JP3176147U - ガラス基板の収納容器および基板支持具 - Google Patents

ガラス基板の収納容器および基板支持具 Download PDF

Info

Publication number
JP3176147U
JP3176147U JP2012001772U JP2012001772U JP3176147U JP 3176147 U JP3176147 U JP 3176147U JP 2012001772 U JP2012001772 U JP 2012001772U JP 2012001772 U JP2012001772 U JP 2012001772U JP 3176147 U JP3176147 U JP 3176147U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass substrate
support
support groove
substrate
container
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2012001772U
Other languages
English (en)
Inventor
▲黄▼瑞堂
方瑞揚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Avanstrate Inc
Original Assignee
Avanstrate Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Avanstrate Inc filed Critical Avanstrate Inc
Priority to JP2012001772U priority Critical patent/JP3176147U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3176147U publication Critical patent/JP3176147U/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

【課題】発泡樹脂によるクッション性や取り扱いの容易性を確保しつつ、ガラス基板の側縁部の汚染を抑制することができるガラス基板の収納容器を提供する。
【解決手段】本考案のガラス基板の収納容器10は、ガラス基板を収納可能に箱形に形成されるとともに、2つの側壁11aの内側面に支持溝14が形成された容器本体11と、容器本体11の上部に配置されるとともに、支持溝14に支持されるガラス基板の側縁部の一部を支持溝14よりも上側で支持する支持溝18が形成された基板支持具15と、を備える。容器本体11は、支持溝14の形成部位を含めて発泡樹脂によって形成され、基板支持具15における支持溝18の形成部位は、発泡樹脂に比べてガラス基板との接触時における樹脂成分の移行性が低い樹脂によって形成されている。また、支持溝18の幅寸法は、支持溝14の幅寸法よりも小さく、かつガラス基板の板厚寸法よりも大きく設定されている。
【選択図】図1

