JP30128295 A JP 30128295A JP 3183133 B2 JP3183133 B2 JP 3183133B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、渦発生体により測
定流体中に生成されている渦に超音波を送出しこの渦に
より超音波が位相変化を受けた超音波を受信して測定流
体の流量を計測する渦流量計に係り、特に、環境変化に
効率良く対応させると共に低流速における検出感度を向
上させるように改良した渦流量計に関する。
【0002】
【従来の技術】図6は超音波を用いた従来の渦流量計の
構成を示す構成図である。1はカルマン渦を生成するた
めに流れの中に挿入された渦発生体で、ここでは円柱状
の物体が例示されている。2は渦発生体1で生成された
渦、3は測定流体が流れる測定管路を示している。
【0003】4は超音波を送波する送信器、5は渦で位
相変化を受けた超音波を受信する受信器である。これら
の送信器4および受信器5は、渦発生体1の下流側に測
定流体の流れ方向とほぼ直角になるように互いに対向し
て測定管路3に取り付けられている。
【0004】6は送信器4に超音波信号を送出するため
の周波数信号を発生させるための発振器、7は発振器6
の送出した周波数信号と受信器5で受信した超音波との
位相を比較する位相比較器である。
【0005】この位相比較器7での位相変化は、カルマ
ン渦の生成数(単位時間に流れていく渦の数)に対応し
ているので、この位相変化により出力端8に流量信号に
関連する信号を得ることができる。
【0006】いま、送信器4と受信器5との距離をD、
測定流体中の音速をCA、発振器6の送出した周波数信
号S1の振幅をAm1、角速度をω1とすれば、 S1=Am1SINω1t (1) となる。
【0007】次に、図6に点線で示す超音波の伝播経路
に渦が存在していない場合の受信器5で受信する超音波
信号S2は、 S2=Am1SIN(ω1t+Φ) (2) となる。但し、 Φ=(2π/ω1)D/CA (3)
【0008】さらに、この点線の位置にカルマン渦が存
在し、渦2の伝播経路に沿う速度成分をV1とすれば、
(2)式で示す超音波信号S2は、 S2=Am1SIN(ω1t+Φ+θ) (4) となる。
【0009】但し、 θ=(2π/ω1)[D/(CA−V1)−(D/CA)] (5) である。
【0010】このときθは、渦の流れ方向により交番的
に変化し、ωVを渦の角速度とすると、Kを振幅として θ=K・SIN(2πωVt) (6) で示される。
【0011】なお、簡単のため、VAを渦2の振動振
幅、ωVを渦2の角周波数とすれば、速度成分V1は、 V1=VASINωVt (6) で示される。
【0012】この位相変化θは、渦2の存在により変調
を受けた結果、発生したものであるので、位相比較器7
でこの位相変化θを検出することにより流量を測定する
ことができる。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
ような超音波を用いる渦流量計には、以下に説明するよ
うな問題がある。
【0014】このような超音波位相検出方式を用いる渦
流量計の場合は、位相比較器の特性から、最大位相変化
量をπまたは2πに抑える必要があるので、口径、音
速、最大流速を考慮すると、発振器6から出力する周波
数信号S1の周波数を低く設定する必要がある。しかし
ながら、このように周波数を低く設定すると、低流速で
の位相変化が小さくなり、この結果として検出感度も小
さくなるという不具合が生じる。
【0015】また、周波数信号S1の周波数が、高周波
(例えば、1MHz以上)の場合はビームの拡がりは小
さいが測定流体中に混入される気泡の影響を受け難く、
逆に低周波(例えば、0.5MHz以下)の場合はビー
ムの拡がりは大きいが測定管路内の異物の付着、ライニ
ング、錆、また流体の超音波吸収による減衰が小さいと
いうメリットがあるので、従来は使用現場における使用
条件により、異なる共振周波数の振動子を持つ送信器
4、受信器5を用意しておき、これ等を交換して使用し
なければならない面倒があった。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明は、以上の課題を
解決するための主な構成として、2つの異なる周波数信
号を送出する発振手段と、これらの周波数信号に各別に
対応した駆動信号を送出する一対の駆動手段と、測定管
路に取り付けられ先の駆動信号で駆動される送信器と、
この送信器から超音波を送出し位相変化を受けた超音波
を受信する圧電素子で形成された受信器と、先の各周波
数信号に各別に対応して先の受信器からの信号を受信す
る一対の受信手段と、この受信手段の出力信号と先の駆
動手段側のこの出力信号に対応する周波数信号との位相
を比較して比較信号を送出する位相比較手段と、この比
較信号を用いて先の流量を演算して流量信号を出力する
信号処理手段とを有し、さらに先の位相変化が所定値を
越えたか否かにより或いは測定環境に対応して2つの先
の周波数信号の何れかで動作するように先の送信器と受
信器と位相比較手段とを切り換える切換手段を具備する
ようにしたものである。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図を用いて説明する。図1は本発明の1実施の形態を
示すブロック図である。
【0018】測定管路10には、この測定管路10を横
断するように渦発生体11が固定され、この渦発生体1
1の下流側の測定管路10にはこの渦発生体11の長手
方向とは直角方向に互いに対向して送信器12と受信器
13とが配置されている。
【0019】送信器12には、高周波側の駆動回路14
からの駆動信号DHと低周波側の駆動回路15からの駆
動信号DLをスイッチSW1で切り換えて何れかの駆動信
号が供給される。
【0020】また、駆動回路14には発振器16から高
周波の周波数信号FHが、駆動回路15には同様に発振
器16から低周波の周波数信号FLが、それぞれ供給さ
れている。これらの周波数信号FH、FLは、簡単のため
正弦波として説明するが、実際にはこれに限らず、バー
スト波、或いはパルス波でも良い。
【0021】一方、受信器13は、スイッチSW2を介
して高周波側の受信回路17、または低周波側の受信回
路18に切り換えられて接続される。これ等の受信回路
17、18の出力端は位相比較器19の一方の入力端に
接続されている。
【0022】位相比較器19の他方の入力端には、発振
器16から出力される周波数信号F Hと周波数信号FL
それぞれ対応する周波数信号FHRと周波数信号FLRが参
照信号としてスイッチSW3を介して切り換えられて入
力されている。
【0023】マイクロコンピュータ20は、発振器16
から周波数信号が入力されると共に、内蔵される揮発性
或いは不揮発性のメモリに設定手段21により口径D、
音速CA、最大流速VM等が設定される。
【0024】さらに、設定手段21により気泡、異物の
付着、ライニング、および錆などの測定環境に対応して
周波数を切り換えるための選定した周波数設定値FS
ども設定される。
【0025】そして、マイクロコンピュータ20は、設
定手段21により設定された口径、音速、最大流速から
内蔵するメモリに格納された演算プログラムにより位相
変化ΔΦを演算し、この値が予め決められた位相変化量
である所定値Kを越えたか否かの演算を実行する。
【0026】この場合の位相変化ΔΦの最大値ΔΦ
mは、(5)式と(6)式から、CA≫V Aなる関係を用
いて、 ΔΦm=±(2π/ω1)VAD/CA 2 (7) で示される。
【0027】そして、渦2の振動振幅VAは測定流体の
流速に比例するので、結局、最大位相変化ΔΦmは口径
D、音速CA、最大流速Vmを設定手段21により設定す
ることにより演算することができる。
【0028】さらに、マイクロコンピュータ20は、こ
の演算結果、或いは設定された周波数設定値によりスイ
ッチSW1、SW2、SW3を低周波側、或いは高周波側
のいずれに切り換えるかを決定して、それぞれのスイッ
チを同時に切り換える。
【0029】位相比較器19で位相差として検出された
流量信号は、低周波のフイルタ22で直流信号とされ、
この直流信号はシュミットトリガ回路23でパルス化さ
れて周波数/電圧変換器24で電圧信号とされ、この
後、電圧/電流変換器で、例えば4〜20mAの電流信
号に変換されて出力端8に出力される。
【0030】図2は図1に示す送信器と受信器とを測定
管路に取付た状態を示す断面図である。渦発生体11
は、測定管路10を横切るようにして測定管路10に固
定されるが、その形状についてはここでは三角形状に形
成されているものを図示している。しかし、各種の形状
が採用できるのは言うまでもない。
【0031】この渦発生体11の下流側つまり紙面に対
して手前側であって渦発生体11とは直交する方向の測
定管路10の管壁には貫通孔26(27)が開口され、
この貫通孔26(27)を塞ぐように皿状のホルダ28
(29)が外部からに挿入して固定されている。
【0032】このホルダ28(29)は、厚さL
1(L2)を有する超音波透過部30(31)を有し、こ
の接液面側とは反対側にはそれぞれ整合材としても機能
する接着剤32(33)を介して圧電素子34(35)
が固定されている。
【0033】これ等のホルダ28(29)、接着剤32
(33)、圧電素子34(35)などでそれぞれ送信器
12(受信器13)が構成され、送信器12から受信器
13に向かって渦2を横切って超音波が送出される。
【0034】次に、図3、図4、及び図5を用いて図1
及び図2に示す渦流量計の動作を説明する。図3はこれ
らの圧電素子34、35を異なる振動モードで振動させ
たときの様子を示す説明図である。図3(A)は径方向
振動の場合を、図3(B)は厚み方向振動の場合をそれ
ぞれ示している。
【0035】圧電素子34、35は、その形状(厚さ:
t、直径:d)と分極Pの方向及び電界Eの方向によっ
て決定される複数の振動モードが存在し、それぞれの振
動モードは固有の共振周波数frおよび圧電特性を持
つ。
【0036】これらのうち、図3(A)は圧電素子が薄
い円板状に形成されており、この厚み方向に電界Eを印
加さたときに矢印で示す径方向に振動する場合を示して
いるが、この径方向振動はポアソン比に伴って起因して
厚み方向に変換され厚み方向の成分をも有する。そし
て、この場合の共振周波数frdは直径dに反比例する特
性を持つ。
【0037】一方、図3(B)は厚み方向に電界Eを印
加すると矢印で示す厚み方向に圧電素子が振動する場合
を示しているが、この場合の共振周波数frSは円板状の
圧電素子の厚さtに反比例する特性を持つ。
【0038】このように、圧電素子は、何れの振動モー
ドのときも厚み方向の振動成分をもって厚み方向に超音
波を送出するが、径方向振動に起因するときと、厚み方
向振動に起因するときとでは、その共振周波数frを左
右する形状要素d、tが異なるので、異なる共振周波数
を持つ。
【0039】図4は、図3に示す2つのモードに対する
圧電素子の周波数/インピーダンス特性を示す特性図で
ある。横軸は周波数f、縦軸は圧電素子の電圧印加端に
おけるインピーダンスZrである。
【0040】frdは径方向振動の共振周波数を、fad
径方向振動の反共振周波数を、frSは厚み方向振動の共
振周波数を、faSは厚み方向振動の反共振周波数をそれ
ぞれ示す。
【0041】図4から判るように、径方向振動の共振周
波数frdと厚み方向振動の共振周波数frSとは異なる周
波数を有している。具体的には、径方向振動の共振周波
数f rdは0.3MHz程度に、厚み方向振動の共振周波
数frSは1.2MHz程度に選定される。
【0042】したがって、発振器16から出力される周
波数信号FLを厚み方向振動に対応する共振周波数frS
に、周波数信号FHを径方向振動に対応する共振周波数
rdにそれぞれ設定し、これらの周波数の比が整数倍に
なるように圧電素子34、35の形状d、tを選定す
る。
【0043】このようにして、駆動回路14又は15か
ら、異なる周波数をもつ駆動信号がマイクロコンピュー
タ20で切り換えられるスイッチSW1を介して、一個
の送信器12に送出する。
【0044】送信器12から測定流体に送出された超音
波は、渦発生体で生成される渦により位相変調を受けて
受信器13で受信される。受信器13で受信された信号
はマイクロコンピュータ20で切り換えられるスイッチ
SW2を介して、受信回路17又は18で受信される。
【0045】これらの受信回路17又は18で受信され
た信号は、マイクロコンピュータ20で周波数信号FHR
又は周波数信号FLRに切り換えられるスイッチSW2
介して得られた信号と、位相比較器19で位相比較さ
れ、フイルタ22、シュミットトリガ回路23、周波数
/電圧変換器24、電圧/電流変換器25を介して出力
端8に電流信号として出力される。
【0046】ところで、図2に示す超音波透過部で効率
良く信号を伝達するためには、工夫が必要である。この
点について図5を用いて説明する。図5は図2に示すホ
ルダにおける超音波透過部での周波数/透過率特性を示
す特性図である。
【0047】簡単のため、超音波透過部30側で説明す
る。超音波透過部30での超音波の透過は、駆動回路1
4(15)からの駆動信号をD(DH、DLを代表)、そ
の波長をλ(λH、λLを代表)とすれば、厚さL
(L1、L2を代表)がλ/2の整数倍nにおいて最大に
なる。
【0048】したがって、2つの周波数fH、fLにおい
て、効率良く超音波を伝達するためには、λH/2、λL
/2の公倍数になるように選定するのが良いので、駆動
信号Dの周波数fに合わせて超音波透過部30の厚さL
を決定することになる。
【0049】以上説明したように、圧電素子34、35
の径方向振動に対応する周波数として発振器16から出
力される周波数信号FLを、厚み方向振動に対応する周
波数として周波数信号FHをそれぞれ設定し、これらの
周波数の比が整数倍になるように圧電素子34、35の
形状d、tを選定し、さらに超音波透過部30の厚さL
をλH/2、λL/2の公倍数になるように選定すると、
圧電素子34(35)と超音波透過部30(31)を2
対用意することなしに、一対の送信器12と受信器13
で異なる周波数で効率良く送受信することができる。
【0050】
【発明の効果】以上、発明の実施の形態と共に具体的に
説明したように、請求項1に記載された発明によれば、
2つの周波数信号を同一の検出器(送信器、受信器)で
送受信を可能にすると共に位相変化が所定値を越えたか
否かにより2つの周波数信号の周波数を切り換えて低流
速でも位相変化を効率良く検出することができる。この
ため、従来に比べて汎用性が拡大すると共にコスト低減
に寄与する。
【0051】また、請求項2に記載された発明によれ
ば、2つの周波数信号を同一の検出器で送受信を可能に
すると共に、取付場所の測定流体の状態(気泡、、スラ
リ、超音波吸収)、配管の状態(異物の付着、ライニン
グ、錆)などの測定環境に対応して最適な周波数に切り
換えることができるので、超音波の送受信が確実とな
り、アプリケーションの拡大が可能となる。
【0052】さらに、請求項3に記載された発明によれ
