JP3180432B2 - Ｃｃｄカメラを具備したｉｃ試験装置におけるｃｃｄカメラ基準位置調整方法 - Google Patents
Ｃｃｄカメラを具備したｉｃ試験装置におけるｃｃｄカメラ基準位置調整方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＣＣＤカメラを具備
したＩＣ試験装置におけるＣＣＤカメラ基準位置調整方
法に関し、特にキャリブレーション治具の一部に基準位
置調整用治具を採用してＣＣＤカメラの基準位置調整を
簡単、正確に実施するＣＣＤカメラを具備したＩＣ試験
装置におけるＣＣＤカメラ基準位置調整方法に関する。
したＩＣ試験装置におけるＣＣＤカメラ基準位置調整方
法に関し、特にキャリブレーション治具の一部に基準位
置調整用治具を採用してＣＣＤカメラの基準位置調整を
簡単、正確に実施するＣＣＤカメラを具備したＩＣ試験
装置におけるＣＣＤカメラ基準位置調整方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】先ず、ＣＣＤカメラ１２を具備したＩＣ
試験装置およびその動作について図１および図２を参照
して説明する。Ｘ−Ｙ搬送装置２０に搭載される２個の
吸着ヘッド７および８とＣＣＤカメラ１２とは１個の共
通ベース１４に取付けられており、この共通ベース１４
はθ駆動軸１５についてθ方向に回転することができる
様に構成されている。
試験装置およびその動作について図１および図２を参照
して説明する。Ｘ−Ｙ搬送装置２０に搭載される２個の
吸着ヘッド７および８とＣＣＤカメラ１２とは１個の共
通ベース１４に取付けられており、この共通ベース１４
はθ駆動軸１５についてθ方向に回転することができる
様に構成されている。
【０００３】最初に、ソケット・ティーチングを行な
う。ＣＣＤカメラ１２をパフォーマンス・ボード上のＩ
Ｃソケット１３の上に移動し、ＩＣソケット１３の接触
子に着目してこれを基準としてＩＣソケット１３の中心
位置の座標（ＸT 、ＹT 、θT）を測定、記憶する。次
に、実際に、ＩＣ流し込みを行なう。バッファ・ステー
ジＬに搬送されたＩＣ1 およびＩＣ2 は、ＣＣＤカメラ
１２によりＩＣリードを基準にして姿勢（Ｘ 1 、Ｙ1 、
θ1 ）および（Ｘ2 、Ｙ2 、θ2 ）が認識される。吸着
ヘッド７および８は、この認識データに基づいてＩＣの
姿勢に合わせてＩＣを１個ずつ吸着し、２個のＩＣを吸
着した状態でこれらをＩＣソケット１３上に搬送する。
そして、ＩＣ1 をソケット・ティーチング座標と照合
し、ＩＣ1 のリードをＩＣソケット１３の接触子にコン
タクトさせて試験を実施し、試験が終了すると、次はＩ
Ｃ２とソケット・ティーチング座標を照合し、ＩＣ2 の
リードをＩＣソケット１３の接触子にコンタクトさせて
試験を実施し、試験が終了すると２個のＩＣをバッファ
・ステージＵＬに置き、新たなＩＣをバッファ・ステー
ジＬに取りに行く。
う。ＣＣＤカメラ１２をパフォーマンス・ボード上のＩ
Ｃソケット１３の上に移動し、ＩＣソケット１３の接触
子に着目してこれを基準としてＩＣソケット１３の中心
位置の座標（ＸT 、ＹT 、θT）を測定、記憶する。次
に、実際に、ＩＣ流し込みを行なう。バッファ・ステー
ジＬに搬送されたＩＣ1 およびＩＣ2 は、ＣＣＤカメラ
１２によりＩＣリードを基準にして姿勢（Ｘ 1 、Ｙ1 、
θ1 ）および（Ｘ2 、Ｙ2 、θ2 ）が認識される。吸着
ヘッド７および８は、この認識データに基づいてＩＣの
姿勢に合わせてＩＣを１個ずつ吸着し、２個のＩＣを吸
着した状態でこれらをＩＣソケット１３上に搬送する。
そして、ＩＣ1 をソケット・ティーチング座標と照合
し、ＩＣ1 のリードをＩＣソケット１３の接触子にコン
タクトさせて試験を実施し、試験が終了すると、次はＩ
Ｃ２とソケット・ティーチング座標を照合し、ＩＣ2 の
リードをＩＣソケット１３の接触子にコンタクトさせて
試験を実施し、試験が終了すると２個のＩＣをバッファ
・ステージＵＬに置き、新たなＩＣをバッファ・ステー
ジＬに取りに行く。
【０００４】なお、リード曲がりのＩＣはＩＣ姿勢認識
時にチェックされ、コンタクトせずにリテストに分類さ
