JP3100121B2 - 水性の光画像化性液状乳剤から製造した光画像化性フィルムを使用する方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【技術分野】本発明は安定な水性乳剤の形態の光画像化
性フィルム組成物からの、光画像化可能な乾式フィルム
を使用するための方法を指向するものである。この光画
像化性フィルムにはホトレジスト、はんだマスク、印刷
板およびプルーフフィルム製品などを含むが、これに限
定はされないものである。

【０００２】

【従来の技術】光画像化性の材料は、銅クラッドガラス
エポキシのような基板上にホトレジスト層を形成するた
めに使用され、選択的なエッチングまたは電気メッキの
ような、基板の引き続く選択的処理を可能としている。
光画像化性材料は、また画像化した基板上に永久的なは
んだマスク層を形成するために用いられ、印刷回路板
（ＰＣＢ）製造中のはんだがけのもっと後のステップの
間に、はんだにふれることから下側の回路配線を保護す
るためのものである。印刷回路板製造のためのホトレジ
ストとはんだマスクの利用は、William S. DeForest
著、Photoresist-Materials and Processes, マグロウ
−ヒル社、１９７５年、Clyde F. Coombs, Jr.編, Prin
ted Circuits Handbook, マグロウ−ヒル社、１９７９
年、第２版およびRaymond H. Clark著、Handbook of Pr
inted Circuit Manufacturing, バンノストラントライ
ンホルド社、１９８５年などに述べられている。コーテ
ィングのための実質的にすべての溶剤を除いたホトレジ
ストとはんだマスク製品は乾式フィルム状として既知で
ある。印刷業界でのオフプレスプルーフ(off-press pro
ofing）のための、光画像化性プルーフフィルムの利用
はMichael H. Bruno著、Principle of Color Proofing,
GAMA Communications社、１９８６年中に述べられてい
る。

【０００３】アクリレートコポリマーバインダーをベー
スとした水性の液状ホトレジスト組成物はArmstrong Wo
rld Industriesへの米国特許第５,０４５,４３５号中に
示されている。これは液状のホトレジスト組成物を指向
したもので、安定な乳剤を与えおよび／または得られる
乳化組成物の充分高い粘度を与えるために、組成物のカ
ルボキシル−含有のバインダー成分の少なくとも２５％
が中和されねばならぬことを教示している。好ましい中
和パーセントは浸漬塗りのためには３０〜５０％、そし
てスクリーン印刷のためには４０〜６０％と述べてい
る。このカルボキシル−含有バインダーは８０より大き
い酸価と６０℃以上のガラス転位温度を有している

【０００４】水系のそして水性現像可能な光画像化性組
成物で２つのタイプのバインダー成分、すなわち、溶液
バインダーおよび乳剤バインダーを含むものが、１９９
３年６月１６日に公表されたMorton International, In
c. へのＥＰＯ特許公告第０５４６ ７６８ Ａ１号中で
示されている。この公報は光画像化性組成物の安定で塗
布可能な水性乳剤が、乳剤と溶液の２つのバインダータ
イプの使用によって得られることを示している。乳剤バ
インダーは界面活性剤（一つまたは複数）の助けによっ
てミセルとして水性媒質中に分散されている。溶液バイ
ンダーはアンモニアかまたは揮発性のアミンによって、
溶液ポリマーのカルボン酸官能性基に対して少なくとも
等モル量の範囲に中和することにより、水性媒質中に可
溶性にされている。乳剤バインダー（ポリマー）は５０
〜１７５間の酸価をもっており、これに反し溶液バイン
ダーは１００〜２５０間の酸価をもっている。乳剤バイ
ンダーと溶液バインダーは、好ましくは２００,０００
〜２５０,０００および１００,０００〜２００,０００
の分子量（数平均）をそれぞれ有している。バインダー
ポリマーの全体量の約１０〜５０重量％間が溶液ポリマ
ーでありそして約５０〜９０重量％間が乳化ポリマーで
ある。

【０００５】極性基をもつ高分子量化合物（バインダー
として）とエチレン性不飽和化合物（モノマーとして）
とを、水と有機溶剤中に分散させたものを含む光重合性
組成物が、小西六写真工業社への米国特許第４,５４２,
０８８号に示されている。この組成物は主に有機溶剤で
構成された溶剤、すなわち、有機溶剤と水との全量に対
して有機溶剤の重量百分率が５０％以上の溶剤中に分散
されたものに限定している。

【０００６】光画像化性の乾燥フィルム製品は塩化メチ
レンのような有機溶剤（または溶剤混合物）を用いて塗
布することにより現在広く製造されている。拡散、とく
に毒性物質の放出を減少するための環境的配慮からの圧
力の増大により、光画像化性材料製造のための塗布作業
の際に塩化メチレンのような有機溶剤を使用すること
は、ますます困難でかつ可能性が少なくなるとともに著
しくコスト高となりつつある。有機溶剤の存在を最小と
し好ましくはこのような溶剤を除外した光画像化性乾式
フィルムの製造に適した液状の光画像化性組成物が極め
て必要とされる。

【０００７】

【発明の要点】本発明は、基板上に画像を作成するため
の方法を指向するもので、これは順序正しく： （ｉ） 第１の基板上に、固体含有量２５〜６０重量％
を有する光画像化性組成物を塗布し、この組成物は： （ａ） 中和する前に９０〜１６０の酸価を有するポリ
マー前駆体で、その酸含有基の１〜１５％が塩基によっ
て中和されているポリマー前駆体から形成された、部分
的に中和されている酸含有ポリマー； （ｂ） エチレン性不飽和モノマー； （ｃ） 光開始剤または光開始剤系； （ｄ） 水； （ｅ） 組成物中に存在する全ポリマー重量を基準に０
〜５重量％の溶液ポリマー；および （ｆ） 水と有機溶剤の全重量を基準に０〜２５重量％
の有機溶剤から構成され、ここでこの液状組成物は安定
な乳剤として存在し、かつこの光画像化性組成物は２５
℃で約１０から約２０００センチポイズまでのブルック
フィールド粘度を有するものである； (ii) この塗布した光画像化性組成物を乾燥して、第１
の基板上に光画像化性層を形成し； (iii) この層を画像形成露光して画像化域と非画像化域
とを形成し；そして (iv) 画像化域と非画像化域とを有する露光済み層を現
像して、第１の基板上に画像を形成する段階からなる画
像作成方法である。

【０００８】露光済み層はウオッシュオフ現像法、剥離
現像法または乾燥トナーもしくはトーニングフィルムの
形態でトナーを付与するなどにより現像することができ
る。プリントアウト画像を得ることもできる。

