JP3175342B2 - 表面形状の測定方法 - Google Patents
表面形状の測定方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走査型トンネル顕微
鏡、走査型プローブ顕微鏡等のように、探針によって被
検査物の表面を走査することによって表面形状を測定す
るようにした表面形状の測定方法に関する。
鏡、走査型プローブ顕微鏡等のように、探針によって被
検査物の表面を走査することによって表面形状を測定す
るようにした表面形状の測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体集積回路、光ディスク等
の分野においては、サブミクロンから原子レベルに至る
領域での３次元的な微細加工やプロセスの評価技術が重
要性を増しており、より高分解能な観察手段が必要にな
っている。このような状況から、探針が被測定物の表面
を走査することによって、被測定物を破壊することなく
３次元的観察が可能であり、被測定物表面の原子配列や
電子状態を反映した像を得ることができる走査型トンネ
ル電流顕微鏡（ＳＴＭ）に代表されるような測定装置の
利用が注目されている。
の分野においては、サブミクロンから原子レベルに至る
領域での３次元的な微細加工やプロセスの評価技術が重
要性を増しており、より高分解能な観察手段が必要にな
っている。このような状況から、探針が被測定物の表面
を走査することによって、被測定物を破壊することなく
３次元的観察が可能であり、被測定物表面の原子配列や
電子状態を反映した像を得ることができる走査型トンネ
ル電流顕微鏡（ＳＴＭ）に代表されるような測定装置の
利用が注目されている。
【０００３】例えば、ＳＴＭは、３次元方向に制御可能
なピエゾアクチュエータに支持された探針を備え、この
探針を被測定物との間のトンネル電流が一定となるよう
に被測定物の表面を走査させ、この探針の３次元方向の
それぞれの走査量によって被測定物の表面形状の３次元
計測を可能とした装置である。
なピエゾアクチュエータに支持された探針を備え、この
探針を被測定物との間のトンネル電流が一定となるよう
に被測定物の表面を走査させ、この探針の３次元方向の
それぞれの走査量によって被測定物の表面形状の３次元
計測を可能とした装置である。
【０００４】図７に示す基本構成を備えたＳＴＭは、Ｘ
軸ピエゾ素子１ａ、Ｙ軸ピエゾ素子１ｂ及びＺ軸ピエゾ
素子１ｃとからなり電圧制御によってＸＹＺ方向に独立
に動作するピエゾアクチュエータ１を備え、このピエゾ
アクチュエータ１の先端にトンネル電流検出用の探針２
を取付けてなる。
軸ピエゾ素子１ａ、Ｙ軸ピエゾ素子１ｂ及びＺ軸ピエゾ
素子１ｃとからなり電圧制御によってＸＹＺ方向に独立
に動作するピエゾアクチュエータ１を備え、このピエゾ
アクチュエータ１の先端にトンネル電流検出用の探針２
を取付けてなる。
【０００５】一方、被測定物３は、前記探針２に対向し
て資料台に載置され、例えば金属被測定物３の場合、バ
イアス電源４が接続され、数十ｍＶから１Ｖ程度のバイ
アス電圧で１ｎＡ程度のトンネル電流を検出するよう
に、探針２と被測定物３との距離ｄが設定されている。
なお、トンネル電流は、前記距離ｄが最少である探針２
と被測定物３との間で流れる。すなわち、トンネリング
する。
て資料台に載置され、例えば金属被測定物３の場合、バ
イアス電源４が接続され、数十ｍＶから１Ｖ程度のバイ
アス電圧で１ｎＡ程度のトンネル電流を検出するよう
に、探針２と被測定物３との距離ｄが設定されている。
なお、トンネル電流は、前記距離ｄが最少である探針２
と被測定物３との間で流れる。すなわち、トンネリング
する。
【０００６】そして、前記探針２は、トンネル電流が一
定となるように被測定物３との距離ｄをサーボ回路を介
して制御しながら、被測定物３の表面と平行なＸＹ面を