れる。上述の通りのＣＣＤカメラ１２を具備したＩＣ試
験装置においては以下の条件が満足されなければならな
い。 １．ＣＣＤカメラ１２によりＩＣ姿勢を認識し、ＣＣＤ
カメラ１２の有する原点に対するズレ量（Ｘ1 、Ｙ1 、
θ1 ）に基づいてコンタクト・チャックがＩＣの姿勢に
合わせてこれを吸着するに際し、コンタクト・チャック
のＩＣ吸着中心とＣＣＤカメラ１２の原点との間の相対
位置は予め判っていなければならない。
時にチェックされ、コンタクトせずにリテストに分類さ
れる。上述の通りのＣＣＤカメラ１２を具備したＩＣ試
験装置においては以下の条件が満足されなければならな
い。 １．ＣＣＤカメラ１２によりＩＣ姿勢を認識し、ＣＣＤ
カメラ１２の有する原点に対するズレ量（Ｘ1 、Ｙ1 、
θ1 ）に基づいてコンタクト・チャックがＩＣの姿勢に
合わせてこれを吸着するに際し、コンタクト・チャック
のＩＣ吸着中心とＣＣＤカメラ１２の原点との間の相対
位置は予め判っていなければならない。
【０００５】２．ＩＣ吸着後、予め記憶しておいたＩＣ
ソケット１３の中心位置（ＸT 、Ｙ T 、θT ）に合わせ
てコンタクト・チャックを移動させてＩＣをＩＣソケッ
ト１３にコンタクトさせるが、このコンタクト高さにお
いてコンタクト・チャックとＣＣＤカメラ１２の原点と
の間の相対位置はあらかじめ判っていなければならない
（バッファ・ステージＬでＩＣを吸着する時のコンタク
ト・チャックの高さとコンタクト高さは相違するた
め）。
ソケット１３の中心位置（ＸT 、Ｙ T 、θT ）に合わせ
てコンタクト・チャックを移動させてＩＣをＩＣソケッ
ト１３にコンタクトさせるが、このコンタクト高さにお
いてコンタクト・チャックとＣＣＤカメラ１２の原点と
の間の相対位置はあらかじめ判っていなければならない
（バッファ・ステージＬでＩＣを吸着する時のコンタク
ト・チャックの高さとコンタクト高さは相違するた
め）。
【０００６】３．ＣＣＤカメラ１２の有するＸ−Ｙ座標
系とＸ−Ｙ搬送装置のＸ−Ｙアームの運動方向との間の
相対関係は予め判っていなければならない。 以上の３条件を満足するに、従来２種類の調整方法が採
用されてきた。これら２種類の方法を説明するに先だっ
て、図３を参照してＩＣ試験装置のキャリブレーション
の説明をしておく。ＣＣＤカメラが本来有しているとこ
ろの仮の原点を０とする座標系をＸ−Ｙとする。ＣＣＤ
カメラの画面に形成した第１のウインドウないし第４の
ウインドウ内に、合わせたい座標系と一致する予め距離
の判っている黒丸を位置させる。第１のウインドウ内の
黒丸の重心座標は（Ｘ1 、Ｙ1 ）、第２のウインドウ内
の黒丸の重心座標は（Ｘ2 、Ｙ2 ）、同様に第３のウイ
ンドウ内の黒丸の重心座標は（Ｘ3 、Ｙ3 ）、第４のウ
インドウ内の黒丸の重心座標は（Ｘ4 、Ｙ4 ）であるも
のとすると、（Ｘ1 、Ｙ1 ）と（Ｘ2 、Ｙ2 ）とを結ぶ
直線と（Ｘ3 、Ｙ3 ）と（Ｘ4 、Ｙ4 ）とを結ぶ直線の
交点を原点０としてこれら２本の直線の方向をＸ、Ｙ座
標とするＸ−Ｙ座標系が求まる。（Ｘ1 、Ｙ 1 ）と（Ｘ
2 、Ｙ2 ）との間の距離および（Ｘ3 、Ｙ3 ）と
（Ｘ4 、Ｙ4 ）との間の距離ａに実際の距離Ａmmを与え
ることにより倍率Ａ／ａ（mm/ 画素 ）が求まる。な
お、黒丸の具備すべき条件についてであるが、これは第
１のウインドウ内の黒丸の中心と第２のウインドウ内の
黒丸の中心とを結ぶ直線の距離は判っており、同様に第
３のウインドウ内の黒丸の中心と第４のウインドウ内の
黒丸の中心とを結ぶ直線の距離は判っており、そしてこ
れら両直線は直交していることである。
系とＸ−Ｙ搬送装置のＸ−Ｙアームの運動方向との間の
相対関係は予め判っていなければならない。 以上の３条件を満足するに、従来２種類の調整方法が採
用されてきた。これら２種類の方法を説明するに先だっ
て、図３を参照してＩＣ試験装置のキャリブレーション
の説明をしておく。ＣＣＤカメラが本来有しているとこ
ろの仮の原点を０とする座標系をＸ−Ｙとする。ＣＣＤ
カメラの画面に形成した第１のウインドウないし第４の
ウインドウ内に、合わせたい座標系と一致する予め距離