【０００９】本発明はまた露光済み層が水性のアルカリ
性現像液により現像され、そして光画像化性組成物が着
色されたものである前記方法にも関するものである。本
発明はまた、前記の光画像化性組成物がさらに着色材を
含んでおり、そして露光済み層は、画像化域と非画像化
域とを有する露光済み層の表面に第２の基板をラミネー
トし、ついでこの第１と第２の基板を分離して画像化域
を第１の基板上に残留し、そして非画像化域を第２の基
板上に移すことにより現像される方法にも関するもので
ある。

【００１０】本発明はさらに、光画像化性組成物がさら
に着色材を含み、そしてステップ(ii)と(iii)との間に
第２の基板がこの光画像化性層に対してラミネートさ
れ、そして露光済み層は、第１と第２の各基板が分離さ
れ、画像化域は第１の基板上に残留しそして非画像化域
を第２の基板上に移すことにより現像される前記の方法
にも関するものである。

【００１１】前記の各方法において露光済み層は乾燥ト
ナーによって現像することができる。本発明はまた露光
済み層が、支持体と着色材含有層とからなるトーニング
ホイルを、画像化域と非画像化域をもつ露光済み層の表
面にラミネートし、ついで第１の基板とトーニングホイ
ル支持体とを分離し、露光済み層の非画像化域に着色材
含有層を残留することにより現像される方法にも関する
ものである。

【００１２】本発明は、露光に際してプリントアウト画
像を形成する光画像化性組成物が２,２′−ビス（ｏ−
クロロフェニル）−４,４′,５,５′−テトラフェニル
−１,１′−ビイミダゾールとロイコクリスタルバイオ
レット；１,２−ジブロモテトラクロロエタンとロイコ
クリスタルバイオレット；トリブロモメチルフェニルス
ルホン（ＢＭＰＳ）とロイコクリスタルバイオレット；
および２,３−ジブロモ−３−フェニルプロピオフェノ
ン（ＢＰＰ）とロイコクリスタルバイオレットよりなる
群から選ばれた組合わせを含むものである方法に関する
ものである。第１の基板がポリエチレンテレフタレー
ト、メタルクラッドエポキシガラス板、陽極化アルミニ
ウム、紙、ポリエチレンクラッド紙、ポリカーボネート
およびポリプロピレンよりなる群から選ばれたものであ
る。

【００１３】本発明はさらに、１０％より多くないポリ
マーの酸基が中和されており、乳剤が少なくとも２４時
間安定であり、液状組成物が２５℃で約１５〜約５００
センチポイズのブルックフィールド粘度を有し、そして
３５〜５０重量％の固体含有量をもち、塩基が水銀柱７
６０mmの圧力下に少なくとも９０℃の沸点をもつもので
ある方法に関するものである。

【００１４】塩基はアンモニウムヒドロキシド、水酸化
ナトリウムおよび水酸化カリウムよりなる群から選ぶこ
とができ、またはこの塩基はつぎの式 ＮＲ₁Ｒ₂Ｒ₃ （式中、Ｒ₁、Ｒ₂およびＲ₃は独立して、Ｈ、Ｃ_1-20の
置換または未置換のアルキル、Ｃ_1-20の置換または未置
換のシクロアルキル、Ｃ_1-20の置換または未置換のアリ
ールまたはＲ₁、Ｒ₂およびＲ₃の少なくとも２つは単一
の環および少なくとも２つの独立の環よりなる群から選
ばれた環構造を形成する）を有し、またはこの塩基はト
リエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノ
ールアミン、２−Ｎ,Ｎ−ジアルキルアミノアルキルア
クリレートまたは２−Ｎ,Ｎ−ジアルキルアミノアルキ
ルメタクリレートである。前記の方法はカルボキシル基
を含む部分的に中和されたポリマーを利用することもで
きる。

【００１５】

【発明の詳述】本発明の１つの態様においてプルーフに
使用するための安定な水性の光画像化性液状乳剤が示さ
れている。この“安定な”の語は乳剤が少なくとも２時
間の期間はその均質性を保持することを意味している。
一般的に安定性は少なくとも２４時間、そして好ましく
は少なくとも５日間の期間は存在しよう。この安定な水
性の光画像化性液状乳剤は、最終基板に塗布することに
より直接使用しそして既知の方式で画像化することがで
きるが、乳剤は水を除くことにより、一時的支持体上の
均一な塗膜として、すなわち、最終基板上で使用する前
に、支持されている乾式フィルムとして好ましく利用さ
れる。固体含有量の高い液状乳剤は必要な水の分量を好
ましくは最小とし蒸発させるべき水を少量とする。しか
しながら、このような高い固体含有量乳剤の粘度は一般
に高く、均一な塗膜として支持体に直接塗布する際の順
応性を制限することになる。

【００１６】ポリマーの粒子（最終の乾燥した製品中で
バインダーとしての役目をする）は安定な乳剤または懸
濁液を生成するため充分に小さいものと思われている。
実際に、もしポリマー粒子が余りにも大きいものなら
ば、これらは最適の条件下でさえこのような乳剤または
懸濁液を形成し得ない。適切な粒子サイズは当業者によ
り容易に決めることができる。例示すると良好な粒子サ
イズは０.０５ミクロン(５０nm)と１ミクロン(１０００
nm)の間の平均直径を有している。好ましい粒子サイズ
範囲は０.１ミクロン(１００nm)〜０.４５ミクロン(４
５０nm)である。

【００１７】乳剤を作ることがさらに難しい処方に対し
ては、乳剤の安定を助けるために界面活性剤を添加する
ことができる。適当な界面活性剤は良く知られており、
とくに限定するものではないがアニオン性および非イオ
ン性の界面活性剤が含まれる。

【００１８】本発明により製造された乳剤は、２５℃で
約１０から約２０００センチポイズのブルックフィール
ド粘度と２５〜６０重量％の固体含有量とを有してい
る。好ましくは、ブルックフィールド粘度は２５℃で約
１５から約５００センチポイズの範囲であり、固体含有
量は３５〜５０重量％の範囲である。さらに好ましく
は、ブルックフィールド粘度は２５℃で約１５〜２００
センチポイズの範囲であり、そして固体含有量は約４０
から約５０重量％の範囲であろう。

【００１９】好ましい態様において本発明の利点は、液
状組成物から作成した乾式フィルムの画像化と処理にお
ける以下の利点の１つまたはいくつかが含まれる： １） 改善された側壁の形状 ２） 広い現像ラチチュード ３） 高解像力

【００２０】水性の光画像化性液状乳剤 部分的に中和されている酸含有ポリマー：安定な水性の
光画像化性液状乳剤の必須成分は部分的に中和されてい
る酸含有ポリマーである。この部分的に中和されたポリ
マーということの目的は、安定な液状乳剤として乳剤の
粘度を不適切に限定せずに存在させるものと考えられ、
すなわち、本発明の範囲外の高い中和度は最終処方の不
当に高い粘度を直ちに生ずるのである。

