JP3140246B2 - 機器異常監視方法及び装置 - Google Patents
機器異常監視方法及び装置Info
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- JP3140246B2 JP3140246B2 JP05066876A JP6687693A JP3140246B2 JP 3140246 B2 JP3140246 B2 JP 3140246B2 JP 05066876 A JP05066876 A JP 05066876A JP 6687693 A JP6687693 A JP 6687693A JP 3140246 B2 JP3140246 B2 JP 3140246B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、機器表面から放射され
る赤外線を検出して動作中の機器の異常の有無を監視す
る方法及び装置に関する。
る赤外線を検出して動作中の機器の異常の有無を監視す
る方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、原子力発電プラント、火力発電
プラントや水力発電プラント等の大規模プラントでは、
プラント内に設置された機器の安定した運転状態を維持
するため、定期的な監視点検が実施されている。原子力
発電プラントや水力発電プラントにおいては、通常の運
転状態では運転員の立入りが困難な場所に設置された機
器や無人化運転に伴う機器がある。これらの機器を監視
するため、各種センサを搭載した監視点検装置を、予め
決められたルートに設置された軌道に沿って、走行させ
ながら遠隔で監視点検する装置が考えられている。
プラントや水力発電プラント等の大規模プラントでは、
プラント内に設置された機器の安定した運転状態を維持
するため、定期的な監視点検が実施されている。原子力
発電プラントや水力発電プラントにおいては、通常の運
転状態では運転員の立入りが困難な場所に設置された機
器や無人化運転に伴う機器がある。これらの機器を監視
するため、各種センサを搭載した監視点検装置を、予め
決められたルートに設置された軌道に沿って、走行させ
ながら遠隔で監視点検する装置が考えられている。
【０００３】これらの監視点検の対象となる機器のう
ち、機器が設置された雰囲気温度よりも高い温度で運転
される機器に対しては、機器の表面から放射される赤外
線を検出して異常の有無が監視される。この赤外線を検
出する機器の監視方法の例としては、例えば、特開昭５
６−１３８２４３号公報又は特開平４−７７５９９号公
報に開示されているように、正常時に得られた監視対象
機器の温度分布の２値画像パターンと監視時に得られた
温度分布の２値画像パターンを比較し、両画像パターン
に差異が生じたときに異常を発生する方法や、液化天然
ガス気化器の赤外画像から気化器表面の温度分布の不均
一や温度の変化傾向を監視するものがある。
ち、機器が設置された雰囲気温度よりも高い温度で運転
される機器に対しては、機器の表面から放射される赤外
線を検出して異常の有無が監視される。この赤外線を検
出する機器の監視方法の例としては、例えば、特開昭５
６−１３８２４３号公報又は特開平４−７７５９９号公
報に開示されているように、正常時に得られた監視対象
機器の温度分布の２値画像パターンと監視時に得られた
温度分布の２値画像パターンを比較し、両画像パターン
に差異が生じたときに異常を発生する方法や、液化天然
ガス気化器の赤外画像から気化器表面の温度分布の不均
一や温度の変化傾向を監視するものがある。
【０００４】さらに、特開昭５６−７０２９号公報や特
開昭５９−２２２７３２号公報には、監視対象機器から
発生された赤外線パターンを検出し、検出した赤外線パ
ターンと正常時の赤外線パターンとの相関値又は比較結
果から機器の温度分布異常を検出する温度異常検出装置
が記載されている。
開昭５９−２２２７３２号公報には、監視対象機器から
発生された赤外線パターンを検出し、検出した赤外線パ
ターンと正常時の赤外線パターンとの相関値又は比較結
果から機器の温度分布異常を検出する温度異常検出装置
が記載されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】機器を運転継続する
間、回転数や負荷が変化しない機器については、上述の
公報に開示されているもののように、機器の温度分布を
疑似カラーとして出力表示したり、２値画像パターンと
して正常時のパターンと比較したり、温度の絶対値が所
定の値を超えていないかどうか等を監視することによっ
て、監視対象機器の異常の有無を監視出来る。しかし、
機器を運転継続する間、回転電動機の回転数や負荷を変
えて運転する機器については、その機器表面の温度が変
化しても異常とはいえず、温度の絶対値で監視すること
は出来ない。
間、回転数や負荷が変化しない機器については、上述の
公報に開示されているもののように、機器の温度分布を
疑似カラーとして出力表示したり、２値画像パターンと
して正常時のパターンと比較したり、温度の絶対値が所
定の値を超えていないかどうか等を監視することによっ
て、監視対象機器の異常の有無を監視出来る。しかし、
機器を運転継続する間、回転電動機の回転数や負荷を変
えて運転する機器については、その機器表面の温度が変
化しても異常とはいえず、温度の絶対値で監視すること
は出来ない。
【０００６】したがって、従来においては、正常時に負
荷の変動等により表面温度が変化する機器に対しては、
上述のような赤外線パターンを用いた異常検出を適用す
ることができなかった。本発明の目的は、正常運転時に
は、負荷変動等が少なく、機器表面の温度変動も少ない
機器のみならず、正常運転時に負荷変動等が大きく、機
器表面の温度変動が大きな機器に対しても、赤外線を用
いた異常検出を高精度に実行し得る機器異常検出方法及
び装置を実現することである。
荷の変動等により表面温度が変化する機器に対しては、
上述のような赤外線パターンを用いた異常検出を適用す
ることができなかった。本発明の目的は、正常運転時に
は、負荷変動等が少なく、機器表面の温度変動も少ない
機器のみならず、正常運転時に負荷変動等が大きく、機
器表面の温度変動が大きな機器に対しても、赤外線を用
いた異常検出を高精度に実行し得る機器異常検出方法及
び装置を実現することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、熱の発生源の
位置が変化しない機器については、回転電動機の回転数
や負荷のような機器の正常運転状態で発生する外乱に対
しても機器表面から放射される赤外線の強度又は赤外線
放射強度から求めた温度の相対的な分布の形はほとんど
変化しない点に着目したものである。そして、上記目的
を達成するため、本発明は、次のように構成される。
位置が変化しない機器については、回転電動機の回転数
や負荷のような機器の正常運転状態で発生する外乱に対
しても機器表面から放射される赤外線の強度又は赤外線
放射強度から求めた温度の相対的な分布の形はほとんど
変化しない点に着目したものである。そして、上記目的
を達成するため、本発明は、次のように構成される。
【０００８】機器表面から放射される赤外線を検出し
て、機器の異常を監視する機器異常監視方法において、
正常運転時の機器の表面からの２次元の赤外線放射強度
を検出し、検出した赤外線放射強度を記憶するステップ
と、機器監視時に、機器の表面からの２次元の赤外線放
射強度を検出するステップと、機器監視時に検出した２
次元の赤外線放射強度の相対強度分布と、記憶された正
常運転時の２次元の赤外線放射強度の相対強度分布との
２次元相関係数を算出するステップと、算出した２次元
相関係数に基づいて、機器の異常の有無を判断するステ
ップと、を備える。
て、機器の異常を監視する機器異常監視方法において、
正常運転時の機器の表面からの２次元の赤外線放射強度
を検出し、検出した赤外線放射強度を記憶するステップ
と、機器監視時に、機器の表面からの２次元の赤外線放
射強度を検出するステップと、機器監視時に検出した２
次元の赤外線放射強度の相対強度分布と、記憶された正
常運転時の２次元の赤外線放射強度の相対強度分布との
２次元相関係数を算出するステップと、算出した２次元
相関係数に基づいて、機器の異常の有無を判断するステ
ップと、を備える。
【０００９】また、機器表面から放射される赤外線を検
出して、機器の異常を監視する機器異常監視方法におい
て、正常運転時の機器の表面からの２次元又は１次元の
赤外線放射強度を検出し、検出した赤外線放射強度を記
憶するステップと、機器監視時に、機器の表面からの２
次元又は１次元の赤外線放射強度を検出するステップ
と、機器監視時に検出した赤外線放射強度の１次元の相
対強度分布と、記憶された正常運転時の赤外線放射強度
の１次元の相対強度分布との１次元相関係数を算出する
ステップと、算出した１次元相関係数に基づいて、機器
の異常の有無を判断するステップと、を備える。
出して、機器の異常を監視する機器異常監視方法におい
て、正常運転時の機器の表面からの２次元又は１次元の
赤外線放射強度を検出し、検出した赤外線放射強度を記
憶するステップと、機器監視時に、機器の表面からの２
