JP3167516U - Chip classification rotation mechanism - Google Patents
Chip classification rotation mechanism Download PDFInfo
- Publication number
- JP3167516U JP3167516U JP2011000723U JP2011000723U JP3167516U JP 3167516 U JP3167516 U JP 3167516U JP 2011000723 U JP2011000723 U JP 2011000723U JP 2011000723 U JP2011000723 U JP 2011000723U JP 3167516 U JP3167516 U JP 3167516U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- case
- classification
- module
- tray
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【課題】回転ユニットを分類トレイケースモジュールの中に設置するよう変更して、チップ分類作業の工程のうちウエハケースモジュールの作業完了を待つ時間を短縮できるチップ分類回転機構を提供する。【解決手段】チップ分類回転機構は、ウエハケースモジュール10、分類トレイケースモジュール20及びピックアップモジュール30を備える。ウエハケースモジュール10はウエハケース11を備え、分類トレイケースモジュール20は分類トレイケース21、回転ユニット23及び分類トレイ二軸移動ユニット22を備え、分類トレイケースは回転ユニットを介して分類トレイ二軸移動ユニットに回動自在に配され、ピックアップモジュールはアーム31を備え、ウエハケースモジュール及び分類トレイケースモジュールの間に設置される。アームはウエハケースモジュールの中にある複数の分類待ち状態のチップ40をピックアップし、分類トレイケースモジュール20の中に入れる。【選択図】図4Provided is a chip sorting / rotating mechanism that can change a rotation unit to be installed in a sorting tray case module and can reduce a time for waiting for completion of a wafer case module operation in a chip sorting operation process. A chip sorting and rotating mechanism includes a wafer case module, a sorting tray case module, and a pickup module. The wafer case module 10 includes a wafer case 11, the sorting tray case module 20 includes a sorting tray case 21, a rotating unit 23, and a sorting tray two-axis moving unit 22, and the sorting tray case moves the sorting tray biaxially via the rotating unit. The pickup module is rotatably disposed on the unit, and the pickup module includes an arm 31 and is installed between the wafer case module and the sorting tray case module. The arm picks up a plurality of sort waiting chips 40 in the wafer case module and puts them into the sort tray case module 20. [Selection diagram] FIG.
Description
本考案は、分類機、より詳しくは、チップ分類回転機構に関する。 The present invention relates to a sorting machine, and more particularly to a chip sorting and rotating mechanism.
発光ダイオード(Light Emitted Diode, LED)は、ダイオードの明るさ、波長、色温度、操作電圧等が製造過程の条件の差異により、同じウエハ上で生産されたものでも、各チップとの間でいくらかの差異が発生するため、その特性により分類する必要がある。 Light Emitted Diodes (LEDs) are somewhat different from each chip even if they are produced on the same wafer due to differences in manufacturing process conditions such as diode brightness, wavelength, color temperature, and operating voltage. Therefore, it is necessary to classify them according to their characteristics.
図1は従来の水平式分類機の外観を示す説明図である。ウエハケース1及び分類トレイケース2をそれぞれ水平二軸移動ユニット(3a、3b)に設置する。ウエハケース1は回転ユニット4を介して水平二軸移動ユニット3aに回動自在に配される。アーム5がウエハケース1の中にある複数の分類待ち状態のチップ8をピックアップし、分類トレイケース2の中に入れることで、複数のチップ8に対して分類を行う。回転ユニット4はウエハケース1にあるチップ8がアームにピックアップされる際に、最適な角度に調節し、これによりチップ8が分類トレイケース2に置かれる際に整然と並べられる。しかし、このような設置は機器の設置に必要な空間が大きく、工場内に設置できる数が限られるため、生産効率が下がる。
FIG. 1 is an explanatory view showing the appearance of a conventional horizontal sorter.
