JPH0632077A - 突起の形成方法 - Google Patents
突起の形成方法Info
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- JPH0632077A JPH0632077A JP4190432A JP19043292A JPH0632077A JP H0632077 A JPH0632077 A JP H0632077A JP 4190432 A JP4190432 A JP 4190432A JP 19043292 A JP19043292 A JP 19043292A JP H0632077 A JPH0632077 A JP H0632077A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 液晶パネルや透明タッチパネル等のドットス
ペーサや半導体装置の突起状電極において、従来の印刷
方法では印刷マスクに形成された穴に必ずインクが残る
ため突起の高さや形状にばらつきを生じやすかったが、
均一な突起の形成を可能とする印刷方法を提案すること
を目的とする。 【構成】 中央部に細管部１２ａを持ちその上下の口が
広がっているような断面構造を持つ印刷マスク１１を基
板２上に配し、粘度調整のされたインク４をスキージ３
で印刷マスク１１に形成した細管部１２ａに充填する。
さらにスキージ３でインク４をしごき細管部１２ａから
インク４を一定量押し出し、細管部１２ａと広口部１３
ａの境界でインク４を引きちぎることにより均一な突起
の印刷が可能となる。
ペーサや半導体装置の突起状電極において、従来の印刷
方法では印刷マスクに形成された穴に必ずインクが残る
ため突起の高さや形状にばらつきを生じやすかったが、
均一な突起の形成を可能とする印刷方法を提案すること
を目的とする。 【構成】 中央部に細管部１２ａを持ちその上下の口が
広がっているような断面構造を持つ印刷マスク１１を基
板２上に配し、粘度調整のされたインク４をスキージ３
で印刷マスク１１に形成した細管部１２ａに充填する。
さらにスキージ３でインク４をしごき細管部１２ａから
インク４を一定量押し出し、細管部１２ａと広口部１３
ａの境界でインク４を引きちぎることにより均一な突起
の印刷が可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は液晶パネルや透明タッチ
パネル等のドットスペーサや半導体装置の突起状電極
等、突起の形成方法に関するものである。
パネル等のドットスペーサや半導体装置の突起状電極
等、突起の形成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の突起印刷方法を図３と共に説明す
る。
る。
【０００３】図３に示す従来の印刷マスク１はステンレ
ス鋼板にエッチングで穴形成を行うか、あるいは電気め
っき法等により円柱形の穴を形成している。このように
して、作られた従来の印刷マスク１を図３（ａ）に示す
ように基板２上に置いて、スキージ３でインク４をしご
く。スキージ３の移動が終わると、図３（ｂ）に示すよ
うに印刷マスク１の穴１ａの内部にインク４が充填され
る。次に図３（ｃ）に示すように印刷マスク１を基板２
から引き剥すことによりインク４が基板２上に印刷さ
れ、突起５となる。
ス鋼板にエッチングで穴形成を行うか、あるいは電気め
っき法等により円柱形の穴を形成している。このように
して、作られた従来の印刷マスク１を図３（ａ）に示す
ように基板２上に置いて、スキージ３でインク４をしご
く。スキージ３の移動が終わると、図３（ｂ）に示すよ
うに印刷マスク１の穴１ａの内部にインク４が充填され
る。次に図３（ｃ）に示すように印刷マスク１を基板２
から引き剥すことによりインク４が基板２上に印刷さ
れ、突起５となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前述した従来の構成で
は、印刷マスク１に形成された穴１ａに必ずインク４が
残るため、印刷された突起５の高さや形状にばらつきを
生じやすいという問題点を有していた。
は、印刷マスク１に形成された穴１ａに必ずインク４が
残るため、印刷された突起５の高さや形状にばらつきを
生じやすいという問題点を有していた。
【０００５】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、一定量のインクを基板上に排出し、均一な高さ、形
状を有する突起を印刷するものである。
で、一定量のインクを基板上に排出し、均一な高さ、形
状を有する突起を印刷するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の形成方法は、中央部が細管状の小径の微少な
穴（以下細管部と呼ぶ）でその上下の口が広がっている
ような断面構造を持つ印刷マスクを用いて、スキージで
インクをしごいて細管部にインクを充填し、さらにスキ
ージでインクをしごき細管部からインクを一定量押し出
し細管部と広口部の境界でインクを引きちぎるようにし
て基板上に印刷するものである。
に本発明の形成方法は、中央部が細管状の小径の微少な
穴（以下細管部と呼ぶ）でその上下の口が広がっている
ような断面構造を持つ印刷マスクを用いて、スキージで
