JP3181961U - 化学機械研磨固定具及びホルダー - Google Patents

Abstract

【課題】化学機械研磨固定具及びホルダーを提供する。
【解決手段】化学機械研磨固定具であって、第１の結合面１０１とホルダー１００の半径方向に沿って延伸する平面で、そのルート部から凸起の外側へ傾斜する第１の係合面１１４を備え、前記第１の結合面に環状配列される複数の凸起１１０とを有するホルダーと、第２の結合面２０１とリテーナリング２００の半径方向に沿って延伸する平面で、そのルート部から第２の結合面へ傾斜して逆Ｕ字型構造を形成する第２の係合面２１５を備え、前記第２の結合面に環状配列され、凸起と組み合わされた複数の第１の凹溝２１０とを有するリテーナリングと、を含む。ホルダーとリテーナリングを軸方向に揃えることで、第１の結合面と第２の結合面が揃えられ、凸起と第１の凹溝が各々揃えられる。ホルダーとリテーナリングは各々逆円周方向に回り凸起の第１の係合面と第１の凹溝の第２の係合面を係合させる。
【選択図】図６Ａ

Description

本考案は、ウエハ固定具に関し、特に、化学機械研磨固定具及びホルダーに関する。

半導体の製造工程においてウエハ固定具は、必要不可欠な工具で、ウエハの製造工程において搬送、化学処理等の便宜のため、加工プロセス中のウエハ載置に応用される。

図１を参照しながら説明する。図１に示す従来のウエハ固定具は、一般半導体製造装置メーカが供給する標準ウエハ固定具で、ステンレス鋼（ＳＵＳ）からなり、半導体製造装置に設置されたホルダー１０とスーパーエンジニアリングプラスチック材料からなり、ウエハ載置に用いられるリテーナリング２０とを含む。この種のウエハ固定具は、接着剤でリテーナリング２０をホルダー１０に貼り合わせ、貼合面１１が平坦な表面となっているため、リテーナリング２０とホルダー１０の接着剤の接着力が容易に弱くなって外れていた。

よって、標準のウエハ固定具を前述の問題点により頻繁に交換しなければならなかった。ウエハファウンドリでは、この消耗材コストが余計な費用となっている以外に、ウエハ固定具の不良により起きる可能性のあるウエハ損傷を常に注意していなければならない。このためこの種の標準のウエハ載置を実質的に改良する必要があり、ウエハ固定具に高い安定性と耐久性を持たせることで、大幅にウエハファウンドリの生産コストを削減できる。

そこで、本考案では上記のような従来技術の問題点に鑑みて、生産しやすく、組立しやすく且つ高い安定性と耐久性の特徴を持ち、ウエハファウンドリの生産コストを削減できる化学機械研磨固定具を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本考案は、第１の結合面を備えたリング状基材とリング状基材の半径方向に沿って延伸する平面で、そのルート部から凸起の外側へ傾斜する第１の係合面を備え、第１の結合面に環状配列される複数の凸起とを有するホルダーと、第２の結合面とリテーナリングの半径方向に沿って延伸する平面で、そのルート部から第２の結合面へ傾斜して逆Ｕ字型構造を形成する第２の係合面を備え、第２の結合面に環状配列される複数の第１の凹溝とを有するリテーナリングと、を含む化学機械研磨固定具を提供する。
ホルダーとリテーナリングを軸方向に揃えることで、第１の結合面と第２の結合面が揃えられ、凸起と第１の凹溝が揃えられる。ホルダーとリテーナリングは各々逆円周方向に回り凸起の第１の係合面と第１の凹溝の第２の係合面を係合させる。

