JP3175527B2 - 無電解ニッケルめっき液及びめっき方法 - Google Patents
無電解ニッケルめっき液及びめっき方法Info
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Description
優れた無電解ニッケルめっき液及びめっき方法に関す
る。
ニッケルめっきは、その優れた特性から従来より多方面
で使用され、電子機器等へも広く適用されているが、近
年の電子機器サイドからの要求には十分応えていない現
状にある。
それを構成する回路の高密度化を促進し、回路パターン
はよりファイン(ファインパターン)になってきた。こ
のため、従来の無電解めっき液をこのようなファインパ
ターン上へのめっきに適用した場合、パターン幅の縮小
はめっき皮膜の肩薄の問題を生じさせ、パターン間(ピ
ッチ)の狭小はめっき皮膜のはみ出しによる線間抵抗の
減少、ブリッジによるショートの問題を引き起こしてい
る。ここで、肩薄とは、回路線の断面から見て肩(ショ
ルダー)のところにめっきが十分つかなくなり、この肩
部分のめっき厚が他の箇所のめっき厚よりかなり薄くな
る現象をいう。なお、この原因は肩部分に安定剤が過剰
に付着してめっき析出を阻害するためと思われる。ま
た、はみ出しは、金属銅(回路線)をはみ出し、そのま
わりにもめっき皮膜が析出する現象をいう。これは、回
路線のまわりにパラジウム処理(アクチベータ)で付着
して残存するパラジウムイオンが無電解ニッケルめっき
液中で還元されることで金属パラジウムとなり、これに
よって触媒性が生じるので、そこにニッケルが析出する
ために生じると考えられる。
パターン線での肩薄の問題及びニッケルのはみ出しの問
題を解決したファインパターン性に優れた無電解ニッケ
ルめっき液及びめっき方法を提供することを目的とす
る。
記目的を達成するため鋭意検討を行った結果、無電解ニ
ッケルめっき液に対し、S−S硫黄結合を有する化合
物、特にチオ硫酸塩、二チオン酸塩、ポリチオン酸塩、
亜二チオン酸塩を添加することにより、意外にも上述し
た肩薄の問題、ニッケルのはみ出しの問題がなく、ブリ
ッジによるショートの問題がなくなることを知見し、本
発明をなすに至ったものである。従って、本発明は、水
溶性ニッケル塩、還元剤及び錯化剤を含有する無電解ニ
ッケルめっき液に、S−S硫黄結合を有する化合物を添
加することを特徴とするファイン回路パターンが形成さ
れた被めっき物の該ファイン回路パターンめっき用無電
解ニッケルめっき液、及びこのめっき液中にファイン回
路パターンが形成された被めっき物を浸漬し、この被め
っき物のファイン回路パターン上に無電解ニッケルめっ
き皮膜を形成することを特徴とする無電解ニッケルめっ
き方法を提供する。
と、本発明の無電解ニッケルめっき液は、水溶性ニッケ
ル塩、還元剤、錯化剤を含有するものである。
ニッケル、塩化ニッケル等が用いられ、その使用量は
0.01〜1モル/L、特に0.05〜0.2モル/L
とすることが好ましい。
リン酸ナトリウム等の次亜リン酸塩、ジメチルアミンボ
ラン、トリメチルアミンボラン、ヒドラジン等が用いら
れる。その使用量は0.01〜1モル/L、特に0.0
5〜0.5モル/Lであることが好ましい。
酸、クエン酸などやそのナトリウム塩などのカルボン酸
類、グリシン、アラニン、イミノジ酢酸、アルギニン、
グルタミン酸等のアミノ酸類が用いられる。その使用量
は0.01〜2モル/L、特に0.05〜1モル/Lで
あることが好ましい。
定剤として水溶性鉛塩の酢酸鉛、硫黄化合物のチオジグ
リコール酸などを添加することができる。その添加量は
0.1〜100mg/Lであることが好ましい。
S硫黄結合を有する化合物を添加するもので、これによ
りファインパターンにめっきを施した場合において、肩
薄の問題、ニッケルのはみ出しの問題が解消された無電
解ニッケルめっき皮膜を形成することができる。
しては、有機硫黄化合物でもよいが、無機硫黄化合物、
特にチオ硫酸塩、二チオン酸塩、ポリチオン酸塩(例え
ばO3S−Sn−SO3においてn=1〜4)、亜二チオ
ン酸塩が好ましい。なお、塩としてはナトリウム塩等の
水溶性塩が用いられる。
0.01〜100mg/L、特に0.05〜50mg/
Lであることが好ましい。0.01mg/Lより少ない
と上述した本発明の目的が十分達成されず、100mg
/Lより多いとめっきが全く付着しない現象が起こる。
4〜7、特に4〜6であることが好ましい。
インパターンに対する無電解ニッケルめっきを行う方法
は常法に従うことができ、該めっき液に被めっき物を浸
漬すればよい。被めっき液の材質としては、鉄、コバル
ト、ニッケル、パラジウムなどやこれらの合金といった
無電解パラジウムめっき皮膜の還元析出に触媒性のある
金属を挙げることができる。また、触媒性のない金属で
