JP3094657B2 - 共焦点用光スキャナの調整装置 - Google Patents
共焦点用光スキャナの調整装置Info
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- JP3094657B2 JP3094657B2 JP13861192A JP13861192A JP3094657B2 JP 3094657 B2 JP3094657 B2 JP 3094657B2 JP 13861192 A JP13861192 A JP 13861192A JP 13861192 A JP13861192 A JP 13861192A JP 3094657 B2 JP3094657 B2 JP 3094657B2
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0036—Scanning details, e.g. scanning stages
- G02B21/0044—Scanning details, e.g. scanning stages moving apertures, e.g. Nipkow disks, rotating lens arrays
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、共焦点蛍光顕微鏡など
に用いる共焦点用光スキャナに関し、特に共焦点用光ス
キャナを構成する集光ディスクとピンホールディスクの
位置合わせを簡便に行うための調整装置に関するもので
ある。
に用いる共焦点用光スキャナに関し、特に共焦点用光ス
キャナを構成する集光ディスクとピンホールディスクの
位置合わせを簡便に行うための調整装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来の共焦点用光スキャナの集光
ディスクとピンホールディスクの位置合わせを説明する
ための図である。図２において、１は共焦点用光スキャ
ナであり、この共焦点用光スキャナ１を構成するピンホ
ール基板１１の集光ディスク１１１には、例えば、複数
のフレネルレンズやマイクロレンズなどの集光手段が螺
旋状に、また、ピンホールディスク１１２には、例え
ば、複数のピンホールが集光手段と同一ピッチで螺旋状
にそれぞれ形成されており、集光手段とピンホールとの
ｘ，ｙ，θ方向の位置合わせを行うことにより、集光手
段を介して、ピンホールへの集光効率を上げている。
ディスクとピンホールディスクの位置合わせを説明する
ための図である。図２において、１は共焦点用光スキャ
ナであり、この共焦点用光スキャナ１を構成するピンホ
ール基板１１の集光ディスク１１１には、例えば、複数
のフレネルレンズやマイクロレンズなどの集光手段が螺
旋状に、また、ピンホールディスク１１２には、例え
ば、複数のピンホールが集光手段と同一ピッチで螺旋状
にそれぞれ形成されており、集光手段とピンホールとの
ｘ，ｙ，θ方向の位置合わせを行うことにより、集光手
段を介して、ピンホールへの集光効率を上げている。
【０００３】この集光手段とピンホールの位置合わせ
は、従来は、集光ディスク１１１の集光手段により絞ら
れ、ビームスプリッタ１２を介して、ピンホールディス
ク１１２面上に結像されたレーザ光のビームスポット
を、低倍率リレーレンズ２を介して、カメラ３（または
接眼レンズでも良い）で観察して、ｘｙθステージ５
で、ピンホールとレーザ光のビームスポットのｘ，ｙ方
向の位置を調整し、また、ピンホール透過レーザパワー
がピンホールディスク１１２全面において最大となるよ
うに、パワーメータ４を用いて、モータ１３により、ピ
ンホール基板１１を回転させながらθ方向の位置を調整
していくというように、微調整を繰り返し行うことによ
り、集光ディスク１１１とピンホールディスク１１２の
位置合わせが行われていた。
は、従来は、集光ディスク１１１の集光手段により絞ら
れ、ビームスプリッタ１２を介して、ピンホールディス
ク１１２面上に結像されたレーザ光のビームスポット
を、低倍率リレーレンズ２を介して、カメラ３（または