ピエゾアクチュエータ１に駆動されて走査する。これに
よって、ＸＹ面の個々の画素におけるＺ軸アクチュエー
タ駆動信号（電圧）を、コンピュータ６によって変位量
に換算して画像処理を行うことにより、モニター画面７
上に被測定物３の表面形状のトポグラフ像を得ることが
できる。
定となるように被測定物３との距離ｄをサーボ回路を介
して制御しながら、被測定物３の表面と平行なＸＹ面を
ピエゾアクチュエータ１に駆動されて走査する。これに
よって、ＸＹ面の個々の画素におけるＺ軸アクチュエー
タ駆動信号（電圧）を、コンピュータ６によって変位量
に換算して画像処理を行うことにより、モニター画面７
上に被測定物３の表面形状のトポグラフ像を得ることが
できる。
【０００７】次に、上述したＳＴＭにおいて、図８に示
すように先端形状を曲率半径がＲ、先端角がα、走査方
向の側面の傾斜角がθ１、θ２（θ１＝θ２）である探
針２を用いて、図９に示すように表面に突出した凸部３
Ａの斜面３Ｂ、３Ｃの傾斜角β１、β２（β１＝β２＞
９０°−α／２）がそれぞれ９０°に近い急峻な斜面を
有する被測定物３を測定する場合について考察する。な
お、探針２と被測定物３との距離ｄは、非常に小さな値
なので、説明の便宜上、無視するものとする。
すように先端形状を曲率半径がＲ、先端角がα、走査方
向の側面の傾斜角がθ１、θ２（θ１＝θ２）である探
針２を用いて、図９に示すように表面に突出した凸部３
Ａの斜面３Ｂ、３Ｃの傾斜角β１、β２（β１＝β２＞
９０°−α／２）がそれぞれ９０°に近い急峻な斜面を
有する被測定物３を測定する場合について考察する。な
お、探針２と被測定物３との距離ｄは、非常に小さな値
なので、説明の便宜上、無視するものとする。
【０００８】探針２は、被測定物３の表面を、図９矢印
で示す方向に走査される。上述したように、トンネル電
流は、探針２と被測定物３との距離ｄが最少位置でトン
ネリングすることから、探針２が被測定物３の平坦面を
走査する間は、探針２の先端２ａがトンネリング位置と
なる。
で示す方向に走査される。上述したように、トンネル電
流は、探針２と被測定物３との距離ｄが最少位置でトン
ネリングすることから、探針２が被測定物３の平坦面を
走査する間は、探針２の先端２ａがトンネリング位置と
なる。
【０００９】そして、探針２が被測定物３の３ａ地点に
至ると、上述したようにβ１＞９０°−α／２の構成に
より、探針２の側面と凸部３Ａの斜面３Ｂとの間隔が最
少となり、探針２側のトンネリング位置は探針２と被測
定物の走査方向での位置関係に応じて変化し、この状態
は探針２の先端が凸部３Ａの頂面３Ｄに達するまで保持
される。すなわち、被測定物３側のトンネリング位置
は、一方の頂点３ｂのまま変わらないが、探針２側のト
ンネリング位置は、側面の最初の接触点２ｂから先端２
ａの間で移動する。
至ると、上述したようにβ１＞９０°−α／２の構成に
より、探針２の側面と凸部３Ａの斜面３Ｂとの間隔が最
少となり、探針２側のトンネリング位置は探針２と被測
定物の走査方向での位置関係に応じて変化し、この状態
は探針２の先端が凸部３Ａの頂面３Ｄに達するまで保持
される。すなわち、被測定物３側のトンネリング位置
は、一方の頂点３ｂのまま変わらないが、探針２側のト
ンネリング位置は、側面の最初の接触点２ｂから先端２
ａの間で移動する。
【００１０】同様にして、探針２の先端２ａが凸部３Ａ
の頂面３Ｄ上を走査する状態にあるときは、先端２ａが
トンネリング位置として保持される。そして、探針２
が、被測定物３の凸部３Ａの他方頂点３ｃから他方の傾
斜面３Ｃを経て平坦面の３ｄ地点に至るまでの間、その
被測定物側トンネリング位置は先端２ａから側面にジャ
ンプし、この状態は側面の一部２ｃ地点において保持さ
れる。
の頂面３Ｄ上を走査する状態にあるときは、先端２ａが
トンネリング位置として保持される。そして、探針２