本考案は、更にリテーナリングと結合して化学機械研磨固定具とする化学機械研磨固定具のホルダーを提供する。リテーナリングは、第２の結合面とリテーナリングの半径方向に沿って延伸する平面で、そのルート部から第２の結合面へ傾斜して逆Ｕ字型構造を形成する第２の係合面を備え、第２の結合面に環状配列される複数の第１の凹溝とを含む。
ホルダーは第１の結合面を備えたリング状基材とリング状基材の半径方向に沿って延伸する平面で、そのルート部から凸起の外側へ傾斜する第１の係合面を備え、第１の結合面に環状配列される複数の凸起とを含む。ホルダーとリテーナリングを軸方向に揃えることで、第１の結合面と第２の結合面が揃えられ、凸起と第１の凹溝が揃えられる。ホルダーとリテーナリングは各々逆円周方向に回り凸起の第１の係合面と第１の凹溝の第２の係合面を係合させる。

本考案は、第１の結合面を備えたリング状基材とリング状基材の半径方向に沿って延伸する平面で、そのルート部から凸起の外側へ傾斜して逆Ｕ字型構造を形成する第１の係合面を備え、第１の結合面に環状配列される複数の凸起とを有するリテーナリングと、第２の結合面とホルダーの半径方向に沿って延伸する平面で、そのルート部から第２の結合面へ傾斜して逆Ｕ字型構造を形成する第２の係合面を備え、第２の結合面に環状配列される複数の第１の凹溝とを有するホルダーと、を含む化学機械研磨固定具を提供する。
ホルダーとリテーナリングを軸方向に揃えることで、第１の結合面と第２の結合面が揃えられ、凸起と第１の凹溝が揃えられる。ホルダーとリテーナリングは各々逆円周方向に回り凸起の第１の係合面と第１の凹溝の第２の係合面を係合させる。

以下、本考案の上記及び他の目的、特徴及び長所を更に明確に分かりやすくするため、複数の好ましい実施例を添付図面に基づいて説明する（実施形態）。

従来のウエハ固定具を示す図である。 本考案に係る実施例を示す図である。 本考案に係る実施例を示す図である。 図２Ｂにおけるホルダー１００の具体的実施例の局部ホルダー６の拡大図である。 図２Ｂにおけるホルダー１００の具体的実施例の局部ホルダー６の拡大図である。 図２Ｂにおけるホルダー１００の具体的実施例の局部ホルダー６の拡大図である。 図２Ｂにおけるホルダー１００の具体的実施例の局部ホルダー６の拡大図である。 図２Ｂにおけるホルダー１００の具体的実施例の局部ホルダー６の拡大図である。 図２Ｂにおけるホルダー１００の具体的実施例の局部ホルダー６の拡大図である。 図２Ｂにおけるホルダー１００の具体的実施例の局部ホルダー６の拡大図である。 図３Ａの断面図である。 図３Ｂの断面図である。 図３Ｃの断面図である。 図３Ｄの断面図である。 図３Ｅの断面図である。 図３Ｆの断面図である。 図３Ｇの断面図である。 本考案に係る実施例の断面図である。 リテーナリング２００の局部拡大図である。 リテーナリング２００の断面図である。 図４Ａ、図５Ｂの分離した様子を示す図である。 図４Ａ、図５Ｂの組み立てた様子を示す図である。

図２Ａ及び図２Ｂに示す本考案の実施例を示す図を参照しながら説明する。本考案の化学機械研磨固定具は、ホルダー１００とリテーナリング２００と少なくとも１個の凸起１１０と少なくとも１個の第１の凹溝２１０と、を含む。

ホルダー１００は、円環状第１の結合面１０１を備え、ステンレス鋼（ＳＵＳ）とすることができる。第１の結合面１０１に環状配列の複数の凸起１１０が設けられ、凸起１１０もステンレス鋼（ＳＵＳ）とすることができる。リテーナリング２００は、第２の結合面２０１と凸起１１０と対応する複数の第１の凹溝２１０とを備え、スーパーエンジニアリングプラスチックとすることができる。
ホルダー１００とリテーナリング２００は、それぞれ逆円周方向に沿って回すことで凸起１１０と第１の凹溝２１０とを係合させ、且つ第１の結合面１０１と第２の結合面２０１を密着させる。次に、接着剤によりホルダー１００とリテーナリング２００で形成された係合面を接着した後、高い安定性と耐久性を持つ結合構造を構成できる。接着剤の選択肢は非常に多く、当業者においては熟知されているため詳細な説明を省略する。