【００２１】中和前の酸含有ポリマー前駆体は９０〜１
６０の酸価を有している。好ましい酸基はカルボン酸基
である。酸含有ポリマー前駆体の中和の程度は１５％よ
りも大きくない、つまり、１５％より多くない酸含有基
が中和されていることが必要とされる。中和の最少量は
１％である。好ましい範囲は２〜１０％であり、さらに
より好ましくよりせまい範囲は４〜８％である。

【００２２】より高度のポリマー中和は安定な乳剤を生
じ、そして例えばホトレジストの生成をさせるが、１つ
またはそれより多い有害な特性が、単にバインダーポリ
マーの酸性基の高い中和度によりもたらされると考えら
れる。この例で認められた有害な性質の１例は側壁の形
状不良である。

【００２３】中和は塩基により行われ、これは無機また
は有機のどちらでも良い。無機塩基の例は水酸化ナトリ
ウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウムおよび炭酸
アンモニウムである。アンモニアも使用できるが、好ま
しくない。有機塩基の例にはつぎの式： ＮＲ₁Ｒ₂Ｒ₃ （式中、Ｒ₁、Ｒ₂およびＲ₃は独立してＣ_1-20の置換ま
たは未置換のアルキル、Ｃ_1-20の置換または未置換のア
ラルキル、Ｃ_1-20の置換または未置換のシクロアルキ
ル、Ｃ_1-20の置換または未置換のアリールであり、また
はＲ₁、Ｒ₂およびＲ ₃の少なくとも１つはＨであり、ま
たはＲ₁、Ｒ₂およびＲ₃の少なくとも２つは単一の環ま
たは少なくとも２つの独立の環よりなる群から選ばれた
環を形成する）を有するアミンが含まれる。Ｃ_1-20の置
換アルキル基の適当な置換基はヒドロキシル、アルキル
アクリレートおよびアルキルメタクリレートであるがこ
れに限定はされない。適当なアミンの例はトリエタノー
ルアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミ
ン、２−Ｎ,Ｎ−ジアルキルアミノアルキルアクリレー
トおよび２−Ｎ,Ｎ−ジアルキルアミノアルキルメタク
リレートである。

【００２４】応用が容易なことにより好ましい塩基は、
水銀柱７６０mmで少なくとも９０℃の沸点をもつもので
ある。さらに好ましい塩基は少なくとも１２０℃（７６
０mmHg、１気圧で）の沸点をもつもの、そしてなおさら
に好ましい塩基は少なくとも２００℃（７６０mmHg、１
気圧で）の沸点をもつものである。

【００２５】酸含有ポリマーは従来からよく知られてお
り、そして酸価が９０〜１６０であるならばポリマー前
駆体として本発明において適当なものである。本発明の
組成物中に存在するポリマーは酸官能性基を含まねばな
らず、これはバインダーポリマー中に１個またはそれよ
り多くのカルボキシル基含有コモノマーを導入すること
により好ましく達成される。本発明のため好ましいポリ
マーはまたコモノマーとしてスチレンを含んでいる。本
発明のため適当なポリマーはコモノマーとして０〜５０
重量％のスチレンを含み、９０〜１６０の範囲内の酸
価、２０，０００〜３００，０００の範囲の分子量（重
量平均）、および５０〜１２０℃の範囲のガラス転移温
度を有している。好ましくは、ポリマーはコモノマーと
して５〜４０％のスチレンを含み、１１０〜１４０の範
囲の酸価、４０，０００〜２００，０００の範囲の分子
量（重量平均）、および６０〜１１０℃の範囲のガラス
転移温度を有している。さらに好ましくは、ポリマーは
コモノマーとして１０〜３０％のスチレンを含み、１２
５〜１３５の範囲の酸価、６０，０００〜１００，００
０の範囲の分子量（重量平均）、７０〜１００℃の範囲
のガラス転移温度をもち、そして重合のための開始剤と
して過硫酸塩化合物（すなわち、ナトリウム、カリウ
ム、またはアンモニウムの過硫酸塩）を使用して重合さ
せたポリマー（一つまたは複数）で構成されている。

【００２６】開始剤としての過硫酸塩の使用はその使用
がとくに安定なポリマー乳剤を与えるのでもっとも好ま
しい。過硫酸塩の使用がなぜ安定な乳剤を与えるのかに
関して、特定の理論に拘束はされないが、過硫酸塩の使
用は乳剤粒子の表面上に帯電した硫酸基のいくつかを導
入するものと思われ、これが乳剤粒子の電気的なポテン
シャルを高めることにより、本発明に従って作り得られ
る乳剤の安定化に役立つのかも知れない。ポリマー乳剤
はまた当業者に知られている普通の方法により作ること
もできる。

【００２７】好ましいポリマーバインダーは、つぎの構
造単位

【化１】 （式中、Ｒ₁はＨ、フェニルまたはアルキルであり；Ｒ₂
はＣＯ₂Ｒ₃、ＳＯ₃Ｒ、またはその他の酸性の官能性基
であり；そしてＲ₃とＲはＨまたはアルキルで、これは
未置換であるかまたはヒドロキシルで置換されている）
の酸含有モノマーの少なくとも１つから構成された、酸
含有のコポリマーまたはホモポリマーである。アルキル
基は１〜１２個の炭素原子を含み、好ましくは１〜８個
である。

【００２８】バインダーコポリマーを形成するのに適当
なコモノマーはスチレンおよび（メタ）アクリル酸およ
び（メタ）アクリレートのような、不飽和カルボン酸お
よびその誘導体である。アクリル酸、メタクリル酸、メ
チルメタクリレート、スチレン、エチルアクリレート、
エチルメタクリレート、ブチルメタクリレート、ブチル
アクリレート、無水マレイン酸、２−ヒドロキシエチル
メタクリレート、および２−エチルヘキシルメタクリレ
ートなどが好ましい。

【００２９】適当なバインダーコポリマーは１つまたは
それより多くのエチレン性不飽和ジカルボン酸無水物、
またはその対応するアルキルジエステルを１つまたはそ
れより多くの上記のコモノマーとともに直接共重合する
ことにより作ることができる。適当なエチレン性の不飽
和ジカルボン酸無水物は、例えば、無水マレイン酸、無
水イタコン酸および無水シトラコン酸および無水マレイ
ン酸のジイソブチルエステルのようなアルキルジエステ
ル類である。酸無水物官能性基を含むコポリマーバイン
ダーは、第１級の脂肪族または芳香族アミンとともに酸
およびアミド官能基を作るよう反応させることができ
る。