接眼レンズでも良い）で観察して、ｘｙθステージ５
で、ピンホールとレーザ光のビームスポットのｘ，ｙ方
向の位置を調整し、また、ピンホール透過レーザパワー
がピンホールディスク１１２全面において最大となるよ
うに、パワーメータ４を用いて、モータ１３により、ピ
ンホール基板１１を回転させながらθ方向の位置を調整
していくというように、微調整を繰り返し行うことによ
り、集光ディスク１１１とピンホールディスク１１２の
位置合わせが行われていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術に示す共焦点用光スキャナの位置合わせにおい
て、ピンホールディスク１１２面上に結像されたレーザ
光のビームスポットをカメラ３（または接眼レンズ）で
観察する場合、１度に１部分しか観察できず、そのため
に、広い範囲の観察を行う必要があり、低観察倍率で行
っていた。したがって、全面均一の位置合わせは、θ方
向の微小なずれにより困難となり、集光ディスク１１１
とピンホールディスク１１２の位置合わせには、かなり
の時間を要していた。
来技術に示す共焦点用光スキャナの位置合わせにおい
て、ピンホールディスク１１２面上に結像されたレーザ
光のビームスポットをカメラ３（または接眼レンズ）で
観察する場合、１度に１部分しか観察できず、そのため
に、広い範囲の観察を行う必要があり、低観察倍率で行
っていた。したがって、全面均一の位置合わせは、θ方
向の微小なずれにより困難となり、集光ディスク１１１
とピンホールディスク１１２の位置合わせには、かなり
の時間を要していた。
【０００５】本発明は、上記従来技術の課題を踏まえて
成されたものであり、集光ディスクにより絞られたレー
ザ光のビームスポットとピンホールの位置を高倍率で観
察して、画像処理によりその中心座標を求め、２組の位
置関係からｘｙθの高精度な調整量を算出することによ
り、１部分の測定で全面を簡単に位置合わせ可能にでき
る共焦点用光スキャナの調整装置を提供することを目的
としたものである。
成されたものであり、集光ディスクにより絞られたレー
ザ光のビームスポットとピンホールの位置を高倍率で観
察して、画像処理によりその中心座標を求め、２組の位
置関係からｘｙθの高精度な調整量を算出することによ
り、１部分の測定で全面を簡単に位置合わせ可能にでき
る共焦点用光スキャナの調整装置を提供することを目的
としたものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本考案の構成は、複数の集光手段が形成された集光デ
ィスクと複数のピンホ−ルが形成されたピンホ−ルディ
スクから成るピンホ−ル基板を回転させ、このピンホ−
ル基板を通過した照射光を試料に対して走査する共焦点
用光スキャナにおける前記集光手段とピンホールとのｘ
ｙθ方向の位置合わせための調整装置であって、前記集
光手段によりレーザ光が集光される前記ピンホールディ
スク面を高倍率で観察する光学系と、この光学系から前
記複数の集光手段によるレーザ光のビームスポットおよ
び前記ピンホールのそれぞれの中心座標を算出すると共
に、下記数式によって、前記集光手段によるレーザ光の
ビームスポットと前記ピンホールの位置ずれを求める画
像処理演算部と、この画像処理演算部から出力される前
記位置ずれを基にして、位置合わせを行うｘｙθステー
ジと、を備えた構成としたことを特徴とするものであ
る。 ｘi＝ｘ0＋Ｘiｃｏｓθ−Ｙiｓｉｎθ ｙi＝ｙ0＋Ｘiｓｉｎθ＋Ｙiｃｏｓθ θ＝ｓｉｎ-1［（ｙi−ｙi+1）／√｛（Ｘi−Ｘi+1）2＋（Ｙi−Ｙi+1）2｝］ −ｔａｎ-1｛（Ｙi−Ｙi+1）／（Ｘi−Ｘi+1）｝ または、 θ＝ｃｏｓ-1［（ｙi−ｙi+1）／√｛（Ｘi−Ｘi+1）2＋（Ｙi−Ｙi+1）2｝］ ＋ｔａｎ-1｛（Ｘi−Ｘi+1）／（Ｙi−Ｙi+1）｝ または、 θ＝ｓｉｎ-1［（ｘi−ｘi+1）／√｛（Ｘi−Ｘi+1）2＋（Ｙi−Ｙi+1）2｝］ −ｔａｎ-1｛（Ｘi−Ｘi+1）／（−Ｙi＋Ｙi+1）｝ または、 θ＝ｃｏｓ-1［（ｘi−ｘi+1）／√｛（Ｘi−Ｘi+1）2＋（Ｙi−Ｙi+1）2｝］ ＋ｔａｎ-1｛（−Ｙi＋Ｙi+1）／（Ｘi−Ｘi+1）｝ ただし、 （Ｘi，Ｙi）はレーザ光のビームスポット位置 （ｘi，ｙi）はピンホール位置 （ｘ0，ｙ0，θ）は調整量 ｉとｉ＋１は異なるレーザ光のビームスポットとピンホ
ールの組 を示す。
の本考案の構成は、複数の集光手段が形成された集光デ
ィスクと複数のピンホ−ルが形成されたピンホ−ルディ
スクから成るピンホ−ル基板を回転させ、このピンホ−
ル基板を通過した照射光を試料に対して走査する共焦点
用光スキャナにおける前記集光手段とピンホールとのｘ
ｙθ方向の位置合わせための調整装置であって、前記集
光手段によりレーザ光が集光される前記ピンホールディ
スク面を高倍率で観察する光学系と、この光学系から前
記複数の集光手段によるレーザ光のビームスポットおよ
び前記ピンホールのそれぞれの中心座標を算出すると共
に、下記数式によって、前記集光手段によるレーザ光の
ビームスポットと前記ピンホールの位置ずれを求める画
像処理演算部と、この画像処理演算部から出力される前
記位置ずれを基にして、位置合わせを行うｘｙθステー
ジと、を備えた構成としたことを特徴とするものであ
る。 ｘi＝ｘ0＋Ｘiｃｏｓθ−Ｙiｓｉｎθ ｙi＝ｙ0＋Ｘiｓｉｎθ＋Ｙiｃｏｓθ θ＝ｓｉｎ-1［（ｙi−ｙi+1）／√｛（Ｘi−Ｘi+1）2＋（Ｙi−Ｙi+1）2｝］ −ｔａｎ-1｛（Ｙi−Ｙi+1）／（Ｘi−Ｘi+1）｝ または、 θ＝ｃｏｓ-1［（ｙi−ｙi+1）／√｛（Ｘi−Ｘi+1）2＋（Ｙi−Ｙi+1）2｝］ ＋ｔａｎ-1｛（Ｘi−Ｘi+1）／（Ｙi−Ｙi+1）｝ または、 θ＝ｓｉｎ-1［（ｘi−ｘi+1）／√｛（Ｘi−Ｘi+1）2＋（Ｙi−Ｙi+1）2｝］ −ｔａｎ-1｛（Ｘi−Ｘi+1）／（−Ｙi＋Ｙi+1）｝ または、 θ＝ｃｏｓ-1［（ｘi−ｘi+1）／√｛（Ｘi−Ｘi+1）2＋（Ｙi−Ｙi+1）2｝］ ＋ｔａｎ-1｛（−Ｙi＋Ｙi+1）／（Ｘi−Ｘi+1）｝ ただし、 （Ｘi，Ｙi）はレーザ光のビームスポット位置 （ｘi，ｙi）はピンホール位置 （ｘ0，ｙ0，θ）は調整量 ｉとｉ＋１は異なるレーザ光のビームスポットとピンホ
ールの組 を示す。
【０００７】
【作用】本発明によれば、高倍率の観察系と画像処理
系、および位置ずれ量算出式を用いた構成としており、
１部分の観察でも、全面の高精度な集光ディスクとピン
ホールディスクの位置合わせが簡便にできる。
系、および位置ずれ量算出式を用いた構成としており、
１部分の観察でも、全面の高精度な集光ディスクとピン
ホールディスクの位置合わせが簡便にできる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明を図面に基づいて説明する。図
１は本発明の共焦点用光スキャナの集光ディスクとピン
ホールディスクの位置合わせを説明するための図であ
る。なお、図１において図２と同一要素には同一符号を
付して重複する説明は省略する。図１において、２ａは
高倍率リレーレンズ、６は対物レンズ、７は透過照明で
あり、カメラ３を含む光学系により、集光ディスク１１
１によりピンホールディスク１１２面上に絞られたレー
ザ光のビームスポット、および対物レンズ６を介して透
過照明７により照らされたピンホールを高倍率で観察す
る。８はカメラ３により撮らえたピンホールディスク１
１２面上のレーザ光のビームスポット位置およびピンホ
ール位置の中心座標を求めると共に、下記数式によっ
て、集光手段によるレーザ光のビームスポットとピンホ
ールとの位置ずれを求める画像処理演算部である。 ｘi＝ｘ0＋Ｘiｃｏｓθ−Ｙiｓｉｎθ ｙi＝ｙ0＋Ｘiｓｉｎθ＋Ｙiｃｏｓθ θ＝ｓｉｎ-1［（ｙi−ｙi+1）／√｛（Ｘi−Ｘi+1）2＋（Ｙi−Ｙi+1）2｝］ −ｔａｎ-1｛（Ｙi−Ｙi+1）／（Ｘi−Ｘi+1）｝ または、 θ＝ｃｏｓ-1［（ｙi−ｙi+1）／√｛（Ｘi−Ｘi+1）2＋（Ｙi−Ｙi+1）2｝］ ＋ｔａｎ-1｛（Ｘi−Ｘi+1）／（Ｙi−Ｙi+1）｝ または、 θ＝ｓｉｎ-1［（ｘi−ｘi+1）／√｛（Ｘi−Ｘi+1）2＋（Ｙi−Ｙi+1）2｝］ −ｔａｎ-1｛（Ｘi−Ｘi+1）／（−Ｙi＋Ｙi+1）｝ または、 θ＝ｃｏｓ-1［（ｘi−ｘi+1）／√｛（Ｘi−Ｘi+1）2＋（Ｙi−Ｙi+1）2｝］ ＋ｔａｎ-1｛（−Ｙi＋Ｙi+1）／（Ｘi−Ｘi+1）｝ ただし、 （Ｘi，Ｙi）はビームスポット位置 （ｘi，ｙi）はピンホール位置 （ｘ0，ｙ0，θ）は調整量 ｉとｉ＋１は異なるビームスポットとピンホールの組 を示す。
１は本発明の共焦点用光スキャナの集光ディスクとピン
ホールディスクの位置合わせを説明するための図であ
る。なお、図１において図２と同一要素には同一符号を
付して重複する説明は省略する。図１において、２ａは
高倍率リレーレンズ、６は対物レンズ、７は透過照明で
あり、カメラ３を含む光学系により、集光ディスク１１
１によりピンホールディスク１１２面上に絞られたレー
ザ光のビームスポット、および対物レンズ６を介して透
過照明７により照らされたピンホールを高倍率で観察す
る。８はカメラ３により撮らえたピンホールディスク１
１２面上のレーザ光のビームスポット位置およびピンホ
ール位置の中心座標を求めると共に、下記数式によっ
て、集光手段によるレーザ光のビームスポットとピンホ
ールとの位置ずれを求める画像処理演算部である。 ｘi＝ｘ0＋Ｘiｃｏｓθ−Ｙiｓｉｎθ ｙi＝ｙ0＋Ｘiｓｉｎθ＋Ｙiｃｏｓθ θ＝ｓｉｎ-1［（ｙi−ｙi+1）／√｛（Ｘi−Ｘi+1）2＋（Ｙi−Ｙi+1）2｝］ −ｔａｎ-1｛（Ｙi−Ｙi+1）／（Ｘi−Ｘi+1）｝ または、 θ＝ｃｏｓ-1［（ｙi−ｙi+1）／√｛（Ｘi−Ｘi+1）2＋（Ｙi−Ｙi+1）2｝］ ＋ｔａｎ-1｛（Ｘi−Ｘi+1）／（Ｙi−Ｙi+1）｝ または、 θ＝ｓｉｎ-1［（ｘi−ｘi+1）／√｛（Ｘi−Ｘi+1）2＋（Ｙi−Ｙi+1）2｝］ −ｔａｎ-1｛（Ｘi−Ｘi+1）／（−Ｙi＋Ｙi+1）｝ または、 θ＝ｃｏｓ-1［（ｘi−ｘi+1）／√｛（Ｘi−Ｘi+1）2＋（Ｙi−Ｙi+1）2｝］ ＋ｔａｎ-1｛（−Ｙi＋Ｙi+1）／（Ｘi−Ｘi+1）｝ ただし、 （Ｘi，Ｙi）はビームスポット位置 （ｘi，ｙi）はピンホール位置 （ｘ0，ｙ0，θ）は調整量 ｉとｉ＋１は異なるビームスポットとピンホールの組 を示す。
【０００９】５は画像処理演算部８により求められたレ
ーザ光のビームスポットとピンホールとの位置ずれを基
にして、集光ディスク１１１とピンホールディスク１１
２の位置合わせの微調整を行うｘｙθステージである。
ーザ光のビームスポットとピンホールとの位置ずれを基
にして、集光ディスク１１１とピンホールディスク１１
２の位置合わせの微調整を行うｘｙθステージである。
【００１０】このような構成において、レーザ光は集光
ディスク１１１により絞られ、ビームスプリッタ１２を
介して、ピンホールディスク１１２面で集光する。ま
た、ピンホールディスク１１２のピンホールは、顕微鏡
の透過照明７により観察できる。このピンホールディス
ク１１２面上のレーザ光のビームスポットとピンホール
の位置を高倍率リレーレンズ２ａを介して、カメラ３に
撮り、画像処理演算部８により、２組の中心座標 （ｘ1，ｙ1）、（Ｘ1，Ｙ1）、（ｘ2，ｙ2）、（Ｘ2，
Ｙ2） ただし、 （ｘi，ｙi）はピンホール位置 （Ｘi，Ｙi）はビームスポット位置 を求める。
ディスク１１１により絞られ、ビームスプリッタ１２を
介して、ピンホールディスク１１２面で集光する。ま
た、ピンホールディスク１１２のピンホールは、顕微鏡
の透過照明７により観察できる。このピンホールディス
ク１１２面上のレーザ光のビームスポットとピンホール
の位置を高倍率リレーレンズ２ａを介して、カメラ３に
撮り、画像処理演算部８により、２組の中心座標 （ｘ1，ｙ1）、（Ｘ1，Ｙ1）、（ｘ2，ｙ2）、（Ｘ2，
Ｙ2） ただし、 （ｘi，ｙi）はピンホール位置 （Ｘi，Ｙi）はビームスポット位置 を求める。
【００１１】次に、この２組の中心座標から、上記数式
１により、高精度な位置ずれ量 （ｘ0，ｙ0，θ） を算出し、ｘｙθステージ５で調整が行われる。
１により、高精度な位置ずれ量 （ｘ0，ｙ0，θ） を算出し、ｘｙθステージ５で調整が行われる。
【００１２】なお、上記数式において、θの算出式に
は、 ｙi＝ｙ0＋Ｘiｓｉｎθ−Ｙiｃｏｓθ ｙi+1＝ｙ0＋Ｘi+1ｓｉｎθ＋Ｙi+1ｃｏｓθ および、一般的に用いられている三角関数の和の合成の
公式 ａｃｏｓＡ＋ｂｓｉｎＡ＝｛√（ａ2＋ｂ2）｝ｓｉｎ（Ａ＋α） ＝｛√（ａ2＋ｂ2）｝ｃｏｓ（Ａ−β） ただし、 α＝ｔａｎ-1（ａ／ｂ） （ｓｉｎαとａが同符号に
なるように選ぶ） β＝ｔａｎ-1（ｂ／ａ） （ｓｉｎβとｂが同符号に
なるように選ぶ） を用いている。
は、 ｙi＝ｙ0＋Ｘiｓｉｎθ−Ｙiｃｏｓθ ｙi+1＝ｙ0＋Ｘi+1ｓｉｎθ＋Ｙi+1ｃｏｓθ および、一般的に用いられている三角関数の和の合成の
公式 ａｃｏｓＡ＋ｂｓｉｎＡ＝｛√（ａ2＋ｂ2）｝ｓｉｎ（Ａ＋α） ＝｛√（ａ2＋ｂ2）｝ｃｏｓ（Ａ−β） ただし、 α＝ｔａｎ-1（ａ／ｂ） （ｓｉｎαとａが同符号に
なるように選ぶ） β＝ｔａｎ-1（ｂ／ａ） （ｓｉｎβとｂが同符号に
なるように選ぶ） を用いている。
【００１３】このように、上記実施例によれば、集光デ
ィスク１１１により絞られたレーザ光のビームスポット
とピンホールの位置を高倍率で観察して、画像処理演算
部８により、その中心座標を求め、２組の位置関係から
ｘｙθの高精度な調整量を算出して、ＸＹθステージ５
により調整している。したがって、１部分の測定で全面
を簡単に位置合わせ可能にできる。
ィスク１１１により絞られたレーザ光のビームスポット
とピンホールの位置を高倍率で観察して、画像処理演算
部８により、その中心座標を求め、２組の位置関係から
ｘｙθの高精度な調整量を算出して、ＸＹθステージ５
により調整している。したがって、１部分の測定で全面
を簡単に位置合わせ可能にできる。
【００１４】
【発明の効果】以上、実施例と共に具体的に説明したよ
うに、本発明によれば、高倍率の観察系と画像処理系、
および位置ずれ量算出式を用いた構成により、１部分の
観察でも、全面の高精度な集光ディスクとピンホールデ
ィスクの位置合わせが簡便にできる共焦点用光スキャナ
の調整装置を実現できる。
うに、本発明によれば、高倍率の観察系と画像処理系、
および位置ずれ量算出式を用いた構成により、１部分の
観察でも、全面の高精度な集光ディスクとピンホールデ
ィスクの位置合わせが簡便にできる共焦点用光スキャナ
の調整装置を実現できる。
【図１】本発明の共焦点用光スキャナの集光ディスクと
ピンホールディスクの位置合わせを説明するための図で
ある。
ピンホールディスクの位置合わせを説明するための図で
ある。
【図２】従来の共焦点用光スキャナの集光ディスクとピ
ンホ−ルディスクの位置合わせを説明するための図であ
る。
ンホ−ルディスクの位置合わせを説明するための図であ
る。
１ 共焦点用光スキャナ ２ａ 高倍率リレーレンズ ３ カメラ ５ ｘｙθステージ ６ 対物レンズ ７ 透過照明 ８ 画像処理演算部 １１ ピンホ−ル基板 １２ ビ−ムスプリッタ １３ モ−タ １１１ 集光ディスク １１２ ピンホ−ルディスク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30 G02B 21/00
Claims (1)
- 【請求項１】 複数の集光手段が形成された集光ディス
クと複数のピンホ−ルが形成されたピンホ−ルディスク
から成るピンホ−ル基板を回転させ、このピンホ−ル基
板を通過した照射光を試料に対して走査する共焦点用光
スキャナにおける前記集光手段とピンホールとのｘｙθ
方向の位置合わせための調整装置であって、 前記集光手段によりレーザ光が集光される前記ピンホー
ルディスク面を高倍率で観察する光学系と、 この光学系から前記複数の集光手段によるレーザ光のビ
ームスポットおよび前記ピンホールのそれぞれの中心座
標を算出すると共に、下記数式１によって、前記集光手
段によるレーザ光のビームスポットと前記ピンホールの
位置ずれを求める画像処理演算部と、 この画像処理演算部から出力される前記位置ずれを基に
して、位置合わせを行うｘｙθステージと、 を備えた構成としたことを特徴とする共焦点用光スキャ