実務上、凸起１１０はホルダー１００と一体成形する方式で製作でき、或いはホルダー１００と分離する方式で製作できる。以下、それぞれ複数の実施例を挙げて説明する。

図３Ａ乃至図３Ｇを参考しながら説明する。これは図２Ｂにおけるホルダー１００の複数の具体的実施例の局部ホルダー６拡大図である。

まず、ホルダー１００は図３Ｇの実施例を採用した結合を示す図３Ａを参照しながら説明する。これはホルダー１００のリング状基材と凸起１１０を分離して製作すると共に結合した実施例である。図内の凸起１１０はネジ１２０でホルダー１００のリンク状基材に固定され、且つリング状基材が凸起１１０を収容することでずれを防止するための第２の凹溝１０２を備える。

各凸起１１０は、第１の頂面（つまり凸起１１０の頂面）と第１のガイド面１１１と第１の内側面１１２と第１の外側面１１３と第１の係合面１１４と第１のネジ穴１１５（図３Ｇ）と、を含む。第１の係合面１１４はホルダー１００の半径方向に沿って延伸する平面で、第１の係合面１１４のルート部から凸起１１０の外側へ傾斜して逆Ｕ字型状になる。第１の内側面１１２及び第１の外側面１１３は、均しくホルダー１００の円周方向に沿って延伸する曲面で、第１の内側面１１２の湾曲半径が第１の外側面１１３の湾曲半径より小さい。第１の頂面は平面からなる凸起１１０の頂部である。
第１の係合面１１４は、好しくはホルダー１００の半径方向に沿って延伸する平面（本考案はこれに限定しない）である。第１の係合面１１４はルート部（第１の係合面１１４と第１の結合面１０１の交線）から凸起１１０の外側へ傾斜して逆Ｕ字型状になる。本実施例において第１の係合面１１４は、好しくは傾斜角が３０度とする。
第１のガイド面１１１は、好しくはホルダー１００の半径方向に沿って延伸する平面（本考案はこれに限定しない）で、第１の係合面１１４に合わせて第２の凸起２１０をガイドして凸起１１０に係止する。本実施例において第１のガイド面１１１は、好しくは第１の結合面１０１と直交して設けられるが、第１のガイド面１１１のルート部（第１のガイド面１１１と第１の結合面１０１の交線）から凸起１１０の内側へ傾斜する。

次に、本考案の各種異なる実施形態を各々説明する図３Ｂ乃至３Ｇを参照しながら説明する。

図３Ｂは本考案に係るホルダーの実施形態を示す図である。この実施例において凸起１１０は独立製作し、また接着剤によりホルダー１００のリング状基材に定着させる。この実施例において予め凸起１１０位置を確定してから接着剤で固定しなければならない。凸起１１０の構造は先に述べる通りとし、詳細な説明を省略する。

図３Ｃは、本考案に係るホルダーの別の実施形態を示す図である。この実施例において凸起１１０を独立して製作し、また凸柱１１６を備える。ホルダー１００のリング状基材に凸柱１１６と組み合わされる凹孔１０４が予め設けられる。こうすることで、凸柱１１６が凹孔１０４に挿入してから接着剤でホルダー１００のリング状基材に定着させることができる。この実施例において凸柱１１６と凹孔１０４の設置は、凸起１１０が正確に定位させてから接着剤で定着することができる。凸起１１０の構造は先に述べる通りとし、詳細な説明を省略する。

図３Ｄは、本考案に係るホルダーの別の実施形態を示す図である。この実施例において凸起１１０を独立して製作し、またネジ１２０を通じてホルダー１００のリング状基材に締め付けられる。この実施例において凸起１１０に第１のネジ穴１１５を予め製作し、且つホルダー１００のリング状基材に第２のネジ穴１０３を予め製作する。ネジ１２０が第１のネジ穴１１５と第２のネジ穴１０３を経由してリング状基材に締め付ける前、接着剤でその強度を補強できる。凸起１１０の構造は先に述べる通りとし、詳細な説明を省略する。

