JP3114797B2 - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents
不揮発性半導体記憶装置Info
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Description
憶装置に関し、特に、電気的にデータの書き替えが可能
なフラッシュEEPROMなどの不揮発性半導体記憶装
置に関する。
ッシュEEPROM(Electrically Erasable and Prog
rammable Read Only Memory )等の不揮発性半導体記憶
装置において、メモリセルアレイを構成する各メモリセ
ルは、MOSトランジスタのコントロールゲートとシリ
コン基板との間に電気的に絶縁されたフローティングゲ
ートを持つ構造を有している。
において、フローティングゲートに蓄積された電子の放
出は、メモリセルのドレインをフローティング状態と
し、コントロールゲートに0V、ソースに電子放出用電
圧(例えば、12V)を印加することにより行われる。
このような状態においては、メモリセルのソースからフ
ローティングゲートに向かう高電界が生じることにな
り、FN(Fowler-Nordheim )電流がメモリセルのソー
スからフローティングゲートに向かって流れる。周知の
通り、電子は電流の向きと反対に流れるため、フローテ
ィングゲートから電子を放出させることになる。
のソースへ印加される電子放出用電圧は、ソース電圧制
御回路を介して供給されるのが一般的である。また、従
来、ソース電圧制御回路は、図17に示される様に、ゲ
ートに0Vが入力されており、且つ、ソースに12Vの
電圧が供給された一つのpMOSトランジスタで構成さ
れていた。また、このようなソース電圧制御回路の負荷
特性は、図18に示される様なものであった。ここで、
このような負荷特性を有するソース電圧制御回路から電
圧を供給されるメモリセルのソースの流れる電流Is 及
びソースにかかる電圧Vs は、メモリセルのソース電流
特性とソース電圧制御回路の負荷特性との交点で決定さ
れる。尚、メモリセルのソース電流特性は、フローティ
ングゲートに蓄積されている電子の数により決まるもの
である。また、図18から理解される様に、メモリセル
のソースにかかる電圧は、電子放出動作が初期から後期
にかけて移行することにより上昇する。
不揮発性半導体記憶装置は、以下に示す様な問題を有し
ていた。
は、前述の通り、電子放出動作が初期から後期にかけて
移行することにより上昇することになる。一方、電子放
出動作が初期から後期に移行するにしたがって、メモリ
セルのフローティングゲートの電位も上昇する。ここ
で、メモリセルのソース電圧とメモリセルのフローティ
ングゲートの電位とを比較して見ると、電子放出初期か
ら電子放出後期にかけて、メモリセルのソース電圧が上
昇する以上に、メモリセルのフローティングゲートの電
位は上昇する。従って、シリコン基板とフローティング
ゲートとの間にあるトンネル膜にかかる電界は、電子放
出初期において一番高くなることになる。
かる高電界は、トンネル膜を劣化させることになり、デ
ータ書き替えの繰り返し特性やデータ書き替えの繰り返
し後のデータの保持特性に悪影響を与えることになる。
モリセルのソースに対する電子放出用電圧印加の際に該
ソースへ流れる電流Is に関して、図18から理解され
る様に、電子放出初期の電流Is は大電流であり、且
つ、電子放出初期から電子放出後期にかけての電流変動
は大きいものであった。
板間に流れる大電流を低減することができる不揮発性半
導体記憶装置として、特開平5−182483号(従来
例1)、特開平6−37285号(従来例2)、及び特
開平7−235190号(従来例3)に開示されている
ものが挙げられるが、夫々、次に示す様な問題を有して
いた。
ース電圧制御回路にディプレッションタイプのnMOS
トランジスタを備えている。ここで、ディプレッション
タイプのnMOSトランジスタは、閾値を0V以下とす
るために、チャネル領域に不純物を拡散する工程を必要
とする。即ち、ディプレッションタイプのnMOSトラ
ンジスタは、エンハンスドタイプのnMOSトランジス
タ又はpMOSトランジスタと比較して、より多くのP
R数(フォトレジスト数)、即ち、工程数を必要とする
ものである。従って、従来例1の不揮発性半導体記憶装
置は、ディプレッションタイプのnMOSトランジスタ
を備えていることから、全体として工程数が多くなると
いった問題を有していた。
モリセルのフローティングゲートから電子を放出する時
にメモリセルのソースに印加される電圧の立ち上がり時
間を制御したり、段階的に電圧を上昇させる様なソース
電圧制御回路を備えている。しかしながら、従来例2の
不揮発性半導体記憶装置は、電子放出初期における電圧
自体を下げるわけではないため、シリコン基板とフロー
ティングゲートとの間にあるトンネル膜には、依然とし
て高電界がかかることになるといった問題を有してい
た。
モリセルのフローティングゲートに蓄積された電荷をソ
ースを介して引き抜き、閾値を書き込み状態時の閾値と
目的の閾値との中間レベルに遷移させた後、更にフロー
ティングゲートの電荷をソースを介して引き抜き、閾値
を中間レベルから目的の閾値に遷移させる手段を備えて
いるものである。しかしながら、この従来例3に記載の
不揮発性半導体記憶装置は、前記従来の技術において図
18を用いて説明したものと何等異なるところがなく、
当然のことながら、電子放出初期時において、シリコン
基板とフローティングゲートとの間にあるトンネル膜に
高電界がかかるといった問題を有していた。また、従来
例3の不揮発性半導体記憶装置においては、電子放出時
においてメモリセルのソースに対して2段階に分けて夫
々所定の電圧を印加するものとしているが、ソース電圧
制御回路に関しては何等言及しておらず、メモリセルの
ソース電流特性及びソース電圧制御回路の負荷特性も考
慮していない。これらメモリセルのソース電流特性等を
考慮すれば理解される様に、メモリセルのソースに対し
て、一定期間に一定の電圧を印加することは困難であ
る。即ち、従来例3の不揮発性半導体記憶装置は、実施
不可能であるといった問題をも有していた。
として掲げている電子放出初期におけるトンネル膜にか
かる高電界を軽減するのに十分なものではなかった。
べく、電子放出初期におけるトンネル膜にかかる高電界
を軽減することができる不揮発性半導体記憶装置を提供
することにある。
した問題点を解決するために、メモリセルのソースに電
圧を印加するソース電圧制御回路の負荷特性に着目し、
該負荷特性を制御することにより、電子放出初期時にお
いてメモリセルのソースに流れていた電流を、従来のソ
ース電圧制御回路により電子放出初期時においてメモリ
セルのソースに流れていた電流より低くして、電子放出
初期においてトンネル膜にかかる高電界を軽減すること
とした。
る手段として、以下に示す第1乃至第10の不揮発性半
導体記憶装置を提供する。
導体装置として、コントロールゲート及びフローティン
グゲートを有しており電気的にデータを消去することの
できるメモリセルと、前記メモリセルのフローティング
ゲートに蓄積された電子を放出する際に前記メモリセル
のソースにかかる電圧を制御するソース電圧制御回路と
を備えた不揮発性半導体記憶装置において、前記ソース
電圧制御回路は、前記メモリセルのフローティングゲー
トから電子を放出させる際に、前記メモリセルの閾値に
応じて、負荷特性を変化させることができることを特徴
とする不揮発性半導体記憶装置が得られる。
導体記憶装置として、前記第1の不揮発性半導体記憶装
置において、前記ソース電圧制御回路は、複数のpMO
Sトランジスタ及びゲート電圧制御手段を備えており、
前記複数のpMOSトランジスタは、夫々、ソースを電
源に接続され、ドレインを前記メモリセルのソースに接
続されており、前記ゲート電圧制御手段は、前記複数の
pMOSトランジスタの夫々のゲートに接続され、前記
夫々のゲートに入力する電圧を制御するためのものであ
り、前記複数のpMOSトランジスタのゲートに入力す
る電圧を制御することにより、前記負荷特性を変化させ
ることが出来ることを特徴とする不揮発性半導体記憶装
置が得られる。
導体記憶装置として、前記第1の不揮発性半導体記憶装
置において、前記ソース電圧制御回路は、pMOSトラ
ンジスタとゲート電圧制御手段とを備えており、前記p
MOSトランジスタのソースは、電源に接続される電源
端子であり、前記pMOSトランジスタのドレインは、
前記メモリセルのソースに接続されており、前記ゲート
電圧制御手段は、該pMOSトランジスタのゲートに接
続され、該ゲートに入力する電圧を制御するためもので
あり、前記pMOSトランジスタの前記ゲートに入力す
る電圧を変化させることで前記負荷特性を変化させるこ
とができることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置が
得られる。
導体記憶装置として、前記第1の不揮発性半導体記憶装
置において、前記メモリセルの前記コントロールゲート
にかかる電圧を制御するコントロールゲート電圧制御回
路を更に備えており、該コントロールゲート電圧制御回
路は、前記メモリセルのフローティングゲートから電子
を放出させる際に、前記コントロールゲートに対して負
電圧を印加することを特徴とする不揮発性半導体記憶装
置が得られる。
導体記憶装置として、コントロールゲート及びフローテ
イングゲートを有しており電気的にデータを消去する事
のできるメモリセルと、前記メモリセルのフローテイン
グゲートに蓄積された電子を放出する際に前記メモリセ
ルのソースにかかる電圧を制御するソース電圧制御回路
とを備えた不揮発性半導体記憶装置において、前記ソー
ス電圧制御回路は、前記メモリセルのソースにゲート以
外の電極の一方が接続されたMOSトランジスタと、当
該MOSトランジスタのゲート電圧を制御するゲート電
圧制御手段とを備えており、前記MOSトランジスタの
ゲート電圧を制御することにより、電子放出初期の前記
メモリセルのソース電流と、電子放出後期の前記メモリ
セルのソース電流とが、実質的に同一となるような負荷
特性を有することを特徴とする不揮発性半導体記憶装置
が得られる。
導体記憶装置として、前記第5の不揮発性半導体記憶装
置において、前記ソース電圧制御回路は、複数のpMO
Sトランジスタを備えており、前記ゲート電圧制御手段
は、当該複数のpMOSトランジスタの夫々のゲート電
圧を制御するものであり、 前記ソース電圧制御回路は、
前記複数のpMOSトランジスタのゲート電圧を前記ゲ
ート電極制御手段により制御することにより、前記電子
放出初期から電子放出後期にかけて前記メモリセルのソ
ース電流を実質的に同一となるような負荷特性を有する
ことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置が得られる。
導体記憶装置として、前記第6の不揮発性半導体記憶装
置において、前記ソース電圧制御回路は、前記メモリセ
ルのフローティングゲートから電子を放出させるか否か
を示す電子放出信号がゲートに入力される第1のpMO
Sトランジスタと、該第1のpMOSトランジスタに対
して直列に接続された第2のpMOSトランジスタと、
該第2のpMOSトランジスタのゲートに対して、接地
電圧と電源電圧との間の電圧値を有する第2ゲート制御
電圧を印加するための第2ゲート電圧制御手段とを備え
ていることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置が得ら
れる。
導体記憶装置として、前記第7の不揮発性半導体記憶装
置において、前記第2ゲート電圧制御手段は、第3のp
MOSトランジスタ及び抵抗を備えており、前記第1の
pMOSトランジスタのソースは、電源に接続される電
源端子であり、前記第2のpMOSトランジスタのソー
スは、前記第1のpMOSトランジスタのドレインに接
続されており、前記第2のpMOSトランジスタのドレ
インは、前記メモリセルのソースに接続されており、前
記第3のpMOSトランジスタのソースは、電源に接続
される電源端子であり、前記第3のpMOSトランジス
タのドレイン及びゲートは、前記第2のpMOSトラン
ジスタのゲートに接続されており、前記抵抗は、該第3
のpMOSトランジスタのドレインに一端を接続され、
他端を接地されていることにより、前記第2のpMOS
トランジスタのゲートに対して、接地電圧と電源電圧と
の間の電圧値を有する第2ゲート制御電圧を印加するこ
とを特徴とする不揮発性半導体記憶装置が得られる。
導体記憶装置として、前記第8の不揮発性半導体装置に
おいて、前記ソース電圧制御回路は、エンハンスドタイ
プのnMOSトランジスタを更に備えており、該nMO
Sトランジスタのドレイン及びゲートは、前記第2のp
MOSトランジスタのソースに接続されており、該nM
OSトランジスタのソースは、前記第2のpMOSトラ
ンジスタのドレインに接続されていることを特徴とする
不揮発性半導体記憶装置が得られる。
半導体記憶装置として、前記第5の不揮発性半導体記憶
装置において、前記メモリセルの前記コントロールゲー
トにかかる電圧を制御するコントロールゲート電圧制御
回路を更に備えており、該コントロールゲート電圧制御
回路は、前記メモリセルのフローティングゲートから電
子を放出させる際に、前記コントロールゲートに対して
負電圧を印加することを特徴とする不揮発性半導体記憶
装置が得られる。
いて図面を参照して説明する。
の形態の不揮発性半導体記憶装置は、図1に示される様
に、メモリセルアレイ1と、行デコーダ2と、列デコー
ダ3と、列選択スイッチ4と、センス回路5と、電子放
出動作制御回路6と、比較器7と、内部アドレス発生回
路8と、ベリファイ電圧発生回路9と、ソース電圧制御
回路10とを備えているものである。
ト及びフローティングゲートを有しており、且つ、電気
的にデータの書き込み及び消去が可能なメモリセルが複
数個アレイ状に並べられてなるものである。任意の一行
を構成する所定数のメモリセルは、コントロールゲート
を行デコーダ2に共通接続されており、また、任意の一
列を構成する所定数のメモリセルは、ドレインを列選択
スイッチ4に共通接続されている。また、メモリセルア
レイ1を構成する全てのメモリセルのソースは、共通接
続されてソース電圧制御回路10に接続されている。
により指定された行に対して、ベリファイ電圧発生回路
9により供給される電子放出ベリファイ用電圧Vver を
印加するものである。
により指定された列のデータを読み出す様に、列選択ス
イッチ4を制御するものである。
された行のメモリセルの内、列選択スイッチ4により選
択された列のメモリセルのデータを検出及び増幅して、
セル読出データSDを出力するものである。
して電子放出後の期待値データEDを送出するものであ
り、また、内部アドレス発生回路8及びベリファイ電圧
発生回路9に対して、所定のメモリセルから所定数の電
子が放出されたかどうかをベリファイするための電子放
出ベリファイ信号EEVSを出力するものである。ま
た、電子放出動作制御回路6は、ソース電圧制御回路1
0に対して、メモリセルから電子放出させる際のソース
制御電圧VSCを制御するための電子放出信号EES及び
第2電子放出信号EES2を出力すると共に、ベリファ
イ電圧発生回路9に対しても第2電子放出信号EES2
を出力するものである。
読出データSDと、電子放出動作制御回路6から受けた
電子放出後の期待値データEDとを比較して、比較結果
COMPを電子放出動作制御回路6に対して出力するも
のである。
制御回路6から電子放出ベリファイ信号EEVSを受け
て、電子放出ベリファイ用内部アドレスIadを生成し、
該電子放出ベリファイ用内部アドレスIadを行デコーダ
2及び列デコーダ3に対して出力するものである。
リファイ信号EEVS及び第2電子放出信号EES2に
従って、行デコーダ2に対して、所定数の電子が放出さ
れたかどうかをメモリセルの閾値で判断するための電子
放出ベリファイ用電圧Vverを出力するものである。
性を有するものであり、電子放出信号EES及び第2電
子放出信号EES2に従って、負荷特性を変化させてメ
モリセルアレイのソースに供給するソース制御電圧VSC
を制御するものである。
憶装置においては、概略、次に示す様な動作処理を行っ
てメモリセルに蓄積された電子を放出する。
出動作制御回路6からの電子放出信号EESに従って、
メモリセルアレイ1のソースに対してソース制御電圧V
SCを供給して、一段階目の電子放出を行う。
ドレス発生回路8及びベリファイ電圧発生回路9に対し
て、電子放出ベリファイ信号EEVSを出力し、内部ア
ドレス発生回路8が、その電子放出ベリファイ信号EE
VSに従い、行デコーダ2及び列デコーダ3に対して、
電子放出ベリファイ用内部アドレスIadを出力すると共
に、ベリファイ電圧発生回路9が、その電子放出ベリフ
ァイ信号EEVSに従い、一段階目の電子放出ベリファ
イ用電圧Vver (例えば、5V)を行デコーダ2に対し
て、出力する。
路8から受けた電子放出ベリファイ用内部アドレスIad
により指定された行に対して、ベリファイ電圧発生回路
9から受けた一段階目の電子放出ベリファイ用電圧V
ver を供給すると共に、列デコーダ3が電子放出ベリフ
ァイ用内部アドレスIadに従い列選択スイッチ4に対し
て、どの列を選択するかを制御する。
イ用内部アドレスIadにより指定されたメモリセルのデ
ータを検出及び増幅して、セル読出データSDとして比
較器7に送出する。一方、電子放出動作制御回路6から
は、一段階目の電子放出後の期待値データEDが比較器
7に対して送出される。
目の電子放出後の期待値データEDとを比較して、全メ
モリセルが一段階目の電子放出をパスしているかどうか
を判定して、比較結果COMPを電子放出動作制御回路
6に対して送出する。
が一段階目の電子放出をパスしていると判定した場合、
第2電子放出信号EES2をソース電圧制御回路10及
びベリファイ電圧発生回路9に出力する。
信号EES2に従って、メモリセルアレイ1のソースに
対してソース電圧VSCを供給して、二段階目の電子放出
を行う。
検出して二段階目の電子放出が完了したかどうかを判定
する。但し、二段階目の電子放出ベリファイ用電圧V
ver は、一段階目のものより低い電圧(例えば、3V)
である。
ース電圧制御回路10は、図2及び図3に示される様
に、2つのpMOSトランジスタMP1及びMP2と、
電子放出信号EES及び第2電子放出信号EES2に従
って2つのpMOSトランジスタMP1及びMP2の夫
々のゲートに入力する電圧を制御するゲート電圧制御手
段とを備えている。尚、レベルシフタ回路11は、入力
端子INと第1及び第2の出力端子THVOUT及びB
HVOUTを備えており、入力信号に対応して、電圧レ
ベルを変化させる回路である。また、第1の出力端子T
HVOUTからは、入力端子INに入力される入力信号
と同様の変化をする電圧が出力され、第2の出力端子B
HVOUTからは、入力信号を反転させた変化をする電
圧が出力される。
路10は、図4に示される様に、pMOSトランジスタ
MP1だけがオンになっている場合の第1の負荷特性
と、2つのpMOSトランジスタMP1及びMP2の双
方がオンになっている場合の第2の負荷特性との2つの
負荷特性を備えており、例えば、図5に示される様にし
て動作する。
一段階目の電子放出期間であり、pMOSトランジスタ
MP1だけがオンして、ソース制御電圧VSCとして、電
源電圧Vppを供給する。この場合のソース電圧制御回路
10の負荷特性は、図4に示される第1の負荷特性とな
る。また、メモリセルのソースに供給される電圧は、メ
モリセルの電流特性とソース電圧制御回路10の第1の
負荷特性との交点(図4の点a及び点b)で求まる電圧
である。
放出が終了したかどうかをベリファイする一段階目の電
子放出ベリファイ期間であり、電子放出ベリファイ用電
圧Vver を例えば5Vとして、電子放出ベリファイを行
う。ここで、全てのメモリセルが一段階目の電子放出を
パスしたものとして、以下話を進めるが、全てのメモリ
セルが一段階目の電子放出をパスしなかった場合、再び
時間t1 〜時間t2 間の処理を行うことは言うまでもな
い。
放出期間であり、2つのpMOSトランジスタMP1及
びMP2の双方がオンして、ソース制御電圧VSCとし
て、電源電圧Vppを供給する。この場合のソース電圧制
御回路10の負荷特性は、図4に示される第2の負荷特
性となる。また、メモリセルのソースに供給される電圧
は、メモリセルの電流特性とソース電圧制御回路10の
第2の負荷特性との交点(図4の点c及び点d)で求ま
る電圧となる。
放出が終了したかどうかをベリファイする二段階目の電
子放出ベリファイ期間であり、電子放出ベリファイ用電
圧Vver を例えば3Vとして、電子放出ベリファイを行
う。ここで、全てのメモリセルが二段階目の電子放出を
パスすると、電子放出動作は終了する。一方、全てのメ
モリセルが二段階目の電子放出をパスしなかった場合、
再び時間t3 〜時間t4 間の処理を行う。
揮発性半導体記憶装置においては、ソース電圧制御回路
10が2つの負荷特性を有しており、電子放出初期で
は、第1の負荷特性で決まる電圧をメモリセルのソース
に供給し、その後、メモリセルに蓄積されている電子を
メモリセルの閾値で判定して、電子放出後期では第2の
負荷特性で決まる電圧をメモリセルのソースに供給する
ことができる。
出初期にメモリセルのソースに流れる電流を抑えること
ができるため、メモリセルのトンネル膜にかかる電界を
小さくすることができる。
御回路10は、2つのpMOSトランジスタMP1及び
MP2で決まる第1及び第2の負荷特性を有するものと
して説明してきたが、同様の原理に基づいて、更に多く
の、例えば4つのpMOSトランジスタを並列に配する
様な構成として、4つの負荷特性を有するものとすると
しても良いことは言うまでもない。また、その場合、メ
モリセルのソースに印加される電圧をより細かく設定で
きることも言うまでもない。
OSトランジスタMP1及びMP2のサイズについて
は、言及していないが、2つのpMOSトランジスタM
P1及びMP2のトランジスタサイズを同じものとした
り、異なるものとすることにより、ソース電圧制御回路
10の2つの負荷特性の関係を調整することができ、ひ
いてはメモリセルのソースに印加される電圧を調整する
ことができることは言うまでもない。
の形態の不揮発性半導体記憶装置は、第1の実施の形態
の不揮発性半導体記憶装置の変形であり、ソース電圧制
御回路10aに特徴を有するものである。
は、図6に示される様に、pMOSトランジスタMP
と、電子放出信号EES及び第2電子放出信号EES2
に従ってpMOSトランジスタMPのゲートに入力する
電圧を制御するゲート電圧制御手段とを備えており、3
つのpMOSトランジスタMP1、MP2、MP3とn
MOSトランジスタMN1とで決まる第1の電圧と、及
びpMOSトランジスタMP4とnMOSトランジスタ
MN2とで決まる第2の電圧との内、いずれか一方の電
圧がpMOSトランジスタMPのゲートに供給されるこ
とにより、第1の実施の形態と同様に、2つの負荷特性
を有するものであり、例えば、図7に示される様にして
動作する。尚、図7に示されていない電子放出ベリファ
イ信号EEVS、電子放出後の期待値データED、セル
読出データSD、比較結果COMP、電子放出ベリファ
イ用内部アドレスIad、及び電子放出ベリファイ用電圧
Vver に関する動作は、図5と同様であるため省略す
る。
一段階目の電子放出期間であり、pMOSトランジスタ
MP1及びnMOSトランジスタMN1がオンし、pM
OSトランジスタMP4及びnMOSトランジスタMN
2がオフして、pMOSトランジスタMPのゲートに
は、3つのpMOSトランジスタMP1、MP2、MP
3とnMOSトランジスタMN1とで決まる第1の電圧
(例えば、電源電圧Vppを12Vとした場合、6V)が
供給される。この場合、ソース電圧制御回路10aの負
荷特性は、図4に示される第1の負荷特性となる。
放出が終了したかどうかをベリファイする一段階目の電
子放出ベリファイ期間であり、電子放出ベリファイ用電
圧Vver を例えば5Vとして、電子放出ベリファイを行
う。ここで、全てのメモリセルが一段階目の電子放出を
パスしたものとして、以下話を進めるが、全てのメモリ
セルが一段階目の電子放出をパスしなかった場合、再び
時間t1 〜時間t2 間の処理を行うことは言うまでもな
い。
放出期間であり、nMOSトランジスタMN2のみがオ
ンして、pMOSトランジスタMPのゲートには、0V
が供給される。この場合、ソース電圧制御回路10aの
負荷特性は、図4に示される第2の負荷特性となる。
放出が終了したかどうかをベリファイする二段階目の電
子放出ベリファイ期間であり、電子放出ベリファイ用電
圧Vver を例えば3Vとして、電子放出ベリファイを行
う。ここで、全てのメモリセルが二段階目の電子放出を
パスすると、電子放出動作は終了する。一方、全てのメ
モリセルが二段階目の電子放出をパスしなかった場合、
再び時間t3 〜時間t4 間の処理を行う。
揮発性半導体記憶装置においても、第1の実施の形態と
同様に、ソース電圧制御回路10aが2つの負荷特性を
有しており、電子放出初期では、第1の負荷特性で決ま
る電圧をメモリセルのソースに供給し、その後、メモリ
セルに蓄積されている電子をメモリセルの閾値で判定し
て、電子放出後期では第2の負荷特性で決まる電圧をメ
モリセルのソースに供給することができる。
出初期にメモリセルのソースに流れる電流を抑えること
ができるため、メモリセルのトンネル膜にかかる電界を
小さくすることができる。
ランジスタMPのゲートに供給される電圧が、2つの電
圧値をとるものとし、ソース電圧制御回路10aが2つ
の負荷特性を有するものとして説明してきたが、同様の
原理に基づいて、pMOSトランジスタMPのゲートに
供給される電圧が、より多くの電圧値をとるものとして
も良く、その場合、ソース電圧制御回路10aの有する
負荷特性が更に多くなり、各メモリセルのソースに供給
される電圧を、より細かく設定することが可能であるこ
とは言うまでもない。
の形態の不揮発性半導体記憶装置は、第2の実施の形態
と同様、第1の実施の形態の不揮発性半導体記憶装置の
変形であり、ソース制御回路10bに特徴を有するもの
である。
は、図8に示される様に、pMOSトランジスタMP
と、電子放出信号EES及び第2電子放出信号EES2
に従ってpMOSトランジスタMPのゲートに入力する
電圧を制御するゲート電圧制御手段とを備えており、抵
抗Rと2つのnMOSトランジスタMN1又はMN2の
いずれか一方とで決定される電圧がpMOSトランジス
タMPのゲートに供給されることにより、第2の実施の
形態と同様に、2つの負荷特性を有するものであり、例
えば、図9に示される様にして動作する。尚、図9に示
されていない電子放出ベリファイ信号EEVS、電子放
出後の期待値データED、セル読出データSD、比較結
果COMP、電子放出ベリファイ用内部アドレスIad、
及び電子放出ベリファイ用電圧Vver に関する動作は、
図5と同様であるため省略する。
一段階目の電子放出期間であり、pMOSトランジスタ
MP1及びnMOSトランジスタMN1がオンし、pM
OSトランジスタMPのゲートには、抵抗RとnMOS
トランジスタMN1との接続点で決まる第1の電圧(例
えば、電源電圧Vppを12Vとした場合であって、接続
点を挟んだ抵抗の抵抗比が1:1であった場合、6V)
が供給される。この場合、ソース電圧制御回路10bの
負荷特性は、図4に示される第1の負荷特性となる。
放出が終了したかどうかをベリファイする一段階目の電
子放出ベリファイ期間であり、電子放出ベリファイ用電
圧Vver を例えば5Vとして、電子放出ベリファイを行
う。ここで、全てのメモリセルが一段階目の電子放出を
パスしたものとして、以下話を進めるが、全てのメモリ
セルが一段階目の電子放出をパスしなかった場合、再び
時間t1 〜時間t2 間の処理を行うことは言うまでもな
い。
放出期間であり、pMOSトランジスタMP1及びnM
OSトランジスタMN2がオンして、pMOSトランジ
スタMPのゲートには、0Vが供給される。この場合、
ソース電圧制御回路10bの負荷特性は、図4に示され
る第2の負荷特性となる。
放出が終了したかどうかをベリファイする二段階目の電
子放出ベリファイ期間であり、電子放出ベリファイ用電
圧Vver を例えば3Vとして、電子放出ベリファイを行
う。ここで、全てのメモリセルが二段階目の電子放出を
パスすると、電子放出動作は終了する。一方、全てのメ
モリセルが二段階目の電子放出をパスしなかった場合、
再び時間t3 〜時間t4 間の処理を行う。
揮発性半導体記憶装置においても、第2の実施の形態と
同様に、ソース電圧制御回路10bが2つの負荷特性を
有しており、電子放出初期では、第1の負荷特性で決ま
る電圧をメモリセルのソースに供給し、その後、メモリ
セルに蓄積されている電子をメモリセルの閾値で判定し
て、電子放出後期では第2の負荷特性で決まる電圧をメ
モリセルのソースに供給することができる。
出初期にメモリセルのソースに流れる電流を抑えること
ができるため、メモリセルのトンネル膜にかかる電界を
小さくすることができる。
ランジスタMPのゲートに供給される電圧が、2つの電
圧値をとるものとし、ソース電圧制御回路10bが2つ
の負荷特性を有するものとして説明してきたが、同様の
原理に基づいて、pMOSトランジスタMPのゲートに
供給される電圧が、より多くの電圧値をとるものとして
も良く、その場合、ソース電圧制御回路10bの有する
負荷特性が更に多くなり、各メモリセルのソースに供給
される電圧を、より細かく設定することが可能であるこ
とは言うまでもない。
の形態の不揮発性半導体記憶装置は、図10に示される
様に、メモリセルアレイ1と、行デコーダ2と、列デコ
ーダ3と、列選択スイッチ4と、センス回路5と、電子
放出動作制御回路6aと、比較器7と、内部アドレス発
生回路8と、ソース電圧制御回路10と、コントロール
ゲート電圧制御回路13とを備えているものである。
尚、図10において、図1に示される各構成要素と同様
の動作をする構成要素については、同じ参照符号を付し
てある。
れる電子放出動作制御回路6とほぼ同様の動作をする
が、電子放出ベリファイ信号EEVSをベリファイ電圧
発生回路9の代わりにコントロールゲート電圧制御回路
13に対して出力すると共に、電子放出信号EES及び
第2電子放出信号EES2をもコントロールゲート電圧
制御回路13に対して出力する。
電子放出ベリファイ信号EEVS及び第2電子放出信号
EES2に従い、電子放出をベリファイする際にコント
ロールゲートに印加される電子放出ベリファイ用電圧V
ver を、行デコーダ2に対して出力すると共に、電子放
出信号EES及び第2電子放出信号EES2に従って、
メモリセルのフローティングゲートから電子を放出させ
る際にメモリセルのコントロールゲートに対して印加さ
れる負電圧であるコントロールゲート制御電圧V
CGC を、行デコーダ2に対して出力するものである。
メモリセルのコントロールゲートに負電圧を印加する方
式を、第1の実施の形態の不揮発性半導体記憶装置に適
用した例について説明したが、前述の第2及び第3の実
施の形態の不揮発性半導体記憶装置に対しても、同様に
して適用できることは言うまでもない。即ち、本実施の
形態のソース電圧制御回路10を、第2又は第3の実施
の形態のソース電圧制御回路10a又は10bに置き換
えれば良い。
の形態の不揮発性半導体記憶装置は、図11に示される
様に、メモリセルアレイ1と、行デコーダ2と、列デコ
ーダ3と、列選択スイッチ4と、センス回路5と、電子
放出動作制御回路6bと、比較器7と、内部アドレス発
生回路8と、ベリファイ電圧発生回路9と、ソース電圧
制御回路12とを備えているものである。尚、図11に
おいて、図1に示される各構成要素と同様の動作をする
構成要素については、同じ参照符号を付してある。
れる電子放出動作制御回路6とほぼ同様の動作をする
が、ソース電圧制御回路12に対しては電子放出信号E
ESのみを出力する。
レッションタイプのnMOSトランジスタを含まずに構
成されており、電子放出初期におけるメモリセルのソー
ス電流と、電子放出後期におけるメモリセルのソース電
流とが実質的に同一となる様な負荷特性を有するもので
ある。
は、図12に示される様に、第1及び第2のpMOSト
ランジスタMP1及びMP2と、第2ゲート電圧制御手
段14とで主要部を構成されている。また、第2ゲート
電圧制御手段14は、第3のpMOSトランジスタMP
3と抵抗Rとを備えている。第1のpMOSトランジス
タMP1のソースには、電源電圧Vppが供給されてお
り、第2のpMOSトランジスタMP2のソースには、
第1のpMOSトランジスタMP1のドレインが接続さ
れている。また、第2のpMOSトランジスタMP2の
ドレインは、メモリセルアレイ1のソースに接続されて
いる。第3のpMOSトランジスタMP3のソースに
は、電源電圧Vppが供給されており、第3のpMOSト
ランジスタMP3のドレイン及びゲートは、抵抗Rの一
端に接続されている。また、第2のpMOSトランジス
タMP2のゲートには、第3のpMOSトランジスタM
P3及び抵抗Rにて決定される電位であって、接地電圧
と電源電圧との間の電圧値を有する第2ゲート制御電圧
が供給されている。
ース電圧制御回路12は、図13に示される様な負荷特
性を備えており、電子放出初期におけるメモリセルアレ
イ1のソースに流れる電流を抑えることができる。
回路12によれば、電子放出初期時において、メモリセ
ルのトンネル膜にかかる電界を小さくすることができ
る。
の形態の不揮発性半導体記憶装置は、第5の実施の形態
の改良版であり、従って、ソース電圧制御回路12a以
外の構成要素は、第5の実施の形態の不揮発性半導体記
憶装置と同様である。
は、図14に示される様に、その主要部として、第5の
実施の形態のソース電圧制御回路12の主要部にnMO
SトランジスタMN1を追加した構成を備えるものであ
る。
路12aは、図15に示される様に、前述の図13に示
される負荷特性と追加されたnMOSトランジスタMN
1の有する負荷特性とを合成した負荷特性を備えてお
り、第5の実施の形態と同様に、電子放出初期における
メモリセルアレイ1のソースに流れる電流を抑えること
ができると共に、電子放出初期に至るまでの間の時間を
短縮することができるものである。
圧制御回路12aによれば、電子放出初期時において、
メモリセルのトンネル膜にかかる電界を小さくすること
ができると共に、前述の第5の実施の形態と比較して、
電子放出にかかる時間を短縮することができる。
の形態の不揮発性半導体記憶装置は、図16に示される
様に、メモリセルアレイ1と、行デコーダ2と、列デコ
ーダ3と、列選択スイッチ4と、センス回路5と、電子
放出動作制御回路6cと、比較器7と、内部アドレス発
生回路8と、ソース電圧制御回路12と、コントロール
ゲート電圧制御回路13とを備えているものである。
尚、図16において、図11に示される各構成要素と同
様の動作をする構成要素については、同じ参照符号を付
してある。
される電子放出動作制御回路6bとほぼ同様の動作をす
るが、電子放出ベリファイ信号EEVSをベリファイ電
圧発生回路9の代わりにコントロールゲート電圧制御回
路13に対して出力すると共に、電子放出信号EESを
もコントロールゲート電圧制御回路13に対して出力す
る。
電子放出ベリファイ信号EEVSに従い、電子放出をベ
リファイする際にコントロールゲートに印加される電子
放出ベリファイ用電圧Vver を、行デコーダ2に対して
出力すると共に、電子放出信号EESに従って、メモリ
セルのフローティングゲートから電子を放出させる際に
メモリセルのコントロールゲートに対して印加される負
電圧であるコントロールゲート制御電圧VCGC を、行デ
コーダ2に対して出力するものである。
メモリセルのコントロールゲートに負電圧を印加する方
式を、第5の実施の形態の不揮発性半導体記憶装置に適
用した例について説明したが、前述の第6の実施の形態
の不揮発性半導体記憶装置に対しても、同様にして適用
できることは言うまでもない。即ち、本実施の形態のソ
ース電圧制御回路12を、第6の実施の形態のソース電
圧制御回路12aに置き換えれば良い。
ば、メモリセルアレイのソースに印加する電圧を制御す
るソース電圧制御回路が、以下に示す様な2つの特徴あ
る負荷特性のいずれか一方の負荷特性を有していること
により、電子放出初期時においてメモリセルのトンネル
膜にかかる電界を小さくすることができる。
徴の一方は、負荷特性を複数有しており、且つ、メモリ
セルの閾値に応じて負荷特性を変化させることができる
ことである。
の他方は、電子放出初期のメモリセルのソース電流と、
電子放出後期のメモリセルのソース電流とが、実質的に
同一となるような負荷特性を有していることである。
憶装置の構成を示すブロック図である。
路の構成を示す図である。
回路の構成を示す図である。
路の有する負荷特性を示す図である。
ングチャートである。
路の構成を示す図である。
ングチャートである。
路の構成を示す図である。
ングチャートである。
記憶装置の構成を示すブロック図である。
記憶装置の構成を示すブロック図である。
回路の構成を示す図である。
回路の有する負荷特性を示す図である。
回路の構成を示す図である。
回路の有する負荷特性を示す図である。
記憶装置の構成を示すブロック図である。
ある。
を示す図である。
Claims (10)
- 【請求項1】 コントロールゲート及びフローティング
ゲートを有しており電気的にデータを消去することので
きるメモリセルと、前記メモリセルのフローティングゲ
ートに蓄積された電子を放出する際に前記メモリセルの
ソースにかかる電圧を制御するソース電圧制御回路とを
備えた不揮発性半導体記憶装置において、 前記ソース電圧制御回路は、前記メモリセルのフローテ
ィングゲートから電子を放出させる際に、前記メモリセ
ルの閾値に応じて、負荷特性を変化させることができる
ことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装
置において、 前記ソース電圧制御回路は、複数のpMOSトランジス
タ及びゲート電圧制御手段を備えており、 前記複数のpMOSトランジスタは、夫々、ソースを電
源に接続され、ドレインを前記メモリセルのソースに接
続されており、 前記ゲート電圧制御手段は、前記複数のpMOSトラン
ジスタの夫々のゲートに接続され、前記夫々のゲートに
入力する電圧を制御するためのものであり、 前記複数のpMOSトランジスタのゲートに入力する電
圧を制御することにより、前記負荷特性を変化させるこ
とが出来ることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 【請求項3】 請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装
置において、 前記ソース電圧制御回路は、pMOSトランジスタとゲ
ート電圧制御手段とを備えており、 前記pMOSトランジスタのソースは、電源に接続され
る電源端子であり、 前記pMOSトランジスタのドレインは、前記メモリセ
ルのソースに接続されており、 前記ゲート電圧制御手段は、該pMOSトランジスタの
ゲートに接続され、該ゲートに入力する電圧を制御する
ためものであり、 前記pMOSトランジスタの前記ゲートに入力する電圧
を変化させることで前記負荷特性を変化させることがで
きることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 【請求項4】 請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装
置において、 前記メモリセルの前記コントロールゲートにかかる電圧
を制御するコントロールゲート電圧制御回路を更に備え
ており、 該コントロールゲート電圧制御回路は、前記メモリセル
のフローティングゲートから電子を放出させる際に、前
記コントロールゲートに対して負電圧を印加することを
特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 【請求項5】 コントロールゲート及びフローテイング
ゲートを有しており電気的にデータを消去する事のでき
るメモリセルと、前記メモリセルのフローテイングゲー
トに蓄積された電子を放出する際に前記メモリセルのソ
ースにかかる電圧を制御するソース電圧制御回路とを備
えた不揮発性半導体記憶装置において、 前記ソース電圧制御回路は、前記メモリセルのソースに
ゲート以外の電極の一方が接続されたMOSトランジス
タと、当該MOSトランジスタのゲート電圧を制御する
ゲート電圧制御手段とを備えており、前記MOSトラン
ジスタのゲート電圧を制御することにより、電子放出初
期の前記メモリセルのソース電流と、電子放出後期の前
記メモリセルのソース電流とが、実質的に同一となるよ
うな負荷特性を有することを特徴とする不揮発性半導体
記憶装置。 - 【請求項6】 請求項5に記載の不揮発性半導体記憶装
置において、 前記ソース電圧制御回路は、複数のpMOSトランジス
タを備えており、前記ゲート電圧制御手段は、当該複数のpMOSトラン
ジスタの夫々のゲート電圧を制御するものであり、 前記ソース電圧制御回路は、前記複数のpMOSトラン
ジスタのゲート電圧を前記ゲート電極制御手段により制
御することにより、 前記電子放出初期から電子放出後期
にかけて前記メモリセルのソース電流を実質的に同一と
なるような負荷特性を有することを特徴とする不揮発性
半導体記憶装置。 - 【請求項7】 請求項6に記載の不揮発性半導体記憶装
置において、 前記ソース電圧制御回路は、 前記メモリセルのフローティングゲートから電子を放出
させるか否かを示す電子放出信号がゲートに入力される
第1のpMOSトランジスタと、 該第1のpMOSトランジスタに対して直列に接続され
た第2のpMOSトランジスタと、 該第2のpMOSトランジスタのゲートに対して、接地
電圧と電源電圧との間の電圧値を有する第2ゲート制御
電圧を印加するための第2ゲート電圧制御手段とを備え
ていることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 【請求項8】 請求項7に記載の不揮発性半導体記憶装
置において、 前記第2ゲート電圧制御手段は、第3のpMOSトラン
ジスタ及び抵抗を備えており、 前記第1のpMOSトランジスタのソースは、電源に接
続される電源端子であり、 前記第2のpMOSトランジスタのソースは、前記第1
のpMOSトランジスタのドレインに接続されており、 前記第2のpMOSトランジスタのドレインは、前記メ
モリセルのソースに接続されており、 前記第3のpMOSトランジスタのソースは、電源に接
続される電源端子であり、 前記第3のpMOSトランジスタのドレイン及びゲート
は、前記第2のpMOSトランジスタのゲートに接続さ
れており、 前記抵抗は、該第3のpMOSトランジスタのドレイン
に一端を接続され、他端を接地されていることにより、 前記第2のpMOSトランジスタのゲートに対して、接
地電圧と電源電圧との間の電圧値を有する第2ゲート制
御電圧を印加することを特徴とする不揮発性半導体記憶
装置。 - 【請求項9】 請求項8に記載の不揮発性半導体記憶装
置において、 前記ソース電圧制御回路は、エンハンスドタイプのnM
OSトランジスタを更に備えており、 該nMOSトランジスタのドレイン及びゲートは、前記
第2のpMOSトランジスタのソースに接続されてお
り、 該nMOSトランジスタのソースは、前記第2のpMO
Sトランジスタのドレインに接続されていることを特徴
とする不揮発性半導体記憶装置。 - 【請求項10】 請求項5に記載の不揮発性半導体記憶
装置において、 前記メモリセルの前記コントロールゲートにかかる電圧
を制御するコントロールゲート電圧制御回路を更に備え
ており、 該コントロールゲート電圧制御回路は、前記メモリセル
のフローティングゲートから電子を放出させる際に、前
記コントロールゲートに対して負電圧を印加することを
特徴とする不揮発性半導体記憶装置。
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