JP3157782B2 - Icソケット - Google Patents

Icソケット

Info

Publication number
JP3157782B2
JP3157782B2 JP20761598A JP20761598A JP3157782B2 JP 3157782 B2 JP3157782 B2 JP 3157782B2 JP 20761598 A JP20761598 A JP 20761598A JP 20761598 A JP20761598 A JP 20761598A JP 3157782 B2 JP3157782 B2 JP 3157782B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pin
daughter board
motherboard
mounting portion
hole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP20761598A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2000040571A (ja
Inventor
勇夫 木村
Original Assignee
茨城日本電気株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 茨城日本電気株式会社 filed Critical 茨城日本電気株式会社
Priority to JP20761598A priority Critical patent/JP3157782B2/ja
Publication of JP2000040571A publication Critical patent/JP2000040571A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3157782B2 publication Critical patent/JP3157782B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ICソケットに関
し、特にBGA(ボールグリッドアレー)パッケージの
ICをテスター等に接続するためのICソケットに関す
る。
【0002】
【従来の技術】図5は、従来のICソケットの縦断面図
である。
【0003】図5において、プリント配線板30にピン
装着部16が固定されている。ピン装着部16は、下面
に浅い凹部が設けられた板状のもので、この凹部の部分
に配列して設けられた複数の孔に複数の両端ポゴピン2
0が差し込まれている。両端ポゴピン20は、両端に設
けられた軸方向に摺動可能なプローブピン17が内蔵の
バネ(図示略)により突出する方向に付勢されているも
のである。ピン装着部16の上面には、プローブピン1
7のみを通しポゴピン20の本体は通さない大きさの孔
が配設された固定プレート4が固定されいる。ポゴピン
20は、下側のプローブピン17がプリント基板30を
押し付ける反動で上向きに付勢されるが固定プレート4
により上に抜け出るのが止められ、ピン装着部16の孔
内に固定される。
【0004】ピン装着部16の上面に固定されたガイド
ポスト18によりフローティングプレート12が一定の
範囲内で上下動可能なように案内され、ガイドポスト1
8に取り付けられたばね19がフローティングプレート
12を上向きに付勢していて、フローティングプレート
12、ガイドポスト18およびばね19でフローティン
グ機構3を構成している。
【0005】フローティングプレート12の上部に設け
られた凹部にIC2をはめ込むことにより、IC2をフ
ローティングプレート12上に位置決めする。IC2の
下面のBGAのバンプ13に対応してポゴピン20が位
置するようにピン装着部16の孔を位置させておき、さ
らにプリント基板30にポゴピン20に対応するコンタ
クトパッド7を設けておく。
【0006】図示しない機構により上下動する加圧ヘッ
ド1を下降させて、ばね19に抗してフローティングプ
レート12およびIC2を押し下げ、ポゴピン20の上
側のプローブピン17にバンプ13を当接させる。一
方、ポゴピン20の下側のプローブピン17は、プリン
ト基板30のコンタクトパッド7に当接しており、IC
2は電気的にポゴピン20を介してプリント基板30に
接続される。プリント基板30は、さらに図示していな