図３Ｅは、本考案に係るホルダーの他の実施形態を示す図である。この実施例において凸起１１０を独立して製作し、また接着剤によりホルダー１００のリング状基材に定着させる。この実施例においてホルダー１００のリング状基材に凸起１１０を収納できる第２の凹溝１０２が予め形成される。第２の凹溝１０２は横向き固定効果を提供でき、接着剤が凸起１１０とホルダー１００のリング状基材間との縦向き固定効果を提供できる。凸起１１０の構造は先に述べる通りとし、詳細な説明を省略する。

図３Ｆは、本考案に係るホルダーの他の実施形態を示す図である。この実施例において凸起１１０を独立して製作し、また凸柱１１６を備える。この実施例においてホルダー１００のリング状基材に凸柱１１６と組み合わされる凹孔１０４が予め設けられる。こうすることで、凸柱１１６が凹孔１０４に挿入してから接着剤でホルダー１００のリング状基材に定着させることができる。
この実施例において凸柱１１６と凹孔１０４の設置は、凸起１１０が正確に定位させてから接着剤で定着することができる。また、この実施例においてホルダー１００のリング状基材に予め形成されて凸起１１０を収納できる第２の凹溝１０２も含む。第２の凹溝１０２は横向き固定効果を提供でき、接着剤が凸起１１０とホルダー１００のリング状基材間との縦向き固定効果を提供できる。凸起１１０の構造は先に述べる通りとし、詳細な説明を省略する。

図３Ｇは、本考案に係るホルダーの別の実施形態を示す図である。この実施例において凸起１１０を独立して製作し、またネジ１２０を通じてホルダー１００のリング状基材に締め付けられる。この実施例において凸起１１０に第１のネジ穴１１５を予め製作し、且つホルダー１００のリング状基材に第２のネジ穴１０３を予め製作する。ネジ１２０が第１のネジ穴１１５と第２のネジ穴１０３を経由してリング状基材に締め付ける前、接着剤でその強度を補強できる。また、この実施例においてホルダー１００のリング状基材に予め形成されて凸起１１０を収納できる第２の凹溝１０２も含む。第２の凹溝１０２は横向き固定効果を提供でき、ネジが凸起１１０とホルダー１００のリング状基材間との縦向き固定効果を提供できる。凸起１１０の構造は先に述べる通りとし、詳細な説明を省略する。

次に、各々図３Ａ乃至３Ｇの断面を示す図４Ａ乃至図４Ｈを参照しながら説明する。

図４Ａから分かるように、ネジ１２０は第１のネジ穴１１５と第２のネジ穴１０３を経由して凸起１１０をホルダー１００のリング状基材に締め付け、且つ第２の凹溝１０２が凸起１１０を収容できるため第２の凹溝１０２内に定位させることができる。

図４Ｂから分かるように、凸起１１０を接着剤によりホルダー１００のリング状基材に定着させる。

図４Ｃから分かるように、凸起１１０と凸柱１１６を通じて凹孔１０４に定位させることができ、また接着剤によりホルダー１００のリング状基材に定着させることができる。

図４Ｄから分かるように、ネジ１２０は第１のネジ穴１１５と第２のネジ穴１０３を経由して凸起１１０をホルダー１００のリング状基材に締め付けることができる。

図４Ｅから分かるように、凸起１１０を接着剤によりホルダー１００のリング状基材に定着させる。且つ第２の凹溝１０２が凸起１１０を収容できることで第２の凹溝１０２内に定位させることができる。

図４Ｆ図から分かるように、凸起１１０は凸柱１１６を通じて凹孔１０４に定位でき、また接着剤によりホルダー１００のリング状基材に定着できる。また第２の凹溝１０２は凸起１１０を収容できることで第２の凹溝１０２内に定位させることができる。

図４Ｇから分かるように、ネジ１２０は第１のネジ穴１１５と第２のネジ穴１０３を経由して凸起１１０をホルダー１００のリング状基材に締め付けられる。且つ第２の凹溝１０２が凸起１１０を収容できることで第２の凹溝１０２内に定位させることができる。

