JP3106991B2 - 液体材料気化装置 - Google Patents
液体材料気化装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置へ
の液体材料の供給等を好適に行い得るようにした液体材
料気化装置に関するものである。
の液体材料の供給等を好適に行い得るようにした液体材
料気化装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体デバイスの製造工程で、膜質や成
膜速度、ステップカバレッジの点でスパッタ等に比べて
優れているとして、近年、ＭｏＣＶＤ法が盛んに利用さ
れる様になった。このＣＶＤ用ガス供給方法には、バブ
リング法、昇華法等があるが、制御性、安定性の点で、
有機金属を溶剤に溶かし、反応層の直前で気化させる方
法が有力視されている。
膜速度、ステップカバレッジの点でスパッタ等に比べて
優れているとして、近年、ＭｏＣＶＤ法が盛んに利用さ
れる様になった。このＣＶＤ用ガス供給方法には、バブ
リング法、昇華法等があるが、制御性、安定性の点で、
有機金属を溶剤に溶かし、反応層の直前で気化させる方
法が有力視されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、そのための
従来の液体材料気化装置は、原料を溶剤に溶かして収容
する複数の材料容器と、各材料容器からの液体材料を１
箇所に集合させるための送液ラインと、その混合液を気
化させる気化器とを備えた構成からなるのが一般的であ
る。この場合、原料同士の混合比率を都度材料容器を取
り外すことなく変更することを可能にするために各送液
ラインに流量調節弁などを設けておくことも考えられて
いる。
従来の液体材料気化装置は、原料を溶剤に溶かして収容
する複数の材料容器と、各材料容器からの液体材料を１
箇所に集合させるための送液ラインと、その混合液を気
化させる気化器とを備えた構成からなるのが一般的であ
る。この場合、原料同士の混合比率を都度材料容器を取
り外すことなく変更することを可能にするために各送液
ラインに流量調節弁などを設けておくことも考えられて
いる。
【０００４】ところが、液体材料は実際には個々に圧縮
率や粘度等の液特性が異なるため、単に混合比に比例す
る流量調節をしたのでは、所定の混合比が正確に得られ
ない場合がある。一方、混合されたガスは気化器におい
て気化されるのであるが、液体材料によっては気化温度
等の気化条件が異なる場合があり、全ての材料にとって
適切な条件を設定することが困難となる場合が少なくな
い。
率や粘度等の液特性が異なるため、単に混合比に比例す
る流量調節をしたのでは、所定の混合比が正確に得られ
ない場合がある。一方、混合されたガスは気化器におい
て気化されるのであるが、液体材料によっては気化温度
等の気化条件が異なる場合があり、全ての材料にとって
適切な条件を設定することが困難となる場合が少なくな
い。
【０００５】本発明は、このような課題に着目してなさ
れたものであって、簡易にして高精度の混合を可能にす
る液体材料気化装置を提供することを目的としている。
れたものであって、簡易にして高精度の混合を可能にす
る液体材料気化装置を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、かかる目的を
達成するために、次のような手段を講じたものである。
すなわち、本発明の液体材料気化装置は、複数の液体材
料を混合するに際して、各々の液体材料を収容する複数
の材料容器と、各材料容器内から液体材料を導出して移
送するための複数の送液ライン及び各液体材料に使用さ
れている溶剤と同一又は同種の溶剤を移送するための送
液ラインと、各送液ラインにそれぞれ設けた流量調節手
段と、これらの流量調節手段に対して液特性を考慮し所
定混合比及び所定希釈度に見合う流量調節を行う制御手
段とを具備してなり、流量調節手段を通過した後の液体
材料及び溶剤を相互に混合し得るようにしていることを
特徴とする。
達成するために、次のような手段を講じたものである。