Description

本考案は、ガラス基板を収納するガラス基板の収納容器および基板支持具に関する。
ガラス基板の保管や輸送、あるいは梱包などの目的で使用される「ガラス基板の収納容器」として、たとえば図8に示す構成のものが知られている(特許文献1を参照)。図示した収納容器50は、大きくは、容器本体51と蓋体52とによって構成されている。容器本体51は、図示しないガラス基板を収納可能な有底の箱形に形成されている。容器本体51の相対向する2つの側壁の内側面には、それぞれ支持溝53が形成されている。支持溝53は、ガラス基板の側縁部を支持するものである。蓋体52は、容器本体51の開口部を開閉するものである。
上記構成からなる収納容器50にガラス基板を収納する場合は、まず、容器本体51の上方にガラス基板を縦向きに配置する。次に、ガラス基板の両方の側縁部をそれぞれに対応する支持溝53に位置合わせしながら、容器本体51の開口部を通してガラス基板を挿入する。次に、容器本体51に蓋体52を取り付ける。これにより、収納容器50にガラス基板が収納される。
一方、上述のように収納したガラス基板を収納容器50から取り出す場合は、まず、容器本体51から蓋体52を取り外す。次に、容器本体51に収納されているガラス基板を支持溝53に沿って上方に引き上げる。これにより、容器本体51からガラス基板が取り出される。
特許第2552625号公報
上記従来の収納容器50においては、振動等に対するクッション性や取り扱いの容易性などを考慮して、容器本体51および蓋体52をそれぞれ発泡樹脂により形成している。また、容器本体51にガラス基板を収納する場合は、ガラス基板の側縁部を容器本体51の支持溝53に挿入している。このため、容器本体51に対してガラス基板を出し入れするときや、容器本体51にガラス基板を収納しているときに、図9に示すように、ガラス基板54の側縁部が樹脂成分の付着によって汚染される場合があった。
こうしたガラス基板の汚染は、容器本体51の支持溝53とガラス基板54の側縁部との接触部分で、発泡樹脂の樹脂成分がガラス基板54に移行することにより発生するものである。樹脂成分の移行による汚染は、エッチング性のある薬液、例えば、フッ酸系、無機アルカリ洗剤などを用いても、除去することは難しかった。ただし、樹脂成分の移行による汚染は限定的であり、また汚染される領域はガラス基板54の側縁部に限られており、これまで特に問題にはなっていなかった。しかし、ガラス基板54に要求される品質が向上している昨今では、これまでよりも高い清浄度が求められるようになっている。
この対策としては、容器本体51を非発泡樹脂で形成することも考えられるが、その場合は、上述したクッション性や取り扱いの容易性とのトレードオフになってしまう。
本考案の主な目的は、発泡樹脂によるクッション性や取り扱いの容易性を確保しつつ、ガラス基板の側縁部の汚染を抑制することができるガラス基板の収納容器および基板支持具を提供することにある。
本考案の第1の態様は、
ガラス基板を収納可能に箱形に形成されるとともに、相対向する2つの側壁の内側面に前記ガラス基板の側縁部を支持する第1の支持溝が形成された容器本体と、
前記容器本体の上部に配置されるとともに、前記第1の支持溝に支持される前記ガラス基板の側縁部の一部を前記第1の支持溝よりも上側で支持する第2の支持溝が形成された基板支持具と、を備え、
前記容器本体は、発泡樹脂によって形成され、
前記基板支持具の少なくとも前記第2の支持溝の形成部位は、前記発泡樹脂に比べて前記ガラス基板との接触時における樹脂成分の移行性が低い樹脂によって形成され、
前記第2の支持溝の幅寸法は、前記第1の支持溝の幅寸法よりも小さく、かつ前記ガラス基板の板厚寸法よりも大きく設定されている
ことを特徴とするガラス基板の収納容器である。
本考案の第2の態様は、
前記第2の支持溝の形成部位が、自己潤滑性を有する樹脂によって形成されている
ことを特徴とする上記第1の態様に記載のガラス基板の収納容器である。
本考案の第3の態様は、
前記樹脂がポリアセタールである
ことを特徴とする上記第1または第2の態様に記載のガラス基板の収納容器である。
本考案の第4の態様は、
前記基板支持具は、前記容器本体に対して着脱可能に構成されている
ことを特徴とする上記第1〜第3の態様のいずれか1つに記載のガラス基板の収納容器である。
本考案の第5の態様は、
ガラス基板を収納可能に箱形に形成されるとともに、相対向する2つの側壁の内側面に前記ガラス基板の側縁部を支持する第1の支持溝が形成され、かつ発泡樹脂によって形成された容器本体を備えるガラス基板の収納容器に用いられる基板支持具であって、
前記容器本体の上部に取り付けられるとともに、前記第1の支持溝に支持される前記ガラス基板の側縁部の一部を前記第1の支持溝よりも上側で支持する第2の支持溝が形成され、
少なくとも前記第2の支持溝の形成部位は、前記発泡樹脂に比べて前記ガラス基板との接触時における樹脂成分の移行性が低い樹脂によって形成され、
前記第2の支持溝の幅寸法は、前記第1の支持溝の幅寸法よりも小さく、かつ前記ガラス基板の板厚寸法よりも大きく設定されている
ことを特徴とする基板支持具である。
本考案によれば、発泡樹脂によるクッション性や取り扱いの容易性を確保しつつ、ガラス基板の側縁部の汚染を抑制することができる。