の判っている黒丸を位置させる。第１のウインドウ内の
黒丸の重心座標は（Ｘ1 、Ｙ1 ）、第２のウインドウ内
の黒丸の重心座標は（Ｘ2 、Ｙ2 ）、同様に第３のウイ
ンドウ内の黒丸の重心座標は（Ｘ3 、Ｙ3 ）、第４のウ
インドウ内の黒丸の重心座標は（Ｘ4 、Ｙ4 ）であるも
のとすると、（Ｘ1 、Ｙ1 ）と（Ｘ2 、Ｙ2 ）とを結ぶ
直線と（Ｘ3 、Ｙ3 ）と（Ｘ4 、Ｙ4 ）とを結ぶ直線の
交点を原点０としてこれら２本の直線の方向をＸ、Ｙ座
標とするＸ−Ｙ座標系が求まる。（Ｘ1 、Ｙ 1 ）と（Ｘ
2 、Ｙ2 ）との間の距離および（Ｘ3 、Ｙ3 ）と
（Ｘ4 、Ｙ4 ）との間の距離ａに実際の距離Ａmmを与え
ることにより倍率Ａ／ａ（mm/ 画素 ）が求まる。な
お、黒丸の具備すべき条件についてであるが、これは第
１のウインドウ内の黒丸の中心と第２のウインドウ内の
黒丸の中心とを結ぶ直線の距離は判っており、同様に第
３のウインドウ内の黒丸の中心と第４のウインドウ内の
黒丸の中心とを結ぶ直線の距離は判っており、そしてこ
れら両直線は直交していることである。
【０００７】ここで、上述の２種類の調整方法について
説明する。 調整方法 １。 図２および図４を参照するに、調整用チャック３０をバ
ッファ・ステージＬ上に調整用チャック３０取付穴３１
を基準に取付ける。調整用チャック３０上には中心間の
寸法Ａが予め判っている基準像（黒丸）が４個を１組と
して２組形成されており、ここでＸ方向の２個の黒丸の
中心間を結ぶ直線とＹ方向の２個の黒丸の中心間を結ぶ
直線は互いに直交している。Ｘ−Ｙ搬送装置のＸ−Ｙア
ームはＣＣＤカメラをバッファ・ステージＬ上に移動さ
せ、図２に示されるキャリブレーション１を行ない、次
いでＣＣＤカメラを下方に−Ｐだけ移動してキャリブレ
ーション２を行なう。
説明する。 調整方法 １。 図２および図４を参照するに、調整用チャック３０をバ
ッファ・ステージＬ上に調整用チャック３０取付穴３１
を基準に取付ける。調整用チャック３０上には中心間の
寸法Ａが予め判っている基準像（黒丸）が４個を１組と
して２組形成されており、ここでＸ方向の２個の黒丸の
中心間を結ぶ直線とＹ方向の２個の黒丸の中心間を結ぶ
直線は互いに直交している。Ｘ−Ｙ搬送装置のＸ−Ｙア
ームはＣＣＤカメラをバッファ・ステージＬ上に移動さ
せ、図２に示されるキャリブレーション１を行ない、次
いでＣＣＤカメラを下方に−Ｐだけ移動してキャリブレ
ーション２を行なう。
【０００８】また、ＩＣソケットの取付高さについて
も、予めＢ寸法がわかっている基準像（黒丸）が４個形
成されている調整用治具４０をＩＣソケット位置に取付
ける。Ｘ−Ｙ搬送装置のＸ−ＹアームはＣＣＤカメラを
ＩＣソケット位置に移動させてキャリブレーション３お
よび４を行なう。 調整方法 ２ 図５を参照するに、バッファ・ステージＬ上にチャック
取付穴３１を基準に調整用チャック３０を取付ける。調
整用チャック３０のＩＣ吸着点には基準像（黒丸）が１
個形成されている。Ｘ−Ｙ搬送装置のＸ−Ｙアームによ
りＣＣＤカメラをバッファ・ステージＬ上に移動し、Ｃ
ＣＤカメラ画面の撮像範囲のほぼ中心に黒丸をとらえ
る。ここで、Ｘ−ＹアームをＹ方向に＋Ａ／２移動させ
て第１のウインドウにより黒丸をとらえ、Ｙ方向に−Ａ
移動させて第２のウインドウにより黒丸をとらえ、
（Ｘ、Ｙ）＝（Ａ／２、＋Ａ／２）移動させて第３のウ
インドウにより黒丸をとらえ、（Ｘ、Ｙ）＝（−Ａ、
０）移動させて第４のウインドウにより黒丸をとらえる
ことにより、結局、キャリブレーション１を行なう。次
いで、ＣＣＤカメラを（Ｘ、Ｙ）＝（Ａ／２、−Ｐ）だ
け移動して、同様にキャリブレーション２を行う。そし
て、ＩＣソケットの取付高さにおいても設計上のＩＣソ
ケットの中心位置に黒丸のある調整用治具４０を取付
け、ＣＣＤカメラをＩＣソケット位置に移動し、 （Ｘ、Ｙ）＝（０、＋Ｂ／２） 第１のウインドウ （Ｘ、Ｙ）＝（０、−Ｂ） 第２のウインドウ （Ｘ、Ｙ）＝（Ｂ／２、＋Ｂ／２） 第３のウインドウ （Ｘ、Ｙ）＝（−Ｂ、０） 第４のウインドウ とＸ−Ｙ移動させ、キャリブレーション３および４を行
なう。
も、予めＢ寸法がわかっている基準像（黒丸）が４個形