インクをしごいて細管部にインクを充填し、さらにスキ
ージでインクをしごき細管部からインクを一定量押し出
し細管部と広口部の境界でインクを引きちぎるようにし
て基板上に印刷するものである。
【０００７】
【作用】従って本発明によれば、印刷マスクの細管部の
直径をインクの自重や基板の表面張力程度ではインクが
抜けでないような直径にしておき、さらにインクの粘度
を形状の崩れないような粘度に調整し、細管部と広口部
の境界でインクの引きちぎれ性を良好にするためインク
の弾性を低くし純粘性体に近い粘弾性にすることによ
り、細管部からインクを一定量押し出し細管部と広口部
の境界でインクを引きちぎることにより、正確にインク
の量をコントロールして印刷することができる。
直径をインクの自重や基板の表面張力程度ではインクが
抜けでないような直径にしておき、さらにインクの粘度
を形状の崩れないような粘度に調整し、細管部と広口部
の境界でインクの引きちぎれ性を良好にするためインク
の弾性を低くし純粘性体に近い粘弾性にすることによ
り、細管部からインクを一定量押し出し細管部と広口部
の境界でインクを引きちぎることにより、正確にインク
の量をコントロールして印刷することができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
【０００９】図２は本発明に用いる印刷マスク１１の構
成断面図である。図２（ａ）は、電気めっき法により所
定の位置に細管部１２ａをあけたステンレス鋼１２を成
長させてメタルマスクを形成したものである。ここで本
実施例ではａを５０μｍ、ｂを９０μｍとした。図２
（ｂ）はステンレス鋼１２を電極としてステンレス鋼１
２の両面にＮｉ層１３を電気めっきしたものである。こ
こでｃは２０μｍ、ｄは４０μｍとした。次に電気析出
法によりレジストを両側のＮｉ層１３表面に析出させ、
Ｎｉ層１３をオーバーエッチングした後レジストを剥離
し、さらにエッチング速度のおそいエッチング液でＮｉ
層１３表面を５μｍ程度エッチングすると、図２（ｃ）
の様になる。ここでｅは４０μｍ、ｆは９０μｍとし
た。また、１３ａは細管部１２ａより径の大きい広口部
で、表裏面側に設けられている。
成断面図である。図２（ａ）は、電気めっき法により所
定の位置に細管部１２ａをあけたステンレス鋼１２を成
長させてメタルマスクを形成したものである。ここで本
実施例ではａを５０μｍ、ｂを９０μｍとした。図２
（ｂ）はステンレス鋼１２を電極としてステンレス鋼１
２の両面にＮｉ層１３を電気めっきしたものである。こ
こでｃは２０μｍ、ｄは４０μｍとした。次に電気析出
法によりレジストを両側のＮｉ層１３表面に析出させ、
Ｎｉ層１３をオーバーエッチングした後レジストを剥離
し、さらにエッチング速度のおそいエッチング液でＮｉ
層１３表面を５μｍ程度エッチングすると、図２（ｃ）
の様になる。ここでｅは４０μｍ、ｆは９０μｍとし
た。また、１３ａは細管部１２ａより径の大きい広口部
で、表裏面側に設けられている。
【００１０】以上のようにして製造したメタルマスクを
用いて突起を印刷する方法を図１を用いて説明する。
用いて突起を印刷する方法を図１を用いて説明する。
【００１１】図１（ａ）において、２は印刷される基
板、３はスキージ、４はインク、１１は前記製造方法に
て製造された印刷マスクである。ここで、インク４は粘
度４００Ｐａ・ｓ、せん断粘度と伸張粘度の流動曲線が
共に純粘性体の持つ特性（以後ニュートニアンフローと
いう）に近づくように調整されていることが重要であ
る。
板、３はスキージ、４はインク、１１は前記製造方法に
て製造された印刷マスクである。ここで、インク４は粘
度４００Ｐａ・ｓ、せん断粘度と伸張粘度の流動曲線が
共に純粘性体の持つ特性（以後ニュートニアンフローと
いう）に近づくように調整されていることが重要であ
る。
【００１２】まず、印刷マスク１１を基板２上に配置
し、図１（ａ）の様にスキージを移動すると図１（ｂ）
に示すようにインク４が印刷マスク１１内に少し充填さ
れる。さらに図１（ｂ）の様にスキージ３を動かすと、
さらにインク４が印刷マスク１１内に充填される。この
ように図１（ａ），（ｂ）のスキージ動作を繰り返すこ
とにより図１（ｃ）に示すようにインク４が充填され
る。図１（ｄ）の様に印刷マスク１１を上げれば均一な
突起１４の印刷が完了する。さらに印刷マスク１１に残
ったインク１５を利用して図１（ａ）〜（ｄ）の工程を
繰り返せば連続印刷が可能となる。
し、図１（ａ）の様にスキージを移動すると図１（ｂ）
に示すようにインク４が印刷マスク１１内に少し充填さ
れる。さらに図１（ｂ）の様にスキージ３を動かすと、
さらにインク４が印刷マスク１１内に充填される。この
ように図１（ａ），（ｂ）のスキージ動作を繰り返すこ
とにより図１（ｃ）に示すようにインク４が充填され
る。図１（ｄ）の様に印刷マスク１１を上げれば均一な
突起１４の印刷が完了する。さらに印刷マスク１１に残
ったインク１５を利用して図１（ａ）〜（ｄ）の工程を
繰り返せば連続印刷が可能となる。
【００１３】なお、印刷マスクの細管部の直径が小さい
ほど印刷された突起の均一性が良好であることが確認さ
れている。また細管部の直径が小さいほどインクのせん
断粘度と伸張粘度の流動曲線がニュートニアンフローか