いLSIテスターに接続されていて、IC2はLSIテ
スターに接続されてテストされる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従来のICソケット
は、プリント配線基板30上にコンタクトパッド7を設
け、そこにプローブピン17を接触させている。しか
し、多ピン化によりICのバンプが狭ピッチになり、現
在の技術ではプリント配線基板30上にICの狭ピッチ
のバンプに対応するコンタクトパッドを設けるのは困難
となっている。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明のICソケット
は、マザーボード(図1の6)と、このマザーボード上
に固定されたドーターボード(図1の11)と、このド
ーターボードおよびこのドーターボードの上側に配置さ
れるIC(図1の2)の間に設けられたピン装着部(図
1の16)と、このピン装着部に配列され上側のプロー
ブピン(図1の17)が前記ICの電極(図1の13)
に当接する第1および第2の両端ポゴピン(図1の8、
9)と、前記第1の両端ポゴピン(図1の9)の下側の
プローブピン(図1の17)が通り抜ける前記ドーター
ボードに設けられたスルーホール(図2の14)と、こ
のスルーホールを通り抜けた前記第1の両端ポゴピンの
下側のプローブピンが当接する前記マザーボードに設け
られた第1の導体パターン(図2の7)と、前記第2の
両端ポゴピン(図1の8)の下側のプローブピン(図1
の17)が当接する前記ドーターボードに設けられた第
2の導体パターン(図2の15)とを備えている。
【0009】本発明のICソケットは、マザーボード
(図1の6)と、このマザーボード上に固定されたドー
ターボード(図1の11)と、このドーターボードおよ
びこのドーターボードの上側に配置されるIC(図1の
2)の間に設けられたピン装着部(図1の16)と、こ
のピン装着部に配列され上側のプローブピン(図1の1
7)が前記ICの電極(図1の13)に当接する第1お
よび第2の両端ポゴピン(図1の8、9)と、前記第1
の両端ポゴピン(図1の9)の下側のプローブピン(図
1の17)が通り抜ける前記ドーターボードに設けられ
たスルーホール(図2の14)と、このスルーホールを
通り抜けた前記第1の両端ポゴピンの下側のプローブピ
ンが当接する前記マザーボードに設けられた第1の導体
パターン(図2の7)と、前記第2の両端ポゴピン(図
1の8)の下側のプローブピン(図1の17)が当接す
る前記スルーホールの周囲を除き前記ドーターボード上
面の全面を覆う電源に接続された第2の導体パターン
(図2の15)とを備えている。
【0010】本発明のICソケットは、マザーボード
(図1の6)と、このマザーボード上に固定されたドー
ターボード(図1の11)と、このドーターボードおよ
びこのドーターボードの上側に配置されるIC(図1の
2)の間に設けられたピン装着部(図1の16)と、こ
のピン装着部にそれぞれが縦横の格子の交点に交互に対
応するように配列され上側のプローブピン(図1の1
7)が前記ICの電極(図1の13)に当接する第1お
よび第2の両端ポゴピン(図1の8、9)と、前記第1
の両端ポゴピン(図1の9)の下側のプローブピン(図
1の17)が通り抜ける前記ドーターボードに設けられ
たスルーホール(図2の14)と、このスルーホールを
通り抜けた前記第1の両端ポゴピンの下側のプローブピ
ンが当接する前記マザーボードに設けられた第1の導体
パターン(図2の7)と、前記第2の両端ポゴピン(図
1の8)の下側のプローブピン(図1の17)が当接す
る前記ドーターボードに設けられた第2の導体パターン
(図2の15)とを備えている。
【0011】本発明のICソケットは、マザーボード
(図1の6)と、このマザーボード上に絶縁用のスペー
サー(図1の5)を介して固定されたドーターボード
(図1の11)と、このドーターボードおよびこのドー
ターボードの上側に配置されるIC(図1の2)の間に
設けられたピン装着部(図1の16)と、このピン装着
部に配列され上側のプローブピン(図1の17)が前記
ICの電極(図1の13)に当接する第1および第2の
両端ポゴピン(図1の8、9)と、前記第1の両端ポゴ
ピン(図1の9)の下側のプローブピン(図1の17)
が通り抜ける前記ドーターボードに設けられたスルーホ
ール(図2の14)と、このスルーホールを通り抜けた