図４Ｈから分かるように、凸起１１０はホルダー１００のリング状基材と一体成形する。

次に、リテーナリング２００の局部拡大図と断面図の図５Ａ、図５Ｂを参照しながら説明する。リテーナリング２００は、第２の結合面２０１と複数の第１の凹溝２１０を備え、第１の凹溝２１０が第２の結合面２１１に環状配置され、凸起１１０の収容空間を提供し、また凸起１００の第１の係合面１１４の収容に供するための第２の係合面２１５（あり溝構造）を提供する。第２の係合面２１５はリテーナリング２００の半径方向に沿って延伸する平面で、第２の係合面２１５のルート部から第２の結合面２１０へ傾斜して逆Ｕ字型構造を形成する。凸起１１０の第１の係合面１１４は、逆Ｕ字型構造が形成されるため、第２の係合面２１５も第２の結合面２０１と別の逆Ｕ字型構造が形成されると共に第１の係合面１１４と平行になる。よって、接着剤でホルダー１００とリテーナリングを接着すると、縦向き固定を形成できる。この点の説明は図６Ａを参照にする。

図５Ａにおいて第１の凹溝２１０の構造は第２の頂面２１１と第２の内側面２１２と第２の外側面２１３と第２のガイド面２１４と第２の係合面２１５とからなる。第２の頂面２１１は平面からなる第１の凹溝２１０の底部である。第２の内側面２１２及び第２の外側面２１３は、均しくリテーナリング２００の円周方向に沿って内側に凹む曲面で、第２の内側面２１２の湾曲半径が第２の外側面２１３の湾曲半径より小さい。第２の係合面２１５は、好しくはリテーナリング２００の半径方向に沿って延伸する平面（本考案はこれに限定しない）で、第２の係合面２１５のルート部（第２の頂面２１１との交線）から該第２の結合面２０１へ傾斜して逆Ｕ字型状になる。
本実施例において、第２の係合面２１５は、好しくは第１の係合面１１４に合わせ同じ傾斜角として３０度を採用する。残りの実施例は１〜６０度を採用し、同様に両者の傾斜角を同じにして平行させる。第２のガイド面２１５は、好しくはリテーナリング２００の半径方向に沿って延伸する平面（本考案はこれに限定しない）とする。本実施例において第２のガイド面２１５は、好しくはルート部（第２のガイド面２１５と第２の結合面２０１の交線）から第２の凸起２１０の内側へ傾斜する。

図６Ａ及び図６Ｂを参照しながら説明する。ホルダー１００とリテーナリング２００の軸心を揃えて第１の結合面１０１を第２の結合面２０１に対向して揃えらせ、凸起１１０と第１の凹溝２１０を揃え、各第１の係合面１１４が対応する第２の係合面２１５に揃え、各第２のガイド面２１４と第２の頂面２１１の交線が対応する第１のガイド面１１１に揃え、第１の内側面１１２及び第１の外側面１１３が第２の内側面２１２及び第２の外側面２１３にそれぞれ揃えて凸起１１０及び第１の凹溝２１０を定位する。
更にホルダー１００とリテーナリング２００をそれぞれ逆円周方向に回して第１の凹溝２１０及び凸起１１０が第１の係合面１１４（或是第２の係合面２１４）方向に沿って対向して摺動することで互いに係止すると、リテーナリング２００がホルダー１００から外れることを防止できる。ホルダー１００とリテーナリング２００の間に接着剤で接着してホルダー１００及びリテーナリング２００の定着力を向上する。

このほか、上記の実施例において本考案のホルダー１００にある凸起１１０構造及びリテーナリング２００にある第１の凹溝２１０構造について、第１の係合面１１４はリングの外側から見て左に向かって傾斜し、リテーナリング２００をホルダー１００上方に置いた時、反時計回り方向に凸起１１０を第１の凹溝２１０に挿入させる。実務上、逆方向の手段を採用できる。つまり第１の係合面１１４はリングの外側から見て右に向かって傾斜し、リテーナリング２００をホルダー１００上方に置いた時、時計回り方向に凸起１１０を第１の凹溝２１０に挿入させる。

