JP3179649U - エキスパンダ用拡張リング - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フィルムシートの周辺部を内外から挟持する内側拡張リング1及び外側拡張リング2からなる。少なくとも内側拡張リング1は、その半径方向に沿った断面形状が円形であって全体が円環状に形成されている。
【選択図】図1
Description
図3において、10は環状のウェハーリング、11は拡張ステージ100の上に真空吸着されたフィルムシートであり、フィルムシート11はウェハーリング10により保持されている。また、フィルムシート11の上面には、ダイシング済みのウェハ(チップ13)が貼り付けられている。
更に、600,700は、ウェハーリング100を上下から保持するためのロウアークランプ,アッパークランプである。
なお、図3は拡張ステージ100を昇降装置200により上昇させてフィルムシート11を外側へ拡張させ、チップ13を分離させた状態を示している。
図4に示す拡張リング103は、内側拡張リング101及び外側拡張リング102によって構成されている。このうち、内側拡張リング101は、フィルムシート11との当接部分の断面形状がアール状に加工されており、フィルムシート11の上記当接部分が応力により損傷しないように工夫されている。
また、図5(a),(b)の従来技術では、フィルムシート11の端部を内外から断面円弧状の拡張リング105,106,108や断面S字状の拡張リング107により挟持することでフィルムシート11における応力の集中を防ぐことは可能であるが、拡張リングの形状、構造が概して複雑である。更に、図5(c)の従来技術では、外側拡張リング110の形状、構造は単純であるものの、フィルムシート11の端部が鋭角状に2回折り曲げられる構造であり、応力の集中によってフィルムシート11を損傷する恐れがある。
少なくとも前記内側拡張リングは、その半径方向に沿った断面形状が円形であって全体が円環状に形成されていることを特徴とする。
また、フィルムシートにおける応力の集中が起きにくい断面形状としたことにより、フィルムシートの損傷を防止することが可能である。
図1は、本実施形態に係る拡張リング3の断面図及び平面図であり、内側拡張リング1と外側拡張リング2とを組み合わせた状態で図示している。
図1において、内側拡張リング1は、その半径方向に沿った断面形状が円形であって全体が円環状に形成されている。また、外側拡張リング2は、内側拡張リング1の外周面に適合する凹曲面状の内周面2a(図2を参照)を備え、内側拡張リング1の外周面と外側拡張リング2の内周面2aとによってフィルムシート11の周辺部を内外から挟持するように形成されている。
本考案の特徴は、内側拡張リング1を、その半径方向に沿った断面形状が円形であって全体を円環状に形成することにある。これに対し、他方の外側拡張リング2は、内側拡張リング1の外周面に適合する凹曲面状の内周面2aを備えていれば良く、外側拡張リング2の断面形状は、図2に示した例に特に限定されるものではない。
2:外側拡張リング
2a:内周面
3:拡張リング
11:フィルムシート
100:拡張ステージ
Claims (2)
- エキスパンダの拡張ステージの上面に配置されたフィルムシートをその半径方向の外側へ拡張することにより前記フィルムシートに載置されたダイシング済みのウエハを多数のチップに分離する際に、前記フィルムシートの周辺部を保持するために使用される拡張リングであって、前記フィルムシートの周辺部を内外から挟持する内側拡張リング及び外側拡張リングからなる拡張リングにおいて、
少なくとも前記内側拡張リングは、その半径方向に沿った断面形状が円形であって全体が円環状に形成されていることを特徴とするエキスパンダ用拡張リング。 - 請求項1に記載した拡張リングにおいて、
前記外側拡張リングは、前記内側拡張リングの外周面に適合する凹曲面状の内周面を備え、前記内側拡張リングの外周面と前記外側拡張リングの内周面とによって前記フィルムシートの周辺部を内外から挟持することを特徴とするエキスパンダ用拡張リング。
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JP2012005331U JP3179649U (ja) | 2012-08-31 | 2012-08-31 | エキスパンダ用拡張リング |
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JP2012005331U JP3179649U (ja) | 2012-08-31 | 2012-08-31 | エキスパンダ用拡張リング |
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JP (1) | JP3179649U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210132412A (ko) * | 2020-04-27 | 2021-11-04 | 김태원 | 캐리어 필름 클램프 장치 |
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2012
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