JP3143889B2 - 距離測定方法および装置 - Google Patents

距離測定方法および装置

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JP3143889B2 JP04311447A JP31144792A JP3143889B2 JP 3143889 B2 JP3143889 B2 JP 3143889B2 JP 04311447 A JP04311447 A JP 04311447A JP 31144792 A JP31144792 A JP 31144792A JP 3143889 B2 JP3143889 B2 JP 3143889B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、三次元物体の形状測定
に好適な距離測定方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】スリット光を使用した光切断法に基づく
距離測定においては、図7に示されているように、測定
対象物体の三次元位置は、光源からのスリット光の投影
方向と、レンズおよび撮像面を含むカメラの視線方向
と、光源およびカメラの位置関係とを使用して、三角測
量法に基づいて求めることができる。
【0003】最近、スリット光を回転ミラーで走査する
ことにより、上述の距離測定を高速に行う研究が盛んに
行われており、いくつかの方法が提案されている。特願
平4−93806号には、スリット光を測定対象物体の
表面に沿って走査し、測定対象物体からの反射スリット
光が、撮像面を構成するセルを通過する時点を検出して
測定対象物体の表面の位置を測定するために、セルに、
反射スリット光の移動方向に沿って2個のフォトセンサ
を隣接して配設し、2個のフォトセンサが出力する光電
流の大きさを比較し、比較結果に基づいて、反射スリッ
ト光が2個のフォトセンサの一方から他方に移る時点を
求め、この時点を、反射スリット光が前記セルを通過し
た時点とする距離測定方法が開示されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述した特願平4−9
3806号の方法においては、2個のフォトセンサの面
積が同じ場合には、2個のフォトセンサがともに測定対
象物体からの反射スリット光を受けておらず、同じ光量
のバイアス光を受けていると、2個のフォトセンサに流
れる光電流は、外部からのわずかなノイズやフォトセン
サの特性のわずかな相違によって、差異が生じ、比較器
の出力が不安定になる。
【0005】本発明は、このような状況に鑑みてなされ
たものであり、ノイズが存在したり、フォトセンサの特
性にバラツキがあっても、安定した距離測定を行えるよ
うにすることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、測定対象物体
からの反射スリット光の移動方向に沿って隣接して配設
された2個のフォトセンサのうちの一方のフォトセンサ
(例えば、図2の左フォトセンサ20AL)の感光部の
面積を他方のフォトセンサ(例えば、図2の右フォトセ
ンサ20BS)の感光部の面積より大きくすることを特
徴とする。
【0007】
【作用】本発明においては、2個のフォトセンサがとも
に測定対象物体からの反射スリット光を受けておらず、
同じ光量のバイアス光を受けているときに、外部からの
わずかなノイズを受けても、あるいはフォトセンサの特
性のわずかな相違があっても、感光部の面積の大きいほ
うのフォトセンサに流れる光電流は、感光部の面積の小
さい方のフォトセンサに流れる電流より大きいので、比
較器の出力が安定する。
【0008】
【実施例】図1は、本発明による距離測定装置の一実施
例を示す。スリット光発生レーザ1から射出されたスリ
ット光2は、ガルバノミラー等からなる走査ミラー3に
よって三次元物体である測定対象物体4上を走査させら
れる。スリット光発生レーザ1としては、例えば、波長
670nmの半導体レーサ(レンズの出口で10mW、
スリット光の幅約1mm)を使用できる。測定対象物体
4によって反射されたスリット光は、撮像装置5のレン
ズ6を通して撮像面7に連続的に投射される。撮像面7
は、アレイ状に配置された複数の撮像セル8から構成さ
れている。セル8は、視線方向の測定対象物体4上をス
リット光2が通過すると、すなわち測定対象物体4から
の反射スリット光が自らを通過すると信号を出力する。
【0009】セル8の出力信号は、読出部9によって読
み出され、信号を出力したセル8に対応するカウンタ数
記憶メモリ10のメモリセル11に、そのときカウンタ
12が出力しているカウンタ数が記憶される。カウンタ
12のカウントアップ、セル8の信号出力、およびメモ
リセル11のカウンタ数記憶は、外部からの動作クロッ
ク13(例えば、100kHz程度)に同期して行われ
る。
【0010】走査ミラー3は、一定角速度で回転してい
るため、カウンタ12の出力は、ミラー3の角度情報に
相当する。各メモリセル11に記憶されたカウンタ数
は、演算処理部14によって距離情報に変換される。演
算処理部14は、ビデオ情報に乗せて距離画像を出力す
るか、各セル8が観測している測定対象物体4の三次元
座標値を出力する。
【0011】走査ミラー制御装置15は、走査ミラー3
が1回走査する毎に、リセット信号(例えば、60Hz
程度)を出力し、これにより、カウンタ12およびカウ
ンタ数記憶メモリ10の内容がリセットされる。
【0012】図2は、撮像セル8の本発明による一実施
例の構成を示す。ここでは、測定対象物体4に投射され
るスリット光は、垂直方向に延びるスリットが水平方向
に走査されるものとする。各セル8には、スリット光の
移動方向に隣接してフォトダイオードからなる左フォト
センサ20ALおよびフォトダイオードからなる右フォ
トセンサ20BSが配設されている。左フォトセンサ2
0ALは、水平方向に沿って左側に配設され、右フォト
センサ20BSは、水平方向に沿って右側に配設されて
いる。すなわち、左フォトセンサ20ALは、先にスリ
ット光を受ける位置に配設され、右フォトセンサ20B
Sは、後でスリット光を受ける位置に配設されている。
【0013】左および右センサ20ALおよび20BS
の出力側には、それぞれアンプ22Aおよび22Bが設
けられている。アンプ22Aおよび22Bは、それぞれ
左および右センサ20ALおよび20BSの出力を増幅
する。アンプ22Aおよび22Bを設けているのは、ス
リット光の光量が小さくても検出を可能にするためであ
る。
【0014】比較器24は、アンプ22Aおよび22B
の出力を比較し、前者が後者より大きいときには、第1
の状態の信号(この例では、「L」)を出力し、後者が
前者より大きいときには、第2の状態の信号(この例で
は、「H」)を出力する。ゲート26は、セル選択信号
を受けているときに、比較器24の出力を外部に出力す
る。
【0015】図3は、スリットの幅方向に広がり(分
散)を持ったスリット光が、水平方向の左から右に通過
したときの左および右フォトセンサ20ALおよび20
BSの光電流の変化を示す。図3に示されているよう
に、まず、左センサ20ALの光電流が増大した後に減
少し、続いて、右センサ20BSの光電流が増大した後
に減少する。従って、比較器24は、始め、第1の状態
の信号(この例では、「L」))を出力し、続いて、第
2の状態の信号(この例では、「H」)を出力する。
【0016】比較器24の出力第1の状態の信号から第
2の状態の信号に切り替わる瞬間、すなわち左センサ2
0ALの光電流より、右センサ20BSの光電流の方が
大きくなった瞬間(図3の矢印で示されている時点)が
「そのセルをスリット光が通過した時点:TX」として
図1のメモリセル11に記憶される。前述のように、時
点TXを示す情報は、カウンタ12から得られる。この
時点TXから、スリット光を走査させている図1のミラ
ー3の回転角度が求まり、三角測量法により、測定対象
物体4までの距離を測定できる。
【0017】図2の左センサ20ALの感光部の面積
は、右フォトセンサ20BSの感光部の面積より若干大
きくされている。この面積の相違は、ノイズやフォトセ
ンサ特性のバラツキ等による光電流のふれをカバーする
程度の、ごく微小なものである。
【0018】図4に示すように、撮像面を構成するセル
の2個のフォトセンサ20Aおよび20Bの感光部の面
積を同じにすると、2個のフォトセンサ20Aおよび2
0Bがともに測定対象物体からの反射スリット光を受け
ておらず、同じ光量のバイアス光を受けている場合に
は、2個のフォトセンサ20Aおよび20Bに流れる光
電流は、外部からのわずかなノイズやフォトセンサの特
性のわずかな相違によって、差異が生じ、図6(b)に
示されているように、比較器24の出力が「L」から
「H」に頻繁に変化し(矢印参照)、不安定になる。
【0019】これに対し、図2の本発明の実施例の場合
には、左センサ20ALの感光部の面積は、右フォトセ
ンサ20BSの感光部の面積より大きいので、同じ光量
のバイアス光を受けていると、外部からのわずかなノイ
ズやフォトセンサの特性のわずかな相違があっても、感
光部の面積の大きいほうの左センサ20ALに流れる光
電流は、感光部の面積の小さい方の右センサBSに流れ
る電流より大きいので(両センサ20ALおよび20B
Sに流れる電流の差は、図5(a)中、ΔIで示されて
いる)、比較器24の出力は、図5(b)に示されてい
るように、常に「L」であり、安定する。従って、比較
器24の出力が「L」から「H」に変化した時点が、ス
リット光の通過を正しく示すことになる。
【0020】なお、上記実施例においては、フォトセン
サとしてフォトダイオードを使用したが、フォトトラン
ジスタ等も使用できる。要するに、光の強さに応じた信
号を出力するものであれば、どのようなものでも良い。
【0021】
【発明の効果】本発明によれば、測定対象物体からの反
射スリット光の移動方向に沿って隣接して配設された2
個のフォトセンサのうちの一方のフォトセンサの感光部
の面積を、他方のフォトセンサの感光部の面積より大き
くするようにしたので、2個のフォトセンサがともに測
定対象物体からの反射スリット光を受けておらず、同じ
光量のバイアス光を受けているときに、外部からのわず
かなノイズを受けても、あるいはフォトセンサの特性の
わずかな相違があっても、感光部の面積の大きいほうの
フォトセンサに流れる光電流は、感光部の面積の小さい
方のフォトセンサに流れる電流より大きいから、比較器
の出力が安定し、測定対象物体からの反射スリット光の
通過時点を正しく検出することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の距離測定装置の一実施例を示すブロッ
ク図である。
【図2】本発明の距離測定装置の撮像面を構成するセル
の一実施例の構成を示すブロック図である。
【図3】反射スリット光の移動に伴う左フォトセンサ2
0ALおよび右フォトセンサ20BSの光電流の時間変
化を示すグラフである。
【図4】撮像面を構成するセルの2個のフォトセンサの
面積を同じにした場合の構成を示すブロック図である。
【図5】図2の本発明の実施例のように2個のフォトセ
ンサの面積を異ならせた場合の2個のフォトセンサ20
ALおよび20BSの光電流および比較器24の出力の
一例を示すタイミング図である。
【図6】図4のように2個のフォトセンサの面積を同じ
にした場合の2個のフォトセンサ20Aおよび20Bの
光電流および比較器24の出力の一例を示すタイミング
図である。
【図7】スリット光を使用した光切断法に基づく距離測
定の原理を示す説明図である。
【符号の説明】
2 スリット光 4 測定対象物体 7 撮像面 8 撮像セル 20AL,20BS フォトセンサ 24 比較器

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 スリット光を測定対象物体の表面に沿っ
    て走査し、前記測定対象物体からの反射スリット光が、
    撮像面を構成するセルを通過する時点を検出して前記測
    定対象物体の表面の位置を測定するために、前記セル
    に、前記反射スリット光の移動方向に沿って2個のフォ
    トセンサを隣接して配設し、前記2個のフォトセンサが
    出力する光電流の大きさを比較し、前記比較結果に基づ
    いて、前記反射スリット光が前記2個のフォトセンサの
    一方から他方に移る時点を求め、この時点を、前記反射
    スリット光が前記セルを通過した時点とする距離測定方
    法において、 前記2個のフォトセンサのうちの一方のフォトセンサの
    感光部の面積を、他方のフォトセンサの感光部の面積よ
    り大きくしたことを特徴とする距離測定方法。
  2. 【請求項2】 スリット光を測定対象物体の表面に沿っ
    て走査し、前記測定対象物体からの反射スリット光が、
    撮像面を構成するセルを通過する時点を検出して前記測
    定対象物体の表面の位置を測定する距離測定装置におい
    て、 前記セルが、 前記反射スリット光の移動方向に沿って隣接して配設さ
    れた2個のフォトセンサてあって、一方のフォトセンサ
    の感光部の面積が、他方のフォトセンサの感光部の面積
    より大きい2個のフォトセンサと、 前記2個のフォトセンサが出力する光電流の大きさを比
    較する比較器とを備え、 前記比較器の出力が、前記2個のフォトセンサの出力光
    電流の大小関係の反転を示した時点を、前記反射スリッ
    ト光が前記セルを通過した時点とすることを特徴とする
    距離測定装置。
  3. 【請求項3】 前記2個のフォトセンサのうち先にスリ
    ット光を受けるフォトセンサの感光部の面積が、後でス
    リット光を受けるフォトセンサの感光部の面積より大き
    いことを特徴とする請求項2記載の距離測定装置。
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