JP3157687U - 薄型基板用湿式工程装置 - Google Patents

Abstract

【課題】特に薄型基板とノズルなどの部材とを接触させないように、噴射された液体による薄型基板の揺れを抑え、回路の損傷を防ぐ薄型基板用湿式工程装置を提供する。【解決手段】一端に形成される入口及び他端に形成される出口と、該入口の両側近傍に設けられる２つの直立型低速噴射装置と、両側における該直立型低速噴射装置の近傍に夫々設けられる噴射装置とを具備する湿式工程ハウジングと、前記湿式工程ハウジングの上部における噴射装置の間に設置される移送レールと、該移送レール上において移動可能に配置される挟持部材を具備する移送装置とを有することを特徴とする。【選択図】図１

Description

本考案は、直立型の液体噴射装置であり、特に湿式工程において、噴射された液体を受けて揺動した薄型基板がノズルなどに接触して損傷が発生することによる歩留まりの低下を防ぐための液体噴射装置に関するものである。

回路基板は概ね、従来の硬式基板と、可撓性を有するフレキシブルな薄型基板との２種類に分類され、この２種類の基板に所定の回路を形成させるためには、湿式工程を行わなければならない。

また、基板を加工するための湿式工程には、水平式湿式工程と垂直式湿式工程との２種類があるが、前記硬式基板及び薄型基板を該２種類の湿式工程の何れに適用しても構わなく、特に基板における回路に対して高精度を要求しない場合は、前記２種類の湿式工程を用いても何ら問題はない。しかし、近年では電子製品の小型化に伴ない、基板に形成される回路の高精密度が要求されるようになったので、この高精密の回路を基板に形成させるために、基板と湿式工程用ハウジングに設けられる部材とを一切接触させない湿式工程が要求されている。尚、前記水平式湿式工程又は垂直式湿式工程を用いれば、高精密回路を前記硬式基板に形成させることができるが、そのような従来の水平式湿式工程又は垂直式湿式工程では、非常に肉薄の薄型基板に高精密回路を形成させることはできなかった。

例えば、特許文献１に係る水平式湿式工程に用いる薄型部材移送装置は、基板の下方に位置する、基板を移送するための下部ホイールと、該基板の上方に位置する、該下部ホイールと共に基板を移送する上部ホイールと、該基板の上面に回路を形成するためのエッチング液を噴射する上部噴射装置と、該基板の下面に回路を形成するためのエッチング液を噴射する下部噴射装置とを有するものである。しかし、この構成によれば、前記基板を移送する時、前記上部ホイール及び下部ホイールが基板に接触するので、高精密回路を理想的に形成することができなかった。

また、特許文献２に係る垂直式湿式工程に用いる基板用直立型移送及び乾燥手段は、上部中央に設けられる、基板を挟持するための移送挟持部材と、該基板の左右側に夫々位置する、基板を移送するためのホイール部材と、夫々両側に設けられる、所定の回路を形成するための薄型基板にエッチング液を噴射する噴射装置（図示せず）とを有するものである。しかし、この構成の場合、湿式工程を行った時、ホイール部材が基板に接触してしまうので、高精密回路を理想的に形成することができない。

さらに、従来の直立型湿式工程装置は、上部に設けられる移送挟持部材と、夫々両側に設けられる、移送挟持部材により移送され、基板に回線を形成するためのエッチング液を噴射する２つの噴射装置とを有するものであるが、特許文献２に係る基板用直立型移送及び乾燥手段におけるホイール部材を有していなく、即ち、基板とホイール部材との接触による問題がないことから、薄型基板より重くて硬いタイプの基板をこの従来の直立型湿式工程装置に適用すると、移送中にブレがなく、該基板と噴射装置との接触もないので、この基板の歩留まりに悪影響を齎すことはない。

台湾特許第３３９１８８号 台湾特許第５２３２４６号

しかしながら、前記従来の直立型湿式工程装置により軽くて薄い薄型基板に対して工程を施した場合、基板が湿式工程装置に送られた後、まだエッチング液などで湿っていない完全に乾燥している薄型基板の上部を前記移送部材により挟持し、噴射装置から噴射される液体及びその高速で噴射される液体が引き起こす気流により、該液体で湿っていない薄型基板が湿式工程装置の内部で揺れ動くことから、該噴射装置のノズルに接触するので、該薄型基板における回路が破損してしまう。故に、該従来の直立型湿式工程装置では、薄型基板の歩留まりを向上させることができない。

また、前記従来の直立型湿式工程装置の改良例では、さらに薄型基板を揺れ動かなくするために、前記基板の下部を挟持して、上部移送挟持部材と共に、薄型基板を確実に挟持するための下部移送挟持部材が設けられる。しかしながら、この構成では、異なるサイズの薄型基板用いる時には、それに対応する異なるサイズの下部移送挟持部材を設置し直さないといけないことから、使用上非常に面倒であると共に、下部移送挟持部材を設置し直すために作業時間やコストも増大してしまう。

そこで、案出されたのが本考案であって、薄型基板とノズルなどの部材を接触させないように、噴射される液体による薄型基板の揺れを抑えて回路の損傷を防ぐことにより、歩留まりを向上させると共に、コストを低減させる薄型基板用湿式工程装置を提供することを目的としている。

本願の請求項１の考案は、一端に形成される入口及び他端に形成される出口と、該入口の両側近傍に設けられる２つの直立型低速噴射装置と、両側における該直立型低速噴射装置の近傍に夫々設けられる噴射装置とを具備する湿式工程ハウジングと、
前記湿式工程ハウジングの上部における噴射装置の間に設置される移送レールと、該移送レール上において移動可能に配置される挟持部材を具備する移送装置とを有することを特徴とする薄型基板用湿式工程装置、を提供する。

本願の請求項２の考案は、前記各直立型低速噴射装置は、互いに平行な２つの直立型移送パイプと、該直立型移送パイプに設けられると共に、夫々前記湿式工程ハウジングの内側に向って噴射口を有する複数のノズルとを備えることを特徴とする請求項１に記載の薄型基板用湿式工程装置、を提供する。

本願の請求項３の考案は、前記各直立型低速噴射装置は、１つの直立型移送パイプと、該直立型移送パイプに設けられると共に、夫々前記湿式工程ハウジングの内側に向って噴射口を有する複数のノズルとを備えることを特徴とする請求項１に記載の薄型基板用湿式工程装置、を提供する。

本願の請求項４の考案は、前記各直立型低速噴射装置は、互いに平行な２つの直立型移送パイプと、該２つの直立型移送パイプを連通する連通パイプと、該連通パイプに設けられると共に、前記湿式工程ハウジングの内側に向って噴射口を有する少なくとも１つのノズルとを備えることを特徴とする請求項１に記載の薄型基板用湿式工程装置、を提供する。

本願の請求項５の考案は、さらに、前記直立型低速噴射装置と連通する液体移送パイプと、前記噴射装置と連通する液体移送パイプとを有することを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載の薄型基板用湿式工程装置、を提供する。

本願の請求項６の考案は、さらに、前記直立型低速噴射装置と連通すると共に、弁を備えるL字形パイプと、前記噴射装置と連通すると共に、弁を備えるL字形パイプを具備する液体移送パイプを有することを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載の薄型基板用湿式工程装置、を提供する。

本願の請求項７の考案は、さらに、前記湿式工程ハウジングと連通する前処理ハウジングを有し、
前記移送装置の移送レールが該前処理ハウジングの上部及び湿式工程ハウジングの上部に一体に設けられることを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載の薄型基板用湿式工程装置、を提供する。

本願の請求項８の考案は、前記噴射装置はさらに、横方向に設置されると共に、前記湿式工程ハウジングの内側に向って噴射口を有する複数のノズルを備える移送パイプを具備することを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載の薄型基板用湿式工程装置、を提供する。

本願の請求項９の考案は、前記挟持部材はさらに、前記移送レール上において移動可能に配置されるホイールを備えることを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載の薄型基板用湿式工程装置、を提供する。

本考案は上記の課題を解決するものであり、噴射装置から高速で噴射される液体を受ける前に、夫々両側に設けられる２つの直立型低速噴射装置から低速で噴射される液体が薄型基板を湿らし、該薄型基板の重量を増加させることにより、薄型基板を揺らさずに真っ直ぐに釣支するので、薄型基板とノズルなどの部材との接触を防ぐことができる。故に、本考案の構成によれば、薄型基板に高品質の高精密回路を形成でき、且つ、薄型基板の歩留まりも向上させることができる。

本考案に係る薄型基板用湿式工程装置の第１実施例の側面断面図である。 本考案に係る薄型基板用湿式工程装置を用いて薄型基板をエッチングする湿式工程の使用状態を示す側面断面図である。 本考案に係る薄型基板用湿式工程装置における直立型低速噴射装置により薄型基板を湿らす時の使用状態の正面断面図である。 本考案に係る薄型基板用湿式工程装置の第２実施例の側面断面図である。 本考案に係る薄型基板用湿式工程装置の第３実施例の側面断面図である。

以下、添付図面を参照して本考案の好適な実施の形態を詳細に説明する。尚、下記実施例は、本考案の好適な実施の形態を示したものにすぎず、本考案の技術的範囲は、下記実施例そのものに何ら限定されるものではない。

図１は本考案に係る薄型基板用湿式工程装置の第１実施例の側面断面図であり、図２は本考案に係る薄型基板用湿式工程装置を用いて薄型基板をエッチングする湿式工程の使用状態を示す側面断面図であり、図３は本考案に係る薄型基板用湿式工程装置における直立型低速噴射装置により薄型基板を湿らす時の使用状態の正面断面図であり、図４は本考案に係る薄型基板用湿式工程装置の第２実施例の側面断面図であり、図５は本考案に係る薄型基板用湿式工程装置の第３実施例の側面断面図である。

図１に示すように、本考案に係る薄型基板用湿式工程装置の第１実施例は、前処理ハウジング（１０）と、湿式工程ハウジング（２０）と、移送装置（３０）とを有する。

その内、湿式工程ハウジング（２０）は、前記前処理ハウジング（１０）と連通し、一端に形成される入口（２１）及び他端に形成される出口（２２）と、該入口（２１）の両側近傍に設けられる２つの直立型低速噴射装置（２３）と、両側における該直立型低速噴射装置（２３）の近傍に夫々設けられる噴射装置（２４）と、横方向に設置されると共に、前記湿式工程ハウジング（２０）の内側に向って噴射口を有する複数のノズル（２４２）を備える移送パイプ（２４１）と、を具備する。

前記移送装置（３０）は、該湿式工程ハウジング（２０）の上部における該噴射装置（２４）の間に設置される移送レール（３１）と、該移送レール（３１）上において移動可能に配置され、ホイール（３３）を備える挟持部材（３２）とを具備し、また、前記移送レール（３１）は、前記前処理ハウジング（１０）の上部及び湿式工程ハウジング（２０）の上部に一体に設けられるものである。

尚、前記直立型低速噴射装置（２３）と噴射装置（２４）とは、エッチング液などの液体を送り込む同一の液体移送パイプ（２５）に連結してもよいが、夫々互いに異なる液体移送パイプに連結しても構わない。また、前記直立型低速噴射装置（２３）と、前記噴射装置（２４）と連結される同一の液体移送パイプ（２５）は、前記直立型低速噴射装置（２３）と連通すると共に、液体の噴射速度を調整するための弁（２５４）を備えるL字形パイプ（２５２）と、前記噴射装置（２４）と連通すると共に、液体の噴射速度を調整するための弁（２５３）を備える分流パイプ（２５１）とを具備するものである。

図１に示すように、湿式工程を行う時は、前処理ハウジング（１０）にに進入する薄型基板（４０）の上部を移送装置（３０）の挟持部材（３２）で挟持した後、薄型基板（４０）を挟持する該挟持部材（３２）を移送レール（３１）により湿式工程ハウジング（２０）へ進行させる。

図２及び図３に示すように、薄型基板（４０）の前側が入口（２１）に入ると、直立型低速噴射装置（２３）が該薄型基板（４０）に向かって低速でエッチング液を噴射することから、移送装置（３０）により移送される薄型基板（４０）は、エッチング工程を行う噴射装置（２４）の範囲に着く前にすでに湿っている。この構成によれば、前記噴射装置（２４）によりエッチング工程が施され、出口（２２）から湿式工程ハウジング（２０）を出た薄型基板（４０）には、確実に所定の回路が形成されている。

図１に示すように、本考案の第１実施例においては、各直立型低速噴射装置（２３）に、互いに平行な２つの直立型移送パイプ（２３１）と、該直立型移送パイプ（２３１）に設置されると共に、夫々が前記湿式工程ハウジング（２０）の内側に向って噴射口を有する複数のノズル（２３２）とが設けられる。

図４に示すように、本考案に係る薄型基板用湿式工程装置の第２実施例においては、各直立型低速噴射装置（２３ａ）に、１つの直立型移送パイプ（２３１ａ）と、該直立型移送パイプ（２３１ａ）に設置されると共に、夫々湿式工程ハウジング（２０）の内側に向って噴射口を有する複数のノズル（２３２ａ）とが設けられる。

図５に示すように、本考案に係る薄型基板用湿式工程装置の第３実施例においては、各直立型低速噴射装置（２３ｂ）に、互いに平行な２つの直立型移送パイプ（２３１ｂ）と、該２つの直立型移送パイプ（２３１ｂ）と連通する連通パイプ（２３３ｂ）と、該連通パイプ（２３３ｂ）に設置されると共に、湿式工程ハウジング（２０）の内側に向って噴射口を有する少なくとも１つのノズル（２３２ｂ）とが設けられる。

上述したように、本考案の第１〜３実施例の開示によれば、本考案に係る薄型基板用湿式工程装置は、本考案の属する技術の分野における通常の知識を有するものにより適宜な修飾が施されても、本考案の範囲を逸脱しないことが明らかである。

本考案は上記の構成を有するので、湿式工程ハウジングの入口の両側近傍に設けられる２つの直立型低速噴射装置から低速で噴射される、例えばエッチング液など液体が薄型基板を湿らせ、該薄型基板の重量を増加させるので、噴射装置による液体の高速噴射を受けても揺れ動くことはなく、これにより、該薄型基板と他の部材との接触による損傷を防ぎ、所定の回路が形成された薄型基板の歩留まりを向上させることができる。

１０ 前処理ハウジング
２０ 湿式工程ハウジング
２１ 入口
２２ 出口
２３ 直立型低速噴射装置
２３１ 直立型移送パイプ
２３１ａ 直立型移送パイプ
２３１ｂ 直立型移送パイプ
２３２ ノズル
２３２ａ ノズル
２３２ｂ ノズル
２３３ｂ 連通パイプ
２３ａ 直立型低速噴射装置
２３ｂ 直立型低速噴射装置
２４ 噴射装置
２４１ 移送パイプ
２４２ ノズル
２５ 液体移送パイプ
２５１ L字形パイプ
２５２ L字形パイプ
２５３ 弁
２５４ 弁
３０ 移送装置
３１ 移送レール
３２ 挟持部材
３３ ホイール
４０ 薄型基板

Claims (9)

1. 一端に形成される入口及び他端に形成される出口と、該入口の両側近傍に設けられる２つの直立型低速噴射装置と、両側における該直立型低速噴射装置の近傍に夫々設けられる噴射装置とを具備する湿式工程ハウジングと、
   前記湿式工程ハウジングの上部における噴射装置の間に設置される移送レールと、該移送レール上において移動可能に配置される挟持部材を具備する移送装置とを有することを特徴とする薄型基板用湿式工程装置。
2. 前記各直立型低速噴射装置は、互いに平行な２つの直立型移送パイプと、該直立型移送パイプに設けられると共に、夫々前記湿式工程ハウジングの内側に向って噴射口を有する複数のノズルとを備えることを特徴とする請求項１に記載の薄型基板用湿式工程装置。
3. 前記各直立型低速噴射装置は、１つの直立型移送パイプと、該直立型移送パイプに設けられると共に、夫々前記湿式工程ハウジングの内側に向って噴射口を有する複数のノズルとを備えることを特徴とする請求項１に記載の薄型基板用湿式工程装置。
4. 前記各直立型低速噴射装置は、互いに平行な２つの直立型移送パイプと、該２つの直立型移送パイプを連通する連通パイプと、該連通パイプに設けられると共に、前記湿式工程ハウジングの内側に向って噴射口を有する少なくとも１つのノズルとを備えることを特徴とする請求項１に記載の薄型基板用湿式工程装置。
5. さらに、前記直立型低速噴射装置と連通する液体移送パイプと、前記噴射装置と連通する液体移送パイプとを有することを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載の薄型基板用湿式工程装置。
6. さらに、前記直立型低速噴射装置と連通すると共に、弁を備えるL字形パイプと、前記噴射装置と連通すると共に、弁を備えるL字形パイプを具備する液体移送パイプを有することを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載の薄型基板用湿式工程装置。
7. さらに、前記湿式工程ハウジングと連通する前処理ハウジングを有し、
   前記移送装置の移送レールが該前処理ハウジングの上部及び湿式工程ハウジングの上部に一体に設けられることを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載の薄型基板用湿式工程装置。
8. 前記噴射装置はさらに、横方向に設置されると共に、前記湿式工程ハウジングの内側に向って噴射口を有する複数のノズルを備える移送パイプを具備することを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載の薄型基板用湿式工程装置。
9. 前記挟持部材はさらに、前記移送レール上において移動可能に配置されるホイールを備えることを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載の薄型基板用湿式工程装置。

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