次元又は１次元の赤外線放射強度を検出するステップ
と、機器監視時に検出した赤外線放射強度の１次元の相
対強度分布と、記憶された正常運転時の赤外線放射強度
の１次元の相対強度分布との１次元相関係数を算出する
ステップと、算出した１次元相関係数に基づいて、機器
の異常の有無を判断するステップと、を備える。
【００１０】機器表面から放射される赤外線を検出し
て、機器の異常を監視する機器異常監視方法において、
機器監視前に、予め正常運転時の機器の表面からの２次
元の赤外線放射強度を検出し、検出した赤外線放射強度
を記憶するステップと、機器監視時に、機器の表面から
の２次元の赤外線放射強度を検出するステップと、機器
監視時に検出した赤外線放射強度の２次元の相対強度分
布と、記憶された正常運転時の赤外線放射強度の２次元
の相対強度分布との差を算出し、算出した差の絶対値を
監視領域内で積分するステップと、積分した絶対値に基
づいて、機器の異常の有無を判断するステップと、を備
える。
て、機器の異常を監視する機器異常監視方法において、
機器監視前に、予め正常運転時の機器の表面からの２次
元の赤外線放射強度を検出し、検出した赤外線放射強度
を記憶するステップと、機器監視時に、機器の表面から
の２次元の赤外線放射強度を検出するステップと、機器
監視時に検出した赤外線放射強度の２次元の相対強度分
布と、記憶された正常運転時の赤外線放射強度の２次元
の相対強度分布との差を算出し、算出した差の絶対値を
監視領域内で積分するステップと、積分した絶対値に基
づいて、機器の異常の有無を判断するステップと、を備
える。
【００１１】機器表面から放射される赤外線を検出し
て、機器の異常を監視する機器異常監視方法において、
機器監視前に、予め正常運転時の機器の表面からの２次
元又は１次元の赤外線放射強度を検出し、検出した赤外
線放射強度を記憶するステップと、機器監視時に、機器
の表面からの２次元又は１次元の赤外線放射強度を検出
するステップと、機器監視時に検出した赤外線放射強度
の１次元の相対強度分布と、記憶された正常運転時の赤
外線放射強度の１次元の相対強度分布との差を算出し、
算出した差の絶対値を監視領域内で積分するステップ
と、積分した絶対値に基づいて、機器の異常の有無を判
断するステップと、を備える。
て、機器の異常を監視する機器異常監視方法において、
機器監視前に、予め正常運転時の機器の表面からの２次
元又は１次元の赤外線放射強度を検出し、検出した赤外
線放射強度を記憶するステップと、機器監視時に、機器
の表面からの２次元又は１次元の赤外線放射強度を検出
するステップと、機器監視時に検出した赤外線放射強度
の１次元の相対強度分布と、記憶された正常運転時の赤
外線放射強度の１次元の相対強度分布との差を算出し、
算出した差の絶対値を監視領域内で積分するステップ
と、積分した絶対値に基づいて、機器の異常の有無を判
断するステップと、を備える。
【００１２】機器表面から放射される赤外線を検出し
て、機器の異常を監視する機器異常監視方法において、
機器監視前に、予め正常運転時の機器の表面からの２次
元の赤外線放射強度を検出し、検出した赤外線放射強度
を記憶するステップと、機器監視時に、機器の表面から
の２次元の赤外線放射強度を検出するステップと、記憶
された正常時の機器の２次元の赤外線放射強度を温度に
変換するステップと、機器監視時に検出した２次元の赤
外線放射強度を温度に変換するステップと、変換された
正常運転時の２次元の機器表面温度の相対強度分布と、
変換された監視時の２次元の機器表面温度の相対強度分
布との２次元相関係数を算出するステップと、算出した
２次元相関係数に基づいて、機器の異常の有無を判断す
るステップと、を備える。
て、機器の異常を監視する機器異常監視方法において、
機器監視前に、予め正常運転時の機器の表面からの２次
元の赤外線放射強度を検出し、検出した赤外線放射強度
を記憶するステップと、機器監視時に、機器の表面から
の２次元の赤外線放射強度を検出するステップと、記憶
された正常時の機器の２次元の赤外線放射強度を温度に
変換するステップと、機器監視時に検出した２次元の赤
外線放射強度を温度に変換するステップと、変換された
正常運転時の２次元の機器表面温度の相対強度分布と、
変換された監視時の２次元の機器表面温度の相対強度分
布との２次元相関係数を算出するステップと、算出した
２次元相関係数に基づいて、機器の異常の有無を判断す
るステップと、を備える。
【００１３】機器表面から放射される赤外線を検出し
て、機器の異常を監視する機器異常監視方法において、
機器監視前に、予め正常運転時の機器の表面からの２次
元又は１次元の赤外線放射強度を検出し、検出した赤外
線放射強度を記憶するステップと、機器監視時に、機器
の表面からの２次元又は１次元の赤外線放射強度を検出
するステップと、記憶された正常時の機器の２次元又は
１次元の赤外線放射強度を温度に変換するステップと、
機器監視時に検出した２次元又は１次元の赤外線放射強
度を温度に変換するステップと、変換された正常運転時
の機器表面温度の１次元の相対強度分布と、変換された
監視時の機器表面温度の１次元の相対強度分布との１次
元相関係数を算出するステップと、算出した１次元相関
係数に基づいて、機器の異常の有無を判断するステップ
と、を備える。
て、機器の異常を監視する機器異常監視方法において、
機器監視前に、予め正常運転時の機器の表面からの２次
元又は１次元の赤外線放射強度を検出し、検出した赤外
線放射強度を記憶するステップと、機器監視時に、機器
の表面からの２次元又は１次元の赤外線放射強度を検出
するステップと、記憶された正常時の機器の２次元又は
１次元の赤外線放射強度を温度に変換するステップと、
機器監視時に検出した２次元又は１次元の赤外線放射強
度を温度に変換するステップと、変換された正常運転時
の機器表面温度の１次元の相対強度分布と、変換された
監視時の機器表面温度の１次元の相対強度分布との１次
元相関係数を算出するステップと、算出した１次元相関
係数に基づいて、機器の異常の有無を判断するステップ
と、を備える。
【００１４】機器表面から放射される赤外線を検出し
て、機器の異常を監視する機器異常監視方法において、
機器監視前に、予め正常運転時の機器の表面からの２次
元の赤外線放射強度を検出し、検出した赤外線放射強度
を記憶するステップと、機器監視時に、機器の表面から
の２次元の赤外線放射強度を検出するステップと、記憶
された正常時の機器の２次元の赤外線放射強度を温度に
変換するステップと、機器監視時に検出した２次元の赤
外線放射強度を温度に変換するステップと、変換された
正常運転時の２次元の機器表面温度の相対強度分布と、
変換された監視時の２次元の機器表面温度の相対強度分
布との差を算出し、この差の絶対値を監視領域内で積分
するステップと、記積分した絶対値に基づいて、機器の
異常の有無を判断するステップと、を備える。
て、機器の異常を監視する機器異常監視方法において、
機器監視前に、予め正常運転時の機器の表面からの２次
元の赤外線放射強度を検出し、検出した赤外線放射強度
を記憶するステップと、機器監視時に、機器の表面から
の２次元の赤外線放射強度を検出するステップと、記憶
された正常時の機器の２次元の赤外線放射強度を温度に
変換するステップと、機器監視時に検出した２次元の赤
外線放射強度を温度に変換するステップと、変換された
正常運転時の２次元の機器表面温度の相対強度分布と、
変換された監視時の２次元の機器表面温度の相対強度分
布との差を算出し、この差の絶対値を監視領域内で積分
するステップと、記積分した絶対値に基づいて、機器の
異常の有無を判断するステップと、を備える。
【００１５】機器表面から放射される赤外線を検出し
て、機器の異常を監視する機器異常監視方法において、
機器監視前に、予め正常運転時の機器の表面からの２次
元又は１次元の赤外線放射強度を検出し、検出した赤外
線放射強度を記憶するステップと、機器監視時に、機器
の表面からの２次元又は１次元の赤外線放射強度を検出
するステップと、記憶された正常時の機器の２次元又は
１次元の赤外線放射強度を温度に変換するステップと、
機器監視時に検出した２次元又は１次元の赤外線放射強
度を温度に変換するステップと、変換された正常運転時
の機器表面温度の１次元の相対強度分布と、変換された
監視時の機器表面温度の１次元の相対強度分布との差を
算出し、この差の絶対値を監視領域内で積分するステッ
プと、積分した絶対値に基づいて、機器の異常の有無を
判断するステップと、を備える。
て、機器の異常を監視する機器異常監視方法において、
機器監視前に、予め正常運転時の機器の表面からの２次
元又は１次元の赤外線放射強度を検出し、検出した赤外
線放射強度を記憶するステップと、機器監視時に、機器
の表面からの２次元又は１次元の赤外線放射強度を検出
するステップと、記憶された正常時の機器の２次元又は
１次元の赤外線放射強度を温度に変換するステップと、
機器監視時に検出した２次元又は１次元の赤外線放射強
度を温度に変換するステップと、変換された正常運転時
の機器表面温度の１次元の相対強度分布と、変換された
監視時の機器表面温度の１次元の相対強度分布との差を
算出し、この差の絶対値を監視領域内で積分するステッ
プと、積分した絶対値に基づいて、機器の異常の有無を
