JP3142298B2 - 半導体レ−ザ装置 - Google Patents
半導体レ−ザ装置Info
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- JP3142298B2 JP3142298B2 JP03017025A JP1702591A JP3142298B2 JP 3142298 B2 JP3142298 B2 JP 3142298B2 JP 03017025 A JP03017025 A JP 03017025A JP 1702591 A JP1702591 A JP 1702591A JP 3142298 B2 JP3142298 B2 JP 3142298B2
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- optical
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Description
［発明の目的］
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバ通信等に用
いられる光アイソレ−タ及びモニタ受光素子を備えた半
導体レ−ザ装置に関する。
いられる光アイソレ−タ及びモニタ受光素子を備えた半
導体レ−ザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知の通り、例えば伝送帯域が広くかつ
伝送損失が小さいことから、石英ファイバによる1.3 μ
m 帯，1.55μm 帯の波長帯を使用した長距離光ファイバ
通信システムが現在運用されている。このような通信シ
ステムにおけるレ−ザ光の出射部には半導体レ−ザを用
いた半導体レ−ザ装置が使用されている。
伝送損失が小さいことから、石英ファイバによる1.3 μ
m 帯，1.55μm 帯の波長帯を使用した長距離光ファイバ
通信システムが現在運用されている。このような通信シ
ステムにおけるレ−ザ光の出射部には半導体レ−ザを用
いた半導体レ−ザ装置が使用されている。
【０００３】以下、従来の半導体レ−ザ装置について図
面を参照して説明する。図４は断面図、図５はアイソレ
−ションの特性図、図６は相対強度雑音の特性図であ
る。
面を参照して説明する。図４は断面図、図５はアイソレ
−ションの特性図、図６は相対強度雑音の特性図であ
る。
【０００４】図において、１は上部開口を閉塞する蓋が
設けられた外囲器、２はペルチェ素子等でなる電子冷却
器で、これの第１の温度制御部である片端面２a を外囲
器１の底部に固着し、第２の温度制御部である他端面２
b に半導体レ−ザ３をヒ−トシンク４を介して載置して
いる。５は電子冷却器２の他端面２b に設けられたモニ
タ受光素子、６は外囲器１の側壁開口の送光部７に装着
された光アイソレ−タ、８は半導体レ−ザ３と光アイソ
レ−タ６の間に配置され、外囲器１内を密閉するように
送光部７に固着されたサファイヤの窓ガラス、９は送光
部７に片端が取着された光ファイバ、10及び11は第１及
び第２レンズである。なお、モニタ受光素子５，光アイ
ソレ−タ６，窓ガラス８，光ファイバ９，第１レンズ1
0，第２レンズ11は、半導体レ−ザ３の光軸上の所定の
位置にそれぞれ配設されている。
設けられた外囲器、２はペルチェ素子等でなる電子冷却
器で、これの第１の温度制御部である片端面２a を外囲
器１の底部に固着し、第２の温度制御部である他端面２
b に半導体レ−ザ３をヒ−トシンク４を介して載置して
いる。５は電子冷却器２の他端面２b に設けられたモニ
タ受光素子、６は外囲器１の側壁開口の送光部７に装着
された光アイソレ−タ、８は半導体レ−ザ３と光アイソ
レ−タ６の間に配置され、外囲器１内を密閉するように
送光部７に固着されたサファイヤの窓ガラス、９は送光
部７に片端が取着された光ファイバ、10及び11は第１及
び第２レンズである。なお、モニタ受光素子５，光アイ
ソレ−タ６，窓ガラス８，光ファイバ９，第１レンズ1
0，第２レンズ11は、半導体レ−ザ３の光軸上の所定の
位置にそれぞれ配設されている。
【０００５】また、光アイソレ−タ６は、一般にファラ
デ−回転子を主要部に用いると共に、他に方解石等でな
る光学素子を組合わせて構成されており、熱的に弱い部
分の張合せや固定にはエポキシ樹脂等の接着剤を用いて
形成されている。
デ−回転子を主要部に用いると共に、他に方解石等でな
る光学素子を組合わせて構成されており、熱的に弱い部
分の張合せや固定にはエポキシ樹脂等の接着剤を用いて
