JP3089787B2

JP3089787B2 - 縦横並列ランドのチェックエリア設定方法

Info

Publication number: JP3089787B2
Application number: JP04013790A
Authority: JP
Inventors: 顕一尾形
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1992-01-29
Filing date: 1992-01-29
Publication date: 2000-09-18
Anticipated expiration: 2015-09-18
Also published as: JPH05203417A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は縦横並列ランドのチェッ
クエリア設定方法に係り、特に、基板に形成されるラン
ドのうち、ＱＦＰチップ用のランドを、カメラの視野に
複数取込んで、半田付け状態を外観検査する際に、好適
に用いられる手段に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣ，ＬＳＩなどのチップの電極と、基
板のランドとを半田により接着した後で、チップの電極
がランドに良好に接着されているか否かを検査するため
に、チップの電極とランドとの重合部分の近傍におい
て、半田の外観検査が行われている。

【０００３】従来このような外観検査は、作業者の目視
作業により行われていたが、近年カメラによる自動検査
が行なわれ始めている。このカメラによる自動検査を行
うにあたっては、カメラの視野内に、チェックエリアを
設定する必要がある。しかも、多数のランドに対し、一
対一に対応する多数のチェックエリアを設定し、これら
のチェックエリアの一つ一つを対応するランドの所定位
置に合わせておくことが必要になる。

【０００４】ここで上記自動検査を行なうべくチェック
エリアを設定するに際し、従来は、チップが実際に搭載
された基板のうちチップが良好に搭載されているもの
を、マスター基板に選び、作業者がこのマスター基板の
カメラ画像をモニタなどで目視しながら、チェックエリ
アを走査して、多数の上記重合部分の半田の一つ一つ
に、一つ一つのチェックエリアを合わせて、チェックエ
リアの座標を設定していた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが上記手段はき
わめて繁雑であって、きわめて多大の労力と時間を要す
るという問題点があった。殊にＱＦＰチップ用のランド
は、狭ピッチを介して数百を超える個数形成されている
こともあり、上記のように目視によることは、不可能に
近い。さらには、基板に接着された半田の形状寸法や位
置は大きくばらついており、このためマスター基板を選
択して、これを基にチェックエリアを設定しても、この
チェックエリアが実際に検査対象物となる他の基板の半
田に必ずしも良好に合致するわけではなく、合致不良に
より半田の外観を誤判断するおそれがあった。

【０００６】ところで、基板のランドは、エッチングな
ど精密な手段により形成されており、その位置精度の信
頼性はきわめて高い。また、ＱＦＰチップ用のランド
は、ＱＦＰチップの形状から、４つのランド列が縦横に
平行に形成された、縦横並列ランドとなるものである。

【０００７】そこで本発明は、上記のような点を勘案
し、基板のランドを基準として、半田の外観検査のため
のチェックエリアを、高速度で且つ正確に設定すること
ができ、しかも視野内に、ＱＦＰチップ用のランド群を
取込み、このＱＦＰチップ用のランド群に、一対一に対
応するチェックエリア群を設定する際に好適な手段を提
供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】このために本発明は、チ
ェックエリアの座標系の縦軸と横軸を縦横並列に形成さ
れたランド列と平行に設定するプロセスと、上記縦軸に
平行なランド列と、上記横軸に平行なランド列のそれぞ
れのランド列外側方のスタート位置にチェックエリアを
おくプロセスと、このチェックエリアを、それぞれのラ
ンド列方向に走査し、これらのランド列の一部にチェッ
クエリアが重合する際の座標からランド間のピッチを求
めるプロセスと、このピッチに基づいて、上記縦軸に平
行なランド列の個々のランドと、上記横軸に平行なラン
ド列の個々のランドに、一対一に対応するチェックエリ
ア群のランド列方向の座標を設定するプロセスと、上記
チェックエリア群のランド列方向の座標と、これらのラ
ンド列に実装されるチップの寸法データから、上記チェ
ックエリア群のランド長手方向の座標を設定するプロセ
スを構成する。

