JP3174705B2 - ファイバープローブ装置の製造方法 - Google Patents
ファイバープローブ装置の製造方法Info
- Publication number
- JP3174705B2 JP3174705B2 JP31540294A JP31540294A JP3174705B2 JP 3174705 B2 JP3174705 B2 JP 3174705B2 JP 31540294 A JP31540294 A JP 31540294A JP 31540294 A JP31540294 A JP 31540294A JP 3174705 B2 JP3174705 B2 JP 3174705B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fiber
- etching
- probe device
- manufacturing
- fiber probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
- G01Q60/18—SNOM [Scanning Near-Field Optical Microscopy] or apparatus therefor, e.g. SNOM probes
- G01Q60/22—Probes, their manufacture, or their related instrumentation, e.g. holders
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/02—Optical fibres with cladding with or without a coating
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プローブ装置に関し、
特に度量衡学的ファイバープローブ装置の製造方法に関
する。
特に度量衡学的ファイバープローブ装置の製造方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】１００年以上前、有名な物理学者である
アーネスト・アッベは、光や他の放射線を焦点に合わせ
る画像システムにおいてレンズやレンズシステムに依存
する顕微鏡の根本的限界について記述している。すなわ
ち、回析は放射線の波長約１／２よりも小サイズである
画像の細部を曖昧にする（不明瞭にする）といったこと
である。サイエンティフィクアメリカ２６１巻のＮｏ．
４に９８ページから１０５ページに渡って発表された
Ｈ． Ｋｕｍｅｒ Ｗｉｃｋｒａｍａｓｉｎｇｅの「走
査プローブ顕微鏡」（１９８９年１０月）を参照方。す
なわち、顕微鏡の解像度は放射線の波長によって制限さ
れるということである。この限界を克服するため、研究
者たちは、とりわけ様々なタイプの画像プローブの使用
法を発明してきた。走査型トンネル顕微鏡（以下「ＳＴ
Ｍ」とする）装置、原子間力顕微鏡（以下「ＡＦＭ」と
する）装置、近傍走査型光顕微鏡（以下「ＮＳＯＭ」と
する）等がプローブ顕微鏡における異なるタイプの例で
ある。
アーネスト・アッベは、光や他の放射線を焦点に合わせ
る画像システムにおいてレンズやレンズシステムに依存
する顕微鏡の根本的限界について記述している。すなわ
ち、回析は放射線の波長約１／２よりも小サイズである
画像の細部を曖昧にする（不明瞭にする）といったこと
である。サイエンティフィクアメリカ２６１巻のＮｏ．
４に９８ページから１０５ページに渡って発表された
Ｈ． Ｋｕｍｅｒ Ｗｉｃｋｒａｍａｓｉｎｇｅの「走
査プローブ顕微鏡」（１９８９年１０月）を参照方。す
なわち、顕微鏡の解像度は放射線の波長によって制限さ
れるということである。この限界を克服するため、研究
者たちは、とりわけ様々なタイプの画像プローブの使用
法を発明してきた。走査型トンネル顕微鏡（以下「ＳＴ
Ｍ」とする）装置、原子間力顕微鏡（以下「ＡＦＭ」と
する）装置、近傍走査型光顕微鏡（以下「ＮＳＯＭ」と
する）等がプローブ顕微鏡における異なるタイプの例で
ある。
【０００３】ＳＴＭにおいては、導電サンプルの表面十
分近くに金属プローブが置かれており、トンネル電流が
発生している。この電流の大きさは、先端とサンプル間
の距離で決定する。（すなわち、サンプル表面の位相構
造による。）原子レベルの解像画像を達成するために、
先端は、先端とサンプル間、数オングストローム離れた
位置でサンプルボディの（変則）表面を横切って走査出
来る。トンネル電流、そしてこの先端とサンプル間の距
離は、電気機械的フィードバックサーボ機構により探知
され、制御される。ＡＦＭにおいては、原子間力（短距
離斥力、長距離引力のどちらか）がトンネル電流の代わ
りに探知されるという点を除いて、ＳＴＭと類似の方法
で画像が造られる。この技術の明白な長所は、先端とサ
ンプルが伝導性を有している必要がなく、あらゆる素材
が原子間力を発揮するということである。
分近くに金属プローブが置かれており、トンネル電流が
発生している。この電流の大きさは、先端とサンプル間
の距離で決定する。（すなわち、サンプル表面の位相構
造による。）原子レベルの解像画像を達成するために、
先端は、先端とサンプル間、数オングストローム離れた
位置でサンプルボディの（変則）表面を横切って走査出
来る。トンネル電流、そしてこの先端とサンプル間の距
離は、電気機械的フィードバックサーボ機構により探知
され、制御される。ＡＦＭにおいては、原子間力（短距
離斥力、長距離引力のどちらか）がトンネル電流の代わ
りに探知されるという点を除いて、ＳＴＭと類似の方法
で画像が造られる。この技術の明白な長所は、先端とサ
ンプルが伝導性を有している必要がなく、あらゆる素材
が原子間力を発揮するということである。
【０００４】ＮＳＯＭ装置は、一般的に細長い光プロー
ブの先端部に開口部分を有し、この開口部分は使用され
ている光放射線の波長よりもほぼ小さい（最大）寸法を
有している。装置が作動中、プローブはサンプルボディ
表面のごく近接に位置している。プローブの開口部分
は、この時サンプルボディの全体的表面に垂直な方向
で、プローブ装置上に働いている相互に等しい力の構成
要素によって特徴づけられる分離距離を保って、サンプ
ルボディ表面を横切って走査することが出来る。走査は
電気機械的フィードバックサーボ機構により探知され、
制御されておりＳＴＭやＡＦＭの場合と同様である。
ブの先端部に開口部分を有し、この開口部分は使用され
ている光放射線の波長よりもほぼ小さい（最大）寸法を
有している。装置が作動中、プローブはサンプルボディ
表面のごく近接に位置している。プローブの開口部分
は、この時サンプルボディの全体的表面に垂直な方向
で、プローブ装置上に働いている相互に等しい力の構成
要素によって特徴づけられる分離距離を保って、サンプ
ルボディ表面を横切って走査することが出来る。走査は
電気機械的フィードバックサーボ機構により探知され、
