JP3101726U

JP3101726U - クリーンルーム用作業台

Info

Publication number: JP3101726U
Application number: JP2003272527U
Authority: JP
Inventors: るみ榎本
Original assignee: 株式会社キャニオン
Priority date: 2003-11-17
Filing date: 2003-11-17
Publication date: 2004-06-17
Anticipated expiration: 2009-11-17

Abstract

【課題】天板部上面が光で反射し難く、検査等が行い易くなり、天板部上面に於いて静電気等が発生した場合でも、これを確実に且つスムーズに除電でき、半導体に悪影響を与える虞れがなく、安定性が良く、構成簡素で、量産に適し、低廉で、経済的なクリーンルーム用作業台を提供する。
【解決手段】クリーンルーム内で使用する作業台であって、天板部１と、天板部１を支える脚部２とを備え、天板部１には、複数の透孔５を穿設すると共に、上面に光の反射防止効果のある被覆部６を形成し、脚部２の下端には、アジャスター３を夫々設け、天板部１、脚部２、及びアジャスター３を、導電性を有する材料で構成し、導電性のあるクリーンルームの床部を利用して天板部１に於ける静電気の除電が行えるよう構成する。
【選択図】図１

Description

本考案は、例えば、クリーンルーム（主に、半導体クリーンルーム）内で使用されると共に、半導体を利用した製品（或いは、部品）の検査や製造のための作業台であって、その天板部の上面に於ける光の反射を防止できるようにすると共に、天板部に於いて発生する静電気の除電が確実に且つスムーズに行えるように工夫したクリーンルーム用作業台に関するものである。

従来のクリーンルーム用作業台にあっては、例えば、特許文献１に示すようなクリーンルーム用作業台が提案されている。
これは、多数の透孔を有する作業台板の下面に排気用フードを設け、該フードに吸引排気用ダクトを連設したものである。

実開昭６３−５３２１号公報

しかしながら、前述のクリーンルーム用作業台にあっては、例えば、半導体を利用した製品（或いは、部品）の外観検査等を行う際に、作業台板上面がクリーンルーム内の照明等によって反射して、検査し難い難点があった。
また、作業台板上面に於いて静電気等が発生したときに、この静電気が半導体に悪影響を与える等の難点があった。

そこで、本考案は、前述の如き課題を解消できるようにすると共に、構成が簡素で、量産に適し、低廉で、経済的なクリーンルーム用作業台を提供できるようにすべく案出されたものである。

しかして、請求項１記載のクリーンルーム用作業台にあっては、クリーンルーム内で使用される作業台であって、天板部１と、この天板部１を支える脚部２とを備え、天板部１には、複数の透孔５を穿設すると共に、その上面に光の反射防止効果のある被覆部６を形成し、脚部２の下端には、アジャスター３を夫々設け、天板部１、脚部２、及びアジャスター３を、導電性を有する材料で構成し、導電性のあるクリーンルームの床部を利用して天板部１に於ける静電気の除電が行えるように構成する手段を採用した。

また、請求項２記載のクリーンルーム用作業台にあっては、クリーンルーム内で使用される作業台であって、天板部１と、この天板部１を支える脚部２とを備え、天板部１には、複数の透孔５を穿設すると共に、その上面に光の反射防止効果のある被覆部６を形成し、脚部２の下端には、キャスター４を夫々設け、天板部１、脚部２、及びキャスター４を、導電性を有する材料で構成し、導電性のあるクリーンルームの床部を利用して天板部１に於ける静電気の除電が行えるように構成する手段を採用した。

従って、本考案の請求項１記載のクリーンルーム用作業台によれば、例えば、適宜半導体を利用した製品（或いは、部品）等の外観検査や製造を行う際に、天板部１上面がクリーンルーム内の照明等によって反射し難くなり、検査や製造が行い易くなる。
更に、天板部１上面に於いて静電気等が発生した場合でも、この静電気は、天板部１、脚部２、アジャスター３、接地されているクリーンルームの床部を介して、確実に且つスムーズに除電できるようになり、半導体に悪影響を与える虞れのないものとなる。
しかも、構成が簡素で、量産に適し、低廉で、経済的なクリーンルーム用作業台を提供できるようになる。
加えて、アジャスター３によって、脚部２下部の高さ方向の微調節が可能となると共に、脚部２下部の滑り止め効果等が期待でき、作業台の安定性が良くなる。

また、本考案の請求項２記載のクリーンルーム用作業台によれば、例えば、適宜半導体を利用した製品（或いは、部品）等の外観検査や製造を行う際に、天板部１上面がクリーンルーム内の照明等によって反射し難くなり、検査や製造が行い易くなる。
更に、天板部１上面に於いて静電気等が発生した場合でも、この静電気は、天板部１、脚部２、キャスター４、接地されているクリーンルームの床部を介して、確実に且つスムーズに除電できるようになり、半導体に悪影響を与える虞れのないものとなる。
しかも、構成が簡素で、量産に適し、低廉で、経済的なクリーンルーム用作業台を提供できるようになる。
加えて、キャスター４によって、作業台の移動が容易に行えるようになる。