また、実務上、本考案に係るホルダー１００にある凸起１１０構造及びリテーナリング２００にある第１の凹溝２１０構造は、互に置き換えることができる。つまり凸起１１０の構造をリテーナリング２００に製造し、第１の凹溝２１０の構造をホルダー１００に製作する。構造が同じため、別途図面の作図及び説明を省略する。

従来技術の平面貼合面１１に直接貼り合わせることに比べて、本考案の化学機械研磨固定具は、より一層リテーナリング２００及びホルダー１００を効果的に固定できて化学機械研磨固定具の使用寿命を延長できる。

本考案の技術的内容は、好ましい実施例で上記通り開示され、そのような実施例により本考案の保護範囲が限定されるべきものではなく、当業者が本考案の精神から離れることなく種々の変更及び改変を為し得ることは、本考案の範囲に含めるものであるのが当然である。よって本考案の保護範囲は、本明細書に添付する実用新案登録請求の範囲で定義しているものを基準とする。

６ 局部ホルダー
１０ ホルダー
１１ 貼合面
１００ ホルダー
１０１ 第１の結合面
１０２ 第２の凹溝
１０３ 第２のネジ穴
１０４ 凹孔
１１０ 凸起
１１１ 第１のガイド面
１１２ 第１の内側面
１１３ 第１の外側面
１１４ 第１の係合面
１１５ 第１のネジ穴
１１６ 凸柱
１２０ ネジ
２０ リテーナリング
２００ リテーナリング
２０１ 第２の結合面
２１０ 第１の凹溝
２１１ 第２の頂面
２１２ 第２の内側面
２１３ 第２の外側面
２１４ 第２のガイド面
２１５ 第２の係合面

Claims (33)