が、被測定物３の凸部３Ａの他方頂点３ｃから他方の傾
斜面３Ｃを経て平坦面の３ｄ地点に至るまでの間、その
被測定物側トンネリング位置は先端２ａから側面にジャ
ンプし、この状態は側面の一部２ｃ地点において保持さ
れる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】以上のようにして探針
２の走査によって測定されたＳＴＭ像は、図１０に示す
ように、被測定物３はその斜面３Ｂ、３Ｃ部分が傾斜角
θ１、θ２に基づく探針２の側面形状のデータによって
測定される。
２の走査によって測定されたＳＴＭ像は、図１０に示す
ように、被測定物３はその斜面３Ｂ、３Ｃ部分が傾斜角
θ１、θ２に基づく探針２の側面形状のデータによって
測定される。
【００１２】このように、探針を用いて被測定物の表面
形状を測定する方法及び装置にあっては、探針の先端角
よりも急峻な段差或いは探針の先端径よりも幅狭の溝を
有する被測定物等を測定する場合、探針の形状が測定結
果に大きく影響し、探針の形状によって被測定物の真の
表面形状と測定した表面像とが異なってしまうといった
問題点があった。換言すれば、この種の測定装置にあっ
ては、測定可能な限界がパターン寸法と探針の先端曲率
半径と先端角によって規制される。
形状を測定する方法及び装置にあっては、探針の先端角
よりも急峻な段差或いは探針の先端径よりも幅狭の溝を
有する被測定物等を測定する場合、探針の形状が測定結
果に大きく影響し、探針の形状によって被測定物の真の
表面形状と測定した表面像とが異なってしまうといった
問題点があった。換言すれば、この種の測定装置にあっ
ては、測定可能な限界がパターン寸法と探針の先端曲率
半径と先端角によって規制される。
【００１３】上述した問題点は、理論的に、例えば原子
領域の先端形状を有する探針を製作することによって超
精密測定が可能となることによって解決される。しかし
ながら、探針は、被測定物の表面を走査することからあ
る程度の機械的強度も必要とされ、また加工精度の限界
から、一般的には先端曲率半径が数十ｎｍ、先端角度が
５０°以上７０°程度の探針が限界である。
領域の先端形状を有する探針を製作することによって超
精密測定が可能となることによって解決される。しかし
ながら、探針は、被測定物の表面を走査することからあ
る程度の機械的強度も必要とされ、また加工精度の限界
から、一般的には先端曲率半径が数十ｎｍ、先端角度が
５０°以上７０°程度の探針が限界である。
【００１４】さらに、超精密加工によって超先鋭な先端
形状を有する探針を製作するための費用は極めて莫大で
ある。したがって、本発明は、探針を用いた表面形状の
測定方法において、探針の先端形状よりもさらに精密な
測定を可能とした表面形状の測定方法を提供することを
目的とする。
形状を有する探針を製作するための費用は極めて莫大で
ある。したがって、本発明は、探針を用いた表面形状の
測定方法において、探針の先端形状よりもさらに精密な
測定を可能とした表面形状の測定方法を提供することを
目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成した本発
明に係る表面形状の測定方法は、探針を走査して被測定
物の表面形状を測定する表面形状の測定方法において、
探針の先端部の中心軸を垂直方向に対して走査方向に傾
け、当該先端部の両側面が法線方向を挟んで互いに反対
方向に傾斜するとともに、探針の先端角をαとしたとき
に被測定物の斜面の傾斜角βがβ≧９０−α／２とな
り、探針の走査方向に対する一方側面の傾斜角θ１及び
他方側面の傾斜角θ２がθ１＞β＞θ２となるように、
被測定物の表面を走査することを特徴としたものであ
る。
明に係る表面形状の測定方法は、探針を走査して被測定
物の表面形状を測定する表面形状の測定方法において、
探針の先端部の中心軸を垂直方向に対して走査方向に傾
け、当該先端部の両側面が法線方向を挟んで互いに反対
方向に傾斜するとともに、探針の先端角をαとしたとき
に被測定物の斜面の傾斜角βがβ≧９０−α／２とな
り、探針の走査方向に対する一方側面の傾斜角θ１及び
他方側面の傾斜角θ２がθ１＞β＞θ２となるように、
被測定物の表面を走査することを特徴としたものであ
る。
【００１６】
【００１７】
【００１８】
【００１９】
【作用】本発明に係る表面形状の測定方法においては、
探針を垂直方向に対して走査方向に傾けることによっ
て、その一方側面の傾斜角度は傾けた角度分大となる。
したがって、先端角よりも急峻な段差を有する被測定物
に対しても、傾斜角度が大となった一方側面によって、
被測定物の斜面或いは溝壁の形状を正確に測定すること
ができる。
探針を垂直方向に対して走査方向に傾けることによっ
て、その一方側面の傾斜角度は傾けた角度分大となる。
したがって、先端角よりも急峻な段差を有する被測定物
に対しても、傾斜角度が大となった一方側面によって、
被測定物の斜面或いは溝壁の形状を正確に測定すること
ができる。
【００２０】
【００２１】
【００２２】
【実施例】以下、本発明の具体的実施例について、図面
を参照しながら説明する。本発明は、探針２の構成に特
徴を有しており、装置全体の基本構成は上述したＳＴＭ
と同一であるため、装置全体の説明は省略する。例えば
探針２は、図１に示すように、先端の基本形状が曲率半
径をＲ、先端角をαとし、加工が容易であることから走
査方向の両側面が中心線Ｍに対して左右対称形に形成し
たものであるが、この先端部は垂直方向に対して中心線
Ｍが角度φ分傾斜して形成されている。
を参照しながら説明する。本発明は、探針２の構成に特
徴を有しており、装置全体の基本構成は上述したＳＴＭ
と同一であるため、装置全体の説明は省略する。例えば
探針２は、図１に示すように、先端の基本形状が曲率半
径をＲ、先端角をαとし、加工が容易であることから走
査方向の両側面が中心線Ｍに対して左右対称形に形成し
たものであるが、この先端部は垂直方向に対して中心線
Ｍが角度φ分傾斜して形成されている。
【００２３】このように形成した探針２は、ピエゾアク
チュエータ１の先端に取付けた状態において、その走査
方向の一方斜面２Ａの傾斜角θ１が、θ１＝９０°−α
／２＋φとなるとともに、他方斜面２Ｂの傾斜角θ２
が、θ２＝９０°−α／２−φとなり、実際の形状に対
して、走査方向に対して少なくとも一方側面は中心軸の
傾き角度φ分急峻に構成されることになる。
チュエータ１の先端に取付けた状態において、その走査
方向の一方斜面２Ａの傾斜角θ１が、θ１＝９０°−α
／２＋φとなるとともに、他方斜面２Ｂの傾斜角θ２
が、θ２＝９０°−α／２−φとなり、実際の形状に対
して、走査方向に対して少なくとも一方側面は中心軸の
傾き角度φ分急峻に構成されることになる。
【００２４】したがって、この探針２を用いて、一方斜
面３Ｂの傾斜角がβ１、他方斜面３Ｃの傾斜角がβ２の
凸部３Ａを有する被測定物３を測定する場合について考
察する。なお、説明の便宜上、凸部３Ａは、その斜面傾
斜角β１とβ２が互いに等しい等辺台形とし、また、探
針２の側面傾斜角θ１、θ２とは、θ１＞β１＝β２＞
θ２の条件を満足するものとする。また、探針２の先端
２ａと被測定物３との距離ｄは無視するものとする。
面３Ｂの傾斜角がβ１、他方斜面３Ｃの傾斜角がβ２の
凸部３Ａを有する被測定物３を測定する場合について考
察する。なお、説明の便宜上、凸部３Ａは、その斜面傾
斜角β１とβ２が互いに等しい等辺台形とし、また、探
針２の側面傾斜角θ１、θ２とは、θ１＞β１＝β２＞
θ２の条件を満足するものとする。また、探針２の先端
２ａと被測定物３との距離ｄは無視するものとする。
【００２５】探針２が被測定物３の表面を、図２矢印で