【０００９】

【作用】上記構成によれば、位置精度の信頼性が高いラ
ンドを利用して、正確にチェックエリアが設定される。

【００１０】また、ランド列方向に関するチェックエリ
アの走査を、ランド列全部に対して行なう必要がなく、
大部分省略することができるので、設定を迅速に行なう
ことができるし、ランド列を実測したデータに基づいて
チェックエリアのランド列方向の座標を設定するので、
この座標の精度を高く保持することができる。

【００１１】しかも、ランド長手方向に関しては、チェ
ックエリアを走査することなく、上記のように求めたチ
ェックエリアのランド列方向の座標と、チップの寸法デ
ータから、チェックエリアの座標を設定するので、チェ
ックエリアの設定に要する時間・労力を大幅に削減する
ことができる。

【００１２】

【実施例】図面を参照しながら、実施例を説明する。図
１は基板１の平面図である。

【００１３】Ａ部は、抵抗、コンデンサなどの角チップ
やミニトランジスタなどのチップ１３のリード１４が半
田１５付けされるランド１２群である。またＢ部は、Ｓ
ＯＰチップ２３のリード２４が半田２５付けされるラン
ド２２群である。このＢ部は、ランド列Ｂ１とランド列
Ｂ２が並列に形成されてなる。さらにＣ部は、ＱＦＰチ
ップ３３のリード３４が半田付けされるランド３２群で
ある。このＣ部は、ランド列Ｃ１とランド列Ｃ３が横方
向（Ｘ方向）に並列に形成されると共に、ランド列Ｃ２
とランド列Ｃ４が縦方向（Ｙ方向）に並列に形成されて
なる。

【００１４】これらのランド１２，２２，３２は、基板
１にエッチングにより精密に形成されるものであり、そ
の形状寸法及び位置関係の信頼性は極めて高い。なお、
図示するＸ軸、Ｙ軸は、これらのランド１２，２２，３
２のランド座標系Ｘ−Ｙの横軸、縦軸である。

【００１５】因みに、上記チップ１３，２３，３３は、
このランド座標系Ｘ−Ｙを基準として、チップマウンタ
（図外）において位置修正された上で、リード１４，２
４，３４がランド１２，２２，３２に載るように、実装
される。ここでチップの実装プロセスにおいては、マウ
ントデータとチップデータが既知のデータとして、予め
与えられている。このうちチップデータは、品種別のチ
ップの寸法データ、リード数などからなる。このチップ
マウンタが有する寸法データ（特に縦横のリード３４先
端部間の距離ｌ1 ，…，ｌ6 など）を、後述するＣ部の
ランド３２群についてチェックエリアＣＣを設定する際
に参照する。

【００１６】なお以下に述べる全実施例において、ラン
ド座標系Ｘ−Ｙと、チェックエリア座標系Ｘ' −Ｙ' を
回転方向のずれなく平行に設定することとする。

【００１７】（実施例１）図２は、上記Ａ部のランド１
２群をカメラ（図外）の視野Ｖに取込んだ画像を示す。
ＣＡはチェックエリアである。ランド１２群の位置関係
の信頼性は極めて高いので、チェックエリア座標系Ｘ'
−Ｙ' における各チェックエリアＣＡ間の距離（図２の
Ｘ１，Ｘ２，Ｙ１）は、ランド１２形成についての設計
上のデータをそのまま用いて定める。

【００１８】Ａ部についてチェックエリアＣＡを設定す
る方法を説明する。まず上記のように、視野Ｖ内に、複
数個のランド１２を取込む。次に、これらのランド１２
の全部が、チェックエリアＣＡの全部に一対一に重合し
たか否か判断する。なお、１つのチェックエリアＣＡが
ランド重合したか否かは、チェックエリアＣＡを移動さ
せるにつれて、ランド１２からの反射光によりチェック
エリアＣＡが次第に明るくなりこの明るさが一定になっ
たこと（より具体的には、チェックエリアＣＡの画素
（図外）のうち光に反応したものの数が増加後収束した
こと）を確認（以下重合確認という）すればよい。なお
後述するＢ部、Ｃ部に関する実施例についてもこの重合
確認の手段を用いる。

【００１９】さて上記において、全チェックエリアＣＡ
がランド１２に重合していれば設定を終了する。そうで
ないときは、図３のように、上記複数個のチェックエリ
アＣＡのうち任意の１つのチェックエリアＣＡを選択す
る。そしてこの選択されたチェックエリアＣＡを、その
もとの位置ＨＰから視野Ｖ内で、チェックエリア座標系
Ｘ' −Ｙ' 上において走査する。この走査を行って重合
確認できたら、チェックエリア座標系Ｘ' −Ｙ' におい
てもとの位置ＨＰから重合確認できた位置ＣＰへのシフ
ト量（ΔＸ' ，ΔＹ' ）を記憶する。

【００２０】次に、他のチェックエリアＣＡをチェック
エリア座標系Ｘ' −Ｙ' おいて、このシフト量（ΔＸ'
，ΔＹ' ）だけシフトする。その結果、全チェックエ
リアＣＡにつき重合確認できた場合には、設定を終了す
る。そうでなければ、上記選択されたチェックエリアＣ
Ａが、本来重合すべきでないランド１２（例えば図２に
おいて、左上のチェックエリアＣＡが、その右横のラン
ド１２に重合した場合など）に重合してしまったことに
なる。しかし、複数個のランド１２のうちいずれかに重
合したことは確かであり、ランド１２間の位置関係は上
述のように既知であるので、容易に修正して全チェック
エリアＣＡについて重合確認できる。なお本実施例で
は、チェックエリアＣＡの全部について重合確認する場
合を説明したが、図２に示す場合では、例えば左上と右
下のチェックエリアＣＡについて重合確認すれば必要十
分であり、他のチェックエリアＣＡについての処理を省
略しても差し支えない。すなわち本手段は、全チェック
エリアＣＡについて重合確認する場合に限定されるもの
ではなく、必要十分なチェックエリアＣＡについてのみ
重合確認する場合も含まれる。

【００２１】このように本実施例では、複数個のチェッ
クエリアＣＡのうち、少なくとも１つのチェックエリア
ＣＡについて走査してシフト量を求めれば良く、複数個
のチェックエリアＣＡについていちいち走査する必要が
ないので、チェックエリア設定に要する労力・時間を大
幅に削減することができ、高速度で設定を完了できる。
しかも、信頼性の高いランド１２のデータをもとに、チ
ェックエリアＣＡ間の距離を設定しているので、上記の
ように走査の大部分を省略しても、設定されたチェック
エリアＣＡがランド１２に良好に重合しないというおそ
れは少ない。

【００２２】（実施例２）図４は、図１のＢ部のランド
２２群をカメラの視野Ｖに取込んだ画像を示す。このＢ
部は、ＳＯＰチップ２３のランド群であり、このランド
２２群はＳＯＰチップ２３のリード２４群のそれぞれを
載せうるように、並列に配置される。また、カメラの視
野Ｖ側のチェックエリア座標系Ｘ' −Ｙ' のＸ' 軸を、
このランド２２の列方向と平行にしておく。ＣＢはチェ
ックエリアである。

【００２３】このランド２２群のチェックエリア座標系
のＸ' 軸方向（ランド列方向）に関して、チェックエリ
アＣＢを設定する方法を説明する。まず、列状に形成さ
れたランド２２の個数ｍのうち、適当な個数ｎ（本実施
例ではｎ＝４とする）を設定する。

【００２４】次に、チェックエリアＣＢをランド２２の
列外側方（図４左側）のスタート位置Ｓ１（Ｘ' ，Ｙ'
）＝（Ｘ' ０，Ｙ' Ｃ）におく。そして、チェックエ
リアＣＢをランド２２の列に向け、ランド２２の列方向
と平行に（Ｘ' 軸方向に）走査する。そして、１番目の
ランド２２とチェックエリアＣＢについて上記重合確認
できたら、このときの座標（Ｘ' ，Ｙ' ）＝（Ｘ' １，
Ｙ' Ｃ）を記憶する。以下２番目以降も同様の処理を繰
り返し、上記のように設定したｎ番目のランド２２とチ
ェックエリアＣＢについて重合確認したところでチェッ
クエリアＣＢの走査を終了する。

【００２５】そして、１番目の座標（Ｘ' １，Ｙ' Ｃ）
からｎ番目の座標（Ｘ' ４，Ｙ' Ｃ）までのシフト量Ｓ
Ｘ（ＳＸ＝（Ｘ' ４−Ｘ' １））からランド２２間のピ
ッチＰ＝ＳＸ÷（ｎ−１）を求める。

【００２６】そしてこのピッチＰをもとに、チェックエ
リアＣＢの座標系Ｘ' −Ｙ' における設定座標（ランド
列方向）を、（Ｘ' ，Ｙ' ）＝（Ｘ' １，Ｙ' Ｃ），
（Ｘ'１＋Ｐ，Ｙ' Ｃ），…，（Ｘ' １＋Ｐ（ｍ−
１），Ｙ' Ｃ）と定める。

【００２７】又、まず上記と同様に、チェックエリアＣ
Ｂをランド２２の列外側方（図４左側）のスタート位置
Ｓ１（Ｘ' ，Ｙ' ）＝（Ｘ' ０，Ｙ' Ｃ）において、１
番目のランド２２の座標（Ｘ' ，Ｙ' ）＝（Ｘ' １，
Ｙ' Ｃ）を記憶し、同列の反対側の列外側方（図４右
側）のスタート位置Ｓ２（Ｘ' ，Ｙ' ）＝（Ｘ' Ｘ，
Ｙ'Ｃ）（但し、Ｘ' Ｘ＞Ｘ' Ｍ）において、ｍ番目の
ランド２２の座標（Ｘ' ，Ｙ' ）＝（Ｘ' Ｍ，Ｙ' Ｃ）
を記憶し、ピッチＰ＝（Ｘ' Ｍ−Ｘ' ０）÷（ｍ−１）
からピッチＰを求めて、チェックエリアＣＢの座標系
Ｘ' −Ｙ' における設定座標を定めてもよい。

【００２８】このように、ランド２２列の一部のみにつ
いて、チェックエリアＣＢの重合確認により実測し、全
チェックエリアＣＢの座標（ランド列方向）を設定する
ようにしたので、迅速にチェックエリアＣＢの設定を行
うことができる。なお、上述のようにランド２２列の位
置、形状の精度は非常に高いので、ランド２２列の一部
のみを実測し、他のランド２２の実測を省略しても格別
チェックエリアＣＢの座標の精度は低下しない。

【００２９】（実施例３）図５は、上記Ｂ部のランド２
２群の長手方向（チェックエリア座標系のＹ' 軸方向）
のチェックエリアＣＢの設定方法の説明図である。

【００３０】まず、ＳＯＰチップ２３の形状データに基
づき、ランド２２の上列Ｂ１と下列Ｂ２のそれぞれに、
重合すべきチェックエリアＣＢ，ＣＢ' 間のＹ' 軸方向
の間隔ｔを定める。すなわちこの間隔ｔを、チップ２３
の両側からそれぞれ反対方向に延出するリード２４，２
４の先端部間の距離と略同一に設定する。そして、Ｙ'
軸方向（ランド長手方向）にこの間隔ｔだけ隔てて、２
つのチェックエリアＣＢ' ，ＣＢをとり、これらのチェ
ックエリアＣＢ' ，ＣＢをそれぞれがランド２２の図５
上列Ｂ１と下列Ｂ２とに重合確認できるまで走査する。
これにより、チップ２３の形状データに基づき、ランド
２２の長手方向に間隔ｔを隔てた２個のチェックエリア
ＣＢ，ＣＢ' のうち、一方のチェックエリアＣＢ' を上
列Ｂ１のランド２２に重合させるとともに、他方のチェ
ックエリアＣＢを下列Ｂ２のランド２２に重合させる。

【００３１】ここで、前記重合確認ができた際、チェッ
クエリアＣＢ' ，ＣＢがそれぞれ上記間隔ｔを隔ててラ
ンド２２の上列Ｂ１、下列Ｂ２に重合していることは確
かである。しかし、チェックエリアＣＢ' ，ＣＢがラン
ド２２の上列Ｂ１、下列Ｂ２において、ＳＯＰチップ２
３のリード２４の先端部ないし半田２５に対する符合位
置にあるとは限らない。そこで次に、この符合位置にチ
ェックエリアＣＢ' ，ＣＢを合わせる方法、すなわち、
チェックエリアＣＢ，ＣＢ' のＹ' 軸方向（ランド長手
方向）の座標を設定する方法について説明する。

【００３２】まず、チェックエリア座標系Ｘ' −Ｙ' に
おいて、上列Ｂ１のランド２２の下端縁２２ａと下列Ｂ
２のランド２２の上端縁２２ｂとの間の便宜位置にＸ'
軸と平行な基準線ｌを設ける。なお、チェックエリアＣ
Ｂ，ＣＢ' がこの基準線ｌに接する際、チェックエリア
ＣＢ，ＣＢ' はランド２２から全く外れているようにし
てある。

【００３３】ここで、チェックエリアＣＢ，ＣＢ' は、
上記間隔ｔを隔ててそれぞれ下列Ｂ２，上列Ｂ１のラン
ド２２の適当な位置に重合しているが、そのときの座標
（Ｘ' ，Ｙ' ）＝（Ｘ' １，Ｙ' Ｓ）を記憶しておく。
次に、下列Ｂ２のランド２２に重合しているチェックエ
リアＣＢを、ランド２２の長手方向上方に移動させて、
まず一旦ランド２２から完全に外し、上記基準線ｌに合
わせ、次にチェックエリアＣＢを下方に移動させて、下
列Ｂ２のランド２２の上端縁２２ｂにチェックエリアＣ
Ｂの上端縁ＣＢ１を合わせる。そのときの座標（Ｘ' ，
Ｙ' ）＝（Ｘ'１，Ｙ' Ｅ）を記憶する。

【００３４】同様に上列Ｂ１のランド２２に重合してい
るチェックエリアＣＢ' についても、まずランド２２に
適当に重合している座標（Ｘ' ，Ｙ' ）＝（Ｘ' ４，
Ｙ' Ｓ' ）を記憶し、次にチェックエリアＣＢ' を基準
線ｌに接するまで下方に移動させ、次にこのチェックエ
リアＣＢ' の下端縁ＣＢ' ２が上列のランド２２の下端
縁２２ａに接するまで上方に移動させる。そのときの座
標（Ｘ' ，Ｙ' ）＝（Ｘ' ４，Ｙ' Ｅ' ）を記憶する。

【００３５】そして、シフト量ＳＹを、次式から求め
る。ＳＹ＝｛（Ｙ' Ｅ−Ｙ' Ｓ）＋（Ｙ' Ｅ' −Ｙ' Ｓ' ）｝÷２次に、チェックエリアＣＢ，ＣＢ' のそれぞれをこのシ
フト量ＳＹだけチェックエリア座標系Ｘ' −Ｙ' におい
て、Ｙ' 軸方向に移動させる。すると、チェックエリア
ＣＢ，ＣＢ' はＳＯＰチップ２３のリード２３の先端
部、半田２５に符合する位置にあることになる。なお、
上記において、基準線ｌを設け、この線ｌに接するまで
チェックエリアＣＢ，ＣＢ' を移動させたが、本手段は
これに限定されるものではなく、一旦ランド２２からチ
ェックエリアＣＢ，ＣＢ' を外しておけばよく、チェッ
クエリアＣＢ，ＣＢ' が外れる位置は、便宜変更しても
差支えない。

【００３６】つまり、２個のチェックエリアＣＢ，Ｃ
Ｂ' のぞれぞれを、ランド２２の長手方向一方向に移動
して、一旦ランド２２から外すと共に、上記一方向と逆
方向に移動して、ランド２２の端縁２２ａ、２２ｂの位
置とチップ２３の形状データから、ランド２２の長手方
向に関するチェックエリアＣＢ，ＣＢ' の座標を設定す
る。

【００３７】第３実施例によれば、ランド２２の長手方
向に関し、ランド２２を基準として、迅速・容易にチェ
ックエリアＣＢ，ＣＢ' を設定することができる。また
ＳＯＰチップ２３の形状データも加味するので、同種の
ランド２２群にリード２５の長さが異なるＳＯＰチップ
２３を実装する場合には、上記間隔ｔを変更することに
より、柔軟、正確に対応できる。

【００３８】なお、上記第３実施例では、チェックエリ
アＣＢ，ＣＢ' のＹ' 軸方向（ランド長手方向）の座標
を設定するに際し、チェックエリアＣＢ，ＣＢ’を一旦
ランド２２から外す方法を説明した。しかし、本手段は
これに限定されるものではなく、チェックエリアＣＢ，
ＣＢ’をランド２２から外さずに、ランド２２の端縁２
２ａ，２２ｂの位置を求める場合も含まれる。この場合
には、図５下方（ランドの列Ｂ２側）の一部拡大図に破
線矢印Ｓで示すように、チェックエリアＣＢを移動させ
る。具体的には、まずチェックエリアＣＢが（Ｘ',Ｙ'
）＝（Ｘ' １,Ｙ' Ｓ）の位置において、ランド２２を
とらえる画素数をカウントしておき、次にチェックエリ
アＣＢをＹ' 軸と平行に移動させ（同矢印Ｓ）、移動前
の画素数がわずかに減少した際，チェックエリアＣＢの
移動を止め、その位置のＹ' 座標Ｙ' Ｅを求めれば良
い。もちろん、図５上方のランド列Ｂ１についても、同
様にＹ' 座標Ｙ' Ｅを求めることができる。以下の処理
は上述のとおりである。

【００３９】（実施例４）図６は、図１のＣ部のランド
３２群を、カメラの視野Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４に取込
んだ画像を示す。このＣ部は、ＱＦＰチップ３３のラン
ド３２群であり、このランド３２群は、ＱＦＰチップ３
３のリード３４群のそれぞれを載せうるように、並列対
向状のランド列Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４を、縦横に直交
するように設けた配置となる。また、チェックエリア座
標Ｘ' −Ｙ' のＸ' 軸（横軸）、Ｙ' 軸（縦軸）が、こ
れらのランド列Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４と平行となるよ
うに設定する。

【００４０】そして、Ｘ' 軸に平行なランド列Ｃ１と、
Ｙ' 軸に平行なランド列Ｃ４のそれぞれについて、上記
第２実施例と同様に、ランド列方向のチェックエリアＣ
Ｃの設定を行う。これによりランド３２の実測値を含
め、図６に示すＸ' 座標列（Ｘ' １，Ｘ' ２，…，Ｘ'
５）とＹ' 座標列（Ｙ' １，Ｙ' ２，…，Ｙ' ５）を求
めることができる。なお、Ｓ３，Ｓ４はスタート位置で
ある。つまり、縦軸Ｙ'に平行なランド列Ｃ４と、横軸
Ｘ' に平行なランド列Ｃ１のそれぞれのランド列外側方
のスタート位置Ｓ３，Ｓ４にチェックエリアＣＣをお
き、ランド列Ｃ４，Ｃ１の方向に走査する。

【００４１】次に図６のランド列の長手方向に関するチ
ェックエリアＣＣの座標を設定する。すなわちＱＦＰチ
ップ３３の寸法データから、図１に示す距離ｌ1 ，ｌ2
，ｌ3 ，ｌ4 ，ｌ5 を求める。

【００４２】視野Ｖ１のチェックエリアＣＣのＹ' 座標
は、Ｙ' １から負方向にｌ2 だけ離れたＹ' ０となり、
視野Ｖ２のチェックエリアＣＣのＸ' 座標は、Ｘ' １か
ら負方向にｌ1 だけ離れたＸ' ０となる。また、視野Ｖ
４のチェックエリアＣＣのＸ' 座標は、Ｘ' ５から正方
向にｌ3 だけ離れたＸ' ６となり、視野Ｖ３のチェック
エリアＣＣのＹ' 座標は、Ｙ' ５から正方向にｌ5 だけ
離れたＹ' ６となる。これにより、ＱＦＰチップ３３の
ランド３２群の全部について、チェックエリアＣＣの座
標をランド３２の実測をした上で設定できたことにな
る。

【００４３】つまり、ランド列Ｃ１，Ｃ４のそれぞれの
一部に、チェックエリアＣＣが重合する際の座標から、
ランド３２間のピッチＰを求め、このピッチＰに基づい
て、縦軸Ｙ' に平行なランド列Ｃ４と、横軸Ｘ' に平行
なランド列Ｃ１に対応するチェックエリアＣＣ群のラン
ド列方向の座標を設定している。そして、このチェック
エリアＣＣ群のランド列方向の座標と、チップ３３の寸
法データから、このチェックエリアＣＣ群の長手方向の
座標を設定している。

【００４４】本実施例では、ランド３２列を横断する方
向（列方向）にチェックエリアＣＣを走査して、ランド
３２の実測値を求めると共に、ＱＦＰチップ３３の寸法
データを参照して、チェックエリアＣＣの設定を行っ
た。したがって、一般に非常に多数のランド３２からな
るＣ部について、目視によることなく、迅速容易にチェ
ックエリアの設定を行うことができる。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、チェッ
クエリアの座標系の縦軸と横軸をこれらのランド列と平
行に設定するプロセスと、上記縦軸に平行なランド列
と、上記横軸に平行なランド列のそれぞれのランド列外
側方のスタート位置にチェックエリアをおくプロセス
と、このチェックエリアを、それぞれのランド列方向に
走査し、これらのランド列の一部にチェックエリアが重
合する際の座標からランド間のピッチを求めるプロセス
と、このピッチに基づいて、上記縦軸に平行なランド列
の個々のランドと、上記横軸に平行なランド列の個々の
ランドに、一対一に対応するチェックエリア群のランド
列方向の座標を設定するプロセスと、上記チェックエリ
ア群のランド列方向の座標と、これらのランド列に実装
されるチップの寸法データから、上記チェックエリア群
のランド長手方向の座標を設定するプロセスを構成し
た。このように、位置精度が高いランドを実測したデー
タをもとに、チェックエリアのランド列方向の座標を設
定し、この座標にチップの寸法データを加味して、チェ
ックエリアの長手方向の座標を設定するので、チェック
エリアの設定座標の精度を高く保持することができる。
また、チェックエリアの走査を、ランド列方向の一部に
対して行なえば足りるので、ランド列方向の大部分につ
いての走査と、ランド長手方向についての走査を、省略
することができ、その結果非常に多数のランドに対する
チェックエリアの設定を、短時間で完了することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基板の平面図

【図２】同チェックエリアＣＡの説明図

【図３】同拡大図

【図４】同チェックエリアＣＢの説明図

【図５】同チェックエリアＣＢの説明図

【図６】同チェックエリアＣＣの説明図

【符号の説明】

Ｖ視野１基板３２ランド３３チップＣ１ランド列Ｃ２ランド列Ｃ３ランド列Ｃ４ランド列ＣＣチェックエリアＸ' チェックエリア座標系の横軸Ｙ' チェックエリア座標系の縦軸Ｓ３スタート位置Ｓ４スタート位置Ｐピッチ

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】基板に縦横並列に形成された複数のランド
列を、カメラの視野に取込んで、これらのランド列の個
々のランドに一対一に対応するチェックエリアを設定す
るに際し、チェックエリアの座標系の縦軸と横軸をこれ
らのランド列と平行に設定するプロセスと、上記縦軸に
平行なランド列と、上記横軸に平行なランド列のそれぞ
れのランド列外側方のスタート位置にチェックエリアを
おくプロセスと、このチェックエリアを、それぞれのラ
ンド列方向に走査し、これらのランド列の一部にチェッ
クエリアが重合する際の座標からランド間のピッチを求
めるプロセスと、このピッチに基づいて、上記縦軸に平
行なランド列の個々のランドと、上記横軸に平行なラン
ド列の個々のランドに、一対一に対応するチェックエリ
ア群のランド列方向の座標を設定するプロセスと、上記
チェックエリア群のランド列方向の座標と、これらのラ
ンド列に実装されるチップの寸法データから、上記チェ
ックエリア群のランド長手方向の座標を設定するプロセ
スからなることを特徴とする縦横並列ランドのチェック
エリア設定方法。