成されている調整用治具４０をＩＣソケット位置に取付
ける。Ｘ−Ｙ搬送装置のＸ−ＹアームはＣＣＤカメラを
ＩＣソケット位置に移動させてキャリブレーション３お
よび４を行なう。 調整方法 ２ 図５を参照するに、バッファ・ステージＬ上にチャック
取付穴３１を基準に調整用チャック３０を取付ける。調
整用チャック３０のＩＣ吸着点には基準像（黒丸）が１
個形成されている。Ｘ−Ｙ搬送装置のＸ−Ｙアームによ
りＣＣＤカメラをバッファ・ステージＬ上に移動し、Ｃ
ＣＤカメラ画面の撮像範囲のほぼ中心に黒丸をとらえ
る。ここで、Ｘ−ＹアームをＹ方向に＋Ａ／２移動させ
て第１のウインドウにより黒丸をとらえ、Ｙ方向に−Ａ
移動させて第２のウインドウにより黒丸をとらえ、
（Ｘ、Ｙ）＝（Ａ／２、＋Ａ／２）移動させて第３のウ
インドウにより黒丸をとらえ、（Ｘ、Ｙ）＝（−Ａ、
０）移動させて第４のウインドウにより黒丸をとらえる
ことにより、結局、キャリブレーション１を行なう。次
いで、ＣＣＤカメラを（Ｘ、Ｙ）＝（Ａ／２、−Ｐ）だ
け移動して、同様にキャリブレーション２を行う。そし
て、ＩＣソケットの取付高さにおいても設計上のＩＣソ
ケットの中心位置に黒丸のある調整用治具４０を取付
け、ＣＣＤカメラをＩＣソケット位置に移動し、 （Ｘ、Ｙ）＝（０、＋Ｂ／２） 第１のウインドウ （Ｘ、Ｙ）＝（０、−Ｂ） 第２のウインドウ （Ｘ、Ｙ）＝（Ｂ／２、＋Ｂ／２） 第３のウインドウ （Ｘ、Ｙ）＝（−Ｂ、０） 第４のウインドウ とＸ−Ｙ移動させ、キャリブレーション３および４を行
なう。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述の調整方法には下
記の通りの欠点がある。 調整方法１の欠点。 調整用チャック３０、調整用治具４０に形成されている
Ｘ方向の２個の黒丸の中心間を結ぶ直線とＹ方向の２個
の黒丸の中心間を結ぶ直線は共にＸ−Ｙ搬送装置のＸ−
Ｙアームの運動方向と完全に一致していなければなら
ず、そしてＣＣＤカメラの光軸とコンタクト・チャック
の垂直運動方向は一致していて取付けピッチ公差もほと
んど０である必要がある。しかし、この様な条件を満足
する機械的調整は大変に困難である。
記の通りの欠点がある。 調整方法１の欠点。 調整用チャック３０、調整用治具４０に形成されている
Ｘ方向の２個の黒丸の中心間を結ぶ直線とＹ方向の２個
の黒丸の中心間を結ぶ直線は共にＸ−Ｙ搬送装置のＸ−
Ｙアームの運動方向と完全に一致していなければなら
ず、そしてＣＣＤカメラの光軸とコンタクト・チャック
の垂直運動方向は一致していて取付けピッチ公差もほと
んど０である必要がある。しかし、この様な条件を満足
する機械的調整は大変に困難である。
【００１０】調整方法２の欠点。 ＣＣＤカメラの光軸とコンタクト・チャックの垂直運動
方向は一致していて取付けピッチ公差もほとんど０であ
る必要があるが、この様な条件を満足する機械的調整は
に大変に困難である。この発明は、上述の通りの欠点を
解消したＣＣＤカメラを具備したＩＣ試験装置における
ＣＣＤカメラ基準位置調整方法を提供するものである。
方向は一致していて取付けピッチ公差もほとんど０であ
る必要があるが、この様な条件を満足する機械的調整は
に大変に困難である。この発明は、上述の通りの欠点を
解消したＣＣＤカメラを具備したＩＣ試験装置における
ＣＣＤカメラ基準位置調整方法を提供するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】コンタクト・チャックを
正確に位置決めするガイド・ピン５１とコンタクト・チ
ャックを取り付ける取付面とを有するコンタクト・ヘッ
ド５０およびＣＣＤカメラ１２がＸ−Ｙ搬送装置２０の
Ｘ−Ｙアームに装着されているＩＣ試験装置において、
実際のＩＣのリード高さと同一の高さに調整されたバッ
ファ・ステージＬ上の調整用チャック３０と、ＩＣソケ
ットをティーチングする際の接触子の高さに高さを調整
した調整用治具４０と、円形治具５３と、中心位置に円
形治具５３と厳しい嵌合寸法の座グリ穴５４が形成され
ているキャリブレーション用コンタクト・チャック５２
とにより構成されるキャリブレーション治具およびキャ
