JP3104368B2 - イオン除去装置及びイオンの除去方法 - Google Patents
イオン除去装置及びイオンの除去方法Info
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- JP3104368B2 JP3104368B2 JP04029576A JP2957692A JP3104368B2 JP 3104368 B2 JP3104368 B2 JP 3104368B2 JP 04029576 A JP04029576 A JP 04029576A JP 2957692 A JP2957692 A JP 2957692A JP 3104368 B2 JP3104368 B2 JP 3104368B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、電子蓄積リング中の
イオンを除去する装置及びイオンの除去方法に関するも
のである。
イオンを除去する装置及びイオンの除去方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、レーストラック形状をした電子
蓄積リングにおいて、１８０度の偏向電磁石のちょうど
中心付近で、水平方向に一番ビーム径が小さくなる。一
般にビーム径が一番小さい位置が、イオンから見たポテ
ンシャルは一番低くなるので、イオンはその位置にトラ
ップされる。図５は蓄積リング中を回転する荷電粒子が
作るポテンシャルを示すグラフであり、横軸にビ−ム軸
方向の距離、縦軸にポテンシャルを示す。図５からも明
らかなように、１８０度の偏向電磁石のちょうど中心付
近で、イオンから見たポテンシャルは一番低くなってお
り、イオンはこの位置にトラップされている。
蓄積リングにおいて、１８０度の偏向電磁石のちょうど
中心付近で、水平方向に一番ビーム径が小さくなる。一
般にビーム径が一番小さい位置が、イオンから見たポテ
ンシャルは一番低くなるので、イオンはその位置にトラ
ップされる。図５は蓄積リング中を回転する荷電粒子が
作るポテンシャルを示すグラフであり、横軸にビ−ム軸
方向の距離、縦軸にポテンシャルを示す。図５からも明
らかなように、１８０度の偏向電磁石のちょうど中心付
近で、イオンから見たポテンシャルは一番低くなってお
り、イオンはこの位置にトラップされている。
【０００３】このように、イオンがトラップされると、
ビームサイズが大きくなったり、共鳴によって荷電粒子
が失なわれたりして、ビームを安定に蓄積できなくな
る。よって、従来の電子蓄積リングではこの中心部にイ
オン除去電極をつけてイオンを除去していた。
ビームサイズが大きくなったり、共鳴によって荷電粒子
が失なわれたりして、ビームを安定に蓄積できなくな
る。よって、従来の電子蓄積リングではこの中心部にイ
オン除去電極をつけてイオンを除去していた。
【０００４】図６は、例えば「高エネルギー加速器セミ
ナー」高エネルギー物理学研究所８６年第ＶＩー１７頁
に示された従来のイオン除去装置を示す構成図である。
図において、２はイオン除去電極、４はチェンバ、６は
電子ビームである。
ナー」高エネルギー物理学研究所８６年第ＶＩー１７頁
に示された従来のイオン除去装置を示す構成図である。
図において、２はイオン除去電極、４はチェンバ、６は
電子ビームである。
【０００５】上記のような構成のイオン除去装置は、例
えばイオン除去装置付近の電子ビーム６のポテンシャル
にトラップされているイオンがあれば、イオン除去電極
２に数１００ボルトの電圧をかけることにより、電子蓄
積リングを構成するチェンバ４内のイオンは、電子ビー
ム６のポテンシャルから逃れてイオン除去電極２に向か
って運動し、そこで消滅する。この様にして、電子蓄積
リング中のイオンを除去することが可能である。
えばイオン除去装置付近の電子ビーム６のポテンシャル
にトラップされているイオンがあれば、イオン除去電極
２に数１００ボルトの電圧をかけることにより、電子蓄
積リングを構成するチェンバ４内のイオンは、電子ビー
ム６のポテンシャルから逃れてイオン除去電極２に向か
って運動し、そこで消滅する。この様にして、電子蓄積
リング中のイオンを除去することが可能である。
【０００６】しかしながら、偏向電磁石の中心位置の上
下にイオン除去電極２を取り付けることは構造的に難し
い。なぜなら、偏向部のチェンバ４は超高真空とするた
め通常一体型で製作するからである。また、上下方向の
ビーム径は偏向部中心で最も大きくなるため、イオン除
去電極２を上下方向に取り付けるとビームが安定に回ら
なくなることがある。さらに、上下方向に取り付けた場
合、ビームとの距離が近いためにビームの作るウエーク