前記第1の両端ポゴピンの下側のプローブピンが当接す
る前記マザーボードに設けられた第1の導体パターン
(図1の7)と、前記第2の両端ポゴピン(図1の9)
の下側のプローブピン(図1の17)が当接する前記ド
ーターボードに設けられた第2の導体パターン(図2の
15)とを備えている。
【0012】本発明のICソケットは、マザーボード
(図1の6)と、このマザーボード上に固定されたドー
ターボード(図1の11)と、このドーターボードの上
面に固定されたピン装着部(図1の16)と、このピン
装着部の上面に固定されたガイドポスト(図1の18)
と、このガイドポストに案内されて上下動し上面にIC
(図1の2)を位置決めして載置するIC装着部を有す
るフローティングプレート(図1の12)と、このフロ
ーティングプレートを上向きに付勢する付勢手段(図1
の19)と、前記IC装着部に載置されたICを下向き
に押し下げるための加圧ヘッド(図1の1)と、前記ピ
ン装着部に配列され上側のプローブピン(図1の17)
が前記加圧ヘッドにより押し下げられた当該ICの電極
(図1の13)に当接する第1および第2の両端ポゴピ
ン(図1の8)と、前記第1の両端ポゴピン(図1の
9)の下側のプローブピン(図1の17)が通り抜ける
前記ドーターボードに設けられたスルーホール(図2の
14)と、このスルーホールを通り抜けた前記第1の両
端ポゴピンの下側のプローブピンが当接する前記マザー
ボードに設けられた第1の導体パターン(図2の7)
と、前記第2の両端ポゴピン(図1の8)の下側のプロ
ーブピン(図1の17)が当接する前記ドーターボード
に設けられた第2の導体パターン(図2の15)とを備
えている。
【0013】本発明のICソケットは、マザーボード
(図1の6)と、このマザーボード上に固定されたドー
ターボード(図1の11)と、このドーターボードおよ
びこのドーターボードの上側に配置されるIC(図1の
2)の間に設けられたピン装着部(図1の16)と、こ
のピン装着部に配設された孔に差し込まれ上側のプロー
ブピン(図1の17)が前記ICの電極(図1の13)
に当接する第1および第2の両端ポゴピン(図1の8、
9)と、前記第1の両端ポゴピン(図1の9)の下側の
プローブピン(図1の17)が通り抜ける前記ドーター
ボードに設けられたスルーホール(図2の14)と、こ
のスルーホールを通り抜けた前記第1の両端ポゴピンの
下側のプローブピンが当接する前記マザーボードに設け
られた第1の導体パターン(図1の7)と、前記第2の
両端ポゴピン(図1の8)の下側のプローブピン(図1
の17)が当接する前記ドーターボードに設けられた第
2の導体パターン(図2の15)と、前記ピン装着部に
固定され前記第1および第2の両端ポゴピンの本体は通
さないが上側のプローブピンのみは通す孔が設けられた
固定プレート(図1の4)とを備えている。
【0014】上述のICソケットにおいて、前記第1お
よび第2の両端ポゴピンの上側のプローブピンが電極に
当接するICは、例えば、ボールグリッドアレーのパッ
ケージからなり、前記電極はバンプであるようにするこ
とができる。
【0015】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
【0016】図1は、本発明の実施の形態のICソケッ
トの縦断面図である。
【0017】図1におけるフローティング機構3、固定
プレート4およびピン装着部16は、図5に示したもの
と同一である。
【0018】図1においては、マザーボード(プリント
基板)6,スルーホール14及び接地ベタパターン15
を有したドーターボード11の2枚を間にスペーサー5
(絶縁用)を挟み込み、固定ネジ10で互いを固定し、
ドーターボード11上にピン装着部16を固定してい
る。接地ベタパターン15は、スルーホール14の周囲
を除き、ドーターボード11の上面の全面を覆い、導電
性の固定ねじ10を介してマザーボード6上の接地用配
線に接続されている。
【0019】本実施の形態では、IC2のバンプ13の
接地用のものに両端ポゴピン8を対応させ、信号用のも
のに両端ポゴピン9を対応させている。IC2のバンプ
13に対応する位置に両端ポゴピン8、9が位置するよ
うに固定プレート4およびピン装着部16にプローブピ
ン17を通し、ポゴピン8、9の本体を差し込む孔を設
けている。
【0020】図2に示すように、ドーターボード11の
信号用のポゴピン9に対応する位置にはスルーホール1
