JP3120568B2 - 薄膜キャパシタ - Google Patents
薄膜キャパシタInfo
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Description
タに関する。
ますます小型化しており、各種電子回路に必須の回路素
子であるコンデンサの小型化も一段と重要になってい
る。コンデンサとしては誘電体薄膜を用いた薄膜コンデ
ンサがトランジスタ等の能動素子と同一の基板上に形成
されて利用されているが、能動素子の小型化が急速に進
む中で薄膜コンデンサの小型化は遅れており、より一層
の高集積化を阻む大きな要因となってきている。これ
は、従来用いられている誘電体薄膜材料がSiO2、S
i3N4等のような誘電率がたかだか10以下の材料に限
られているためであり、薄膜コンデンサを小型化する手
段として誘電率の大きな誘電体薄膜を開発することが必
要となっている。化学式ABO3で表されるペロブスカ
イト型酸化物であるBaTiO3、SrTiO3、PbZ
rO3およびイルメナイト型酸化物LiNbO3あるいは
Bi4Ti3O12等の強誘電体に属する酸化物は、上記の
単一組成並びに相互の固溶体組成で、単結晶あるいはセ
ラミックにおいて、100以上,10000にも及ぶ誘
電率を有することが知られており、セラミック・コンデ
ンサに広く用いられている。これらの材料の薄膜化は上
述の薄膜コンデンサの小型化に極めて有効であり、かな
り以前から研究が行われている。それらの中で比較的良
好な特性が得られている例としては、プロシーディング
・オブ・ザ・アイ・イー・イー・イー(Proceedings of
the IEEE),第59巻,10号,1440−1447
頁に所載の論文があり、スパッタリングによる成膜およ
び熱処理を行ったBaTiO3薄膜で16(室温で作
成)から1900(1200℃で熱処理)の誘電率が得
られている。
いる電極材料は多結晶シリコンあるいはシリコン基板自
体の一部に不純物を高濃度にドーピングした低抵抗シリ
コン層である。以下これらを総称してシリコン電極と呼
ぶ。シリコン電極は微細加工技術が確立されており、す
でに広く用いられているため、シリコン電極上に良好な
高誘電率薄膜が作製できれば、集積回路用コンデンサへ
の利用が可能となる。従来技術では、例えばIBM・ジ
ャーナル・オブ・リサーチ・アンド・ディベロップメン
ト(IBM Journal of Research and Development),19
69年11月号,686−695頁に所載のSrTiO
3膜に関する論文が、ジャーナル・オブ・バキューム・
サイエンス・アンド・テクノロジー(Journal of Vacuu
m Science and Technology),第16巻,2号,315
−318頁に所載のBaTiO3に関する論文が報告さ
れている。
を得るためには高い成膜温度を必要とするが、従来シリ
コン電極上に作成されているBaTiO3等の誘電体薄
膜は、約100オングストロームの二酸化シリコン(S
iO2)に等価な層が界面に形成されてしまうと報告さ
れている。この界面層は誘電率が低い層であるため、結
果としてシリコン上に形成した高誘電率薄膜の実効的な
誘電率は大きく低下してしまい、高誘電率材料を用いる
利点がほとんど損われていた。貴金属以外の金属を電極
に用いた場合も同様である。本発明の目的は、このよう
な従来の問題点を解決することにある。
電極が形成され、該電極上に導電性窒化膜が形成され、
該窒化膜上に白金族元素からなる高融点貴金属膜が形成
され、該貴金属膜上に誘電体膜が形成され、該誘電体膜
上に導電性窒化膜が形成され、該窒化膜上に金属電極が
形成されてなる薄膜キャパシタであって、導電性窒化膜
がTaN、ZrNまたはHfNからなることを特徴とす
る薄膜キャパシタである。
酸化したシリコン基板1と、その上に形成された多結晶
シリコン電極2と、その上に形成された導電性窒化膜3
と、その上に形成されたBaTiO3誘電体膜4と、そ
の上に形成されたTaN導電性窒化膜5と、その上に形
成されたアルミ電極6からなる。水蒸気酸化でシリコン
基板表面に1μmのシリコン酸化膜を形成した後、下部
電極としてCVD法により多結晶シリコン膜を0.5μ
m、導電性窒化膜としてTaN、HfNまたはZrNを
DCマグネトロンスパッタ法により厚さ0.05μm堆
積した。窒化膜作製後、急速加熱法により窒素中、80
0℃、10秒間の窒化処理を行った。BaTiO3膜は
RFマグネトロンスパッタ法により、室温から650℃
の基板温度範囲で0.3μm堆積した。上部電極とし
て、TaNとアルミを順次DCスパッタ法で作製した。
の関係を示す。参考に金属電極上に導電性窒化膜がない
もの、即ち多結晶シリコン電極上に直接BaTiO3を
成膜したキャパシタの特性も併せて示してある。誘電率
が低下する温度はTaN、HfN、ZrNの順で高い。
導電性窒化膜は500℃以下でシリコンの酸化を防ぐ
が、より高温ではそれ自身が酸化して誘電体膜の誘電率
が見かけ上低下する。また、導電性窒化膜はシリコンの
拡散に対してバリアとしても働いている。シリコンが導
電性窒化膜中を容易に拡散すれば、シリコンは表面で酸
化してやはり誘電率の低下を招く。
酸化したシリコン基板7と、その上に形成された多結晶
シリコン電極8と、その上に形成された導電性窒化膜9
と、その上に形成されたPt膜10と、その上に形成さ
れたBaTiO3誘電体膜11と、その上に形成された
TaN導電性窒化膜12と、その上に形成されたアルミ
電極13からなる。金属電極上の導電性窒化膜はTaN
膜を0.05μm形成し、Pt膜はDCスパッタ法で
0.05μm形成した。他は参考例と同様に行った。参
考に誘電体膜上の導電性窒化膜がない薄膜キャパシタも
作製した。作製した薄膜キャパシタを500℃、30分
間、窒化ガス中でアニールした。
の関係を示す。参考例の結果に比べて誘電率が低下する
温度が600℃以上と高くなった。これは酸素に対して
不活性なPt膜がTaN膜の酸化を防ぐためである。上
部電極が導電性窒化膜を含まずアルミのみからなる薄膜
キャパシタは、500℃のアニールにより全て初期不良
を起こした。これはアルミとBaTiO3が反応してシ
ョートするためである。誘電体膜上の導電性窒化膜は容
量膜と金属電極との相互拡散を阻止し、絶縁性劣化を防
ぐ効果がある。
にそれぞれ多結晶シリコンとアルミを使ったが、工業的
に用いられている他の金属膜、例えばW、Mo、Ni、
Cr、Ti、Cuあるいはこれらの合金を用いても良
い。またPtのかわりにPd、Rh等の白金族元素のも
のを用いても本発明の効果は変わらない。
電体膜を高い成膜温度で作製しても電極が酸化して見か
け上の誘電率が低下することはない。また、その後のプ
ロセスで高温熱処理されても絶縁特性の劣化は生じな
い。このことにより、従来よりも容量密度の高い薄膜キ
ャパシタの作製が可能となる。本発明では加工が困難な
高融点貴金属を用いているが、酸素に対するパッシベー
ションとしての機能上、膜厚は0.05μm程度でもよ
く、プロセス上問題がないのも本発明の特徴である。
タの断面図である。
す図である。
ある。
Claims (1)
- 【請求項1】 基板上に金属電極が形成され、該電極上
に導電性窒化膜が形成され、該窒化膜上に白金族元素か
らなる高融点貴金属膜が形成され、該貴金属膜上に誘電
体膜が形成され、該誘電体膜上に導電性窒化膜が形成さ
れ、該窒化膜上に金属電極が形成されてなる薄膜キャパ
シタであって、導電性窒化膜がTaN、ZrNまたはH
fNからなることを特徴とする薄膜キャパシタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04150009A JP3120568B2 (ja) | 1992-05-19 | 1992-05-19 | 薄膜キャパシタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04150009A JP3120568B2 (ja) | 1992-05-19 | 1992-05-19 | 薄膜キャパシタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05326314A JPH05326314A (ja) | 1993-12-10 |
JP3120568B2 true JP3120568B2 (ja) | 2000-12-25 |
Family
ID=15487485
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP04150009A Expired - Lifetime JP3120568B2 (ja) | 1992-05-19 | 1992-05-19 | 薄膜キャパシタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3120568B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5504041A (en) * | 1994-08-01 | 1996-04-02 | Texas Instruments Incorporated | Conductive exotic-nitride barrier layer for high-dielectric-constant materials |
US5622893A (en) * | 1994-08-01 | 1997-04-22 | Texas Instruments Incorporated | Method of forming conductive noble-metal-insulator-alloy barrier layer for high-dielectric-constant material electrodes |
JP5394987B2 (ja) * | 2010-05-28 | 2014-01-22 | 幹治 清水 | 電気エネルギー蓄積装置 |
CN106835042B (zh) * | 2017-01-16 | 2019-02-22 | 厦门大学 | 一种过渡金属氮化物超级电容器涂层材料的制备方法 |
-
1992
- 1992-05-19 JP JP04150009A patent/JP3120568B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05326314A (ja) | 1993-12-10 |
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