JP3163935U - 湿式工程用基板の移送トレー - Google Patents

Abstract

【課題】湿式工程において、基材を保護しながら安定的に移送することができる移送トレーを提供する。【解決手段】板体１０と、該板体１０上に形成される少なくとも１つの基材収容空間１１と、該基材収容空間１１の周囲に設けられる側壁部１２と、該基材収容空間１１の周囲における側壁部１２の下部にそれぞれ凸設される複数の支持凸部１３と、該基材収容空間１１の一側における側壁部１２の上部にそれぞれ凸設される複数の位置決め凸部１４と、該支持凸部１３の上面と位置決め凸部１４の下面との間に形成される収容間隔とを有し、前記収容間隔は、前記支持凸部１３に支持されると共に、前記位置決め凸部１４に位置決めされる基材の収容に足りる幅を有する。【選択図】図１

Description

本考案は、特にエッチングや洗浄などの湿式工程において、自動コンベヤを用い、例えばガラス、透明基板、ウエハなどの基材を移送するための移送トレーに関するものである。

湿式工程では、例えば、タッチパネルに応用されるガラス基板、ウエハなどの基材をエッチング装置に移送すことにより、パターンエッチングを施し、または、洗浄装置に移送し、表面洗浄が施される。

前記エッチングや洗浄などのガラス基材の加工工程を行う前には、ガラス基材を所定の面積に裁断するが、この時、ガラス基材の切断面に鋭いバリができることから、エッチングや洗浄工程などを行うためにコンベヤで該ガラス基材を移送する時に、このバリとコンベヤのローラーの端との接触または摩擦により、ガラス基材を破損してしまうことがよくあった。特にタッチパネルに適用されるガラス基材は、約０．５から０．８ミリメートル程の厚さしかなく薄いものであるので、前記バリとローラーとの接触による破損が頻発している。

さらに、現在のエッチングや洗浄などの工程を行う装置におけるガラス基材を保護する機能の欠如により、移送中にガラス基材の切断面のバリが頻繁にローラーの端と接触し摩擦するので、ガラス基材に設けられる無傷であるべき入力電極及び出力電極が破壊され、歩留まりを低下させてしまうという問題があった。

上述の問題を解決するために、その後、本考案の出願者は、台湾実用新案登録Ｍ３７２５３４号に係る湿式工程用基板の移送トレーを案出した。この構成によれば、基板固定孔が本体内部に穿設され、該基板固定孔の周囲の下部に複数の係止凸部が設けられ、該係止凸部の上面と本体の上面との間に収容空間が形成されるので、基板を収容して基板を下から支持することができることから、エッチングや洗浄などの工程を行う時、この移送トレーに載せた基板とローラーの端との摩擦を防止することができる。

しかしながら、既有の移送トレーは基板とローラーの端との摩擦を防止する効果はあるが、湿式工程における乾燥工程において送気される乾燥気流が移送トレーに載置された基板を吹き上げると共に、基材の下面を洗浄するために、下から上へ向かって噴出する例えば水などの洗浄液も基板を浮かせてしまうので、該基板を移送トレーに安定的に載置することができない。従って、気流や洗浄液などにより、基板が移送トレーから離脱する問題を解決できる移送トレーが必要である。

本考案に係る湿式工程用基板の移送トレーは、板体と、該板体上に形成される少なくとも１つの基材収容空間と、該基材収容空間の周囲に設けられる側壁部と、該基材収容空間の周囲における側壁部の下部にそれぞれ凸設される複数の支持凸部と、該基材収容空間の一側における側壁部の上部にそれぞれ凸設される複数の位置決め凸部と、該支持凸部の上面と該位置決め凸部の下面との間に形成される収容間隔とを有するものであり、該収容間隔は、前記支持凸部に支持されると共に、前記位置決め凸部に位置決めされる基材の収容に足りる幅を有するものである。

尚、前記支持凸部と位置決め凸部とは、上下方向に対応することが好ましい。

また、前記基材収容空間は略矩形を呈し、
前記板体の基材収容空間における４つ角にそれぞれ、基材の角部を収容することができる保護凹部が凹設される。

前記板体はさらに、基材収容空間の周囲における側壁部に、前記基材を基材収容空間から容易に取り出すための複数の凹み部が形成される。

本考案に係る湿式工程用基板の移送トレーは上記の課題を解決するものであり、湿式工程において、コンベヤのローラーと摩擦が起こらないように、基材を収容するので、安定的な移送を実現できる。

本考案に係る湿式工程用基板の移送トレーの斜視図である。 本考案に係る湿式工程用基板の移送トレーの平面図である。 本考案に係る湿式工程用基板の移送トレーの部分拡大斜視図である。 本考案に係る湿式工程用基板の移送トレーにおける、上下方向に対応する位置決め凸部と支持凸部とを示す部分拡大斜面図である。 本考案に係る湿式工程用基板の移送トレーにおける支持凸部を示す部分拡大斜面図である。 本考案に係る湿式工程用基板の移送トレーにおいて基材を収容した状態を示す部分断面図である。 図１に係る湿式工程用基板の移送トレーにおいて基材を収容して湿式工程を行う状態を示す説明図である。 図１に係る湿式工程用基板の移送トレーにおいて基材を収容して湿式工程を行う状態を示す他の説明図である。 図１に係る湿式工程用基板の移送トレーにおいて基材が収容された後、ローラーを通過する状態を示す説明図である。

以下、添付図面を参照して本考案の好適な実施の形態を詳細に説明する。尚、下記実施例は、本考案の好適な実施の形態を示したものにすぎず、本考案の技術的範囲は、下記実施例そのものに何ら限定されるものではない。