リブレーション用動作プログラムを使用して、バッファ
・ステージＬ上のＩＣ吸着高さにおけるＣＣＤカメラ１
２とＩＣ吸着中心の相対関係を測定し、コンタクト高さ
におけるＣＣＤカメラ１２とＩＣ吸着中心の相対関係を
測定し、次いでそれぞれの高さにおけるキャリブレーシ
ョンを実施するＣＣＤカメラを具備したＩＣ試験装置に
おけるＣＣＤカメラ基準位置調整方法、を構成した。
正確に位置決めするガイド・ピン５１とコンタクト・チ
ャックを取り付ける取付面とを有するコンタクト・ヘッ
ド５０およびＣＣＤカメラ１２がＸ−Ｙ搬送装置２０の
Ｘ−Ｙアームに装着されているＩＣ試験装置において、
実際のＩＣのリード高さと同一の高さに調整されたバッ
ファ・ステージＬ上の調整用チャック３０と、ＩＣソケ
ットをティーチングする際の接触子の高さに高さを調整
した調整用治具４０と、円形治具５３と、中心位置に円
形治具５３と厳しい嵌合寸法の座グリ穴５４が形成され
ているキャリブレーション用コンタクト・チャック５２
とにより構成されるキャリブレーション治具およびキャ
リブレーション用動作プログラムを使用して、バッファ
・ステージＬ上のＩＣ吸着高さにおけるＣＣＤカメラ１
２とＩＣ吸着中心の相対関係を測定し、コンタクト高さ
におけるＣＣＤカメラ１２とＩＣ吸着中心の相対関係を
測定し、次いでそれぞれの高さにおけるキャリブレーシ
ョンを実施するＣＣＤカメラを具備したＩＣ試験装置に
おけるＣＣＤカメラ基準位置調整方法、を構成した。
【００１２】
【実施例】この発明の実施例を図２および図６を参照し
て説明する。キャリブレーション用コンタクト・チャッ
ク５２の中心位置には円形治具５３（黒色）と厳しい嵌
合寸法の座グリ穴５４が形成されており、この座グリ穴
５４はＩＣを吸着する時の吸着穴と連通している。ま
た、コンタクト・チャック５２自身もガイド・ピン５１
により高精度に位置決めされた状態でＸ−Ｙ搬送装置の
Ｘ−Ｙアームに固定されている。
て説明する。キャリブレーション用コンタクト・チャッ
ク５２の中心位置には円形治具５３（黒色）と厳しい嵌
合寸法の座グリ穴５４が形成されており、この座グリ穴
５４はＩＣを吸着する時の吸着穴と連通している。ま
た、コンタクト・チャック５２自身もガイド・ピン５１
により高精度に位置決めされた状態でＸ−Ｙ搬送装置の
Ｘ−Ｙアームに固定されている。
【００１３】以下、動作シーケンスを示す（Ｒ側のコン
タクト・チャックについて）。 Ｘ−Ｙ搬送装置のＸ−Ｙアームを原点に移動する。 キャリブレーション用コンタクト・チャック５２に
黒色の円形治具５３を吸着させる。 Ｘ−Ｙ搬送装置のＸ−Ｙアームをバッファ・ステー
ジＬ上を移動して図６に示される状態にする。
タクト・チャックについて）。 Ｘ−Ｙ搬送装置のＸ−Ｙアームを原点に移動する。 キャリブレーション用コンタクト・チャック５２に
黒色の円形治具５３を吸着させる。 Ｘ−Ｙ搬送装置のＸ−Ｙアームをバッファ・ステー
ジＬ上を移動して図６に示される状態にする。
【００１４】 キャリブレーション用コンタクト・チ
ャック５２はエア・シリンダによりバッファ・ステージ
Ｌに降下せしめられる。 吸着解放し、円形治具５３
をバッファ・ステージ上に残し、コンタクト・チャック
５２を上昇する。 Ｘ−Ｙアームを（Ｘ、Ｙ）＝（０、Ｃ＋Ａ／２）だ
け移動し、第１のウインドウにより円形治具をとらえ重
心計測を行う。
ャック５２はエア・シリンダによりバッファ・ステージ
Ｌに降下せしめられる。 吸着解放し、円形治具５３
をバッファ・ステージ上に残し、コンタクト・チャック
５２を上昇する。 Ｘ−Ｙアームを（Ｘ、Ｙ）＝（０、Ｃ＋Ａ／２）だ
け移動し、第１のウインドウにより円形治具をとらえ重
心計測を行う。
【００１５】 Ｘ−Ｙアームを（Ｘ、Ｙ）＝（０、−
Ａ）だけ移動し、第２のウインドウに円形治具をとらえ
重心計測を行う。 Ｘ−Ｙアームを（Ｘ、Ｙ）＝（Ａ／２、Ａ／２）だ
け移動し、第３のウインドウに円形治具をとらえ重心計
測を行う。 Ｘ−Ｙアームを（Ｘ、Ｙ）＝（−Ａ、０）だけ移動
し、第４のウインドウに円形治具をとらえ重心計測を行
う。
Ａ）だけ移動し、第２のウインドウに円形治具をとらえ