1. 第１の結合面を備えたリング状基材と前記リング状基材の半径方向に沿って延伸する平面で、そのルート部から凸起の外側へ傾斜して逆Ｕ字型構造を形成する第１の係合面を備え、前記第１の結合面に環状配列される複数の凸起とを有するホルダーと、
   第２の結合面とリテーナリングの半径方向に沿って延伸する平面で、そのルート部から前記第２の結合面へ傾斜して逆Ｕ字型構造を形成する第２の係合面を備え、前記第２の結合面に環状配列される複数の第１の凹溝とを有するリテーナリングと、を含む化学機械研磨固定具であって、
   前記ホルダーと前記リテーナリングを軸方向に揃えることで、前記第１の結合面と前記第２の結合面が揃えられ、前記凸起と前記第１の凹溝が揃えられ、前記ホルダーと前記リテーナリングは各々逆円周方向に回り前記凸起の前記第１の係合面と前記第１の凹溝の前記第２の係合面を係合させることを特徴とする、
   化学機械研磨固定具。
2. 各前記凸起は第１のスルーホールを備え、且つ、前記リング状基材の前記第１の結合面が第２のスルーホールを備え、前記第１のスルーホールと前記第２のスルーホールがネジによる締め付けに供することで前記凸起を前記リング状基材に固定させることを特徴とする請求項１に記載の化学機械研磨固定具。
3. 前記リング状基材は、複数の第２の凹溝を更に含み、各前記第２の凹溝が各前記凸起を収納することで前記凸起の摺動を防止することを特徴とする請求項２に記載の化学機械研磨固定具。
4. 各前記凸起は、凸柱を備え、且つ、前記リング状基材の前記第１の結合面が凹孔を備え、前記凸柱を前記凹孔に挿入し、接着剤で前記凸起を前記該リング状基材に定着することを特徴とする請求項１に記載の化学機械研磨固定具。
5. 前記リング状基材は、複数の第２の凹溝を更に含み、各前記第２の凹溝が各前記凸起を収納することで前記凸起の摺動を防止することを特徴とする請求項４に記載の化学機械研磨固定具。
6. 各前記凸起は、接着剤により前記リング状基材に定着させることを特徴とする請求項１に記載の化学機械研磨固定具。
7. 前記リング状基材は、複数の第２の凹溝を更に含み、各前記第２の凹溝が各前記凸起を収納することで前記凸起の摺動を防止することを特徴とする請求項６に記載の化学機械研磨固定具。
8. 前記第１の係合面と前記第２の係合面の傾斜角は、１〜６０度とし、且つ、両者が平行になることを特徴とする請求項１に記載の化学機械研磨固定具。
9. 前記凸起は、前記第１の係合面の対向に設けられ、前記リング状基材の半径方向に沿って延伸する平面で、前記第１の係合面のルート部から前記凸起の外側へ傾斜する第１のガイド面を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の化学機械研磨固定具。
10. 前記第１の凹溝は、前記第２の係合面の対向に設けられ、前記リング状基材の半径方向に沿って延伸する平面で、前記第１の係合面のルート部から前記凸起の外側へ傾斜し、また、前記第２の係合面と平行になる第２のガイド面を更に含むことを特徴とする請求項９に記載の化学機械研磨固定具。
11. 前記第１のガイド面の傾斜角は、０度とし、且つ、前記第２のガイド面の傾斜角が１〜６０度とすることを特徴とする請求項１０に記載の化学機械研磨固定具。
12. 前記第１のガイド面と前記第２のガイド面の傾斜角は、１〜６０度とし、且つ、両者が平行となることを特徴とする請求項１０に記載の化学機械研磨固定具。
13. 前記リング状基材と前記凸起とは、一体成形することを特徴とする請求項１に記載の化学機械研磨固定具。
14. リテーナリングと結合して化学機械研磨固定具とする化学機械研磨固定具のホルダーであって、
    前記リテーナリングは、第２の結合面と、前記リテーナリングの半径方向に沿って延伸する平面で、そのルート部から前記第２の結合面へ傾斜して逆Ｕ字型構造を形成する第２の係合面を備え、前記第２の結合面に環状配列される複数の第１の凹溝とを含み、
    前記ホルダーは第１の結合面を備えたリング状基材と前記リング状基材の半径方向に沿って延伸する平面で、そのルート部から凸起の外側へ傾斜して逆Ｕ字型構造を形成する第１の係合面を備え、前記第１の結合面に環状配列される複数の凸起と、を含み、
    前記ホルダーと前記リテーナリングを軸方向に揃えることで、前記第１の結合面と前記第２の結合面が揃えられ、前記凸起と前記第１の凹溝が揃えられ、前記ホルダーと前記リテーナリングは各々逆円周方向に回り前記凸起の前記第１の係合面と前記第１の凹溝の前記第２の係合面を係合させることを特徴とする、
    化学機械研磨固定具のホルダー。