【００３０】使用に際し水性処理可能で、同時に乾式フ
ィルム製造の際に水性塗布可能なため好ましい酸含有バ
インダーは、米国特許第３,４５８,３１１号と同第４,
２７３,８５７号中で示されているもののようなカルボ
ン酸含有コポリマーであり、これはそこに記載されてい
るような当業者に知られている付加重合法のいずれかに
より製造することができる。カルボン酸基のレベルは、
水性のアルカリ現像液中で良好な現像のため必要な量を
最適化することにより所定の組成物について決定され
る。

【００３１】水性処理可能なホトレジストまたははんだ
マスクを基板に対してラミネートしそしてホトプリント
をするとき、ホトレジストまたははんだマスク組成物の
現像には、水性のアルカリ性現像液中でホトレジストま
たははんだマスク被覆組成物を処理可能とするために、
充分なカルボン酸基を含むべきことを必要としよう。ホ
トレジストまたははんだマスクの塗膜は、１重量％の炭
酸ナトリウムを含有する完全な水性溶液のような水性の
アルカリ性液体による３０℃の温度での現像中に、放射
線に対して露光されなかった部分は除去されるが露光を
された部分は実質的に作用を受けないであろう。

【００３２】エチレン性不飽和モノマー：安定な光画像
化性液状乳剤にさらに必要とされる成分はエチレン性の
不飽和モノマーである。これに有用な適当なモノマーは
従来から良く知られたものであり、典型的にはフリーラ
ジカル開始重合をするものである。組成物はこの成分の
少なくとも１つまたは混合物を含んでいる。一般に、ホ
トポリマーに利用するのに好ましいモノマーは１００℃
（７６０mmHg、１気圧で）より高い沸点、さらに好まし
くは１５０℃（７６０mmHg、１気圧で）より高い沸点を
有している。フリーラジカルで開始される重合により重
合可能で、かつ光重合性組成物中に有用な多数の不飽和
モノマーが当業者に知られている。

【００３３】モノマーはホトレジスト塗布組成物に光重
合する能力を与えそして全体的な特性に寄与する。効果
的にこのようにさせるため、モノマーは化学線に対する
露光に際し重合することができる。少なくとも１つのエ
チレン性不飽和基を含むべきである。

【００３４】好ましいモノマー性化合物は多官能性のも
のであるが、ポリカプロラクトンの（メタ）アクリレー
トエステルのような、単官能性モノマーも使用すること
ができる。単独のモノマーとしてかまたは他のものと組
合わせて用いることのできる適当なモノマーには以下の
ものが含まれる：ジエチレングリコールジアクリレー
ト、トリプロピレングリコールジアクリレート、トリメ
チロールプロパントリアクリレート、ペンタエリトリト
ールトリアクリレート、エトキシル化トリメチロールプ
ロパントリ（メタ）アクリレート、プロポキシル化トリ
メチロールプロパントリ（メタ）アクリレートおよび米
国特許第３,３８０,８３１号中に示された類似化合物、
トリエチレングリコールジメタクリレート、ビスフェノ
ールＡジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡのジ
−（２−メタクリルオキシエチル）エーテル、ビスフェ
ノールＡのジ−（３−アクリルオキシ−２−ヒドロキシ
プロピル）エーテル、ビスフェノールＡのジ−（２−ア
クリルオキシエチル）エーテル、テトラクロロ−ビスフ
ェノールＡのジ−（３−メタクリルオキシ−２−ヒドロ
キシプロピル）エーテル、テトラクロロ−ビスフェノー
ルＡのジ−（２−メタクリルオキシエチル）エーテル、
テトラブロモ−ビスフェノールＡのジ−（３−メタクリ
ルオキシ−２−ヒドロキシプロピル）エーテル、テトラ
ブロモ−ビスフェノールＡのジ−（２−メタクリルオキ
シエチル）エーテル、エトキシル化ビスフェノールＡジ
（メタ）アクリレート、プロポキシル化ビスフェノール
Ａジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡジグリシ
ジルエーテルのジアクリレートおよびポリカプロラクト
ンジアクリレート。

【００３５】コモノマーのとくに好ましいクラスのもの
はトリプロピレングリコールジアクリレート、トリメチ
ロールプロパントリアクリレート、エトキシル化トリメ
チロールプロパントリアクリレート、プロポキシル化ト
リメチロールプロパントリアクリレート、エトキシル化
ビスフェノールＡジメタクリレートおよびトリエチレン
グリコールジメタアクリレートである。

【００３６】光開始剤または光開始剤系：光開始剤また
は光開始剤系には、化学線により活性化されたとき直ち
にフリーラジカルを供給する１つまたはそれより多くの
化合物が含まれる。“化学線”はモノマーの重合を開始
するため必要なフリーラジカルを生成させる放射線を意
味している。この光開始剤系には、その一つまたは複数
が放射線により活性化される別の化合物または増感剤に
よりこれを実行するようにさせられたのちに、フリーラ
ジカルを生成する複数化合物を含むこともある。この増
感剤はスペクトル的応答を近紫外域、可視域および近赤
外域のスペクトル範囲に拡張することができる。またレ
ーザーを使用する放射線も特定の状況下で用いることが
できる。

【００３７】光開始剤は、S. P. Pappas氏編のRadiatio
n Curing：Science and Technology（プレナム社刊、１
９９２年）３９９〜４４０頁に記載のB. M. Monroe氏に
よる“Photopolymers：Radiation Curable Imaging Sys
tems"およびP. K. T. Oldring氏編のChemistry and Tec
hnology of UV and EB Formulation for Coatings, Ink
s, and Paints(シータテクノロジー社刊、第３巻、１９
９１年）、６０〜５２５頁に記載のK. K. Dietliker氏
による“Free-Radical Polymerization"で論じられてい
る。

【００３８】光開始剤または光開始剤系はハロゲン化−
２,５−シクロヘキサジエンオン、ベンゾフェノン、ア
ルキルアリールケトンまたはジケトンタイプのもの、ま
たはこれらの混合物のような特定のタイプに属するもの
とすることができる。本発明により製造される、乾式フ
ィルムホトレジストおよびはんだマスク中で光重合を開
始するためには、どの種類のフリーラジカル発生光開始
剤も使用することができる。ベンゾフェノン、ビス−
４,４′−ジメチルアミノベンゾフェノン（ミヒラーケ
トン）、ビス−４,４′−ジエチルアミノベンゾフェノ
ン（エチルミヒラーケトン）、他のアルキルアミノ基、
クロロ、メトキシなどにより単一または複数置換されて
いるベンゾフェノンのようなベンゾフェノン誘導体類
は、光開始剤としてしばしば広く用いられている。好ま
しい化合物にはベンゾフェノン、エチルミヒラーケトン
およびミヒラーケトンが含まれる。また置換されたキサ
ントン、チオキサントン、アントロンおよびフルオレノ
ンも有用な開始剤であり、アルキル、クロロおよびアル
コキシにより置換されたチオキサントンが好ましい。Sy
sak氏の米国特許第４,３４１,８６０号中で述べられた
ような、置換シクロヘキサジエンオンもまた用いること
ができ、４位にアルキルとトリクロロメチル置換基の両
者をもつ化合物が好ましい。