重心計測を行う。 Ｘ−Ｙアームを（Ｘ、Ｙ）＝（Ａ／２、Ａ／２）だ
け移動し、第３のウインドウに円形治具をとらえ重心計
測を行う。 Ｘ−Ｙアームを（Ｘ、Ｙ）＝（−Ａ、０）だけ移動
し、第４のウインドウに円形治具をとらえ重心計測を行
う。
【００１６】以上の様なシーケンスによりコンタクト・
チャック５２のＲ側についてキャリブレーション１を行
なう。Ｆ側についても、同様にキャリブレーション２を
行なう。ただし、キャリブレーション２の場合のにお
けるＸ−Ｙ搬送装置のＸ−Ｙアーム移動は（Ｘ、Ｙ）＝
（０、Ｄ＋Ａ／２）である。ここにおいて、バッファ・
ステージＬ上の調整用チャック３０は実際のＩＣのコン
タクト・チャックのリード高さと同一の高さとされる。
チャック５２のＲ側についてキャリブレーション１を行
なう。Ｆ側についても、同様にキャリブレーション２を
行なう。ただし、キャリブレーション２の場合のにお
けるＸ−Ｙ搬送装置のＸ−Ｙアーム移動は（Ｘ、Ｙ）＝
（０、Ｄ＋Ａ／２）である。ここにおいて、バッファ・
ステージＬ上の調整用チャック３０は実際のＩＣのコン
タクト・チャックのリード高さと同一の高さとされる。
【００１７】次ぎに、ＩＣソケット取付高さにおいてキ
ャリブレーションを行なう。調整用治具の高さはＩＣソ
ケットをティーチングする際の接触子の高さに合わされ
ている。以下、動作シーケンスを示す。 Ｘ−Ｙ搬送装置のＸ−Ｙアームを原点に移動する。
ャリブレーションを行なう。調整用治具の高さはＩＣソ
ケットをティーチングする際の接触子の高さに合わされ
ている。以下、動作シーケンスを示す。 Ｘ−Ｙ搬送装置のＸ−Ｙアームを原点に移動する。
【００１８】 キャリブレーション用コンタクト・チ
ャック５２のＲ側に円形治具５３を吸着させる Ｘ−Ｙ搬送装置のＸ−Ｙアームはコンタクト・チャ
ック５２のＲ側をＩＣソケット位置に移動する。 コンタクト・チャック５２のＲ側はエア・シリンダ
により調整用治具４０に降下せしめられる。
ャック５２のＲ側に円形治具５３を吸着させる Ｘ−Ｙ搬送装置のＸ−Ｙアームはコンタクト・チャ
ック５２のＲ側をＩＣソケット位置に移動する。 コンタクト・チャック５２のＲ側はエア・シリンダ
により調整用治具４０に降下せしめられる。
【００１９】 吸着解放し、円形治具５３を調整用治
具４０上に残し、コンタクト・チャック５２を上昇せし
める。 Ｘ−Ｙアームを（Ｘ、Ｙ）＝（０、Ｃ＋Ｂ／２）だ
け移動し、第１ウインドウにより円形治具をとらえ重心
計測を行う。 Ｘ−Ｙアームを（Ｘ、Ｙ）＝（０、−Ｂ）だけ移動
し、第２ウインドウにより円形治具をとらえ重心計測を
行う。
具４０上に残し、コンタクト・チャック５２を上昇せし
める。 Ｘ−Ｙアームを（Ｘ、Ｙ）＝（０、Ｃ＋Ｂ／２）だ
け移動し、第１ウインドウにより円形治具をとらえ重心
計測を行う。 Ｘ−Ｙアームを（Ｘ、Ｙ）＝（０、−Ｂ）だけ移動
し、第２ウインドウにより円形治具をとらえ重心計測を
行う。
【００２０】 Ｘ−Ｙアームを（Ｘ、Ｙ）＝（Ｂ／
２、Ｂ／２）だけ移動し、第３ウインドウにより円形治
具をとらえ重心計測を行う。 Ｘ−Ｙアームを（Ｘ、Ｙ）＝（−Ｂ、０）だけ移動
し、第４ウインドウにより円形治具をとらえ重心計測を
行う。 以上の様なシーケンスによりコンタクト・チャックＣ／
ＫのＲ側についてキャリブレーション３を行なう。Ｆ側
についても同様にキャリブレーション４を行なう。ただ
し、キャリブレーション４の場合のにおけるＸ−Ｙ搬
送装置のＸ−Ｙアーム移動は（Ｘ、Ｙ）＝（０、Ｄ＋Ｂ
／２）である。
２、Ｂ／２）だけ移動し、第３ウインドウにより円形治
具をとらえ重心計測を行う。 Ｘ−Ｙアームを（Ｘ、Ｙ）＝（−Ｂ、０）だけ移動
し、第４ウインドウにより円形治具をとらえ重心計測を
行う。 以上の様なシーケンスによりコンタクト・チャックＣ／
ＫのＲ側についてキャリブレーション３を行なう。Ｆ側
についても同様にキャリブレーション４を行なう。ただ
し、キャリブレーション４の場合のにおけるＸ−Ｙ搬
送装置のＸ−Ｙアーム移動は（Ｘ、Ｙ）＝（０、Ｄ＋Ｂ
／２）である。
【００２１】この発明の他の実施例においては、バッフ
ァ・ステージＬ上の調整用チャック３０に円形治具５３
吸着用の穴を形成し、この穴に円形治具５３を吸着固定