場等の影響により安定にビームが回らなくなる可能性も
ある。
下にイオン除去電極２を取り付けることは構造的に難し
い。なぜなら、偏向部のチェンバ４は超高真空とするた
め通常一体型で製作するからである。また、上下方向の
ビーム径は偏向部中心で最も大きくなるため、イオン除
去電極２を上下方向に取り付けるとビームが安定に回ら
なくなることがある。さらに、上下方向に取り付けた場
合、ビームとの距離が近いためにビームの作るウエーク
場等の影響により安定にビームが回らなくなる可能性も
ある。
【０００７】以上の問題点に対し、チェンバ４の横にイ
オン除去電極２を取り付ける方法が考えられる。この場
合は、偏向電磁石中の高磁界の場においては電界を横方
向にかけてイオンを除去しようとしても、イオンはビー
ム軸方向にトリフト運動するだけでビームを巧く除去す
ることができない。
オン除去電極２を取り付ける方法が考えられる。この場
合は、偏向電磁石中の高磁界の場においては電界を横方
向にかけてイオンを除去しようとしても、イオンはビー
ム軸方向にトリフト運動するだけでビームを巧く除去す
ることができない。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来のイ
オン除去装置では、イオン除去電極２をチェンバ４内の
上下に配置しているため、電子ビームが通る軌道の上下
方向の領域( 以下、アパーチャという) を狭めて、電子
が安定に回らなくなるという問題点があった。また、チ
ェンバ４の１８０度の偏向電磁石部分は、一般に超高真
空にするため一体で製造する。従って、偏向電磁石中の
上下にイオン除去電極２をしっかりと取り付けることは
困難であった。例えば、１８０度全体に渡ってイオン除
去電極２を取り付ける場合、チェンバ４の両端の出口部
でイオン除去電極２を固定する方法が考えられる。とこ
ろが、チェンバ４の両端の出口部の間の中央部において
は、偏向電磁石の内部では固定することができず、組み
込んだ後に偏向電磁石内でのイオン除去電極２の位置を
特定できないなどの問題点があった。
オン除去装置では、イオン除去電極２をチェンバ４内の
上下に配置しているため、電子ビームが通る軌道の上下
方向の領域( 以下、アパーチャという) を狭めて、電子
が安定に回らなくなるという問題点があった。また、チ
ェンバ４の１８０度の偏向電磁石部分は、一般に超高真
空にするため一体で製造する。従って、偏向電磁石中の
上下にイオン除去電極２をしっかりと取り付けることは
困難であった。例えば、１８０度全体に渡ってイオン除
去電極２を取り付ける場合、チェンバ４の両端の出口部
でイオン除去電極２を固定する方法が考えられる。とこ
ろが、チェンバ４の両端の出口部の間の中央部において
は、偏向電磁石の内部では固定することができず、組み
込んだ後に偏向電磁石内でのイオン除去電極２の位置を
特定できないなどの問題点があった。
【０００９】この発明は、かかる問題点を解決するため
になされたもので、電子ビームの上下方向のアパーチャ
を狭めずに、イオンを効率よく除去することができるイ
オン除去装置及びイオンの除去方法を提供することを目
的としている。また、イオン除去装置を簡便な方法でし
っかりとチェンバに固定し、チェンバの移動や振動でイ
オン除去電極の位置が変化するのを防止できるイオン除
去装置を提供することを目的としている。
になされたもので、電子ビームの上下方向のアパーチャ
を狭めずに、イオンを効率よく除去することができるイ
オン除去装置及びイオンの除去方法を提供することを目
的としている。また、イオン除去装置を簡便な方法でし
っかりとチェンバに固定し、チェンバの移動や振動でイ
オン除去電極の位置が変化するのを防止できるイオン除
去装置を提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
るイオン除去装置は、偏向電磁石が配設されている位置
におけるチェンバ内の内周側に取り付けたイオン誘導電
極、及び偏向電磁石の出口位置におけるチェンバ内の上
部または下部に取り付けたイオン除去電極を備えたもの
である。
るイオン除去装置は、偏向電磁石が配設されている位置
におけるチェンバ内の内周側に取り付けたイオン誘導電
極、及び偏向電磁石の出口位置におけるチェンバ内の上
部または下部に取り付けたイオン除去電極を備えたもの
である。
【００１１】また、この発明の請求項２に係るイオン除
去装置は、請求項１の発明に加え、イオン誘導電極及び
イオン除去電極をワイヤで構成し、このワイヤに電気的
絶縁体をはめこんだものである。
去装置は、請求項１の発明に加え、イオン誘導電極及び
イオン除去電極をワイヤで構成し、このワイヤに電気的
絶縁体をはめこんだものである。