すなわち、本発明の液体材料気化装置は、複数の液体材
料を混合するに際して、各々の液体材料を収容する複数
の材料容器と、各材料容器内から液体材料を導出して移
送するための複数の送液ライン及び各液体材料に使用さ
れている溶剤と同一又は同種の溶剤を移送するための送
液ラインと、各送液ラインにそれぞれ設けた流量調節手
段と、これらの流量調節手段に対して液特性を考慮し所
定混合比及び所定希釈度に見合う流量調節を行う制御手
段とを具備してなり、流量調節手段を通過した後の液体
材料及び溶剤を相互に混合し得るようにしていることを
特徴とする。
【０００７】このような構成のものであれば、必要とさ
れる各液体材料の混合比に対してそれらの液体材料の圧
縮率や粘度等の液特性を考慮した適正な流量比に校正し
て各流量調節手段を作動させることができる。このた
め、単に混合比に比例する流量調節を行う場合に比べ
て、混合精度を的確に向上させることが可能となる。ま
た、複数の気化器を設けて各液体材料を何れかの気化器
に通過させた後に相互に混合するように構成すれば、各
液体材料ごとに気化温度等を踏まえた好ましい気化条件
設定を行うことができるので、最適設定を通じて各液体
材料を確実に気化させ、適正な混合ガスを生成すること
が可能となる。
れる各液体材料の混合比に対してそれらの液体材料の圧
縮率や粘度等の液特性を考慮した適正な流量比に校正し
て各流量調節手段を作動させることができる。このた
め、単に混合比に比例する流量調節を行う場合に比べ
て、混合精度を的確に向上させることが可能となる。ま
た、複数の気化器を設けて各液体材料を何れかの気化器
に通過させた後に相互に混合するように構成すれば、各
液体材料ごとに気化温度等を踏まえた好ましい気化条件
設定を行うことができるので、最適設定を通じて各液体
材料を確実に気化させ、適正な混合ガスを生成すること
が可能となる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を、図１〜図８を参
照して説明する。図１に示す液体材料気化装置は、ＣＶ
Ｄ成膜装置の構成要素であるＣＶＤリアクタ１に液体材
料を混合、気化して供給するためのもので、材料容器２
Ａ、２Ｂ、２Ｃと、溶剤専用容器２Ｄと、送液ライン４
Ａ、４Ｂ、４Ｃ、４Ｄとを具備してなる。
照して説明する。図１に示す液体材料気化装置は、ＣＶ
Ｄ成膜装置の構成要素であるＣＶＤリアクタ１に液体材
料を混合、気化して供給するためのもので、材料容器２
Ａ、２Ｂ、２Ｃと、溶剤専用容器２Ｄと、送液ライン４
Ａ、４Ｂ、４Ｃ、４Ｄとを具備してなる。
【０００９】材料容器２Ａ、２Ｂ、２Ｃには、それぞれ
共通の溶剤を用いて原料を所定の割合で溶かした液体材
料Ａ、Ｂ、Ｃが充填される。上記液体材料Ａ、Ｂ、Ｃの
原料には、例えば強誘電体薄膜を成膜するのであればＰ
ｂ、Ｚｒ、Ｔｉなどが、また高誘電体薄膜を成膜するの
であればＢａ、Ｓｒ、Ｔｉなどが、さらに超伝導薄膜を
成膜するのであればＢｉ、Ｓｒ、Ｃｕなどがそれぞれ用
いられる。勿論、原料の数に応じて用意する材料容器の
数が２個或いは４個以上になる事があるのは言うまでも
ない。
共通の溶剤を用いて原料を所定の割合で溶かした液体材
料Ａ、Ｂ、Ｃが充填される。上記液体材料Ａ、Ｂ、Ｃの
原料には、例えば強誘電体薄膜を成膜するのであればＰ
ｂ、Ｚｒ、Ｔｉなどが、また高誘電体薄膜を成膜するの
であればＢａ、Ｓｒ、Ｔｉなどが、さらに超伝導薄膜を
成膜するのであればＢｉ、Ｓｒ、Ｃｕなどがそれぞれ用
いられる。勿論、原料の数に応じて用意する材料容器の
数が２個或いは４個以上になる事があるのは言うまでも
ない。
【００１０】溶剤専用容器２Ｄには、上記各液体材料
Ａ、Ｂ、Ｃに用いているものと同一の溶剤Ｄが充填され
る。この場合、ＣＶＤ処理に化学的影響を与えない範囲
で溶剤Ｄは必ずしも同一でなくてもよく、性質を共通に
する同種の溶剤を用いることもできる。送液ライン４Ａ
〜４Ｄは、一端を各材料容器２Ａ〜２Ｃ若しくは溶剤専
用容器２Ｄの液中に浸漬する位置に配設し他端を集合位