図１及び図２に示すように、本考案に係る湿式工程用基板の移送トレーにおける実施例においては、基板移送トレー１は、板体１０と、該板体１０の内部に形成される１つ、或いは、複数の基材収容空間１１と、該基材収容空間１１の周囲に形成される側壁部１２とを備えるものであり、この実施例における板体１０には、複数の基材収容空間１１が形成され、該各基材収容空間１１の形状は基材２の形状と対応しているので、該複数の基材２が収容である。

図１乃至図５に示すように、板体１０は、基材収容空間１１の周囲における側壁部１２の下部にそれぞれ凸設される複数の支持凸部１３と、基材収容空間１１の一側或いは周囲における側壁部１２の上部にそれぞれ凸設される複数の位置決め凸部１４と、該支持凸部１３の上面と位置決め凸部１４の下面との間に形成されると共に、基材収容空間１１に基材２を収容するに足りる幅を有する収容間隔１７とを備えるものである。なお、本実施例における支持凸部１３と位置決め凸部１４は、互いに上下方向に対応するが、対応しなくても構わない。

図３乃至図５に示すように、位置決め凸部１４及び支持凸部１３はそれぞれ、基材２の側辺部を支持することができれば半円形、円弧形、多辺形（例えば：三角形、四角形）などの幾何学形状を呈しても構わない。また、前記位置決め凸部１４及び支持凸部１３はそれぞれ、基板移送トレー１との接触面積を減少させるために、体積ができるだけ小さい方が好ましい。

図１及び図２に示すように、本実施例における板体１０の基材収容空間１１は、矩形の空間、或いは他の形状の空間でも構わなく、また、それぞれ間隔をおいて排列される複数の基材収容空間１１が同一のサイズ及び形状、或いは別々のサイズ及び形状を呈していてもよく、即ち、基板移送トレー１が同時に同一サイズ及び形状の複数の基材２、或いは、サイズ及び形状が異なる複数の基材２を載せて移送できればよい。

更に、前記基板移送トレー１の板体１０には、略矩形の基材収容空間１１における４つ角にそれぞれ保護凹部１５が凹設され、該保護凹部１５は、円形、或いは他の幾何学形状であっても構わなく、基材収容空間１１に収容された略矩形の基材２の角がこの保護凹部１５に収容することにより、基材２の角が板体１０の側壁部１２と打つかって破損してしまうことを防止することができる。

更に、前記基板移送トレー１の板体１０は、基材収容空間１１の周囲の側壁部１２に複数の凹み部１６が形成され、この凹み部１６により、作業員は、簡単に基材２を基板移送トレー１の基材収容空間１１に配置、又は取り外すことができると共に、前記基材２と基板移送トレー１との接触面積を減少させることができる。

図６を示すように、本考案に係る湿式工程用基板の移送トレー１を使用する時は、所定の面積に裁断された基材２を基板移送トレー１の基材収容空間１１に収容するが、この時は、先ず、基材２をその一側から斜めに位置決め凸部１４と支持凸部１３との間に入れると共に、該基材２を平らに基材収容空間１１の周囲の支持凸部１３に載置すれば、該基材２を安定的に基板移送トレー１の基材収容空間１１に収容させることができる。

図７及び図８に示すように、エッチング及び洗浄工程を行う時は、基材２を収容した基板移送トレー１を、エッチング工程或いは洗浄工程のコンベヤのローラー３により移送することにより、基材２の表面をエッチング或いは洗浄工程を行う。

図７乃至図９に示すように、基材２は、基板移送トレー１に配置された状態で回転しているローラー３により移送されることから、基材２が直接にローラー３と接触することはないので、摩擦による破損を防止することができる。さらに、エッチング装置或いは洗浄装置からは、エッチング液体或いは洗浄液が下から上に向かって噴出すると共に、基材２の下面をエッチング或いは洗浄する時には、基材２の上面が基板移送トレー１の位置決め凸部１４に固定されることから該基材２の浮上が減少し、風で乾燥する工程を行う時にも風力による浮上が減少する。従って、本考案に係る湿式工程用基板の移送トレーは、例えばエッチング工程や洗浄工程などの湿式工程において、基材２を保護しながら安定的に移送することができる。

本考案は上記の構成を有することから、湿式工程において、基材を保護しながら安定的に移送することができる。

１ 基板移送トレー
１０ 板体
１１ 基材収容空間
１２ 側壁部
１３ 支持凸部
１４ 位置決め凸部
１５ 保護凹部
１６ 凹み部
１７ 収容間隔
２ 基材

Claims (4)

1. 板体と、該板体上に形成される少なくとも１つの基材収容空間と、該基材収容空間の周囲に設けられる側壁部と、該基材収容空間の周囲における側壁部の下部にそれぞれ凸設される複数の支持凸部と、該基材収容空間の一側における側壁部の上部にそれぞれ凸設される複数の位置決め凸部と、該支持凸部の上面と位置決め凸部の下面との間に形成される収容間隔とを有し、
   前記収容間隔は、前記支持凸部に支持されると共に、前記位置決め凸部に位置決めされる基材の収容に足りる幅を有することを特徴とする湿式工程用基板の移送トレー。
2. 前記支持凸部及び位置決め凸部が上下方向において対応することを特徴とする請求項１に記載の湿式工程用基板の移送トレー。
3. 前記基材収容空間は略矩形を呈し、
   前記板体の基材収容空間における４つ角にそれぞれ保護凹部が凹設されることを特徴とする請求項１または２に記載の湿式工程用基板の移送トレー。
4. 前記板体はさらに、基材収容空間の周囲における側壁部に複数の凹み部が形成されることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の湿式工程用基板の移送トレー。

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