ナの調整装置。 【数式１】 ｘi＝ｘ0＋Ｘiｃｏｓθ−Ｙiｓｉｎθ ｙi＝ｙ0＋Ｘiｓｉｎθ＋Ｙiｃｏｓθ θ＝ｓｉｎ-1［（ｙi−ｙi+1）／√｛（Ｘi−Ｘi+1）2＋（Ｙi−Ｙi+1）2｝］ −ｔａｎ-1｛（Ｙi−Ｙi+1）／（Ｘi−Ｘi+1）｝ または、 θ＝ｃｏｓ-1［（ｙi−ｙi+1）／√｛（Ｘi−Ｘi+1）2＋（Ｙi−Ｙi+1）2｝］ ＋ｔａｎ-1｛（Ｘi−Ｘi+1）／（Ｙi−Ｙi+1）｝ または、 θ＝ｓｉｎ-1［（ｘi−ｘi+1）／√｛（Ｘi−Ｘi+1）2＋（Ｙi−Ｙi+1）2｝］ −ｔａｎ-1｛（Ｘi−Ｘi+1）／（−Ｙi＋Ｙi+1）｝ または、 θ＝ｃｏｓ-1［（ｘi−ｘi+1）／√｛（Ｘi−Ｘi+1）2＋（Ｙi−Ｙi+1）2｝］ ＋ｔａｎ-1｛（−Ｙi＋Ｙi+1）／（Ｘi−Ｘi+1）｝ ただし、 （Ｘi，Ｙi）はレーザ光のビームスポット位置 （ｘi，ｙi）はピンホール位置 （ｘ0，ｙ0，θ）は調整量 ｉとｉ＋１は異なるレーザ光のビームスポットとピンホ
ールの組 を示す。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13861192A JP3094657B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | 共焦点用光スキャナの調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13861192A JP3094657B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | 共焦点用光スキャナの調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05332718A JPH05332718A (ja) | 1993-12-14 |
| JP3094657B2 true JP3094657B2 (ja) | 2000-10-03 |
Family
ID=15226133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13861192A Expired - Fee Related JP3094657B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | 共焦点用光スキャナの調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3094657B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3930929B2 (ja) * | 1996-11-28 | 2007-06-13 | オリンパス株式会社 | 共焦点顕微鏡 |
| JP2006030070A (ja) * | 2004-07-20 | 2006-02-02 | Opto One Kk | 膜厚検査装置 |
| US8275226B2 (en) | 2008-12-09 | 2012-09-25 | Spectral Applied Research Ltd. | Multi-mode fiber optically coupling a radiation source module to a multi-focal confocal microscope |
| US8670178B2 (en) | 2009-12-08 | 2014-03-11 | Spectral Applied Research Inc. | Imaging distal end of multimode fiber |
-
1992
- 1992-05-29 JP JP13861192A patent/JP3094657B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05332718A (ja) | 1993-12-14 |
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