あれば、いわゆるガルバニックイニシエーションを行う
(被めっき物に対し還元析出が生じるまで電気を与え
る)か、又は上記触媒活性のある金属のめっき皮膜を形
成してからめっきを行えばよく、またガラス、セラミッ
クス、プラスチック等、或いは上記触媒活性のない金属
などに対しては常法に従ってパラジウム核などの金属触
媒核を付着させた後にめっきを行うことができる。この
場合、めっき温度は40〜95℃、特に60〜95℃と
することが好ましく、また必要によりめっきに際して撹
拌を行うことができる。
ことにより、ファインパターンに対してめっきを施した
場合において、パターン線での肩薄が生じ難く、またニ
ッケルのはみ出しによるブリッジでショートする問題が
解決されるものである。
的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるも
のではない。
8μm、線幅50μm、スリット幅50μmのテストパ
ターンに対し上記温度で無電解ニッケルめっきを行い、
5.0μmのめっき皮膜を形成した。得られためっき皮
膜に対しニッケルの回路線からのはみ出し及びブリッジ
の有無を実体顕微鏡を用いた目視観察で評価すると共
に、上記パターンを切断し、その回路線の断面を実体顕
微鏡で観察することにより肩薄の有無を評価した。結果
を表1に示す。
Claims (3)
- 【請求項1】 水溶性ニッケル塩、還元剤及び錯化剤を
含有する無電解ニッケルめっき液に、S−S硫黄結合を
有する化合物を添加することを特徴とするファイン回路
パターンが形成された被めっき物の該ファイン回路パタ
ーンめっき用無電解ニッケルめっき液。 - 【請求項2】 S−S硫黄結合を有する化合物が、チオ
硫酸塩、二チオン酸塩、ポリチオン酸塩又は亜二チオン
酸塩である請求項1記載の無電解ニッケルめっき液。 - 【請求項3】 請求項1又は2記載のめっき液中にファ
イン回路パターンが形成された被めっき物を浸漬し、こ
の被めっき物のファイン回路パターン上に無電解ニッケ
ルめっき皮膜を形成することを特徴とする無電解ニッケ
ルめっき方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09778095A JP3175527B2 (ja) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 無電解ニッケルめっき液及びめっき方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP09778095A JP3175527B2 (ja) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 無電解ニッケルめっき液及びめっき方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08269726A JPH08269726A (ja) | 1996-10-15 |
JP3175527B2 true JP3175527B2 (ja) | 2001-06-11 |
Family
ID=14201348
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP09778095A Expired - Lifetime JP3175527B2 (ja) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 無電解ニッケルめっき液及びめっき方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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Families Citing this family (6)
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-
1995
- 1995-03-30 JP JP09778095A patent/JP3175527B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
Title |
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表面技術 Vol.45 No.5 519−523頁 |
Also Published As
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JPH08269726A (ja) | 1996-10-15 |
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