ら外れても印刷が可能である。
ほど印刷された突起の均一性が良好であることが確認さ
れている。また細管部の直径が小さいほどインクのせん
断粘度と伸張粘度の流動曲線がニュートニアンフローか
ら外れても印刷が可能である。
【００１４】またインクの充填量を均一化するためにス
キージをリン青銅等の金属スキージを用いると効果があ
る。
キージをリン青銅等の金属スキージを用いると効果があ
る。
【００１５】
【発明の効果】本発明は前記実施例より明らかなよう
に、中央部に細管部を持ちその上下の口が広がっている
ような断面構造を持つ印刷マスクを用いて、スキージで
インクをしごいて細管部にインクを充填し、さらにスキ
ージでインクをしごき細管部からインクを一定量押し出
し細管部と広口部の境界でインクを引きちぎるようにし
て印刷することにより均一な突起の印刷が可能となる。
に、中央部に細管部を持ちその上下の口が広がっている
ような断面構造を持つ印刷マスクを用いて、スキージで
インクをしごいて細管部にインクを充填し、さらにスキ
ージでインクをしごき細管部からインクを一定量押し出
し細管部と広口部の境界でインクを引きちぎるようにし
て印刷することにより均一な突起の印刷が可能となる。
【図１】本発明の一実施例における突起の形成方法を示
す工程断面図
す工程断面図
【図２】本発明に用いる印刷マスクを製造する際の工程
断面図
断面図
【図３】従来の突起の形成方法の工程断面図
２ 基板 ３ スキージ ４ インク １１ 印刷マスク １２ ステンレス鋼 １２ａ 細管部 １３ Ｎｉ層 １３ａ 広口部 １４ 突起
Claims (2)
- 【請求項１】表裏面側の径が大きい穴を設けた印刷マス
クを有し、その印刷マスクを基板上に配置した状態でイ
ンクを印刷マスクの穴を通して基板上に印刷することを
特徴とする突起の形成方法。 - 【請求項２】所定の位置に小径の穴をあけたステンレス
鋼よりなるメタルマスクを形成し、その後メタルマスク
の両面にめっき法によりニッケル層を形成した後、その
ニッケル層を前記メタルマスクの穴より大きい径でエッ
チングを行うことにより印刷マスクを形成する請求項１
記載の突起の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19043292A JP3166328B2 (ja) | 1992-07-17 | 1992-07-17 | 突起の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19043292A JP3166328B2 (ja) | 1992-07-17 | 1992-07-17 | 突起の形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0632077A true JPH0632077A (ja) | 1994-02-08 |
| JP3166328B2 JP3166328B2 (ja) | 2001-05-14 |
Family
ID=16258039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19043292A Expired - Fee Related JP3166328B2 (ja) | 1992-07-17 | 1992-07-17 | 突起の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3166328B2 (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19990052932A (ko) * | 1997-12-23 | 1999-07-15 | 윤종용 | 셀 간격 형성 방법 |
| WO2001056793A1 (fr) * | 2000-02-01 | 2001-08-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Plaque d'impression, et procede d'impression reposant sur cette plaque |
| JP2002223066A (ja) * | 2001-01-25 | 2002-08-09 | Rohm Co Ltd | 半田ペースト塗布用スクリーン、およびこれを用いた半田ペースト塗布方法 |
| KR100407069B1 (ko) * | 2001-04-24 | 2003-11-28 | 아이티엠 주식회사 | 기판상에 미세 돌출 구조물을 형성하는 방법 |
| KR100433229B1 (ko) * | 2002-05-17 | 2004-05-28 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치 및 그 제조방법 |
| KR100462375B1 (ko) * | 2001-12-31 | 2004-12-17 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 액정표시장치의 칼라필터 제조방법 |
| KR100493866B1 (ko) * | 2002-05-20 | 2005-06-10 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치용 스페이서 형성방법 |