4を設け、マザーボード6の信号用ポゴピン9に対応す
る位置に信号用のコンタクトパッド7を設け、信号用の
ポゴピン9のプローブ17がスルーホール14を通り抜
けコンタクトパッド7に当接するようにしてある。一
方、ドーターボード11の接地用ポゴピン8に対応する
位置には、スルーホールを設けず、接地用のポゴピン8
のプローブ17は接地ベタパターン15に当接する。
【0021】バンプ13は、IC2の下面に格子状に縦
横に配設され、信号用のバンプ13と接地用のバンプ1
3とが縦方向にも横方向にも交互になるように配置され
ている。図3は、ドーターボード11の平面図で、縦横
の格子の交点の縦横に1つ置きとなるものにスルーホー
ル14が配列されている状態を示している。図4は、マ
ザーボード6の平面図で、同様に縦横の格子の交点の縦
横に1つ置きとなるものにコンタクトパッド7が配列さ
れている状態を示している。
【0022】マザーボード6を図示していないLSIテ
スタのテストヘッドにセットし、IC2をフローティン
グプレート12の凹部に取り付け、加圧ヘッド1でIC
2を押し下げ、両端ポゴピン8,9の上側のプローブピ
ン17をバンプ13に当接させる。両端ポゴピン8,9
の下側のプローブピン17は、それぞれドーターボード
11の接地ベタパターン15、マザーボード6の信号用
のコンタクトパッド7に当接しており、LSIテスタ−
とIC2との間が電気的に接続されIC2の電気的な測
定が可能となる。
【0023】本実施の形態では、固定プレート4をピン
装着部16から取り外せば両端ポゴピン8、9をピン装
着部16の孔から簡単に引き抜くことができ、ポゴピン
8、9が劣化した場合等にこれらを簡単に交換すること
ができる。
【0024】なお、マザーボード6とドーターボード1
1とを絶縁する必要がなければ、スペーサ5は無くても
良い。
【0025】また、BGAパッケージのICでなくて
も、さらにICの電極が格子状に並んでいないものでも
本発明は、実施できる。
【0026】また、ドーターボードに設けられる導体パ
ターンは、接地以外の電源に接続されるものであっても
良いし、ドーターボードにそれぞれが数種類の電源に接
続される幾つかの導体パターンを設けて、これらが両端
ポゴピンのプローブピンに当接されるようにしても良
い。さらに、ドーターボードに信号用パターンを設けて
も良いし、マザーボードにも電源用配線および電源用コ
ンタクトピンを設けるようにしてもよい。
【0027】
【発明の効果】本発明のICソケットは、ICの複数の
電極に一方のプローブピンが当接する複数のポゴピンの
一部のものの他方プローブピンをマザーボードの導体パ
ターンに当接させ、残りのポゴピンの他方のプローブピ
ンをドーターボードの導体パターンに当接させることに
より、ICの電極の狭ピッチ化に対応することができる
効果がある。すなわち、マザーボードに信号用等のコン
タクトパッドを設け、ドーターボードに、マザーボード
のコンタクトパッド位置相当にスルーホールを設け、ド
ーターボードにさらに接地ベタパターン等を設けること
でプローブピンを狭ピッチに配列することが可能になっ
た。また、コンタクト動作により劣化したプローブピン
を交換すればICソケットを再生することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態のICソケットの縦断面図
である。
【図2】図1中の両端ポゴピン8、9がドーターボード
11上の接地ベタパターン15およびマザーボード6上
のコンタクトパッド7に当接する関係を示す斜視図であ
る。
【図3】図1中のドーターボード11の平面図である。
【図4】図1中のマザーボード6の平面図である。
【図5】従来のICソケットの縦断面図である。
【符号の説明】
1 加圧ヘッド 2 IC 3 フローティング機構 4 固定プレート 5 スペーサー 6 マザーボード 7 コンタクトパッド 8 両端ポゴピン 9 両端ポゴピン 10 ねじ 11 ドーターボード 12 フローティングプレート 13 バンプ 14 スルーホール 15 接地ベタパターン 16 ピン装着部 17 プローブピン 18 ガイドポスト 19 ばね 20 両端ポゴピン 30 プリント基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01R 33/76 G01R 31/26 H01L 21/66 H01L 23/32