【００３９】置換された２,４,５,２′,４′,５′−ヘ
キサアリールビイミダゾールダイマー類（ＨＡＢＩｓ）
は、光開始剤系中でしばしば好まれている化合物であ
り、Chambers氏の米国特許第３,４７９,１８５号；Cesc
on氏の同第３,７８４,５５７号；Dessauer氏の同第４,
３１１,７８３号；およびSheets氏の同第４,６２２,２
８６号中で示されている。このクラスの好ましいダイマ
ーは２−ｏ−クロロ置換ヘキサフェニルビイミダゾール
類であり、このフェニル基上のその他の位置はクロロ、
メチルまたはメトキシによって置換されるかまたは未置
換とされ、ＣＤＭ−ＨＡＢＩ、すなわち、２−（ｏ−ク
ロロフェニル）−４,５−ビス（ｍ−メトキシフェニ
ル）−イミダゾールダイマー；ｏ−Ｃｌ−ＨＡＢＩ、す
なわちビイミダゾール、２,２′−ビス（ｏ−クロロフ
ェニル）−４,４′,５,５′−テトラフェニル−；およ
びＴＣＴＭ−ＨＡＢＩ、すなわち、１Ｈ−イミダゾー
ル、２,５−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４−〔３,４
−ジメトキシフェニル〕−、ダイマーのようなもので、
このそれぞれは典型的に水素供与体または連鎖転移剤と
ともに用いられる。このクラスのもっとも好ましい開始
剤はｏ−Ｃｌ−ＨＡＢＩ、すなわち、１,１′−ビイミ
ダゾール、２,２′−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４,
４′,５,５′−テトラフェニル−イミダゾールダイマー
である。

【００４０】とくに好ましい光開始剤と増感剤のいくつ
かはオルソＣｌ−ＨＡＢＩ、ベンゾフェノン、エチルミ
ヒラーケトン、ｐ−ジアルキルアミノベンズアルデヒ
ド、ｐ−ジアルキルアミノ安息香酸アルキルエステル、
シクロヘキサジエンオン、キサントン、チオキサント
ン、ベンジルジアルキルケタール、アミノアセトフェノ
ン、ベンゾイン、ベンゾインジアルキルエーテルまたは
これらの組合わせであり、ここでアルキル基は１〜４個
の炭素原子を含む。光重合性組成物中の全光開始剤系の
量は、全成分との関係で典型的に０.５から１０重量部
までである。

【００４１】任意的な添加物と構成材料：本発明の実施
に際し、もっとも多くの場合そして好ましい態様におい
て、水性塗布乳剤とするための分散媒としては水だけが
用いられる。しかしながら、必要なとき有機溶剤はそう
でなければ溶解困難な成分に、溶解性を与えるためまた
は集合剤（coalescing agent）として、液化性成分を含
む半水性の乳剤処方中に含ませることができる。もし使
用するならば、適当な有機溶剤にはメタノール、エタノ
ール、イソプロパノール、ｎ−プロパノール、ｎ−ブチ
ルアルコール、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピ
レングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコー
ルモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチル
エーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテ
ル、プロピレングリコールｔ−ブチルエーテルおよびジ
プロピレングリコールモノエチルエーテルなどが含ま
れ、これらは単独かまたは組合わせて使用することがで
きる。すべての場合有機溶剤の分量は、使用されるなら
ば、用いられた有機溶剤と水との合計量に関して２５重
量％以下である。

【００４２】本発明の光画像化性フィルム組成物は、ポ
リ（ビニルピロリドン／ビニルアセテート）コポリマー
のような、溶液重合により作ることのできる溶液ポリマ
ーの少量を含むことができると理解され、これは保存の
間の光画像化性乾式フィルム中の冷流動性を低下するよ
うに作用する。しかしながら、溶液ポリマーが存在する
とき、その濃度は全バインダーポリマーを基準に５重量
％以下、好ましくは３重量％以下そしてもっとも好まし
くは２重量％以下である。

【００４３】各種界面活性剤を、さらに乳剤を安定させ
るために乳剤中に任意に含ませることができる。アニオ
ン性、カチオン性および非イオン性の活性剤を使用する
ことができ；非イオン性活性剤が好ましい。とくに好ま
しい非イオン性活性剤はエチレンオキサイドとプロピレ
ンオキサイドとのホモポリマーおよびコポリマーであ
る。

【００４４】光画像化性のはんだマスク組成物の場合、
画像化したレジストの硬化をさせるため前述の主要成分
に加えて架橋剤を存在させる。適当な架橋剤にはポリイ
ソシアネート化合物とイソシアネート基ブロッキング剤
との付加物およびメラミン、ウレア、ベンズグアニジ
ン、その他とホルムアルデヒド縮合樹脂が含まれる。

【００４５】ホトレジストおよびはんだマスク用のホト
ポリマー組成物に対して通常添加されるその他の化合物
を、フィルムの物理的特性を変えるため塗布膜中に存在
させることができる。このような成分には接着性改変
剤、熱安定化剤、染料および顔料のような着色材からな
るプリントアウト画像系、粘度調整剤、塗布助剤、湿潤
剤、界面活性剤、リリーズ剤、充填剤、架橋剤、その他
が含まれる。

【００４６】適当なプリントアウト画像系の例は以下の
ものである：２,２′−ビス（ｏ−クロロフェニル）−
４,４′,５,５′−テトラフェニル−１,１′−ビイミダ
ゾールとロイコクリスタルバイオレット（ＬＣＶ）；
１,２−ジブロモテトラクロロエタンとＬＣＶ；トリブ
ロモメチルフェニルスルホン（ＢＭＰＳ）とＬＣＶおよ
び２,３−ジブロモ−３−フェニルプロピオフェノン
（ＢＰＰ）とＬＣＶ。

【００４７】ある種の複素環化合物は銅クラッド基板に
対する塗膜の接着を改善しまたは処理中の残滓生成を防
止する。適当な複素環化合物にはHurley氏他の米国特許
第３,６２２,３３４号、Jones氏の同第３,６４５,７７
２号、およびWeed氏の同第４,７１０,２６２号中に示さ
れているような物質が含まれる。好ましい複素環化合物
にはベンゾトリアゾール、５−クロロ−ベンゾトリアゾ
ール、１−クロロ−ベンゾトリアゾール、４−および５
−カルボキシ−ベンゾトリアゾール、１−ヒドロキシ−
ベンゾトリアゾール、２−メルカプト−ベンゾオキサゾ
ール、１Ｈ−１,２,４−トリアゾール−３−チオール、
５−アミノ−１,３,４−チオジアゾール−２−チオール
およびメルカプト−ベンゾイミダゾールなどが含まれ
る。