判断するステップと、を備える。
【００１６】
【作用】監視対象機器の表面から放射される赤外線の強
度が、赤外線カメラ等の検出手段により、２次元的又は
１次元的に検出される。検出された赤外線放射強度の相
対分布は、機器が正常であれば、機器の表面温度の大小
にほとんど関係なくほぼ一定となる。したがって、監視
時における機器の赤外線放射強度の相対分布と、正常時
における機器の赤外線放射強度の相対分布とが比較さ
れ、機器の異常の有無が判断される。つまり、比較され
た相対分布に大きな差があれば、機器に異常が発生して
いると判断される。これにより、正常な運転状況に、負
荷の変動等により、機器の表面温度が変動する機器に対
しても、機器の高精度な異常検出を実行することができ
る。
度が、赤外線カメラ等の検出手段により、２次元的又は
１次元的に検出される。検出された赤外線放射強度の相
対分布は、機器が正常であれば、機器の表面温度の大小
にほとんど関係なくほぼ一定となる。したがって、監視
時における機器の赤外線放射強度の相対分布と、正常時
における機器の赤外線放射強度の相対分布とが比較さ
れ、機器の異常の有無が判断される。つまり、比較され
た相対分布に大きな差があれば、機器に異常が発生して
いると判断される。これにより、正常な運転状況に、負
荷の変動等により、機器の表面温度が変動する機器に対
しても、機器の高精度な異常検出を実行することができ
る。
【００１７】
【実施例】図１は、本発明の機器の異常監視方法におけ
る一実施例の動作フローチャートであり、図２は、本発
明の原理説明図である。まず、図２において、図２の
（ｂ）は、回転電動機１０の機器表面位置と発生される
赤外線相対強度との関係を実験にて求めたグラフであ
り、縦軸は赤外線相対強度（測定された赤外線強度の最
大値を１とした場合の各測定強度）を示し、横軸は、図
２の（ａ）に示した電動機１０のＡ−Ｂ線に沿った表面
位置を示す。そして、曲線Ｃ１は、負荷１００％の場
合、曲線Ｃ２は、負荷８０％の場合である。この図２の
（ｂ）に示すように、負荷が１００％と８０％とで、赤
外線放射強度の相対分布には、ほとんど差異の無いこと
が分かる。また、負荷１００％と８０％とに限らず、正
常運転時の負荷変動範囲内であれば、赤外線放射強度の
相対分布は、ほぼ同じとなる。
る一実施例の動作フローチャートであり、図２は、本発
明の原理説明図である。まず、図２において、図２の
（ｂ）は、回転電動機１０の機器表面位置と発生される
赤外線相対強度との関係を実験にて求めたグラフであ
り、縦軸は赤外線相対強度（測定された赤外線強度の最
大値を１とした場合の各測定強度）を示し、横軸は、図
２の（ａ）に示した電動機１０のＡ−Ｂ線に沿った表面
位置を示す。そして、曲線Ｃ１は、負荷１００％の場
合、曲線Ｃ２は、負荷８０％の場合である。この図２の
（ｂ）に示すように、負荷が１００％と８０％とで、赤
外線放射強度の相対分布には、ほとんど差異の無いこと
が分かる。また、負荷１００％と８０％とに限らず、正
常運転時の負荷変動範囲内であれば、赤外線放射強度の
相対分布は、ほぼ同じとなる。
【００１８】つまり、正常運転時であれば、負荷が変動
して、発生する赤外線放射強度が変動しても、赤外線放
射強度の相対分布には、ほとんど差異は無い。したがっ
て、正常時における機器の赤外線放射強度の相対分布を
算出しておき、運転時における機器の赤外線放射強度の
相対分布と、上記正常時の相対分布とを比較すれば、正
常運転時に負荷変動等が大きく、機器表面の温度変動が
大きな機器に対しても、赤外線を用いた異常検出を行う
ことができる。
して、発生する赤外線放射強度が変動しても、赤外線放
射強度の相対分布には、ほとんど差異は無い。したがっ
て、正常時における機器の赤外線放射強度の相対分布を
算出しておき、運転時における機器の赤外線放射強度の
相対分布と、上記正常時の相対分布とを比較すれば、正
常運転時に負荷変動等が大きく、機器表面の温度変動が
大きな機器に対しても、赤外線を用いた異常検出を行う
ことができる。
【００１９】本発明は、上記原理に基づいて、構成され
たものである。さて、図１のステップ１００において、
監視対象機器の機器表面からの赤外線放射強度を赤外線
検出手段によって検出する。次に、ステップ１０１にお
いて、上記ステップ１００が正常運転時のデータの取り
込みか否かを判断する。そして、正常運転時のデータ取
り込みであれば、ステップ１０２に進み、取り込んだデ
ータを記憶手段に記憶する。また、ステップ１０１にお
いて、正常運転時のデータ取り込みでなければ、つま
り、監視時のデータ取り込みであれば、ステップ１０３
に進む。
たものである。さて、図１のステップ１００において、
監視対象機器の機器表面からの赤外線放射強度を赤外線
検出手段によって検出する。次に、ステップ１０１にお
いて、上記ステップ１００が正常運転時のデータの取り
込みか否かを判断する。そして、正常運転時のデータ取
り込みであれば、ステップ１０２に進み、取り込んだデ
ータを記憶手段に記憶する。また、ステップ１０１にお
いて、正常運転時のデータ取り込みでなければ、つま
り、監視時のデータ取り込みであれば、ステップ１０３
に進む。
【００２０】ステップ１０３において、記憶された正常
時の赤外線強度データと、監視時の赤外線強度データと
を読み込む。次に、ステップ１０４において、正常時と
監視時との赤外線強度の相対分布の差異を抽出する。続
いて、ステップ１０５において、抽出した差異が判定値
より大か否かを判断し、監視対象機器が異常か否かを判
定する。つまり、赤外線強度の相対分布の差異がどの程
度の値となると、機器に異常が発生したのかを予め、実
験にて求めておき、それを上記判定値として、機器が異
常か否かを判定する。そして、ステップ１０６におい
て、ステップ１０５にて行った機器の異常有無の判定結
果を、プリンタやＣＲＴ等の表示手段に出力し、表示さ
せる。
時の赤外線強度データと、監視時の赤外線強度データと
を読み込む。次に、ステップ１０４において、正常時と
監視時との赤外線強度の相対分布の差異を抽出する。続
いて、ステップ１０５において、抽出した差異が判定値
より大か否かを判断し、監視対象機器が異常か否かを判
定する。つまり、赤外線強度の相対分布の差異がどの程
度の値となると、機器に異常が発生したのかを予め、実
験にて求めておき、それを上記判定値として、機器が異
常か否かを判定する。そして、ステップ１０６におい
て、ステップ１０５にて行った機器の異常有無の判定結
果を、プリンタやＣＲＴ等の表示手段に出力し、表示さ
せる。
【００２１】以上のように、本発明の一実施例の異常監
視方法によれば、機器正常時の赤外線放射強度の相対分
布と監視時の赤外線放射強度の相対分布との差に基づい
て、監視対象機器が異常か否かを判定している。したが
って、正常運転時には、負荷変動等が少なく、機器表面
の温度変動も少ない機器のみならず、正常運転時に負荷
変動等が大きく、機器表面の温度変動が大きな機器に対
しても、赤外線を用いた異常検出を高精度に実行し得る
機器異常検出方法を実現することができる。
視方法によれば、機器正常時の赤外線放射強度の相対分
布と監視時の赤外線放射強度の相対分布との差に基づい
て、監視対象機器が異常か否かを判定している。したが
って、正常運転時には、負荷変動等が少なく、機器表面
の温度変動も少ない機器のみならず、正常運転時に負荷
変動等が大きく、機器表面の温度変動が大きな機器に対
しても、赤外線を用いた異常検出を高精度に実行し得る
機器異常検出方法を実現することができる。
【００２２】図３は、本発明の機器の異常検出装置の一
実施例の概略構成図である。図３において、１０は監視
対象機器の電動機、２０は赤外線カメラ、３０は画像入
力部、４０は画像データ転送先切替部、５０は正常時熱
画像記憶部、６０は監視時熱画像記憶部、７０は正常時
熱画像記憶部５０及び監視時熱画像記憶部６０に記憶さ
れた熱画像データから２次元相関係数を演算する演算部
装置である。また、８０は監視制御演算処理部、９０は
オペレータ指令入力部、９５は監視結果表示出力部であ
る。そして、監視制御演算処理部８０は、画像入力部３
０に制御信号Ｃ８１を供給し、画像入力部３０の動作を
制御する。さらに、監視制御演算処理部８０は、画像デ
ータ転送先切換部４０、２次元相関係数演算部８０に、
それぞれ、制御信号Ｃ８２、Ｃ８３を供給し、切換部４
０及び演算部８０の動作を制御する。
実施例の概略構成図である。図３において、１０は監視
対象機器の電動機、２０は赤外線カメラ、３０は画像入
力部、４０は画像データ転送先切替部、５０は正常時熱
画像記憶部、６０は監視時熱画像記憶部、７０は正常時
熱画像記憶部５０及び監視時熱画像記憶部６０に記憶さ
れた熱画像データから２次元相関係数を演算する演算部
装置である。また、８０は監視制御演算処理部、９０は
オペレータ指令入力部、９５は監視結果表示出力部であ
る。そして、監視制御演算処理部８０は、画像入力部３
０に制御信号Ｃ８１を供給し、画像入力部３０の動作を
制御する。さらに、監視制御演算処理部８０は、画像デ
ータ転送先切換部４０、２次元相関係数演算部８０に、
それぞれ、制御信号Ｃ８２、Ｃ８３を供給し、切換部４
０及び演算部８０の動作を制御する。
【００２３】機器監視を実行するに当っては、まず、オ
