JP3166328B2 - 突起の形成方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は液晶パネルや透明タッチ
パネル等のドットスペーサや半導体装置の突起状電極
等、突起の形成方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の突起印刷方法を図３と共に説明す
る。

【０００３】図３に示す従来の印刷マスク１はステンレ
ス鋼板にエッチングで穴形成を行うか、あるいは電気め
っき法等により円柱形の穴を形成している。このように
して、作られた従来の印刷マスク１を図３（ａ）に示す
ように基板２上に置いて、スキージ３でインク４をしご
く。スキージ３の移動が終わると、図３（ｂ）に示すよ
うに印刷マスク１の穴１ａの内部にインク４が充填され
る。次に図３（ｃ）に示すように印刷マスク１を基板２
から引き剥すことによりインク４が基板２上に印刷さ
れ、突起５となる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前述した従来の構成で
は、印刷マスク１に形成された穴１ａに必ずインク４が
残るため、印刷された突起５の高さや形状にばらつきを
生じやすいという問題点を有していた。

【０００５】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、一定量のインクを基板上に排出し、均一な高さ、形
状を有する突起を印刷するものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の形成方法は、中央が小径の細管部からなると
ともにその上下の口が大径の広口部からなる印刷マスク
を用いて、インクをスキージにより押し出して基板上に
印刷する際に、前記細管部と前記広口部との境界でイン
クを引きちぎるようにして突起を印刷形成することを特
徴とするものである。

【０００７】

【作用】従って本発明によれば、均一な突起の印刷が可
能となる。特に、印刷マスクの細管部の直径をインクの
自重や基板の表面張力程度ではインクが抜けでないよう
な直径にしておき、さらにインクの粘度を形状の崩れな
いような粘度に調整し、細管部と広口部の境界でインク
の引きちぎれ性を良好にするためインクの弾性を低くし
純粘性体に近い粘弾性にすることにより、細管部からイ
ンクを一定量押し出し細管部と広口部の境界でインクを
引きちぎることにより、正確にインクの量をコントロー
ルして印刷することができる。

【０００８】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照しなが
ら説明する。

【０００９】図２は本発明に用いる印刷マスク１１の構
成断面図である。図２（ａ）は、電気めっき法により所
定の位置に細管部１２ａをあけたステンレス鋼１２を成
長させてメタルマスクを形成したものである。ここで本
実施例ではａを５０μｍ、ｂを９０μｍとした。図２
（ｂ）はステンレス鋼１２を電極としてステンレス鋼１
２の両面にＮｉ層１３を電気めっきしたものである。こ
こでｃは２０μｍ、ｄは４０μｍとした。次に電気析出
法によりレジストを両側のＮｉ層１３表面に析出させ、
Ｎｉ層１３をオーバーエッチングした後レジストを剥離
し、さらにエッチング速度のおそいエッチング液でＮｉ
層１３表面を５μｍ程度エッチングすると、図２（ｃ）
の様になる。ここでｅは４０μｍ、ｆは９０μｍとし
た。また、１３ａは細管部１２ａより径の大きい広口部
で、表裏面側に設けられている。

【００１０】以上のようにして製造したメタルマスクを
用いて突起を印刷する方法を図１を用いて説明する。

【００１１】図１（ａ）において、２は印刷される基
板、３はスキージ、４はインク、１１は前記製造方法に
て製造された印刷マスクである。ここで、インク４は粘
度４００Ｐａ・ｓ、せん断粘度と伸張粘度の流動曲線が
共に純粘性体の持つ特性（以後ニュートニアンフローと
いう）に近づくように調整されていることが重要であ
る。

【００１２】まず、印刷マスク１１を基板２上に配置
し、図１（ａ）の様にスキージを移動すると図１（ｂ）
に示すようにインク４が印刷マスク１１内に少し充填さ
れる。さらに図１（ｂ）の様にスキージ３を動かすと、
さらにインク４が印刷マスク１１内に充填される。この
ように図１（ａ），（ｂ）のスキージ動作を繰り返すこ
とにより図１（ｃ）に示すようにインク４が充填され
る。図１（ｄ）の様に印刷マスク１１を上げれば均一な
突起１４の印刷が完了する。さらに印刷マスク１１に残
ったインク１５を利用して図１（ａ）〜（ｄ）の工程を
繰り返せば連続印刷が可能となる。

【００１３】なお、印刷マスクの細管部の直径が小さい
ほど印刷された突起の均一性が良好であることが確認さ
れている。また細管部の直径が小さいほどインクのせん
断粘度と伸張粘度の流動曲線がニュートニアンフローか
ら外れても印刷が可能である。

【００１４】またインクの充填量を均一化するためにス
キージをリン青銅等の金属スキージを用いると効果があ
る。

【００１５】

【発明の効果】本発明は前記実施例より明らかなよう
に、中央が小径の細管部からなるとともにその上下の口
が大径の広口部からなる印刷マスクを用いて、インクを
スキージにより押し出して基板上に印刷する際に、前記
細管部と前記広口部との境界でインクを引きちぎるよう
にして突起を印刷形成することにより均一な突起の印刷
が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例における突起の形成方法を示
す工程断面図

【図２】本発明に用いる印刷マスクを製造する際の工程
断面図

【図３】従来の突起の形成方法の工程断面図

【符号の説明】

２ 基板 ３ スキージ ４ インク １１ 印刷マスク １２ ステンレス鋼 １２ａ 細管部 １３ Ｎｉ層 １３ａ 広口部 １４ 突起

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 中央が小径の細管部からなるとともにそ
   の上下の口が大径の広口部からなる印刷マスクを用い
   て、インクをスキージにより押し出して基板上に印刷す
   る際に、前記細管部と前記広口部との境界でインクを引
   きちぎるようにして突起を印刷形成することを特徴とす
   る突起の形成方法。
2. 【請求項２】 印刷マスクは、所定の位置に小径の穴を
   あけてステンレス鋼よりなるメタルマスクを形成し、そ
   の後メタルマスクの両面にめっき法によりニッケル層を
   形成した後、そのニッケル層を前記メタルマスクの穴よ
   り大きい径でエッチングを行うことにより形成されるこ
   とを特徴とする請求項１記載の突起の形成方法。