置Ｘに集合させてなるもので、この集合位置Ｘの上流に
それぞれ流量調節手段としてポンプ５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、
５Ｄを介在させている。ポンプ５Ａ〜５Ｄには高精度で
低脈動の直列ないし並列ダブルプランジャポンプを採用
しており、プランジャの駆動回転数を通じて流量調節を
行うことが可能とされている。また、その流量調節のた
めに、制御手段たるコントローラ１０が設けてあり、こ
のコントローラ１０から各ポンプ５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５
Ｄに制御信号ａ、ｂ、ｃ、ｄを入力するようにしてい
る。コントローラ１０は、混合比及び流量をデータＮと
して入力すると、液体材料ごとに圧縮率や粘度が異なっ
ても、各液の必要流量を割り出して流量を校正し、その
校正された流量に対応する制御信号ａ〜ｄを各ポンプ５
Ａ〜５Ｄに入力するものである。
Ａ、Ｂ、Ｃに用いているものと同一の溶剤Ｄが充填され
る。この場合、ＣＶＤ処理に化学的影響を与えない範囲
で溶剤Ｄは必ずしも同一でなくてもよく、性質を共通に
する同種の溶剤を用いることもできる。送液ライン４Ａ
〜４Ｄは、一端を各材料容器２Ａ〜２Ｃ若しくは溶剤専
用容器２Ｄの液中に浸漬する位置に配設し他端を集合位
置Ｘに集合させてなるもので、この集合位置Ｘの上流に
それぞれ流量調節手段としてポンプ５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、
５Ｄを介在させている。ポンプ５Ａ〜５Ｄには高精度で
低脈動の直列ないし並列ダブルプランジャポンプを採用
しており、プランジャの駆動回転数を通じて流量調節を
行うことが可能とされている。また、その流量調節のた
めに、制御手段たるコントローラ１０が設けてあり、こ
のコントローラ１０から各ポンプ５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５
Ｄに制御信号ａ、ｂ、ｃ、ｄを入力するようにしてい
る。コントローラ１０は、混合比及び流量をデータＮと
して入力すると、液体材料ごとに圧縮率や粘度が異なっ
ても、各液の必要流量を割り出して流量を校正し、その
校正された流量に対応する制御信号ａ〜ｄを各ポンプ５
Ａ〜５Ｄに入力するものである。
【００１１】ところで、この実施例では送液ライン４
Ａ、４Ｂ、４Ｃ、４Ｄ以外に外部供給ライン６Ａ、６
Ｂ、６Ｃ、６Ｄ、パージライン７、バキュームライン８
及び溶剤バイパスライン９等を可能な限り配管を共用し
且つ配管の接点の周辺に多数のバルブ（図示省略）を組
み込んで構成しているものであり、上記送液ライン４
Ａ、４Ｂ、４Ｃ、４Ｄは所要のバルブ開閉操作を通じて
図２中矢印ａ１、ｂ１、ｃ１、ｄ１に沿ってそれぞれ容
器２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄから集合位置Ｘへ送液される
ものである。
Ａ、４Ｂ、４Ｃ、４Ｄ以外に外部供給ライン６Ａ、６
Ｂ、６Ｃ、６Ｄ、パージライン７、バキュームライン８
及び溶剤バイパスライン９等を可能な限り配管を共用し
且つ配管の接点の周辺に多数のバルブ（図示省略）を組
み込んで構成しているものであり、上記送液ライン４
Ａ、４Ｂ、４Ｃ、４Ｄは所要のバルブ開閉操作を通じて
図２中矢印ａ１、ｂ１、ｃ１、ｄ１に沿ってそれぞれ容
器２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄから集合位置Ｘへ送液される
ものである。
【００１２】外部供給ライン６Ａ〜６Ｄは、所要のバル
ブ操作を通じ、図３中矢印ａ２、ｂ２、ｃ２、ｄ２に沿
って図外の供給源から各容器２Ａ〜２Ｄの入口側に液体
材料Ａ〜Ｃや溶剤Ｄを充填、補充するものである。パー
ジライン７は、各容器２Ａ〜２Ｄに対して送液の為の液
面加圧を行い、或いは容器２Ａ〜２Ｄ内、周辺管内のパ
ージを行うためのもので、液面加圧を行う場合には図２
中矢印ｅに沿って図外のＮ2やＡｒ等の不活性ガスを各
容器２Ａ〜２Ｄに供給する。また容器入口側の配管内及
び容器２内のパージを行う場合には図４中矢印ｆに沿っ
て不活性ガス供給源から容器出口側に不活性ガスを導入
する。さらに、容器入口側及び容器出口側の配管のパー
ジを行う場合は、図５中矢印ｇに沿って容器入口側から
容器２を介さず直接容器出口側を経てポンプ５Ａ〜５Ｄ
に向かい不活性ガスを送給する。
ブ操作を通じ、図３中矢印ａ２、ｂ２、ｃ２、ｄ２に沿
って図外の供給源から各容器２Ａ〜２Ｄの入口側に液体
材料Ａ〜Ｃや溶剤Ｄを充填、補充するものである。パー
ジライン７は、各容器２Ａ〜２Ｄに対して送液の為の液
面加圧を行い、或いは容器２Ａ〜２Ｄ内、周辺管内のパ
ージを行うためのもので、液面加圧を行う場合には図２
中矢印ｅに沿って図外のＮ2やＡｒ等の不活性ガスを各
容器２Ａ〜２Ｄに供給する。また容器入口側の配管内及
び容器２内のパージを行う場合には図４中矢印ｆに沿っ
て不活性ガス供給源から容器出口側に不活性ガスを導入
する。さらに、容器入口側及び容器出口側の配管のパー
ジを行う場合は、図５中矢印ｇに沿って容器入口側から
容器２を介さず直接容器出口側を経てポンプ５Ａ〜５Ｄ
に向かい不活性ガスを送給する。
【００１３】バキュームライン８は、容器２Ａ〜２Ｄ内
や周辺配管内の真空引きを行うためのもので、容器２Ａ
〜２Ｄ内の真空排気を行う場合は図３及び図４における
矢印ｈに沿って各容器２Ａ〜２Ｄ内を図外の真空ポンプ
で排気し、また周辺配管内の真空引きを行う場合は回路
上の各接点付近にある全てのバルブを開くことによって
ポンプ５Ａ〜５Ｄよりも上流側の全配管内の真空排気を
行うことができる。
や周辺配管内の真空引きを行うためのもので、容器２Ａ
〜２Ｄ内の真空排気を行う場合は図３及び図４における
矢印ｈに沿って各容器２Ａ〜２Ｄ内を図外の真空ポンプ
で排気し、また周辺配管内の真空引きを行う場合は回路
上の各接点付近にある全てのバルブを開くことによって
ポンプ５Ａ〜５Ｄよりも上流側の全配管内の真空排気を
行うことができる。
【００１４】溶剤バイパスライン９は、容器出口側に位
置する配管内の溶剤洗浄を行うためのもので、図６中矢
印ｉに沿って溶剤専用容器２Ｄから導出した溶剤Ｄを各
材料容器２Ａ〜２Ｃに向けて移送することができる。こ
の場合、各材料容器２Ａ〜２Ｃはバキュームライン８を
用いて図中矢印ｈのように排気し、溶剤容器２Ｄはパー
ジライン７を用いて図中矢印ｋのように液面加圧する。
置する配管内の溶剤洗浄を行うためのもので、図６中矢
印ｉに沿って溶剤専用容器２Ｄから導出した溶剤Ｄを各
材料容器２Ａ〜２Ｃに向けて移送することができる。こ
の場合、各材料容器２Ａ〜２Ｃはバキュームライン８を
用いて図中矢印ｈのように排気し、溶剤容器２Ｄはパー
ジライン７を用いて図中矢印ｋのように液面加圧する。
【００１５】このような構成に加え、図１に示す液体材
料気化装置は、上記集合位置Ｘよりも下流側に、液混合
の為のスタティックミキサー１１、液体材料Ａ〜Ｃ等を
気化させる為の気化器１２を設け、これらを通過した後
の混合ガスをＣＶＤリアクター１に供給するようにして
いる。なお、前記溶剤専用容器２Ｄは、別途に気化器洗
浄用に設けた溶剤移送ライン１３を通じて溶剤を直接気
化器１２の入口に移送し得るようにしている。また、気
化器１２に外部からキャリヤガス導入系路１５を通じて
不活性なキャリヤガスを導入することも可能とされてい
る。
料気化装置は、上記集合位置Ｘよりも下流側に、液混合
の為のスタティックミキサー１１、液体材料Ａ〜Ｃ等を
気化させる為の気化器１２を設け、これらを通過した後
の混合ガスをＣＶＤリアクター１に供給するようにして
いる。なお、前記溶剤専用容器２Ｄは、別途に気化器洗
浄用に設けた溶剤移送ライン１３を通じて溶剤を直接気
化器１２の入口に移送し得るようにしている。また、気
化器１２に外部からキャリヤガス導入系路１５を通じて
不活性なキャリヤガスを導入することも可能とされてい
る。
【００１６】次に、本実施例の取扱方法について説明す
る。先ず空の容器２Ａ〜２Ｄを取り付ける場合には、各
容器２Ａ〜２Ｄが接続されるべき最寄りの配管にそれぞ
れ継手ｚを介してそれらの入口側及び出口側を接続す
る。次に、全てのバルブを開いてバキュームライン８を
作動させ、容器２Ａ〜２Ｄ及び随所の配管内を真空排気
した後、図３の矢印ａ２〜ｄ２に沿って各容器２Ａ〜２
Ｄ内に液体材料Ａ〜Ｃ及び溶剤Ｄを充填する。そして、
ポンプ５Ａ〜５Ｄを作動させると共に、図２に矢印ｅで
示すパージライン７に沿って各容器２Ａ〜２Ｄの入口側
に不活性ガスを導入し液面加圧を行う。これにより、こ
れらの容器２Ａ〜２Ｄに充填されている液体材料Ａ〜Ｃ
及び溶剤Ｄが同図中矢印ａ１〜ｄ１で示すように送液ラ
イン４Ａ〜４Ｄに送り出され、ポンプ５Ａ〜５Ｄを経て
予め定めた所定の混合比に見合う流量で集合位置Ｘに集
合する。この混合比は、稼働中であってもコントローラ
１０から各ポンプ５Ａ〜５Ｄに別異の制御信号ａ〜ｄを
入力することによって変更が可能であり、混合ガスの状
態を見ながら校正することもできる。このようにして作
られた混合液は、ミキサー１１で乱流状態下に均質に混
合され、気化器１２で気化される。この気化器１２には
ＣＶＤリアクター１の他にベントライン１６が設けてあ
り、混合ガスは図８のタイムチャートで示すように成膜
中にのみＣＶＤリアクター１に送られ、成膜と成膜の間
はベントライン１６側に逃がされる。このとき、ポンプ
５Ａ〜５ＣをＯＦＦ、ポンプ５Ｄを継続的にＯＮにし
て、溶剤移送ライン１３から気化器１２に溶剤が直接移
送され、内部の洗浄が行われる。
る。先ず空の容器２Ａ〜２Ｄを取り付ける場合には、各
容器２Ａ〜２Ｄが接続されるべき最寄りの配管にそれぞ
れ継手ｚを介してそれらの入口側及び出口側を接続す
る。次に、全てのバルブを開いてバキュームライン８を
作動させ、容器２Ａ〜２Ｄ及び随所の配管内を真空排気
した後、図３の矢印ａ２〜ｄ２に沿って各容器２Ａ〜２
Ｄ内に液体材料Ａ〜Ｃ及び溶剤Ｄを充填する。そして、
ポンプ５Ａ〜５Ｄを作動させると共に、図２に矢印ｅで
示すパージライン７に沿って各容器２Ａ〜２Ｄの入口側
に不活性ガスを導入し液面加圧を行う。これにより、こ
れらの容器２Ａ〜２Ｄに充填されている液体材料Ａ〜Ｃ
及び溶剤Ｄが同図中矢印ａ１〜ｄ１で示すように送液ラ
イン４Ａ〜４Ｄに送り出され、ポンプ５Ａ〜５Ｄを経て
予め定めた所定の混合比に見合う流量で集合位置Ｘに集
合する。この混合比は、稼働中であってもコントローラ
１０から各ポンプ５Ａ〜５Ｄに別異の制御信号ａ〜ｄを
入力することによって変更が可能であり、混合ガスの状
態を見ながら校正することもできる。このようにして作
られた混合液は、ミキサー１１で乱流状態下に均質に混
合され、気化器１２で気化される。この気化器１２には
ＣＶＤリアクター１の他にベントライン１６が設けてあ
り、混合ガスは図８のタイムチャートで示すように成膜
中にのみＣＶＤリアクター１に送られ、成膜と成膜の間
はベントライン１６側に逃がされる。このとき、ポンプ
５Ａ〜５ＣをＯＦＦ、ポンプ５Ｄを継続的にＯＮにし
て、溶剤移送ライン１３から気化器１２に溶剤が直接移
送され、内部の洗浄が行われる。
【００１７】以上のようにして、この実施例のものは、
各液体材料Ａ〜Ｃ及び溶剤Ｄの混合比に対して圧縮率や
粘度等に基づき適正に校正した流量設定下に各ポンプ５
Ａ〜５Ｄを作動させることができる。このため、単に混
合比に比例する流量調節を行う場合に比べて、混合比や
混合ガスの濃度等の精度を的確に向上させることが可能
となる。しかも、このような制御は成膜中においても行
えるため、単一成膜中に混合比や希釈度等を刻々変化さ
せたいという要望がある場合等にもこれに的確に応える
ことができる。
各液体材料Ａ〜Ｃ及び溶剤Ｄの混合比に対して圧縮率や
粘度等に基づき適正に校正した流量設定下に各ポンプ５
Ａ〜５Ｄを作動させることができる。このため、単に混
合比に比例する流量調節を行う場合に比べて、混合比や
混合ガスの濃度等の精度を的確に向上させることが可能
となる。しかも、このような制御は成膜中においても行
えるため、単一成膜中に混合比や希釈度等を刻々変化さ
せたいという要望がある場合等にもこれに的確に応える
ことができる。
【００１８】以上のような取り扱いに加え、パージライ
ン７を図５の矢印ｇのように形成すれば各容器２Ａ〜２
Ｄに液を残したままの状態で容器下流側の配管における
液除去が行えるし、容器２Ａ〜２Ｄの全部又は一部を液
交換等のために取り外したい場合にはパージライン７を
図４の矢印ｆのように形成し、バキュームライン８を矢
印ｈのように形成すれば容器２Ａ〜２Ｄの継手ｚ付近に
存在する液体材料等をパージすることができる。この場
合、継手ｚ付近の配管内に液体材料が残っていると加水
分解等の原因となるため、引き続き図６に矢印ｋで示す
パージライン７を通じて溶剤容器２Ｄ内の液面加圧を行
いながら矢印ｉで示す溶剤バイパスライン９を通じて溶
剤を導入し、バキュームライン８を通じて必要な配管の
真空引きを行えば、液体材料の残留を確実に防止するこ
とが可能となる。さらに、ポンプ１０やバルブ５Ａ〜５
Ｃをメンテナンスする際は、図７の矢印ｍに沿って溶剤
容器２Ｄを液面加圧し、矢印ｎに沿って溶剤を周辺配管
に送り出すこともできる。
ン７を図５の矢印ｇのように形成すれば各容器２Ａ〜２
Ｄに液を残したままの状態で容器下流側の配管における
液除去が行えるし、容器２Ａ〜２Ｄの全部又は一部を液
交換等のために取り外したい場合にはパージライン７を
図４の矢印ｆのように形成し、バキュームライン８を矢
印ｈのように形成すれば容器２Ａ〜２Ｄの継手ｚ付近に
存在する液体材料等をパージすることができる。この場
合、継手ｚ付近の配管内に液体材料が残っていると加水
分解等の原因となるため、引き続き図６に矢印ｋで示す
パージライン７を通じて溶剤容器２Ｄ内の液面加圧を行
いながら矢印ｉで示す溶剤バイパスライン９を通じて溶
剤を導入し、バキュームライン８を通じて必要な配管の
真空引きを行えば、液体材料の残留を確実に防止するこ
とが可能となる。さらに、ポンプ１０やバルブ５Ａ〜５
Ｃをメンテナンスする際は、図７の矢印ｍに沿って溶剤
容器２Ｄを液面加圧し、矢印ｎに沿って溶剤を周辺配管
に送り出すこともできる。
【００１９】なお、上記実施例では各液体材料Ａ〜Ｃを
合流させ、ミキサー１１を通過した後に気化器１２に導
入して気化させるように構成したが、図９に示すように
各ポンプ５Ａ〜５Ｃの下流にそれぞれ気化器１２Ａ〜１
２Ｃを設け、気化した後の各材料ガスを合流させミキサ
ー１１に送給するようにしてもよい。このように構成す
れば、各液体材料Ａ〜Ｃごとに気化条件を設定すること
ができるため、最適条件設定を通じて各液体材料Ａ〜Ｃ
を確実に気化させ、適正な混合ガスとしてＣＶＤリアク
ター１に供給することが可能となる。勿論、一部の液体
材料同士の性質が近似している場合にはそれらの液体材
料に対しては共通の気化器に通過させるようにしてもよ
い。図１０は図１と図９を組み合わせた変形例を示すも
ので、液体材料ＢとＣの気化条件がほぼ等しい場合の一
構成を示している。本発明はこのような構成をも含むも
のである。また、上記実施例は取り扱いの一例を示した
に過ぎないものであり、バルブの種々の開閉操作を通じ
て異なる態様のパージ、真空引き等が行えるのは言うま
でもない。
合流させ、ミキサー１１を通過した後に気化器１２に導
入して気化させるように構成したが、図９に示すように
各ポンプ５Ａ〜５Ｃの下流にそれぞれ気化器１２Ａ〜１
２Ｃを設け、気化した後の各材料ガスを合流させミキサ
ー１１に送給するようにしてもよい。このように構成す
れば、各液体材料Ａ〜Ｃごとに気化条件を設定すること
ができるため、最適条件設定を通じて各液体材料Ａ〜Ｃ
を確実に気化させ、適正な混合ガスとしてＣＶＤリアク
ター１に供給することが可能となる。勿論、一部の液体
材料同士の性質が近似している場合にはそれらの液体材
料に対しては共通の気化器に通過させるようにしてもよ
い。図１０は図１と図９を組み合わせた変形例を示すも
ので、液体材料ＢとＣの気化条件がほぼ等しい場合の一
構成を示している。本発明はこのような構成をも含むも
のである。また、上記実施例は取り扱いの一例を示した
に過ぎないものであり、バルブの種々の開閉操作を通じ
て異なる態様のパージ、真空引き等が行えるのは言うま
でもない。
【００２０】また、バルブを自動で制御するようにした
り、ポンプに変えてマスフローコントローラを用いるな
どしてもよい。マスフローコントローラの場合は流量検
出部にてその液に応じた校正を施す。さらに、上記実施
例では溶剤に対しても液体材料と同様の扱いをしている
が、本発明は基本的には溶剤専用容器等がない場合にも
同等に機能し得るものである。その他、各部の具体的な
構成は図示実施例のものに限定されるものではなく、本
発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
り、ポンプに変えてマスフローコントローラを用いるな
どしてもよい。マスフローコントローラの場合は流量検
出部にてその液に応じた校正を施す。さらに、上記実施
例では溶剤に対しても液体材料と同様の扱いをしている
が、本発明は基本的には溶剤専用容器等がない場合にも
同等に機能し得るものである。その他、各部の具体的な
構成は図示実施例のものに限定されるものではなく、本
発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【００２１】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように、複数の
液体材料及び溶剤を混合するに際して、それらを材料容
器や溶剤専用容器から導出するための送液ラインごとに
流量調節手段を設け、これらの流量調節手段に対して制
御手段から液特性を考慮し所定混合比、所定希釈度に見
合う流量設定を行うようにしたため、必要とされる各液
体材料の混合比に対してそれらの液体材料の圧縮率や粘
度等に応じて適正な流量に校正して各流量調節手段を作
動させることができる。このため、単に混合比に比例さ
せて流量調節を行う場合に比べて、混合精度ひいては成
膜の品質を的確に向上させることが可能となる。
液体材料及び溶剤を混合するに際して、それらを材料容
器や溶剤専用容器から導出するための送液ラインごとに
流量調節手段を設け、これらの流量調節手段に対して制
御手段から液特性を考慮し所定混合比、所定希釈度に見
合う流量設定を行うようにしたため、必要とされる各液
体材料の混合比に対してそれらの液体材料の圧縮率や粘
度等に応じて適正な流量に校正して各流量調節手段を作
動させることができる。このため、単に混合比に比例さ
せて流量調節を行う場合に比べて、混合精度ひいては成
膜の品質を的確に向上させることが可能となる。
【００２２】また、複数の気化器を設け、各液体材料を
何れかの気化器に通過させた後に相互に混合するように
構成すれば、各液体材料ごとに気化温度等を踏まえた好
ましい気化条件設定を行うことができるので、最適設定
を通じて各液体材料を確実に気化させ、適正な混合ガス
を生成して成膜の品質をより一層有効に向上させること
が可能となる。
何れかの気化器に通過させた後に相互に混合するように
構成すれば、各液体材料ごとに気化温度等を踏まえた好
ましい気化条件設定を行うことができるので、最適設定
を通じて各液体材料を確実に気化させ、適正な混合ガス
を生成して成膜の品質をより一層有効に向上させること
が可能となる。
【図１】本発明の一実施例を示す回路図。
【図２】同回路の要部説明図。
【図３】同回路の要部説明図。
【図４】同回路の要部説明図。
【図５】同回路の要部説明図。
【図６】同回路の要部説明図。
【図７】同回路の要部説明図。
【図８】同実施例の運転状態を示すタイムチャート図。
【図９】本発明の他の実施例を示す図１に対応した回路
図。
図。
【図１０】本発明の更に他の実施例を示す図１に対応し
た回路図。
た回路図。
Ａ、Ｂ、Ｃ…液体材料 ２Ａ、２Ｂ、２Ｃ…材料容器 ４Ａ、４Ｂ、４Ｃ…送液ライン ５Ａ、５Ｂ、５Ｃ…流量調節手段（ポンプ） １０…制御手段（コントローラ） １２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ…気化器