15. 各前記凸起は第１のスルーホールを備え、且つ、前記リング状基材の前記第１の結合面が第２のスルーホールを備え、前記第１のスルーホールと前記第２のスルーホールがネジによる締め付けに供することで前記凸起を前記リング状基材に固定させることを特徴とする請求項１４に記載の化学機械研磨固定具のホルダー。
16. 複数の第２の凹溝を更に含み、各前記第２の凹溝が各前記凸起を収納することで前記凸起の摺動を防止することを特徴とする請求項１５に記載の化学機械研磨固定具のホルダー。
17. 各前記凸起は、凸柱を備え、且つ、前記リング状基材の前記第１の結合面が凹孔を備え、前記凸柱を前記凹孔に挿入し、接着剤で前記凸起を前記リング状基材に定着することを特徴とする請求項１４に記載の化学機械研磨固定具のホルダー。
18. 複数の第２の凹溝を更に含み、各前記第２の凹溝が各前記凸起を収納することで前記凸起の摺動を防止することを特徴とする請求項１７に記載の化学機械研磨固定具のホルダー。
19. 各前記凸起は、接着剤により前記リング状基材に定着させることを特徴とする請求項１４に記載の化学機械研磨固定具のホルダー。
20. 複数の第２の凹溝を更に含み、各前記第２の凹溝が各前記凸起を収納することで前記凸起の摺動を防止することを特徴とする請求項１９に記載の化学機械研磨固定具のホルダー。
21. 前記第１の係合面と前記第２の係合面の傾斜角は、１〜６０度とし、且つ、両者が平行になることを特徴とする請求項１４に記載の化学機械研磨固定具のホルダー。
22. 前記凸起は、前記第１の係合面の対向に設けられ、前記リング状基材の半径方向に沿って延伸する平面で、前記第１の係合面のルート部から前記凸起の外側へ傾斜する第１のガイド面を更に含むことを特徴とする請求項１４に記載の化学機械研磨固定具のホルダー。
23. 前記第１の凹溝は、前記第２の係合面の対向に設けられ、前記リング状基材の半径方向に沿って延伸する平面で、前記第１の係合面のルート部から前記凸起の外側へ傾斜し、また、前記第２の係合面と平行になる第２のガイド面を更に含むことを特徴とする請求項２２に記載の化学機械研磨固定具のホルダー。
24. 前記第１のガイド面の傾斜角は、０度とし、且つ、前記第２のガイド面の傾斜角が１〜６０度とすることを特徴とする請求項２３に記載の化学機械研磨固定具のホルダー。
25. 前記第１のガイド面と前記第２のガイド面の傾斜角は、１〜６０度とし、且つ、両者が平行となることを特徴とする請求項２３に記載の化学機械研磨固定具のホルダー。
26. 前記凸起と前記リング状基材とは、一体成形することを特徴とする請求項１４に記載の化学機械研磨固定具のホルダー。
27. 第１の結合面を備えたリング状基材と前記リング状基材の半径方向に沿って延伸する平面で、そのルート部から凸起の外側へ傾斜して逆Ｕ字型構造を形成する第１の係合面を備え、前記第１の結合面に環状配列される複数の凸起とを有するリテーナリングと、
    第２の結合面とホルダーの半径方向に沿って延伸する平面で、そのルート部から前記第２の結合面へ傾斜して逆Ｕ字型構造を形成する第２の係合面を備え、前記第２の結合面に環状配列される複数の第１の凹溝とを有するホルダーと、を含む化学機械研磨固定具であって、
    前記ホルダーと前記リテーナリングを軸方向に揃えることで、前記第１の結合面と前記第２の結合面が揃えられ、前記凸起と前記第１の凹溝が揃えられ、前記ホルダーと前記リテーナリングは各々逆円周方向に回り前記凸起の前記第１の係合面と前記第１の凹溝の前記第２の係合面を係合させることを特徴とする化学機械研磨固定具。
28. 前記第１の係合面と前記第２の係合面の傾斜角は、１〜６０度とし、且つ、両者が平行になることを特徴とする請求項２７に記載の化学機械研磨固定具。
29. 前記凸起は、前記第１の係合面の対向に設けられ、前記リング状基材の半径方向に沿って延伸する平面で、前記第１の係合面のルート部から前記凸起の外側へ傾斜する第１のガイド面を更に含むことを特徴とする請求項２７に記載の化学機械研磨固定具。
30. 前記第１の凹溝は、前記第２の係合面の対向に設けられ、前記リング状基材の半径方向に沿って延伸する平面で、前記第１の係合面のルート部から前記凸起の外側へ傾斜し、また、前記第２の係合面と平行になる第２のガイド面を更に含むことを特徴とする請求項２９に記載の化学機械研磨固定具。
31. 前記第１のガイド面の傾斜角は、０度とし、且つ、前記第２のガイド面の傾斜角が１〜６０度とすることを特徴とする請求項３０に記載の化学機械研磨固定具。
32. 前記第１のガイド面と前記第２のガイド面の傾斜角は、１〜６０度とし、且つ、両者が平行となることを特徴とする請求項３０に記載の化学機械研磨固定具。
33. 前記リング状基材と前記凸起とは、一体成形することを特徴とする請求項２７に記載の化学機械研磨固定具。

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