【００１２】また、この発明の請求項３に係るイオン除
去装置は、請求項２の発明に加え、偏向電磁石の出口部
位置のみでイオン誘導電極とチェンバとを固定し、イオ
ン誘導電極とチェンバの固定を偏向電磁石出口部で行な
い、電気的絶縁体を介してイオン誘導電極をチェンバに
押着するものである。
去装置は、請求項２の発明に加え、偏向電磁石の出口部
位置のみでイオン誘導電極とチェンバとを固定し、イオ
ン誘導電極とチェンバの固定を偏向電磁石出口部で行な
い、電気的絶縁体を介してイオン誘導電極をチェンバに
押着するものである。
【００１３】また、この発明の請求項４に係るイオンの
除去方法は、偏向電磁石が配設されている位置における
チェンバ内で、電子ビームの作るポテンシャルにトラッ
プされているイオンを偏向電磁石の出口部まで誘導し、
偏向電磁石の出口部位置で誘導されたイオンを除去する
ものである。
除去方法は、偏向電磁石が配設されている位置における
チェンバ内で、電子ビームの作るポテンシャルにトラッ
プされているイオンを偏向電磁石の出口部まで誘導し、
偏向電磁石の出口部位置で誘導されたイオンを除去する
ものである。
【００１４】
【作用】上記のように構成されたイオン除去装置のイオ
ン除去電極は、偏向電磁石位置の電子ビ−ムの上下方向
に配置する必要がなく、電子ビームの上下方向のアパー
チャを狭めない。
ン除去電極は、偏向電磁石位置の電子ビ−ムの上下方向
に配置する必要がなく、電子ビームの上下方向のアパー
チャを狭めない。
【００１５】また、イオン誘導電極としてステンレス等
のワイヤに電機絶縁体をはめこむことで、簡便にチェン
バから絶縁できる。
のワイヤに電機絶縁体をはめこむことで、簡便にチェン
バから絶縁できる。
【００１６】また、電機絶縁体を介してイオン誘導電極
をチェンバに押しつけることで位置の固定を行なってい
る。
をチェンバに押しつけることで位置の固定を行なってい
る。
【００１７】
【実施例】実施例１． 図１は、この発明の一実施例によるイオン除去装置を偏
向電磁石位置のチェンバ内に装着した状態を示す構成図
である。図において、１はイオン誘導電極、２はイオン
除去電極、３は高圧電源、４はチェンバである。偏向電
磁石が配設されている位置全体に渡り、チェンバ４内の
内周側にチェンバ４に沿ってイオン誘導電極１を配置す
る。また、イオン除去電極２を偏向電磁石の出口位置に
おけるチェンバ４内の下部に取り付ける。高圧電源３で
イオン誘導電極１、イオン除去電極２に最高１０ＫＶ程
度の高圧を付加する。なお、チェンバ４は接地する。
向電磁石位置のチェンバ内に装着した状態を示す構成図
である。図において、１はイオン誘導電極、２はイオン
除去電極、３は高圧電源、４はチェンバである。偏向電
磁石が配設されている位置全体に渡り、チェンバ４内の
内周側にチェンバ４に沿ってイオン誘導電極１を配置す
る。また、イオン除去電極２を偏向電磁石の出口位置に
おけるチェンバ４内の下部に取り付ける。高圧電源３で
イオン誘導電極１、イオン除去電極２に最高１０ＫＶ程
度の高圧を付加する。なお、チェンバ４は接地する。
【００１８】以下、上記のように構成されたイオン除去
装置の動作を説明する。従来の装置で述べたように、偏
向電磁石の偏向部にはイオンが電子ビームの作るポテン
シャルにトラップされている。この実施例では偏向電磁
石が配設されている位置におけるチェンバ４内の内周側
に誘導電極１を配置している。高圧電源３を用いて誘導
電極１に１０ＫＶ程度の高圧をかけ、偏向部のチェンバ
４内に電界を発生させる。図２はイオン誘導電極１の電
界によりイオンが誘導される様子を示す説明図であり、
Ｉはイオン、矢印Ａは電子の軌道軸方向、Ｅは電界、Ｂ
は磁界を示している。このように電界をかけると、イオ
ンＩは軌道軸方向に輸送される。偏向部の端部である出
口部に誘導されたイオンＩは、その位置のチェンバ４内
の下部に取り付けられているイオン除去電極２により除
去される。この様な構成によりイオンを効率よく除去す
ることが可能となる。
装置の動作を説明する。従来の装置で述べたように、偏
向電磁石の偏向部にはイオンが電子ビームの作るポテン
シャルにトラップされている。この実施例では偏向電磁
石が配設されている位置におけるチェンバ４内の内周側
に誘導電極１を配置している。高圧電源３を用いて誘導
電極１に１０ＫＶ程度の高圧をかけ、偏向部のチェンバ
４内に電界を発生させる。図２はイオン誘導電極１の電
界によりイオンが誘導される様子を示す説明図であり、
Ｉはイオン、矢印Ａは電子の軌道軸方向、Ｅは電界、Ｂ
は磁界を示している。このように電界をかけると、イオ
ンＩは軌道軸方向に輸送される。偏向部の端部である出
口部に誘導されたイオンＩは、その位置のチェンバ４内
の下部に取り付けられているイオン除去電極２により除