する様にする。コンタクト・チャックは１個であっても
よいことは言うまでもない。円形治具５３の吸着口は予
め判っている位置であれば中心位置からズレた位置であ
っても差し支えない。
ァ・ステージＬ上の調整用チャック３０に円形治具５３
吸着用の穴を形成し、この穴に円形治具５３を吸着固定
する様にする。コンタクト・チャックは１個であっても
よいことは言うまでもない。円形治具５３の吸着口は予
め判っている位置であれば中心位置からズレた位置であ
っても差し支えない。
【００２２】
【発明の効果】１．固定された１点（円形治具５３）を
Ｘ−Ｙ搬送装置に取り付けられたＣＣＤカメラ１２をＸ
方向およびＹ方向にそれぞれ移動させることにより、見
かけ上円形治具５３を移動させ、その移動方向および移
動量をもとにＣＣＤカメラ１２の座標系を決定している
ために、ＣＣＤカメラ１２のもつＸ−Ｙ座標系とＸ−Ｙ
搬送装置２０のＸ−Ｙアームの運動方向ＸおよびＹを一
致させることができる。
Ｘ−Ｙ搬送装置に取り付けられたＣＣＤカメラ１２をＸ
方向およびＹ方向にそれぞれ移動させることにより、見
かけ上円形治具５３を移動させ、その移動方向および移
動量をもとにＣＣＤカメラ１２の座標系を決定している
ために、ＣＣＤカメラ１２のもつＸ−Ｙ座標系とＸ−Ｙ
搬送装置２０のＸ−Ｙアームの運動方向ＸおよびＹを一
致させることができる。
【００２３】２．バッファ・ステージＬのＩＣ吸着高さ
におけるＣＣＤカメラ１２とＩＣ吸着中心の相対関係、
コンタクト高さにおけるＣＣＤカメラ１２とＩＣ吸着中
心の相対関係は、キャリブレーション用コンタクト・チ
ャック５２に吸着された円形治具５３をバッファ・ステ
ージＬのＩＣ吸着高さおよびコンタクト高さにおき、こ
れをＣＣＤカメラ１２に認識させることのみの作業で済
むことから、従来の方法と比較して簡単に認識し、ティ
ーチングすることができる。
におけるＣＣＤカメラ１２とＩＣ吸着中心の相対関係、
コンタクト高さにおけるＣＣＤカメラ１２とＩＣ吸着中
心の相対関係は、キャリブレーション用コンタクト・チ
ャック５２に吸着された円形治具５３をバッファ・ステ
ージＬのＩＣ吸着高さおよびコンタクト高さにおき、こ
れをＣＣＤカメラ１２に認識させることのみの作業で済
むことから、従来の方法と比較して簡単に認識し、ティ
ーチングすることができる。
【００２４】３．キャリブレーション用コンタクト・チ
ャック５２に吸着された円形治具５３を基準高さ（バッ
ファ・ステージＬのＩＣ吸着高さおよびコンタクト高
さ）に置き、それぞれの高さにおけるＣＣＤカメラ１２
とコンタクト・チャック５２のＩＣ吸着中心の相対位置
関係を認識していることから、ＣＣＤカメラ１２の光軸
とコンタクト・チャック５２の垂直運動方向が一致して
いる必要はなく、取付けピッチもラフな公差でよい。
ャック５２に吸着された円形治具５３を基準高さ（バッ
ファ・ステージＬのＩＣ吸着高さおよびコンタクト高
さ）に置き、それぞれの高さにおけるＣＣＤカメラ１２
とコンタクト・チャック５２のＩＣ吸着中心の相対位置
関係を認識していることから、ＣＣＤカメラ１２の光軸
とコンタクト・チャック５２の垂直運動方向が一致して
いる必要はなく、取付けピッチもラフな公差でよい。
【００２５】４．調整用チャック３０、調整用治具４０
は円形治具を基準高さに置くだけのものであるから、調
整用チャック３０、調整用治具４０の取付けに特別な精
度はいらない。 ５．調整用チャック３０、調整用治具４０、キャリブレ
ーション用コンタクト・チャック５２、円形治具５３を
一組としてキャリブレーション治具とすると、客先にお
いてＩＣコンタクト・チャックを取り外し、キャリブレ
ーション治具を取付けることにより、いつでもキャリブ
レーションを行なうことができる。ここで、キャリブレ
ーション・シーケンスは１個の動作プログラムとされて
いる。
は円形治具を基準高さに置くだけのものであるから、調
整用チャック３０、調整用治具４０の取付けに特別な精
度はいらない。 ５．調整用チャック３０、調整用治具４０、キャリブレ
ーション用コンタクト・チャック５２、円形治具５３を
一組としてキャリブレーション治具とすると、客先にお