制御されておりＳＴＭやＡＦＭの場合と同様である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】例えば、米国特許Ｎ
ｏ．４，６０４，５２０に、とりわけ、金属層に覆われ
た被覆グラスファイバーの先端部に位置する開口部を有
したプローブ装置についての記述がある。この開口部分
は、ファイバーと同軸の位置でファイバー先端部の金属
層に穴を開けたものである。先端部分の（中間）近傍
は、斜めに傾斜した（先端を切り取られた円錐形の）側
壁部を有した立方体のグラスファイバー部分から構成さ
れている。それにより、この側壁部はどのような種類の
円柱をも形成しない。それゆえ、プローブ装置が荒い表
面を横向きに走査するとき、サンプルボデイ表面の実際
の輪郭（実際の側壁）について所望の情報を決定するた
めの計算には、プローブ側壁部の傾斜輪郭について重要
な詳細知識が必要である。そしてこれらの計算は、急な
跳び（垂直段差）があるサンプルボディ表面においては
特に、要求されるサンプル表面輪郭の正確な度量衡学的
決定は一般的になされない。さらに、プローブ装置の製
造は、特にファイバーと同軸に開口部の穴開けが必要で
あるため、複雑で高価である。
ｏ．４，６０４，５２０に、とりわけ、金属層に覆われ
た被覆グラスファイバーの先端部に位置する開口部を有
したプローブ装置についての記述がある。この開口部分
は、ファイバーと同軸の位置でファイバー先端部の金属
層に穴を開けたものである。先端部分の（中間）近傍
は、斜めに傾斜した（先端を切り取られた円錐形の）側
壁部を有した立方体のグラスファイバー部分から構成さ
れている。それにより、この側壁部はどのような種類の
円柱をも形成しない。それゆえ、プローブ装置が荒い表
面を横向きに走査するとき、サンプルボデイ表面の実際
の輪郭（実際の側壁）について所望の情報を決定するた
めの計算には、プローブ側壁部の傾斜輪郭について重要
な詳細知識が必要である。そしてこれらの計算は、急な
跳び（垂直段差）があるサンプルボディ表面においては
特に、要求されるサンプル表面輪郭の正確な度量衡学的
決定は一般的になされない。さらに、プローブ装置の製
造は、特にファイバーと同軸に開口部の穴開けが必要で
あるため、複雑で高価である。
【０００６】もう一つの例は、ＧｅＯ2 添加コア光ファ
イバーの選択的化学エッチングによる、光子トンネル顕
微鏡（ＰＳＴＭ）のナノメータサイズの先端直径を有す
るファイバープローブの製造に関するものである。ジャ
パンジャーナル応用物理３１巻（１９９２年）、Ｌ１３
０２ページからＬ１３０４ページに掲載されているＴｏ
ｇａｒ Ｐａｎｇａｒｉｂｕａｎによる「光子走査型ト
ンネル顕微鏡のナノメータ先端直径のファイバープロー
ブの再生技術」、等を参照方。ファイバーのＧｅＯ2 添
加領域を選択的にエッチングすることにより、光ファイ
バーの末端面上に小円錐形の先細りチップを形成するこ
とが出来る。ファイバープローブの先端の円錐角はファ
イバーコアのドーピング率とエッチング溶液構成を変え
ることでコントロールする。ここでは円錐角２０゜、先
端直径１０ｎｍのファイバープローブが製造されてい
る。円錐形の末端面を有するプローブのみがこの技術を
用いて製造出来るので、側壁はどのような種類の円柱形
をも形成しない。走査の間、プローブはアークの中で側
壁から側壁へラスターされるという事実を結びつけて
も、このようなプローブの走査範囲は、比較的小さい幅
の円錐形の先端が中央にある末端面の比較的大きな幅
（直径）のために制限されがちである。つまり、所望の
長い距離の走査を試みようとすると、プローブの末端面
の角はサンプル表面と望ましくない接触をおこしがちで
ある。さらに、プローブされている表面が突然跳躍する
場合にはいつでも、先端の円錐形は測定の精度に望まし
くない限界を設けてしまう。
イバーの選択的化学エッチングによる、光子トンネル顕
微鏡（ＰＳＴＭ）のナノメータサイズの先端直径を有す
るファイバープローブの製造に関するものである。ジャ
パンジャーナル応用物理３１巻（１９９２年）、Ｌ１３
０２ページからＬ１３０４ページに掲載されているＴｏ
ｇａｒ Ｐａｎｇａｒｉｂｕａｎによる「光子走査型ト
ンネル顕微鏡のナノメータ先端直径のファイバープロー
ブの再生技術」、等を参照方。ファイバーのＧｅＯ2 添
加領域を選択的にエッチングすることにより、光ファイ
バーの末端面上に小円錐形の先細りチップを形成するこ
とが出来る。ファイバープローブの先端の円錐角はファ
イバーコアのドーピング率とエッチング溶液構成を変え
ることでコントロールする。ここでは円錐角２０゜、先
端直径１０ｎｍのファイバープローブが製造されてい
る。円錐形の末端面を有するプローブのみがこの技術を
用いて製造出来るので、側壁はどのような種類の円柱形
をも形成しない。走査の間、プローブはアークの中で側
壁から側壁へラスターされるという事実を結びつけて
も、このようなプローブの走査範囲は、比較的小さい幅
の円錐形の先端が中央にある末端面の比較的大きな幅
（直径）のために制限されがちである。つまり、所望の
長い距離の走査を試みようとすると、プローブの末端面
の角はサンプル表面と望ましくない接触をおこしがちで
ある。さらに、プローブされている表面が突然跳躍する
場合にはいつでも、先端の円錐形は測定の精度に望まし
くない限界を設けてしまう。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述した問題点を解決す
るため、本発明のファイバープローブの製造方法は、
（ａ）（ｂ）の工程に先行し、初期の高さを有するファ
イバー部分の円柱下部のみエッチングを行うことによ
り、該下部の最大幅を減じ、（ｂ）円柱下部を切断する
ことにより、初期の高さが減じられ、切断底面が生じ、
（ｃ）切断底面と、その減じられた高さ以下である所定
の高さの側面部の両方を保護マスキング層でコーテイン
グし、（ｄ）円柱下部をエッチングすることで側壁部を
凹形状とし、（ｅ）（ｆ）の工程に先行し、マスキング
層を取り除き、（ｆ）円柱下部をエッチングすること
で、切断面の最大幅を所望値まで減じる手段を備えてい
る。
るため、本発明のファイバープローブの製造方法は、
（ａ）（ｂ）の工程に先行し、初期の高さを有するファ
イバー部分の円柱下部のみエッチングを行うことによ
り、該下部の最大幅を減じ、（ｂ）円柱下部を切断する
ことにより、初期の高さが減じられ、切断底面が生じ、
（ｃ）切断底面と、その減じられた高さ以下である所定
の高さの側面部の両方を保護マスキング層でコーテイン
グし、（ｄ）円柱下部をエッチングすることで側壁部を
凹形状とし、（ｅ）（ｆ）の工程に先行し、マスキング
層を取り除き、（ｆ）円柱下部をエッチングすること
で、切断面の最大幅を所望値まで減じる手段を備えてい
る。
【０００８】
【作用】円柱下部は、望ましくは約０．０５μｍから１
００μｍ範囲の最大幅を有し、細い真円柱軸に垂直な平
