JP3097263B2 - 並列ランドのチェックエリア設定方法 - Google Patents

並列ランドのチェックエリア設定方法

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JP3097263B2
JP3097263B2 JP04013787A JP1378792A JP3097263B2 JP 3097263 B2 JP3097263 B2 JP 3097263B2 JP 04013787 A JP04013787 A JP 04013787A JP 1378792 A JP1378792 A JP 1378792A JP 3097263 B2 JP3097263 B2 JP 3097263B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は並列ランドのチェックエ
リア設定方法に係り、特に、基板に形成されるランドの
うち、SOPチップ用のランドを、カメラの視野に複数
取込んで、半田付け状態を外観検査する際に、好適に用
いられる手段に関する。
【0002】
【従来の技術】IC,LSI,コンデンサチップ、抵抗
などのチップの電極と、基板のランドとを半田により接
着した後で、チップの電極がランドに良好に接着されて
いるか否かを検査するために、チップの電極とランドと
の重合部分の近傍において、半田の外観検査が行われて
いる。
【0003】従来このような外観検査は、作業者の目視
作業により行われていたが、近年カメラによる自動検査
が行なわれ始めている。このカメラによる自動検査を行
うにあたっては、カメラの視野内に、チェックエリアを
設定する必要がある。しかも、多数のランドに対し、一
対一に対応する多数のチェックエリアを設定し、これら
のチェックエリアの一つ一つを対応するランドの所定位
置に合わせておくことが必要になる。
【0004】ここで上記自動検査を行なうべくチェック
エリアを設定するに際し、従来は、チップが実際に搭載
された基板のうちチップが良好に搭載されているもの
を、マスター基板に選び、作業者がこのマスター基板の
カメラ画像をモニタなどで目視しながら、チェックエリ
アを走査して、多数の上記重合部分の半田の一つ一つ
に、一つ一つのチェックエリアを合わせて、チェックエ
リアの座標を設定していた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが上記手段はき
わめて繁雑であって、きわめて多大の労力と時間を要す
るという問題点があった。殊にSOPチップ用のランド
に接着された半田を検査する場合は、チェックエリアの
数が数十個もあることが普通であるため、上記のように
目視によることは、非常に困難である。さらには、基板
に接着された半田の形状寸法や位置は大きくばらついて
おり、このためマスター基板を選択して、これを基にチ
ェックエリアを設定しても、このチェックエリアが実際
に検査対象物となる他の基板の半田に必ずしも良好に合
致するわけではなく、合致不良により半田の外観を誤判
断するおそれがあった。
【0006】ところで、基板のランドは、エッチングな
ど精密な手段により形成されており、その位置精度の信
頼性はきわめて高い。また、SOPチップ用のランド
は、SOPチップの形状から、上列と下列からなる並列
ランドとなるものである。
【0007】そこで本発明は、上記のような点を勘案
し、基板のランドを基準として、半田の外観検査のため
のチェックエリアを、高速度で且つ正確に設定すること
ができ、しかも一つの視野内に、SOPチップ用のラン
ド群を取込み、この上列と下列からなるSOPチップ用
のランド群に、一対一に対応するチェックエリア群を設
定する際に好適な手段を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】このために本発明は、ラ
ンド列方向のチェックエリアの設定に関し、まずチェッ
クエリアをランド列外側方のスタート位置におくプロセ
スと、このチェックエリアをランド列に向け上記列方向
と平行に走査して、ランド列の一部にチェックエリアを
重合させるプロセスと、このランド列の一部にチェック
エリアが重合した座標からランド列間のピッチを求める
プロセスと、このピッチに基づいて上記複数個のチェッ
クエリアのランド列方向の座標を設定するプロセスを構
成し、また、ランド長手方向にチェックエリアの設定に
関し、ランドに実装されるチップの形状データに基づ
き、上記長手方向に間隔を隔てた2個のチェックエリア