【００４８】塗膜組成物中で用いることのできる熱重合
抑制剤は、ｐ−メトキシフェノール、ヒドロキノン、ア
ルキル−およびアリール置換ヒドロキノンおよびキノ
ン、ｔ−ブチルカテコール、２,６−ジ−ｔ−ブチル−
ｐ−クレゾールおよびフェノチアジンである。また熱重
合抑制剤のために有用なのは米国特許第４,１６８,９８
２号に示されたニトロソ組成物である。

【００４９】各種染料と顔料をレジスト画像の可視性を
高めるために添加することができる。どの着色材も使用
できるが、好ましくは化学線に対して透明でなければな
らない、代表的な色素にはロイコクリスタルバイオレッ
ト、ビクトリアグリーン染料およびビクトリアブルー染
料が含まれる。

【００５０】ホトレジストおよびはんだマスクの組成に
対して好ましい範囲はポリマー約３０〜８０重量部；モ
ノマー約１０〜５０重量部；そして光開始剤系約０.５
〜１０重量部である。光画像化性層の厚みは行われる処
理のタイプに関連するであろう。

【００５１】光画像化性塗膜用としてそのまま使用する
ことが知られている支持体フィルムは、どれも本発明の
応用に際してその上に光画像化性材料を塗布いるための
一時的支持体として用いることができる。この好ましく
温度変化に対して高い寸法安定性をもつ、一時的の支持
体フィルムはポリアミド、ポリオレフィン、ポリエステ
ル、ビニルポリマーおよびセルロースエステルなど各種
のものから選ぶことができ、約６〜約２００ミクロンの
厚みをもつことができる。とくに適当な支持体フィルム
は約２５ミクロンの厚みをもつポリエチレンテレフタレ
ートである。

【００５２】光画像化性フィルムでは、これがロール状
で保存されるとき固着するのを防ぐために、除去可能な
カバーフィルムにより感光層を保護することが必要であ
り、または少なくとも高度に望ましいものである。この
保護カバーフィルムは、基板に対する光画像化性エレメ
ントのラミネートに先立ってとり除かれる。

【００５３】保護カバーフィルムは一時的の支持体フィ
ルムについて前記した高ポリマーフィルムと同じグルー
プから選ぶことができ、また同様に広い範囲の厚みをも
つことができるが、ラミネートの条件下に比較的柔軟な
カバーシートを使用することが好ましい。ポリエチレン
またはポリプロピレンの２５ミクロンの厚みのカバーシ
ートがとくに好ましい。

【００５４】製造方法：乾式フィルムを作成する方法は
比較的簡単かつ直接的なものである。本発明の安定な光
画像化性液状組成物は永久的かまたは一時的の基板上に
塗布される。当業者によく知られている各種の塗布法を
用いることができる。

【００５５】液状組成物中の実質的にすべての水が除去
され乾式のフィルムが作られる。液体中に比較的高い固
体含有物が存在するので、好ましい条件下に乾式フィル
ムを形成する際には、比較的少量の液体が除去されるも
のと考えられる。有機溶剤がまた用いられているなら
ば、これもこの乾燥工程中に除去される。

【００５６】使用方法 安定な水性の光画像化性液状乳剤はホトレジスト、はん
だマスク、印刷板およびプルーフ用製品の製造のため使
用することができる。これらの組成物は、前述のような
乾式フィルムが製造されるときは、基板に対して塗布か
またはラミネートすることにより付与される。乾燥後、
塗布膜は一般に３０秒〜２分の吸引後に、製版ネガチブ
かまたはポジチブ原板を通じて化学線に対し画像形成露
光をされる。この原板は実質的に不透明と実質的に透明
な区域からもっぱら構成され、この不透明区域が実質的
に同じ光学的濃度のものであるような画像をもつ原板で
ある。

【００５７】本発明の方法で使用する組成物は一般に紫
外部領域にその最高感光性を示すもので、それ故に光源
はこのタイプの放射線の有効な量を供給しなければなら
ない。適当な光源には炭素アーク、水銀蒸気アーク、特
別な紫外光−放出蛍光体をもつ蛍光灯、アルゴングロー
ランプ、電子フラッシュ装置および写真フラッドランプ
などが含まれる。露光時間は使用した光源のタイプ、強
度および光画像化性層からの距離および光画像化性層の
タイプなどに応じて、数分の１秒から数分までに変化し
よう。一般に露光時間は標準的な市販光源を使用し、１
０秒から１０分またはそれ以上までの範囲である。

【００５８】光画像化性組成物中に画像化域と非画像化
域とを形成するための画像形成露光につづいて、カバー
シートがあるならばとり除いた後、露光済みの層は第１
の基板上に画像を作るために現像される。好ましく、画
像化域と非画像化域とを有する露光済み層を現像し、第
１の基板上に画像を形成するのはドライ現像ステップで
ある。露光済み層は非画像化域をとり除いてレリーフ画
像を残留する、水性のアルカリ性現像液を使用し現像す
ることができる。もし第１の基板が銅クラッドエポキシ
ガラス基板であるならば、形成された画像は第１の基板
の銅露出区域をエッチングしまたはメッキするためのマ
スクとして使用できるレジスト像である。もし第１の基
板が陽極化アルミニウムのような金属基板であるならば
印刷版が生成される。光画像化性層はウオッシュオフ現
像後にプルーフ製品とするため着色することができる。

【００５９】露光済み層はまたトーニングホイルまたは
フィルムによってトーニングしまたは粉末トナーを散布
して現像することもできる。有用なトーニングフィルム
は、１９８７年６月６日にFroehlich氏に対し許可され
た米国特許第３,６２５,０１４号中に述べられている。
この支持体と低凝集力の着色ポリマー層とから構成され
たフィルムは、画像化域と非画像化域とを有する露光済
み層に対してラミネートされる。支持体は第１の基板上
の画像化域に近接する着色ポリマーとともに剥離され
る。一般に、このトーニングフィルムは普通のラミネー
ト速度よりもはるかにゆっくりと付着させることが必要
であり、そして異なるトーニングフィルムをそれぞれラ
ミネートするために最適の速度と温度を決定するには、
いくらかの実験を必要とするかも知れない。

【００６０】トーニングフィルムに関連して多くの利点
があるが、またこのようなフィルムがごみをとり込ん
で、最終的のプルーフ中で背景人為構造となるという傾
向も含めて潜在的ないくつかの問題もある。一方、印刷
前のプルーフを作るための粉末状トナーの使用は確立さ
れた１つの技術である。ドライ非検電的トナー、その製
造方法、同じく改良した表面被覆などは、例えば、Chu
とManger氏の米国特許第３,６２０,７２６号；Gray氏の
同第３,９０９,３８２号；Fickes氏他の同第４,２１５,
１９３号；Fickes氏の同第４,３９７,９４１号；および
Matrick氏の同第４,５４６,０７２号中で従来から良く
知られている。トナーは非粘着性の画像化域と粘着性の
非画像化域とを有する露光済み層に対して付与される。
余分なトナーは除かれて第１の基板上にトナー像が得ら
れる。