末端面をその最末端とする。ここで使った「最大幅」は
最大直径に当たる。すなわち、ファイバー部分の円柱領
域断面に引くことが出来る、円柱軸に垂直な最長ライン
であり、断面の一方の末端から他方の末端まで円柱軸に
対し垂直方向をなしている。（ｅ）の工程のエッチング
は（ｂ）と（ｇ）の工程のエッチング同様、基本的に等
方性エッチングであることが望ましい。
００μｍ範囲の最大幅を有し、細い真円柱軸に垂直な平
末端面をその最末端とする。ここで使った「最大幅」は
最大直径に当たる。すなわち、ファイバー部分の円柱領
域断面に引くことが出来る、円柱軸に垂直な最長ライン
であり、断面の一方の末端から他方の末端まで円柱軸に
対し垂直方向をなしている。（ｅ）の工程のエッチング
は（ｂ）と（ｇ）の工程のエッチング同様、基本的に等
方性エッチングであることが望ましい。
【０００９】プローブ素子の下部がこのように、望まし
くは円柱軸に垂直な、少なくともほぼ平らな末端面を有
している事実は、正確な位置決めを可能にし、従ってサ
ンプル表面で突然の跳びがあっても、プローブによって
走査されるサンプルボディ表面の位置決定を可能にす
る。円柱下部の側壁に生じた凹形は、サンプルボディ表
面上に凹形の（下が切断された）輪郭を作ることが出来
る。プローブがＮＳＯＭ目的で使われる場合や時、ファ
イバープローブ先端内に光を閉じ込めるためにプローブ
側壁を適当な光学的反射層で覆うことが出来る。
くは円柱軸に垂直な、少なくともほぼ平らな末端面を有
している事実は、正確な位置決めを可能にし、従ってサ
ンプル表面で突然の跳びがあっても、プローブによって
走査されるサンプルボディ表面の位置決定を可能にす
る。円柱下部の側壁に生じた凹形は、サンプルボディ表
面上に凹形の（下が切断された）輪郭を作ることが出来
る。プローブがＮＳＯＭ目的で使われる場合や時、ファ
イバープローブ先端内に光を閉じ込めるためにプローブ
側壁を適当な光学的反射層で覆うことが出来る。
【００１０】
【実施例】図１、図２に関し、ファイバー部分１０は一
般的に光ファイバー部分であり、円柱形をなしている。
このファイバー部分１０は接着剤で覆われた適材３１の
薄い層によって、一般的にテフロン製であるホルダー４
５にしっかりと付けられている。ファイバー部分１０の
下部は、基本的にウエット等方性エッチング溶液５０に
浸されており（図３）、この溶液は一般的に、（７：
１）緩衝酸化膜エッチング溶液２部、フッ化水素酸１
部、１成分の酢酸１部、Ｈ2 Ｏ１部から出来ているよう
な緩衝酸化膜エッチング溶液である。この酢酸とＨ2 Ｏ
の化合物はエッチング中、ファイバー表面上の不要残余
物を溶液にするのを助ける。
般的に光ファイバー部分であり、円柱形をなしている。
このファイバー部分１０は接着剤で覆われた適材３１の
薄い層によって、一般的にテフロン製であるホルダー４
５にしっかりと付けられている。ファイバー部分１０の
下部は、基本的にウエット等方性エッチング溶液５０に
浸されており（図３）、この溶液は一般的に、（７：
１）緩衝酸化膜エッチング溶液２部、フッ化水素酸１
部、１成分の酢酸１部、Ｈ2 Ｏ１部から出来ているよう
な緩衝酸化膜エッチング溶液である。この酢酸とＨ2 Ｏ
の化合物はエッチング中、ファイバー表面上の不要残余
物を溶液にするのを助ける。
【００１１】ファイバー１０はこのように所定時間エッ
チング溶液５０に浸された後、図４に示すような形にな
る。すなわち、円柱形で比較的厚みのある円柱部分２３
と、先細りの中間部分２２と、直径２Ｒである比較的細
い円柱下部分２１である。
チング溶液５０に浸された後、図４に示すような形にな
る。すなわち、円柱形で比較的厚みのある円柱部分２３
と、先細りの中間部分２２と、直径２Ｒである比較的細
い円柱下部分２１である。
【００１２】例えば、エッチング溶液５０に浸されるフ
ァイバー部分１０の下部の最初の高さ（長さ）Ｈ（図
３）は、一般的に約２．５ｃｍであり、ファイバー部分
１０の直径（図１）は、一般的に約１２５μｍ以上であ
る。１０の部分は従来の光ファイバー技術で知られてい
るように、被覆部分（図示せず）によって囲まれている
コア部分（図示せず）を有する。
ァイバー部分１０の下部の最初の高さ（長さ）Ｈ（図
３）は、一般的に約２．５ｃｍであり、ファイバー部分
１０の直径（図１）は、一般的に約１２５μｍ以上であ
る。１０の部分は従来の光ファイバー技術で知られてい
るように、被覆部分（図示せず）によって囲まれている
コア部分（図示せず）を有する。
【００１３】溶液５０でエッチングされた後、細い下部
２１は、浸される継続時間で決定されるが、一般的に約
３０μｍ以上の直径２Ｒ（図４）を有する。
２１は、浸される継続時間で決定されるが、一般的に約
３０μｍ以上の直径２Ｒ（図４）を有する。
【００１４】次に、この下部２１の低面を、光学顕微観
察や、他のミクロンメータをコントロールする方法を授
用したファイバー切断器により、上部２３と下部２１の
共軸に垂直をなした平面にて、好都合に切断する。この
ようにして円柱下部３１の長さは所定の長さｈ（図５）
まで減じられ、その先端はこの円柱下部３１の軸に対し
て垂直方向に平面をなす。一般的にこの長さｈは約５．
０μｍである。利用できるｈの概算範囲は、０．０５μ
ｍから５０μｍである。一般的範囲は０．０５μｍから
３０μｍであり、望ましくは約０．５μｍから１０μｍ
の範囲である。
察や、他のミクロンメータをコントロールする方法を授
用したファイバー切断器により、上部２３と下部２１の
共軸に垂直をなした平面にて、好都合に切断する。この
ようにして円柱下部３１の長さは所定の長さｈ（図５）
まで減じられ、その先端はこの円柱下部３１の軸に対し
て垂直方向に平面をなす。一般的にこの長さｈは約５．
０μｍである。利用できるｈの概算範囲は、０．０５μ
ｍから５０μｍである。一般的範囲は０．０５μｍから
３０μｍであり、望ましくは約０．５μｍから１０μｍ
の範囲である。
【００１５】切断後、ファイバー３１部分（図５）の底
辺部分を耐エッチングマスキング層２５で高さｋまで覆
う。このｋの高さは、約ｈ／２からｈの範囲が望まし
い。マスキング層２５を形成するひとつの方法として
は、ファイバー下部を３Ｍ社製のＫＥＬＦ８００のよう
な液体ポリマーの中にｋの高さまで、ただ浸すだけでよ
い。
辺部分を耐エッチングマスキング層２５で高さｋまで覆
う。このｋの高さは、約ｈ／２からｈの範囲が望まし
い。マスキング層２５を形成するひとつの方法として
は、ファイバー下部を３Ｍ社製のＫＥＬＦ８００のよう
な液体ポリマーの中にｋの高さまで、ただ浸すだけでよ
い。
【００１６】次に、図３に関連して上述した溶液と一般
的に同じエッチング溶液５０の中に、ファイバーを浸す
（図７）。このエッチングは下部凹形部分２６（図８）
の側壁に要求される窪みの程度によって、例えば事前の
試行錯誤や、光学器機による現状での観察などによって
あらかじめ決定された時間分だけ続けることが出来る。
プローブ側面に形成された凹形状はこのようにマスキン