図2及び図3は従来の直立式分類機の外観を示す説明図及びその作業のフローチャートである。主な構造は図1とほぼ同じである。特徴としては、図1が水平二軸移動ユニット(3a、3b)を備えるのに対し、図2は直立二軸移動ユニット(6a、6b)を備える。この変更により機器の設置に必要な空間を減らし、工場内に設置できる数を増やすことが可能になり、生産効率の上昇に繋がる。しかしこのような設置方法はウエハケース(図示せず)が、回転ユニット4を介して直立二軸移動ユニット6aに回動自在に配され、アーム5がウエハケースの中から分類待ち状態のチップ8をピックアップし、分類トレイケース2の中に入れる工程において、分類待ち状態のチップ8はウエハケース1の中で以下のステップを経なければならない。
ステップX1・位置及び角度の調節:ウエハケースは直立二軸移動ユニット6aにより位置の調節を行い、回転ユニット4により角度の調節が行われる。
ステップX2・ヘッドにより押し出す:ヘッド7を利用し分類待ち状態のチップ8をウエハケースからわずかに押し出す。
2 and 3 are explanatory diagrams showing the appearance of a conventional upright sorter and a flowchart of the operation. The main structure is almost the same as FIG. Characteristically, FIG. 1 includes horizontal biaxial moving units (3a, 3b), whereas FIG. 2 includes upright biaxial moving units (6a, 6b). This change reduces the space required for equipment installation and increases the number of equipment that can be installed in the factory, leading to increased production efficiency. However, in such an installation method, a wafer case (not shown) is rotatably disposed on the upright biaxial moving
Step X1—Adjustment of position and angle: The position of the wafer case is adjusted by the upright biaxial moving
Step X2: Extruding by the head: Using the head 7, the
分類トレイケース2は以下のステップYを行うだけでよい。
ステップY・位置の調節:直立二軸移動ユニット6bにより分類トレイケース2の位置を調節する。
The
Step Y. Position adjustment: The position of the
最後に、アーム5が以下のステップZを行う。
ステップZ・チップのピックアップ:ウエハケース内の複数の分類待ち状態のチップ8をアーム5がピックアップし、分類トレイケース2の中に入れる。
Finally, the
Step Z. Pickup of chips: The
以上のことから、ステップX1−X2にかかる時間はステップYにかかる時間より長いことがわかる。そのため、ステップX1−X2が終わるのを待ってからでないとアーム5はチップを直立二軸移動ユニット6bにある分類トレイケース2に置くことができず、作業時間に無駄ができる。
From the above, it can be seen that the time taken for steps X1-X2 is longer than the time taken for steps Y. For this reason, the
本考案の目的は、従来の分類機にあるような、分類の工程において、前置作業にかかる時間が長過ぎて作業時間に無駄ができる問題を解決することである。 An object of the present invention is to solve the problem that the time required for the pre-work is too long and the work time is wasted in the sorting process as in a conventional sorter.
上述の目的を達成するために、本考案はチップ分類回転機構を提供する。本考案のチップ分類回転機構はウエハケースモジュール、分類トレイケースモジュール及びピックアップモジュールを備える。 In order to achieve the above object, the present invention provides a tip sorting rotation mechanism. The chip classification rotation mechanism of the present invention includes a wafer case module, a classification tray case module, and a pickup module.
前記ウエハケースモジュールはウエハケース、ヘッドユニット及びウエハ二軸移動ユニットを備える。前記ウエハケースはウエハを有し、前記ウエハは複数の分類待ち状態のチップを有する。前記ウエハケース及び前記ウエハ二軸移動ユニットは接続されており、前記ヘッドユニットは前記ウエハを押す動作をする。前記分類トレイケースモジュールは分類トレイケース、回転ユニット及び分類トレイ二軸移動ユニットを備え、前記分類トレイケースは前記回転ユニットを介して前記分類トレイ二軸移動ユニットに回動自在に配される。前記分類トレイケースは分類トレイを有し、前記分類トレイ上には複数の分類済み状態のチップが置かれる。前記ピックアップモジュールは前記ウエハ上にある前記複数の分類待ち状態のチップをピックアップし前記分類トレイに置くためのアームを備え、前記ウエハケースモジュール及び前記分類トレイケースモジュールの間に設置される。 The wafer case module includes a wafer case, a head unit, and a wafer biaxial moving unit. The wafer case has a wafer, and the wafer has a plurality of chips waiting for classification. The wafer case and the wafer biaxial moving unit are connected, and the head unit operates to push the wafer. The classification tray case module includes a classification tray case, a rotation unit, and a classification tray biaxial movement unit, and the classification tray case is rotatably arranged on the classification tray biaxial movement unit via the rotation unit. The classification tray case has a classification tray, and a plurality of classified chips are placed on the classification tray. The pick-up module includes an arm for picking up the plurality of chips waiting for classification on the wafer and placing them on the classification tray, and is installed between the wafer case module and the classification tray case module.
上述の技術により、本考案は前記分類トレイケースを前記回転ユニットを介して前記分類トレイ二軸移動ユニットに回動自在に配されることで、前記アームが前記ウエハケースから未分類のチップをピックアップし前記分類トレイケースに置く過程において、前記ウエハケースモジュールは前記ウエハ二軸移動ユニットの位置調節及び前記ヘッドが押し出す工程を行うだけでよく、前記分類トレイケースモジュールは独立して前記分類トレイ二軸移動ユニットの位置調節及び比較的時間のかかる前記回転ユニットの角度調節の工程を行う。よって、本考案は分類トレイケースモジュールがウエハケースモジュールの作業工程が終了するのを待つ時間を減らし、チップの分類作業時間を短縮する利点がある。 With the above-described technique, the present invention is configured such that the classification tray case is rotatably disposed on the classification tray biaxial moving unit via the rotation unit, so that the arm picks up unclassified chips from the wafer case. In the process of placing in the classification tray case, the wafer case module only needs to adjust the position of the wafer biaxial moving unit and the step of pushing out the head, and the classification tray case module is independent of the classification tray biaxial. The process of adjusting the position of the moving unit and adjusting the angle of the rotating unit, which takes a relatively long time, are performed. Therefore, the present invention has an advantage of reducing the time for the sorting tray case module to wait for the work process of the wafer case module to be completed, and shortening the chip sorting work time.
以下、本考案の詳細な説明と技術内容を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, detailed description and technical contents of the present invention will be described with reference to the drawings.
図4は本考案の実施例の外観を示す説明図である。本考案のチップ分類回転機構はウエハケースモジュール10、分類トレイケースモジュール20及びピックアップモジュール30を備える。
FIG. 4 is an explanatory view showing the appearance of an embodiment of the present invention. The chip classification rotation mechanism of the present invention includes a
本実施例では、ウエハケースモジュール10はウエハケース11、ヘッドユニット13及びウエハ二軸移動ユニット12を備える。ウエハケース11はウエハ111を有し、地面と垂直に設置される。ウエハ111は複数の分類待ち状態のチップ(図示せず)を有する。ウエハケース11及びウエハ二軸移動ユニット12は接続されており、ヘッドユニット13はウエハ111の平面に対し垂直方向に移動する単軸移動ユニット131を備え、これによりウエハケース11はウエハ二軸移動ユニット12が位置調節を行った後、ヘッドユニット13が単軸移動ユニット131の移動によりウエハ111の背面を押す動作をし、ウエハ111上にあるチップをわずかに押し出す。
In this embodiment, the
分類トレイケースモジュール20は分類トレイケース21、回転ユニット23及び分類トレイ二軸移動ユニット22を備え、分類トレイケース21は分類トレイ211を有し、地面と垂直に設置される。分類トレイ211上には複数の分類済み状態のチップ40が置かれる。また、分類トレイケース21は回転ユニット23を介して分類トレイ二軸移動ユニット22に回動自在に配される。回転ユニット23の平面部分は分類トレイ二軸移動ユニット22の水平移動平面と平行であるため、分類トレイケース21は平面上で二軸移動による位置調節及び回転による角度調節を行うことができる。また、分類トレイケース21及びウエハケース11は平行に設置され、ピックアップモジュール30が双方の間でチップ40の分類作業を行う。
The classification
ピックアップモジュール30はアーム31及び台座32を備え、ウエハケースモジュール10及び分類トレイケースモジュール20の間に設置される。アーム31は前後移動パーツ34を介して回転パーツ33と接続され、回転パーツ33は台座32と接続される。回転パーツ33及び前後移動パーツ34によりアーム31はウエハケースモジュール10及び分類トレイケースモジュール20の間で移動と回転を行い、ウエハ111上にあるわずかに離れた複数の分類待ち状態のチップをピックアップし、分類トレイ211上に置く。
The
図5は本考案実施例の作業工程を示すフローチャートである。 FIG. 5 is a flowchart showing the work process of the embodiment of the present invention.
ステップA1・位置調節:ウエハ二軸移動ユニット12によりウエハケース11とピックアップモジュール30の位置関係を調節する。
Step A1-Position adjustment: The positional relationship between the
ステップA2・ヘッドにより押し出す:ウエハ111は表面保護材により未分類のチップを表面に付着しており、ヘッドユニット13が単軸移動ユニット131の移動を利用してウエハ111の背面を押すことにより、未分類のチップをウエハ111からわずかに押し出す。
Step A2: Extruding by the head: The
ステップB・位置及び角度の調節:分類トレイ二軸移動ユニット22により分類トレイケース21とピックアップモジュール30の位置関係を調節し、回転ユニット23によりチップ40を置く位置の角度を調節する。
Step B. Adjustment of position and angle: The positional relationship between the
ステップC・チップのピックアップ:アーム31がウエハ111上の複数の分類待ち状態のチップをピックアップし、分類トレイ211上に置く。
Step C. Pickup of chips: The
本考案の特徴は、ステップA1及びA2とステップBは時間的にそれぞれが独立して行われる。そしてステップA1及びA2とステップBが終了した後、ステップCが行われる。 The feature of the present invention is that steps A1 and A2 and step B are performed independently in time. Then, after steps A1 and A2 and step B are completed, step C is performed.
以上の内容により、本考案は分類トレイケース21を回転ユニット23を介して分類トレイ二軸移動ユニット22に回動自在に配されることで、アーム31がウエハケース11から未分類のチップをピックアップし分類トレイケース21に置く過程において、ウエハケースモジュール10は位置調節及びヘッドが押し出すステップを行うだけでよく、分類トレイケースモジュール20は独立して位置調節及び角度調節のステップを行う。よって、分類トレイケースモジュール20がウエハケースモジュール10の作業工程が終了するのを待つ時間を減らし、チップの分類作業時間を短縮する利点がある。
As described above, according to the present invention, the
1 ウエハケース
2 分類トレイケース
3a 水平二軸移動ユニット
3b 水平二軸移動ユニット
4 回転ユニット
5 アーム
6a 直立二軸移動ユニット
6b 直立二軸移動ユニット
7 ヘッド
8 チップ
10 ウエハケースモジュール
11 ウエハケース
12 ウエハ二軸移動ユニット
13 ヘッドユニット
20 分類トレイケースモジュール
21 分類トレイケース
22 分類トレイ二軸移動ユニット
23 回転ユニット
30 ピックアップモジュール
31 アーム
32 台座
33 回転パーツ
34 前後移動パーツ
40 チップ
111 ウエハ
131 単軸移動ユニット
211 分類トレイ
DESCRIPTION OF
Claims (3)
複数の分類待ち状態のチップ(40)を有するウエハ(111)を有するウエハケース(11)を備えるウエハケースモジュール(10)と、
分類トレイケース(21)、回転ユニット(23)及び分類トレイ二軸移動ユニット(22)を備える分類トレイケースモジュール(20)と、
前記ウエハケースモジュール(10)及び前記分類トレイケースモジュール(20)の間に設置されるピックアップモジュール(30)と、
を備え、
前記ウエハケース(11)は前記複数の分類待ち状態のチップ(40)を有するウエハ(111)を備え、
前記分類トレイケース(21)は前記回転ユニット(23)を介して前記分類トレイ二軸移動ユニット(22)に回動自在に配され、前記分類トレイケース(21)は複数の分類済み状態のチップ(40)を有する分類トレイ(211)を備え、
前記ピックアップモジュール(30)はウエハ(111)上の前記複数の分類待ち状態のチップ(40)をピックアップし分類トレイ(211)に置くアーム(31)を備える
ことを特徴とするチップ(40)分類回転機構。 A tip (40) classification rotation mechanism,
A wafer case module (10) comprising a wafer case (11) having a wafer (111) having a plurality of chips (40) waiting for classification;
A classification tray case module (20) comprising a classification tray case (21), a rotation unit (23) and a classification tray biaxial movement unit (22);
A pickup module (30) installed between the wafer case module (10) and the classification tray case module (20);
With
The wafer case (11) includes a wafer (111) having the plurality of chips (40) waiting for classification,
The classification tray case (21) is rotatably arranged on the classification tray biaxial moving unit (22) via the rotating unit (23), and the classification tray case (21) has a plurality of classified chips. A sorting tray (211) having (40),
The pickup module (30) includes an arm (31) that picks up the plurality of waiting chips (40) on the wafer (111) and places them on the sorting tray (211). Rotating mechanism.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011000723U JP3167516U (en) | 2011-02-14 | 2011-02-14 | Chip classification rotation mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011000723U JP3167516U (en) | 2011-02-14 | 2011-02-14 | Chip classification rotation mechanism |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3167516U true JP3167516U (en) | 2011-04-28 |
Family
ID=54878597
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011000723U Expired - Fee Related JP3167516U (en) | 2011-02-14 | 2011-02-14 | Chip classification rotation mechanism |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3167516U (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113649298A (en) * | 2021-08-23 | 2021-11-16 | 深圳市优界科技有限公司 | Full-automatic wafer sorting machine |
-
2011
- 2011-02-14 JP JP2011000723U patent/JP3167516U/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113649298A (en) * | 2021-08-23 | 2021-11-16 | 深圳市优界科技有限公司 | Full-automatic wafer sorting machine |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20170225906A1 (en) | Transfer apparatus | |
JP5617787B2 (en) | Chip pickup method, chip mounting method, and chip mounting apparatus | |
US20130122610A1 (en) | Apparatus and Method for Die Bonding | |
CN103754629B (en) | A kind of automatic feeding | |
TWI708534B (en) | Chip attaching equipment and chip attaching method | |
JP2017224640A (en) | Device and method for manufacturing semiconductor | |
JP3167516U (en) | Chip classification rotation mechanism | |
KR20190017181A (en) | Led chips sorting apparatus | |
US11289459B2 (en) | Apparatus and method for manufacturing light-emitting diode module | |
CN202638767U (en) | Crystal particle sorting device | |
KR100979763B1 (en) | Apparatus for sorting target object | |
CN203281518U (en) | Crystal grain selecting equipment | |
CN103137502B (en) | Chip bonding device | |
CN106024679A (en) | Sorting device and sorting method | |
US20120246929A1 (en) | Component mounting device and substrate manufacturing method | |
CN200947631Y (en) | Production device for producing handset lens, buttons | |
JPWO2013108367A1 (en) | Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method | |
CN205900510U (en) | Pick device | |
KR20130104341A (en) | Method of transferring substrate, robot for transferring substrate and substrate treatment system having the same | |
CN201969693U (en) | Rotary mechanism for classifying crystal particle | |
JP6093125B2 (en) | Wafer cart and electronic component mounting apparatus | |
KR102172744B1 (en) | Die bonding apparatus | |
KR20170018607A (en) | Apparatus for sorting electronic device | |
US11004705B2 (en) | Chip transfer device and chip transferring method using the same | |
TWI579951B (en) | Turn-over device of semiconductor element and testing apparatus thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140406 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |