JP3109576B2 - 信号波形測定プローブ - Google Patents

信号波形測定プローブ

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JP3109576B2 JP09069728A JP6972897A JP3109576B2 JP 3109576 B2 JP3109576 B2 JP 3109576B2 JP 09069728 A JP09069728 A JP 09069728A JP 6972897 A JP6972897 A JP 6972897A JP 3109576 B2 JP3109576 B2 JP 3109576B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板等の
電気回路の所定部分の電気信号波形を測定する装置の測
定プローブに関し、特に、被測定物の電圧によって光の
偏光状態が変化することを利用して、実装プリント基板
配線等の電気信号を測定する信号波形測定プローブ(以
下測定プローブと記す)に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、ボード等に実装されている電子部
品の端子、或いは、プリント基板のテストパッド等に測
定プローブを接触させて、被測定信号を測定プローブに
誘導して信号波形を測定する信号波形測定装置として、
図5(a)、(b)に示す構造の信号波形測定装置が特
願平7−262432号公報に記載されている。
【0003】図5(a)、(b)に示す信号波形測定装
置は、電気光学効果を利用して電気信号波形を測定する
装置で、測定プローブ1と、レーザダイオードを駆動す
るLD駆動回路41と、フォトダイオード52の出力を
増幅する増幅器53と、信号波形を表示する信号波形表
示装置54とから構成されている。測定プローブ1は、
電界によって光学的性質が変化する電気光学材料で成る
電気光学効果素子(以下、E−O素子と記す)10を備
えて、このE−O素子10に被測定部の電圧を誘導する
プローブ先端部1bと、E−O素子10に光を照射し
て、E−O素子10で反射した光の偏光状態の変化を検
出する光学系を組み込んだプローブ基部1aとから成
り、プローブ基部1aとプローブ先端部1bが固着され
て一体化している。プローブ先端部1bは、図5(b)
に示すように、端面にE−O素子10が接着した円柱状
金属芯棒6の周りを絶縁体56で囲み、更にその周りを
金属製の外心57で囲み、外心57を、接地用端子12
及び金属芯棒上のE−O素子10の透明導電層11と接
続して、金属芯棒6が、周囲からの電界の影響を受けな
い構造になっている。プローブ基部1aに組み込まれた
光学系は、レーザダイオード42、コリメートレンズ4
4、アイソレータ45、偏光ビームスプリッタ46、集
光レンズ47、λ/4板50、ウォラストンプリズム5
1、フォトダイオード52の光学要素を備え、各光学要
素が、図5(a)に示すように配置されている。
【0004】この信号波形測定装置は、LD駆動回路4
1によって駆動されたレーザダイオード42からレーザ
光43を出力する。レーザ出力光43はコリメートレン
ズ44で平行光にされた後アイソレータ45を通過し、
更に偏光ビームスプリッタ46を通過し、集光レンズ4
7で集光されて、プローブ先端部1bの金属芯棒端面に
接着されたE−O素子10に直線偏光で入射する。E−
O素子10に入射したレーザ光は、被測定部の電圧値に
応じて屈折率変化が生じたE−O素子10によって偏光
面が変化し、反射されて、楕円偏光になって再び偏光ビ
ームスプリッタ46に入射する。偏光ビームスプリッタ
46に再入射したレーザ光43は偏光ビームスプリッタ
46で反射され、λ/4板50を通過することにより、
E−O素子10への入射光の直線偏光方向に対して楕円
偏光の実効的な位相差分の角度だけ傾いた偏光面の直線
偏光となる。λ/4板50を通過して直線偏光となった
光は、さらにウォラストンプリズム51を通過すること
により偏光面が互いに直交する2つの成分に分離され、
フォトダイオード52で受光される。フォトダイオード
52は、入射光をその2つの成分の光強度に対する電流
の差に変換して出力する。フォトダイオード出力電流は
増幅器53で電流−電圧変換されて増幅され、信号波形
表示装置54でその結果が表示される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】図5(a)、(b)に
示した信号波形測定装置に用いられている測定プローブ
1は、E−O素子を搭載したプローブ先端部1bと光学
系を組み込んだプローブ基部1aとが固着・一体化して
いるため、測定毎に光の焦点調整及び光軸調整をする必
要がなく、高速に信号測定が出来るが、E−O素子が劣
化した時や、金属芯棒が変形・破損した時にこれらを交
換するには多大の工数を要し、交換が容易でない。ま
た、被測定物であるプリント基板等に形成された大小の
配線幅や、プリント基板表面を保護するレジスト膜等に
より被測定箇所に凹凸があると、プローブ先端が被測定
箇所に斜めに接触する等により充分な接触面積、接触圧
が得られず、被測定箇所との接触が不十分になり測定が
不正確になる。
【0006】更に、プローブ先端部は金属製の金属芯棒
の外周に金属製の外心を設けて、周囲からのノイズを遮
断する構造になっていて、ノイズの影響を受けない正確
な信号測定が出来るが、外心が金属製であるため、金属
芯棒に誘導される被測定物の電界が外心に漏れてE−O
素子に印加される電圧が低下し、測定感度が低下する欠
点がある。
【0007】本発明は、上記の問題点を解決し、プリン
ト基板等の信号波形測定の感度を向上させると共に、E
−O素子や金属芯棒の交換が容易で、様々な形状の被測
定物に対応できる信号波形測定プローブを提供すること
を目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、電界強度に応
じて光学的性質が変化する電気光学材料の上面に透明導
電層、下面に反射膜が設けられている電気光学効果素子
を金属芯棒の端面に備え、前記金属芯棒を介して被測定
信号による電界を前記電気光学効果素子に誘導するプロ
ーブ先端部と、前記電気光学効果素子へ光を入射させ、
前記電気光学効果素子により反射した光の状態変化を検
知して電気信号に変換する光学系を備えたプローブ基部
とを有する信号波形測定プローブに於いて、金属芯棒を
絶縁性ホルダーに挿入・固定し、ホルダーをアダプタに
固定し、アダプタを前記プローブ基部に着脱自在に装着
することにより、前記プローブ先端部と前記プローブ基
部を着脱自在に構成した信号波形測定プローブである。
【0009】ここで、金属芯棒をホルダーに固定する構
造には、ホルダー中心に設けた貫通孔に金属芯棒を挿入
して接着剤で固定する構造、或いは、ホルダーを前部と
後部に分割し、金属芯棒の中間部2段付き部を形成し、
金属芯棒の段付き部より後方を前記ホルダー後部に挿入
し、段付き部より前部を前記ホルダー前部に挿入した
後、分割したホルダーの前部と後部を固着して前記金属
芯棒を前記ホルダーに固定する構造、又は、ホルダーの
中心線を含む面で縦にホルダーを分割し、段付き金属芯
棒を側面から挟み、2分割ホルダーを固着して金属芯棒
をホルダーに固定する構成、更には、金属芯棒を、電気
光学効果素子が接着されるピンブロックと矢尻形状先端
を有するシャフトに分割し、それぞれをホルダーに挿入
した後、ピンブロックと矢尻シャフトを打ち込みにより
固着して金属芯棒をホルダーに固定する構造等を採用し
ている。
【0010】金属芯棒は、1本の棒状のものの他、金属
芯棒をE−O素子を接着する芯棒基部と被測定部に接触
する可動部に分割し、球面軸受けによって芯棒基部に可
動部を可動自在に連結した構造、或いは、芯棒基部と可
動部との間に導電性弾性体を挟んで芯棒基部と可動部と
を連結した構造でもよい。ここで、導電性弾性体として
は、導電性ゴム、金属製のバネが利用できる。
【0011】金属芯棒を保持するホルダーは、アダプタ
に着脱自在な構成、或いは、アダプタに固着・一体化し
た構成、又は、ホルダーとアダプタを一体形成した構成
の何れでもよい。ホルダー外形は、円錐状、円錐台状が
望ましいが、円筒状等であってもよい。
【0012】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図1
〜4を参照して詳細に説明する。
【0013】本発明の測定プローブ1は、図5(a)、
(b)に示した従来の測定プローブと同様に、光学系を
組み込んだプローブ基部1aと、E−O素子10を備え
たプローブ先端部1bとから成るが、プローブ先端部1
bとプローブ基部1aが着脱自在に構成されている点が
従来と異なる。プローブ基部1aに組み込んだ光学系
は、E−O素子10に光を照射し、その反射光の性質の
変化を検出して電気信号に変換する光学系であればどの
様な光学系でもよいが、本実施の形態は、図5(a)の
従来の測定プローブと同様の光学系を用いた。即ち、図
1〜4の実施の形態の測定プローブの光学系は、レーザ
ダイオード42、コリメートレンズ44、アイソレータ
45、偏光ビームスプリッタ46、集光レンズ47、λ
/4板50、ウォラストンプリズム51、フォトダイオ
ード52の光学要素から成り、図5(a)のように配置
されている。また、フォトダイオード52からの出力を
増幅する増幅器53もプローブ基部1aに組み込まれて
いる。
【0014】プローブ先端部1bは、印加電圧値(電界
強度)に応じて屈折率が変化するE−O素子10と、被
測定物の電圧をE−O素子10に印加するための金属芯
棒6を有し、後述するように、プローブ基部1aに着脱
自在な構造になっている。
【0015】金属芯棒6は、Cu、Al、Au、W、M
o、Ta、Pt、ステンレス等の金属或いは合金製で、
その後部端面にE−O素子10が接着できるよう後部が
E−O素子10よりも充分太くなっている。形状は、円
柱状、多角柱等棒状のもの、先端が細くなっているも
の、複数の部品の組み合わせから成っているもの等任意
の形状・構造のものが使用できる。
【0016】E−O素子10は、電界によって光学的性
質が変化する材料、例えば、タンタル酸リチウム(Li
TaO3 )、ニオブ酸リチウム(LiNbO3 )等を用
い、直方体に加工した電気光学材料の一方の面に透明導
電層(電極)11を設け、その対向面に反射膜11aを
形成し(図5(b)参照)、反射膜側を金属芯棒の端面
に接着して、導電層形成面側から光を入射して反射膜1
1aで反射する構造である。尚、反射膜が無くても充分
な光反射が得られれば、必ずしも反射膜を形成する必要
はない。透明導電層11は、ITO、SnO2 等を用い
る。また、Au、Ag、Cu、Pt、Al、W、Ta等
も薄く形成すれば透明導電層11として利用できる。反
射膜は、単層、多層何れの構造でもよく、Al、Ag、
Pt、Au、Cu、Rh等反射率の高い導電性の材料
や、SiOX 、SiX Y 等の誘電体材料が利用でき
る。E−O素子の接着には、Agペースト等の導電性接
着剤、或いは、AuSn、In、半田等のソルダーを用
いる。
【0017】測定原理は図5の従来例と同じである。即
ち、E−O素子10を有するプローブ先端部1bを被測
定物の所定箇所に接触させて、被測定箇所の電圧を金属
芯棒6を介してE−O素子10に印加すると共に、直線
偏光ビームをE−O素子10に照射する。このとき、E
−O素子10は、印加電圧に応じた電界が内部に生じ、
この電界の影響を受けて屈折率が変化する。光ビーム
は、屈折率が変化したE−O素子10の被測定物側の反
射膜11aで反射されて偏光状態が変化し、フォトダイ
オード52で受光される。E−O素子10で反射された
光ビームの偏光状態は、被測定物による電気光学材料の
電界強度に応じて変化するため、フォトダイオード52
の出力を増幅することにより、被測定物の所定部分の電
圧、即ち、電気信号波形が測定される。
【0018】(発明の実施の形態1)図1は、プローブ
先端部1bを断面表示した本発明における第1の実施の
形態の測定プローブ1を示す図である。図1の測定プロ
ーブ1は、プローブ基部1aの端部1cにアダプタ2に
よりプローブ先端部1bが着脱自在に装着されている。
プローブ基部1aは、前述したように、光学系を備えて
いる。プローブ先端部1bは、アダプタ2,ホルダー
4,金属芯棒6,リング9,E−O素子10,で構成さ
れている。アダプタ2は、その後端部にプローブ基部端
部嵌合孔が設けられ、この嵌合孔がプローブ基部1aの
端部1cに嵌合されて、アダプタ後部側壁に設けたねじ
3でプローブ基部1aの端部1cに着脱自在に固定され
る。アダプタ2の先端にはホルダー4を着脱自在に嵌着
するねじ孔5が設けられている。また、アダプタ2の側
壁には、接地用端子取り出し用の孔が設けられている。
尚、アダプタ形状は、円筒状、円錐台状等任意の形状で
よい。また、アダプタの材料も、金属(例えば、Al、
Cu、Au、W、Mo、Ta、Pt、ステンレス、合金
等)や導電性プラスチック等の導電性材料、アクリル、
ポリカーボネート等の絶縁材料等任意の材料が使用でき
る。導電性材料を用いると、電磁遮蔽効果が得られるの
でノイズの影響を低減できる利点がある。この実施の形
態ではアクリルを用いた。E−O素子10は、LiTa
3 結晶を用い、一方の面にITO透明導電層11を、
この対向面にAl反射膜11a(図5(b)参照)をそ
れぞれ真空蒸着により形成し、Al反射膜側をAgペー
ストによりCu製の金属芯棒6の後端面に接着してい
る。ホルダー4は、狭いところにも挿入できるように、
前方が細い円錐台状(又は、円錐状)で、後端部外周に
ねじが形成され、その後端部がアダプタ2のねじ孔5に
嵌着されてアダプタ2に着脱自在に固定されている。ホ
ルダー4の中心には、後端面にE−O素子10が接着さ
れた円柱状の金属芯棒6が挿入され、接着剤7により金
属芯棒6が固着している。更に、ホルダー4の後端面に
は複数のピン8を有するAl、Cu、Au、W、Mo、
Ta、Pt、ステンレス、合金等の金属製のリング9が
溝に埋め込まれて接着・固着され、リング9がピン8を
介して金属芯棒6の後端面に接着されたE−O素子10
の透明導電層11及び接地用端子12に電気的に接続さ
れている。ホルダー4の材料は、金属芯棒6に対して電
界の誘導の妨げとならない絶縁材料であればよく、例え
ばポリカーボネートやアクリル等を用いることができ
る。この実施の形態では、アダプタ2と同様のアクリル
を用いた。
【0019】尚、上記構造に替えて以下に示す構造を採
用しても上記構造のものと同様の効果が得られる。即
ち、金属芯棒6は、図示したように、E−O素子10が
接着している後部が前部よりも太くなっているが、先端
から後端まで同じ太さにする。又、金属芯棒を接着剤で
固定する替わりに、金属芯棒をホルダーに打ち込みによ
り固定する。リング9はホルダー後端面の溝に埋め込む
替わりに、ホルダー端面上に接着・固定した構造とす
る。アダプタ2とプローブ基部の接続構造を、アダプタ
2とホルダー4の接続構造の様にする。或いは、アダプ
タ2とホルダー4の接続構造をアダプタ2とプローブ基
部の接続構造の様にする。又は、アダプタ2とホルダー
を固着・一体化、或いは、一体に形成する。
【0020】本発明の測定プローブは、金属芯棒6を保
持するホルダー4に絶縁材料を用いたので、金属芯棒6
に誘導される被測定物の電界が漏れてE−O素子10に
印加される電圧が低下するということがないので測定感
度を向上させることが出来る。また、アダプタ2により
プローブ先端部1bが測定プローブ基部1aに着脱自在
に装着できるため、E−O素子の劣化時や金属芯棒の変
形・破損時の交換が極めて容易となる。
【0021】(発明の実施の形態2)図2は、本発明の
第2の発明の実施の形態を示すプローブ先端部の断面図
である。この実施の形態のプローブ先端部1bは、金属
芯棒をピンブロック13とシャフト15とで構成した例
である。金属芯棒以外の、アダプタ2、ホルダー4、リ
ング9、E−O素子10及びプローブ基部1aは第1の
実施の形態(図1)と同様の構成である。
【0022】ピンブロック13はシャフト15よりも太
い円柱状で、一方の端面にE−O素子10が接着され、
他方の端面にはシャフト取り付け用の穴が形成されてい
る。シャフト15は、先端14が矢尻形状で、後部がピ
ンブロック13の穴に嵌合する構造である。ピンブロッ
ク13とシャフト15はホルダー4の中心に設けた孔に
挿入され、先端矢尻形状シャフト15の後部がピンブロ
ック13の穴に打ち込まれて、シャフト15がピンブロ
ック13に嵌合・固着している。ここで、ホルダー4に
形成したピンブロック挿入孔とシャフト挿入孔は、それ
ぞれピンブロック13の太さ、シャフト15の太さに対
応した径なので、ピンブロック13および矢尻形状先端
14が、図2に示すように、シャフト挿入孔よりも大き
く、ピンブロック13にシャフト15が嵌合・固着され
ると、ピンブロック13と矢尻形状先端14がストッパ
ーになってピンブロック13とシャフト15がホルダー
4に固定され、ホルダー4から抜けることはない。この
結果、本実施の形態の測定プローブは、ホルダー4と金
属芯棒の嵌合が極めて強固となり、被測定物に金属芯棒
を強く押しつけることが可能となり、被測定物と金属芯
棒との接触抵抗が低減でき、より正確な測定を行うこと
が出来る。
【0023】尚、ピンブロック13にシャフト15を打
ち込みによって嵌合・固着しているが、アダプタ2とホ
ルダー4の接続構造のようにねじ込みによってピンブロ
ック13とシャフト15を接続・固定してもよい。更
に、ピンブロックとシャフトを一体に構成し、シャフト
15と矢尻形状先端14を別体にし、シャフトと矢尻形
状先端を打ち込み或いはねじ込みにより接続・固定する
構造にしてもよい。
【0024】(発明の実施の形態3)図3(a)は、本
発明の第3の発明の実施の形態を示すプローブ先端部の
断面図、図3(b)は、第3の実施の形態のプローブ先
端部のホルダーと金属芯棒の分解斜視図である。この実
施の形態のプローブ先端部は、金属芯棒18が、中間部
に径の太い段付き部17を有し、ホルダー4が、2分割
され、2分割ホルダーを互いに固着することで金属芯棒
をホルダーに固定した構造である。この点以外は第1の
実施の形態と同様の構成である。
【0025】図3(a)のプローブ先端部は、ホルダー
4がホルダー前部4aとホルダー後部4bとに分割され
ている。ホルダー後部4bは、第1の実施の形態と同
様、中心に金属芯棒を挿入する貫通孔を有し、外周に、
アダプタ2のねじ穴に嵌合するねじが形成され、後部端
面にリング9が設けられている。ホルダー前部4aは、
金属芯棒18を挿入する貫通孔が中心に形成されてい
る。段付き金属芯棒18は、ホルダー後部に段付き部よ
り後部が挿入され、ホルダー前部に段付き部より前の部
分が挿入され、ホルダーの前部4aと後部4bを溶融固
着したことにより、ホルダー4に固定されている。ホル
ダー4は、第1の実施の形態と同様、アダプタ2のねじ
穴にねじ込まれて固定される。また、アダプタ2がプロ
ーブ基部端部に嵌合し、ねじ3によりプローブ基部に着
脱自在に固定される。更に、E−O素子10も第1の実
施の形態と同様、金属芯棒18の後端面に接着され、E
−O素子10の透明導電層がワイヤボンディングにより
ピン8を介してリング9に電気的に接続されている。接
地用端子も同様にピン8を介してリング9に接続してい
る。
【0026】図3(b)のプローブ先端部は、ホルダー
4を、ホルダーの中心線を含む面で縦に2分割し、分割
したホルダー4c1、4c2で段付き金属芯棒18を側
面から挟み、ホルダー4c1、4c2を溶融固着して金
属芯棒をホルダーに固定した構造である。この他の点
は、図3(a)のプローブ先端部と同じである。
【0027】尚、上記プローブ先端部は、2分割したホ
ルダーを溶融により固着しているが、溶融・固着に替え
て接着剤により接着・固定してもよい。又、図示によれ
ば、金属芯棒先端は平らであるが、第2の実施の形態の
ように、金属芯棒先端を矢尻形状にしてもよい(図3
(b)は金属芯棒先端が矢尻形状に描いてある)。図3
(a)によれば、段付き部の前後で金属芯棒の太さが変
わっているが、金属芯棒の段付き部の前部と後部の太さ
を同じにしてもよい。更に、図3(b)によれば、E−
O素子が接着している金属芯棒後端部の径が他の部分の
金属芯棒の径よりも太いが、後端部も他の部分と同じ径
にしてもよい。
【0028】本実施の形態の測定プローブは、金属芯棒
段付き部がホルダー前部と後部により挟まれてホルダー
に固定されている。又、金属芯棒の側面から金属芯棒を
ホルダーで挟持して、段付き部がホルダーに埋め込まれ
た構造である。このため、第2の実施の形態と同様、ホ
ルダー4と金属芯棒の固定が極めて強固となり、被測定
物に金属芯棒を強く押しつけることが可能となり、接触
不良が回避でき、より正確な測定を行うことが出来るよ
うになった。
【0029】(発明の実施の形態4)図4(a)、
(b)は、本発明における第4の実施の形態のプローブ
先端部を示す断面図である。この図4(a)、(b)の
実施の形態のプローブ先端部は、共に金属芯棒が、後端
面にE−O素子10を接着し中間部に径の太い段付き部
17を有する芯棒基部19と、先端が前後、左右に自在
に動く可動部とから構成され、ホルダー4が、第3の実
施の形態(図3)と同様に、前部4aと後部4bに分割
されている。この他(アダプタ、E−O素子、リング
等)は第1の実施の形態と同じである。
【0030】図4(a)のプローブ先端部においては、
可動部20は、球面軸受け21によって芯棒基部19と
連結しており、図示の矢印方向A、Bに対応した動きが
自在な構成である。ホルダー前部20の可動部挿入孔
は、図示のように、可動部20の動きを阻害しないよう
前方に向かって広がった円錐状に形成されている。図4
(b)のプローブ先端部においては、芯棒基部19と可
動部24の間に導電性ゴム25が挿入され、可動部24
と芯棒基部19とが導電性ゴム25により電気的に接続
すると共に、導電性ゴム25の弾性により可動部24が
矢印方向Cに対応した動きが自在な構成である。又、可
動部24は、導電性ゴム25に接触する部分がプリント
基板配線等の被測定物に接触する先端部よりも太く形成
され、ホルダー4から抜け落ちない構造になっている。
【0031】金属芯棒(芯棒基部と可動部)の固定は、
図4(a)、(b)とも第3の実施の形態と同様の構成
である。即ち、芯棒基部19を段付き部17までホルダ
ー後部4bに挿入し、段付き部17の前方及び可動部2
0、24をホルダー前部4aに挿入し、ホルダー前部4
aと後部4bを溶着により固着・一体化して、段付き部
17をホルダーの前部4aと後部4bで挟持して金属芯
棒をホルダー4に固定した構成である。
【0032】尚、上記金属芯棒、ホルダー以外のアダプ
タ2、E−O素子10、リング9、接地用端子12、ホ
ルダー4とアダプタ2との接続構造、アダプタ2とプロ
ーブ基部との接続構造等は、第1の実施の形態ど同じで
あるので説明は省略する。又、図4(a)、(b)によ
れば、芯棒基部の段付き部より後部が、E−O素子10
を接着する後端部がその前方よりも太いが、段付き部か
ら後端部まで同一の太さにしてもよい。又、導電性ゴム
の替わりに金属製のバネを用いても同様の効果が得られ
る。更に、ホルダーを、ホルダーの中心線を含む面で縦
に分割し、分割ホルダーで段付き金属芯棒19を側面か
ら挟み、2分割ホルダーを溶融固着して金属芯棒をホル
ダーに固定する構成としてもよい。
【0033】本実施の形態の測定プローブは、金属芯棒
の先端が自在に可動する構造のため、被測定物であるプ
リント基板配線の凹凸等に即した測定が可能となり、よ
り正確な測定を行うことが出来る。
【0034】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
金属プローブの測定感度を向上させ、E−O素子の劣化
や金属芯棒の変形や破損時の交換を極めて容易に行うこ
とが出来る。更に、ホルダーと金属芯棒の固着強度を増
強すると共に、被測定物であるプリント基板配線の凹凸
に即したフレキシブルな測定が可能となるため、より正
確で高精度に信号波形測定を行うことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の信号波形測定プローブの
部分断面図。
【図2】本発明の実施の形態のプローブ先端部の断面
図。
【図3】本発明の実施の形態のプローブ先端部の断面図
及び斜視図。
【図4】本発明の実施の形態のプローブ先端部の断面
図。
【図5】従来の信号波形測定装置の構成図。
【符号の説明】
1 測定プローブ 1a プローブ基部 1b プローブ先端部 1c 端部 2 アダプタ 3 ねじ 4 ホルダー 4a ホルダー前部 4b ホルダー後部 4c1 分割ホルダー 4c2 分割ホルダー 5 ねじ孔 6 金属芯棒 7 接着剤 8 ピン 9 リング 10 E−O素子 11 透明導電層 12 接地用端子 13 ピンブロック 14 矢尻形状先端 15 シャフト 17 段付き部 18 金属芯棒 19 芯棒基部 20 可動部 21 球面軸受け 24 可動部 25 導電性ゴム 41 LD駆動回路 42 レーザダイオード 43 レーザ光 44 コリメートレンズ 45 アイソレータ 46 偏光ビームスプリッタ 47 集光レンズ 50 λ/4板 51 ウォラストンプリズム 52 フォトダイオード 53 増幅器 54 信号波形表示装置 56 絶縁体 57 外心
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平8−262117(JP,A) 特開 平8−62250(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 31/302 H01L 21/66

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電界強度に応じて光学的性質が変化する
    電気光学材料の上面に透明導電層、下面に反射膜が設け
    られている電気光学効果素子を金属芯棒の端面に備え、
    前記金属芯棒を介して被測定信号による電界を前記電気
    光学効果素子に誘導するプローブ先端部と、前記電気光
    学効果素子へ光を入射させ、前記電気光学効果素子によ
    り反射した光の状態変化を検知して電気信号に変換する
    光学系を備えたプローブ基部とを有する信号波形測定プ
    ローブにおいて、金属芯棒を、電気光学効果素子が接着
    されるピンブロックと矢尻形状先端を有するシャフトに
    分割し、それぞれを絶縁性ホルダーに挿入した後、ピン
    ブロックと矢尻シャフトを打ち込みにより固着し、前記
    ホルダーをアダプタに固定し、前記アダプタを前記プロ
    ーブ基部に着脱自在に装着することにより、前記プロー
    ブ先端と前記プローブ基部を着脱自在に構成したことを
    特徴とする信号波形測定プローブ。
  2. 【請求項2】 電界強度に応じて光学的性質が変化する
    電気光学材料の上面に透明導電層、下面に反射膜が設け
    られている電気光学効果素子を金属芯棒の端面に備え、
    前記金属芯棒を介して被測定信号による電界を前記電気
    光学効果素子に誘導するプローブ先端部と、前記電気光
    学効果素子へ光を入射させ、前記電気光学効果素子によ
    り反射した光の状態変化を検知して電気信号に変換する
    光学系を備えたプローブ基部とを有する信号波形測定プ
    ローブにおいて、絶縁性ホルダーを前部と後部に分割
    し、金属芯棒の中間部に段付き部を形成し、金属芯棒の
    段付き部より後方を前記ホルダー後部に挿入し、段付き
    部より前部を前記ホルダー前部に挿入した後、分割した
    ホルダーの前部と後部を固着して前記金属芯棒を前記ホ
    ルダーに固定し、前記ホルダーをアダプタに固定し、前
    記アダプタを前記プローブ基部に着脱自在に装着するこ
    とにより、前記プローブ先端と前記プローブ基部を着脱
    自在に構成したことを特徴とする信号波形測定プロー
    ブ。
  3. 【請求項3】 電界強度に応じて光学的性質が変化する
    電気光学材料の上面に透明導電層、下面に反射膜が設け
    られている電気光学効果素子を金属芯棒の端面に備え、
    前記金属芯棒を介して被測定信号による電界を前記電気
    光学効果素子に誘導するプローブ先端部と、前記電気光
    学効果素子へ光を入射させ、前記電気光学効果素子によ
    り反射した光の状態変化を検知して電気信号に変換する
    光学系 を備えたプローブ基部とを有する信号波形測定プ
    ローブにおいて、金属芯棒の中間部に段付き部を形成
    し、絶縁性ホルダーを、ホルダーの中心線を含む面で縦
    に2分割し、前記2分割ホルダーで前記段付き金属芯棒
    を側面から挟み、2分割ホルダーを固着して金属芯棒を
    ホルダーに固定し、前記ホルダーをアダプタに固定し、
    前記アダプタを前記プローブ基部に着脱自在に装着する
    ことにより、前記プローブ先端と前記プローブ基部を着
    脱自在に構成したことを特徴とする信号波形測定プロー
    ブ。
  4. 【請求項4】 金属芯棒を、電気光学効果素子が接着さ
    れる芯棒基部と被測定物に接触する可動部に分割し、球
    面軸受けによって前記芯棒基部に前記可動部を可動自在
    に連結したことを特徴とする請求項1〜3の何れかに
    載の信号波形測定プローブ。
  5. 【請求項5】 金属芯棒を、電気光学効果素子が接着さ
    れる芯棒基部と被測定物に接触する可動部に分割し、前
    記芯棒基部と前記可動部との間に導電性弾性体を挟んで
    前記芯棒基部と前記可動部とを連結したことを特徴とす
    る請求項1〜3の何れかに記載の信号波形測定プロー
    ブ。
  6. 【請求項6】 導電性弾性体が導電性ゴムであることを
    特徴とする請求項記載の信号波形測定プローブ。
  7. 【請求項7】 導電性弾性体が金属製のバネであること
    を特徴とする請求項記載の信号波形測定プローブ。
  8. 【請求項8】 ホルダーをアダプタに着脱自在に固定し
    たことを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載の信号
    波形測定プローブ。
  9. 【請求項9】 ホルダーをアダプタに固着・一体化、ま
    たは、ホルダーとアダプタを一体に形成したことを特徴
    とする請求項1〜7の何れかに記載の信号波形測定プロ
    ーブ。
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