| US7034808B2 (en) * | 2001-01-17 | 2006-04-25 | Seiko Epson Corporation | Touch panel and electronic device |
| KR100798313B1 (ko) * | 2001-12-21 | 2008-01-28 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 표시장치의 스페이서 형성방법 |
| KR100855504B1 (ko) * | 2001-12-08 | 2008-09-01 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시소자의 제조방법 |
| JP2010017887A (ja) * | 2008-07-08 | 2010-01-28 | Fuchigami Micro:Kk | メッシュシート及びメッシュシートの製造方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2693238C1 (ru) * | 2018-10-18 | 2019-07-01 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Оренбургский государственный университет" | Способ упрочнения твердых сплавов |
-
1992
- 1992-07-17 JP JP19043292A patent/JP3166328B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19990052932A (ko) * | 1997-12-23 | 1999-07-15 | 윤종용 | 셀 간격 형성 방법 |
| WO2001056793A1 (fr) * | 2000-02-01 | 2001-08-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Plaque d'impression, et procede d'impression reposant sur cette plaque |
| US6776090B2 (en) | 2000-02-01 | 2004-08-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Printing plate, and printing method using the same |
| US7034808B2 (en) * | 2001-01-17 | 2006-04-25 | Seiko Epson Corporation | Touch panel and electronic device |
| JP2002223066A (ja) * | 2001-01-25 | 2002-08-09 | Rohm Co Ltd | 半田ペースト塗布用スクリーン、およびこれを用いた半田ペースト塗布方法 |
| KR100407069B1 (ko) * | 2001-04-24 | 2003-11-28 | 아이티엠 주식회사 | 기판상에 미세 돌출 구조물을 형성하는 방법 |
| KR100855504B1 (ko) * | 2001-12-08 | 2008-09-01 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시소자의 제조방법 |
| KR100798313B1 (ko) * | 2001-12-21 | 2008-01-28 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 표시장치의 스페이서 형성방법 |
| KR100462375B1 (ko) * | 2001-12-31 | 2004-12-17 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 액정표시장치의 칼라필터 제조방법 |
| KR100433229B1 (ko) * | 2002-05-17 | 2004-05-28 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치 및 그 제조방법 |
| KR100493866B1 (ko) * | 2002-05-20 | 2005-06-10 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치용 스페이서 형성방법 |
| JP2010017887A (ja) * | 2008-07-08 | 2010-01-28 | Fuchigami Micro:Kk | メッシュシート及びメッシュシートの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3166328B2 (ja) | 2001-05-14 |
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