【００６１】画像化域と非画像化域とを有する露光済み
層はまた剥離現像により現像することもできる。この例
の場合光画像化性層は着色することができる。第２の基
板は、露光ステップの前にかまたは露光済み層中に画像
化域と非画像化域とが形成した後で、光画像化性層に対
しラミネートすることができる。第２の基板はついで剥
離され、画像化域は第１の基板上に残留しそして非画像
化域は第２の基板上に移される。もし光画像化性層が非
着色のものであるときは、第２の基板に移された粘着性
の非画像化域は、前述のように粉末状のドライトナーか
またはトーニングフィルムにより処理することができ
る。本発明を実施例により以下例示するが、これに限定
されないものである。

【００６２】

【実施例】以下の各実施例において、とくに記載しない
限りすべての部と百分率とは重量によるものでありそし
てすべての温度は摂氏温度である。 定義：“溶液バインダー”または“溶液ポリマー”の用
語は、有機性溶剤（一つまたは複数）中でその成分モノ
マーから作られたポリマーであると定義される。“酸
価”の用語は、乾燥バインダー（ポリマー）１ｇの酸官
能性基を中和するため必要な水酸化カリウムのmgである
と定義される。

【００６３】実施例１ ホトポリマー乳剤は以下の組成をもつものを調製した：

【表１】

【００６４】上記の各乳剤をDylux^R 紙（E. I. duPont
de Nemours and Co.）上に毎分２０フィート（６.１０
ｍ／分）で塗布しそして乾燥して高品質の乾式紙とし
た。乾燥した塗膜はネガチブ原板とともに光源（５kwの
VioluxとTheimer Montakop真空焼枠、Siegfried Theime
r製）中に入れて検査した。２０秒の画像化の後、露光
した紙はDylux^R Clearingフィルター（DuPont)を使用し
３５０秒間定着した。各紙はそれぞれ異なる表面粘着性
を有する優れたブルーの画像を示した。

【００６５】実施例２ 以下の組成を有するホトポリマー乳剤を調製した：

【表２】

【００６６】前記乳剤を４８ＳMylar^R ポリエステルフ
ィルム（DuPont）上に９０mg／dm²の塗布量に塗布し、
そして８０℃で乾燥して高品質の乾式フィルムとした。
このフィルムをCromalin^R ＣＲ−１紙受容体に対して、
Cromalin^R ラミネーター（DuPont）を使用し、１１５.
５℃のロール温度で２０.３２cm／分（８フィート／
分）の通過速度でラミネートした。２分間の吸引後に、
この得られたラミネート体をイエローのポジチブ分解原
板を通じ、ポリエステルフィルム側から１４秒間光源装
置（５kwのVioluxとTheimer Montakop真空焼枠、Siegfr
ied Theimer製）中で露光した。エレメントを真空焼枠
からとり出し、ポリエステルフィルムを剥離し、そして
画像をCromalin^R イエローポジチブトナー（DuPont）で
トーニングし、ポジチブ原板に対応するイエロー画像を
得た。このプロセスをイエロー画像をもつ受容体上に前
記のものと類似の追加的なホトポリマー乳剤塗膜をラミ
ネートし、マゼンタ、シアンおよび黒の分解原板を使用
して露光し、支持体をとり去りそしてそれぞれの色調の
トナーによってトーニングすることにより順次くり返
し、高品質の４色ポジチブプルーフを得た。コロナ処理
したカバーシートを多層利用のため使用した。感光性材
料の余分の層を付与し、このプルーフに対する保護用カ
バーシートとするため全面露光した。

【００６７】実施例３ 以下の点を変えて実施例２をくり返した：ホトポリマー
乳剤は以下の組成を有している：

【表３】 ４色カラーポジチブプルーフは実施例２中に述べたプロ
セスに従って得られた。

【００６８】実施例４ 以下の点を変えて実施例２をくり返した：使用したホト
ポリマー乳剤は以下の組成を有している：

【表４】

【００６９】４色カラーポジチブプルーフは実施例２中
に述べたプロセスに従って得られた。以下の実施例は４
色カラーポジチブプルーフを作るために利用することの
できるプロセスを説明するものである。

【００７０】実施例５ ４８Ｓ Mylar^R ポリエステルフィルム（DuPont）、着色
したホトポリマー層、接着性のエラストマー層、および
シリコンリリーズ処理した９２Ａ Mylar^R ポリエステル
フィルム（DuPont）から構成されたポリマー構成体は、
着色ホトポリマー層を０.５〜３.５μｍの厚みで４８Ｓ
Mylar^R ポリエステルフィルムに塗布し、そしてシリコ
ンリリーズ処理をした９２Ａ Mylar^R ポリエステルフィ
ルム上に塗布したエラストマー層に対しこれをラミネー
トすることにより組み立てることができる。着色ホトポ
リマー層は以下のようにして作られる：

【００７１】有機液状１００％固体の組成は：

【表５】

【００７２】着色した光画像化性層の組成は以下のとお
りである：

【００７３】使用したエラストマー接着剤はスチレン−
イソプレン−スチレン（ＳＩＳ）ブロックコポリマーで
ある。この他のエラストマー性または熱可塑性の水性分
散液もまた使用することができる。いくつかの代表的な
例はPierce and Stevens Corp.のPrinlin^R B7216A；Air
Products Corp.のVinac^R およびHoechst-CelaneseのMo
wilith^R エマルジョンのようなポリビニルアセテートエ
マルジョンである。４つの減色法原色（イエロー、マゼ
ンタ、シアンおよび黒）を示す４つのホトポリマー乳剤
層を調製し、そして４８Ｓ Mylar^R ポリエステルフィル
ム（DuPont）上に１２μｍ厚みの層を形成するように塗
布した。０.５から３０μｍまでの厚み範囲に塗布する
ことができる。塗布膜は８７.８℃で１分間乾燥しそし
てポリエチレンによりラミネートした。

【００７４】次に、エラストマー接着層がシリコンリリ
ーズ処理をした９２Ａ Mylar^R ポリエステルフィルム
（DuPont）上に塗布して厚さ２〜２５μｍの層を形成
し、乾燥後に引き続き着色ホトポリマー層に対しラミネ
ートして前記の構成をもつ複合フィルムとする。４色の
カラープルーフは次に以下のウオッシュオフ法を使用し
て作成した。シリコンリリーズ処理をした９２Ａ Mylar
^R ポリエステルフィルムを剥離した後、イエローのホト
ポリマー複合フィルムを、ポリエチレンクラッド紙また
はMelinex^R ９９４（ＩＣＩ）のような水不浸透性受容
体に対して、DuPont ＨＲＬ ２４ラミネーターを使用し
１１０℃で１０.２cm／分の通過速度でラミネートし
た。得られたラミネート体をDuPont ＰＣプリンターで
イエローの分解原板を通じ６５mJ／cm²の紫外光エネル
ギーに対して露光した。

【００７５】４８Ｓ Mylar^R ポリエステルフィルムを剥
離し、ついでこの試料を２９℃にセットしたスプレー処
理機中で、１％炭酸ナトリウムで１.７６kg／cm²、１０
〜１２秒間現像し、イエロー分解板の光沢のあるイエロ
ー画像を得た。このプロセスはイエロー画像を含むこの
受容体上に、前記と同じように追加的のホトポリマー複
合体フィルムをラミネートすることにより順次くり返
し；マゼンタ、シアンおよび黒の分解原板を使用して露
光し；支持体をとり去りそして現像して４色のカラーポ
ジチブレリーフを得た。感光性材料の余分の層を付与
し、このプルーフに対する保護用カバーシートとするた
め全面露光をした。

【００７６】実施例６ この実施例は本発明の実施の際の非揮発性乳剤安定剤と
してのトリエタノールアミンの使用を示すものである。
経時変化に対する安定性は、スチレン−アクリル性ポリ
マーのラテックスに対して、トリエタノールアミン（本
質的に非揮発性安定剤として）、溶剤なしの有機性液体
（組成は以下に示す）、およびポリ（ビニルピロリド
ン）（塗布助剤として）を加えることにより調製した一
連の乳剤で証明した。６.９％の中和レベルを有する乳
剤組成物の一連の調合物を、乳剤のコーティング特性に
及ぼす老化の影響を測定するため塗布前の１２日、７日
および３日に調製した。

【００７７】重量による乳剤組成は以下のとおりであ
る： ａ これは実施例１で述べたのと同じラテックスであ
る。

【００７８】有機液状１００％固形の組成は以下のとお
りである：

【表６】

【００７９】光画像化性フィルムの組成は以下のとおり
である：

【００８０】前記の処方によって何回かに調製されたす
べての乳剤は凝集物を生じなかった。各乳剤は実験室コ
ーターで１ミル（０.０２５４mm）のMylar^R ポリエステ
ルフィルム上に満足な塗布がなされた。１９０°Ｆ（８
８℃）で１分間の乾燥後に、各塗布膜をポリエチレンに
よりラミネートし、乾式フィルムホトレジスト（レジス
ト）の高品質ロールを作成した。このレジストをDuPont
ＨＲＬ−２４熱ロールラミネーターでブラシがけをし
た銅クラッドエポキシ板にラミネートし、ついでDuPont
ＰＣ−３０プリンターでプリント回路図板を通じて６
５mJ／cm²の紫外光エネルギーに対し露光した。スプレ
ー処理機中１％炭酸ナトリウムで、８５°Ｆ（２９℃）
と２５psi（１.７６kg／cm²）において２５秒の現像で
光沢のある耐久的レジスト画像を与えた。

【００８１】各パネルはアルカリエッチングにつづいて
硫酸銅で電気メッキし、つづいてすず−鉛のはんだがけ
をしそして水性の苛性アルカリ（３％ＮａＯＨ）中でス
トリップし、次いでアルカリエッチングして高品質の画
像パターンを与えた。同様にパネルを硫酸銅、スルファ
ミン酸ニッケルおよび金で電気メッキし、メッキ不足の
ない高品質の画像が得られた。各パネルはまた１２０°
Ｆ（４９℃）で塩化第２銅によりエッチングしそして熱
水酸化ナトリウム中でストリップしても高品質の画像を
与える。ラミネートをしそして１０日間放置したパネル
を、次いで露光しそして前記のように現像したものはレ
ジストの残渣がなく、そしてアルカリ性エッチ液中で鮮
明に区画された回路配線にきれいにエッチングされた。

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ Ｇ０３Ｆ 7/105 Ｇ０３Ｆ 7/105 7/28 7/28 Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｈ０５Ｋ 3/28 Ｄ Ｈ０５Ｋ 3/28 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５０２Ｒ (72)発明者 ハーベー・ウオールター・テイラー・ジ ユニア アメリカ合衆国ペンシルベニア州18840. セアー．パインツリーロード130 (72)発明者 ジヨン・ヘイタク・ホイ アメリカ合衆国ペンシルベニア州18840. セアー．ジヨイストリート105 (56)参考文献 特開 平２−311847（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−236538（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−160440（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−306530（ＪＰ，Ａ) 米国特許5045435（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G03F 7/34 G03F 7/004 G03F 7/033 G03F 7/105 G03F 7/28

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 (ｉ)(ａ) 中和前に９０〜１６０の酸価
   を有するポリマー前駆体で、その酸含有基の１〜１５％
   が塩基により中和されているポリマー前駆体から形成さ
   れた部分中和酸含有ポリマー、 (ｂ) エチレン性不飽和モノマー、 (ｃ) 光開始剤または光開始系、 (ｄ) 水、 (ｅ) 組成物中に存在する全ポリマーの重量基準で０〜
   ５重量％の溶液ポリマー、および (ｆ) 水と有機溶剤の全重量基準で０〜２５重量％の有
   機溶剤から構成され、安定なエマルジョンとして存在す
   る液状組成物であり、２５℃で１０〜２０００センチポ
   イズのブルックフィールド粘度を有し、固体含有量２５
   〜６０重量％を有する光画像化性組成物を、第１の基板
   上に塗布し、 (ii) 塗布した光画像化性組成物を乾燥して、第１の基
   板上に光画像化性層を形成し、 (iii) 光画像化性層を画像形成露光して画像化域と非
   画像化域とを形成させ、そして (iv) 画像化域と非画像化域とを有する露光済み層を剥
   離現像または乾燥トナーもしくはトーニングフィルムの
   形態でトナーを付与することにより現像して第１の基板
   上に画像を形成する、 段階からなる、画像を基板に作成する方法。
2. 【請求項２】 光画像化性組成物がさらに着色材を含有
   し、画像化域と非画像化域とを有する露光層の表面に第
   ２の基板を積層し、次いで第１と第２の基板とを分離し
   て画像化域を第１の基板上に残留させ、そして非画像化
   域を第２の基板上に移動させることにより、露光層を現
   像する請求項１記載の方法。
3. 【請求項３】 画像化域と非画像化域とを有する露光層
   の表面に支持体と着色材含有層とからなるトーニングホ
   イルを積層し、次いで第１の基板とトーニングホイルの
   支持体を分離して、露光層の非画像化域に着色材含有層
   を残留させることにより、露光層を現像する請求項１記
   載の方法。