グ層２５のエッチングによるくり抜きにより形成され
る。ゆえに、くり抜きの程度は（この凹形の程度は）エ
ッチングの合計時間により判断される（図７）。
的に同じエッチング溶液５０の中に、ファイバーを浸す
（図７）。このエッチングは下部凹形部分２６（図８）
の側壁に要求される窪みの程度によって、例えば事前の
試行錯誤や、光学器機による現状での観察などによって
あらかじめ決定された時間分だけ続けることが出来る。
プローブ側面に形成された凹形状はこのようにマスキン
グ層２５のエッチングによるくり抜きにより形成され
る。ゆえに、くり抜きの程度は（この凹形の程度は）エ
ッチングの合計時間により判断される（図７）。
【００１７】マスキング層２５をよく知られている方法
で、一般的に、ファイバーを腐食しない適した溶剤で取
り除く（図８）。図７で示すエッチングではファイバー
を入れたエッチング溶液のメニスカスの交線レベルが、
（不要で、かつ、注意深いレベル調整を必要としない）
先細り中間部分２２の頂上レベルと一致するか、または
落ち込むかしない限り、一般に円筒状の中間部分３２を
造り出す。
で、一般的に、ファイバーを腐食しない適した溶剤で取
り除く（図８）。図７で示すエッチングではファイバー
を入れたエッチング溶液のメニスカスの交線レベルが、
（不要で、かつ、注意深いレベル調整を必要としない）
先細り中間部分２２の頂上レベルと一致するか、または
落ち込むかしない限り、一般に円筒状の中間部分３２を
造り出す。
【００１８】マスキング層の除去後（図８）、あらかじ
め決定されたプローブ素子の最終要求直径ｗと、高さｈ
（後者は基本的に図８と同）が達成されるまで（図
９）、ファイバーに再度、基本的に等方的にエッチング
を行う（図９）。ファイバープローブ先端部分３６は、
図９で示される全体のエッチングの間じゅう、その形を
維持している。
め決定されたプローブ素子の最終要求直径ｗと、高さｈ
（後者は基本的に図８と同）が達成されるまで（図
９）、ファイバーに再度、基本的に等方的にエッチング
を行う（図９）。ファイバープローブ先端部分３６は、
図９で示される全体のエッチングの間じゅう、その形を
維持している。
【００１９】図７に示されるエッチングの後、ファイバ
ー部分（図７、図８）は一般的に溶液５０へ浸す高さ
（長さ）に応じて、円柱中間部分３２を有する。図７と
図９で示したエッチング溶液５０は、一般的に図３で使
われていたエッチング溶液５０と同様の構成を有してい
る。図３から図４、図７、図９で示したエッチングは全
て基本的に等方性であることが望ましい。このように、
プラズマでの基本的等方性ドライエッチングは処理スピ
ードを犠牲にして（少なくともドライエッチング技術に
おける現在の状況においては）これらのどのようなエッ
チングにも使用されうる。
ー部分（図７、図８）は一般的に溶液５０へ浸す高さ
（長さ）に応じて、円柱中間部分３２を有する。図７と
図９で示したエッチング溶液５０は、一般的に図３で使
われていたエッチング溶液５０と同様の構成を有してい
る。図３から図４、図７、図９で示したエッチングは全
て基本的に等方性であることが望ましい。このように、
プラズマでの基本的等方性ドライエッチングは処理スピ
ードを犠牲にして（少なくともドライエッチング技術に
おける現在の状況においては）これらのどのようなエッ
チングにも使用されうる。
【００２０】このようにして、また別の円柱中間部分で
ある２４は、一般に浸される高さ（長さ）に応じて再度
形成される。一方でこの円柱中間部分２４の形成は、フ
ァイバーを入れたエッチング溶液５０のメニスカス５２
の交線位置を注意深く調整することで、避けることが出
来る。ともかく、幅ｗの末端面を有した非常に細い凹形
先端部分３６（図９）が形成される。
ある２４は、一般に浸される高さ（長さ）に応じて再度
形成される。一方でこの円柱中間部分２４の形成は、フ
ァイバーを入れたエッチング溶液５０のメニスカス５２
の交線位置を注意深く調整することで、避けることが出
来る。ともかく、幅ｗの末端面を有した非常に細い凹形
先端部分３６（図９）が形成される。
【００２１】先端部分３６はこのように所定の低面幅ｗ
を有しており、このｗは、試行錯誤の末、あるいはエッ
チングの間光学器機で観察したりして、あらかじめ溶液
５０（図９）の中に浸すエッチングの継続期間を決めて
おくことでコントロールすることが出来る。先端部分３
６の底面の直径ｗは、約０．０１μｍぐらいまで小さく
出来、１５０μｍ以上の大きさにもなり得る。一般的に
は約０．０５μｍから０．５μｍの範囲であり、望まし
くは約０．０５μｍから０．２μｍの範囲である。結
局、その範囲はサンプル表面を測定するときに要求され
るプローブの度量衡学的使用法による。すなわち、測定
に要求される度量衡学的解像度により、ファイバーがプ
ローブ 装置として使用され続ける間はファイバーによ
って決定される。
を有しており、このｗは、試行錯誤の末、あるいはエッ
チングの間光学器機で観察したりして、あらかじめ溶液
５０（図９）の中に浸すエッチングの継続期間を決めて
おくことでコントロールすることが出来る。先端部分３
６の底面の直径ｗは、約０．０１μｍぐらいまで小さく
出来、１５０μｍ以上の大きさにもなり得る。一般的に
は約０．０５μｍから０．５μｍの範囲であり、望まし
くは約０．０５μｍから０．２μｍの範囲である。結
局、その範囲はサンプル表面を測定するときに要求され
るプローブの度量衡学的使用法による。すなわち、測定
に要求される度量衡学的解像度により、ファイバーがプ
ローブ 装置として使用され続ける間はファイバーによ
って決定される。
【００２２】一般的に、このような度量衡学的使用法に
は、従来の技術で知られているように、サンプルボディ
の全体表面に垂直な方向で（例えば）相互に等しい力の
要素（ＮＳＯＭの場合）によって距離が性格づけられて
いる全ての電気機械的フィードバックサーボ機構でプロ
ーブ装置を支えている間、プローブでサンプルボデイの
表面を走査する（プローブ装置の先端部分をサンプルボ
デイの表面を横切って移動させる）ことが含まれる。
は、従来の技術で知られているように、サンプルボディ
の全体表面に垂直な方向で（例えば）相互に等しい力の
要素（ＮＳＯＭの場合）によって距離が性格づけられて
いる全ての電気機械的フィードバックサーボ機構でプロ
ーブ装置を支えている間、プローブでサンプルボデイの
表面を走査する（プローブ装置の先端部分をサンプルボ
デイの表面を横切って移動させる）ことが含まれる。
【００２３】エッチングの継続時間は、試行錯誤によっ
て、あるいは現状を光学器械で観察することで決定出来
る。
て、あるいは現状を光学器械で観察することで決定出来
る。
【００２４】本発明の特定実施例に関して詳細に記述し
てきたが、発明の範囲から離れることなしに様々な修正
を加えることが出来る。例えば、ファイバー部分１０
は、光ファイバーの代わりに、上記のようにエッチング