ペレータ指令入力部９０からオペレータが、正常運転時
の赤外線放射強度取り込みを指令する。すると、監視制
御演算処理部８０は、オペレータからの指令に基づい
て、監視対象機器である電動機１０の正常運転時におけ
る機器表面からの赤外線の放射強度を赤外線カメラ２０
によって、画像入力部３０に取り込ませる。画像入力部
３０に取り込まれる画像は、予め決められた画素数およ
び階調に従ったものであり、通常、画素数としては２５
６×２５６又は５１２×５１２、階調としては０〜１２
７又は０〜２５６が用いられる。画像データとして取り
込まれた赤外線の放射強度データは、画像データ転送先
切替部４０を介して、正常時熱画像記憶部５０に転送さ
れ、記憶される。この時のデータ転送先の切り替えは、
監視制御演算処理部８０からの制御信号Ｃ８２によって
行われる。
ペレータ指令入力部９０からオペレータが、正常運転時
の赤外線放射強度取り込みを指令する。すると、監視制
御演算処理部８０は、オペレータからの指令に基づい
て、監視対象機器である電動機１０の正常運転時におけ
る機器表面からの赤外線の放射強度を赤外線カメラ２０
によって、画像入力部３０に取り込ませる。画像入力部
３０に取り込まれる画像は、予め決められた画素数およ
び階調に従ったものであり、通常、画素数としては２５
６×２５６又は５１２×５１２、階調としては０〜１２
７又は０〜２５６が用いられる。画像データとして取り
込まれた赤外線の放射強度データは、画像データ転送先
切替部４０を介して、正常時熱画像記憶部５０に転送さ
れ、記憶される。この時のデータ転送先の切り替えは、
監視制御演算処理部８０からの制御信号Ｃ８２によって
行われる。
【００２４】オペレータ指令入力部９０からのオペレー
タ指令に基づいて、機器監視が開始されると、電動機１
０の機器表面からの赤外線の放射強度が赤外線カメラ２
０によって画像入力部３０に取り込まれる。そして、画
像入力部３０に取り込まれた放射強度は、画像データ転
送先切替部４０を介して、監視時熱画像記憶部６０に転
送され、記憶される。この場合の画像の各画素の濃度
は、機器表面から放射される赤外線の強度に比例する。
２次元相関係数演算部７０は、監視制御演算部８０から
の制御信号Ｃ８３に基づいて、記憶された正常時及び監
視時の熱画像データを読み込み、２次元相関演算を次式
（１）に従って実行する。
タ指令に基づいて、機器監視が開始されると、電動機１
０の機器表面からの赤外線の放射強度が赤外線カメラ２
０によって画像入力部３０に取り込まれる。そして、画
像入力部３０に取り込まれた放射強度は、画像データ転
送先切替部４０を介して、監視時熱画像記憶部６０に転
送され、記憶される。この場合の画像の各画素の濃度
は、機器表面から放射される赤外線の強度に比例する。
２次元相関係数演算部７０は、監視制御演算部８０から
の制御信号Ｃ８３に基づいて、記憶された正常時及び監
視時の熱画像データを読み込み、２次元相関演算を次式
（１）に従って実行する。
【００２５】
【数１】
【００２６】ただし、ｒ2 ：正常時熱画像と
監視時熱画像との２次元相関係数 Ｉn（ｉ，ｊ）：正常時熱画像 Ｉm（ｉ，ｊ）：監視時熱画像 上記２次元相関演算に用いる正常時及び監視時の熱画像
の構成の一例を図４に示す。図４に示すように、ｉ及び
ｊは、画像のｘ及びｙ軸方向の画素の座標を示す。そし
て、算出された２次元相関係数ｒ2が演算処理部８０に
供給される。すると、演算処理部８０は、供給された２
次元相関係数ｒ2から機器の異常度Ｓを算出し、機器が
異常か否かを判定し、判定結果を表示出力部９５に表示
させる。
監視時熱画像との２次元相関係数 Ｉn（ｉ，ｊ）：正常時熱画像 Ｉm（ｉ，ｊ）：監視時熱画像 上記２次元相関演算に用いる正常時及び監視時の熱画像
の構成の一例を図４に示す。図４に示すように、ｉ及び
ｊは、画像のｘ及びｙ軸方向の画素の座標を示す。そし
て、算出された２次元相関係数ｒ2が演算処理部８０に
供給される。すると、演算処理部８０は、供給された２
次元相関係数ｒ2から機器の異常度Ｓを算出し、機器が
異常か否かを判定し、判定結果を表示出力部９５に表示
させる。
【００２７】以上のように、本発明の一実施例の異常監
視装置によれば、正常運転時には、負荷変動等が少な
く、機器表面の温度変動も少ない機器のみならず、正常
運転時に負荷変動等が大きく、機器表面の温度変動が大
きな機器に対しても、赤外線を用いた異常検出を高精度
に実行し得る機器異常検出装置を実現することができ
る。
視装置によれば、正常運転時には、負荷変動等が少な
く、機器表面の温度変動も少ない機器のみならず、正常
運転時に負荷変動等が大きく、機器表面の温度変動が大
きな機器に対しても、赤外線を用いた異常検出を高精度
に実行し得る機器異常検出装置を実現することができ
る。
【００２８】なお、上記実施例において、表示出力部９
５の表示については、ＣＲＴ又はプリンタに表示させて
もよいし、表示させるとともに、ブザー等により音声に
て警報させることもできる。また、監視対象機器を一定
周期で監視する場合、表示出力部９５に図５に示すよう
な画面を表示することもできる。つまり、縦軸に異常度
Ｓを表示し、横軸に経過時間ｔ（分）を表示する。そし
て、異常度Ｓが異常判定レベルを超えた場合には、図示
するように、異常を表示するように構成することもでき
る。このように構成すれば、機器の運転状態の履歴を把
握することができ、異常原因の解明に利用することもで
きる。
５の表示については、ＣＲＴ又はプリンタに表示させて
もよいし、表示させるとともに、ブザー等により音声に
て警報させることもできる。また、監視対象機器を一定
周期で監視する場合、表示出力部９５に図５に示すよう
な画面を表示することもできる。つまり、縦軸に異常度
Ｓを表示し、横軸に経過時間ｔ（分）を表示する。そし
て、異常度Ｓが異常判定レベルを超えた場合には、図示
するように、異常を表示するように構成することもでき
る。このように構成すれば、機器の運転状態の履歴を把
握することができ、異常原因の解明に利用することもで
きる。
【００２９】図６は、図３の例における２次元相関係数
の演算手順の一例を示すフローチャートである。図６に
おいて、演算部７０は、記憶された正常時及び監視時の
熱画像データＩｎ（ｉ，ｊ）及びＩｍ（ｉ，ｊ）を読み
込む（ステップ７１、７２）。次に、各変数（画素座標
変数、画素濃度積算変数）の初期化（ステップ７３）を
実行した後、上記式（１）で示した演算式内の各諸量を
計算する（ステップ７４〜７８）。つまり、Ｉ2 n（ｉ，
ｊ）の総和Ｓ１、Ｉ2 m（ｉ，ｊ）の総和Ｓ２、Ｉ
n（ｉ，ｊ）×Ｉm（ｉ，ｊ）の総和Ｓ３が計算される。
ステップ７５、７６は、ｘ及びｙ軸方向の画素座標変数
が画像の最大画素数になったか否かを判定するステップ
である。また、ステップ７７は、ｉに１を加算するステ
ップであり、ステップ７８は、ｊに１を加算するステッ
プである。次に、ステップ７４〜７８で演算した各諸量
を用いて、２次元相関係数ｒ2＝Ｓ３／（√Ｓ１×√Ｓ
２）を演算する（ステップ７９）。そして、演算部７０
は、演算した２次元相関係数ｒ2を演算処理部８０に供
給する。
の演算手順の一例を示すフローチャートである。図６に
おいて、演算部７０は、記憶された正常時及び監視時の
熱画像データＩｎ（ｉ，ｊ）及びＩｍ（ｉ，ｊ）を読み
込む（ステップ７１、７２）。次に、各変数（画素座標
変数、画素濃度積算変数）の初期化（ステップ７３）を
実行した後、上記式（１）で示した演算式内の各諸量を
計算する（ステップ７４〜７８）。つまり、Ｉ2 n（ｉ，
ｊ）の総和Ｓ１、Ｉ2 m（ｉ，ｊ）の総和Ｓ２、Ｉ
n（ｉ，ｊ）×Ｉm（ｉ，ｊ）の総和Ｓ３が計算される。
ステップ７５、７６は、ｘ及びｙ軸方向の画素座標変数
が画像の最大画素数になったか否かを判定するステップ
である。また、ステップ７７は、ｉに１を加算するステ
ップであり、ステップ７８は、ｊに１を加算するステッ
プである。次に、ステップ７４〜７８で演算した各諸量
を用いて、２次元相関係数ｒ2＝Ｓ３／（√Ｓ１×√Ｓ
２）を演算する（ステップ７９）。そして、演算部７０
は、演算した２次元相関係数ｒ2を演算処理部８０に供
給する。
【００３０】相関係数ｒ2は、正常時熱画像と監視時熱
画像の相対分布がまったく同一であれば１．０となる性
質がある。よって、演算処理部８０は、ステップ８１に
おいて、監視対象機器の異常度Ｓ＝１．０−ｒ2を算出
し、算出した異常度Ｓをステップ８２において、所定の
基準値Ｓ0と比較し、異常の有無を判定する。この所定
の基準値Ｓ0は、異常度Ｓが１．０からどのくらい逸脱
すれば、機器に異常が発生しているのかを、予め実験等
により、算出した値である。そして、ステップ８３にお
いて、演算処理部８０は、算出した異常度Ｓ及び判定結
果を監視結果表示出力部９５に表示させる。
画像の相対分布がまったく同一であれば１．０となる性
質がある。よって、演算処理部８０は、ステップ８１に
おいて、監視対象機器の異常度Ｓ＝１．０−ｒ2を算出
し、算出した異常度Ｓをステップ８２において、所定の
基準値Ｓ0と比較し、異常の有無を判定する。この所定
の基準値Ｓ0は、異常度Ｓが１．０からどのくらい逸脱
すれば、機器に異常が発生しているのかを、予め実験等
により、算出した値である。そして、ステップ８３にお