のうち、一方のチェックエリアを上記上列のランドに重
合させると共に、他方のチェックエリアを下列のランド
に重合させるプロセスと、次にこの2個のチェックエリ
アのぞれぞれを移動してランドの端縁と重合させ、この
端縁の位置を記憶するプロセスと、この端縁の位置と上
記チップの形状データから上記複数個のチェックエリア
の上記長手方向の座標を設定するプロセスを構成する。
【0009】
【作用】上記構成によれば、位置精度の信頼性が高いラ
ンドを利用して、正確にチェックエリアが設定される。
【0010】請求項1記載の構成によれば、ランド列方
向に関するチェックエリアの走査を、ランド列全部に対
して行なう必要がなく、大部分省略することができるの
で、迅速に設定を完了することができる。しかも、ラン
ド列を実測したデータに基づいて、チェックエリアのラ
ンド列方向の座標を設定するので、この精度を高く保持
することができる。
【0011】請求項2記載の構成によれば、ランドの長
手方向に関して、ランド列を実測したデータと、SOP
チップの形状データを総合して、チェックエリアの長手
方向の座標を設定するので、同種のランド群に電極の長
さが異なるSOPチップを実装する場合にも、柔軟・正
確に対応することができる。
【0012】
【実施例】図面を参照しながら、実施例を説明する。図
1は基板1の平面図である。
【0013】A部は、抵抗、コンデンサなどの角チップ
やミニトランジスタなどのチップ13のリード14が半
田15付けされるランド12群である。またB部は、S
OPチップ23のリード24が半田25付けされるラン
ド22群である。このB部は、ランド列B1とランド列
B2が並列に形成されてなる。さらにC部は、QFPチ
ップ33のリード34が半田付けされるランド32群で
ある。このC部は、ランド列C1とランド列C3が横方
向(X方向)に並列に形成されると共に、ランド列C2
とランド列C4が縦方向(Y方向)に並列に形成されて
なる。
【0014】これらのランド12,22,32は、基板
1にエッチングにより精密に形成されるものであり、そ
の形状寸法及び位置関係の信頼性は極めて高い。なお、
図示するX軸、Y軸は、これらのランド12,22,3
2のランド座標系X−Yの横軸、縦軸である。
【0015】因みに、上記チップ13,23,33は、
このランド座標系X−Yを基準として、チップマウンタ
(図外)において位置修正された上で、リード14,2
4,34がランド12,22,32に載るように、実装
される。ここでチップの実装プロセスにおいては、マウ
ントデータとチップデータが既知のデータとして、予め
与えられている。このうちチップデータは、品種別のチ
ップの寸法データ、リード数などからなる。このチップ
マウンタが有する寸法データ(特に縦横のリード34先
端部間の距離11,…,l6など)を、後述するC部の
ランド32群についてチェックエリアCCを設定する際
に参照する。
【0016】なお以下に述べる全実施例において、ラン
ド座標系X−Yと、チェックエリア座標系X’−Y’を
回転方向のずれなく平行に設定することとする。
【0017】(実施例1)図2は、上記A部のランド1
2群をカメラ(図外)の視野Vに取込んだ画像を示す。
CAはチェックエリアである。ランド12群の位置関係
の信頼性は極めて高いので、チェックエリア座標系X’
−Y’における各チェックエリアCA間の距離(図2の
X1,X2,Y1)は、ランド12形成についての設計
上のデータをそのまま用いて定める。
【0018】A部についてチェックエリアCAを設定す
る方法を説明する。まず上記のように、視野V内に、複
数個のランド12を取込む。次に、これらのランド12
の全部が、チェックエリアCAの全部に一対一に重合し
たか否か判断する。なお、1つのチェックエリアCAが
ランド重合したか否かは、チェックエリアCAを移動さ
せるにつれて、ランド12からの反射光によりチェック
エリアCAが次第に明るくなりこの明るさが一定になっ
たこと(より具体的には、チェックエリアCAの画素
(図外)のうち光に反応したものの数が増加後収束した
こと)を確認(以下重合確認という)すればよい。なお
後述するB部、C部に関する実施例についてもこの重合
確認の手段を用いる。
【0019】さて上記において、全チェックエリアCA
がランド12に重合していれば設定を終了する。そうで
ないときは、図3のように、上記複数個のチェックエリ
アCAのうち任意の1つのチェックエリアCAを選択す
る。そしてこの選択されたチェックエリアCAを、その
もとの位置HPから視野V内で、チェックエリア座標系
X’−Y’上において走査する。この走査を行って重合
確認できたら、チェックエリア座標系X’−Y’におい
てもとの位置HPから重合確認できた位置CPへのシフ
ト量(ΔX’,ΔY’)を記憶する。
【0020】次に、他のチェックエリアCAをチェック
エリア座標系X’−Y’おいて、このシフト量(Δ
X’,ΔY’)だけシフトする。その結果、全チェック
エリアCAにつき重合確認できた場合には、設定を終了
する。そうでなければ、上記選択されたチェックエリア
CAが、本来重合すべきでないランド12(例えば図2
において、左上のチェックエリアCAが、その右横のラ
ンド12に重合した場合など)に重合してしまったこと
になる。しかし、複数個のランド12のうちいずれかに
重合したことは確かであり、ランド12間の位置関係は
上述のように既知であるので、容易に修正して全チェッ
クエリアCAについて重合確認できる。なお本実施例で
は、チェックエリアCAの全部について重合確認する場
合を説明したが、図2に示す場合では、例えば左上と右
下のチェックエリアCAについて重合確認すれば必要十
分であり、他のチェックエリアCAについての処理を省
略しても差し支えない。すなわち本手段は、全チェック
エリアCAについて重合確認する場合に限定されるもの
ではなく、必要十分なチェックエリアCAについてのみ
重合確認する場合も含まれる。
【0021】このように本実施例では、複数個のチェッ
クエリアCAのうち、少なくとも1つのチェックエリア
CAについて走査してシフト量を求めれば良く、複数個
のチェックエリアCAについていちいち走査する必要が
ないので、チェックエリア設定に要する労力・時間を大
幅に削減することができ、高速度で設定を完了できる。
しかも、信頼性の高いランド12のデータをもとに、チ
ェックエリアCA間の距離を設定しているので、上記の
ように走査の大部分を省略しても、設定されたチェック
エリアCAがランド12に良好に重合しないというおそ
れは少ない。
【0022】(実施例2)図4は、図1のB部のランド
22群をカメラの視野Vに取込んだ画像を示す。このB
部は、SOPチップ23のランド群であり、このランド
22群はSOPチップ23のリード24群のそれぞれを
載せうるように、並列に配置される。また、カメラの視
野V側のチェックエリア座標系X’−Y’のX’軸を、
このランド22の列方向と平行にしておく。CBはチェ
ックエリアである。
【0023】このランド22群のチェックエリア座標系
のX’軸方向(ランド列方向)に関して、チェックエリ
アCBを設定する方法を説明する。まず、列状に形成さ
れたランド22の個数mのうち、適当な個数n(本実施
例ではn=4とする)を設定する。
【0024】次に、チェックエリアCBをランド22の
列外側方(図4左側)のスタート位置S1(X’,
Y’)=(X’0,Y’C)におく。そして、チェック
エリアCBをランド22の列に向け、ランド22の列方
向と平行に(X’軸方向に)走査する。そして、1番目
のランド22とチェックエリアCBについて上記重合確
認できたら、このときの座標(X’,Y’)=(X’
1,Y’C)を記憶する。以下2番目以降も同様の処理
を繰り返し、上記のように設定したn番目のランド22
とチェックエリアCBについて重合確認したところでチ
ェックエリアCBの走査を終了する。
【0025】そして、1番目の座標(X’1,Y’C)
からn番目の座標(X’4,Y’C)までのシフト量S
X(SX=(X’4−X’1))からランド22間のピ
ッチP=SX÷(n−1)を求める。
【0026】そしてこのピッチPをもとに、チェックエ
リアCBの座標系X’−Y’における設定座標(ランド
列方向)を、(X’,Y’)=(X’1,Y’C),
(X’1+P,Y’C),…,(X’1+P(m−
1),Y’C)と定める。
【0027】又、まず上記と同様に、チェックエリアC
Bをランド22の列外側方(図4左側)のスタート位置
S1(X’,Y’)=(X’0,Y’C)において、1
番目のランド22の座標(X’,Y’)=(X’1,
Y’C)を記憶し、同列の反対側の列外側方(図4右
側)のスタート位置S2(X’,Y’)=(X’X,
Y’C)(但し、X’X>X’M)において、m番目の
ランド22の座標(X’,Y’)=(X’M,Y’C)
を記憶し、ピッチP=(X’M−X’0)÷(m−1)
からピッチPを求めて、チェックエリアCBの座標系
X’−Y’における設定座標を定めてもよい。