形成されている。
【０００６】上記のように構成されたものにおいて、半
導体レ−ザ３から出射したレ−ザ光は、モニタ受光素子
５によってモニタされながら第１レンズ10，窓ガラス８
を透過し、さらに光アイソレ−タ６，第２レンズ11を透
過して光ファイバ９の片端に入射し、光ファイバ９内を
他端方向に伝搬していく。
導体レ−ザ３から出射したレ−ザ光は、モニタ受光素子
５によってモニタされながら第１レンズ10，窓ガラス８
を透過し、さらに光アイソレ−タ６，第２レンズ11を透
過して光ファイバ９の片端に入射し、光ファイバ９内を
他端方向に伝搬していく。
【０００７】そして、レ−ザ光の進路途中に挿入された
光アイソレ−タ６は、光ファイバ９を途中接続するコネ
クタなどの接続部から反射してくる戻り光が、半導体レ
−ザ３に注入され、相対強度雑音の増加やスペクトル線
幅の変化をまねく等、半導体レ−ザ３の動作に影響を与
えることがないようにするために挿入されている。しか
し光アイソレ−タ６を構成するファラデ−回転子には温
度特性があるため、周囲温度の変化に対してアイソレ−
ション特性が変化する。すなわち、図５に示すように周
囲温度が−20℃〜60℃に変化した場合、約25℃に極値を
もち、この温度との差が大きくなるにしたがってアイソ
レ−ション特性は劣化する。
光アイソレ−タ６は、光ファイバ９を途中接続するコネ
クタなどの接続部から反射してくる戻り光が、半導体レ
−ザ３に注入され、相対強度雑音の増加やスペクトル線
幅の変化をまねく等、半導体レ−ザ３の動作に影響を与
えることがないようにするために挿入されている。しか
し光アイソレ−タ６を構成するファラデ−回転子には温
度特性があるため、周囲温度の変化に対してアイソレ−
ション特性が変化する。すなわち、図５に示すように周
囲温度が−20℃〜60℃に変化した場合、約25℃に極値を
もち、この温度との差が大きくなるにしたがってアイソ
レ−ション特性は劣化する。
【０００８】このように構成された装置では、周囲温度
が変化するとそれに応じて光アイソレ−タ６の温度も変
化し、光アイソレ−タ６の温度が25℃でなくなると相対
強度雑音は増加する。例えば周囲温度が50℃の場合にお
いては、図６に縦軸に相対強度雑音をとり、横軸に周波
数をとって示すように、相対強度雑音特性は戻り光に起
因する共振性のノイズが重畳されたものとなる。このた
め良好な通信の維持や長距離の通信の実施ができなくな
る。また半導体レ−ザ３の特性劣化や特性変化は、安定
した特性が要求される光コヒ−レント伝送や光ＡＭアナ
ログ伝送にとって特に大きな障害となる。
が変化するとそれに応じて光アイソレ−タ６の温度も変
化し、光アイソレ−タ６の温度が25℃でなくなると相対
強度雑音は増加する。例えば周囲温度が50℃の場合にお
いては、図６に縦軸に相対強度雑音をとり、横軸に周波
数をとって示すように、相対強度雑音特性は戻り光に起
因する共振性のノイズが重畳されたものとなる。このた
め良好な通信の維持や長距離の通信の実施ができなくな
る。また半導体レ−ザ３の特性劣化や特性変化は、安定
した特性が要求される光コヒ−レント伝送や光ＡＭアナ
ログ伝送にとって特に大きな障害となる。
【０００９】また、半導体レ−ザ３やモニタ受光素子５
は、電子冷却器２の他端面２b に載置等されているもの
の逆側の部分は、電子冷却器２の片端面２a を固着した
外囲器１の蓋に対向することになる。それ故、周囲温度
が設定温度、例えば25℃を越える場合には電子冷却器２
の他端面２b は冷却面となり、半導体レ−ザ３やモニタ
受光素子５は冷却される。一方、外囲器１の蓋は放熱部
として周囲温度より高温となって、蓋に対向した半導体
レ−ザ３やモニタ受光素子５の部位を輻射加熱する。同
様に周囲温度が25℃より低い場合には逆に作用する。
は、電子冷却器２の他端面２b に載置等されているもの
の逆側の部分は、電子冷却器２の片端面２a を固着した
外囲器１の蓋に対向することになる。それ故、周囲温度
が設定温度、例えば25℃を越える場合には電子冷却器２
の他端面２b は冷却面となり、半導体レ−ザ３やモニタ
受光素子５は冷却される。一方、外囲器１の蓋は放熱部
として周囲温度より高温となって、蓋に対向した半導体
レ−ザ３やモニタ受光素子５の部位を輻射加熱する。同
様に周囲温度が25℃より低い場合には逆に作用する。
【００１０】このため半導体レ−ザ３やモニタ受光素子
５は、各々がその部位によって異なる温度状態に晒され
ることになり、長期に渡って安定した特性を維持するこ
とが困難となる。また外囲器１からの熱的な影響を少な
くしようとすると、外囲器１は必然的により大きなもの
となってしまう。
５は、各々がその部位によって異なる温度状態に晒され
ることになり、長期に渡って安定した特性を維持するこ
とが困難となる。また外囲器１からの熱的な影響を少な
くしようとすると、外囲器１は必然的により大きなもの
となってしまう。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上記のような周囲温度
や外囲器からの熱的影響により特性が劣化等してしまう
という状況に鑑みて本発明はなされたもので、その目的
とするところは周囲温度の変化やそれに伴い変化する外
囲器からの熱的影響を受け難く、特性の劣化や変化がな
く、長期に亙っても安定して動作させることができる半
導体レ−ザ装置を提供することにある。
や外囲器からの熱的影響により特性が劣化等してしまう
という状況に鑑みて本発明はなされたもので、その目的
とするところは周囲温度の変化やそれに伴い変化する外
囲器からの熱的影響を受け難く、特性の劣化や変化がな
く、長期に亙っても安定して動作させることができる半
導体レ−ザ装置を提供することにある。
【００１２】［発明の構成］
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体レ−ザ装
置は、外囲器と、この外囲器に第１の温度制御部を固着
して内装された電子冷却器と、この電子冷却器の第２の
温度制御部に配置された半導体レ−ザと、この半導体レ
−ザの光軸上に配設された光アイソレ−タ及びモニタ受
光素子を備えてなるものにおいて、半導体レ−ザ及びモ
ニタ受光素子を内囲器内に気密に配設すると共に、内囲
器の出射側外面に光アイソレ−タを取着し、さらに内囲
器を電子冷却器の第２の温度制御部に固着したことを特
徴とするものである。
置は、外囲器と、この外囲器に第１の温度制御部を固着
して内装された電子冷却器と、この電子冷却器の第２の
温度制御部に配置された半導体レ−ザと、この半導体レ
−ザの光軸上に配設された光アイソレ−タ及びモニタ受
光素子を備えてなるものにおいて、半導体レ−ザ及びモ
ニタ受光素子を内囲器内に気密に配設すると共に、内囲
器の出射側外面に光アイソレ−タを取着し、さらに内囲
器を電子冷却器の第２の温度制御部に固着したことを特
徴とするものである。
【００１４】
【作用】上記のように構成された半導体レ−ザ装置は、
電子冷却器の温度制御部に半導体レ−ザ及びモニタ受光
素子を内部に気密に配設した内囲器を固着し、さらに内
囲器の出射側外面に光アイソレ−タを取着しているの
で、周囲温度の変化に対して設定された一定の温度に光
アイソレ−タと半導体レ−ザ及びモニタ受光素子を保持
することができ、各特性の劣化や変化がなく、また内囲
器に収納された半導体レ−ザとモニタ受光素子について
は光アイソレ−タなどに使用した接着剤のガス等の悪影
響がなく安定した特性を長期間維持することができ、さ
らに光アイソレ−タを内囲器に取着する際に両者の光軸
が一致し偏光方向が適正となるよう容易に調整すること
ができる。
電子冷却器の温度制御部に半導体レ−ザ及びモニタ受光
素子を内部に気密に配設した内囲器を固着し、さらに内
囲器の出射側外面に光アイソレ−タを取着しているの
で、周囲温度の変化に対して設定された一定の温度に光
アイソレ−タと半導体レ−ザ及びモニタ受光素子を保持
することができ、各特性の劣化や変化がなく、また内囲
器に収納された半導体レ−ザとモニタ受光素子について
は光アイソレ−タなどに使用した接着剤のガス等の悪影
響がなく安定した特性を長期間維持することができ、さ
らに光アイソレ−タを内囲器に取着する際に両者の光軸
が一致し偏光方向が適正となるよう容易に調整すること
ができる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図３を参
照して説明する。図において15は上部開口を蓋16で閉塞
するようにして金属材料で形成された外囲器であり、こ
の内部には常圧の窒素ガスが封入されている。外囲器15
内には底部の略中央にペルチェ素子からなる電子冷却器
17が、第１の温度制御部である片端面17a を固着して配
置されている。また電子冷却器17の第２の温度制御部で
ある他端面17b には光アイソレ−タ18と内囲器19が載置
され、それぞれろう付けによって固定されている。なお
電子冷却器17の設定温度は光アイソレ−タ18の最良の特
性が得られる、例えば25℃に設定されている。
照して説明する。図において15は上部開口を蓋16で閉塞
するようにして金属材料で形成された外囲器であり、こ
の内部には常圧の窒素ガスが封入されている。外囲器15
内には底部の略中央にペルチェ素子からなる電子冷却器
17が、第１の温度制御部である片端面17a を固着して配
置されている。また電子冷却器17の第２の温度制御部で
ある他端面17b には光アイソレ−タ18と内囲器19が載置
され、それぞれろう付けによって固定されている。なお
電子冷却器17の設定温度は光アイソレ−タ18の最良の特
性が得られる、例えば25℃に設定されている。
【００１６】内囲器19は、共に金属材料で成るヒ−トシ
ンク20が側壁に形成されたブロック状の基台21と、開口
端に鍔部22が形成された円筒状のキャップ23とで構成さ
れている。そしてキャップ23は基台21に、ヒ−トシンク
20を内包するようにして、その鍔部22を基台21の壁部に
ろう付けすることによって取着されている。なお内囲器
19の内部には常圧の窒素ガスが封入されている。
ンク20が側壁に形成されたブロック状の基台21と、開口
端に鍔部22が形成された円筒状のキャップ23とで構成さ
れている。そしてキャップ23は基台21に、ヒ−トシンク
20を内包するようにして、その鍔部22を基台21の壁部に
ろう付けすることによって取着されている。なお内囲器
19の内部には常圧の窒素ガスが封入されている。
【００１７】また、内囲器19内のヒ−トシンク20の端部
には半導体レ−ザ24が半田付により固着されており、こ
の半導体レ−ザ24の一方の光軸上には、キャップ23の底
部中央の開孔25に低融点ガラス等によって気密に装着さ
れた第１レンズ26が、光軸を一致させるようにして配設
されている。さらに半導体レ−ザ24の他方の光軸上に
も、基台21の壁部にモニタ受光素子27が、受光面を光軸
に対し傾斜させるようにして半田付により固着されてい
る。またさらに半導体レ−ザ24の一方の光軸上には光ア
イソレ−タ18が、光軸を一致させるようにし、その金属
材料で成る支持枠28をキャップ23の底部外面にレ−ザ溶
接することによって取着されている。
には半導体レ−ザ24が半田付により固着されており、こ
の半導体レ−ザ24の一方の光軸上には、キャップ23の底
部中央の開孔25に低融点ガラス等によって気密に装着さ
れた第１レンズ26が、光軸を一致させるようにして配設
されている。さらに半導体レ−ザ24の他方の光軸上に
も、基台21の壁部にモニタ受光素子27が、受光面を光軸
に対し傾斜させるようにして半田付により固着されてい
る。またさらに半導体レ−ザ24の一方の光軸上には光ア
イソレ−タ18が、光軸を一致させるようにし、その金属
材料で成る支持枠28をキャップ23の底部外面にレ−ザ溶
接することによって取着されている。
【００１８】また、外囲器15には光アイソレ−タ18の出
射面に対向して側壁に開孔29が形成されており、この開
孔29には筒状の送光部30が装着されている。そして外囲
器15内側の送光部30の片端部にはサファイヤの窓ガラス
31が気密に固着されており、他端部には第２レンズ32と
光ファイバ33の片端とが、半導体レ−ザ24の光軸にそれ
ぞれ光軸を一致させるようにして取着されている。
射面に対向して側壁に開孔29が形成されており、この開
孔29には筒状の送光部30が装着されている。そして外囲
器15内側の送光部30の片端部にはサファイヤの窓ガラス
31が気密に固着されており、他端部には第２レンズ32と
光ファイバ33の片端とが、半導体レ−ザ24の光軸にそれ
ぞれ光軸を一致させるようにして取着されている。
【００１９】以上のように構成した本発明においては、
製作するに当って、先ず半導体レ−ザ24と第１レンズ26
及びモニタ受光素子27の光軸が一致するように内囲器19
を組立て、さらに組立てた内囲器19と光アイソレ−タ18
とを、それぞれの光軸が一致し、かつ偏光方向も適正と
なるように調節しながら外囲器15に組込む前に組合わせ
ることができる。そして、内囲器19と光アイソレ−タ18
とは電子冷却器17の他端面17b に載置されて固定され
る。その後、内囲器19と光アイソレ−タ18とを組合わせ
たものの光軸に、第２レンズ32と光ファイバ33の光軸を
一致させて装置は製作される。このため内囲器19と光ア
イソレ−タ18とを組合わせた段階で性能の確認が可能と
なり、装置製作の歩留を向上させることができ、内囲器
19内の半導体レ−ザ24とモニタ受光素子27とは外部の雰
囲気から遮断することができる。
製作するに当って、先ず半導体レ−ザ24と第１レンズ26
及びモニタ受光素子27の光軸が一致するように内囲器19
を組立て、さらに組立てた内囲器19と光アイソレ−タ18
とを、それぞれの光軸が一致し、かつ偏光方向も適正と
なるように調節しながら外囲器15に組込む前に組合わせ
ることができる。そして、内囲器19と光アイソレ−タ18
とは電子冷却器17の他端面17b に載置されて固定され
る。その後、内囲器19と光アイソレ−タ18とを組合わせ
たものの光軸に、第２レンズ32と光ファイバ33の光軸を
一致させて装置は製作される。このため内囲器19と光ア
イソレ−タ18とを組合わせた段階で性能の確認が可能と
なり、装置製作の歩留を向上させることができ、内囲器
19内の半導体レ−ザ24とモニタ受光素子27とは外部の雰
囲気から遮断することができる。
【００２０】また、本発明の装置は変動する周囲温度あ
るいは高温や低温の周囲温度の中で動作させても、温度
によって大幅な特性の変動を示す光アイソレ−タ18や半
導体レ−ザ24及びモニタ受光素子27が、電子冷却器17に
よって一定の温度、25℃に保持されるため、周囲温度に
よる特性の劣化が生じない。これは、例えば周囲温度が
50℃の場合における相対強度雑音特性が、図３に縦軸に
相対強度雑音をとり、横軸に周波数をとって示すよう
に、戻り光に起因する共振性のノイズが重畳されたもの
となっていないことからも示される。そして内囲器19内
に収納された半導体レ−ザ24とモニタ受光素子27とは、
電子冷却器17の片端面17a が固着した外囲器15からの熱
の影響も受けることがなく、安定した特性を維持するこ
とができ、このため外囲器15の小形化も可能となる。
るいは高温や低温の周囲温度の中で動作させても、温度
によって大幅な特性の変動を示す光アイソレ−タ18や半
導体レ−ザ24及びモニタ受光素子27が、電子冷却器17に
よって一定の温度、25℃に保持されるため、周囲温度に
よる特性の劣化が生じない。これは、例えば周囲温度が
50℃の場合における相対強度雑音特性が、図３に縦軸に
相対強度雑音をとり、横軸に周波数をとって示すよう
に、戻り光に起因する共振性のノイズが重畳されたもの
となっていないことからも示される。そして内囲器19内
に収納された半導体レ−ザ24とモニタ受光素子27とは、
電子冷却器17の片端面17a が固着した外囲器15からの熱
の影響も受けることがなく、安定した特性を維持するこ
とができ、このため外囲器15の小形化も可能となる。
【００２１】さらに、光アイソレ−タ18と半導体レ−ザ
24やモニタ受光素子27とを同一の空間に存在させると、
使用周囲温度の影響や時間経過にともなって光アイソレ
−タ18に使用した接着剤中から有害なガスが排出されて
くるために、半導体レ−ザ24やモニタ受光素子27の性能
劣化、例えば劈開面やＡＲコ−ティングを劣化させるこ
とによる出力低下をまねき長期信頼性を損なうこととな
る。しかし半導体レ−ザ24とモニタ受光素子27とは内囲
器19内に気密に収納され、光アイソレ−タ18と分離され
ているために長期信頼性を損なうことがない。
24やモニタ受光素子27とを同一の空間に存在させると、
使用周囲温度の影響や時間経過にともなって光アイソレ
−タ18に使用した接着剤中から有害なガスが排出されて
くるために、半導体レ−ザ24やモニタ受光素子27の性能
劣化、例えば劈開面やＡＲコ−ティングを劣化させるこ
とによる出力低下をまねき長期信頼性を損なうこととな
る。しかし半導体レ−ザ24とモニタ受光素子27とは内囲
器19内に気密に収納され、光アイソレ−タ18と分離され
ているために長期信頼性を損なうことがない。
【００２２】上述のように本実施例によれば、同一の電
子冷却器17によって光アイソレ−タ18と半導体レ−ザ2
4，モニタ受光素子27を恒温に保つようにしながら、光
アイソレ−タ18の周囲温度による特性劣化を防止し、長
期に亙って安定した特性を維持することができる。
子冷却器17によって光アイソレ−タ18と半導体レ−ザ2
4，モニタ受光素子27を恒温に保つようにしながら、光
アイソレ−タ18の周囲温度による特性劣化を防止し、長
期に亙って安定した特性を維持することができる。
【００２３】尚、本発明は上記の実施例にのみ限定され
るものではなく、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更し
て実施し得るものである。
るものではなく、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更し
て実施し得るものである。
【００２４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
は、電子冷却器の温度制御部に半導体レ−ザ及びモニタ
受光素子を内部に気密に配設した内囲器を固着し、さら
に内囲器の出射側外面に光アイソレ−タを取着するよう
に構成したことにより、周囲温度の変化やそれに伴い変
化する外囲器からの熱的影響を受け難くなり、また特性
の劣化や変化がなく、長期に亙っても安定して動作させ
ることができ、さらに光アイソレ−タを内囲器に取着す
る際、光軸が一致し偏光方向が適正となるよう容易に調
整することができる等の効果が得られる。
は、電子冷却器の温度制御部に半導体レ−ザ及びモニタ
受光素子を内部に気密に配設した内囲器を固着し、さら
に内囲器の出射側外面に光アイソレ−タを取着するよう
に構成したことにより、周囲温度の変化やそれに伴い変
化する外囲器からの熱的影響を受け難くなり、また特性
の劣化や変化がなく、長期に亙っても安定して動作させ
ることができ、さらに光アイソレ−タを内囲器に取着す
る際、光軸が一致し偏光方向が適正となるよう容易に調
整することができる等の効果が得られる。
【図１】本発明の一実施例を示す断面図である。
【図２】図１の要部断面図である。
【図３】図１に示した実施例の相対強度雑音特性図であ
る。
る。
【図４】従来例を示す断面図である。
【図５】光アイソレ−タのアイソレ−ション特性図であ
る。
る。
【図６】図４に示した従来例の相対強度雑音特性図であ
る。
る。
15 外囲器 17 電子冷却器 17a 片端面（第１の温度制御部） 17b 他端面（第２の温度制御部） 18 光アイソレ−タ 19 内囲器 24 光半導体レ−ザ 27 モニタ受光素子
Claims (1)
- 【請求項１】 外囲器と、この外囲器に第１の温度制御
部を固着して内装された電子冷却器と、この電子冷却器
の第２の温度制御部に配置された半導体レ−ザと、この
半導体レ−ザの光軸上に配設された光アイソレ−タ及び
モニタ受光素子を備えてなるものにおいて、前記半導体
レ−ザ及びモニタ受光素子を内囲器内に気密に配設する
と共に、前記内囲器の出射側外面に前記光アイソレ−タ
を取着し、さらに前記内囲器を前記電子冷却器の第２の
温度制御部に固着したことを特徴とする半導体レ−ザ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03017025A JP3142298B2 (ja) | 1991-01-17 | 1991-01-17 | 半導体レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03017025A JP3142298B2 (ja) | 1991-01-17 | 1991-01-17 | 半導体レ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04243182A JPH04243182A (ja) | 1992-08-31 |
| JP3142298B2 true JP3142298B2 (ja) | 2001-03-07 |
Family
ID=11932455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03017025A Expired - Fee Related JP3142298B2 (ja) | 1991-01-17 | 1991-01-17 | 半導体レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3142298B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN110987035B (zh) * | 2019-12-27 | 2021-11-09 | 天津太昊光电科技有限公司 | 一种光电传感器多功能防护装置 |
-
1991
- 1991-01-17 JP JP03017025A patent/JP3142298B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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| JPH04243182A (ja) | 1992-08-31 |
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