いて、演算処理部８０は、算出した異常度Ｓ及び判定結
果を監視結果表示出力部９５に表示させる。
【００３１】以上説明した一例では、監視対象機器の２
次元的な領域をグローバルに監視する例について述べた
が、監視対象機器が１次元的な方向のみで熱的な異常を
発生するような場合には２次元的な面としての監視に代
わって、１次元のライン的な監視で充分な場合もある。
例えば、図４に示す画像が監視対象機器の熱画像とした
場合、ｙ軸方向での熱的な変化が無いとすればｘ軸方向
のみの熱的な変化に着目していればよい。したがって、
ｙ軸方向の所定の座標ｊ0のＸ軸方向の１ラインのみを
監視すればよい。つまり、この場合、上述した２次元相
関演算に代わって正常時と監視時の熱画像データＩ
n（ｉ，ｊ0）及びＩm（ｉ，ｊ0）を用いて、次式（２）
により１次元相関係数ｒ1を演算する。
次元的な領域をグローバルに監視する例について述べた
が、監視対象機器が１次元的な方向のみで熱的な異常を
発生するような場合には２次元的な面としての監視に代
わって、１次元のライン的な監視で充分な場合もある。
例えば、図４に示す画像が監視対象機器の熱画像とした
場合、ｙ軸方向での熱的な変化が無いとすればｘ軸方向
のみの熱的な変化に着目していればよい。したがって、
ｙ軸方向の所定の座標ｊ0のＸ軸方向の１ラインのみを
監視すればよい。つまり、この場合、上述した２次元相
関演算に代わって正常時と監視時の熱画像データＩ
n（ｉ，ｊ0）及びＩm（ｉ，ｊ0）を用いて、次式（２）
により１次元相関係数ｒ1を演算する。
【００３２】
【数２】
【００３３】ただし、ｒ1 ：正常時熱画像と
監視時熱画像の１次元相関係数 Ｉn（ｉ，ｊ0）：正常時熱画像のｙ軸監視座標ｊ0ライ
ン上の画像データ Ｉm（ｉ，ｊ0）：監視時熱画像のｙ軸監視座標ｊ0ライ
ン上の画像データ 図７は、上記式（２）による１次元相関係数の演算手順
フローを示したものである。記憶された正常時及び監視
時の熱画像データＩn（ｉ，ｊ）及びＩm（ｉ，ｊ）を読
み込む（ステップ７１ａ、７２ａ）。次に、予め設定さ
れたｙ軸監視座標ｊ0を読み込む（ステップ７３ａ）。
そして、各変数（画素座標変数、画素濃度積算変数）の
初期化（ステップ７３ｂ）を実行した後、ステップ７４
ａ、７５ａ、７７ａにおいて、上記式（２）で示した演
算式内の各諸量（Ｉ2 n（ｉ，ｊ0）の総和、Ｉ2 m（ｉ，
ｊ0）の総和、Ｉn（ｉ，ｊ0）×Ｉm（ｉ，ｊ0）の総
和）を計算する。ステップ７５ａは、ｘ軸方向の画素座
標変数が最大画素数になったか否かを判定するステップ
であり、ステップ７７ａは、ｉに１を加算するステップ
である。 ステップ７４ａ、７５ａ、７７ａで演算した
各諸量を用いて、１次元相関係数ｒ1＝Ｓ３／（√Ｓ１
×√Ｓ２）を演算する（ステップ７９ａ）。この場合も
２次元相関係数の演算の場合と同様に機器の異常度Ｓを
（Ｓ＝１．０−ｒ1）演算する（ステップ８１ａ）。そ
して、ステップ８２ａにおいて、機器異常の有無の判定
を行い、ステップ８３ａにおいて、異常度Ｓ及びその判
定結果を表示する。１次元の相関係数を使用する場合
は、２次元の相関係数を使用する場合に比較して、演算
処理が短時間となる。
監視時熱画像の１次元相関係数 Ｉn（ｉ，ｊ0）：正常時熱画像のｙ軸監視座標ｊ0ライ
ン上の画像データ Ｉm（ｉ，ｊ0）：監視時熱画像のｙ軸監視座標ｊ0ライ
ン上の画像データ 図７は、上記式（２）による１次元相関係数の演算手順
フローを示したものである。記憶された正常時及び監視
時の熱画像データＩn（ｉ，ｊ）及びＩm（ｉ，ｊ）を読
み込む（ステップ７１ａ、７２ａ）。次に、予め設定さ
れたｙ軸監視座標ｊ0を読み込む（ステップ７３ａ）。
そして、各変数（画素座標変数、画素濃度積算変数）の
初期化（ステップ７３ｂ）を実行した後、ステップ７４
ａ、７５ａ、７７ａにおいて、上記式（２）で示した演
算式内の各諸量（Ｉ2 n（ｉ，ｊ0）の総和、Ｉ2 m（ｉ，
ｊ0）の総和、Ｉn（ｉ，ｊ0）×Ｉm（ｉ，ｊ0）の総
和）を計算する。ステップ７５ａは、ｘ軸方向の画素座
標変数が最大画素数になったか否かを判定するステップ
であり、ステップ７７ａは、ｉに１を加算するステップ
である。 ステップ７４ａ、７５ａ、７７ａで演算した
各諸量を用いて、１次元相関係数ｒ1＝Ｓ３／（√Ｓ１
×√Ｓ２）を演算する（ステップ７９ａ）。この場合も
２次元相関係数の演算の場合と同様に機器の異常度Ｓを
（Ｓ＝１．０−ｒ1）演算する（ステップ８１ａ）。そ
して、ステップ８２ａにおいて、機器異常の有無の判定
を行い、ステップ８３ａにおいて、異常度Ｓ及びその判
定結果を表示する。１次元の相関係数を使用する場合
は、２次元の相関係数を使用する場合に比較して、演算
処理が短時間となる。
【００３４】以上説明した機器の異常監視方法及び装置
は、２次元あるいは１次元の相関係数を用いたものであ
った。これに対し、得られた監視対象機器の熱画像の最
大値を抽出し、次式（３）により、最大値で規格化した
熱画像データを比較する方法、つまり、２次元相対分布
比較を用いる方法が考えられる。この場合には、次式
（４）により、正常時と監視時との熱画像データの差の
絶対値を積分した値が異常度Ｓとなる。
は、２次元あるいは１次元の相関係数を用いたものであ
った。これに対し、得られた監視対象機器の熱画像の最
大値を抽出し、次式（３）により、最大値で規格化した
熱画像データを比較する方法、つまり、２次元相対分布
比較を用いる方法が考えられる。この場合には、次式
（４）により、正常時と監視時との熱画像データの差の
絶対値を積分した値が異常度Ｓとなる。
【００３５】
【数３】
【００３６】ただし、Ｉnd（ｉ，ｊ）：正常時熱画像中
の最大値で規格化したデータ Ｉmd（ｉ，ｊ）：監視時熱画像中の最大値で規格化した
データ Ｉnm ：正常時熱画像中の最大値 Ｉmm ：監視時熱画像中の最大値
の最大値で規格化したデータ Ｉmd（ｉ，ｊ）：監視時熱画像中の最大値で規格化した
データ Ｉnm ：正常時熱画像中の最大値 Ｉmm ：監視時熱画像中の最大値
【００３７】
【数４】
【００３８】図８は、上記２次元相対分布比較を用いた
機器監視装置の概略構成図であり、図３の２次元相関係
数演算部７０の代わりに２次元相対分布比較演算部７０
ａが配置されている。図９は、２次元相対分布比較の演
算手順の一例を示すフローチャートである。図９におい
て、正常時熱画像Ｉn（ｉ，ｊ）及び監視時熱画像Ｉ
m（ｉ，ｊ）を読み込む。次に、読み込んだ熱画像Ｉ
n（ｉ，ｊ）及びＩm（ｉ，ｊ）の最大濃度値Ｉnm、Ｉmm
を抽出する（ステップ７３Ｃ）。そして、熱画像Ｉ
n（ｉ，ｊ）及びＩm（ｉ，ｊ）を対応する最大濃度値Ｉ
nm、Ｉmmで除算して規格化したデータＩnd（ｉ，ｊ）、
Ｉmd（ｉ，ｊ）を演算する（ステップ７３ｄ）。
機器監視装置の概略構成図であり、図３の２次元相関係
数演算部７０の代わりに２次元相対分布比較演算部７０
ａが配置されている。図９は、２次元相対分布比較の演
算手順の一例を示すフローチャートである。図９におい
て、正常時熱画像Ｉn（ｉ，ｊ）及び監視時熱画像Ｉ
m（ｉ，ｊ）を読み込む。次に、読み込んだ熱画像Ｉ
n（ｉ，ｊ）及びＩm（ｉ，ｊ）の最大濃度値Ｉnm、Ｉmm
を抽出する（ステップ７３Ｃ）。そして、熱画像Ｉ
n（ｉ，ｊ）及びＩm（ｉ，ｊ）を対応する最大濃度値Ｉ
nm、Ｉmmで除算して規格化したデータＩnd（ｉ，ｊ）、
Ｉmd（ｉ，ｊ）を演算する（ステップ７３ｄ）。
【００３９】次に、変数の初期化（ステップ７３ｅ）を
経て、監視対象機器の異常度Ｓを演算する（ステップ７
４ｂ、７５〜７８）。そして、ステップ８２ｂにおい
て、演算された異常度Ｓと所定の基準値とが比較され、
機器の異常の有無が判定される。この場合、機器に異常
が発生したら異常度Ｓの値がどのくらいになるかを、実
験等により算出しておき、これを上記所定の基準値とす
る。次に、ステップ８３ｄにおいて、異常度Ｓ及び判定
結果が表示出力部９５に表示される。上述した図９の例
においても、図１及び図３の例と同様な効果を得ること
ができる。
経て、監視対象機器の異常度Ｓを演算する（ステップ７
４ｂ、７５〜７８）。そして、ステップ８２ｂにおい
て、演算された異常度Ｓと所定の基準値とが比較され、
機器の異常の有無が判定される。この場合、機器に異常
が発生したら異常度Ｓの値がどのくらいになるかを、実
験等により算出しておき、これを上記所定の基準値とす
る。次に、ステップ８３ｄにおいて、異常度Ｓ及び判定
結果が表示出力部９５に表示される。上述した図９の例
においても、図１及び図３の例と同様な効果を得ること
ができる。
【００４０】上述した図９の例のように、２次元相対分
布比較の例に対して、図１０の例は、１次元相対分布比
較の例である。この１次元相対分布比較の例において
は、次式（５）により、線状熱画像データの最大値で規
格化したデータが算出され、次式（６）により、正常時
及び異常時における規格化したデータの差の絶対値が全
監視画素について積算される。
布比較の例に対して、図１０の例は、１次元相対分布比
較の例である。この１次元相対分布比較の例において
は、次式（５）により、線状熱画像データの最大値で規
格化したデータが算出され、次式（６）により、正常時
及び異常時における規格化したデータの差の絶対値が全
監視画素について積算される。
