JP3119099B2 - 露光装置および蛍光面露光方法 - Google Patents
露光装置および蛍光面露光方法Info
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- JP3119099B2 JP3119099B2 JP06296265A JP29626594A JP3119099B2 JP 3119099 B2 JP3119099 B2 JP 3119099B2 JP 06296265 A JP06296265 A JP 06296265A JP 29626594 A JP29626594 A JP 29626594A JP 3119099 B2 JP3119099 B2 JP 3119099B2
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はカラー陰極線管の蛍光面
形成に用いる露光装置および蛍光面露光方法に関し、特
にブラックマトリクス膜を有するカラー陰極線管のパネ
ルの中央部と周辺部の輝度比を改善した蛍光面形成に好
適する露光装置および蛍光面露光方法に関する。
形成に用いる露光装置および蛍光面露光方法に関し、特
にブラックマトリクス膜を有するカラー陰極線管のパネ
ルの中央部と周辺部の輝度比を改善した蛍光面形成に好
適する露光装置および蛍光面露光方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、シャドウマスク型カラー陰極線
管では、パネルの内面に、その内側に配設されたシャド
ウマスクの開口部に対向して、吸光性物質層からなるブ
ラックマトリクス膜が形成され、このブラックマトリク
ス膜の開口部に赤、緑、青の各色に発光する微小なドッ
ト状またはストライプ状の蛍光層が形成されている。こ
のような蛍光体層は、一般に感光性物質を用いた精密写
真露光法によって形成されており、パネル内面に塗布さ
れたレジストをシャドウマスクを介して露光する工程で
は、カラー陰極線管用の露光装置が用いられる。
管では、パネルの内面に、その内側に配設されたシャド
ウマスクの開口部に対向して、吸光性物質層からなるブ
ラックマトリクス膜が形成され、このブラックマトリク
ス膜の開口部に赤、緑、青の各色に発光する微小なドッ
ト状またはストライプ状の蛍光層が形成されている。こ
のような蛍光体層は、一般に感光性物質を用いた精密写
真露光法によって形成されており、パネル内面に塗布さ
れたレジストをシャドウマスクを介して露光する工程で
は、カラー陰極線管用の露光装置が用いられる。
【０００３】このカラー陰極線管用露光装置は、図３に
示すように、パネル１とシャドウマスク２とを位置決め
して載置するテーブル３、テーブル３の下方に配置され
る光源４、テーブル３と光源４との間に配置される補正
レンズ５および調光フィルタ６とで構成され、パネル内
面全域に均一な大きさの開口部を有するドット状または
ストライプ状のブラックマトリクス膜が形成されてい
る。ところが、偏向量の大きな大形や短管長のカラー陰
極線管においては、電子ビームの収束度が偏向量により
多少異なるため、パネル１の中央部と周辺部とのブラッ
クマトリクス膜の開口部面積を等しくすると蛍光体の発
光輝度が不均一となるという問題があり、パネル１の中
央部と周辺部のブラックマトリクス膜の開口部面積比を
最適な値にコントロールする必要があった。一方、特開
昭６３−１３８６２８号公報に、中心部と周辺部との光
の透過率の異なる２枚の調光フィルタを設け、その調光
フィルタの間隔を調整して中央部と周辺部に到達する光
量を中心部から周辺部に行くにしたがって減少させ、パ
ネル周辺部のディスプレイ領域以外のブラックマトリク
ス膜の開口部面積を小さくしてパネル周辺部における色
ずれの発生を少なくし、偏向ヨークの調節を容易化した
カラー陰極線管の蛍光面形成に用いられる露光装置が開
示されている。
示すように、パネル１とシャドウマスク２とを位置決め
して載置するテーブル３、テーブル３の下方に配置され
る光源４、テーブル３と光源４との間に配置される補正
レンズ５および調光フィルタ６とで構成され、パネル内
面全域に均一な大きさの開口部を有するドット状または