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 マザーボードと、このマザーボード上に
    固定されたドーターボードと、このドーターボードおよ
    びこのドーターボードの上側に配置されるICの間に設
    けられたピン装着部と、このピン装着部に配列され上側
    のプローブピンが前記ICの電極に当接する第1および
    第2の両端ポゴピンと、前記第1の両端ポゴピンの下側
    のプローブピンが通り抜ける前記ドーターボードに設け
    られたスルーホールと、このスルーホールを通り抜けた
    前記第1の両端ポゴピンの下側のプローブピンが当接す
    る前記マザーボードに設けられた第1の導体パターン
    と、前記第2の両端ポゴピンの下側のプローブピンが当
    接する前記ドーターボードに設けられた第2の導体パタ
    ーンとを含むことを特徴とするICソケット。
  2. 【請求項2】 マザーボードと、このマザーボード上に
    固定されたドーターボードと、このドーターボードおよ
    びこのドーターボードの上側に配置されるICの間に設
    けられたピン装着部と、このピン装着部に配列され上側
    のプローブピンが前記ICの電極に当接する第1および
    第2の両端ポゴピンと、前記第1の両端ポゴピンの下側
    のプローブピンが通り抜ける前記ドーターボードに設け
    られたスルーホールと、このスルーホールを通り抜けた
    前記第1の両端ポゴピンの下側のプローブピンが当接す
    る前記マザーボードに設けられた第1の導体パターン
    と、前記第2の両端ポゴピンの下側のプローブピンが当
    接する前記スルーホールの周囲を除き前記ドーターボー
    ド上面の全面を覆う電源に接続された第2の導体パター
    ンとを含むことを特徴とするICソケット。
  3. 【請求項3】 マザーボードと、このマザーボード上に
    固定されたドーターボードと、このドーターボードおよ
    びこのドーターボードの上側に配置されるICの間に設
    けられたピン装着部と、このピン装着部にそれぞれが縦
    横の格子の交点に交互に対応するように配列され上側の
    プローブピンが前記ICの電極に当接する第1および第
    2の両端ポゴピンと、前記第1の両端ポゴピンの下側の
    プローブピンが通り抜ける前記ドーターボードに設けら
    れたスルーホールと、このスルーホールを通り抜けた前
    記第1の両端ポゴピンの下側のプローブピンが当接する
    前記マザーボードに設けられた第1の導体パターンと、
    前記第2の両端ポゴピンの下側のプローブピンが当接す
    る前記ドーターボードに設けられた第2の導体パターン
    とを含むことを特徴とするICソケット。
  4. 【請求項4】 マザーボードと、このマザーボード上に
    絶縁用のスペーサーを介して固定されたドーターボード
    と、このドーターボードおよびこのドーターボードの上
    側に配置されるICの間に設けられたピン装着部と、こ
    のピン装着部に配列され上側のプローブピンが前記IC
    の電極に当接する第1および第2の両端ポゴピンと、前
    記第1の両端ポゴピンの下側のプローブピンが通り抜け
    る前記ドーターボードに設けられたスルーホールと、こ
    のスルーホールを通り抜けた前記第1の両端ポゴピンの
    下側のプローブピンが当接する前記マザーボードに設け
    られた第1の導体パターンと、前記第2の両端ポゴピン
    の下側のプローブピンが当接する前記ドーターボードに
    設けられた第2の導体パターンとを含むことを特徴とす
    るICソケット。
  5. 【請求項5】 マザーボードと、このマザーボード上に
    固定されたドーターボードと、このドーターボードの上
    面に固定されたピン装着部と、このピン装着部の上面に
    固定されたガイドポストと、このガイドポストに案内さ
    れて上下動し上面にICを位置決めして載置するIC装
    着部を有するフローティングプレートと、このフローテ
    ィングプレートを上向きに付勢する付勢手段と、前記I
    C装着部に載置されたICを下向きに押し下げるための
    加圧ヘッドと、前記ピン装着部に配列され上側のプロー
    ブピンが前記加圧ヘッドにより押し下げられた当該IC
    の電極に当接する第1および第2の両端ポゴピンと、前
    記第1の両端ポゴピンの下側のプローブピンが通り抜け
    る前記ドーターボードに設けられたスルーホールと、こ
    のスルーホールを通り抜けた前記第1の両端ポゴピンの
    下側のプローブピンが当接する前記マザーボードに設け
    られた第1の導体パターンと、前記第2の両端ポゴピン
    の下側のプローブピンが当接する前記ドーターボードに
    設けられた第2の導体パターンとを含むことを特徴とす
    るICソケット。
  6. 【請求項6】 マザーボードと、このマザーボード上に
    固定されたドーターボードと、このドーターボードおよ
    びこのドーターボードの上側に配置されるICの間に設
    けられたピン装着部と、このピン装着部に配設された孔
    に差し込まれ上側のプローブピンが前記ICの電極に当
    接する第1および第2の両端ポゴピンと、前記第1の両
    端ポゴピンの下側のプローブピンが通り抜ける前記ドー
    ターボードに設けられたスルーホールと、このスルーホ
    ールを通り抜けた前記第1の両端ポゴピンの下側のプロ
    ーブピンが当接する前記マザーボードに設けられた第1
    の導体パターンと、前記第2の両端ポゴピンの下側のプ
    ローブピンが当接する前記ドーターボードに設けられた
    第2の導体パターンと、前記ピン装着部に固定され前記
    第1および第2の両端ポゴピンの本体は通さないが上側
    のプローブピンのみは通す孔が設けられた固定プレート
    とを含むことを特徴とするICソケット。
  7. 【請求項7】 前記第1および第2の両端ポゴピンの上
    側のプローブピンが電極に当接するICは、ボールグリ
    ッドアレーのパッケージからなり、前記電極はバンプで
    あることを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記
    載のICソケット。
JP20761598A 1998-07-23 1998-07-23 Icソケット Expired - Fee Related JP3157782B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20761598A JP3157782B2 (ja) 1998-07-23 1998-07-23 Icソケット