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/31 C23C 16/44 H01L 21/205
Claims (2)
- 【請求項１】複数の液体材料を混合する際に利用される
ものであって、各々の液体材料を収容する複数の材料容
器と、各材料容器内から液体材料を導出して移送するた
めの複数の送液ライン及び各液体材料に使用されている
溶剤と同一又は同種の溶剤を移送するための送液ライン
と、各送液ラインにそれぞれ設けた流量調節手段と、こ
れらの流量調節手段に対して液特性を考慮し所定混合比
及び所定希釈度に見合う流量調節を行う制御手段とを具
備してなり、流量調節手段を通過した後の液体材料及び
溶剤を相互に混合し得るようにしていることを特徴とす
る液体材料気化装置。 - 【請求項２】流量調節手段の下流に複数の気化器を設
け、各液体材料を何れかの気化器に通過させた後に相互
に混合するようにしていることを特徴とする請求項１記
載の液体材料気化装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09029447A JP3106991B2 (ja) | 1997-02-13 | 1997-02-13 | 液体材料気化装置 |
| KR1019980003226A KR100345223B1 (ko) | 1997-02-13 | 1998-02-05 | 액체재료기화장치 |
| US09/021,153 US6074487A (en) | 1997-02-13 | 1998-02-10 | Unit for vaporizing liquid materials |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09029447A JP3106991B2 (ja) | 1997-02-13 | 1997-02-13 | 液体材料気化装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10229075A JPH10229075A (ja) | 1998-08-25 |
| JP3106991B2 true JP3106991B2 (ja) | 2000-11-06 |
Family
ID=12276382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09029447A Expired - Fee Related JP3106991B2 (ja) | 1997-02-13 | 1997-02-13 | 液体材料気化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3106991B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6418960B1 (en) * | 1999-10-06 | 2002-07-16 | Applied Materials, Inc. | Ultrasonic enhancement for solvent purge of a liquid delivery system |
| DE10003758A1 (de) * | 2000-01-28 | 2001-08-02 | Aixtron Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Abscheiden wenigstens eines in flüssiger oder gelöster Form vorliegenden Prekursors |
-
1997
- 1997-02-13 JP JP09029447A patent/JP3106991B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10229075A (ja) | 1998-08-25 |
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