ストライプ状のブラックマトリクス膜が形成されてい
る。ところが、偏向量の大きな大形や短管長のカラー陰
極線管においては、電子ビームの収束度が偏向量により
多少異なるため、パネル１の中央部と周辺部とのブラッ
クマトリクス膜の開口部面積を等しくすると蛍光体の発
光輝度が不均一となるという問題があり、パネル１の中
央部と周辺部のブラックマトリクス膜の開口部面積比を
最適な値にコントロールする必要があった。一方、特開
昭６３−１３８６２８号公報に、中心部と周辺部との光
の透過率の異なる２枚の調光フィルタを設け、その調光
フィルタの間隔を調整して中央部と周辺部に到達する光
量を中心部から周辺部に行くにしたがって減少させ、パ
ネル周辺部のディスプレイ領域以外のブラックマトリク
ス膜の開口部面積を小さくしてパネル周辺部における色
ずれの発生を少なくし、偏向ヨークの調節を容易化した
カラー陰極線管の蛍光面形成に用いられる露光装置が開
示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、パネルのブ
ラックマトリクス膜の開口部面積比はブラックマトリク
ス膜の塗布状態、シャドウマスクのマスクホール分布、
光源となる水銀灯の発光状態等の要因によりパネル毎に
異なるため、上述したブラックマトリクス膜の開口部面
積減少分布が一定の特開昭６３−１３８６２８号公報の
露光装置では対応できないという問題があった。本発明
の目的は、調光フィルタを規定位置に配置しておき、露
光光を照射してシャドウマスクの中央部と周辺部の開口
部面積に対応する輝度を予め光センサにより測定し、そ
の輝度比が一定になるように調光フィルタの位置を規定
位置に対して上下に移動させ、最適輝度比に維持してブ
ラックマトリクス膜を形成できる露光装置対して及び蛍
光面露光方法を提供することにある。
ラックマトリクス膜の開口部面積比はブラックマトリク
ス膜の塗布状態、シャドウマスクのマスクホール分布、
光源となる水銀灯の発光状態等の要因によりパネル毎に
異なるため、上述したブラックマトリクス膜の開口部面
積減少分布が一定の特開昭６３−１３８６２８号公報の
露光装置では対応できないという問題があった。本発明
の目的は、調光フィルタを規定位置に配置しておき、露
光光を照射してシャドウマスクの中央部と周辺部の開口
部面積に対応する輝度を予め光センサにより測定し、そ
の輝度比が一定になるように調光フィルタの位置を規定
位置に対して上下に移動させ、最適輝度比に維持してブ
ラックマトリクス膜を形成できる露光装置対して及び蛍
光面露光方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、光源と、パネ
ルおよび有孔のシャドウマスクを位置決めして載置する
テーブルと、前記光源と前記パネルとの間に補正レンズ
と調光フィルタを具備した露光装置において、前記調光
フィルタを基準位置に設定して前記シャドウマスクの中
央部と周辺部の孔面積に対応した輝度を測定する光セン
サと、その測定データに基づき前記シャドウマスクの中
央部と周辺部の前記輝度比を基準値と比較して、前記調
光フィルタの位置を基準位置に対して上下に移動させ前
記輝度比が基準値になるように制御する自動制御装置を
具備する露光装置を提供する。また、光源と、前記光源
とパネルとの間に補正レンズと調光フィルタおよび有孔
のシャドウマスクを介してパネル内面に塗布した感光剤
混入の吸光性物質膜を露光してブラックマトリクス膜を
形成するカラー陰極線管の蛍光面形成方法において、予
め、前記調光フィルタを基準位置に設定して前記シャド
ウマスクの中央部と周辺部の孔面積に対応した輝度を測
定し、中央部と周辺部の輝度比により前記調光フィルタ
の位置を基準位置に対して上下に移動して輝度比を基準
値に対して一定にして露光する蛍光面露光方法を提供す
る。
ルおよび有孔のシャドウマスクを位置決めして載置する
テーブルと、前記光源と前記パネルとの間に補正レンズ
と調光フィルタを具備した露光装置において、前記調光
フィルタを基準位置に設定して前記シャドウマスクの中
央部と周辺部の孔面積に対応した輝度を測定する光セン
サと、その測定データに基づき前記シャドウマスクの中
央部と周辺部の前記輝度比を基準値と比較して、前記調
光フィルタの位置を基準位置に対して上下に移動させ前
記輝度比が基準値になるように制御する自動制御装置を
具備する露光装置を提供する。また、光源と、前記光源
とパネルとの間に補正レンズと調光フィルタおよび有孔
のシャドウマスクを介してパネル内面に塗布した感光剤
混入の吸光性物質膜を露光してブラックマトリクス膜を
形成するカラー陰極線管の蛍光面形成方法において、予
め、前記調光フィルタを基準位置に設定して前記シャド
ウマスクの中央部と周辺部の孔面積に対応した輝度を測
定し、中央部と周辺部の輝度比により前記調光フィルタ
の位置を基準位置に対して上下に移動して輝度比を基準
値に対して一定にして露光する蛍光面露光方法を提供す
る。
【０００６】
【作用】上記構成によれば、調光フィルタは、通常、高
さを上げ光源から遠ざけると周辺部の光透過率が上昇
し、高さを下げ光源に近ずけると周辺部の光透過率が低
下するので、シャドウマスクの中央部と周辺部の孔面積
を光センサで測定し、その面積比が所定の基準値になる
ように調光フィルタの位置を自動制御機構により上下に
移動させ、面積比が基準値になった状態で感光剤を混入
した吸光性物質膜を露光してブラックマトリクス膜を形
成すると、シャドウマスクの孔面積や光源の発光状態に
ばらつきがあっても、開口部面積比が所定の値にコント
ロールされたブラックマトリクス膜が形成できる。した
がって、カラー陰極線管の中央部と周辺部の輝度を一定
にできる。また、調光フィルタも１枚で良いため、露光
装置も簡素化できるとともに、自動的に最適位置に設定
できるため露光作業が簡単になる。
さを上げ光源から遠ざけると周辺部の光透過率が上昇
し、高さを下げ光源に近ずけると周辺部の光透過率が低
下するので、シャドウマスクの中央部と周辺部の孔面積
を光センサで測定し、その面積比が所定の基準値になる
ように調光フィルタの位置を自動制御機構により上下に
移動させ、面積比が基準値になった状態で感光剤を混入
した吸光性物質膜を露光してブラックマトリクス膜を形
成すると、シャドウマスクの孔面積や光源の発光状態に
ばらつきがあっても、開口部面積比が所定の値にコント
ロールされたブラックマトリクス膜が形成できる。した
がって、カラー陰極線管の中央部と周辺部の輝度を一定
にできる。また、調光フィルタも１枚で良いため、露光
装置も簡素化できるとともに、自動的に最適位置に設定
できるため露光作業が簡単になる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の露光装置の実施例について、
図面を参照して説明する。従来例と同一部分には同一参
照番号を付し説明を省略する。本発明の一実施例の露光
装置は、図1に示すように、パネル１とシャドウマスク
２とを位置決めして裁置するテーブル３、テーブル３の
下方に配置される光源４、テーブル３と光源４との間に
配置される補正レンズ５および調光フィルタ６と、シャ
ドウマスク２の中央部および周辺部の孔面積をに対応す
る輝度を測定する光センサ7と、調光フィルタ６の位置
を上下に移動させる移動機構8と、輝度比を基準値と比
較して移動機構8に高さ変更信号を発信する画像処理部
９とからなる自動制御機構１０とで構成されている。
図面を参照して説明する。従来例と同一部分には同一参
照番号を付し説明を省略する。本発明の一実施例の露光
装置は、図1に示すように、パネル１とシャドウマスク
２とを位置決めして裁置するテーブル３、テーブル３の
下方に配置される光源４、テーブル３と光源４との間に
配置される補正レンズ５および調光フィルタ６と、シャ
ドウマスク２の中央部および周辺部の孔面積をに対応す
る輝度を測定する光センサ7と、調光フィルタ６の位置
を上下に移動させる移動機構8と、輝度比を基準値と比
較して移動機構8に高さ変更信号を発信する画像処理部
９とからなる自動制御機構１０とで構成されている。
【０００８】そして、この実施例の露光装置を使用した
露光方法は以下に説明するように実施される。すなわ
ち、テーブル３の所定位置にシャドウマスク２を搭載
し、光源4を発光させ、調光フィルタ６を基準位置に設
定して光センサ７でシャドウマスク２の中央部および周
辺部の一定範囲の輝度を測定する。そして、その測定デ
ータは画像処理部９に送られ、孔面積に対応する輝度が
求められ、中央部と周辺部の輝度比が基準値と比較され
る。そして、その輝度比が基準値より大きいときは調光
フィルタ６の位置を下げる信号が、輝度比が基準値より
小さいときは調光フィルタ６の位置を上げる信号が画像
処理部９から移動機構８に発信される。その信号に基づ
き、移動機構８は調光フィルタ６を基準位置に対して上
下に移動させる。このようにして、調光フィルタ６は最
適位置に設定される。次いで、光吸収物質膜をパネル内
面に塗布したパネル１をテーブル３に搭載して露光し
て、画面全域に所定の面積比の開口部を有するドットま
たはストライプ状のブラックマトリクス膜が形成され
る。以上、１個の光センサを用いてシャドウマスクの中
央部と周辺部の孔面積に対応する輝度を測定した例につ
いて説明したが、図２に示すように、複数の光センサ
７，７・・を所定位置に取付けた面状の光センサ１１を
用いれば、さらに、調整時間を短縮し、測定位置のばら
つきによる誤差を排除できる。
露光方法は以下に説明するように実施される。すなわ
ち、テーブル３の所定位置にシャドウマスク２を搭載
し、光源4を発光させ、調光フィルタ６を基準位置に設
定して光センサ７でシャドウマスク２の中央部および周
辺部の一定範囲の輝度を測定する。そして、その測定デ
ータは画像処理部９に送られ、孔面積に対応する輝度が
求められ、中央部と周辺部の輝度比が基準値と比較され
る。そして、その輝度比が基準値より大きいときは調光
フィルタ６の位置を下げる信号が、輝度比が基準値より
小さいときは調光フィルタ６の位置を上げる信号が画像
処理部９から移動機構８に発信される。その信号に基づ
き、移動機構８は調光フィルタ６を基準位置に対して上
下に移動させる。このようにして、調光フィルタ６は最
適位置に設定される。次いで、光吸収物質膜をパネル内
面に塗布したパネル１をテーブル３に搭載して露光し
て、画面全域に所定の面積比の開口部を有するドットま
たはストライプ状のブラックマトリクス膜が形成され
る。以上、１個の光センサを用いてシャドウマスクの中
央部と周辺部の孔面積に対応する輝度を測定した例につ
いて説明したが、図２に示すように、複数の光センサ
７，７・・を所定位置に取付けた面状の光センサ１１を
用いれば、さらに、調整時間を短縮し、測定位置のばら
つきによる誤差を排除できる。
【０００９】
【発明の効果】本発明によれば、シャドウマスクの中央
部と周辺部の孔面積を光センサで測定し、その面積比が
所定の基準値になるように調光フィルタの位置を自動制
御機構により上下に移動させ、面積比が基準値になった
状態で感光剤を混入した光吸収膜を露光してブラックマ
トリクス膜を形成すると、シャドウマスクの孔面積や光
源の発光状態にばらつきがあっても、開口部面積比が所
定の値にコントロールされたブラックマトリクス膜が形
成できる。したがって、カラー陰極線管の中央部と周辺
部の輝度を一定にできる。また、調光フィルタも１枚で
良いため、露光装置も簡素化できるとともに、自動的に
最適位置に設定できるため露光作業が簡単になる。
部と周辺部の孔面積を光センサで測定し、その面積比が
所定の基準値になるように調光フィルタの位置を自動制
御機構により上下に移動させ、面積比が基準値になった
状態で感光剤を混入した光吸収膜を露光してブラックマ
トリクス膜を形成すると、シャドウマスクの孔面積や光
源の発光状態にばらつきがあっても、開口部面積比が所
定の値にコントロールされたブラックマトリクス膜が形
成できる。したがって、カラー陰極線管の中央部と周辺
部の輝度を一定にできる。また、調光フィルタも１枚で
良いため、露光装置も簡素化できるとともに、自動的に
最適位置に設定できるため露光作業が簡単になる。
【図１】 本発明の一実施例の露光装置の構成図
【図２】 本発明の他の実施例の露光装置の光センサの
斜視図
斜視図
【図３】 従来の露光装置の構成図
１ パネル ２ シャドウマスク ３ テーブル ４ 光源 ５ 補正レンズ ６ 調光フィルタ ７，１１ 光センサ ８ 移動機構 ９ 画像処理部 １０ 自動制御機構
Claims (2)
- 【請求項１】光源と、パネルおよび有孔のシャドウマス