去される。この様な構成によりイオンを効率よく除去す
ることが可能となる。
【００１９】また、実施例１では従来装置のように偏向
電磁石位置でイオン除去電極を上下に配置する必要がな
いため、アパーチャをせばめることなしに安定にビーム
を回すことができる。
電磁石位置でイオン除去電極を上下に配置する必要がな
いため、アパーチャをせばめることなしに安定にビーム
を回すことができる。
【００２０】なお、この実施例では、イオン誘導電極１
とイオン除去電極２は電気的に導通させることで高圧電
源３を１台にしている。このように、イオン誘導電極並
びにイオン除去電極は一体型とすることで、１台の高圧
電源で高圧を負荷できるので安価である。
とイオン除去電極２は電気的に導通させることで高圧電
源３を１台にしている。このように、イオン誘導電極並
びにイオン除去電極は一体型とすることで、１台の高圧
電源で高圧を負荷できるので安価である。
【００２１】実施例１におけるイオン除去方法では、偏
向電磁石が配設されている位置におけるチェンバ内で、
電子ビームの作るポテンシャルにトラップされているイ
オンを偏向電磁石の出口部まで誘導し、偏向電磁石の出
口部位置で誘導されたイオンを除去している。
向電磁石が配設されている位置におけるチェンバ内で、
電子ビームの作るポテンシャルにトラップされているイ
オンを偏向電磁石の出口部まで誘導し、偏向電磁石の出
口部位置で誘導されたイオンを除去している。
【００２２】次に、実施例１におけるイオン誘導電極１
の構造について説明する。図３はイオン誘導電極１の一
部を拡大して示す平面図である。イオン誘導電極１は銅
やステンレスなどの断面積が数ｍｍ2 程度のワイヤで、
例えば格子状に接続されて構成されている。５はリング
であり、材質はセラミックなどの電気的絶縁物を用い
る。イオン誘導電極１はワイヤで構成しなくてもよい
が、ワイヤで構成すればイオン誘導電極１の重量を軽く
し、また容易に加工、変形しやすい。イオン誘導電極１
には高圧を付加し、チェンバ４は接地するので、その間
を電気的に絶縁するため、リング５をワイヤにかぶせて
構成している。さらに、リング５は両端の角を落して丸
みを持たせている。
の構造について説明する。図３はイオン誘導電極１の一
部を拡大して示す平面図である。イオン誘導電極１は銅
やステンレスなどの断面積が数ｍｍ2 程度のワイヤで、
例えば格子状に接続されて構成されている。５はリング
であり、材質はセラミックなどの電気的絶縁物を用い
る。イオン誘導電極１はワイヤで構成しなくてもよい
が、ワイヤで構成すればイオン誘導電極１の重量を軽く
し、また容易に加工、変形しやすい。イオン誘導電極１
には高圧を付加し、チェンバ４は接地するので、その間
を電気的に絶縁するため、リング５をワイヤにかぶせて
構成している。さらに、リング５は両端の角を落して丸
みを持たせている。
【００２３】イオン誘導電極１は図４に示すようにチェ
ンバ４の内周側壁面に固定されている。これはチェンバ
４の断面を見たものである。製作時には、１８０度の偏
向電磁石位置のチェンバ４が完成した後に、イオン誘導
電極１を偏向電磁石の出口部から組み込む。両方の出口
部からイオン誘導電極１を引っ張り、チェンバ４の内周
側にイオン誘導電極１のリング５を押しつけて固定す
る。両端の出口部でイオン誘導電極１とチェンバ４とを
ネジ止めする。
ンバ４の内周側壁面に固定されている。これはチェンバ
４の断面を見たものである。製作時には、１８０度の偏
向電磁石位置のチェンバ４が完成した後に、イオン誘導
電極１を偏向電磁石の出口部から組み込む。両方の出口
部からイオン誘導電極１を引っ張り、チェンバ４の内周
側にイオン誘導電極１のリング５を押しつけて固定す
る。両端の出口部でイオン誘導電極１とチェンバ４とを
ネジ止めする。
【００２４】上記のように、イオン誘導電極１とチェン
バ４との固定は偏向電磁石出口部のみで行ない、偏向電
磁石中はリング５を介してイオン誘導電極１をチェンバ
４に押しつけており、このようにして位置固定を行なえ
ば、組み込み、固定が簡便である。
バ４との固定は偏向電磁石出口部のみで行ない、偏向電
磁石中はリング５を介してイオン誘導電極１をチェンバ
４に押しつけており、このようにして位置固定を行なえ
ば、組み込み、固定が簡便である。
【００２５】また、実施例１では、イオン誘導電極１と
チェンバ４間の放電を防ぐためにリング５の角を落とし
て丸みを持たせている。即ち、チェンバ４とイオン誘導
電極１の縁面距離を稼ぐことで放電を防止する。
チェンバ４間の放電を防ぐためにリング５の角を落とし
て丸みを持たせている。即ち、チェンバ４とイオン誘導
電極１の縁面距離を稼ぐことで放電を防止する。
【００２６】このように、イオン誘導電極及びイオン除
去電極をステンレス等のワイヤで構成し、そのワイヤに
電機絶縁物のリングをはめこむことで、簡便にチェンバ
から絶縁できる効果がある。さらにそのリングの両端の
角を落とすことにより縁面距離を稼ぎ、高圧を付加して
も放電しにくいといった効果がある。
去電極をステンレス等のワイヤで構成し、そのワイヤに
電機絶縁物のリングをはめこむことで、簡便にチェンバ
から絶縁できる効果がある。さらにそのリングの両端の
角を落とすことにより縁面距離を稼ぎ、高圧を付加して
も放電しにくいといった効果がある。
【００２７】なお、実施例１ではイオン誘導電極１をワ
イヤで作成したが、金属板で作成してもよい。しかしな
がら、その場合にはイオン誘導電極が変形しにくくなる
ために、チェンバとの絶縁方法や固定方法等で新しい工
夫が必要となる。
イヤで作成したが、金属板で作成してもよい。しかしな
がら、その場合にはイオン誘導電極が変形しにくくなる
ために、チェンバとの絶縁方法や固定方法等で新しい工
夫が必要となる。
【００２８】また、イオン除去電極はチェンバ内の下部
に設けているが、チェンバ内の上部に設けてもよい。
に設けているが、チェンバ内の上部に設けてもよい。
【００２９】
【発明の効果】以上のように、請求項１の発明によれ
ば、偏向電磁石が配設されている位置におけるチェンバ
内の内周側に取り付けたイオン誘導電極、及び偏向電磁
石の出口位置におけるチェンバ内の上部または下部に取
り付けたイオン除去電極を備えたことにより、電子ビー
ムの上下方向のアパーチャを狭めずに、イオンを効率よ
く除去することができるイオン除去装置が得られる効果
がある。
ば、偏向電磁石が配設されている位置におけるチェンバ
内の内周側に取り付けたイオン誘導電極、及び偏向電磁
石の出口位置におけるチェンバ内の上部または下部に取
り付けたイオン除去電極を備えたことにより、電子ビー
ムの上下方向のアパーチャを狭めずに、イオンを効率よ
く除去することができるイオン除去装置が得られる効果
がある。
【００３０】また、請求項２の発明によれば、イオン誘
導電極及びイオン除去電極をワイヤで構成し、このワイ
ヤに電気的絶縁体をはめこんだことにより、上記効果に
加えて簡便にチェンバから絶縁できるイオン除去装置が
得られる効果がある。
導電極及びイオン除去電極をワイヤで構成し、このワイ
ヤに電気的絶縁体をはめこんだことにより、上記効果に
加えて簡便にチェンバから絶縁できるイオン除去装置が
得られる効果がある。
【００３１】また、請求項３の発明によれば、偏向電磁
石の出口部位置のみでイオン誘導電極とチェンバとを固
定し、イオン誘導電極とチェンバの固定を偏向電磁石出
口部のみで行ない、電気的絶縁体を介してイオン誘導電
極をチェンバに押着することにより、上記効果に加え
て、組み込み、固定が簡便であるイオン除去装置が得ら
れる効果がある。
石の出口部位置のみでイオン誘導電極とチェンバとを固
定し、イオン誘導電極とチェンバの固定を偏向電磁石出
口部のみで行ない、電気的絶縁体を介してイオン誘導電
極をチェンバに押着することにより、上記効果に加え
て、組み込み、固定が簡便であるイオン除去装置が得ら
れる効果がある。
【００３２】また、請求項４の発明によれば、偏向電磁
石が配設されている位置におけるチェンバ内で、電子ビ
ームの作るポテンシャルにトラップされているイオンを
偏向電磁石の出口部まで誘導し、偏向電磁石の出口部位
置で誘導されたイオンを除去することにより、電子ビー
ムの上下方向のアパーチャを狭めずに、イオンを効率よ
く除去することができるイオンの除去方法が得られる効
果がある。
石が配設されている位置におけるチェンバ内で、電子ビ
ームの作るポテンシャルにトラップされているイオンを
偏向電磁石の出口部まで誘導し、偏向電磁石の出口部位
置で誘導されたイオンを除去することにより、電子ビー
ムの上下方向のアパーチャを狭めずに、イオンを効率よ
く除去することができるイオンの除去方法が得られる効
果がある。
【図１】この発明の実施例１によるイオン除去装置を示
す構成図である。
す構成図である。
【図２】実施例１に係り、イオン誘導電極の電界により
イオンが誘導される様子を示す説明図である。
イオンが誘導される様子を示す説明図である。
【図３】実施例１に係るイオン誘導電極の一部を拡大し
て示す正面図である。
て示す正面図である。
【図４】実施例１に係るイオン誘導電極とチェンバを示
す断面図である。
す断面図である。
【図５】電子蓄積リング中を回転する荷電粒子が作るポ
テンシャルを示すグラフである。
テンシャルを示すグラフである。
【図６】従来のイオン除去装置を示す構成図である。
１ イオン誘導電極２ イオン除去電極３ 高圧電源４ チェンバ ５ リング
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中田 修平 尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三菱電 機株式会社 中央研究所内 (56)参考文献 特開 昭52−13437（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−288099（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−274698（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−249898（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−142586（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H05H 13/04 H05H 7/14
Claims (4)
- 【請求項１】 偏向電磁石が配設されている位置におけ
るチェンバ内の内周側に取り付けたイオン誘導電極、及
び上記偏向電磁石の出口部位置における上記チェンバ内
の上部または下部に取り付けたイオン除去電極を備えた
ことを特徴とするイオン除去装置。 - 【請求項２】 イオン誘導電極及びイオン除去電極をワ
イヤで構成し、このワイヤに電気的絶縁体をはめこんだ
ことを特徴とする請求項第１項記載のイオン除去装置。 - 【請求項３】 偏向電磁石の出口部位置のみでイオン誘
導電極とチェンバとを固定し、電気的絶縁体を介して上
記イオン誘導電極を上記チェンバに押着することを特徴
とする請求項第２項記載のイオン除去装置。 - 【請求項４】 偏向電磁石が配設されている位置におけ
るチェンバ内で、電子ビームの作るポテンシャルにトラ
ップされているイオンを上記偏向電磁石の出口部まで誘
導し、上記偏向電磁石の出口部位置で上記誘導されたイ
オンを除去することを特徴とするイオンの除去方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04029576A JP3104368B2 (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | イオン除去装置及びイオンの除去方法 |
| US08/015,125 US5457361A (en) | 1992-02-17 | 1993-02-09 | Ion removing device, ion removing method and electron accumulating ring having ion removing device |
| DE4305524A DE4305524C2 (de) | 1992-02-17 | 1993-02-17 | Vorrichtung zum Entfernen von Ionen |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04029576A JP3104368B2 (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | イオン除去装置及びイオンの除去方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05226098A JPH05226098A (ja) | 1993-09-03 |
| JP3104368B2 true JP3104368B2 (ja) | 2000-10-30 |
Family
ID=12279934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04029576A Expired - Fee Related JP3104368B2 (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | イオン除去装置及びイオンの除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3104368B2 (ja) |
-
1992
- 1992-02-17 JP JP04029576A patent/JP3104368B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05226098A (ja) | 1993-09-03 |
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