示す方向に走査することによって、被測定物３の平坦面
を走査する間は、探針２の先端２ａがトンネリング位置
となる。そして、探針２が被測定物３の３ａ地点に至る
と、上述したようにβ１＞θ２の構成により、一方側面
２Ｂと凸部３Ａの斜面３Ｂとの距離が最少となり、この
状態は探針２の先端２ａが凸部３Ａの頂面３Ｄに達する
まで保持される。すなわち、被測定物３側のトンネリン
グ位置は、一方の頂点３ｂのまま変わらない。
示す方向に走査することによって、被測定物３の平坦面
を走査する間は、探針２の先端２ａがトンネリング位置
となる。そして、探針２が被測定物３の３ａ地点に至る
と、上述したようにβ１＞θ２の構成により、一方側面
２Ｂと凸部３Ａの斜面３Ｂとの距離が最少となり、この
状態は探針２の先端２ａが凸部３Ａの頂面３Ｄに達する
まで保持される。すなわち、被測定物３側のトンネリン
グ位置は、一方の頂点３ｂのまま変わらない。
【００２６】そして、探針２の先端２ａが凸部３Ａの頂
点３ｃを越えて他方斜面３Ｃに至るが、上述したように
θ１＞β２の構成により、探針２と被測定物３との最少
間隔ｄは、先端２ａとこの先端２ａが走査する凸部３Ａ
の他方斜面３Ｃ上に位置され、先端２ａのトンネリング
位置は変わらず保持される。この状態は、凸部３Ａを越
えて被測定物３の平坦面を走査する間保持される。
点３ｃを越えて他方斜面３Ｃに至るが、上述したように
θ１＞β２の構成により、探針２と被測定物３との最少
間隔ｄは、先端２ａとこの先端２ａが走査する凸部３Ａ
の他方斜面３Ｃ上に位置され、先端２ａのトンネリング
位置は変わらず保持される。この状態は、凸部３Ａを越
えて被測定物３の平坦面を走査する間保持される。
【００２７】以上のようにして探針２の走査によって測
定されたＳＴＭ像は、図３に示すように、被測定物３
は、その斜面３Ｂ部分は探針２の一方側面２Ｂの傾斜角
θ２に基づく形状のデータが測定されるが、他方斜面３
Ｃ部分は先端２ａの変位量に基づく正確な斜面形状のデ
ータが測定される。
定されたＳＴＭ像は、図３に示すように、被測定物３
は、その斜面３Ｂ部分は探針２の一方側面２Ｂの傾斜角
θ２に基づく形状のデータが測定されるが、他方斜面３
Ｃ部分は先端２ａの変位量に基づく正確な斜面形状のデ
ータが測定される。
【００２８】なお、探針２をピエゾアクチュエータ１に
対して１８０°位置をズラして取付け、被測定物３の表
面を同様に走査することによって、凸部３Ａの一方斜面
３Ｂの形状を正確に測定することができる。また、上記
第１回目の走査データと第２回目の走査データとをコン
ピユータによって合成処理することによって、全体形状
を得ることができる。
対して１８０°位置をズラして取付け、被測定物３の表
面を同様に走査することによって、凸部３Ａの一方斜面
３Ｂの形状を正確に測定することができる。また、上記
第１回目の走査データと第２回目の走査データとをコン
ピユータによって合成処理することによって、全体形状
を得ることができる。
【００２９】図４乃至図６は、上述した方法によって、
ある角度の傾斜面を有する凸部を有する被測定物につい
て、その傾斜角度を測定したトポグラフ像である。この
測定には、先端角６５°、先端曲率半径４０ｎｍの探針
を使用し、それぞれ中心軸が垂直方向に対して３°、１
９°及び４３°それぞれ傾けた探針を用いて測定したも
のである。
ある角度の傾斜面を有する凸部を有する被測定物につい
て、その傾斜角度を測定したトポグラフ像である。この
測定には、先端角６５°、先端曲率半径４０ｎｍの探針
を使用し、それぞれ中心軸が垂直方向に対して３°、１
９°及び４３°それぞれ傾けた探針を用いて測定したも
のである。
【００３０】図４に示すように、中心軸が垂直方向に対
して３°傾けた探針を用いて走査することによって、被
測定物の凸部は、その右側斜面の傾斜角度が６８°であ
るとのデータが得られた。この第１の測定では、探針の
側面の傾斜角が被測定物の凸部の傾斜面の角度として測
定されたことになる。
して３°傾けた探針を用いて走査することによって、被
測定物の凸部は、その右側斜面の傾斜角度が６８°であ
るとのデータが得られた。この第１の測定では、探針の
側面の傾斜角が被測定物の凸部の傾斜面の角度として測
定されたことになる。
【００３１】次に、図５に示すように、中心軸が垂直方
向に対して１９°傾けた探針を用いて走査することによ
って、被測定物の凸部は、その右側面の傾斜角度が７４
°であるとのデータが得られた。さらに、図６に示すよ
うに、中心軸が垂直方向に対して４３°傾けた探針を用
いて走査することによって、第２の測定と同様に、被測
定物の凸部は、その右側面の傾斜角度が７４°であると
のデータが得られた。
向に対して１９°傾けた探針を用いて走査することによ
って、被測定物の凸部は、その右側面の傾斜角度が７４
°であるとのデータが得られた。さらに、図６に示すよ
うに、中心軸が垂直方向に対して４３°傾けた探針を用
いて走査することによって、第２の測定と同様に、被測
定物の凸部は、その右側面の傾斜角度が７４°であると
のデータが得られた。
【００３２】以上の第２及び第３の測定結果から、被測
定物の凸部は、その右側斜面の傾斜角度が７４°である
ことが確認できる。
定物の凸部は、その右側斜面の傾斜角度が７４°である
ことが確認できる。
【００３３】なお、上記実施例においては、探針２は、
その走査方向の両側面が中心線Ｍに対して相似形に形成
するとともに先端部が垂直方向に対して中心線を角度φ
分傾斜して形成するようにしたが、例えばピエゾアクチ
ュエータの走査方向に対し傾けて取付けることによって
も同等の作用効果が達成されることは勿論である。
その走査方向の両側面が中心線Ｍに対して相似形に形成
するとともに先端部が垂直方向に対して中心線を角度φ
分傾斜して形成するようにしたが、例えばピエゾアクチ
ュエータの走査方向に対し傾けて取付けることによって
も同等の作用効果が達成されることは勿論である。
【００３４】また、実施の範囲は、ＳＴＭばかりでな
く、探針を被測定物の表面上を走査させるその他の測定
方法にも適用可能であり、また例えばタリステップ、原
子間力顕微鏡（ＡＦＭ）或いはマグネット・フォース・
マイクロスコープ（ＭＦＭ）等の測定装置にも適用する
ことができる。
く、探針を被測定物の表面上を走査させるその他の測定
方法にも適用可能であり、また例えばタリステップ、原
子間力顕微鏡（ＡＦＭ）或いはマグネット・フォース・
マイクロスコープ（ＭＦＭ）等の測定装置にも適用する
ことができる。
【００３５】
【発明の効果】上述したように、本発明に係る表面形状
の測定方法によれば、探針を垂直方向に対して走査方向
に傾けて被測定物の表面を走査するようにしたことによ
り、一方側面の傾斜角度が大とされた探針が構成され、
この探針の先端角よりも急峻な段差或いは探針の先端径
よりも幅狭の溝を有する被測定物の斜面或いは溝壁の形
状が正確に測定することができる。
の測定方法によれば、探針を垂直方向に対して走査方向
に傾けて被測定物の表面を走査するようにしたことによ
り、一方側面の傾斜角度が大とされた探針が構成され、
この探針の先端角よりも急峻な段差或いは探針の先端径
よりも幅狭の溝を有する被測定物の斜面或いは溝壁の形
状が正確に測定することができる。
【図１】本発明に係る表面形状測定装置に用いられる探
針の先端拡大図である。
針の先端拡大図である。
【図２】上記探針を用いた表面形状の測定動作の説明図
である。
である。
【図３】上記によって測定した被測定物の表面形状図で
ある。
ある。
【図４】先端角度６５°、曲率半径４０ｎｍの探針を、
垂直方向に対して傾き角度３°で被測定物を測定したト
ポグラフ形状図である。
垂直方向に対して傾き角度３°で被測定物を測定したト
ポグラフ形状図である。
【図５】上記探針を、垂直方向に対して傾き角度１９°
で被測定物を測定したトポグラフ形状図である。
で被測定物を測定したトポグラフ形状図である。
【図６】上記探針を、垂直方向に対して傾き角度４３°
で被測定物を測定したトポグラフ形状図である。
で被測定物を測定したトポグラフ形状図である。
【図７】走査型トンネル顕微鏡の概略構成図である。
【図８】従来の表面形状測定装置に用いられる探針の先
端拡大図である。
端拡大図である。
【図９】上記探針を用いた表面形状の測定動作の説明図
である。
である。
【図１０】上記によって測定した被測定物の表面形状図
である。
である。
１・・・・・・ピエゾアクチュエータ ２・・・・・・探針 ２ａ・・・・・探針先端 ２Ａ、２Ｂ・・探針側面 ３・・・・・・被測定物 ３Ａ・・・・・凸部 ３Ｂ、３Ｃ・・凸部斜面 Ｒ・・・・・・探針先端部曲率半径 Ｍ・・・・・・探針中心線 α・・・・・・探針先端角 θ・・・・・・探針側面傾斜角 β・・・・・・凸部斜面傾斜角 φ・・・・・・探針傾き角度
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 21/00 - 21/32 G01B 7/00 - 7/34 102 G01N 13/10 - 13/24 H01J 37/28
Claims (1)
- 【請求項１】 探針を走査して被測定物の表面形状を測
定する表面形状の測定方法において、 探針の先端部の中心軸を垂直方向に対して走査方向に傾
け、当該先端部の両側面が法線方向を挟んで互いに反対
方向に傾斜するとともに、探針の先端角をαとしたとき
に被測定物の斜面の傾斜角βがβ≧９０−α／２とな
り、探針の走査方向に対する一方側面の傾斜角θ１及び
他方側面の傾斜角θ２がθ１＞β＞θ２となるように、
被測定物の表面を走査することを特徴とした表面形状の
測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28535292A JP3175342B2 (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | 表面形状の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28535292A JP3175342B2 (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | 表面形状の測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06109416A JPH06109416A (ja) | 1994-04-19 |
| JP3175342B2 true JP3175342B2 (ja) | 2001-06-11 |
Family
ID=17690453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28535292A Expired - Fee Related JP3175342B2 (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | 表面形状の測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3175342B2 (ja) |
-
1992
- 1992-09-30 JP JP28535292A patent/JP3175342B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06109416A (ja) | 1994-04-19 |
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