が出来き、切断によって平面を形成することが出来るど
のような素材からでも作ることが出来る。そして全ての
ウエットエッチングが超音波振動により増進されること
が出来る。基本的な等方性エッチングの代わりにドライ
プラズマエッチングのような、他の種類のエッチング技
術を用いることも出来る。特に、図７や図９で示された
エッチングは、望ましくは（絶対ではないが）基本的に
等方性である。エッチング溶液（図３から図４、図７、
図９）は、化学的に、又は物理的に異なっていてもよ
い。（すなわち、これらいくつかのエッチング工程にお
いてはドライエッチングで、他の工程においてはウエッ
トエッチングである場合もあり得る。）
てきたが、発明の範囲から離れることなしに様々な修正
を加えることが出来る。例えば、ファイバー部分１０
は、光ファイバーの代わりに、上記のようにエッチング
が出来き、切断によって平面を形成することが出来るど
のような素材からでも作ることが出来る。そして全ての
ウエットエッチングが超音波振動により増進されること
が出来る。基本的な等方性エッチングの代わりにドライ
プラズマエッチングのような、他の種類のエッチング技
術を用いることも出来る。特に、図７や図９で示された
エッチングは、望ましくは（絶対ではないが）基本的に
等方性である。エッチング溶液（図３から図４、図７、
図９）は、化学的に、又は物理的に異なっていてもよ
い。（すなわち、これらいくつかのエッチング工程にお
いてはドライエッチングで、他の工程においてはウエッ
トエッチングである場合もあり得る。）
【００２５】切断（図５）の前に、もう一つのエッチン
グを採り入れることにより、円柱中間部分３２と円柱上
部２３の間に別の（特別な）円柱中間部分（図示せず）
を造ることが出来る。特別な円柱部分（図示せず）の幅
Ｗは、一般的に約１０μｍから５０μｍの範囲であり、
望ましくは約１０μｍから３０μｍの範囲である。さら
に詳しく説明すると、係属出願中マーチマン３にその全
容が詳しく記述されているように、ファイバー部分１０
は図４に示すようにエッチングされた後、所定の距離
（高さ）ｄまで持ち上げられ、該所定時間の間、現状で
同じようにエッチングされる。一般的にこの距離ｄは約
５μｍから２ｘ１０3 μｍ（＝２Ｅ３μｍ）の範囲であ
り、望ましくは５ｘ１０1 μｍ（＝５Ｅ１μｍ）から５
ｘ１０2 μｍ（＝５Ｅ２μｍ）の範囲である。このよう
な場合においては、下部３１（図５）の長さｈは一般的
に０．０５μｍから３０μｍの範囲であり、望ましくは
１μｍから１０μｍの範囲である。
グを採り入れることにより、円柱中間部分３２と円柱上
部２３の間に別の（特別な）円柱中間部分（図示せず）
を造ることが出来る。特別な円柱部分（図示せず）の幅
Ｗは、一般的に約１０μｍから５０μｍの範囲であり、
望ましくは約１０μｍから３０μｍの範囲である。さら
に詳しく説明すると、係属出願中マーチマン３にその全
容が詳しく記述されているように、ファイバー部分１０
は図４に示すようにエッチングされた後、所定の距離
（高さ）ｄまで持ち上げられ、該所定時間の間、現状で
同じようにエッチングされる。一般的にこの距離ｄは約
５μｍから２ｘ１０3 μｍ（＝２Ｅ３μｍ）の範囲であ
り、望ましくは５ｘ１０1 μｍ（＝５Ｅ１μｍ）から５
ｘ１０2 μｍ（＝５Ｅ２μｍ）の範囲である。このよう
な場合においては、下部３１（図５）の長さｈは一般的
に０．０５μｍから３０μｍの範囲であり、望ましくは
１μｍから１０μｍの範囲である。
【００２６】ＮＳＯＭ装置として使用する際には、少な
くとも先端部分３６の側壁は、クロム等の金属層のよう
な光学的反射層で覆われているか、または、ファイバー
部分１０は、従来の技術で知られているように、コア部
分と被覆部分を有しているか（これにより被覆部分はＮ
ＳＯＭ使用の間、光放射線を反射する）、または、この
両方であることが望ましい。
くとも先端部分３６の側壁は、クロム等の金属層のよう
な光学的反射層で覆われているか、または、ファイバー
部分１０は、従来の技術で知られているように、コア部
分と被覆部分を有しているか（これにより被覆部分はＮ
ＳＯＭ使用の間、光放射線を反射する）、または、この
両方であることが望ましい。
【００２７】ファイバー部分１０（図１）がコア部分と
同様に被覆部分を有している場合、望ましくはコア部分
（ここで化学的構成要素は一定である）の直径は合計し
てｗよりも大きく、約２．５μｍから３．５μｍの範囲
である。
同様に被覆部分を有している場合、望ましくはコア部分
（ここで化学的構成要素は一定である）の直径は合計し
てｗよりも大きく、約２．５μｍから３．５μｍの範囲
である。
【図１】標準的なファイバー部分の立体断面図である。
【図２】図１において示されている断面２ー２における
断面図である。
断面図である。
【図３】本発明の明確な具体的実施例に従って製造され
るファイバープローブ装置の立体断面図である。分かり
やすくするため、尺度や具体的数字の記述はしていな
い。
るファイバープローブ装置の立体断面図である。分かり
やすくするため、尺度や具体的数字の記述はしていな
い。
【図４】本発明の明確な具体的実施例に従って製造され
るファイバープローブ装置の立体断面図である。分かり
やすくするため、尺度や具体的数字の記述はしていな
い。
るファイバープローブ装置の立体断面図である。分かり
やすくするため、尺度や具体的数字の記述はしていな
い。
【図５】本発明の明確な具体的実施例に従って製造され
るファイバープローブ装置の立体断面図である。分かり
やすくするため、尺度や具体的数字の記述はしていな
い。
るファイバープローブ装置の立体断面図である。分かり
やすくするため、尺度や具体的数字の記述はしていな
い。
【図６】本発明の明確な具化的実施例に従って製造され
るファイバープローブ装置の立体断面図である。分かり
やすくするため、尺度や具体的数字の記述はしていな
い。
るファイバープローブ装置の立体断面図である。分かり
やすくするため、尺度や具体的数字の記述はしていな
い。
【図７】本発明の明確な具体的実施例に従って製造され
るファイバープローブ装置の立体断面図である。分かり
やすくするため、尺度や具体的数字の記述はしていな
い。
るファイバープローブ装置の立体断面図である。分かり
やすくするため、尺度や具体的数字の記述はしていな
い。
【図８】本発明の明確な具体的実施例に従って製造され
るファイバープローブ装置の立体断面図である。分かり
やすくするため、尺度や具体的数字の記述はしていな
い。
るファイバープローブ装置の立体断面図である。分かり
やすくするため、尺度や具体的数字の記述はしていな
い。
【図９】本発明の明確な具体的実施例に従って製造され
るファイバープローブ装置の立体断面図である。分かり
やすくするため、尺度や具体的数字の記述はしていな
い。
るファイバープローブ装置の立体断面図である。分かり
やすくするため、尺度や具体的数字の記述はしていな
い。