ば、圧電素子の厚み方向の振動と径方向の振動の共振周
波数が整数倍になるように圧電素子の形状を選定したの
で、位相検出の効率が向上する。
【0053】請求項4に記載された発明によれば、周波
数信号を送信器又は受信器と測定流体との間の管路の肉
厚を前記周波数の2倍の波長で割った値の整数倍に選定
したので、効率良く管路を介して超音波を送受すること
ができる。
【0054】請求項5に記載された発明によれば、周波
数を切り換える所定値を測定管路の口径と最大流速と音
速を用いて算出した最大位相変化が位相比較器で処理可
能な位相変化値に選定したので、自動的に低流速での位
相変化を効率良く検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施の形態を示すブロック図であ
る。
【図2】図1に示す送信器と受信器とを測定管路に取付
た状態を示す断面図である。
【図3】図2に示す圧電素子を異なる振動モードで振動
させたときの様子を示す説明図である。
【図4】図3に示す2つのモードに対する圧電素子の周
波数/インピーダンス特性を示す特性図である。
【図5】図2に示す超音波透過部での周波数/透過率特
性を示す特性図である。
【図6】従来の渦流量計の構成を示す構成図である。
【符号の説明】
1、11 渦発生体 2 渦 3、10 測定管路 4、12 送信器 5、13 受信器 6、16 発振器 7、19 位相比較器 14、15 駆動回路 17、18 受信回路 20 マイクロコンピュータ 21 設定手段 22 フイルタ 23 シュミットトリガ回路 30、31 超音波透過部
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平7−243883(JP,A) 特開 昭57−207825(JP,A) 特開 平6−341871(JP,A) 特開 平7−294299(JP,A) 特許3021781(JP,B2) 特許2723291(JP,B2) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01F 1/32

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】2つの異なる周波数信号を送出する発振手
    段と、これらの周波数信号に各別に対応した駆動信号を
    送出する一対の駆動手段と、測定管路に取り付けられ前
    記駆動信号で駆動される送信器と、この送信器から超音
    波を送出し位相変化を受けた超音波を受信する圧電素子
    で形成された受信器と、前記各周波数信号に各別に対応
    して前記受信器からの信号を受信する一対の受信手段
    と、この受信手段の出力信号と前記駆動手段側のこの出
    力信号に対応する周波数信号との位相を比較して比較信
    号を送出する位相比較手段と、この比較信号を用いて前
    記流量を演算して流量信号を出力する信号処理手段と、
    前記位相変化が所定値を越えたか否かにより2つの前記
    周波数信号の何れかで動作するように前記送信器と受信
    器と位相比較手段とを切り換える切換手段とを具備する
    ことを特徴とする渦流量計。
  2. 【請求項2】2つの異なる周波数信号を送出する発振手
    段と、これらの周波数信号に各別に対応した駆動信号を
    送出する一対の駆動手段と、測定管路に取り付けられ前
    記駆動信号で駆動される送信器と、この送信器から超音
    波を送出し位相変化を受けた超音波を受信する圧電素子
    で形成された受信器と、前記各周波数信号に各別に対応
    して前記受信器からの信号を受信する一対の受信手段
    と、この受信手段の出力信号と前記駆動手段側のこの出
    力信号に対応する周波数信号との位相を比較して比較信
    号を送出する位相比較手段と、この比較信号を用いて前
    記流量を演算して流量信号を出力する信号処理手段と、
    測定環境に対応して2つの前記周波数信号の何れかで動
    作するように前記送信器と受信器と位相比較手段とを切
    り換える切換手段とを具備することを特徴とする渦流量
    計。
  3. 【請求項3】前記圧電素子の厚み方向の振動と径方向の
    振動の共振周波数が整数倍になるように前記圧電素子の
    形状を選定したことを特徴とする請求項1又は2記載の
    渦流量計。
  4. 【請求項4】前記周波数信号は、前記送信器又は受信器
    と測定流体との間の超音波透過部の肉厚を2つの周波数
    における波長の1/2倍の公倍数になるように選定した
    ことを特徴とする請求項1又は2記載の渦流量計。
  5. 【請求項5】前記所定値は、前記測定管路の口径と最大
    流速と音速を用いて算出した最大位相変化が位相比較器
    で処理可能な位相変化値に選定したことを特徴とする請
    求項1記載の渦流量計。
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