【0028】このように、ランド22列の一部のみにつ
いて、チェックエリアCBの重合確認により実測し、全
チェックエリアCBの座標(ランド列方向)を設定する
ようにしたので、迅速にチェックエリアCBの設定を行
うことができる。なお、上述のようにランド22列の位
置、形状の精度は非常に高いので、ランド22列の一部
のみを実測し、他のランド22の実測を省略しても格別
チェックエリアCBの座標の精度は低下しない。
【0029】(実施例3)図5は、上記B部のランド2
2群の長手方向(チェックエリア座標系のY’軸方向)
のチェックエリアCBの設定方法の説明図である。
【0030】まず、SOPチップ23の形状データに基
づき、ランド22の上列B1と下列B2のそれぞれに、
重合すべきチェックエリアCB,CB’間のY’軸方向
の間隔tを定める。すなわちこの間隔tを、チップ23
の両側からそれぞれ反対方向に延出するリード24,2
4の先端部間の距離と略同一に設定する。そして、Y’
軸方向(ランド長手方向)にこの間隔tだけ隔てて、2
つのチェックエリアCB’,CBをとり、これらのチェ
ックエリアCB’,CBをそれぞれがランド22の図5
上列B1と下列B2とに重合確認できるまで走査する。
これにより、チップ23の形状データに基づき、ランド
22の長手方向に間隔tを隔てた2個のチェックエリア
CB,CB’のうち、一方のチェックエリアCB’を上
列B1のランド22に重合させるとともに、他方のチェ
ックエリアCBを下列B2のランド22に重合させる。
【0031】ここで、前記重合確認ができた際、チェッ
クエリアCB’,CBがそれぞれ上記間隔tを隔ててラ
ンド22の上列B1、下列B2に重合していることは確
かである。しかし、チェックエリアCB’,CBがラン
ド22の上列B1、下列B2において、SOPチップ2
3のリード24の先端部ないし半田25に対する符合位
置にあるとは限らない。そこで次に、この符合位置にチ
ェックエリアCB’,CBを合わせる方法、すなわち、
チェックエリアCB,CB’のY’軸方向(ランド長手
方向)の座標を設定する方法について説明する。
【0032】まず、チェックエリア座標系X’−Y’に
おいて、上列B1のランド22の下端縁22aと下列B
2のランド22の上端縁22bとの間の便宜位置にX’
軸と平行な基準線lを設ける。なお、チェックエリアC
B,CB’がこの基準線lに接する際、チェックエリア
CB,CB’はランド22から全く外れているようにし
てある。
【0033】ここで、チェックエリアCB,CB’は、
上記間隔tを隔ててそれぞれ下列B2,上列B1のラン
ド22の適当な位置に重合しているが、そのときの座標
(X’,Y’)=(X’1,Y’S)を記憶しておく。
次に、下列B2のランド22に重合しているチェックエ
リアCBを、ランド22の長手方向上方に移動させて、
まず一旦ランド22から完全に外し、上記基準線lに合
わせ、次にチェックエリアCBを下方に移動させて、下
列B2のランド22の上端縁22bにチェックエリアC
Bの上端縁CB1を合わせる。そのときの座標(X’,
Y’)=(X’1,Y’E)を記憶する。
【0034】同様に上列B1のランド22に重合してい
るチェックエリアCB’についても、まずランド22に
適当に重合している座標(X’,Y’)=(X’4,
Y’S’)を記憶し、次にチェックエリアCB’を基準
線lに接するまで下方に移動させ、次にこのチェックエ
リアCB’の下端縁CB’2が上列のランド22の下端
縁22aに接するまで上方に移動させる。そのときの座
標(X’,Y’)=(X’4,Y’E’)を記憶する。
【0035】そして、シフト量SYを、次式から求め
る。 SY={(Y’E−Y’S)+(Y’E’−Y’S’)}÷2 次に、チェックエリアCB,CB’のそれぞれをこのシ
フト量SYだけチェックエリア座標系X’−Y’におい
て、Y’軸方向に移動させる。すると、チェックエリア
CB,CB’はSOPチップ23のリード23の先端
部、半田25に符合する位置にあることになる。なお、
上記において、基準線lを設け、この線lに接するまで
チェックエリアCB,CB’を移動させたが、本手段は
これに限定されるものではなく、一旦ランド22からチ
ェックエリアCB,CB’を外しておけばよく、チェッ
クエリアCB,CB’が外れる位置は、便宜変更しても
差支えない。
【0036】つまり、2個のチェックエリアCB,C
B’のぞれぞれを、ランド22の長手方向一方向に移動
して、一旦ランド22から外すと共に、上記一方向と逆
方向に移動して、ランド22の端縁22a、22bの位
置とチップ23の形状データから、ランド22の長手方
向に関するチェックエリアCB,CB’の座標を設定す
る。
【0037】第3実施例によれば、ランド22の長手方
向に関し、ランド22を基準として、迅速・容易にチェ
ックエリアCB,CB’を設定することができる。また
SOPチップ23の形状データも加味するので、同種の
ランド22群にリード25の長さが異なるSOPチップ
23を実装する場合には、上記間隔tを変更することに
より、柔軟、正確に対応できる。
【0038】なお、上記第3実施例では、チェックエリ
アCB,CB’のY’軸方向(ランド長手方向)の座標
を設定するに際し、チェックエリアCB,CB’を一旦
ランド22から外す方法を説明した。しかし、本手段は
これに限定されるものではなく、チェックエリアCB,
CB’をランド22から外さずに、ランド22の端縁2
2a,22bの位置を求める場合も含まれる。この場合
には、図5下方(ランドの列B2側)の一部拡大図に破
線矢印Sで示すように、チェックエリアCBを移動させ
る。具体的には、まずチェックエリアCBが(X',
Y’)=(X’1,Y’S)の位置において、ランド2
2をとらえる画素数をカウントしておき、次にチェック
エリアCBをY’軸と平行に移動させ(同矢印S)、移
動前の画素数がわずかに減少した際,チェックエリアC
Bの移動を止め、その位置のY’座標Y’Eを求めれば
良い。もちろん、図5上方のランド列B1についても、
同様にY’座標Y’Eを求めることができる。以下の処
理は上述のとおりである。
【0039】(実施例4)図6は、図1のC部のランド
32群を、カメラの視野V1,V2,V3,V4に取込
んだ画像を示す。このC部は、QFPチップ33のラン
ド32群であり、このランド32群は、QFPチップ3
3のリード34群のそれぞれを載せうるように、並列対
向状のランド列C1,C2,C3,C4を、縦横に直交
するように設けた配置となる。また、チェックエリア座
標X’−Y’のX’軸(横軸)、Y’軸(縦軸)が、こ
れらのランド列C1,C2,C3,C4と平行となるよ
うに設定する。
【0040】そして、X’軸に平行なランド列C1と、
Y’軸に平行なランド列C4のそれぞれについて、上記
第2実施例と同様に、ランド列方向のチェックエリアC
Cの設定を行う。これによりランド32の実測値を含
め、図6に示すX’座標列(X’1,X’2,…,X’
5)とY’座標列(Y’1,Y’2,…,Y’5)を求
めることができる。なお、S3,S4はスタート位置で
ある。つまり、縦軸Y’に平行なランド列C4と、横軸
X’に平行なランド列C1のそれぞれのランド列外側方
のスタート位置S3,S4にチェックエリアCCをお
き、ランド列C4,C1の方向に走査する。
【0041】次に図6のランド列の長手方向に関するチ
ェックエリアCCの座標を設定する。すなわちQFPチ
ップ33の寸法データから、図1に示す距離l1,l
2,l3,l4,l5を求める。
【0042】視野V1のチェックエリアCCのY’座標
は、Y’1から負方向にl2だけ離れたY’0となり、
視野V2のチェックエリアCCのX’座標は、X’1か
ら負方向にl1だけ離れたX’0となる。また、視野V
4のチェックエリアCCのX’座標は、X’5から正方
向にl3だけ離れたX’6となり、視野V3のチェック
エリアCCのY’座標は、Y’5から正方向にl5 だけ
離れたY’6となる。これにより、QFPチップ33の
ランド32群の全部について、チェックエリアCCの座
標をランド32の実測をした上で設定できたことにな
る。
【0043】つまり、ランド列C1,C4のそれぞれの
一部に、チェックエリアCCが重合する際の座標から、
ランド32間のピッチPを求め、このピッチPに基づい
て、縦軸Y’に平行なランド列C4と、横軸X’に平行
なランド列C1に対応するチェックエリアCC群のラン
ド列方向の座標を設定している。そして、このチェック
エリアCC群のランド列方向の座標と、チップ33の寸
法データから、このチェックエリアCC群の長手方向の
座標を設定している。
【0044】本実施例では、ランド32列を横断する方
向(列方向)にチェックエリアCCを走査して、ランド
32の実測値を求めると共に、QFPチップ33の寸法
データを参照して、チェックエリアCCの設定を行っ
た。したがって、一般に非常に多数のランド32からな
るC部について、目視によることなく、迅速容易にチェ
ックエリアの設定を行うことができる。
【0045】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、ランド
列方向のチェックエリアの設定に関し、まずチェックエ
リアをランド列外側方のスタート位置におくプロセス
と、このチェックエリアをランド列に向け上記列方向と
平行に走査して、ランド列の一部にチェックエリアを重
合させるプロセスと、このランド列の一部にチェックエ
リアが重合した座標からランド列間のピッチを求めるプ
ロセスと、このピッチに基づいて上記複数個のチェック
エリアのランド列方向の座標を設定するプロセスを構成
したので、位置精度の信頼性が高いランドを利用して、
正確にチェックエリアが設定されるばかりでなく、ラン
ド列方向の走査を多数のランドからなるSOPチップ用
のランド全部に対して行なう必要がなく、その大部分を
省略することができるので、迅速・容易に設定を完了す
ることができる。
【0046】また、ランド長手方向にチェックエリアの
設定に関し、ランドに実装されるチップの形状データに
基づき、上記長手方向に間隔を隔てた2個のチェックエ
リアのうち、一方のチェックエリアを上記上列のランド
に重合させると共に、他方のチェックエリアを下列のラ
ンドに重合させるプロセスと、次にこの2個のチェック
エリアのぞれぞれを移動してランドの端縁と重合させ、
この端縁の位置を記憶するプロセスと、この端縁の位置
と上記チップの形状データから上記複数個のチェックエ
リアの上記長手方向の座標を設定するプロセスを構成し
たので、ランド長手方向に関して、実測されたランドの
データと、SOPチップの形状データが総合され、電極
の長さが異なるSOPチップを同種のランド列に実装す
る場合に対して、柔軟・正確に対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の基板の平面図
【図2】同チェックエリアCAの説明図
【図3】同拡大図
【図4】同チェックエリアCBの説明図
【図5】同チェックエリアCBの説明図
【図6】同チェックエリアCCの説明図
【符号の説明】
V 視野 1 基板 22 ランド CB チェックエリア CB’ チェックエリア X’0,Y’C スタート位置 B1 上列(ランド列) B2 下列(ランド列) 22a 端縁 22b 端縁 P ピッチ t 間隔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01B 11/00 - 11/30 102 G01N 21/84 - 21/958 G06T 7/00 H05K 3/32 - 3/34 512

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】カメラの視野に、基板に並列に形成された
    複数個のランドを取込んで、これらのランドに一対一に
    対応する複数個のチェックエリアを、ランド列方向に関
    して、設定するに際し、 まずチェックエリアをスタート位置におくプロセスと、
    このチェックエリアをランド列に向け上記列方向と平行
    に走査して、ランド列の一部にチェックエリアを重合さ
    せるプロセスと、このランド列の一部にチェックエリア
    が重合した座標からランド列間のピッチを求めるプロセ
    スと、このピッチに基づいて上記複数個のチェックエリ
    アのランド列方向の座標を設定するプロセスからなるこ
    とを特徴とする並列ランドのチェックエリア設定方法。
  2. 【請求項2】カメラの視野に、基板に上列と下列により
    並列に形成された複数個のランドを取込んで、これらの
    ランドに一対一に対応する複数個のチェックエリアを、
    ランド長手方向に関して、設定するに際し、 これらのランドに実装されるチップの形状データに基づ
    き、上記長手方向に間隔を隔てた2個のチェックエリア
    のうち、一方のチェックエリアを上記上列のランドに重
    合させると共に、他方のチェックエリアを下列のランド
    に重合させるプロセスと、次にこの2個のチェックエリ
    アのぞれぞれを移動してランドの端縁と重合させ、この
    端縁の位置を記憶するプロセスと、この端縁の位置と上
    記チップの形状データから上記複数個のチェックエリア
    の上記長手方向の座標を設定するプロセスからなること
    を特徴とする並列ランドのチェックエリア設定方法。
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