１０ ファイバー部分 ２５ マスキング層 ２６ ファイバー凹形下位部分 ３６ ファイバー凹形先端部分 ４５ ホルダー ５０ エッチング溶液
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−104136（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−291310（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−333234（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−151769（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−209307（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−209308（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 37/00 G02B 6/00 - 6/54 G12B 21/06
Claims (8)
- 【請求項１】 円柱ファイバー部分を提供する工程を有
した、ファイバープローブ装置の製造方法において、
（ａ）（ｂ）の工程に先行し、初期の高さを有するファ
イバー部分の円柱下部のみエッチングを行うことによ
り、該下部の最大幅を減じる工程と、（ｂ）円柱下部を
切断することにより、初期の高さが減じられ、切断底面
が生じる工程と、（ｃ）切断底面と、その減じられた高
さ以下である所定の高さの側面部の両方を保護マスキン
グ層でコーテイングする工程と、（ｄ）円柱下部をエッ
チングすることで側壁部を凹形状とする工程と、（ｅ）
（ｆ）の工程に先行し、マスキング層を取り除く工程
と、（ｆ）円柱下部をエッチングすることで、切断面の
最大幅を所望値まで減じる工程とを有することを特徴と
するファイバープローブ装置の製造方法。 - 【請求項２】 前期所望値が０．０１μｍから１５０μ
ｍの概算範囲内である請求項１記載のファイバーブプロ
ーブ装置の製造方法。 - 【請求項３】 前期概算範囲が０．０５μｍから０．５
μｍである請求項２記載のファイバープローブ装置の製
造方法。 - 【請求項４】 減じられる長さの概算範囲が０．０５μ
ｍから３０μｍである請求項１記載のファイバープロー
ブ装置の製造方法。 - 【請求項５】 請求項１の（ａ）と（ｂ）の間の工程
で、下部の最下部分のさらなるエッチング工程により、
最下部分の最大幅が下部よりも小さくなる工程をさらに
有する請求項１記載のファイバープローブ装置の製造方
法。 - 【請求項６】 あらかじめ決定された長さと減じられた
長さの比率が、約０．５から１以内である請求項１から
５のいずれかに記載のファイバープローブ装置の製造方
法。 - 【請求項７】 切断を円柱下部の軸に対し、垂直をなす
面に向けて行われる、請求項１から５のいずれかに記載
のファイバープローブ装置の製造方法。 - 【請求項８】 請求項１の（ｄ）の工程におけるエッチ
ングは基本的に等方性エッチングとする請求項１から５
のいずれかに記載のファイバープローブ装置の製造方
法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US17338493A | 1993-12-22 | 1993-12-22 | |
| US173384 | 1993-12-22 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07209529A JPH07209529A (ja) | 1995-08-11 |
| JP3174705B2 true JP3174705B2 (ja) | 2001-06-11 |
Family
ID=22631763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31540294A Expired - Fee Related JP3174705B2 (ja) | 1993-12-22 | 1994-12-20 | ファイバープローブ装置の製造方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5480046A (ja) |
| EP (1) | EP0664468B1 (ja) |
| JP (1) | JP3174705B2 (ja) |
| KR (1) | KR950017781A (ja) |
| DE (1) | DE69423092T2 (ja) |
| SG (1) | SG43698A1 (ja) |
Families Citing this family (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0752601B1 (en) * | 1994-03-24 | 2003-05-14 | Kanagawa Academy Of Science And Technology | Optical fiber and its manufacture |
| EP0924524A4 (en) * | 1996-09-06 | 1999-11-24 | Kanagawa Kagaku Gijutsu Akad | OPTICAL FIBER PROBE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF |
| KR20000067106A (ko) * | 1999-04-23 | 2000-11-15 | 구본준 | 유리기판 에칭장치 |
| US6975898B2 (en) | 2000-06-19 | 2005-12-13 | University Of Washington | Medical imaging, diagnosis, and therapy using a scanning single optical fiber system |
| US7555333B2 (en) * | 2000-06-19 | 2009-06-30 | University Of Washington | Integrated optical scanning image acquisition and display |
| US6845190B1 (en) | 2000-11-27 | 2005-01-18 | University Of Washington | Control of an optical fiber scanner |
| US6856712B2 (en) * | 2000-11-27 | 2005-02-15 | University Of Washington | Micro-fabricated optical waveguide for use in scanning fiber displays and scanned fiber image acquisition |
| US7616986B2 (en) * | 2001-05-07 | 2009-11-10 | University Of Washington | Optical fiber scanner for performing multimodal optical imaging |
| US7349098B2 (en) * | 2001-05-07 | 2008-03-25 | University Of Washington | Simultaneous beam-focus and coherence-gate tracking for real-time optical coherence tomography |
| WO2004068218A2 (en) * | 2003-01-24 | 2004-08-12 | University Of Washington | Optical beam scanning system for compact image display or image acquisition |
| WO2005058137A2 (en) | 2003-12-12 | 2005-06-30 | University Of Washington | Catheterscope 3d guidance and interface system |
| US7530948B2 (en) * | 2005-02-28 | 2009-05-12 | University Of Washington | Tethered capsule endoscope for Barrett's Esophagus screening |
| WO2007067163A1 (en) * | 2005-11-23 | 2007-06-14 | University Of Washington | Scanning beam with variable sequential framing using interrupted scanning resonance |
| US20070213618A1 (en) * | 2006-01-17 | 2007-09-13 | University Of Washington | Scanning fiber-optic nonlinear optical imaging and spectroscopy endoscope |
| WO2007106075A2 (en) * | 2006-03-03 | 2007-09-20 | University Of Washington | Multi-cladding optical fiber scanner |
| US20070216908A1 (en) * | 2006-03-17 | 2007-09-20 | University Of Washington | Clutter rejection filters for optical doppler tomography |
| US20080058629A1 (en) * | 2006-08-21 | 2008-03-06 | University Of Washington | Optical fiber scope with both non-resonant illumination and resonant collection/imaging for multiple modes of operation |
| US20080132834A1 (en) * | 2006-12-04 | 2008-06-05 | University Of Washington | Flexible endoscope tip bending mechanism using optical fibers as tension members |
| US20080243030A1 (en) * | 2007-04-02 | 2008-10-02 | University Of Washington | Multifunction cannula tools |
| US8840566B2 (en) | 2007-04-02 | 2014-09-23 | University Of Washington | Catheter with imaging capability acts as guidewire for cannula tools |
| US7952718B2 (en) * | 2007-05-03 | 2011-05-31 | University Of Washington | High resolution optical coherence tomography based imaging for intraluminal and interstitial use implemented with a reduced form factor |
| US20090137893A1 (en) * | 2007-11-27 | 2009-05-28 | University Of Washington | Adding imaging capability to distal tips of medical tools, catheters, and conduits |
| US10254483B2 (en) * | 2016-12-22 | 2019-04-09 | Magic Leap, Inc. | Shaped fiber elements for scanning fiber displays |
| CN109706515B (zh) * | 2019-01-11 | 2020-02-28 | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 | 一种可控长径比的钨丝针尖的制备装置及制备方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3276138D1 (en) * | 1982-12-27 | 1987-05-27 | Ibm | Optical near-field scanning microscope |
| US5018865A (en) * | 1988-10-21 | 1991-05-28 | Ferrell Thomas L | Photon scanning tunneling microscopy |
| EP0413040B1 (en) * | 1989-08-16 | 1992-12-16 | International Business Machines Corporation | Method of producing ultrafine silicon tips for the afm/stm profilometry |