【００４１】
【数５】
【００４２】ただし、Ｉndd（ｉ，ｊ0）：正常時熱画像
中の最大値で規格化したデータ Ｉmdd（ｉ，ｊ0）：監視時熱画像中の最大値で規格化し
たデータ Ｉnm（ｊ0） ：正常時熱画像Ｉn（ｉ、ｊ0）中の最
大値 Ｉmm（ｊ0） ：監視時熱画像Ｉm（ｉ、ｊ0）中の最
大値
中の最大値で規格化したデータ Ｉmdd（ｉ，ｊ0）：監視時熱画像中の最大値で規格化し
たデータ Ｉnm（ｊ0） ：正常時熱画像Ｉn（ｉ、ｊ0）中の最
大値 Ｉmm（ｊ0） ：監視時熱画像Ｉm（ｉ、ｊ0）中の最
大値
【００４３】
【数６】
【００４４】図１０において、正常時熱画像Ｉn（ｉ，
ｊ）及び監視時熱画像Ｉm（ｉ，ｊ）を読み込む（ステ
ップ７１、７２）。そして、ｙ軸監視座標ｊ0を読み込
む（ステップ７３ａ）。次に、読み込んだ正常時及び監
視時の線状熱画像Ｉn（ｉ，ｊ）及びＩm（ｉ，ｊ）の最
大濃度値Ｉnm（ｊ0）、Ｉmm（ｊ0）を抽出する（ステッ
プ７３ｆ）。そして、線状熱画像Ｉn（ｉ，ｊ0）、Ｉm
（ｉ，ｊ0）を対応する最大濃度値Ｉnm（ｊ0）、Ｉ
mm（ｊ0）で除算して規格化したデータＩndd（ｉ，
ｊ0）、Ｉmdd（ｉ，ｊ0）を演算する（ステップ７３
ｇ）。次に、変数の初期化（ステップ７３ｈ）を経て、
監視対象機器の異常度Ｓを演算する（ステップ７４Ｃ、
７５、７７）。そして、ステップ８２ｂにおいて、異常
度Ｓと所定の基準値とが比較され、機器の異常の有無が
判定される。次に、ステップ８３ｄにおいて、異常度Ｓ
及び判定結果が表示出力部９５に表示される。上述した
図１０の例においても、図１及び図３の例と同様な効果
を得ることができる。
ｊ）及び監視時熱画像Ｉm（ｉ，ｊ）を読み込む（ステ
ップ７１、７２）。そして、ｙ軸監視座標ｊ0を読み込
む（ステップ７３ａ）。次に、読み込んだ正常時及び監
視時の線状熱画像Ｉn（ｉ，ｊ）及びＩm（ｉ，ｊ）の最
大濃度値Ｉnm（ｊ0）、Ｉmm（ｊ0）を抽出する（ステッ
プ７３ｆ）。そして、線状熱画像Ｉn（ｉ，ｊ0）、Ｉm
（ｉ，ｊ0）を対応する最大濃度値Ｉnm（ｊ0）、Ｉ
mm（ｊ0）で除算して規格化したデータＩndd（ｉ，
ｊ0）、Ｉmdd（ｉ，ｊ0）を演算する（ステップ７３
ｇ）。次に、変数の初期化（ステップ７３ｈ）を経て、
監視対象機器の異常度Ｓを演算する（ステップ７４Ｃ、
７５、７７）。そして、ステップ８２ｂにおいて、異常
度Ｓと所定の基準値とが比較され、機器の異常の有無が
判定される。次に、ステップ８３ｄにおいて、異常度Ｓ
及び判定結果が表示出力部９５に表示される。上述した
図１０の例においても、図１及び図３の例と同様な効果
を得ることができる。
【００４５】上述した例においては、機器の正常時と異
常時とにおける赤外線強度の相対分布を比較して、機器
の異常を判定する構成となっている。さらに、この相対
分布の比較による判定に、測定温度による異常判定を追
加することが考えられる。図１１は、図１の例に、測定
温度による異常判定を追加した例であり、図１の例にス
テップ１０７及び１０８が追加されている。図１１のス
テップ１０３において、正常運転時及び監視時の赤外線
強度データを読み込んだ後に、ステップ１０４に進むと
ともに、ステップ１０７に進む。このステップ１０７に
おいて、監視時赤外線強度データから温度を算出する。
常時とにおける赤外線強度の相対分布を比較して、機器
の異常を判定する構成となっている。さらに、この相対
分布の比較による判定に、測定温度による異常判定を追
加することが考えられる。図１１は、図１の例に、測定
温度による異常判定を追加した例であり、図１の例にス
テップ１０７及び１０８が追加されている。図１１のス
テップ１０３において、正常運転時及び監視時の赤外線
強度データを読み込んだ後に、ステップ１０４に進むと
ともに、ステップ１０７に進む。このステップ１０７に
おいて、監視時赤外線強度データから温度を算出する。
【００４６】次に、ステップ１０８において、算出した
温度と基準上限温度とを比較し、ステップ１０５にて、
上記比較結果により、監視対象機器の異常の有無を判定
する。このステップ１０５においては、上述したよう
に、赤外線強度の相対分布の差による異常判定も行う。
なお、基準上限温度は、規格等で定められた機器温度上
限値でもよいし、実験等より定めた上限値でもよい。こ
の図１１の例によれば、図１の例の効果に加えて、機器
の異常監視の信頼性をさらに、向上することができる。
温度と基準上限温度とを比較し、ステップ１０５にて、
上記比較結果により、監視対象機器の異常の有無を判定
する。このステップ１０５においては、上述したよう
に、赤外線強度の相対分布の差による異常判定も行う。
なお、基準上限温度は、規格等で定められた機器温度上
限値でもよいし、実験等より定めた上限値でもよい。こ
の図１１の例によれば、図１の例の効果に加えて、機器
の異常監視の信頼性をさらに、向上することができる。
【００４７】図１２は、図３の例に、図１１の例を適用
した異常監視装置の一実施例の概略構成図であり、図３
の例に、温度算出部６１と、温度比較部６２とが、追加
されている。図１２において、監視時熱画像記憶部６０
からの熱画像データは、２次元相関係数演算部７０に供
給されるとともに、温度算出部６１に供給される。この
温度算出部６１において、供給された熱画像データが温
度データに変換される。そして、算出された温度データ
が、温度比較部６２に供給され、基準上限温度と比較さ
れる。この比較結果は、演算処理部８０に供給され、機
器が異常か否かが判定される。なお、温度算出部６１及
び温度比較部６２の動作は、演算制御部８０からの制御
信号Ｃ８４により制御される。
した異常監視装置の一実施例の概略構成図であり、図３
の例に、温度算出部６１と、温度比較部６２とが、追加
されている。図１２において、監視時熱画像記憶部６０
からの熱画像データは、２次元相関係数演算部７０に供
給されるとともに、温度算出部６１に供給される。この
温度算出部６１において、供給された熱画像データが温
度データに変換される。そして、算出された温度データ
が、温度比較部６２に供給され、基準上限温度と比較さ
れる。この比較結果は、演算処理部８０に供給され、機
器が異常か否かが判定される。なお、温度算出部６１及
び温度比較部６２の動作は、演算制御部８０からの制御
信号Ｃ８４により制御される。
【００４８】図１３は、図８の例に、図１１の例を適用
した異常監視装置の一実施例の概略構成図であり、図８
の例に、温度算出部６１と、温度比較部６２とが、追加
されている。図１３において、監視時熱画像記憶部６０
からの熱画像データは、２次元相対分布比較演算部７０
ａに供給されるとともに、温度算出部６１に供給され
る。この温度算出部６１において、供給された熱画像デ
ータが温度データに変換される。そして、算出された温
度データが、温度比較部６２に供給され、基準上限温度
と比較される。この比較結果は、演算処理部８０に供給
され、機器が異常か否かが判定される。なお、上述した
図１２及び図１３の例において、２次元相関係数演算及
び２次元相対分布比較演算による異常判定のみならず、
１次元相関係数演算及び１次元相対分布比較演算による
異常判定も実行することができる。
した異常監視装置の一実施例の概略構成図であり、図８
の例に、温度算出部６１と、温度比較部６２とが、追加
されている。図１３において、監視時熱画像記憶部６０
からの熱画像データは、２次元相対分布比較演算部７０
ａに供給されるとともに、温度算出部６１に供給され
る。この温度算出部６１において、供給された熱画像デ
ータが温度データに変換される。そして、算出された温
度データが、温度比較部６２に供給され、基準上限温度
と比較される。この比較結果は、演算処理部８０に供給
され、機器が異常か否かが判定される。なお、上述した
図１２及び図１３の例において、２次元相関係数演算及
び２次元相対分布比較演算による異常判定のみならず、
１次元相関係数演算及び１次元相対分布比較演算による
異常判定も実行することができる。
【００４９】図１４は、本発明を工場において製造され
た電動機を出荷検査する出荷電動機検査装置１５０に適
用した場合の例を示す図である。図１４において、１２
は検査対象の電動機、１３は電動機に電力を供給するケ
ーブル、９７は検査用電動機の位置決め機構、１４０は
電動機異常判定部、１１０は検査結果表示部、１２０は
電源供給用給電レール、１３０は電動機位置決め機構制
御部である。検査対象電動機１２は、赤外線カメラ２０
の前面の所定の位置に位置決めされる時点で、熱的にほ
ぼ定常状態になるようなタイミングで給電が開始され
る。よって、電動機１２は電源供給用給電レール１２０
によって移動されながら給電可能に構成される。電動機
異常判定部１４０は、電動機位置決め機構制御部１３０
からの監視対象電動機１２の位置決めが完了した信号を
受け取り、赤外線カメラ２０による熱画像の採取を開始
する。電動機異常判定部１４０での判定結果は、検査結
果表示部１１０に出力され、表示される。
た電動機を出荷検査する出荷電動機検査装置１５０に適
用した場合の例を示す図である。図１４において、１２
は検査対象の電動機、１３は電動機に電力を供給するケ
ーブル、９７は検査用電動機の位置決め機構、１４０は
電動機異常判定部、１１０は検査結果表示部、１２０は
電源供給用給電レール、１３０は電動機位置決め機構制
御部である。検査対象電動機１２は、赤外線カメラ２０
の前面の所定の位置に位置決めされる時点で、熱的にほ
ぼ定常状態になるようなタイミングで給電が開始され
る。よって、電動機１２は電源供給用給電レール１２０
によって移動されながら給電可能に構成される。電動機
異常判定部１４０は、電動機位置決め機構制御部１３０
からの監視対象電動機１２の位置決めが完了した信号を
受け取り、赤外線カメラ２０による熱画像の採取を開始
する。電動機異常判定部１４０での判定結果は、検査結
果表示部１１０に出力され、表示される。
【００５０】電動機異常判定部１４０には、正常状態の
電動機１２の熱画像の相対分布データが格納されてい
る。そして、出荷検査における電動機１２の熱画像の相
対分布データと上記正常状態の相対分布データとが比較
され、電動機１２に異常があるか否かが判定される。こ
の図１４の例によれば、電動機１２の赤外線熱画像の相
対分布が正常時と検査時とで比較され、異常か否かが判
定されるように構成されている。したがって、検査時に
所定の温度範囲は、逸脱しないが、相対温度分布が正常
時と異なるという異常をも検出することができ、異常検
出精度が向上された検査装置を実現することができる。
電動機１２の熱画像の相対分布データが格納されてい
る。そして、出荷検査における電動機１２の熱画像の相
対分布データと上記正常状態の相対分布データとが比較
され、電動機１２に異常があるか否かが判定される。こ
の図１４の例によれば、電動機１２の赤外線熱画像の相
対分布が正常時と検査時とで比較され、異常か否かが判
定されるように構成されている。したがって、検査時に
所定の温度範囲は、逸脱しないが、相対温度分布が正常
時と異なるという異常をも検出することができ、異常検
出精度が向上された検査装置を実現することができる。
【００５１】なお、上記実施例においては、正常時の赤
外線放射強度データそのものを記憶し、監視時のデータ
と比較する際に、相対分布を算出するように構成した。
これに対して、正常時の赤外線放射強度データから相対
分布データを算出し、算出した相対分布データを記憶す
る。そして、監視時の赤外線放射強度の相対分布データ
と、上記正常時の赤外線放射強度の相対分布データと、
を比較するように構成してもよい。また、上記実施例に
おいては、赤外線強度の相対分布データを使用する構成
としたが、検出された赤外線強度を温度に変換し、変換
した温度の相対分布データを監視時と正常時とで比較す
るように構成することもできる。
外線放射強度データそのものを記憶し、監視時のデータ
と比較する際に、相対分布を算出するように構成した。
これに対して、正常時の赤外線放射強度データから相対
分布データを算出し、算出した相対分布データを記憶す
る。そして、監視時の赤外線放射強度の相対分布データ
と、上記正常時の赤外線放射強度の相対分布データと、
を比較するように構成してもよい。また、上記実施例に
おいては、赤外線強度の相対分布データを使用する構成
としたが、検出された赤外線強度を温度に変換し、変換
した温度の相対分布データを監視時と正常時とで比較す
るように構成することもできる。
【００５２】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているため、以下のような効果がある。機器異常監視方
法において、正常運転時の機器の表面からの赤外線放射
強度を検出し、記憶するステップと、機器監視時に、機
器の表面からの赤外線放射強度を検出するステップと、
機器監視時の赤外線放射強度の相対強度分布と正常運転
時の赤外線放射強度の相対強度分布とを比較するステッ
プと、相対強度分布の比較結果に基づいて、機器の異常
の有無を判断するステップと、を備える。これにより、
正常運転時には、負荷変動等が少なく、機器表面の温度
変動も少ない機器のみならず、正常運転時に負荷変動等
が大きく、機器表面の温度変動が大きな機器に対して
も、赤外線を用いた異常検出を高精度に実行し得る機器
異常検出方法を実現することができる。
ているため、以下のような効果がある。機器異常監視方
法において、正常運転時の機器の表面からの赤外線放射
強度を検出し、記憶するステップと、機器監視時に、機
器の表面からの赤外線放射強度を検出するステップと、
機器監視時の赤外線放射強度の相対強度分布と正常運転
時の赤外線放射強度の相対強度分布とを比較するステッ
プと、相対強度分布の比較結果に基づいて、機器の異常
の有無を判断するステップと、を備える。これにより、
正常運転時には、負荷変動等が少なく、機器表面の温度
変動も少ない機器のみならず、正常運転時に負荷変動等
が大きく、機器表面の温度変動が大きな機器に対して
も、赤外線を用いた異常検出を高精度に実行し得る機器
異常検出方法を実現することができる。
【００５３】また、機器の異常を監視する機器異常監視
装置において、機器の表面から放射される赤外線の放射
強度を検出する検出部と、検出された赤外線放射強度を
記憶する記憶部と、機器監視時の赤外線放射強度の相対
分布と正常運転時の赤外線放射強度の相対分布とを比較
演算する比較演算部と、赤外線放射強度検出部、記憶部
及び比較演算部の動作を制御するとともに、比較演算部
の演算結果に基づいて、機器の異常の有無を判定する監
視制御部と、機器の異常有無の判定結果を表示する表示
部と、を備える。これにより、正常運転時には、負荷変
動等が少なく、機器表面の温度変動も少ない機器のみな
らず、正常運転時に負荷変動等が大きく、機器表面の温
度変動が大きな機器に対しても、赤外線を用いた異常検
出を高精度に実行し得る機器異常検出装置を実現するこ
とができる。
装置において、機器の表面から放射される赤外線の放射
強度を検出する検出部と、検出された赤外線放射強度を
記憶する記憶部と、機器監視時の赤外線放射強度の相対
分布と正常運転時の赤外線放射強度の相対分布とを比較
演算する比較演算部と、赤外線放射強度検出部、記憶部
及び比較演算部の動作を制御するとともに、比較演算部
の演算結果に基づいて、機器の異常の有無を判定する監
視制御部と、機器の異常有無の判定結果を表示する表示
部と、を備える。これにより、正常運転時には、負荷変
動等が少なく、機器表面の温度変動も少ない機器のみな
らず、正常運転時に負荷変動等が大きく、機器表面の温
度変動が大きな機器に対しても、赤外線を用いた異常検
出を高精度に実行し得る機器異常検出装置を実現するこ
とができる。
【図１】本発明の一実施例である機器異常監視方法の動
作フローチャートである。
作フローチャートである。
【図２】電動機表面の赤外線相対強度分布の測定結果の
一例を示す図である。
一例を示す図である。
【図３】本発明の一実施例である機器異常監視装置の概
略構成図である。
略構成図である。
【図４】赤外線カメラによる熱画像の構成を説明する図
である。
である。
【図５】本発明の一実施例における機器連続監視結果の
表示例を示す図である。
表示例を示す図である。
【図６】本発明の機器異常監視方法において、２次元相
関係数演算を用いる場合の動作フローチャートである。
関係数演算を用いる場合の動作フローチャートである。
【図７】本発明の機器異常監視方法において、１次元相
関係数演算を用いる場合の動作フローチャートである。
関係数演算を用いる場合の動作フローチャートである。
【図８】本発明の他の実施例における機器異常監視装置
であり、２次元相対分布比較演算を用いる場合の例の概
略構成図である。
であり、２次元相対分布比較演算を用いる場合の例の概
略構成図である。
【図９】本発明の機器異常監視方法において、２次元相
対分布比較演算を用いる場合の動作フローチャートであ
る。
対分布比較演算を用いる場合の動作フローチャートであ
る。
【図１０】本発明の機器異常監視方法において、１次元
相対分布比較演算を用いる場合の動作フローチャートで
ある。
相対分布比較演算を用いる場合の動作フローチャートで
ある。
【図１１】本発明の機器異常監視方法において、温度を
算出し、基準上限温度と比較する機能が付加された場合
の例の動作フローチャートである。
算出し、基準上限温度と比較する機能が付加された場合
の例の動作フローチャートである。
【図１２】本発明のさらに他の実施例における機器異常
監視装置であって、赤外線強度の２次元相関演算を行う
例に、温度算出を行う機能を付加した例の概略構成図で
ある。
監視装置であって、赤外線強度の２次元相関演算を行う
例に、温度算出を行う機能を付加した例の概略構成図で
ある。
【図１３】本発明のさらに他の実施例における機器異常
監視装置であって、赤外線強度の２次元相対分布比較演
算を行う例に、温度算出を行う機能を付加した例の概略
構成図である。
監視装置であって、赤外線強度の２次元相対分布比較演
算を行う例に、温度算出を行う機能を付加した例の概略
構成図である。
【図１４】本発明を電動機の出荷検査装置に適用した場
合の例の概略構成図である。
合の例の概略構成図である。
１０、１２ 電動機 １３ 電動機電源供給ケーブル ２０ 赤外線カメラ ３０ 画像入力部 ４０ 画像データ転送先切替部 ５０ 正常時熱画像記憶部 ６０ 監視時熱画像記憶部 ６１ 温度算出部 ６２ 温度比較部 ７０ ２次元相関係数演算部 ７０ａ ２次元相対分布比較演算部 ８０ 監視制御演算処理部 ９０ オペレータ指令入力部 ９５ 監視結果表示出力部 ９７ 検査用電動機位決め機構 １１０ 検査結果表示部 １２０ 電源供給用給電レール １３０ 電動機位置決め機構制御部 １４０ 電動機異常判定部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 土田 健二 茨城県日立市大みか町七丁目２番１号 株式会社 日立製作所 エネルギー研究 所内 (72)発明者 田中 敬二 茨城県日立市幸町三丁目１番１号 株式 会社 日立製作所 日立工場内 (56)参考文献 特開 昭61−140849（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01M 19/00
Claims (8)
- 【請求項１】機器表面から放射される赤外線を検出し
て、機器の異常を監視する機器異常監視方法において、 機器監視前に、予め正常運転時の機器の表面からの２次
元の赤外線放射強度を検出し、検出した赤外線放射強度
を記憶するステップと、 機器監視時に、機器の表面からの２次元の赤外線放射強
度を検出するステップと、 機器監視時に検出した２次元の赤外線放射強度の相対強
度分布と、記憶された正常運転時の２次元の赤外線放射
強度の相対強度分布との２次元相関係数を算出するステ
ップと、 上記算出した２次元相関係数に基づいて、機器の異常の
有無を判断するステップと、 を備えることを特徴とする機器異常監視方法。 - 【請求項２】機器表面から放射される赤外線を検出し
て、機器の異常を監視する機器異常監視方法において、 機器監視前に、予め正常運転時の機器の表面からの２次
元又は１次元の赤外線放射強度を検出し、検出した赤外
線放射強度を記憶するステップと、 機器監視時に、機器の表面からの２次元又は１次元の赤
外線放射強度を検出するステップと、 機器監視時に検出した赤外線放射強度の１次元の相対強
度分布と、記憶された正常運転時の赤外線放射強度の１
次元の相対強度分布との１次元相関係数を算出するステ
ップと、 上記算出した１次元相関係数 に基づいて、機器の異常の
有無を判断するステップと、 を備えることを特徴とする機器異常監視方法。 - 【請求項３】機器表面から放射される赤外線を検出し
て、機器の異常を監視する機器異常監 視方法において、 機器監視前に、予め正常運転時の機器の表面からの２次
元の赤外線放射強度を検出し、検出した赤外線放射強度
を記憶するステップと、 機器監視時に、機器の表面からの２次元の赤外線放射強
度を検出するステップと、 機器監視時に検出した赤外線放射強度の２次元の相対強
度分布と、記憶された正常運転時の赤外線放射強度の２
次元の相対強度分布との差を算出し、算出した差の絶対
値を監視領域内で積分するステップと、 上記積分した絶対値に基づいて、機器の異常の有無を判
断するステップと、 を備えることを特徴とする機器異常監視方法。 - 【請求項４】機器表面から放射される赤外線を検出し
て、機器の異常を監視する機器異常監視方法において、 機器監視前に、予め正常運転時の機器の表面からの２次
元又は１次元の赤外線放射強度を検出し、検出した赤外
線放射強度を記憶するステップと、 機器監視時に、機器の表面からの２次元又は１次元の赤
外線放射強度を検出するステップと、 機器監視時に検出した赤外線放射強度の１次元の相対強
度分布と、記憶された正常運転時の赤外線放射強度の１
次元の相対強度分布との差を算出し、算出した差の絶対
値を監視領域内で積分するステップと、 上記積分した絶対値に基づいて、機器の異常の有無を判
断するステップと、 を備えることを特徴とする機器異常監視方法。 - 【請求項５】機器表面から放射される赤外線を検出し
て、機器の異常を監視する機器異常監視方法において、 機器監視前に、予め正常運転時の機器の表面からの２次
元の赤外線放射強度を検出し、検出した赤外線放射強度
を記憶するステップと、 機器監視時に、機器の表面からの２次元の赤外線放射強
度を検出するステップと、 記憶された正常時の機器の２次元の赤外線放射強度を温
度に変換するステップと、 機器監視時に検出した２次元の赤外線放射強度を温度に
変換するステップと、 変換された正常運転時の２次元の機器表面温度の相対強
度分布と、変換された監視時の２次元の機器表面温度の
相対強度分布との２次元相関係数を算出するステップ
と、 上記算出した２次元相関係数に基づいて、機器の異常の
有無を判断するステップと、 を備えることを特徴とする機器異常監視方法。 - 【請求項６】機器表面から放射される赤外線を検出し
て、機器の異常を監視する機器異常監視方法において、 機器監視前に、予め正常運転時の機器の表面からの２次
元又は１次元の赤外線放射強度を検出し、検出した赤外
線放射強度を記憶するステップと、 機器監視時に、機器の表面からの２次元又は１次元の赤
外線放射強度を検出するステップと、 記憶された正常時の機器の２次元又は１次元の赤外線放
射強度を温度に変換するステップと、 機器監視時に検出した２次元又は１次元の赤外線放射強
度を温度に変換するステップと、 変換された正常運転時の機器表面温度の１次元の相対強
度分布と、変換された監視時の機器表面温度の１次元の
相対強度分布との１次元相関係数を算出するステップ
と、 上記算出した１次元相関係数に基づいて、機器の異常の
有無を判断するステップと、 を備えることを特徴とする機器異常監視方法。 - 【請求項７】機器表面から放射される赤外線を検出し
て、機器の異常を監視する機器異常監視方法において、 機器監視前に、予め正常運転時の機器の表面からの２次
元の赤外線放射強度を検出し、検出した赤外線放射強度
を記憶するステップと、 機器監視時に、機器の表面からの２次元の赤外線放射強
度を検出するステップと、 記憶された正常時の機器の２次元の赤外線放射強度を温
度に変換するステップと、 機器監視時に検出した２次元の赤外線放射強度を温度に
変換するステップと、 変換された正常運転時の２次元の機器表面温度の相対強
度分布と、変換された監視時の２次元の機器表面温度の
相対強度分布との差を算出し、この差の絶対値を監視領
域内で積分するステップと、 上記積分した絶対値に基づいて、機器の異常の有無を判
断するステップと、 を備えることを特徴とする機器異常監視方法。 - 【請求項８】機器表面から放射される赤外線を検出し
て、機器の異常を監視する機器異常監視方法において、 機器監視前に、予め正常運転時の機器の表面からの２次
元又は１次元の赤外線放射強度を検出し、検出した赤外
線放射強度を記憶するステップと、 機器監視時に、機器の表面からの２次元又は１次元の赤
外線放射強度を検出するステップと、 記憶された正常時の機器の２次元又は１次元の赤外線放
射強度を温度に変換するステップと、 機器監視時に検出した２次元又は１次元の赤外線放射強
度を温度に変換するステップと、 変換された正常運転時の機器表面温度の１次元の相対強
度分布と、変換された監視時の機器表面温度の１次元の
相対強度分布との差を算出し、この差の絶対値を監視領
域内で積分するステップと、 上記積分した絶対値に基づいて、機器の異常の有無を判
断するステップと、 を備えることを特徴とする機器異常監視方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05066876A JP3140246B2 (ja) | 1993-03-25 | 1993-03-25 | 機器異常監視方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05066876A JP3140246B2 (ja) | 1993-03-25 | 1993-03-25 | 機器異常監視方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06281543A JPH06281543A (ja) | 1994-10-07 |
| JP3140246B2 true JP3140246B2 (ja) | 2001-03-05 |
Family
ID=13328521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05066876A Expired - Fee Related JP3140246B2 (ja) | 1993-03-25 | 1993-03-25 | 機器異常監視方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3140246B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5578982B2 (ja) * | 2010-08-06 | 2014-08-27 | 株式会社東芝 | 装置故障評価システム |
-
1993
- 1993-03-25 JP JP05066876A patent/JP3140246B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06281543A (ja) | 1994-10-07 |
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