クを位置決めして載置するテーブルと、前記光源と前記
パネルとの間に補正レンズと調光フィルタを具備した露
光装置において、前記調光フィルタを基準位置に設定し
て前記シャドウマスクの中央部と周辺部の孔面積に対応
した輝度を測定する光センサと、その測定データに基づ
き前記シャドウマスクの中央部と周辺部の前記輝度比を
基準値と比較して、前記調光フィルタの位置を基準位置
に対して上下に移動させ前記輝度比が基準値になるよう
に制御する自動制御装置を具備することを特徴とする露
光装置。 - 【請求項２】光源と、前記光源とパネルとの間に補正レ
ンズと調光フィルタおよび有孔のシャドウマスクを介し
てパネル内面に塗布した感光剤混入の吸光性物質膜を露
光してブラックマトリクス膜を形成するカラー陰極線管
の蛍光面形成方法において、予め、前記調光フィルタを
基準位置に設定して前記シャドウマスクの中央部と周辺
部の孔面積に対応した輝度を測定し、中央部と周辺部の
輝度比により前記調光フィルタの位置を基準位置に対し
て上下に移動して輝度比を基準値に対して一定にして露
光することを特徴とする蛍光面露光方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06296265A JP3119099B2 (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 露光装置および蛍光面露光方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06296265A JP3119099B2 (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 露光装置および蛍光面露光方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08153467A JPH08153467A (ja) | 1996-06-11 |
| JP3119099B2 true JP3119099B2 (ja) | 2000-12-18 |
Family
ID=17831338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06296265A Expired - Fee Related JP3119099B2 (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 露光装置および蛍光面露光方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3119099B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006049145A (ja) | 2004-08-05 | 2006-02-16 | Matsushita Toshiba Picture Display Co Ltd | カラー受像管 |
| US7242137B2 (en) | 2004-09-30 | 2007-07-10 | Matsushita Toshiba Picture Display Co., Ltd. | Cathode ray tube with cone having non-circular cross-section |
| ES2384835B1 (es) * | 2009-03-18 | 2013-06-10 | Universidad De Murcia | Procedimiento para el registro de imágenes en tomografía óptica de fluorescencia y sistema de aplicación. |
-
1994
- 1994-11-30 JP JP06296265A patent/JP3119099B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08153467A (ja) | 1996-06-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |