JP3092070B2 - 流体流量制御装置 - Google Patents
流体流量制御装置Info
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- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
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Description
【発明の詳細な説明】 関連出願 本願は、1987年３月５日に出願された米国特願第022,
167号と、1986年３月４日に出願された米国特願第836、
023号の一部継続出願であり、両出願は、参考として含
まれる。
167号と、1986年３月４日に出願された米国特願第836、
023号の一部継続出願であり、両出願は、参考として含
まれる。
発明の背景 発明の分野 本発明は、一般的に流体の流量を制御するシステムに
関し、他の実施例が後述されるが、特に、医学上の注入
技術に関する。
関し、他の実施例が後述されるが、特に、医学上の注入
技術に関する。
関連する技術の説明 流体の流量の精確な調節は多くの方面で要求される。
精確性は、特に、注入速度における許容誤差が非常に狭
い医学上の注入システムにおいて重大である。例えば、
化学療法において、遅すぎる注入速度は薬効をもたらさ
ず、一方速すぎる速度は患者に有毒なものとなる場合が
ある。
精確性は、特に、注入速度における許容誤差が非常に狭
い医学上の注入システムにおいて重大である。例えば、
化学療法において、遅すぎる注入速度は薬効をもたらさ
ず、一方速すぎる速度は患者に有毒なものとなる場合が
ある。
しかしながら、医学の臨床現場において、薬物流体の
供給量を精確に制御することは、種々の要素から困難を
伴う場合が多い。１つの要素は、流体を供給するのに使
用される管である。流路の開閉は典型的にはクランプに
より行われるが、該クランプは管壁をゆがめ、不規則な
流速を導く可能性を持つ。第２の要素は、薬物治療を受
ける患者が、薬物流体の注入の間動いてしまうことによ
り、薬物注入装置と患者の薬物注入箇所間における重力
方向の高低差に変化が生じてしまい、それにより、流速
に影響を及ぼす。第３には、有限なリザーバ、例えば、
静脈注射の袋又は瓶から流体が供給される事実であり、
しだいに空になり、注入速度に影響を及ぼす。
供給量を精確に制御することは、種々の要素から困難を
伴う場合が多い。１つの要素は、流体を供給するのに使
用される管である。流路の開閉は典型的にはクランプに
より行われるが、該クランプは管壁をゆがめ、不規則な
流速を導く可能性を持つ。第２の要素は、薬物治療を受
ける患者が、薬物流体の注入の間動いてしまうことによ
り、薬物注入装置と患者の薬物注入箇所間における重力
方向の高低差に変化が生じてしまい、それにより、流速
に影響を及ぼす。第３には、有限なリザーバ、例えば、
静脈注射の袋又は瓶から流体が供給される事実であり、
しだいに空になり、注入速度に影響を及ぼす。
これらの要素を補償するための多くの方法が、本技術
分野で知られている。ある先行技術のシステムは滴の光
学的な計数を含んでいる。このような流体の滴の数を計
数することによって流体流量を測定するシステムにおい
ては、流体の滴のサイズの違い及び滴の跳ねによって生
ずる供給流量の誤差を補正するように改良している。他
の方法では、流量を調節するために秤量・圧送する袋を
含む。しかしながら、システム上の誤差は全てではない
かもしれないが、これらの装置のほとんどに必然的であ
る。
分野で知られている。ある先行技術のシステムは滴の光
学的な計数を含んでいる。このような流体の滴の数を計
数することによって流体流量を測定するシステムにおい
ては、流体の滴のサイズの違い及び滴の跳ねによって生
ずる供給流量の誤差を補正するように改良している。他
の方法では、流量を調節するために秤量・圧送する袋を
含む。しかしながら、システム上の誤差は全てではない
かもしれないが、これらの装置のほとんどに必然的であ
る。
発明の開示 本発明は、流路を通る流体の流量を測定するためのシ
ステムを具備する。該システムにおいては、流体が通る
経路の限定された流路区域は、他の区域における圧力の
影響を受けないように構成される。そして、当該区域
（分離区域）には、流体流量を間接的に測定するための
測定ガスが、該測定ガスの供給源であるソース手段（ソ
ース室）から供給され、その結果ソース室と分離区域は
共に固定された体積を定め、分離区域内の流体の体積変
化はソース室の体積の補足的変化を生じ、結果としてソ
ース室内に含まれる測定ガスの圧力変化を生じる。更
に、既知の体積の測定ガスを含みソース室と連通するリ
ザーバ（貯蔵）室と、リザーバ室からソース室へ測定ガ
スを送るポンプ手段とを具備する。リザーバ室の測定ガ
スの圧力とソース室内の測定流体の圧力は、流体が該区
域に流出入する時監視される。次いで、この圧力データ
は、分離区域内の流体の体積を決定するために分析され
る。
ステムを具備する。該システムにおいては、流体が通る
経路の限定された流路区域は、他の区域における圧力の
影響を受けないように構成される。そして、当該区域
（分離区域）には、流体流量を間接的に測定するための
測定ガスが、該測定ガスの供給源であるソース手段（ソ
ース室）から供給され、その結果ソース室と分離区域は
共に固定された体積を定め、分離区域内の流体の体積変
化はソース室の体積の補足的変化を生じ、結果としてソ
ース室内に含まれる測定ガスの圧力変化を生じる。更
に、既知の体積の測定ガスを含みソース室と連通するリ
ザーバ（貯蔵）室と、リザーバ室からソース室へ測定ガ
スを送るポンプ手段とを具備する。リザーバ室の測定ガ
スの圧力とソース室内の測定流体の圧力は、流体が該区
域に流出入する時監視される。次いで、この圧力データ
は、分離区域内の流体の体積を決定するために分析され
る。
図面の簡単な説明 第１図は本発明の単純化された実施例の概要図、第２
図は本発明の好適な実施例の概要図を示す。
図は本発明の好適な実施例の概要図を示す。
発明を実施するための最良の形態 本発明は、気圧と体積の間の既知の物理的関係を利用
することにより、管に沿う流体の分離した体積の増分を
測定する。これは、流路の区域を分離し、流体および測
定ガスの分離された区域が固定されかつ確認できる体積
を占めるように測定ガスと連通して該区域を収容するこ
とにより達成される。そして、分離された区域へ出入り
する流体の動きは、測定ガスの圧力に対応する変化を生
ずる。測定ガスの圧力は変換器により監視され、生じた
データは下記に述べる方法を使用して供給される流体の
体積を計算するために用いられる。
することにより、管に沿う流体の分離した体積の増分を
測定する。これは、流路の区域を分離し、流体および測
定ガスの分離された区域が固定されかつ確認できる体積
を占めるように測定ガスと連通して該区域を収容するこ
とにより達成される。そして、分離された区域へ出入り
する流体の動きは、測定ガスの圧力に対応する変化を生
ずる。測定ガスの圧力は変換器により監視され、生じた
データは下記に述べる方法を使用して供給される流体の
体積を計算するために用いられる。
適当に機能させるために、この形式のシステムは後に
測定される流体流量が比較され得る参考量を設けるため
の補正手段を含まなければならない。補正の一手段は本
発明者による二つの係属中の出願、参考として加え得る
1987年３月５日に出願された米国出願第22,167号、およ
び同第836,023号に開示されている。その中に開示され
るシステムは、流体の流れのない該システムが測定ガス
の体積に既知の減少を引き起こす補正サイクルの間測定
ガスの圧力を測定することにより補正される。次いで、
該システムは、分離された区域へ出入りする流体の体積
の増分の流れの間、測定ガスの圧力を測定する。次い
で、種々の開示された物理的および数学的関係を使用し
て、該システムは流体の流れの間測定される圧力ととも
に補正データを使い、供給された流体の体積を計算す
る。
測定される流体流量が比較され得る参考量を設けるため
の補正手段を含まなければならない。補正の一手段は本
発明者による二つの係属中の出願、参考として加え得る
1987年３月５日に出願された米国出願第22,167号、およ
び同第836,023号に開示されている。その中に開示され
るシステムは、流体の流れのない該システムが測定ガス
の体積に既知の減少を引き起こす補正サイクルの間測定
ガスの圧力を測定することにより補正される。次いで、
該システムは、分離された区域へ出入りする流体の体積
の増分の流れの間、測定ガスの圧力を測定する。次い
で、種々の開示された物理的および数学的関係を使用し
て、該システムは流体の流れの間測定される圧力ととも
に補正データを使い、供給された流体の体積を計算す
る。
従来装置における流量計測は、遅い速度の流体供給に
おいてはある程度精確ではあったが、誤差が全くない訳
ではなかった。例えば、流体容器、流体流路の圧力変化
による機械的変形によって数％の誤差が生じていた。流
体容器の容量変化が必然であるふいご装置を用いる場合
は、ふいごの撓みばかりでなく、ふいごを膨らませるさ
せるための部品の経年変化による影響も誤差に影響して
いた。このため、従来においても、流体容器の機械的変
位の排除と他の部位における圧力の影響を排除するため
の良好な密閉状態を必要としていた。
おいてはある程度精確ではあったが、誤差が全くない訳
ではなかった。例えば、流体容器、流体流路の圧力変化
による機械的変形によって数％の誤差が生じていた。流
体容器の容量変化が必然であるふいご装置を用いる場合
は、ふいごの撓みばかりでなく、ふいごを膨らませるさ
せるための部品の経年変化による影響も誤差に影響して
いた。このため、従来においても、流体容器の機械的変
位の排除と他の部位における圧力の影響を排除するため
の良好な密閉状態を必要としていた。
従来技術における他の問題点は、流体流路管の進行に
対して比較的大きな逆圧がかかるような状況下において
は、少量の流体を供給する場合でも流体に対して大きな
供給圧力を必要としていたことである。
対して比較的大きな逆圧がかかるような状況下において
は、少量の流体を供給する場合でも流体に対して大きな
供給圧力を必要としていたことである。
本発明の装置は、初期のシステムの正確な体積変位の
代わりに圧力変位を使用することにより初期装置の上記
問題点を解決する。下記により詳しく述べられるよう
に、圧力変位の使用は、初期装置の多くの問題点を解決
する。例えば、体積変位システムと異なり、下記に述べ
られるような圧力変位の使用は、精確な機械器変位を要
求せず、関連する誤差を除去する。更に、該システム
は、逆圧が存在しても逆圧の不存在時以上の圧送（ポン
ピング）を必要としない形式の圧力変位を利用できる。
事実、該システムは、逆圧が流体のリザーバ頭圧を越え
る状態を含み、広い範囲の逆圧に対し補償するように形
成され得る。
代わりに圧力変位を使用することにより初期装置の上記
問題点を解決する。下記により詳しく述べられるよう
に、圧力変位の使用は、初期装置の多くの問題点を解決
する。例えば、体積変位システムと異なり、下記に述べ
られるような圧力変位の使用は、精確な機械器変位を要
求せず、関連する誤差を除去する。更に、該システム
は、逆圧が存在しても逆圧の不存在時以上の圧送（ポン
ピング）を必要としない形式の圧力変位を利用できる。
事実、該システムは、逆圧が流体のリザーバ頭圧を越え
る状態を含み、広い範囲の逆圧に対し補償するように形
成され得る。
第１図は、本発明の単純化された実施例の概要図を示
す。該システムは測定ガスを収容するためのリザーバ室
11とソース室12の２室を含む。これらの室は、測定ガス
の圧力にかかわらず一定体積を維持することが第１に要
求されるため金属を含む他の種々の材料も適当である
が、既知の方法を使用し堅固なプラスチックで形成され
得る。各室は、付随した圧力変換器13、14を有する。該
２つの室は連結されているが、リザーバ室11に含まれる
測定ガスをソース室12に移動させ、結果としてリザーバ
室の圧力減少とソース室の圧力増加を伴うポンプ装置11
1により分離される。この実施例では、ポンプ装置111も
また測定ガスの逆流を妨げるのに役立つ。ポンプ装置が
始動するときには、圧力差が２室間で生じ、ポンプ装置
が停止した後でさえ維持される。
す。該システムは測定ガスを収容するためのリザーバ室
11とソース室12の２室を含む。これらの室は、測定ガス
の圧力にかかわらず一定体積を維持することが第１に要
求されるため金属を含む他の種々の材料も適当である
が、既知の方法を使用し堅固なプラスチックで形成され
得る。各室は、付随した圧力変換器13、14を有する。該
２つの室は連結されているが、リザーバ室11に含まれる
測定ガスをソース室12に移動させ、結果としてリザーバ
室の圧力減少とソース室の圧力増加を伴うポンプ装置11
1により分離される。この実施例では、ポンプ装置111も
また測定ガスの逆流を妨げるのに役立つ。ポンプ装置が
始動するときには、圧力差が２室間で生じ、ポンプ装置
が停止した後でさえ維持される。
ソース室は、弁17及び18により流路内のいずれかの流
体圧効果と分離される流体流路16の区域15と連通する。
流路の流体と測定ガスの間の連通は柔軟な薄膜19を通じ
て与えられる。胴部110が該区域に設けられる。該胴部
は２つの目的を達成する。第１に、該胴部はより多量の
流路流体を測定ガスに衝突させ，流路流体と測定ガスの
間の圧力伝達を増大される。第２に該胴部は、その実質
的な球形状のために、最大の放射状の剛度を備え、高圧
の測定ガスの結果として分離された区域が歪むことを防
ぐ。
体圧効果と分離される流体流路16の区域15と連通する。
流路の流体と測定ガスの間の連通は柔軟な薄膜19を通じ
て与えられる。胴部110が該区域に設けられる。該胴部
は２つの目的を達成する。第１に、該胴部はより多量の
流路流体を測定ガスに衝突させ，流路流体と測定ガスの
間の圧力伝達を増大される。第２に該胴部は、その実質
的な球形状のために、最大の放射状の剛度を備え、高圧
の測定ガスの結果として分離された区域が歪むことを防
ぐ。
従って、弁17又は18のいずれかが閉じられるとき柔軟
な薄膜19を経由し分離区域15へ出入りする流体の動きは
ソース室内の測定ガスの体積を減少または増加させ、測
定ガスの圧力変化に帰結することが理解されるであろ
う。
な薄膜19を経由し分離区域15へ出入りする流体の動きは
ソース室内の測定ガスの体積を減少または増加させ、測
定ガスの圧力変化に帰結することが理解されるであろ
う。
下記に挙げる理由のために、供給される流体の量は、
次の関係式により決定し得る。
次の関係式により決定し得る。
ΔVS＝（ΔPR oVR/ΔPS o）〔ΔPS/（PS＋ΔPS）〕 ここで、 ΔVS ＝供給される流体の体積増分 ΔPR o＝リザーバ室からソース室への測定ガスの動き
に起因するリザーバ室内の測定ガスの圧力変化 VR ＝リザーバ室の容積（既知） ΔPS o＝（流体が流れる前に測定された）リザーバ室
からソース室への測定ガスの動きに起因するソース室内
の測定ガスの圧変化 ΔPS ＝分離区域から出る流体の動きに起因するソー
ス室内の測定ガスの圧力変化 PS ＝ソース室内の測定ガスの圧力 この関係式は、次より導かれる。
に起因するリザーバ室内の測定ガスの圧力変化 VR ＝リザーバ室の容積（既知） ΔPS o＝（流体が流れる前に測定された）リザーバ室
からソース室への測定ガスの動きに起因するソース室内
の測定ガスの圧変化 ΔPS ＝分離区域から出る流体の動きに起因するソー
ス室内の測定ガスの圧力変化 PS ＝ソース室内の測定ガスの圧力 この関係式は、次より導かれる。
第１図に、弁17及び18が分離区域内に流体を保持し閉
ざされることを考える。初めは、リザーバ室11とソース
室12は各々分離している。ボイルの法則から、 （１）PSVS＝nSRT （２）PRVR＝nRRT であることが知られる。
ざされることを考える。初めは、リザーバ室11とソース
室12は各々分離している。ボイルの法則から、 （１）PSVS＝nSRT （２）PRVR＝nRRT であることが知られる。
ここで、 VS＝ソース室の容積 nS＝ソース室内の測定ガスのモル数 PR＝リザーバ室の圧力 nR＝リザーバ室内の測定ガスのモル数 R ＝定数 T ＝測定ガスの温度 （１）式と（２）式を加え、次式が成り立つ。
（３）PSVS＋PRVR＝（nS＋nR）RT ソース室とリザーバ室は共に閉鎖系を成すため、 （４）nS＋nR＝Ｎ、ここでＮは定数 測定ガスは次いで、リザーバ室からソース室へ動かされ
る。これは、２室の各圧力の変化を生ずる。該室は堅固
であり、かつ分離区域へ出入りする流体の流れがないた
め、各体積は一定を保つ。ゆえに、 （5a）（PSVS＋PRVR）＝〔（nS＋nR）RT〕 （5b）（PS＋ΔPS o）VS＋（PR＋ΔPR o）VR＝NRT （５）式から（３）式を引き、 （６）ΔPS oVS＋ΔPR oVR＝０ VSを求めると、 （７）VS＝−ΔPR oVR/ΔPS o この時点で、ポンプ装置は停止され、２室間の連通を切
断する。ボイルの法則により、一定温度において、ソー
ス室容積に関し、 （８）PSVS＝KS;KS＝一定 であることが知られている。
る。これは、２室の各圧力の変化を生ずる。該室は堅固
であり、かつ分離区域へ出入りする流体の流れがないた
め、各体積は一定を保つ。ゆえに、 （5a）（PSVS＋PRVR）＝〔（nS＋nR）RT〕 （5b）（PS＋ΔPS o）VS＋（PR＋ΔPR o）VR＝NRT （５）式から（３）式を引き、 （６）ΔPS oVS＋ΔPR oVR＝０ VSを求めると、 （７）VS＝−ΔPR oVR/ΔPS o この時点で、ポンプ装置は停止され、２室間の連通を切
断する。ボイルの法則により、一定温度において、ソー
ス室容積に関し、 （８）PSVS＝KS;KS＝一定 であることが知られている。
弁18が開かれ、流体が分離区域から流出する。流体の
流出は、ソース室内に収容される測定ガスの体積の増加
を生じ、圧力の減少を生じる。ボイルの法則により、ソ
ース室内の測定ガス圧力とソース室内体積の積は一定を
保つ。ゆえに、 （９）（PS＋ΔPS）（VS＋ΔVS）＝PSVS＝KS ΔVSについて（９）式を解き、 （10a）ΔVS＝PSVS/（PS＋ΔPS）−VS または、 （10b）ΔVS＝−PSVS/（PS＋ΔPS） 分離区域からいくらか流体が流出していると仮定するた
め、PSは初期圧力PS oに等しくない。
流出は、ソース室内に収容される測定ガスの体積の増加
を生じ、圧力の減少を生じる。ボイルの法則により、ソ
ース室内の測定ガス圧力とソース室内体積の積は一定を
保つ。ゆえに、 （９）（PS＋ΔPS）（VS＋ΔVS）＝PSVS＝KS ΔVSについて（９）式を解き、 （10a）ΔVS＝PSVS/（PS＋ΔPS）−VS または、 （10b）ΔVS＝−PSVS/（PS＋ΔPS） 分離区域からいくらか流体が流出していると仮定するた
め、PSは初期圧力PS oに等しくない。
式（７）の関係を用いて式（10）のVSを消去すると、 （11）ΔVS＝−〔ΔPS/(PS＋ΔPS)〕〔−ΔPR oVR/Δ
PS o〕 が得られ、この式を書換え、最終的な式 （12）ΔVS＝〔ΔPR oVR/ΔPS o〕〔ΔPS/（PS＋ΔPS）〕 を得る。
PS o〕 が得られ、この式を書換え、最終的な式 （12）ΔVS＝〔ΔPR oVR/ΔPS o〕〔ΔPS/（PS＋ΔPS）〕 を得る。
供給される流体の総量は、各々ΔVSの合計により計算
され、次式で表される。
され、次式で表される。
第１図に描かれた装置の操作は、次のステップで要約
される。
される。
A.システムを初期化する−弁17及び18は分離区域に流体
を保持し閉ざされる。
を保持し閉ざされる。
B.リザーバ室内およびソース室内の測定ガス圧を測定す
る。
る。
C.いくらかの測定ガスをリザーバ室からソース室へ移動
し、ソース室をリザーバ室から閉鎖する。
し、ソース室をリザーバ室から閉鎖する。
D.リザーバ室内及びソース室内の新たな測定ガス圧を測
定する。
定する。
E.弁18を開き、分離区域15から流体を流出させる。
F.ソース室内の測定ガス圧を測定する。
流体が分離区域を離れるのに対応し、体積が増加する
ため、該圧力は減少するものと予想される。
ため、該圧力は減少するものと予想される。
G.等式（12）を使い供給される流体の体積を計算する。
圧力変換器13及び14からのデータが、ポンプ装置111
及び弁17、18を起動させることも可能なマイクロプロセ
ッサーまたは他の計算装置により処理されることが企図
される。前述のサイクルは例示であり、上述した本質的
な関係を利用できる他のサイクルが適用され得ることが
理解されるであろう。例えば、流出量が所望量に至らな
い場合には更にステップＣからのサイクルを繰り返して
全体の流出量を所望量とするようにすることができる
し、また、ステップＥ、Ｆ及びＧは、ＢからＧまでのよ
り大きなステップ内の副サイクルとして所望の回数繰り
返すことができる。
及び弁17、18を起動させることも可能なマイクロプロセ
ッサーまたは他の計算装置により処理されることが企図
される。前述のサイクルは例示であり、上述した本質的
な関係を利用できる他のサイクルが適用され得ることが
理解されるであろう。例えば、流出量が所望量に至らな
い場合には更にステップＣからのサイクルを繰り返して
全体の流出量を所望量とするようにすることができる
し、また、ステップＥ、Ｆ及びＧは、ＢからＧまでのよ
り大きなステップ内の副サイクルとして所望の回数繰り
返すことができる。
第２図は、本発明の好適な実施例の概要を示す。この
実施例は、リザーバ室11とソース室12を互いに連通さ
せ、かつ流体流路分離区域と連通する少し異なった配置
を含んでいる。第２図の実施例は、弁22により閉ざされ
る分離区域への連絡通路21を備える。ソース室12と分離
区域15の間の通路23は弁24により閉ざされる。本実施例
の操作の１形式においては、閉回路、即ちリザーバ室11
からソース室12、胴部110次いでリザーバ室11に戻る回
路の回りに測定流体を循環させることが可能であり、操
作上経済的な結果を伴う。
実施例は、リザーバ室11とソース室12を互いに連通さ
せ、かつ流体流路分離区域と連通する少し異なった配置
を含んでいる。第２図の実施例は、弁22により閉ざされ
る分離区域への連絡通路21を備える。ソース室12と分離
区域15の間の通路23は弁24により閉ざされる。本実施例
の操作の１形式においては、閉回路、即ちリザーバ室11
からソース室12、胴部110次いでリザーバ室11に戻る回
路の回りに測定流体を循環させることが可能であり、操
作上経済的な結果を伴う。
操作においては、例えば、空気のような測定ガスが室
11及び14に１気圧で存在し、弁17、18、22及び24が閉じ
ていると仮定する。次いで弁17及び22は開かれる。弁17
の開放は分離区域への流体を流入させる。弁22の開放は
２つの分離した体積を定める。これらの体積の１つは、
リザーバ室と連絡通路21から柔軟な薄膜19までの体積の
総計である。２つ目はソース室12の体積と連絡通路23か
ら弁24までの部分までの体積を加えたものである。次い
で、これらの２つの体積に伴う測定ガスの圧力が測定・
記録される。
11及び14に１気圧で存在し、弁17、18、22及び24が閉じ
ていると仮定する。次いで弁17及び22は開かれる。弁17
の開放は分離区域への流体を流入させる。弁22の開放は
２つの分離した体積を定める。これらの体積の１つは、
リザーバ室と連絡通路21から柔軟な薄膜19までの体積の
総計である。２つ目はソース室12の体積と連絡通路23か
ら弁24までの部分までの体積を加えたものである。次い
で、これらの２つの体積に伴う測定ガスの圧力が測定・
記録される。
次いで、ポンプ25がリザーバ室とソース室の間の圧力
差を作るように起動される。次いで弁17が閉じられ、弁
22が続いて閉じられる。この時点では、流体の流れが停
止するので測定ガスの圧力は閉じている弁22の各側で同
一である。ゆえに、何れかの圧力量が測定される。描か
れた実施例では、変換器13が弁と柔軟な薄膜間の圧力を
測定する。
差を作るように起動される。次いで弁17が閉じられ、弁
22が続いて閉じられる。この時点では、流体の流れが停
止するので測定ガスの圧力は閉じている弁22の各側で同
一である。ゆえに、何れかの圧力量が測定される。描か
れた実施例では、変換器13が弁と柔軟な薄膜間の圧力を
測定する。
ソース室から閉鎖された弁24までの圧力PSと、連絡通
路21から柔軟薄膜19までを含むリザーバ室の圧力P(R+D)
が、ΔPS oとΔP(R+D) oを計算するために、ポンプ25の起
動の前後で測定される。
路21から柔軟薄膜19までを含むリザーバ室の圧力P(R+D)
が、ΔPS oとΔP(R+D) oを計算するために、ポンプ25の起
動の前後で測定される。
（14）ΔPS o＝PSf o−PSi o （15）ΔP(R+D) o＝P(R+D)f o−P(R+D)i o ΔPS o＝ポンプ25の起動に起因するソース室内の測定
ガスの圧力変化 PSf o＝ポンプ25の起動後のソース室内の測定ガス圧力 PSi o＝ポンプ25の起動前のソース室内の測定ガスの圧
力 ΔP(R+D) o＝ポンプ25の起動に起因するリザーバ室
（から柔軟な薄膜19まで）内の測定ガスの圧力変化 P(R+D)f o＝ポンプ25の起動後のリザーバ室（から柔軟
な薄膜19まで）内の測定ガス圧 P(R+D)i o＝ポンプ25の起動前のリザーバ室（から柔軟
な薄膜19まで）内の測定ガス圧 ボイルの法則により、 （16）ΔP(R+D) oV(R+D)＝−ΔPS oVS o V(R+D) o＝流体が流れる前のリザーバ室（から薄膜19
まで）の体積（この量は、薄膜19が分離区域に出入りす
る流体の流れに対応して動くので、変化する） Vo＝ソース室の体積 （17）V(R+D)＝−ΔPS oVS o/ΔP(R+D) o が知られる。
ガスの圧力変化 PSf o＝ポンプ25の起動後のソース室内の測定ガス圧力 PSi o＝ポンプ25の起動前のソース室内の測定ガスの圧
力 ΔP(R+D) o＝ポンプ25の起動に起因するリザーバ室
（から柔軟な薄膜19まで）内の測定ガスの圧力変化 P(R+D)f o＝ポンプ25の起動後のリザーバ室（から柔軟
な薄膜19まで）内の測定ガス圧 P(R+D)i o＝ポンプ25の起動前のリザーバ室（から柔軟
な薄膜19まで）内の測定ガス圧 ボイルの法則により、 （16）ΔP(R+D) oV(R+D)＝−ΔPS oVS o V(R+D) o＝流体が流れる前のリザーバ室（から薄膜19
まで）の体積（この量は、薄膜19が分離区域に出入りす
る流体の流れに対応して動くので、変化する） Vo＝ソース室の体積 （17）V(R+D)＝−ΔPS oVS o/ΔP(R+D) o が知られる。
V(R+D)＝流体が流れる間リザーバ室（から薄膜19ま
で）の体積 しかし、 （18）VD o＝V(R+D) o−VR VD o＝弁22から薄膜19までの体積 VR＝リザーバ室の既知の容積 もまた知られ、従って、 （19）VD o＝−ΔPS oVS o/ΔP(R+D) o−VR この体積VDは代わりの計算によりチェックされ得る。
弁24が開放されるときには、分離区域内の流体の体積変
化がソース室から薄膜19までの測定ガス圧の変化に反映
することが理解されるであろう。
で）の体積 しかし、 （18）VD o＝V(R+D) o−VR VD o＝弁22から薄膜19までの体積 VR＝リザーバ室の既知の容積 もまた知られ、従って、 （19）VD o＝−ΔPS oVS o/ΔP(R+D) o−VR この体積VDは代わりの計算によりチェックされ得る。
弁24が開放されるときには、分離区域内の流体の体積変
化がソース室から薄膜19までの測定ガス圧の変化に反映
することが理解されるであろう。
弁24の開放前のソース室の圧力PSiが再測定される。
システム内に漏れ又は他のエラーがなければ、PSiは、
ポンプ25の起動後で流体が得られる前に測定された圧力
ΔPSfに等しくなる筈である。次いで、ソース室から薄
膜19までの測定ガスの圧力Pscalが測定され圧力の変化
ΔPscal計算するために使われる。
システム内に漏れ又は他のエラーがなければ、PSiは、
ポンプ25の起動後で流体が得られる前に測定された圧力
ΔPSfに等しくなる筈である。次いで、ソース室から薄
膜19までの測定ガスの圧力Pscalが測定され圧力の変化
ΔPscal計算するために使われる。
（20）ΔPscal＝Pscal−PSi （19）式のリザーバ室値をソース室値に置き換え、次
いで次式を得る。
いで次式を得る。
（21）VD o＝ΔPscal oVS o/ΔP(R+D) o−VS o このVD oは、もしシステムが適当に操作されているなら
ば、上記VD oと等しくなる筈である。もし、VD oの２つの
値が等しくなければ、測定ガスの漏れを含む種々のシス
テムエラーを示すことになる。
ば、上記VD oと等しくなる筈である。もし、VD oの２つの
値が等しくなければ、測定ガスの漏れを含む種々のシス
テムエラーを示すことになる。
弁24が開放された後、弁18が流体を流れさせるよう開
放される。ΔPSはPSfからPSiを引くことにより計算さ
れ、ΔVSは閉じた系に対して計算される。
放される。ΔPSはPSfからPSiを引くことにより計算さ
れ、ΔVSは閉じた系に対して計算される。
（22）PSiVSi＝（PSi＋ΔPS）（VSi＋ΔVS） 公式を使い、 （23）ΔVS＝（PSiVSi）／（PSi＋ΔPS）−VSi＝ΔVD （VS oは定数であり、VS＝VS＋VDだから） 第２図に描かれ及び上述された装置の操作は、次のス
テップで要約される。
テップで要約される。
A.システムを初期化する。−測定ガスはリザーバ及びソ
ース室内で１気圧で存在し、弁17、18、22及び24は閉じ
られる。
ース室内で１気圧で存在し、弁17、18、22及び24は閉じ
られる。
B.リザーバ室から薄膜19までの測定ガスの圧力と、ソー
ス室内の測定ガスの圧力を測定する。
ス室内の測定ガスの圧力を測定する。
C.弁17と22を開き、流体を分離区域に流入させる。
D.ポンプ25を起動し、リザーバ室とソース室の間に圧力
差を設け、次いで、ポンプを止める。
差を設け、次いで、ポンプを止める。
E.弁17を閉じる。
F.弁22を閉じる。
G.ソース室の新しい圧力と、リザーバ室または弁22と、
薄膜19の間の連絡通路21の部分のいずれかの新しい圧力
を測定する。
薄膜19の間の連絡通路21の部分のいずれかの新しい圧力
を測定する。
H.式（14）〜（21）を使い、分離区域内の流体の体積を
計算する。
計算する。
I.弁24を開き、ソース室内の測定ガスの圧力を測定す
る。
る。
J.弁18を開く、分離区域の流体の体積変化を伴う（通常
流出）。
流出）。
K.弁18と24を閉じ、ソース室の測定ガスの最終圧を測定
する。
する。
L.式（23）を使い、供給された流体の体積を計算する。
測定ガスは循環的な移動パターンを進むことが理解さ
れるであろう。測定ガスはリザーバ室からソース室に圧
送される。弁22と24の繰り返される開閉は、ソース室か
らリザーバ室に戻る測定ガスの移動を生ずる。従って、
本システムは、圧平衡のための通気または他の手段を必
要としないため、革新的で経済的な設計であることが理
解されるであろう。
れるであろう。測定ガスはリザーバ室からソース室に圧
送される。弁22と24の繰り返される開閉は、ソース室か
らリザーバ室に戻る測定ガスの移動を生ずる。従って、
本システムは、圧平衡のための通気または他の手段を必
要としないため、革新的で経済的な設計であることが理
解されるであろう。
更に、種々の操作形式が可能である。例えば、本発明
はポンプとして操作されるよう形式し得る。操作の通常
サイクルに弁17と22が同時に開く期間があることが理解
されるであろう。ポンプ25の操作のためリザーバ室11内
の測定が比較的低圧であるので、流体は分離区域に引っ
張られる傾向にあるだろう。同様に、操作サイクル中に
弁18と24が同時に開くポイントがある。ソース室12内の
測定ガスは比較的高圧であるので、流体は、分離区域か
ら押し出される傾向にあるだろう。もしソース室の測定
ガスとリザーバ室の測定ガスの間に十分に高い圧力差が
生じたならば、相当なポンプ作用が生じるであろう。
はポンプとして操作されるよう形式し得る。操作の通常
サイクルに弁17と22が同時に開く期間があることが理解
されるであろう。ポンプ25の操作のためリザーバ室11内
の測定が比較的低圧であるので、流体は分離区域に引っ
張られる傾向にあるだろう。同様に、操作サイクル中に
弁18と24が同時に開くポイントがある。ソース室12内の
測定ガスは比較的高圧であるので、流体は、分離区域か
ら押し出される傾向にあるだろう。もしソース室の測定
ガスとリザーバ室の測定ガスの間に十分に高い圧力差が
生じたならば、相当なポンプ作用が生じるであろう。
該圧力差は逆圧の問題を解決するためにも使われる。
本システムは、たとえ逆圧が全く流れを生じさせず、又
は逆流を生じさせても流路を通る流体の流れに関するデ
ータをもたらすことが理解されるであろう。これらの現
象は、各々上述した計算を使い、０またはマイナスの体
積増分を生じる測定ガスの圧力に対応する変化を生じさ
れる。この情報は、下流圧力条件を補償するために使用
し得る。マイクロプロセッサ又は他の制御装置は小さな
またはマイナスの流量が検知される圧力差を増加させる
ようプログラム化され得る。圧力差は必要なだけポンプ
25を起動させることにより増加するであろう。異常な下
流路の圧力条件の検知は、本発明者の係属中の1987年３
月３日に出願された米国特願第021,294号に開示された
ものと同様な方式で、浸透又は他の望ましくない条件を
検知するのに使用され得ることも注意されるべきであろ
う。同様に、1987年３月５日に出願された米国特願第02
2,167号に述べられた方法は、上流のリザーバが空に近
い状態に到着するときを決定したり、流体の流路で空気
の存在を検知したり、該流路から空気を排除するために
使用され得る。
本システムは、たとえ逆圧が全く流れを生じさせず、又
は逆流を生じさせても流路を通る流体の流れに関するデ
ータをもたらすことが理解されるであろう。これらの現
象は、各々上述した計算を使い、０またはマイナスの体
積増分を生じる測定ガスの圧力に対応する変化を生じさ
れる。この情報は、下流圧力条件を補償するために使用
し得る。マイクロプロセッサ又は他の制御装置は小さな
またはマイナスの流量が検知される圧力差を増加させる
ようプログラム化され得る。圧力差は必要なだけポンプ
25を起動させることにより増加するであろう。異常な下
流路の圧力条件の検知は、本発明者の係属中の1987年３
月３日に出願された米国特願第021,294号に開示された
ものと同様な方式で、浸透又は他の望ましくない条件を
検知するのに使用され得ることも注意されるべきであろ
う。同様に、1987年３月５日に出願された米国特願第02
2,167号に述べられた方法は、上流のリザーバが空に近
い状態に到着するときを決定したり、流体の流路で空気
の存在を検知したり、該流路から空気を排除するために
使用され得る。
前述の第１図の例のように、前述のサイクルは端に例
示的なものであり、上述した本質的な関係を使用できる
他のサイクルが使用され得る。従って、例えば、流出量
が所望量に至らない場合には更にステップＤからのサイ
クルを繰り返して全体の流出量を所望量とするようにす
ることができるし、また、ステップＪからＬはより大き
なサイクル、ステップＢからＬの中の副サイクルとして
所望の回数繰り返し得る。更に、もし、ソース室12の操
作圧が弁17における流路圧とほぼ近い圧力に保たれるな
らば、本システムは制御形式で操作され得る。
示的なものであり、上述した本質的な関係を使用できる
他のサイクルが使用され得る。従って、例えば、流出量
が所望量に至らない場合には更にステップＤからのサイ
クルを繰り返して全体の流出量を所望量とするようにす
ることができるし、また、ステップＪからＬはより大き
なサイクル、ステップＢからＬの中の副サイクルとして
所望の回数繰り返し得る。更に、もし、ソース室12の操
作圧が弁17における流路圧とほぼ近い圧力に保たれるな
らば、本システムは制御形式で操作され得る。
金属を含む他の材料及び当業者に知られた構成が本発
明の思想の範囲内において有り得るが、最終的な構造が
ブロック配列で収容され得るような方法で室及び通路を
配置し、強固なプラスチックで第２図の実施例を組み立
てることが企図される。
明の思想の範囲内において有り得るが、最終的な構造が
ブロック配列で収容され得るような方法で室及び通路を
配置し、強固なプラスチックで第２図の実施例を組み立
てることが企図される。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−259781（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−154675（ＪＰ，Ａ)
Claims (17)
- 【請求項１】流路を通る流体を流入させる入口と流出さ
せる出口により区画された区域を該区域外の流路内の圧
力の影響から隔離し、且つ前記区域内へ及び該区域外へ
の流体の分配を繰り返すための分配手段と、 前記区域と接続されて前記区域と共に一定の容積を形成
するソース手段と、 前記ソース手段とあわせて既知量の測定ガスを包含可能
なように、前記ソース手段に接続されたリザーバ手段
と、 前記リザーバ手段と前記ソース手段の間にあって前記測
定ガスを所定量移動させることによって、前記リザーバ
手段内の前記測定ガスの圧力と前記ソース手段内の前記
測定ガスの圧力をそれぞれ変化させるようにしたポンプ
手段と、 前記リザーバ手段内の前記測定ガスの圧力及び前記ソー
ス手段内の前記測定ガスの圧力に対応したそれぞれの圧
力データを発生する圧力モニター手段と、 前記圧力モニター手段、前記ポンプ手段及び前記分配手
段と接続され、測定サイクル及び分配サイクルの間の所
定時に測定された前記ソース手段と前記リザーバ手段に
おける測定ガスの圧力に対応する前記圧力モニター手段
からの圧力データに基づき決定される増分量の流体を前
記分配手段によって分配させる制御手段と、有し、 前記ソース手段は、当該ソース手段の容量変動に応じて
相補的に当該ソース手段に包含された測定ガスの圧力変
化を生じさせるようにし、 前記制御手段は、前記ソース手段における測定ガスの容
量変動に基づいて分配された流体の量を決定し、 流路を通過する流体流量を制御する流体流量制御装置。 - 【請求項２】前記測定ガスは空気である、請求項１に記
載の流体流量制御装置。 - 【請求項３】前記分配手段は、流体を流入させる入口バ
ルブと流体を流出させる出口バルブを有する、請求項１
に記載の流体流量制御装置。 - 【請求項４】前記分配手段は、前記流体と前記ソース手
段内の測定ガスとの間に境界を形成する可撓性膜を有す
る請求項３に記載の流体流量制御装置。 - 【請求項５】前記分配手段において隔離された前記区域
は、前記入口、前記出口及び前記流体と前記ソース手段
内の測定ガスとの間に境界を形成する可撓性境界面によ
って区画される、請求項３に記載の流体流量制御装置。 - 【請求項６】前記測定サイクルと前記分配サイクルは、
次の工程からなる請求項３に記載の流体流量制御装置。 （Ａ）前記区域内に現存する流体をもって、前記入口バ
ルブと前記出口バルブを閉じる、 （Ｂ）前記リザーバ手段と前記ソース手段内のそれぞれ
の圧力を測定する、 （Ｃ）前記リザーバ手段から前記ソース手段へ、前記ポ
ンプ手段を所定時間作動させて前記測定ガスを移動させ
る、 （Ｄ）前記測定ガス移動後における前記リザーバ手段と
前記ソース手段内のそれぞれの圧力を測定する、 （Ｅ）前記リザーバ手段と前記ソース手段間の如何なる
連絡を閉ざすべく前記ポンプ手段を閉鎖する、 （Ｆ）前記区域内の前記流体を、前記出口バルブを開く
ことにより流出させる、 （Ｇ）前記ソース手段内の前記測定ガスの圧力を測定す
る、 （Ｈ）前記の工程（Ｂ）、（Ｄ）及び（Ｇ）におけるそ
れぞれの前記測定ガスの圧力データに基づいて前記出口
バルブから流出した流体の量を計算する、 （Ｉ）前記出口バルブを閉じる、 （Ｊ）前記入口バルブを開いて流体を流入させる、 （Ｋ）前記入口バルブを閉じる、 （Ｌ）前記の工程（Ｈ）において計算された流出した流
体の量の積算値が所望量に達するまで、前記の工程
（Ｆ）乃至（Ｋ）のサイクルを繰り返す。 - 【請求項７】前記工程（Ｌ）における前記積算値に基づ
いて流体の流出割合を算出する工程（Ｍ）を有し、該流
出割合が所望値以下であるとき前記工程（Ｄ）からのサ
イクルを繰り返す、請求項６に記載の流体流量制御装
置。 - 【請求項８】前記工程（Ｈ）における流出した流体の前
記計算は、以下の関係式によって算出される請求項６に
記載の流体流量制御装置。 ΔVS＝（ΔPR oVR/ΔPS o）［ΔPS/（PS＋ΔPS）］ ここで、 ΔVS＝前記区域から流出した（分配された）流体流量 ΔPR o＝リザーバ手段からソース手段への測定ガスの移
動に伴って生じたリザーバ手段内の測定ガスの圧力変化
（移動前後の圧力差） VR＝リザーバ手段の内容量（既知値） ΔPS o＝流体の流出前の測定された、リザーバ手段から
ソース手段への測定ガスの移動に伴って生じたソース手
段内の測定ガスの圧力変化（移動前後の圧力差） ΔPS＝前記区域からの流体の移動によって生じたソース
手段内の測定ガスの圧力変化（移動前後の圧力差） ΔPS＝ソース手段内の測定ガスの圧力 - 【請求項９】流路を通る流体を流入させる入口と流出さ
せる出口により区画された区域を該区域外の流路内の圧
力の影響から隔離し、且つ前記区域内へ及び該区域外へ
の流体の分配を繰り返すための分配手段と、 第１の容量の測定ガスを内包するソース手段と、 前記ソース手段と連通し、第２の容量の測定ガスを内包
するリザーバ手段と、 前記リザーバ手段と前記ソース手段の間にあって前記測
定ガスを所定量移動させることによって、前記リザーバ
手段内の前記測定ガスの圧力と前記ソース手段内の前記
測定ガスの圧力をそれぞれ変化させるようにしたポンプ
手段と、 前記区域に至る途中で相互に接合部連絡通路手段にそれ
ぞれ接続された、前記ソース手段と前記区域間を連絡す
るソース連絡通路手段及び前記リザーバ手段と前記区域
間を連絡するリザーバ連絡通路手段と、 前記ソース連絡通路を開閉するためのソース・バルブ
と、 前記リザーバ連絡通路を開閉するためのリザーバ・バル
ブと、 前記区域、前記ソース手段、前記リザーバ手段、前記ソ
ース連絡通路手段、前記リザーバ連絡通路手段及び前記
接合部連絡通路手段は、それぞれの容積の和が一定の容
量を形成しており、前記区域内の前記流体の容量変動に
応じて、前記接合部連絡通路手段内及び該接合部連絡通
路手段と圧力連通する他の手段内において前記測定ガス
の相関的な圧力変化が生ずるように相互に配設されてお
り、 前記ソース手段及び該ソース手段と圧力連通状態にある
手段内の測定ガスの圧力に対応した圧力データと、前記
接合部連絡通路手段及び該接合部連絡通路手段と圧力連
通状態にある手段内の測定ガスの圧力に対応した圧力デ
ータを発生する圧力モニター手段と、 測定サイクル及び分配サイクルの間の所定時に測定され
た前記ソース手段と前記リザーバ手段における測定ガス
の圧力に対応する前記圧力モニター手段からの圧力デー
タに基づき決定される増分量の流体を前記分配手段によ
って分配させる制御手段と、有し、 前記制御手段は、前記ソース手段における測定ガスの容
量変動に基づいて分配された流体の量を決定し、 流路を通過する流体流量を制御する流体流量制御装置。 - 【請求項１０】前記測定ガスは空気である、請求項９に
記載の流体流量制御装置。 - 【請求項１１】前記分配手段は、流体を流入させる入口
バルブと流体を流出させる出口バルブを有する、請求項
９に記載の流体流量制御装置。 - 【請求項１２】前記分配手段は、前記流体と前記ソース
手段内の測定ガスとの間に境界を形成する可撓性膜を有
する請求項11に記載の流体流量制御装置。 - 【請求項１３】前記分配手段において隔離された前記区
域は、前記入口、前記出口及び前記流体と前記ソース手
段内の測定ガスとの間に境界を形成する可撓性境界面に
よって区画される、請求項11に記載の流体流量制御装
置。 - 【請求項１４】前記測定サイクルと前記分配サイクル
は、次の工程からなる請求項11に記載の流体流量制御装
置。 （Ａ）前記リザーバ手段、前記ソース手段、前記接合部
連絡通路手段、前記ソース連絡通路手段及び前記リザー
バ連絡通路手段内の測定ガスの圧力を１気圧に設定し、
前記入口バルブ、前記出口バルブ、前記ソース・バルブ
及び前記リザーバ・バルブを閉じることによってシステ
ムを初期化する、 （Ｂ）前記圧力モニター手段から、それぞれの箇所にお
ける前記測定ガスの圧力データ値を得る、 （Ｃ）前記入口バルブと前記リザーバ・バルブを開くこ
とによって、流体を前記区域内に流入させる、 （Ｄ）前記ポンプ手段を所定時間作動させて前記リザー
バ手段内の前記測定ガスの圧力と前記ソース手段内の前
記測定ガスの圧力間に差を生じさせる、 （Ｅ）前記入口バルブと前記リザーバ・バルブを閉じ
る、 （Ｆ）前記圧力モニター手段から、それぞれの箇所にお
ける前記測定ガスの新たな圧力データ値を得る、 （Ｇ）前記工程（Ｂ）及び（Ｆ）において得られた圧力
データから前記区域内における流体の量を算出する、 （Ｈ）前記ソース・バルブを開く、 （Ｉ）前記ソース手段内における前記測定ガスの圧力デ
ータ値を得る、 （Ｊ）前記出口バルブを開き、前記区域から流体を流出
させる、 （Ｋ）前記出口バルブと前記ソース・バルブを閉じ、前
記ソース手段内における前記測定ガスの圧力データ値を
得る、 （Ｌ）前記工程（Ｇ）、（Ｉ）及び（Ｋ）において得ら
れた各圧力データ値から流出した流体の流量を算出す
る、 （Ｍ）前記の工程（Ｌ）において計算された流出した流
体の量の積算値が所望量に達するまで、前記の工程
（Ｆ）乃至（Ｌ）のサイクルを繰り返す。 - 【請求項１５】前記工程（Ｌ）における前記積算値に基
づいて流体の流出割合を算出する工程（Ｎ）を有し、該
流出割合が所望値以下であるとき前記工程（Ｄ）からの
サイクルを繰り返す、請求項14に記載の流体流量制御装
置。 - 【請求項１６】前記工程（Ｇ）及び（Ｌ）における前記
流体の流量は、それぞれ以下の関係式によって算出され
る請求項14に記載の流体流量制御装置。上記工程（Ｇ）
において、 Vf＝VT−VD o ここで、 Vf＝前記区域内の流体量 VT＝前記区域、前記ソース手段、前記リザーバ手段、前
記ソース連絡通路手段、前記リザーバ連絡通路手段及び
前記接合部連絡通路手段の内容積の和 VD o＝前記区域、前記ソース手段、前記リザーバ手段、
前記ソース連絡通路手段、前記リザーバ連絡通路手段及
び前記接合部連絡通路手段内における測定ガスの体積和 また、VD o＝−ΔPS oVS o/ΔP(R+D) o−VR ここで、 ΔPS o＝リザーバ手段からソース手段への測定ガスの移
動に伴って生じたソース手段内の測定ガスの圧力変化
（移動前後の圧力差） VS o＝ソース手段の内容量（既知値） ΔP(R+D) o＝リザーバ手段からソース手段の測定ガスの
移動に伴って生じたリザーバ手段内の測定ガスの圧力変
化（移動前後の圧力差） VR＝リザーバ手段の内容積（既知値） 上記工程（Ｌ）において、 ΔＶ＝−ΔVD ここで、 ΔＶ＝前記区域における流体量の変化 ΔVD＝前記区域における測定ガスの体積変化 また、ΔVD＝（PsiVsi）／（Psi＋ΔPs）−Vsi ここで、 Psi＝ソース・バルブを開く前のソース手段内における
測定ガスの圧力 Vsi＝ソース・バルブを開く前のソース手段内における
測定ガスの体積 ΔPs＝ソース・バルブの解放前後のソース手段内におけ
る測定ガスの圧力変化（圧力差） - 【請求項１７】前記工程（Ｇ）における前記流体の流量
算出において、前記VD oは、前記の関係式に代えて以下
の関係式によって算出される請求項16に記載の流体流量
制御装置。 VD o＝ΔPScal oVS o/ΔP(R+D) o−VS o ここで、 ΔPScal o＝前記ソース・バルブの解放前後の前記ソース
手段内における測定ガスの圧力変化（圧力差） ΔP(R+D) o＝リザーバ手段からソース手段への測定ガス
の移動に伴って生じたリザーバ手段内の測定ガスの圧力
変化（移動前後の圧力差） VS o＝ソース手段の内容積（既知値）
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