以下、本考案を図示例に基づいて説明すると、次の通りである。
本考案のクリーンルーム用作業台は、主に、半導体クリーンルーム等で使用されるもので、その天板部の上面に於ける光の反射を防止すると共に、天板部に於いて発生した静電気の除電がスムーズに行えるようにしたものである。

そして、この作業台は、例えば、天板部１と、この天板部１を支える脚部２とを備え、天板部１には、複数の透孔５を穿設すると共に、その上面に光の反射防止効果のある被覆部６を形成し、脚部２の下端には、アジャスター３或いはキャスター４を夫々設け、天板部１、脚部２、及びアジャスター３或いはキャスター４を、導電性を有する材料で構成し、導電性があり接地されているクリーンルームの床部を利用して天板部１に於ける静電気の除電が行えるように構成したものである。

前記天板部１は、例えば、適宜金属材（例えば、耐蝕性に優れたステンレス材等）によって略矩形状に構成されている。しかも、複数の円形透孔５が略全面に穿設されており、クリーンルーム内の清浄空気が天板部１をスムーズに通過するように構成されている。
更に、具体的には、適宜フレーム材等で枠基部を構成し、この枠基部の上面を比較的薄い金属板で覆うように形成し、この金属板に複数の透孔５を穿設して天板部１が形成されている。
尚、天板部１の具体的構成、形状、寸法、材質、透孔５の具体的形状、寸法、数、配設位置等は図示例のもの等に限定されることなく適宜自由に設定、変更できるものである。

前記脚部２は、適宜金属材（例えば、耐蝕性に優れたステンレス材等）によって構成されており、天板部１を安定的に支えられるように構成されている。
更に、具体的には、４本の脚柱と、この脚柱の下部を結ぶような適宜補強杆とで構成（図１参照）したり、或いは、４本の脚柱と、この脚柱の下部を結ぶように配される天板部１と同様な構成の棚板とで構成（図２参照）される。
尚、脚部２の具体的構成、形状、寸法、材質、脚柱の具体的構成、形状、寸法、材質、数、配設位置、前記補強杆の具体的構成、形状、寸法、材質、数、配設位置、前記棚板の具体的構成、形状、寸法、材質、数、配設位置等は図示例のもの等に限定されることなく適宜自由に設定、変更できるものである。

前記アジャスター３は、脚部２の脚柱下端部に装着されており、例えば、導電性を備えた金属製（例えば、ステンレス製）の基部の上部にネジ棒部を突設し、このネジ棒部を脚柱下端部に設けた雌ネジ孔に螺着させることで、その高さ調節が可能となるように構成されている。しかも、アジャスター３により、導電性のあるクリーンルームの床部と天板部１とが導通するようになり、天板部１に於ける静電気の除電が確実に且つスムーズに行われるように構成してある。
尚、アジャスター３の具体的構成、形状、寸法、材質等は図示例のもの等に限定されることなく適宜自由に設定、変更できるものである。

前記キャスター４は、脚部２の脚柱下端部に夫々に装着されて、作業台の移動が簡単に行えるように構成されている。しかも、例えば導電性を備えた金属製或いは樹脂製のホィールに、導電性を備えたゴム製或いはウレタン製のリングが外嵌された車輪を構成することにより、導電性のあるクリーンルームの床部と天板部１とが導通するようになり、天板部１に於ける静電気の除電が確実に且つスムーズに行われるように構成してある。また、キャスター４は、適宜ストッパーが付いたものを利用しても良い。
尚、キャスター４の具体的構成、形状、寸法、材質等は図示例のもの等に限定されることなく適宜自由に設定、変更できるものである。

前記被覆部６は、例えば、光の反射防止効果のあるフッ素樹脂によって構成されている。そして、天板部１の上面に適宜塗装手段によって設けたり、或いは、適宜メッキ手段を利用したり、或いは、光の反射防止効果のあるシート材を貼着するようにして構成されている。
尚、被覆部６の具体的構成、形状、寸法、材質等は図示例のもの等に限定されることなく適宜自由に設定、変更できるものである。

ところで、作業台には適宜取手を取付けて、その取扱い操作が容易に行えるように形成しても良い。

本考案のクリーンルーム用作業台を例示する斜視図である。本考案の他のクリーンルーム用作業台を例示する斜視図である。本考案のクリーンルーム用作業台を例示する部分拡大断面図である。

符号の説明

１天板部２脚部
３アジャスター４キャスター
５透孔６被覆部

Claims

クリーンルーム内で使用される作業台であって、天板部と、この天板部を支える脚部とを備え、天板部には、複数の透孔を穿設すると共に、その上面に光の反射防止効果のある被覆部を形成し、脚部の下端には、アジャスターを夫々設け、天板部、脚部、及びアジャスターを、導電性を有する材料で構成し、導電性のあるクリーンルームの床部を利用して天板部に於ける静電気の除電が行えるように構成したことを特徴とするクリーンルーム用作業台。
クリーンルーム内で使用される作業台であって、天板部と、この天板部を支える脚部とを備え、天板部には、複数の透孔を穿設すると共に、その上面に光の反射防止効果のある被覆部を形成し、脚部の下端には、キャスターを夫々設け、天板部、脚部、及びキャスターを、導電性を有する材料で構成し、導電性のあるクリーンルームの床部を利用して天板部に於ける静電気の除電が行えるように構成したことを特徴とするクリーンルーム用作業台。