本考案の実施の形態に係るガラス基板の収納容器の構成例を示すもので、図中(A)は正面図、(B)は側面図である。 本発明の実施の形態に係る容器本体の断面図である。 本発明の実施の形態に係る基板支持具の構成例を示す平面図である。 容器本体の上部に基板支持具を取り付けたときの各部の配置関係を示す要部平面図である。 収納容器にガラス基板を収納するときの手順を説明する図(その1)である。 収納容器にガラス基板を収納するときの手順を説明する図(その2)である。 基板支持具の他の構成例を示す平面図である。 従来におけるガラス基板の収納容器の構成を示す斜視図である。 ガラス基板の側縁部に樹脂成分が付着した状態を示す図である。
以下、本考案の実施の形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。
本実施の形態においては、以下の手順で説明を行う。
1.ガラス基板の収納容器の概略構成
2.ガラス基板の収納容器の使用方法
3.実施の形態に係る効果
4.変形例等
<1.ガラス基板の収納容器の概略構成>
図1は本考案の実施の形態に係るガラス基板の収納容器の構成例を示すもので、図中(A)は正面図、(B)は側面図である。
図示したガラス基板の収納容器(以下、単に「収納容器」ともいう。)10は、大きくは、容器本体11と蓋体12と基板支持具15とによって構成されている。なお、図中のX方向は収納容器10の幅方向、Y方向は収納容器10の奥行き方向、Z方向は収納容器10の高さ方向をそれぞれ示している。
(容器本体)
容器本体11は、図示しないガラス基板を収納可能な収納空間を内部に有するものである。容器本体11は、発泡樹脂により有底の箱形に形成されている。さらに詳述すると、容器本体11は、たとえば、ポリプロピレン系、ポリオレフィン系などの発泡樹脂により形成されている。また、容器本体11は、図2にも示すように、X方向で相対向する2つの側壁11aと、Y方向で相対向する2つの側壁11bと、1つの底壁11cとを一体に有している。ただし、底壁11cについては、必要に応じて、容器本体11とは別体で構成してもよい。容器本体11の上部(底壁11cと対向する部分)には、ガラス基板を出し入れするための開口部13が形成されている。
上述した2つの側壁11aの内側面には、それぞれZ方向に沿って支持溝(縦溝)14が形成されている。支持溝14は、「第1の支持溝」として容器本体11に形成されたものである。支持溝14は、Y方向に適度な間隔をあけて複数並んで形成されている。このため、各々の側壁11aの内側面は、複数の支持溝14の存在によって凹凸状に形成されている。各々の支持溝14は、容器本体11の収納空間に収納されるガラス基板20の側縁部を支持するものである。その際、1枚のガラス基板20は、X方向で相対向する2つの支持溝14によって支持されるようになっている。
(蓋体)
蓋体12は、容器本体11の開口部13を開閉するもので、容器本体11に対して着脱自在に構成されている。蓋体12は、たとえば、容器本体11と同様に発泡樹脂により形成されている。蓋体12は、Z方向から見ると容器本体11と同様の外形(四角形)に形成されている。蓋体12は、全体的に板状に形成されるとともに、外周縁が厚み方向に突出し、この突出部分を容器本体11の上縁部に係合するかたちで容器本体11に装着される構成となっている。
(基板支持具)
基板支持具15は、容器本体11に収納されるガラス基板20を支持するために、容器本体11の上部に取り付けられるものである。基板支持具15は、図3に示すように、長尺状のベース部材16と、このベース部材16に取り付けられた複数の支持片17とによって構成されている。ベース部材16は、たとえば、アルミニウムなどの軽金属または硬質の樹脂により形成されている。ベース部材16の長さは、容器本体11の奥行き寸法と同等の寸法に設定されている。
支持片17は、容器本体11を構成する発泡樹脂に比べてガラス基板20との接触時における樹脂成分の移行性が低い樹脂によって形成されている。具体的には、支持片17は、耐摩耗性に優れたエンジニアリングプラスチックによって形成され、より好ましくは、自己潤滑性を有する樹脂、さらに好ましくは、ポリアセタールによって形成されている。ポリアセタールは、機械的強度が高い、寸法安定性に優れる、自己潤滑性がある、などの特性を有する。特に、自己潤滑性があるポリアセタールで支持片17を構成した場合は、たとえば、ガラス基板20が支持片17に接触した際にダメージを受けにくくなるため、ガラス基板20への影響が小さいという利点が得られる。
ちなみに、上述した発泡樹脂と対比したときの「樹脂成分の移行性」とは、「樹脂成分の移行の起こりやすさ」を意味し、「樹脂成分の移行性が低い樹脂」とは、「樹脂成分の移行が起こりにくい樹脂」を意味する。
支持片17は、たとえば、ねじ止め等によりベース部材16に固定されている。支持片17は、ベース部材16の長手方向に一列に並んで取り付けられている。そして、ベース部材16の長さ方向(Y方向)で隣り合う2つの支持片17の間に、それぞれ支持溝18が形成されている。
支持溝18は、「第2の支持溝」として基板支持具15に形成されたものである。支持溝18は、ベース部材16の長手方向となるY方向に適度な間隔をあけて複数並んで形成されている。これらの支持溝18は、上述した複数の支持溝14と1対1の関係となるように形成されている。また、支持溝18の間隔は、上述した支持溝14の間隔にあわせて設定されている。
基板支持具15は、容器本体11に対して着脱可能に構成されている。具体的には、支持具15は、たとえば、容器本体11のコーナー部分において、基板支持具15に付属するバネ金具(不図示)により側壁11a,11bをバネ力で挟み込むことにより、容器本体11に対して固定状態に取り付け可能となっている。また、支持具15は、上述したバネ力に対抗してバネ金具を開くように操作することにより、容器本体11から取り外し可能となっている。
基板支持具15は、1つの容器本体11に2つずつ取り付けて使用される。具体的には、基板支持具15は、容器本体11を構成する2つの側壁11aの上部にそれぞれY方向に沿って取り付けられる。この取り付け状態のもとでは、容器本体11の側壁11aに形成された支持溝14に対して、それよりも上側に基板支持具15の支持溝18が配置される。このため、基板支持具15の支持溝18は、容器本体11の支持溝14に支持されるガラス基板の側縁部の一部を支持溝14よりも上側で支持することになる。
図4は容器本体の上部に基板支持具を取り付けたときの各部の配置関係を示す要部平面図である。図から分かるように、容器本体11に形成されている支持溝14と、基板支持具15の支持片17によって形成されている支持溝18とは、互いに幅方向(図中、Y方向)の中心位置を揃えた状態で配置されている。また、支持溝14の幅寸法W1は、ガラス基板20の板厚寸法Tよりも大きく設定されている。
これに対して、支持溝18の幅寸法W2は、支持溝14の幅寸法W1よりも小さく、かつガラス基板20の板厚寸法Tよりも大きく設定されている。さらに詳述すると、支持溝18の幅寸法W2は、ガラス基板20の板厚寸法Tの2倍以上、5倍以下、好ましくは3倍以下に設定されている。このように支持溝18の幅寸法W2を設定した場合は、たとえば、サイズの大きいガラス基板を取り扱う場合の出し入れに際して、基板支持具15の支持片17とガラス基板20との接触による傷付きのリスクを軽減することができる。また、容器本体11にガラス基板20を収納した際には、ガラス基板20の倒れに伴うガラス基板20どうしの接触を回避することができる。具体的な寸法の数値を記述すると、たとえば、ガラス基板20の板厚寸法Tが0.7mmである場合は、支持溝14の幅寸法W1を3.0mm、支持溝18の幅寸法W2を1.5mmに設定すればよい。
<2.ガラス基板の収納容器の使用方法>
続いて、本考案の実施の形態に係る収納容器10の使用方法について説明する。
ここでは、収納容器10の使用方法として、収納容器10にガラス基板20を収納する場合と、収納したガラス基板20を収納容器10から取り出す場合について、以下に説明する。
(ガラス基板の収納)
収納容器10にガラス基板20を収納する場合は、まず、図5に示すように、基板支持具15が装着された容器本体11の上方にガラス基板20を縦向き(垂直な姿勢)に配置する。次に、収納容器10の両方の側縁部をそれぞれに対応する基板支持具15の支持溝18に位置合わせしながら、容器本体11の開口部13を通してガラス基板20を容器本体11の収納空間に挿入する。このとき、ガラス基板20の側縁部が基板支持具15の支持溝18を通して容器本体11の支持溝14に挿入される。また、ガラス基板20の下端部は、容器本体11の底壁11cまたはその近傍に設けられた基板受け部(不図示)に接触した状態となる。この状態ではガラス基板20の側縁部の一部(上端部)が支持溝14よりも上側に突出し、この突出部分が支持溝18の内部に配置される。したがって、容器本体11に収納されたガラス基板20の側縁部は、容器本体11の支持溝14と基板支持具15の支持溝18の両方によって支持される。次に、必要に応じて、容器本体11から基板支持具15を取り外す。その後、図6に示すように、容器本体11に蓋体12を取り付けることにより、容器本体11の開口部13を蓋体12で塞ぐ。以上でガラス基板20が収納容器10に収納される。
(ガラス基板の取り出し)
一方、上述のように収納したガラス基板20を収納容器10から取り出す場合は、まず、容器本体11から蓋体12を取り外す。これにより、容器本体11の上方が開放された状態になる。次に、必要に応じて、容器本体11の上部に基板支持具15を取り付ける。ただし、蓋体12を取り外す前から容器本体11に基板支持具15が取り付けられている場合は、基板支持具15の取り付けが不要である。次に、容器本体11に収納されているガラス基板20を支持溝14に沿って上方に引き上げる。その際、容器本体11に基板支持具15が取り付けられている場合は、ガラス基板20の側縁部が基板支持具15の支持溝18から抜け出るまでガラス基板20を上方に引き上げる。以上でガラス基板20が収納容器10から取り出される。
<3.実施の形態に係る効果>
本考案の実施の形態においては、収納容器10にガラス基板20を収納する場合に、容器本体11の支持溝14に比べて基板支持具15の支持溝18のほうが、ガラス基板20の側縁部に優先的に接触する。このため、支持溝14が形成された容器本体11を用いてガラス基板20を支持する場合に、基板支持具15を有しないものと比較して、ガラス基板20の側縁部が支持溝14に接触する機会が低減する。したがって、クッション効果が得られるなどの理由で容器本体11を発泡樹脂により形成した場合でも、その発泡樹脂の樹脂成分がガラス基板20の側縁部に移行することを効果的に抑制することができる。その結果、収納容器10にガラス基板20を収納して保管・輸送等する場合に、ガラス基板20の側縁部に付着する樹脂成分の付着量を低減することができる。また、収納容器10への収納によってガラス基板20の側縁部に付着した少量の付着物(樹脂成分)については、わざわざ特殊な洗浄やエッチング性の高い薬液を用いた洗浄を行わなくても、ガラス基板20の受け入れ時に行う簡易な洗浄によって容易に除去することができる。
また、板厚がたとえば0.2mm〜0.3mm程度の薄いガラス基板20を取り扱う場合は、振動等を受けたときにガラス基板20がたわむなどして、ガラス基板20の側縁部の一部が支持溝14に接触することも考えられる。ただし、その場合でも、基板支持具15の支持溝18によってガラス基板20の側縁部を支持する構成とすれば、ガラス基板20の側縁部の一部が支持溝14に接触(密着)し続けることがない。このため、上記同様に、特殊な洗浄を行わなくても、ガラス基板20の受け入れ時に行う簡易な洗浄によって付着物を容易に除去することができる。
また、本実施の形態においては、容器本体11に対して基板支持具15を着脱可能な構成としているため、所望のタイミングで基板支持具15を取り付けたり取り外したりすることができる。具体的には、たとえば、容器本体11にガラス基板20を取り付けるときは、基板支持具15を取り付け、その後、容器本体11に蓋体12を取り付けるときは、基板支持具15を取り外すことができる。これにより、たとえば、容器本体11に基板支持具15を取り付けると蓋体12の取り付けができなくなる既存の収納容器10であっても、ガラス基板20の収納時または取り出し時に基板支持具15を取り付けることにより樹脂成分の付着を低減することができる。
さらに、本考案の応用例として、1つの支持溝18を2つ(一対)の支持片17によって形成する場合に、支持溝18の幅寸法を任意に変更可能な構成とすることも可能である。具体的には、たとえば、一対の支持片支持片17のうち、少なくとも一方の支持片17をガイドシャフト等のガイド部材によって基板支持具15の長さ方向(Y方向)に独立に移動可能に支持する。これにより、一方の支持片17を基板支持具15の長さ方向に移動させると、その移動方向および移動量に応じて支持溝18の幅寸法が変化するようになる。このような構成を採用すれば、ガラス基板20の板厚寸法にあわせて支持溝18の幅寸法を最適化することができる。また、板厚寸法が異なるガラス基板20を1つの基板支持具15を用いて適切に支持することができる。このため、汎用性の高い基板支持具15を提供することができる。さらに、基板支持具15を適宜付け替えて使用する場合は、多数の収納容器10に少数の基板支持具15で対応することが可能となる。ちなみに、容器本体11の支持溝14とこれに対応する支持溝18の中心位置合わせは、2つの支持片17をそれぞれ基板支持具15の長さ方向に移動させることでも実現可能であるが、より簡易的には、基板支持具15全体の取り付け位置を調整することで実現可能である。
<4.変形例等>
本考案の技術的範囲は上述した実施の形態に限定されるものではなく、考案の構成要件やその組み合わせによって得られる特定の効果を導き出せる範囲において、種々の変更や改良を加えた形態も含む。
たとえば、基板支持具15は、必ずしも容器本体11と別体に構成する必要はなく、容器本体11と一体に構成してもよい。ただし、上記実施の形態のように容器本体11と別体(後付け)で基板支持具15を構成した場合は、既存の収納容器10に大きな変更を加えることなく、本考案を実施できるという利点がある。
また、基板支持具15は、以下に記述するいずれの態様で使用してもよい。
(1)収納容器10にガラス基板20を収納するときのみ基板支持具15を容器本体11に取り付けて使用し、使用後は基板支持具15を容器本体11から取り外す。
(2)収納容器10からガラス基板20を取り出すときのみ基板支持具15を容器本体11に取り付けて使用し、使用後は基板支持具15を容器本体11から取り外す。
(3)上記の(1)および(2)のときのみ基板支持具15を容器本体11に取り付けて使用し、使用後は基板支持具15を容器本体11から取り外す。
(4)上記の(1)〜(3)のときに限らず、少なくともガラス基板20の収納から取り出しまでの期間(保管、輸送等の期間を含む)、基板支持具15を容器本体11に取り付けたままにして使用する。
また、基板支持具15に関しては、収納容器10の容器本体11に付属する構成要素という位置付けではなく、容器本体11とは独立した構成要素の構造物(考案)として捉えることもできる。
また、基板支持具15は、隣り合う2つの支持片17によって1つの支持溝18を形成するものに限らず、たとえば図7に示すように、1つの支持片17によって1つの支持溝18を形成するものでもよい。さらに、図示はしないが、1つの支持片17によって複数の支持溝18を形成するものでもよい。
また、基板支持具15の構成としては、少なくとも支持溝18の形成部位、さらに詳しくは、ガラス基板20の側縁部を支持溝18内に挿入したときにガラス基板20の側縁部と対向する部分が、上述した発泡樹脂に比べて樹脂成分の移行性が低い樹脂によって形成されていればよい。このため、たとえば、支持片17を金属等で構成した場合でも、支持溝18を形作る支持片17の面を、上述した発泡樹脂に比べて樹脂成分の移行性が低い樹脂層で覆った構成としてもよい。
また、本考案は、素板ガラス、フォトマスク用のガラス基板、表示機能を有する電子機器(液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、携帯端末、携帯型電話機など)に用いられるガラス基板、光学フィルタ(カラーフィルタなど)として用いられるガラス基板、サーマルヘッド用のガラス基板など、各種の用途・機能のガラス基板を収納する際に広く適用可能である。このうち、特に、ディスプレイ用のG5世代、G6世代の中型のガラス基板、又はそれ以下の小型のガラス基板の収納に好適に適用可能である。
10…収納容器
11…容器本体
12…蓋体
14…支持溝
15…基板支持具
16…ベース部材
17…支持片
18…支持溝
20…ガラス基板