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20761598A JP3157782B2 (ja) 1998-07-23 1998-07-23 Icソケット

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000040571A JP2000040571A (ja) 2000-02-08
JP3157782B2 true JP3157782B2 (ja) 2001-04-16

Family

ID=16542734

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20761598A Expired - Fee Related JP3157782B2 (ja) 1998-07-23 1998-07-23 Icソケット

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3157782B2 (ja)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003007414A (ja) * 2001-06-20 2003-01-10 Yamaichi Electronics Co Ltd Icソケット
KR100367307B1 (ko) * 2001-11-15 2003-01-15 주식회사 테스트이엔지 메모리 컴퍼넌트 실장 콘텍을 위한 테스트용 소켓 모듈
JPWO2006022026A1 (ja) * 2004-08-26 2008-05-08 テスト・リサーチ・ラボラトリーズ株式会社 半導体のテストシステム
KR100845115B1 (ko) 2006-12-08 2008-07-10 주식회사 아이에스시테크놀러지 테스트 소켓
KR101341566B1 (ko) * 2007-07-10 2013-12-16 삼성전자주식회사 소켓, 검사 장치, 그리고 적층형 반도체 소자 제조 방법
JP5051713B2 (ja) * 2007-12-04 2012-10-17 上野精機株式会社 電子部品測定装置
WO2009118855A1 (ja) * 2008-03-27 2009-10-01 株式会社アドバンテスト ソケットガイド、ソケットユニット、電子部品試験装置およびソケットの温度制御方法
JP5067244B2 (ja) * 2008-03-31 2012-11-07 ヤマハ株式会社 Icソケット及びicの検査方法
US20100126764A1 (en) * 2008-11-24 2010-05-27 Seagate Technology, Llc die ground lead
WO2013051099A1 (ja) * 2011-10-04 2013-04-11 富士通株式会社 試験用治具及び半導体装置の試験方法
JPWO2013051099A1 (ja) * 2011-10-04 2015-03-30 富士通株式会社 試験用治具及び半導体装置の試験方法
KR101403048B1 (ko) * 2012-06-26 2014-06-09 주식회사 오킨스전자 고주파 특성을 갖는 반도체 디바이스 테스트소켓
WO2020111075A1 (ja) * 2018-11-27 2020-06-04 日本発條株式会社 プローブユニット
JP7198127B2 (ja) * 2019-03-20 2022-12-28 株式会社アドバンテスト インタポーザ、ソケット、ソケット組立体、及び、配線板組立体

Also Published As

Publication number Publication date
JP2000040571A (ja) 2000-02-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3157782B2 (ja) Icソケット
US6707311B2 (en) Contact structure with flexible cable and probe contact assembly using same
US7217139B2 (en) Interconnect assembly for a probe card
JP7198127B2 (ja) インタポーザ、ソケット、ソケット組立体、及び、配線板組立体
JPH04230866A (ja) Icアダプタ
EP1751557B1 (en) Flexible microcircuit space transformer assembly
CN102043117B (zh) 电子元件封装体的测试装置及测试方法
JP2004085281A (ja) プローブカードのプローブテストヘッド構造
US20080100323A1 (en) Low cost, high pin count, wafer sort automated test equipment (ate) device under test (dut) interface for testing electronic devices in high parallelism
US6270356B1 (en) IC socket
US7764073B2 (en) Electrical connecting apparatus
JP2004178951A (ja) 電気部品用ソケット
JPH077038B2 (ja) プリント基板検査装置
JP2003123923A (ja) 半導体パッケージのソケット、及びコンタクト
KR20220014633A (ko) 집적 회로 모듈의 테스트 소켓
KR200374262Y1 (ko) 반도체시험용 소켓보드 조립체
KR20000009830U (ko) 인쇄회로기판 검사장치
JPH11126671A (ja) Ic検査用コネクタ
KR101817286B1 (ko) 검사용 소켓
JP3594139B2 (ja) 半導体テスタ装置
JP2003066101A (ja) 接点シートおよびそれを用いた測定用治具
JP2005061844A (ja) プローブカード
JP2006234639A (ja) 電気回路検査用プローブ装置
KR200247733Y1 (ko) 칩 검사용 소켓장치
KR100320022B1 (ko) 반도체 칩 테스트 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20010123

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees