JP3145497B2 - 電子ビームテスタによる電圧波形測定方法 - Google Patents
電子ビームテスタによる電圧波形測定方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体集積回路の診断
等に使用される電子ビームテスタによる電圧波形測定方
法に関する。
等に使用される電子ビームテスタによる電圧波形測定方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図９を参照しながら図７及び図８に基づ
いて、従来の電子ビームテスタによる電圧波形測定方法
を説明する。以下、括弧内の数値は図中のステップ識別
番号である。
いて、従来の電子ビームテスタによる電圧波形測定方法
を説明する。以下、括弧内の数値は図中のステップ識別
番号である。
【０００３】（５０）試料上の測定点の印加電圧を例え
ば０Ｖにし、図９（Ａ）に示す如く、分析電圧Ｖに対す
る二次電子検出量ＳのいわゆるＳカーブを取得する。二
次電子検出量Ｓの最大値Ｓmaxと最小値Ｓminの平均値を
スライスレベルＳLとする。そして、Ｓ＝ＳLとなる分析
電圧Ｖ0及び収束係数α＝−１／βを求める。ここにβ
は、Ｓカーブと直線Ｓ＝ＳLとの交点でのＳカーブの傾
きである。
ば０Ｖにし、図９（Ａ）に示す如く、分析電圧Ｖに対す
る二次電子検出量ＳのいわゆるＳカーブを取得する。二
次電子検出量Ｓの最大値Ｓmaxと最小値Ｓminの平均値を
スライスレベルＳLとする。そして、Ｓ＝ＳLとなる分析
電圧Ｖ0及び収束係数α＝−１／βを求める。ここにβ
は、Ｓカーブと直線Ｓ＝ＳLとの交点でのＳカーブの傾
きである。
【０００４】（５１）走査回数を表すカウンタｉに初期
値０を代入する。
値０を代入する。
【０００５】（５２）位相識別変数ｊに初期値０を代入
する。
する。
【０００６】（５３）分析電圧ＶをＶijに設定する。初
期値Ｖ0jは、全ての位相ｊの値０〜ｍについて同一値で
あって、予め設定されている。
期値Ｖ0jは、全ての位相ｊの値０〜ｍについて同一値で
あって、予め設定されている。
【０００７】（５４）位相ｊにおいて、試料の測定点に
パルス状の電子ビームＥＢを照射し、二次電子検出量Ｓ
ijを取得する。
パルス状の電子ビームＥＢを照射し、二次電子検出量Ｓ
ijを取得する。
【０００８】（５５）Ｖi+1j＝Ｖij＋α（Ｓij−ＳL）
を算出する。分析電圧Ｖijは、図９（Ｂ）に示す如く、
位相ｊの増加とともにＳカーブとスライスレベルＳLと
の交点の分析電圧Ｖ＝Ｖejに収束する。
を算出する。分析電圧Ｖijは、図９（Ｂ）に示す如く、
位相ｊの増加とともにＳカーブとスライスレベルＳLと
の交点の分析電圧Ｖ＝Ｖejに収束する。
【０００９】（５６）位相ｊと位相最大値ｍとを比較す
る。
る。
【００１０】（５７）ｊ≠ｍの場合は、位相ｊをインク
リメントし、上記ステップ５３へ戻る。
リメントし、上記ステップ５３へ戻る。
【００１１】（５８）ｊ＝ｍとなると、分析電圧Ｖi+1j
が分析電圧Ｖejに収束したかどうかを判定する。すなわ
ち、｜Ｖi+1j−Ｖij｜≦εが全てのｊの値０〜ｍについ
て成立するかどうかを判定する。
が分析電圧Ｖejに収束したかどうかを判定する。すなわ
ち、｜Ｖi+1j−Ｖij｜≦εが全てのｊの値０〜ｍについ
て成立するかどうかを判定する。
【００１２】（５９）分析電圧ＶがＶejに収束していな
いと判定された場合には、カウンタｉをインクリメント
し、上記ステップ５２へ戻る。
いと判定された場合には、カウンタｉをインクリメント
し、上記ステップ５２へ戻る。
【００１３】ステップ５２〜５９の処理を繰り返すこと
により、分析電圧Ｖij（ｊ＝０〜ｍ）が電圧Ｖejに収束
すると、図８に示す電圧波形測定処理に移る。
により、分析電圧Ｖij（ｊ＝０〜ｍ）が電圧Ｖejに収束
すると、図８に示す電圧波形測定処理に移る。
【００１４】（６０）繰り返し回数を表すカウンタｋに
初期値０を代入する。また、位相ｊにおける分析電圧の
新たな初期値Ｖ0jとして値Ｖi+1jを代入し、位相ｊにお
ける分析電圧の累積加算値ＶＴjに初期値Ｖ0jを代入す
る。以下のステップ６１〜６６での処理は、図７に示す
ステップ５２〜５７の処理と実質的に同一である。
初期値０を代入する。また、位相ｊにおける分析電圧の
新たな初期値Ｖ0jとして値Ｖi+1jを代入し、位相ｊにお
ける分析電圧の累積加算値ＶＴjに初期値Ｖ0jを代入す
る。以下のステップ６１〜６６での処理は、図７に示す
ステップ５２〜５７の処理と実質的に同一である。
【００１５】（６１）位相識別変数ｊに初期値０を代入
する。
する。
【００１６】（６２）分析電圧ＶをＶkjに設定する。
【００１７】（６３）位相ｊにおいて、試料の測定点に
パルス状の電子ビームＥＢを照射し、二次電子検出量Ｓ
jを読み込む。
パルス状の電子ビームＥＢを照射し、二次電子検出量Ｓ
jを読み込む。
【００１８】（６４）Ｖk+1j＝Ｖkj＋α（Ｓj−ＳL）を
算出する。
算出する。
【００１９】（６５）位相ｊと位相最大値ｍとを比較す
る。
る。
【００２０】（６６）ｊ≠ｍの場合は、位相ｊをインク
リメントし、上記ステップ６２へ戻る。
リメントし、上記ステップ６２へ戻る。
【００２１】（６７）ｋが予め設定された最大値Ｎに等
しいか否かを判定する。Ｎは通常２4 〜２8 程度の値で
あり、予め設定されている。
しいか否かを判定する。Ｎは通常２4 〜２8 程度の値で
あり、予め設定されている。
【００２２】（６８）ｋ≠Ｎであれば、カウンタｋをイ
ンクリメントし、上記ステップ６１へ戻る。
ンクリメントし、上記ステップ６１へ戻る。
【００２３】（６９）ｋ＝Ｎとなれば、位相ｊでの分析
電圧の平均値ＶＭj＝ＶＴj／（ｋ＋１）を、ｊ＝０〜ｍ
の各々について算出する。以上のようにして、加算平均
した電圧波形ＶＭj−Ｖ0（ｊ＝０〜ｍ）が得られる。
電圧の平均値ＶＭj＝ＶＴj／（ｋ＋１）を、ｊ＝０〜ｍ
の各々について算出する。以上のようにして、加算平均
した電圧波形ＶＭj−Ｖ0（ｊ＝０〜ｍ）が得られる。
【００２４】
【発明が解決しようとする課題】従来では、収束係数α
が位相ｊによらず一定と仮定していたが、実際には、局
所電界効果等により、Ｓカーブの形状が被測定電圧のレ
ベルにより変化するため、収束係数αが位相ｊに依存す
る。このことが、電子ビームテスタによる電圧波形測定
の精度を低下させる原因となっていた。また、ステップ
５５及び６４の収束係数を毎回正確に求めると、電圧波
形測定に要する時間が長くなり過ぎる。
が位相ｊによらず一定と仮定していたが、実際には、局
所電界効果等により、Ｓカーブの形状が被測定電圧のレ
ベルにより変化するため、収束係数αが位相ｊに依存す
る。このことが、電子ビームテスタによる電圧波形測定
の精度を低下させる原因となっていた。また、ステップ
５５及び６４の収束係数を毎回正確に求めると、電圧波
形測定に要する時間が長くなり過ぎる。
【００２５】本発明の目的は、このような問題点に鑑
み、電圧波形測定に要する時間を長くすることなく、電
圧波形測定精度を向上させることができる、電子ビーム
テスタによる電圧波形測定方法を提供することにある。
み、電圧波形測定に要する時間を長くすることなく、電
圧波形測定精度を向上させることができる、電子ビーム
テスタによる電圧波形測定方法を提供することにある。
【００２６】
【課題を解決するための手段及びその作用】図１は、本
発明に係る、電子ビームテスタによる電圧波形測定方法
を示すフローチャートである。
発明に係る、電子ビームテスタによる電圧波形測定方法
を示すフローチャートである。
【００２７】本発明は、電子ビーム照射装置で電子ビー
ムを、周期的変化する信号が供給される試料上の測定点
に照射し、照射点から放出された二次電子を、分析電圧
Ｖが印加されたエネルギー分析器を通して二次電子検出
器で検出し、該信号の位相ｊ及び第ｉ回の分析電圧Ｖij
の下で検出した二次電子検出量をＳijとし収束係数をα
としたとき、第ｉ＋１回の分析電圧Ｖi+1jをＶi+1j＝Ｖ
ij＋α（Ｓij−ＳL）で求め、該ｉを増加させて該位相
ｊでの二次電子検出量ＳをスライスレベルＳLに収束さ
せ、収束したときの分析電圧Ｖに基づいて該測定点の電
圧を求める、電子ビームテスタによる電圧波形測定方法
であって、ここに収束係数αは二次電子検出量の増分δ
Ｓに対する分析電圧の増分がδＶのときα＝−δＶ／δ
Ｓであり、 （１）該分析電圧を固定し該位相ｊを変化させたときの
二次電子検出量Ｓを取得し、該二次電子検出量Ｓが最大
となる該位相ｊL及び該二次電子検出量Ｓが最小となる
該位相ｊHを求め、 （２）該位相ｊLで該分析電圧を変化させたときの二次
電子検出量Ｓを取得し、該二次電子検出量Ｓが該スライ
スレベルＳLとなる点の該分析電圧ＶL及び収束係数αL
を求め、 （３）該位相ｊHで該分析電圧を変化させたときの二次
電子検出量Ｓを取得し、該二次電子検出量Ｓが該スライ
スレベルＳLとなる点の該分析電圧ＶH及び収束係数αH
を求め、 （４）該分析電圧がＶijのときの該収束係数αを、α＝
｛（αH−αL）Ｖij＋αLＶH−αHＶL｝／（ＶH−ＶL）
により求め、該収束係数αを、該分析電圧Ｖijから該分
析電圧Ｖi+1jを算出するのに用いることを特徴とする。
ムを、周期的変化する信号が供給される試料上の測定点
に照射し、照射点から放出された二次電子を、分析電圧
Ｖが印加されたエネルギー分析器を通して二次電子検出
器で検出し、該信号の位相ｊ及び第ｉ回の分析電圧Ｖij
の下で検出した二次電子検出量をＳijとし収束係数をα
としたとき、第ｉ＋１回の分析電圧Ｖi+1jをＶi+1j＝Ｖ
ij＋α（Ｓij−ＳL）で求め、該ｉを増加させて該位相
ｊでの二次電子検出量ＳをスライスレベルＳLに収束さ
せ、収束したときの分析電圧Ｖに基づいて該測定点の電
圧を求める、電子ビームテスタによる電圧波形測定方法
であって、ここに収束係数αは二次電子検出量の増分δ
Ｓに対する分析電圧の増分がδＶのときα＝−δＶ／δ
Ｓであり、 （１）該分析電圧を固定し該位相ｊを変化させたときの
二次電子検出量Ｓを取得し、該二次電子検出量Ｓが最大
となる該位相ｊL及び該二次電子検出量Ｓが最小となる
該位相ｊHを求め、 （２）該位相ｊLで該分析電圧を変化させたときの二次
電子検出量Ｓを取得し、該二次電子検出量Ｓが該スライ
スレベルＳLとなる点の該分析電圧ＶL及び収束係数αL
を求め、 （３）該位相ｊHで該分析電圧を変化させたときの二次
電子検出量Ｓを取得し、該二次電子検出量Ｓが該スライ
スレベルＳLとなる点の該分析電圧ＶH及び収束係数αH
を求め、 （４）該分析電圧がＶijのときの該収束係数αを、α＝
｛（αH−αL）Ｖij＋αLＶH−αHＶL｝／（ＶH−ＶL）
により求め、該収束係数αを、該分析電圧Ｖijから該分
析電圧Ｖi+1jを算出するのに用いることを特徴とする。
【００２８】本発明では、従来一定と仮定していた収束
係数αを上記方法で直線近似することにより、収束係数
αを適正な値としているので、処理を特に複雑にするこ
となく、分析電圧が収束する際のハンチングが小さくな
って安定かつ速やかに収束し、これにより、電圧波形測
定に要する時間を長くすることなく電圧波形測定精度を
向上させることができる。
係数αを上記方法で直線近似することにより、収束係数
αを適正な値としているので、処理を特に複雑にするこ
となく、分析電圧が収束する際のハンチングが小さくな
って安定かつ速やかに収束し、これにより、電圧波形測
定に要する時間を長くすることなく電圧波形測定精度を
向上させることができる。
【００２９】本発明の第１態様では、二次電子検出量Ｓ
をスライスレベルＳL に収束させる上記収束処理によ
り、全位相ｊについて｜Ｖi+1j−Ｖij｜が小さな正数ε
以下となった後にさらに、各位相ｊについて、該収束処
理をＮ回繰返してＮ個の分析電圧を求め、該Ｎ個の分析
電圧の平均値に基づいて該測定点の電圧を求める。
をスライスレベルＳL に収束させる上記収束処理によ
り、全位相ｊについて｜Ｖi+1j−Ｖij｜が小さな正数ε
以下となった後にさらに、各位相ｊについて、該収束処
理をＮ回繰返してＮ個の分析電圧を求め、該Ｎ個の分析
電圧の平均値に基づいて該測定点の電圧を求める。
【００３０】
【実施例】以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説
明する。
明する。
【００３１】図２は、電子ビームテスタの要部ハードウ
エア構成を示す。
エア構成を示す。
【００３２】電子ビーム照射装置１０は、電子銃１１か
ら放射された電子ビームＥＢを、コンデンサ磁界レンズ
１２Ａ、パルス化用偏向板１３、パルス化用アパーチャ
１４、コンデンサ磁界レンズ１２Ｂ、偏向器１５及び対
物磁界レンズ１６に通して、ステージ１７上に固定され
た試料１８上の測定点に収束照射させる。照射点から放
出された２次電子ＳＥは、対物磁界レンズ１６の内側に
配置された引出しグリッド１９１、制御グリッド１９２
及びエネルギー分析グリッド１９３を通って２次電子検
出器２０で検出される。２次電子検出器２０の出力電流
は、アンプ２１で電圧に変換されかつ増幅された後、Ａ
／Ｄ変換器２２でデジタル化されてコンピュータ３０に
供給される。
ら放射された電子ビームＥＢを、コンデンサ磁界レンズ
１２Ａ、パルス化用偏向板１３、パルス化用アパーチャ
１４、コンデンサ磁界レンズ１２Ｂ、偏向器１５及び対
物磁界レンズ１６に通して、ステージ１７上に固定され
た試料１８上の測定点に収束照射させる。照射点から放
出された２次電子ＳＥは、対物磁界レンズ１６の内側に
配置された引出しグリッド１９１、制御グリッド１９２
及びエネルギー分析グリッド１９３を通って２次電子検
出器２０で検出される。２次電子検出器２０の出力電流
は、アンプ２１で電圧に変換されかつ増幅された後、Ａ
／Ｄ変換器２２でデジタル化されてコンピュータ３０に
供給される。
【００３３】一方、クロック発生器２３は、クロックφ
1 をカウンタ２４のクロック入力端子に供給し、クロッ
クφ1 を例えば１／５１２分周したクロックφ2 をトリ
ガ信号としてテスト信号発生回路２５及びディレイユニ
ット２６に供給する。テスト信号発生回路２５は、この
クロックφ2 に同期して、試料１８に周期的なテスト信
号を供給する。クロック発生器２３の出力ゲートは、コ
ンピュータ３０からのスタート／ストップ信号により制
御される。カウンタ２４は、クロックφ１を計数し、そ
の計数値をコンピュータ３０に供給しかつ計数値の例え
ば下位９ビットを位相ｉとしてディレイユニット２６に
供給する。ディレイユニット２６は、クロックφ2 を受
けた後、カウンタ２４からの位相ｉがｊになったときに
電子ビームＥＢがパルス化用アパーチャ１４を通過する
ように、パルス化用偏向板１３に印加する電圧を制御す
る。この位相ｊは、クロックφ２によりインクリメント
される。
1 をカウンタ２４のクロック入力端子に供給し、クロッ
クφ1 を例えば１／５１２分周したクロックφ2 をトリ
ガ信号としてテスト信号発生回路２５及びディレイユニ
ット２６に供給する。テスト信号発生回路２５は、この
クロックφ2 に同期して、試料１８に周期的なテスト信
号を供給する。クロック発生器２３の出力ゲートは、コ
ンピュータ３０からのスタート／ストップ信号により制
御される。カウンタ２４は、クロックφ１を計数し、そ
の計数値をコンピュータ３０に供給しかつ計数値の例え
ば下位９ビットを位相ｉとしてディレイユニット２６に
供給する。ディレイユニット２６は、クロックφ2 を受
けた後、カウンタ２４からの位相ｉがｊになったときに
電子ビームＥＢがパルス化用アパーチャ１４を通過する
ように、パルス化用偏向板１３に印加する電圧を制御す
る。この位相ｊは、クロックφ２によりインクリメント
される。
【００３４】コンピュータ３０には、設定値入力用のキ
ーボード３１と、設定値や電圧測定波形等を表示するた
めの表示装置３２とが接続されている。
ーボード３１と、設定値や電圧測定波形等を表示するた
めの表示装置３２とが接続されている。
【００３５】次に、図６を参照しながら図３〜図５に基
づいてコンピュータ３０による電圧波形測定処理手順を
説明する。
づいてコンピュータ３０による電圧波形測定処理手順を
説明する。
【００３６】（７０）試料上の測定点の印加電圧を例え
ば０Ｖにし、図９（Ａ）に示す如く、分析電圧Ｖに対す
る二次電子検出量ＳのいわゆるＳカーブを取得する。二
次電子検出量Ｓの最大値Ｓmaxと最小値Ｓminの平均値を
スライスレベルＳLとする。
ば０Ｖにし、図９（Ａ）に示す如く、分析電圧Ｖに対す
る二次電子検出量ＳのいわゆるＳカーブを取得する。二
次電子検出量Ｓの最大値Ｓmaxと最小値Ｓminの平均値を
スライスレベルＳLとする。
【００３７】（７１）位相識別変数ｊに初期値０を代入
する。
する。
【００３８】（７２）分析電圧Ｖを一定値Ｖ0、例えば
図９（Ａ）においてＳ＝ＳLとなるＶ＝Ｖ0に設定する。
図９（Ａ）においてＳ＝ＳLとなるＶ＝Ｖ0に設定する。
【００３９】（７３）位相ｊにおいて、試料の測定点に
パルス状の電子ビームＥＢを照射し、二次電子検出量Ｓ
jを取得し、これを位相ｊの値と対応させて記憶してお
く。
パルス状の電子ビームＥＢを照射し、二次電子検出量Ｓ
jを取得し、これを位相ｊの値と対応させて記憶してお
く。
【００４０】（７４）位相ｊと位相最大値ｍとを比較す
る。
る。
【００４１】（７５）ｊ≠ｍの場合には、位相ｊをイン
クリメントし、上記ステップ７３へ戻る。ステップ７３
〜７５の繰返しにより、図６（Ａ）に示すような二次電
子検出量Ｓの分布が得られる。
クリメントし、上記ステップ７３へ戻る。ステップ７３
〜７５の繰返しにより、図６（Ａ）に示すような二次電
子検出量Ｓの分布が得られる。
【００４２】（７６）ｊ＝ｍとなった場合には、図６
（Ａ）に示すように、二次電子検出量Ｓ1〜Ｓmの最大値
Ｓ＝Ｓmaxに対応する位相ｊL及び二次電子検出量Ｓ1〜
Ｓmの最小値Ｓ＝Ｓminに対応する位相ｊHを求める。
（Ａ）に示すように、二次電子検出量Ｓ1〜Ｓmの最大値
Ｓ＝Ｓmaxに対応する位相ｊL及び二次電子検出量Ｓ1〜
Ｓmの最小値Ｓ＝Ｓminに対応する位相ｊHを求める。
【００４３】（７７、７８）位相ｊがｊLのときの被測
定電圧に対し、分析電圧Ｖを変化させて図６（Ｂ）に示
すようなＳAカーブを取得する。
定電圧に対し、分析電圧Ｖを変化させて図６（Ｂ）に示
すようなＳAカーブを取得する。
【００４４】（７９）図６（Ｂ）に示す如く、ＳA＝ＳL
となる分析電圧Ｖ＝ＶLを求める。
となる分析電圧Ｖ＝ＶLを求める。
【００４５】（８０）収束係数αL＝−１／βLを求め
る。ここにβLは、ＳAカーブと直線Ｓ＝ＳLとの交点で
のＳAカーブの傾きである。
る。ここにβLは、ＳAカーブと直線Ｓ＝ＳLとの交点で
のＳAカーブの傾きである。
【００４６】（８１、８２）位相ｊがｊHのときの被測
定電圧に対し、分析電圧Ｖを変化させて図６（Ｂ）に示
すようなＳBカーブを取得する。
定電圧に対し、分析電圧Ｖを変化させて図６（Ｂ）に示
すようなＳBカーブを取得する。
【００４７】（８３）図６（Ｂ）に示す如く、ＳB＝ＳL
となる分析電圧Ｖ＝ＶHを求める。
となる分析電圧Ｖ＝ＶHを求める。
【００４８】（８４）収束係数αH＝−１／βHを求め
る。ここにβHは、ＳBカーブと直線Ｓ＝ＳLとの交点で
のＳBカーブの傾きである。
る。ここにβHは、ＳBカーブと直線Ｓ＝ＳLとの交点で
のＳBカーブの傾きである。
【００４９】次に、図４に示す処理を行う。図４のステ
ップ５１〜５９は図７の対応するステップ５１〜５９と
同一であり、図４が図７と異なる点は、ステップ５３と
ステップ５４との間に、次のステップ８５がある点であ
る。
ップ５１〜５９は図７の対応するステップ５１〜５９と
同一であり、図４が図７と異なる点は、ステップ５３と
ステップ５４との間に、次のステップ８５がある点であ
る。
【００５０】（８５）分析電圧Ｖijにおける収束係数α
を、分析電圧ＶL〜ＶHの範囲で直線近似する。すなわ
ち、次式、 α＝｛（αH−αL）Ｖij＋αLＶH−αHＶL｝／（ＶH−
ＶL） により収束係数αを求める。
を、分析電圧ＶL〜ＶHの範囲で直線近似する。すなわ
ち、次式、 α＝｛（αH−αL）Ｖij＋αLＶH−αHＶL｝／（ＶH−
ＶL） により収束係数αを求める。
【００５１】図４のステップ５８で肯定判定された場合
には、図５に示す処理を行う。図５のステップ６０〜６
９は図８の対応するステップ６０〜６９と同一であり、
図５が図８と異なる点は、ステップ６２とステップ６３
との間に、ステップ８６がある点である。このステップ
８６は、ＶijをＶkjと置き換える外は上記ステップ８５
と同一処理である。
には、図５に示す処理を行う。図５のステップ６０〜６
９は図８の対応するステップ６０〜６９と同一であり、
図５が図８と異なる点は、ステップ６２とステップ６３
との間に、ステップ８６がある点である。このステップ
８６は、ＶijをＶkjと置き換える外は上記ステップ８５
と同一処理である。
【００５２】以上のような処理により、すなわち、従来
の処理に対し、図３に示す処理を付加し、且つ、図４の
ステップ８５及び図５のステップ８６の処理を付加する
ことにより、収束係数αがより適正な値となるので、分
析電圧が収束する際のハンチングが小さくなって安定に
収束し、比較的処理時間の長い図４のステップ５２、５
３、８５、５４〜５９での収束が速くなり、図５の処理
による電圧波形測定精度が向上する。
の処理に対し、図３に示す処理を付加し、且つ、図４の
ステップ８５及び図５のステップ８６の処理を付加する
ことにより、収束係数αがより適正な値となるので、分
析電圧が収束する際のハンチングが小さくなって安定に
収束し、比較的処理時間の長い図４のステップ５２、５
３、８５、５４〜５９での収束が速くなり、図５の処理
による電圧波形測定精度が向上する。
【００５３】
【発明の効果】以上説明した如く、本発明に係る、電子
ビームテスタによる電圧波形測定方法では、従来一定と
仮定していた収束係数αを直線近似することにより、収
束係数αを適正な値としているので、処理を特に複雑に
することなく、分析電圧が収束する際のハンチングが小
さくなって安定かつ速やかに収束し、これにより、電圧
波形測定に要する時間を長くすることなく電圧波形測定
精度を向上させることができるという効果を奏し、電子
ビームテスタの性能向上に寄与するところが大きい。
ビームテスタによる電圧波形測定方法では、従来一定と
仮定していた収束係数αを直線近似することにより、収
束係数αを適正な値としているので、処理を特に複雑に
することなく、分析電圧が収束する際のハンチングが小
さくなって安定かつ速やかに収束し、これにより、電圧
波形測定に要する時間を長くすることなく電圧波形測定
精度を向上させることができるという効果を奏し、電子
ビームテスタの性能向上に寄与するところが大きい。
【図１】本発明に係る、電子ビームテスタによる電圧波
形測定方法を示すフローチャートである。
形測定方法を示すフローチャートである。
【図２】本発明の一実施例の電子ビームテスタの要部ハ
ードウエア構成図である。
ードウエア構成図である。
【図３】電子ビームテスタによる電圧波形測定手順を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
【図４】電子ビームテスタによる電圧波形測定手順を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
【図５】電子ビームテスタによる電圧波形測定手順を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
【図６】電圧波形測定説明図である。
【図７】従来の、電子ビームテスタによる電圧波形測定
手順を示すフローチャートである。
手順を示すフローチャートである。
【図８】従来の、電子ビームテスタによる電圧波形測定
手順を示すフローチャートである。
手順を示すフローチャートである。
【図９】電圧波形測定説明図である。
１０ 電子ビーム照射装置 １１ 電子銃 １２Ａ、１２Ｂ コンデンサ磁界レンズ １３ パルス化用偏向板 １４ パルス化用アパーチャ １５ 偏向器 １６ 対物磁界レンズ １７ ステージ １８ 試料 １９１ 引出しグリッド １９２ 制御グリッド １９３ エネルギー分析グリッド ２０ ２次電子検出器 ＥＢ 電子ビーム ＳＥ ２次電子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−156329（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−156330（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−17579（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−42586（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−56864（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 31/28 - 31/3193
Claims (2)
- 【請求項１】 電子ビーム照射装置で電子ビームを、周
期的変化する信号が供給される試料上の測定点に照射
し、照射点から放出された二次電子を、分析電圧Ｖが印
加されたエネルギー分析器を通して二次電子検出器で検
出し、該信号の位相ｊ及び第ｉ回の分析電圧Ｖijの下で
検出した二次電子検出量をＳijとし収束係数をαとした
とき、第ｉ＋１回の分析電圧Ｖi+1jをＶi+1j＝Ｖij＋α
（Ｓij−ＳL）で求め、該ｉを増加させて該位相ｊでの
二次電子検出量ＳをスライスレベルＳL に収束させ、収
束したときの分析電圧Ｖに基づいて該測定点の電圧を求
める、電子ビームテスタによる電圧波形測定方法であっ
て、ここに収束係数αは二次電子検出量の増分δＳに対
する分析電圧の増分がδＶのときα＝−δＶ／δＳであ
り、 （１）該分析電圧を固定し該位相ｊを変化させたときの
二次電子検出量Ｓを取得し、該二次電子検出量Ｓが最大
となる該位相ｊL及び該二次電子検出量Ｓが最小となる
該位相ｊHを求め、 （２）該位相ｊLで該分析電圧を変化させたときの二次
電子検出量Ｓを取得し、該二次電子検出量Ｓが該スライ
スレベルＳLとなる点の該分析電圧ＶL及び収束係数αL
を求め、 （３）該位相ｊHで該分析電圧を変化させたときの二次
電子検出量Ｓを取得し、該二次電子検出量Ｓが該スライ
スレベルＳLとなる点の該分析電圧ＶH及び収束係数αH
を求め、 （４）該分析電圧がＶijのときの該収束係数αを、α＝
｛（αH−αL）Ｖij＋αLＶH−αHＶL｝／（ＶH−ＶL）
により求め、該収束係数αを、該分析電圧Ｖijから該分
析電圧Ｖi+1jを算出するのに用いることを特徴とする、
電子ビームテスタによる電圧波形測定方法。 - 【請求項２】 二次電子検出量ＳをスライスレベルＳL
に収束させる前記収束処理により、全位相ｊについて｜
Ｖi+1j−Ｖij｜が小さな正数ε以下となった後にさら
に、各位相ｊについて、該収束処理をＮ回繰返してＮ個
の分析電圧を求め、該Ｎ個の分析電圧の平均値に基づい
て該測定点の電圧を求めることを特徴とする請求項１記
載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22626692A JP3145497B2 (ja) | 1992-08-25 | 1992-08-25 | 電子ビームテスタによる電圧波形測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22626692A JP3145497B2 (ja) | 1992-08-25 | 1992-08-25 | 電子ビームテスタによる電圧波形測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0675025A JPH0675025A (ja) | 1994-03-18 |
| JP3145497B2 true JP3145497B2 (ja) | 2001-03-12 |
Family
ID=16842517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22626692A Expired - Fee Related JP3145497B2 (ja) | 1992-08-25 | 1992-08-25 | 電子ビームテスタによる電圧波形測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3145497B2 (ja) |
-
1992
- 1992-08-25 JP JP22626692A patent/JP3145497B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0675025A (ja) | 1994-03-18 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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