Claims (5)

  1. ガラス基板を収納可能に箱形に形成されるとともに、相対向する2つの側壁の内側面に前記ガラス基板の側縁部を支持する第1の支持溝が形成された容器本体と、
    前記容器本体の上部に配置されるとともに、前記第1の支持溝に支持される前記ガラス基板の側縁部の一部を前記第1の支持溝よりも上側で支持する第2の支持溝が形成された基板支持具と、を備え、
    前記容器本体は、発泡樹脂によって形成され、
    前記基板支持具の少なくとも前記第2の支持溝の形成部位は、前記発泡樹脂に比べて前記ガラス基板との接触時における樹脂成分の移行性が低い樹脂によって形成され、
    前記第2の支持溝の幅寸法は、前記第1の支持溝の幅寸法よりも小さく、かつ前記ガラス基板の板厚寸法よりも大きく設定されている
    ことを特徴とするガラス基板の収納容器。
  2. 前記第2の支持溝の形成部位が、自己潤滑性を有する樹脂によって形成されている
    ことを特徴とする請求項1に記載のガラス基板の収納容器。
  3. 前記樹脂がポリアセタールである
    ことを特徴とする請求項1または2に記載のガラス基板の収納容器。
  4. 前記基板支持具は、前記容器本体に対して着脱可能に構成されている
    ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のガラス基板の収納容器。
  5. ガラス基板を収納可能に箱形に形成されるとともに、相対向する2つの側壁の内側面に前記ガラス基板の側縁部を支持する第1の支持溝が形成され、かつ発泡樹脂によって形成された容器本体を備えるガラス基板の収納容器に用いられる基板支持具であって、
    前記容器本体の上部に取り付けられるとともに、前記第1の支持溝に支持される前記ガラス基板の側縁部の一部を前記第1の支持溝よりも上側で支持する第2の支持溝が形成され、
    少なくとも前記第2の支持溝の形成部位は、前記発泡樹脂に比べて前記ガラス基板との接触時における樹脂成分の移行性が低い樹脂によって形成され、
    前記第2の支持溝の幅寸法は、前記第1の支持溝の幅寸法よりも小さく、かつ前記ガラス基板の板厚寸法よりも大きく設定されている
    ことを特徴とする基板支持具。
JP2012001772U 2012-03-29 2012-03-29 ガラス基板の収納容器および基板支持具 Expired - Lifetime JP3176147U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012001772U JP3176147U (ja) 2012-03-29 2012-03-29 ガラス基板の収納容器および基板支持具

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012001772U JP3176147U (ja) 2012-03-29 2012-03-29 ガラス基板の収納容器および基板支持具

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP3176147U true JP3176147U (ja) 2012-06-14

Family

ID=48003118

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012001772U Expired - Lifetime JP3176147U (ja) 2012-03-29 2012-03-29 ガラス基板の収納容器および基板支持具

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3176147U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5301731B2 (ja) 基板収納容器
US9045273B2 (en) Display panel packaging structure
KR101165611B1 (ko) 기판수납용기
JP6166275B2 (ja) 基板収納容器
WO2013183138A1 (ja) 衝撃吸収機能を備えた基板収納容器
JPWO2014057572A1 (ja) 基板収納容器
JP2005178839A (ja) 基板収納用トレイ
JP6067118B2 (ja) 基板収納容器を梱包するための梱包構造
JP6106271B2 (ja) 基板収納容器
JP3176147U (ja) ガラス基板の収納容器および基板支持具
JP5416154B2 (ja) 基板収納容器、膜付きガラス基板収納体、マスクブランク収納体、および転写マスク収納体
JP2007290713A (ja) ガラス基板用搬送箱
JP5978894B2 (ja) 基板保持部材
JP2007112499A (ja) ガラス基板用搬送箱
KR102605057B1 (ko) 기판 수납 용기
JP4926122B2 (ja) 保持容器及び保持容器ユニット
WO2014136247A1 (ja) 基板収納容器
JP5954683B2 (ja) ガラス基板収納容器
JP2011086806A (ja) 精密基板収納容器
JP2016078860A (ja) ガラス板トレイ
CN108971176B (zh) 清洗用保持器
JPWO2014184845A1 (ja) 基板収納容器を梱包するための梱包構造
JP4281499B2 (ja) 薄板搬送用コンテナ
JP2012166825A (ja) ガラス板トレイ
JP2011054799A (ja) 精密基板収納容器

Legal Events

Date Code Title Description
R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3176147

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150516

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term