いてＩＣコンタクト・チャックを取り外し、キャリブレ
ーション治具を取付けることにより、いつでもキャリブ
レーションを行なうことができる。ここで、キャリブレ
ーション・シーケンスは１個の動作プログラムとされて
いる。
【図１】ＩＣ試験装置およびその動作を説明する図。
【図２】ＩＣ試験装置の動作シーケンスを説明する図。
【図３】ＩＣ試験装置のキャリブレーションの仕方を説
明する図。
明する図。
【図４】従来の調整方法を説明する図。
【図５】従来の調整方法を説明する図。
【図６】この発明の実施例を説明する図。
１２ ＣＣＤカメラ ２０ Ｘ−Ｙ搬送装置 ３０ 調整用チャック ４０ 調整用治具 ５０ コンタクト・ヘッド ５１ ガイド・ピン ５２ キャリブレーション用コンタクト・チャック ５３ 円形治具 Ｌ バッファ・ステージ
Claims (1)
- 【請求項１】 コンタクト・チャックを正確に位置決め
するガイド・ピンとコンタクト・チャックを取り付ける
取付面とを有するコンタクト・ヘッドおよびＣＣＤカメ
ラがＸ−Ｙ搬送装置のＸ−Ｙアームに装着されているＩ
Ｃ試験装置において、実際のＩＣのリード高さと同一の
高さに調整されたバッファ・ステージ上の調整用チャッ
クと、ＩＣソケットをティーチングする際の接触子の高
さに高さを調整した調整用治具と、円形治具と、中心位
置に円形治具と厳しい嵌合寸法の座グリ穴が形成されて
いるキャリブレーション用コンタクト・チャックとによ
り構成されるキャリブレーション治具およびキャリブレ
ーション用動作プログラムを使用して、バッファ・ステ
ージ上のＩＣ吸着高さにおけるＣＣＤカメラとＩＣ吸着
中心の相対関係を測定し、コンタクト高さにおけるＣＣ
ＤカメラとＩＣ吸着中心の相対関係を測定し、次いでそ
れぞれの高さにおけるキャリブレーションを実施するこ
とを特徴とするＣＣＤカメラを具備したＩＣ試験装置に
おけるＣＣＤカメラ基準位置調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10470792A JP3180432B2 (ja) | 1992-04-23 | 1992-04-23 | Ｃｃｄカメラを具備したｉｃ試験装置におけるｃｃｄカメラ基準位置調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10470792A JP3180432B2 (ja) | 1992-04-23 | 1992-04-23 | Ｃｃｄカメラを具備したｉｃ試験装置におけるｃｃｄカメラ基準位置調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05297060A JPH05297060A (ja) | 1993-11-12 |
| JP3180432B2 true JP3180432B2 (ja) | 2001-06-25 |
Family
ID=14387960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10470792A Expired - Fee Related JP3180432B2 (ja) | 1992-04-23 | 1992-04-23 | Ｃｃｄカメラを具備したｉｃ試験装置におけるｃｃｄカメラ基準位置調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3180432B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI484200B (zh) * | 2013-05-28 | 2015-05-11 | Richtek Technology Corp | 測試操作機與測試載具以及相關測試方法 |
-
1992
- 1992-04-23 JP JP10470792A patent/JP3180432B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05297060A (ja) | 1993-11-12 |
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