| EP0468071B1 (en) * | 1990-07-25 | 1994-09-14 | International Business Machines Corporation | Method of producing micromechanical sensors for the AFM/STM/MFM profilometry and micromechanical AFM/STM/MFM sensor head |
| DE69118117T2 (de) * | 1990-11-19 | 1996-10-24 | At & T Corp., New York, N.Y. | Optisches Nahfeldabtastmikroskop und dessen Anwendungen |
| US5272330A (en) * | 1990-11-19 | 1993-12-21 | At&T Bell Laboratories | Near field scanning optical microscope having a tapered waveguide |
| US5168538A (en) * | 1991-01-16 | 1992-12-01 | Gillespie Donald E | Optical probe employing an impedance matched sub-lambda transmission line |
| US5290398A (en) * | 1992-12-21 | 1994-03-01 | General Electric Company | Synthesis of tapers for fiber optic sensors |
-
1994
- 1994-05-20 US US08/247,164 patent/US5480046A/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-12-07 SG SG1995002247A patent/SG43698A1/en unknown
- 1994-12-07 DE DE69423092T patent/DE69423092T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1994-12-07 EP EP94309100A patent/EP0664468B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-12-20 JP JP31540294A patent/JP3174705B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1994-12-21 KR KR1019940035528A patent/KR950017781A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0664468A1 (en) | 1995-07-26 |
| JPH07209529A (ja) | 1995-08-11 |
| SG43698A1 (en) | 1997-11-14 |
| US5480046A (en) | 1996-01-02 |
| EP0664468B1 (en) | 2000-02-23 |
| DE69423092T2 (de) | 2000-08-31 |
| DE69423092D1 (de) | 2000-03-30 |
| KR950017781A (ko) | 1995-07-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3174705B2 (ja) | ファイバープローブ装置の製造方法 | |
| US5703979A (en) | Cylindrical fiber probe devices | |
| EP0661570B1 (en) | Fibre probe device having multiple diameters | |
| JP3276792B2 (ja) | パターン化反応イオンエッチングを用いたファイバープローブ装置の製造方法 | |
| US5570441A (en) | Cylindrical fiber probes and methods of making them | |
| US7533561B2 (en) | Oscillator for atomic force microscope and other applications | |
| US5578745A (en) | Calibration standards for profilometers and methods of producing them | |
| JP4543225B2 (ja) | 光導波路プローブの製造方法 | |
| JP2903211B2 (ja) | プローブとプローブ製造方法及び走査型プローブ顕微鏡 | |
| JPH0712052B2 (ja) | 超微細シリコン・テイツプを形成する方法 | |
| US20020007667A1 (en) | Method and apparatus for the controlled conditioning of scanning probes | |
| US6415653B1 (en) | Cantilever for use in a scanning probe microscope | |
| Marchman et al. | Fabrication of optical fiber probes for nanometer‐scale dimensional metrology | |
| JP2000186993A (ja) | プロ―ブの尖鋭化方法およびプロ―ブ | |
| JP3834378B2 (ja) | カンチレバーチップ | |
| JP2006514273A (ja) | 近接場光学顕微鏡用のプローブとその製造方法 | |
| JPH09152436A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡用プローブ及びその作製方法 | |
| EP1012670A1 (en) | Low-cost, simple mass production of light-guiding tips | |
| JPH11230974A (ja) | プローブ及びその作製方法 | |
| JPH05256643A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡用のカンチレバーチップ | |
| JPH11108939A (ja) | 光ファイバプローブの製造方法及び光ファイバプローブ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010228 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |