JP3080924B2 - ボール・グリッド・アレイ型パッケージ - Google Patents
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- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15311—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、上面にLSI等の
電子部品を実装,封止したインターポーザ基板の下面に
マトリックス状に複数の半田ボールを配設して端子を形
成したボール・グリッド・アレイ型パッケージに関し、
特に、基板の側面から内部にプローブを挿入して基板内
の通電部に接触可能なホールを設けることにより、パッ
ケージを装置等に実装した後においても、半田ボールに
対し自由にプロービングを行えるボール・グリッド・ア
レイ型パッケージに関する。
電子部品を実装,封止したインターポーザ基板の下面に
マトリックス状に複数の半田ボールを配設して端子を形
成したボール・グリッド・アレイ型パッケージに関し、
特に、基板の側面から内部にプローブを挿入して基板内
の通電部に接触可能なホールを設けることにより、パッ
ケージを装置等に実装した後においても、半田ボールに
対し自由にプロービングを行えるボール・グリッド・ア
レイ型パッケージに関する。
【0002】また、本発明は、半田ボールを配設した基
板下面に、半田ボール周囲を囲む溝を設けることによ
り、抵抗やコンデンサ等の追加のチップ部品を半田ボー
ル近傍に実装して直接半田ボールに接続可能とし、LS
Iの外部端子の近傍に直接チップ部品を搭載することで
有効なノイズ対策を実現するボール・グリッド・アレイ
型パッケージに関する。さらに、本発明は、パッケージ
の端子を構成する半田ボール自体によって各種のノイズ
や反射に対する改善をも可能としたボール・グリッド・
アレイ型パッケージに関する。
板下面に、半田ボール周囲を囲む溝を設けることによ
り、抵抗やコンデンサ等の追加のチップ部品を半田ボー
ル近傍に実装して直接半田ボールに接続可能とし、LS
Iの外部端子の近傍に直接チップ部品を搭載することで
有効なノイズ対策を実現するボール・グリッド・アレイ
型パッケージに関する。さらに、本発明は、パッケージ
の端子を構成する半田ボール自体によって各種のノイズ
や反射に対する改善をも可能としたボール・グリッド・
アレイ型パッケージに関する。
【0003】
【従来の技術】近年、OA機器の小型化が進展してお
り、LSI等の電子部品の高密度実装技術の重要性が増
している。ここで、電子部品の高密度実装を可能とする
パッケージとして、ボール・グリッド・アレイ(Ball G
rid Array)型のパッケージが知られている。このボー
ル・グリッド・アレイ(以下、単に「BGA」とも言
う。)型のパッケージは、多ピンのLSIチップ等の電
子部品を高歩留まりで装置側のマザーボード(パッケー
ジ基板)に実装可能なパッケージとして開発されたもの
で、特に近年のOA機器等における高密度実装化の要請
によって、LSIパッケージはQFP(Quad Flat Pack
age)型からBGA型のパッケージへ移行しつつある。
り、LSI等の電子部品の高密度実装技術の重要性が増
している。ここで、電子部品の高密度実装を可能とする
パッケージとして、ボール・グリッド・アレイ(Ball G
rid Array)型のパッケージが知られている。このボー
ル・グリッド・アレイ(以下、単に「BGA」とも言
う。)型のパッケージは、多ピンのLSIチップ等の電
子部品を高歩留まりで装置側のマザーボード(パッケー
ジ基板)に実装可能なパッケージとして開発されたもの
で、特に近年のOA機器等における高密度実装化の要請
によって、LSIパッケージはQFP(Quad Flat Pack
age)型からBGA型のパッケージへ移行しつつある。
【0004】ここで、一般にBGA型パッケージは、装
置側に備えられたマザーボード(パッケージ基板)の上
面に搭載,実装されるパッケージであり、インタポーザ
基板(以下、単に「基板」という)の上面に搭載,実装
されるLSI等の電子部品と、基板の下面側に配設され
た複数の半田ボールを備えており、複数の半田ボール
が、基板内に配設した通電部を介してそれぞれLSI側
と通電され、外部端子(LSIパッケージ端子)を構成
している。
置側に備えられたマザーボード(パッケージ基板)の上
面に搭載,実装されるパッケージであり、インタポーザ
基板(以下、単に「基板」という)の上面に搭載,実装
されるLSI等の電子部品と、基板の下面側に配設され
た複数の半田ボールを備えており、複数の半田ボール
が、基板内に配設した通電部を介してそれぞれLSI側
と通電され、外部端子(LSIパッケージ端子)を構成
している。
【0005】基板の上面に搭載されるLSIは、ボンデ
ィングワイヤを介して基板上の配線パターンに接続され
るとともに、モールド樹脂によって樹脂封止されるよう
になっている。また、半田ボールは、LSIを実装した
基板の下面側に複数の半田ボールがマトリックス状に配
列されるようになっており、基板内に備えられた複数の
通電部を介して各半田ボールがLSI側の端子と接続さ
れることにより、LSIの外部端子を構成している。そ
して、この外部端子を構成する半田ボールが、マザーボ
ード側の配線パターンに、リフローソルダリングにより
溶着,接続されて、パッケージが装置等に実装されるよ
うになっている。
ィングワイヤを介して基板上の配線パターンに接続され
るとともに、モールド樹脂によって樹脂封止されるよう
になっている。また、半田ボールは、LSIを実装した
基板の下面側に複数の半田ボールがマトリックス状に配
列されるようになっており、基板内に備えられた複数の
通電部を介して各半田ボールがLSI側の端子と接続さ
れることにより、LSIの外部端子を構成している。そ
して、この外部端子を構成する半田ボールが、マザーボ
ード側の配線パターンに、リフローソルダリングにより
溶着,接続されて、パッケージが装置等に実装されるよ
うになっている。
【0006】このような構成からなる従来のBGA型パ
ッケージは、基板下面にマトリックス状に配列した複数
の半田ボールによってパッケージがマザーボートに固定
されると同時に、LSIが半田ボール及び基板内の通電
部を介してマザーボード側に通電され、QFP型パッケ
ージと比較して、より高密度な多ピン構成のパッケージ
が実現できるようになっている。
ッケージは、基板下面にマトリックス状に配列した複数
の半田ボールによってパッケージがマザーボートに固定
されると同時に、LSIが半田ボール及び基板内の通電
部を介してマザーボード側に通電され、QFP型パッケ
ージと比較して、より高密度な多ピン構成のパッケージ
が実現できるようになっている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなBGA型パッケージのメリットである半田ボールに
よる多ピン構成の構造は、反面において、装置側のマザ
ーボード上に搭載,実装後は、LSIの外部端子となる
各半田ボールが、装置側のマザーボード及びパッケージ
側のインタポーザ基板の間に隠れた状態となり、LSI
自体もモールド樹脂によりパッケージングされることか
ら、特に、基板の中心側に位置する外部端子(半田ボー
ル)については、パッケージ実装後に外部から接触する
ことが困難であった。
うなBGA型パッケージのメリットである半田ボールに
よる多ピン構成の構造は、反面において、装置側のマザ
ーボード上に搭載,実装後は、LSIの外部端子となる
各半田ボールが、装置側のマザーボード及びパッケージ
側のインタポーザ基板の間に隠れた状態となり、LSI
自体もモールド樹脂によりパッケージングされることか
ら、特に、基板の中心側に位置する外部端子(半田ボー
ル)については、パッケージ実装後に外部から接触する
ことが困難であった。
【0008】このため、例えば、パッケージの実装後に
実験評価等が必要となった場合でも、各半田ボールに対
してプロービングを行うことができず、パッケージに搭
載されたLSI等の電子部品の動作の正確な測定,評価
等が困難となるという問題を有していた。
実験評価等が必要となった場合でも、各半田ボールに対
してプロービングを行うことができず、パッケージに搭
載されたLSI等の電子部品の動作の正確な測定,評価
等が困難となるという問題を有していた。
【0009】また、一般に、LSIパッケージの各種の
ノイズ対策として、抵抗やコンデンサ等のチップ部品を
外部端子に追加実装して回路の信号改善を行う場合があ
る。ところが、BGA型パッケージの場合、上述したよ
うに、LSIが基板上に樹脂封止されており、基板下面
側の半田ボールもマトリックス状に隙間なく配設され、
しかも、パッケージ側の基板はマザーボードと僅かな間
隔のみで対向しているので、追加実装しようとする抵抗
やコンデンサ等のチップ部品を、LSIの外部端子とな
る半田ボールの近傍に実装することは困難であった。
ノイズ対策として、抵抗やコンデンサ等のチップ部品を
外部端子に追加実装して回路の信号改善を行う場合があ
る。ところが、BGA型パッケージの場合、上述したよ
うに、LSIが基板上に樹脂封止されており、基板下面
側の半田ボールもマトリックス状に隙間なく配設され、
しかも、パッケージ側の基板はマザーボードと僅かな間
隔のみで対向しているので、追加実装しようとする抵抗
やコンデンサ等のチップ部品を、LSIの外部端子とな
る半田ボールの近傍に実装することは困難であった。
【0010】このため、従来のBGA型パッケージで
は、追加部品を実装する場合には、半田ボール側からマ
ザーボード上に配線を引き出して必要な部品を接続する
ようにしていたが、このような構造では、追加部品がL
SIの外部端子から離れたところに位置するため、必ず
しもノイズ対策として良好な改善を行うことができない
という問題も発生していた。
は、追加部品を実装する場合には、半田ボール側からマ
ザーボード上に配線を引き出して必要な部品を接続する
ようにしていたが、このような構造では、追加部品がL
SIの外部端子から離れたところに位置するため、必ず
しもノイズ対策として良好な改善を行うことができない
という問題も発生していた。
【0011】本発明は、このような従来の技術が有する
問題を解決するために提案されたものであり、基板の側
面から内部にプローブを挿入して基板内の通電部に接触
可能なホールを設けることにより、パッケージを装置等
に実装した後においても、半田ボールに対し自由にプロ
ービングを行えるボール・グリッド・アレイ型パッケー
ジの提供を目的とする。
問題を解決するために提案されたものであり、基板の側
面から内部にプローブを挿入して基板内の通電部に接触
可能なホールを設けることにより、パッケージを装置等
に実装した後においても、半田ボールに対し自由にプロ
ービングを行えるボール・グリッド・アレイ型パッケー
ジの提供を目的とする。
【0012】また、本発明は、半田ボールを配設した基
板下面に、半田ボール周囲を囲む溝を設けることによ
り、抵抗やコンデンサ等の追加のチップ部品を半田ボー
ル近傍に実装して直接半田ボールに接続可能とし、LS
Iの外部端子の近傍に直接チップ部品を搭載することで
有効なノイズ対策を実現するボール・グリッド・アレイ
型パッケージの提供を目的とする。さらに、本発明は、
BGA型パッケージの端子を構成する半田ボール自体に
よって各種のノイズや反射に対する改善をも可能とした
ボール・グリッド・アレイ型パッケージの提供を目的と
する。
板下面に、半田ボール周囲を囲む溝を設けることによ
り、抵抗やコンデンサ等の追加のチップ部品を半田ボー
ル近傍に実装して直接半田ボールに接続可能とし、LS
Iの外部端子の近傍に直接チップ部品を搭載することで
有効なノイズ対策を実現するボール・グリッド・アレイ
型パッケージの提供を目的とする。さらに、本発明は、
BGA型パッケージの端子を構成する半田ボール自体に
よって各種のノイズや反射に対する改善をも可能とした
ボール・グリッド・アレイ型パッケージの提供を目的と
する。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の請求項1記載のボール・グリッド・アレイ型パ
ッケージは、基板の上面に電子部品を実装するととも
に、この基板の下面に複数の半田ボールをマトリックス
状に配設し、この複数の各半田ボールを、前記基板内部
に備えた複数の通電部を介して前記電子部品と通電する
ことにより端子を構成したボール・グリッド・アレイ型
パッケージにおいて、前記基板の少なくとも一の側面に
開口するとともに、当該基板内部の前記複数の各通電部
まで連通したホールを備え、このホールに、検査用の接
触棒を挿入することにより、当該接触棒の先端が前記複
数の各通電部に接触する構成としてある。
本発明の請求項1記載のボール・グリッド・アレイ型パ
ッケージは、基板の上面に電子部品を実装するととも
に、この基板の下面に複数の半田ボールをマトリックス
状に配設し、この複数の各半田ボールを、前記基板内部
に備えた複数の通電部を介して前記電子部品と通電する
ことにより端子を構成したボール・グリッド・アレイ型
パッケージにおいて、前記基板の少なくとも一の側面に
開口するとともに、当該基板内部の前記複数の各通電部
まで連通したホールを備え、このホールに、検査用の接
触棒を挿入することにより、当該接触棒の先端が前記複
数の各通電部に接触する構成としてある。
【0014】特に、請求項2は、前記ホールが、前記マ
トリックス状に配設された半田ボールの各列ごとに形成
され、前記基板の少なくとも一側面に開口するととも
に、前記半田ボールの各列に沿って前記通電部近傍を通
過する複数のホール本体と、この複数の各ホール本体か
ら前記複数の各通電部にそれぞれ連通する複数の溝部
と、からなり、前記複数の各ホール本体から、先端鉤形
に形成した前記検査用の接触棒を挿入することにより、
当該接触棒の先端が、前記溝部を介して前記複数の各通
電部に接触する構成としてある。
トリックス状に配設された半田ボールの各列ごとに形成
され、前記基板の少なくとも一側面に開口するととも
に、前記半田ボールの各列に沿って前記通電部近傍を通
過する複数のホール本体と、この複数の各ホール本体か
ら前記複数の各通電部にそれぞれ連通する複数の溝部
と、からなり、前記複数の各ホール本体から、先端鉤形
に形成した前記検査用の接触棒を挿入することにより、
当該接触棒の先端が、前記溝部を介して前記複数の各通
電部に接触する構成としてある。
【0015】このような構成からなる本発明のボール・
グリッド・アレイ型パッケージによれば、BGA型パッ
ケージの基板側面に開口したホールに検査用プローブの
接触棒を挿入し、各溝部に沿って接触棒を操作すること
により、各半田ボールをLSIに通電している通電部に
接触棒の先端を接触させることができる。これにより、
所望の半田ボールとLSIの接触状態を任意にプロービ
ングすることができ、従来は困難であった基板中心側に
位置している半田ボールについても、簡易かつ確実にプ
ロービングが可能となり、LSIの回路動作の測定,評
価を効率よく確実に行うことができる。また、基板内部
から側面まで連通,開口したホールを備えることで、パ
ッケージ全体の放熱効果を上げることもできる。
グリッド・アレイ型パッケージによれば、BGA型パッ
ケージの基板側面に開口したホールに検査用プローブの
接触棒を挿入し、各溝部に沿って接触棒を操作すること
により、各半田ボールをLSIに通電している通電部に
接触棒の先端を接触させることができる。これにより、
所望の半田ボールとLSIの接触状態を任意にプロービ
ングすることができ、従来は困難であった基板中心側に
位置している半田ボールについても、簡易かつ確実にプ
ロービングが可能となり、LSIの回路動作の測定,評
価を効率よく確実に行うことができる。また、基板内部
から側面まで連通,開口したホールを備えることで、パ
ッケージ全体の放熱効果を上げることもできる。
【0016】また、請求項3では、前記半田ボールの各
列に沿って形成される各ホールが、前記ホール本体を当
該列の半田ボールに対応して複数形成したホール群から
なり、このホール群の各ホール本体が、当該列の対応す
る半田ボールと通電した各通電部に連通する溝部を有す
る構成としてある。
列に沿って形成される各ホールが、前記ホール本体を当
該列の半田ボールに対応して複数形成したホール群から
なり、このホール群の各ホール本体が、当該列の対応す
る半田ボールと通電した各通電部に連通する溝部を有す
る構成としてある。
【0017】このような構成からなる本発明のボール・
グリッド・アレイ型パッケージによれば、プロービング
用のホールを各半田ボールに対応して形成してあるの
で、所定のホールに接触棒を挿入するのみで、検査した
い半田ボールに対し、より容易かつ確実に接触棒を接触
させることができ、LSI回路の測定,評価等の作業を
さらに効率よく行うことができる。また、複数のホール
群を形成することで、パッケージの放熱効果についても
さらに向上させることができる。
グリッド・アレイ型パッケージによれば、プロービング
用のホールを各半田ボールに対応して形成してあるの
で、所定のホールに接触棒を挿入するのみで、検査した
い半田ボールに対し、より容易かつ確実に接触棒を接触
させることができ、LSI回路の測定,評価等の作業を
さらに効率よく行うことができる。また、複数のホール
群を形成することで、パッケージの放熱効果についても
さらに向上させることができる。
【0018】一方、請求項4では、ボール・グリッド・
アレイ型パッケージを構成する基板の下面に、前記複数
の半田ボールの各周囲を囲む格子状に溝を形成するとと
もに、この溝にチップ部品を配設し、かつ、前記チップ
部品を介して前記複数の半田ボールのうち隣接する半田
ボール同士を接続した構成としてある。
アレイ型パッケージを構成する基板の下面に、前記複数
の半田ボールの各周囲を囲む格子状に溝を形成するとと
もに、この溝にチップ部品を配設し、かつ、前記チップ
部品を介して前記複数の半田ボールのうち隣接する半田
ボール同士を接続した構成としてある。
【0019】このような構成からなる本発明のボール・
グリッド・アレイ型パッケージによれば、各半田ボール
の周囲を囲むように溝を形成してあるので、この溝に追
加したい抵抗やコンデンサ等のチップ部品を任意に実装
することができ、しかも、実装したチップ部品を所望の
半田ボールと直接接続させることができる。これによ
り、きわめて簡易な構造のみによって、従来は困難であ
ったLSIの外部端子近傍への追加部品の実装も容易か
つ確実に行え、LSI回路の低ノイズ化等のノイズ対策
も簡易かつ有効に実現することができる。また、基板下
面に溝を形成することで、基板下面の放熱面積を拡大す
ることができるので、装置側等へ実装後のパッケージ全
体の放熱効果を上げることもできる。
グリッド・アレイ型パッケージによれば、各半田ボール
の周囲を囲むように溝を形成してあるので、この溝に追
加したい抵抗やコンデンサ等のチップ部品を任意に実装
することができ、しかも、実装したチップ部品を所望の
半田ボールと直接接続させることができる。これによ
り、きわめて簡易な構造のみによって、従来は困難であ
ったLSIの外部端子近傍への追加部品の実装も容易か
つ確実に行え、LSI回路の低ノイズ化等のノイズ対策
も簡易かつ有効に実現することができる。また、基板下
面に溝を形成することで、基板下面の放熱面積を拡大す
ることができるので、装置側等へ実装後のパッケージ全
体の放熱効果を上げることもできる。
【0020】さらに、請求項5では、ボール・グリッド
・アレイ型パッケージを構成する複数の半田ボールの全
部又は一部を高抵抗率材料により形成した構成としてあ
る
・アレイ型パッケージを構成する複数の半田ボールの全
部又は一部を高抵抗率材料により形成した構成としてあ
る
【0021】このような構成からなる本発明のボール・
グリッド・アレイ型パッケージによれば、LSIの外部
端子となる半田ボールを、抵抗率の高いものを採用する
ことにより、半田ボール自体によって直列終端実現で
き、別途部品や回路等を設けることなく、簡易な構造の
みによって確実にLSI回路の高速対応,低ノイズ化を
効果的に図ることができる。
グリッド・アレイ型パッケージによれば、LSIの外部
端子となる半田ボールを、抵抗率の高いものを採用する
ことにより、半田ボール自体によって直列終端実現で
き、別途部品や回路等を設けることなく、簡易な構造の
みによって確実にLSI回路の高速対応,低ノイズ化を
効果的に図ることができる。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、本発明のボール・グリッド
・アレイ型パッケージの実施の形態について、図面を参
照して説明する。 [第一実施形態]まず、本発明のボール・グリッド・ア
レイ型パッケージの第一実施形態について図1〜図3を
参照して説明する。図1は、本発明の第一実施形態に係
るボール・グリッド・アレイ型パッケージを示す概略斜
視図である。図2は、図1に示すボール・グリッド・ア
レイ型パッケージの要部断面図であり、(a)は図1に
おけるA−A線断面図、(b)は同じくB−B線断面図
を示している。さらに、図3は、図1に示すボール・グ
リッド・アレイ型パッケージをプロービングしている状
態の概略斜視図である。
・アレイ型パッケージの実施の形態について、図面を参
照して説明する。 [第一実施形態]まず、本発明のボール・グリッド・ア
レイ型パッケージの第一実施形態について図1〜図3を
参照して説明する。図1は、本発明の第一実施形態に係
るボール・グリッド・アレイ型パッケージを示す概略斜
視図である。図2は、図1に示すボール・グリッド・ア
レイ型パッケージの要部断面図であり、(a)は図1に
おけるA−A線断面図、(b)は同じくB−B線断面図
を示している。さらに、図3は、図1に示すボール・グ
リッド・アレイ型パッケージをプロービングしている状
態の概略斜視図である。
【0023】これらの図に示すように、本実施形態に係
るパッケージ10は、インポーザ基板(以下、単に「基
板」という)10aの上面にLSI11等の電子部品を
実装するとともに、基板10aの下面に複数の半田ボー
ル12をマトリックス状に配設したBGA型パッケージ
であり、各半田ボール12が、基板10aの内部に形成
された通電部14を介してLSI11と通電することに
より外部端子(LSIパッケージ端子)を構成してい
る。
るパッケージ10は、インポーザ基板(以下、単に「基
板」という)10aの上面にLSI11等の電子部品を
実装するとともに、基板10aの下面に複数の半田ボー
ル12をマトリックス状に配設したBGA型パッケージ
であり、各半田ボール12が、基板10aの内部に形成
された通電部14を介してLSI11と通電することに
より外部端子(LSIパッケージ端子)を構成してい
る。
【0024】基板10a上のLSI11は、図示しない
ボンディングワイヤを介して基板10a上の配線パター
ン10bに接続されるとともに、図1及び図2に示すよ
うに、モールド樹脂11aによって樹脂封止されてい
る。
ボンディングワイヤを介して基板10a上の配線パター
ン10bに接続されるとともに、図1及び図2に示すよ
うに、モールド樹脂11aによって樹脂封止されてい
る。
【0025】基板10aの下面側に配設される複数の半
田ボール12は、複数の半田ボール12が基板下面にマ
トリックス状に配列されている。すなわち、半田ボール
12は、図1に示すように、複数の半田ボール12が列
設されてなる半田ボール列12−1,12−2,12−
3...12−nが、平行して基板下面に配設されてお
り、各半田ボール列12−1...には、図2(a)に
示すように、それぞれ列に沿って複数の半田ボール12
−1a,12−1b,12−1c...(12−2
a...,12−3a...)が列設されている。
田ボール12は、複数の半田ボール12が基板下面にマ
トリックス状に配列されている。すなわち、半田ボール
12は、図1に示すように、複数の半田ボール12が列
設されてなる半田ボール列12−1,12−2,12−
3...12−nが、平行して基板下面に配設されてお
り、各半田ボール列12−1...には、図2(a)に
示すように、それぞれ列に沿って複数の半田ボール12
−1a,12−1b,12−1c...(12−2
a...,12−3a...)が列設されている。
【0026】また、これら複数の半田ボール12は、そ
れぞれが、基板内の通電部14に接続,通電しており、
基板10a上の配線パターン10bを介して、LSI1
1側の端子と接続されることにより、LSI11の外部
端子を構成している。この外部端子を構成する半田ボー
ル12が、マザーボード19側の図示しない配線パター
ンに、リフローソルダリング工程により溶着,接続され
て、パッケージが装置等に実装されるようになってい
る。
れぞれが、基板内の通電部14に接続,通電しており、
基板10a上の配線パターン10bを介して、LSI1
1側の端子と接続されることにより、LSI11の外部
端子を構成している。この外部端子を構成する半田ボー
ル12が、マザーボード19側の図示しない配線パター
ンに、リフローソルダリング工程により溶着,接続され
て、パッケージが装置等に実装されるようになってい
る。
【0027】そして、このBGA型パッケージ10の基
板10aに、本実施形態では、基板側面に開口して、基
板内部の各通電部14まで連通する複数のホール13
(13−1,13−2...13−n)が形成してあ
り、このホール13によって、検査用のプローブ1の接
触棒1aを基板10a内に挿入して、接触棒1aの先端
を各通電部14,14...に接触させてパッケージ1
0に必要な測定,評価を行えるようにしてある。
板10aに、本実施形態では、基板側面に開口して、基
板内部の各通電部14まで連通する複数のホール13
(13−1,13−2...13−n)が形成してあ
り、このホール13によって、検査用のプローブ1の接
触棒1aを基板10a内に挿入して、接触棒1aの先端
を各通電部14,14...に接触させてパッケージ1
0に必要な測定,評価を行えるようにしてある。
【0028】ホール13は、図1に示すように、半田ボ
ール12が複数列設された各半田ボール列12−1,1
2−2...の各列ごとに、基板上下面と平行に形成さ
れた穴部となっており、各半田ボール列に沿って伸びる
ホール本体13−1,13−2...13−nと、この
ホール本体13−1...と一体的に連通する溝部13
−1a,13−2a...とからなっている。
ール12が複数列設された各半田ボール列12−1,1
2−2...の各列ごとに、基板上下面と平行に形成さ
れた穴部となっており、各半田ボール列に沿って伸びる
ホール本体13−1,13−2...13−nと、この
ホール本体13−1...と一体的に連通する溝部13
−1a,13−2a...とからなっている。
【0029】ホール本体13−1,13−2...は、
基板10aの一側面に開口するとともに、図1に示すよ
うに、半田ボール列12−1,12−2...の各列に
沿って基板内を基板上下面と平行に形成されており、そ
れぞれ各列の半田ボールと12と接続した通電部14の
近傍を通過している。そして、この各ホール本体13−
1,13−2...から各通電部14に向かって溝部1
3−1a,13−2a...が形成してあり、各ホール
本体13−1,13−2...が、基板10aの側面開
口から各通電部14まで連通するようになっている。
基板10aの一側面に開口するとともに、図1に示すよ
うに、半田ボール列12−1,12−2...の各列に
沿って基板内を基板上下面と平行に形成されており、そ
れぞれ各列の半田ボールと12と接続した通電部14の
近傍を通過している。そして、この各ホール本体13−
1,13−2...から各通電部14に向かって溝部1
3−1a,13−2a...が形成してあり、各ホール
本体13−1,13−2...が、基板10aの側面開
口から各通電部14まで連通するようになっている。
【0030】溝部13−1a...は、各ホール本体1
3−1,13−2...ごとに複数形成してあり、図2
(a)に示すように、各半田ボール列12−1...に
列設された半田ボール12−1a,12−1b,12−
1c...に対応して、ホール長手方向に複数の溝部1
3−1a,13−1b,13−1c...(13−2
a,13−2b...)が、半田ボール12側に向かっ
て凹状に形成してある。そして、この凹状の各溝部13
−1a...は、図2(b)に示すように、縦断面形状
がそれぞれホール本体13−1...側から各通電部1
4側に向かって円弧状に拡がる形状に形成してある。
3−1,13−2...ごとに複数形成してあり、図2
(a)に示すように、各半田ボール列12−1...に
列設された半田ボール12−1a,12−1b,12−
1c...に対応して、ホール長手方向に複数の溝部1
3−1a,13−1b,13−1c...(13−2
a,13−2b...)が、半田ボール12側に向かっ
て凹状に形成してある。そして、この凹状の各溝部13
−1a...は、図2(b)に示すように、縦断面形状
がそれぞれホール本体13−1...側から各通電部1
4側に向かって円弧状に拡がる形状に形成してある。
【0031】このような溝部13−1a...によっ
て、各ホール本体13−1...から先端鉤形に形成し
た検査用のプローブ1の接触棒1aを挿入すると、図2
(a)に示すように、まず接触棒1aの先端鉤形部を各
溝部13−1a...の凹部に接触,係合させることが
できるの、プローブ1をホール13に対して前後させる
ことで、検査対象となる所望の半田ボール12に対応す
る溝部13−1a...を一つ一つ選択することができ
る。なお、接触棒1aの軸部に、各溝部の間隔に対応し
た目盛り等を設けておくことにより、所望の溝部の選択
を、より容易,確実に行えるようにすることもできる。
て、各ホール本体13−1...から先端鉤形に形成し
た検査用のプローブ1の接触棒1aを挿入すると、図2
(a)に示すように、まず接触棒1aの先端鉤形部を各
溝部13−1a...の凹部に接触,係合させることが
できるの、プローブ1をホール13に対して前後させる
ことで、検査対象となる所望の半田ボール12に対応す
る溝部13−1a...を一つ一つ選択することができ
る。なお、接触棒1aの軸部に、各溝部の間隔に対応し
た目盛り等を設けておくことにより、所望の溝部の選択
を、より容易,確実に行えるようにすることもできる。
【0032】そして、接触棒1aを所望の溝部13−1
a...に係合させた状態で、プローブ1を軸周りに回
転させると、図2(b)に示すように、接触棒1aが溝
部13−1a...の円弧状の壁面に沿って回転し、接
触棒1aの先端が所望の通電部14に接触する。これに
よって、通電部14と通電している各半田ボール12に
対してプロービングを行うことができる。
a...に係合させた状態で、プローブ1を軸周りに回
転させると、図2(b)に示すように、接触棒1aが溝
部13−1a...の円弧状の壁面に沿って回転し、接
触棒1aの先端が所望の通電部14に接触する。これに
よって、通電部14と通電している各半田ボール12に
対してプロービングを行うことができる。
【0033】なお、このように基板側面から内部に連通
する本実施形態のホール13は、ホール本体及び溝部を
含めて、基板10aを多層基板により構成し、この多層
基板の製造工程において一体的に形成することができ
る。また、各ホール13は、本実施形態では、半田ボー
ル12の各列に沿って平行する複数のホール本体13−
1,13−2...が形成してあるが、これ以外にも、
例えば互いに直交するホール13を基板10aの内部に
格子状に形成することも可能である。すなわち、各ホー
ル13は、ホール本体13−1...が通電部14の近
傍を通過し、溝部13−1a...がそれぞれ通電部1
4と連通する構造であれば、どのような形態のものであ
ってもよい。
する本実施形態のホール13は、ホール本体及び溝部を
含めて、基板10aを多層基板により構成し、この多層
基板の製造工程において一体的に形成することができ
る。また、各ホール13は、本実施形態では、半田ボー
ル12の各列に沿って平行する複数のホール本体13−
1,13−2...が形成してあるが、これ以外にも、
例えば互いに直交するホール13を基板10aの内部に
格子状に形成することも可能である。すなわち、各ホー
ル13は、ホール本体13−1...が通電部14の近
傍を通過し、溝部13−1a...がそれぞれ通電部1
4と連通する構造であれば、どのような形態のものであ
ってもよい。
【0034】さらに、ホール13の開口も、本実施形態
では、基板10aの一側面に開口しているが、接触棒1
aを挿入できるように基板10aの少なくともいずれか
一つの側面に開口すればよい。従って、基板10aの両
側面や側面四方向に開口するものであってもよい。
では、基板10aの一側面に開口しているが、接触棒1
aを挿入できるように基板10aの少なくともいずれか
一つの側面に開口すればよい。従って、基板10aの両
側面や側面四方向に開口するものであってもよい。
【0035】次に、このような構成からなる本実施形態
に係るボール・グリッド・アレイ型パッケージのプロー
ビングを行う場合の動作について説明する。半田ボール
12に対してプロービングを行う場合は、まず、プロー
ビング対象となる半田ボール12の列に対応するホール
13に対して、プローブ1の先に取り付た接触棒1aを
挿入する。
に係るボール・グリッド・アレイ型パッケージのプロー
ビングを行う場合の動作について説明する。半田ボール
12に対してプロービングを行う場合は、まず、プロー
ビング対象となる半田ボール12の列に対応するホール
13に対して、プローブ1の先に取り付た接触棒1aを
挿入する。
【0036】ホール13は、パッケージ10の基板10
a(及びマザーボード19)に対して平行に貫通してい
るが、各半田ボール12と対応する位置に溝部13−1
a...が凹状に形成してあるので、ホール13から挿
入した接触棒1aは、所望の半田ボール12の位置で、
先端の鉤形部を対応する溝部13−1a...にかみ合
せて係合させることができる。
a(及びマザーボード19)に対して平行に貫通してい
るが、各半田ボール12と対応する位置に溝部13−1
a...が凹状に形成してあるので、ホール13から挿
入した接触棒1aは、所望の半田ボール12の位置で、
先端の鉤形部を対応する溝部13−1a...にかみ合
せて係合させることができる。
【0037】すなわち、各溝部13−1a...の凹部
の段差を利用することで、例えば基板側面のホール13
の入り口側から接触棒1aの先端で溝部の順番を数えて
いき、目標とする半田ボール12の順番と一致したとこ
ろで、溝13−1a...に接触棒1aの先端を係合さ
せる(図2(a)参照)。このとき、上述したように、
接触棒1aの軸部に各溝部の間隔に対応した目盛り等を
形成しておくと、所望の溝部の選択をさらに容易,確実
に行うことができる。所望の溝部とかみ合わせた状態
で、プローブ1を軸周りに回転させると、図2(b)に
示すように、接触棒1aが溝部13−1a...の円弧
状の壁面に沿って90度回転して、接触棒1aの先端が
所望の通電部14に接触する。
の段差を利用することで、例えば基板側面のホール13
の入り口側から接触棒1aの先端で溝部の順番を数えて
いき、目標とする半田ボール12の順番と一致したとこ
ろで、溝13−1a...に接触棒1aの先端を係合さ
せる(図2(a)参照)。このとき、上述したように、
接触棒1aの軸部に各溝部の間隔に対応した目盛り等を
形成しておくと、所望の溝部の選択をさらに容易,確実
に行うことができる。所望の溝部とかみ合わせた状態
で、プローブ1を軸周りに回転させると、図2(b)に
示すように、接触棒1aが溝部13−1a...の円弧
状の壁面に沿って90度回転して、接触棒1aの先端が
所望の通電部14に接触する。
【0038】これによって、通電部14と通電している
各半田ボール12に対してプロービングを行うことがで
きる。すなわち、この状態で、プローブ1の接触棒1a
が、外部端子を構成する半田ボール12と接続した通電
部14と接触しているので、図3に示すように、該当す
る半田ボール12の通電状態をオシロスコ―プ2を通し
てモニタすることができる。
各半田ボール12に対してプロービングを行うことがで
きる。すなわち、この状態で、プローブ1の接触棒1a
が、外部端子を構成する半田ボール12と接続した通電
部14と接触しているので、図3に示すように、該当す
る半田ボール12の通電状態をオシロスコ―プ2を通し
てモニタすることができる。
【0039】このように本実施形態のボール・グリッド
・アレイ型パッケージによれば、パッケージ10の基板
10aの側面に開口したホール13を備えることで、ホ
ール13に検査用プローブ1の接触棒1aを挿入し、各
ホール13の溝部に沿って接触棒1aを操作すること
で、各半田ボール12とLSI11を通電,接続してい
る通電部14に接触棒の先端を確実かつ容易に接触させ
ることができる。
・アレイ型パッケージによれば、パッケージ10の基板
10aの側面に開口したホール13を備えることで、ホ
ール13に検査用プローブ1の接触棒1aを挿入し、各
ホール13の溝部に沿って接触棒1aを操作すること
で、各半田ボール12とLSI11を通電,接続してい
る通電部14に接触棒の先端を確実かつ容易に接触させ
ることができる。
【0040】これにより、所望の半田ボール12とLS
I11の接触状態を任意にプロービングすることがで
き、従来は困難であった基板中心側に位置している半田
ボール12についても、簡易かつ確実にプロービングが
可能となり、LSIの回路動作の測定,評価を効率よく
確実に行うことができる。また、基板10の内部から側
面まで連通,開口したホール13を備えることで、パッ
ケージ全体の放熱効果を上げることもできる。
I11の接触状態を任意にプロービングすることがで
き、従来は困難であった基板中心側に位置している半田
ボール12についても、簡易かつ確実にプロービングが
可能となり、LSIの回路動作の測定,評価を効率よく
確実に行うことができる。また、基板10の内部から側
面まで連通,開口したホール13を備えることで、パッ
ケージ全体の放熱効果を上げることもできる。
【0041】[第二実施形態]次に、本発明のボール・
グリッド・アレイ型パッケージの第二実施形態について
図4及び図5を参照して説明する。図4は、本発明の第
二実施形態に係るボール・グリッド・アレイ型パッケー
ジを示す概略斜視図であり、(a)は上面側から見た状
態を、(b)は下面側から見た状態を示している。ま
た、図5は、図4に示す本実施形態に係るボール・グリ
ッド・アレイ型パッケージの断面側面図である。
グリッド・アレイ型パッケージの第二実施形態について
図4及び図5を参照して説明する。図4は、本発明の第
二実施形態に係るボール・グリッド・アレイ型パッケー
ジを示す概略斜視図であり、(a)は上面側から見た状
態を、(b)は下面側から見た状態を示している。ま
た、図5は、図4に示す本実施形態に係るボール・グリ
ッド・アレイ型パッケージの断面側面図である。
【0042】これらの図に示すように、本実施形態に係
るBGA型パッケージは、上述した第一実施形態の変更
実施形態であり、パッケージの基板に設けるホールを多
層化したもので、他の構成部分については、上述した第
一実施形態とほぼ同様となっている。
るBGA型パッケージは、上述した第一実施形態の変更
実施形態であり、パッケージの基板に設けるホールを多
層化したもので、他の構成部分については、上述した第
一実施形態とほぼ同様となっている。
【0043】すなわち、図4及び図5に示すように、本
実施形態に係るパッケージ10は、上述した第一実施形
態と同様に、基板10aの上面にLSI11が実装され
るとともに、基板10aの下面には複数の半田ボール1
2がマトリックス状に配設されたBGA型パッケージを
構成している。半田ボール12は、図4(b)に示すよ
うに、複数の半田ボール12が列設されてなる半田ボー
ル列12−1,12−2...12−nが基板下面に並
行に配設されており、各半田ボール列12−1...に
それぞれ複数の半田ボール12,12...が列設され
ている。
実施形態に係るパッケージ10は、上述した第一実施形
態と同様に、基板10aの上面にLSI11が実装され
るとともに、基板10aの下面には複数の半田ボール1
2がマトリックス状に配設されたBGA型パッケージを
構成している。半田ボール12は、図4(b)に示すよ
うに、複数の半田ボール12が列設されてなる半田ボー
ル列12−1,12−2...12−nが基板下面に並
行に配設されており、各半田ボール列12−1...に
それぞれ複数の半田ボール12,12...が列設され
ている。
【0044】基板10aの上面に搭載,実装されるLS
I11はボンディングワイヤ11bを介して基板10a
上の配線パターン10bに接続されており、このLSI
11がボンディングワイヤ11bを含めてモールド樹脂
11aにより樹脂封止されている。
I11はボンディングワイヤ11bを介して基板10a
上の配線パターン10bに接続されており、このLSI
11がボンディングワイヤ11bを含めてモールド樹脂
11aにより樹脂封止されている。
【0045】基板10aの下面側に配設された複数の半
田ボール12は、基板10a内に配設した通電部14及
び基板10a上の配線パターン10bを介して、それぞ
れLSI11側と通電されており、LSI11の外部端
子を構成している。なお、図4及び図5に示すように、
本実施形態の基板10aの下面には、追加部品が実装可
能な溝15が半田ボール12を囲む格子状に形成してあ
る。
田ボール12は、基板10a内に配設した通電部14及
び基板10a上の配線パターン10bを介して、それぞ
れLSI11側と通電されており、LSI11の外部端
子を構成している。なお、図4及び図5に示すように、
本実施形態の基板10aの下面には、追加部品が実装可
能な溝15が半田ボール12を囲む格子状に形成してあ
る。
【0046】そして、基板10aには、第一実施形態と
ほぼ同様の構成からなるホール13が形成してある。こ
のホール13は、基板側面から通電部14まで連通する
穴部となっており、本実施形態では、このホール13を
基板10aの高さ方向に多段となるように構成してあ
る。すなわち、本実施形態のホール13は、半田ボール
12の各列に沿って並列に形成される複数のホール13
−1,13−2...13−nが形成してあり、図4及
び図5に示す本実施形態では、七列の半田ボール列に対
応して、七列のホール13が並列に形成してある。そし
て、各ホール13は、各列ごとに、高さ方向に複数のホ
ール本体13A,13B,13C,13D...からな
るホール群を構成している。
ほぼ同様の構成からなるホール13が形成してある。こ
のホール13は、基板側面から通電部14まで連通する
穴部となっており、本実施形態では、このホール13を
基板10aの高さ方向に多段となるように構成してあ
る。すなわち、本実施形態のホール13は、半田ボール
12の各列に沿って並列に形成される複数のホール13
−1,13−2...13−nが形成してあり、図4及
び図5に示す本実施形態では、七列の半田ボール列に対
応して、七列のホール13が並列に形成してある。そし
て、各ホール13は、各列ごとに、高さ方向に複数のホ
ール本体13A,13B,13C,13D...からな
るホール群を構成している。
【0047】このホール群を構成する複数のホール本体
13A...は、各半田ボール列12−1...に列設
された各半田ボール12ごとに対応して形成してある。
具体的には、図5に示すように、複数段(本実施形態で
は四段)に形成されたホール本体13A,13B,13
C,13D...は、それぞれ基板両側面から連通して
おり、半田ボール12a,12b...に接続された各
通電部14,14...の横方向近傍を通過するように
なっている。本実施形態では、各ホール本体13A,1
3B...の奥端が、対応する通電部14,14...
の位置で止まる行き止まり状に形成してある。
13A...は、各半田ボール列12−1...に列設
された各半田ボール12ごとに対応して形成してある。
具体的には、図5に示すように、複数段(本実施形態で
は四段)に形成されたホール本体13A,13B,13
C,13D...は、それぞれ基板両側面から連通して
おり、半田ボール12a,12b...に接続された各
通電部14,14...の横方向近傍を通過するように
なっている。本実施形態では、各ホール本体13A,1
3B...の奥端が、対応する通電部14,14...
の位置で止まる行き止まり状に形成してある。
【0048】そして、この各ホール本体13a,13b
の奥端部に、対応する各通電部14,.14..にそれ
ぞれ連通する溝部(図示省略)が形成してある。ここ
で、本実施形態に係る溝部は、上述した第一実施形態の
溝部とほぼ同様の構成となっており、半田ボール側に向
かって凹状に形成されるとともに、縦断面形状がそれぞ
れホール本体13a,13b...から各通電部14に
向かって円弧状に拡がる形状となっている。なお、この
ように多段に構成されたホール13の形成は、溝部及び
ホール本体を含めて、上述した第一実施形態と同様に、
基板10aを多層基板により構成し、この多層基板の製
造工程において一体的に形成することが可能である。
の奥端部に、対応する各通電部14,.14..にそれ
ぞれ連通する溝部(図示省略)が形成してある。ここ
で、本実施形態に係る溝部は、上述した第一実施形態の
溝部とほぼ同様の構成となっており、半田ボール側に向
かって凹状に形成されるとともに、縦断面形状がそれぞ
れホール本体13a,13b...から各通電部14に
向かって円弧状に拡がる形状となっている。なお、この
ように多段に構成されたホール13の形成は、溝部及び
ホール本体を含めて、上述した第一実施形態と同様に、
基板10aを多層基板により構成し、この多層基板の製
造工程において一体的に形成することが可能である。
【0049】そして、本実施形態では、図4及び図5に
示すように、各半田ボール列12−1...には、各列
ごとに七個ずつの半田ボール12が列設してあり、各ホ
ール群のホール本体13A,13B...は、基板高さ
方向に四段となるように形成してある。各ホール本体1
3A,13B...は、図5に示すように、一段目のホ
ール本体13A及び13Eが、それぞれ基板10aの対
向する両側面から通電部14に向かって形成されてお
り、このホール本体13A及び13Eは、基板10aの
両側面からそれぞれ一番目に位置している半田ボール1
2a,12eと接続した通電部14,14に連通するよ
うになっている。
示すように、各半田ボール列12−1...には、各列
ごとに七個ずつの半田ボール12が列設してあり、各ホ
ール群のホール本体13A,13B...は、基板高さ
方向に四段となるように形成してある。各ホール本体1
3A,13B...は、図5に示すように、一段目のホ
ール本体13A及び13Eが、それぞれ基板10aの対
向する両側面から通電部14に向かって形成されてお
り、このホール本体13A及び13Eは、基板10aの
両側面からそれぞれ一番目に位置している半田ボール1
2a,12eと接続した通電部14,14に連通するよ
うになっている。
【0050】同様に、二段目のホール本体13B,13
Fは、基板両側面から二番目に位置する半田ボール12
b,12fと接続した通電部14,14に連通してお
り、三段目のホール本体13C,13Gは、基板両側面
から三番目に位置する半田ボール12c,12gと接続
している通電部14,14と連通ている。さらに、四段
目、すなわち基板最上段に形成されたホール本体13D
は、基板10aの両側面に貫通しており、基板側面から
四番目の位置、すなわち半田ボール列の中心に位置する
半田ボール12dに接続した通電部14と、基板10a
の両側面双方から連通するようになっている。
Fは、基板両側面から二番目に位置する半田ボール12
b,12fと接続した通電部14,14に連通してお
り、三段目のホール本体13C,13Gは、基板両側面
から三番目に位置する半田ボール12c,12gと接続
している通電部14,14と連通ている。さらに、四段
目、すなわち基板最上段に形成されたホール本体13D
は、基板10aの両側面に貫通しており、基板側面から
四番目の位置、すなわち半田ボール列の中心に位置する
半田ボール12dに接続した通電部14と、基板10a
の両側面双方から連通するようになっている。
【0051】これによって、図5に示すように、一段目
のホール本体13A(13E)には基板側面から一番目
の半田ボール12a(12e)が、二段目のホール本体
13B(13F)には二番目の半田ボール12b(13
f)が、...というように、各ホール13と各半田ボ
ール12とが一対一の対応で直接つながるようになって
いる。
のホール本体13A(13E)には基板側面から一番目
の半田ボール12a(12e)が、二段目のホール本体
13B(13F)には二番目の半田ボール12b(13
f)が、...というように、各ホール13と各半田ボ
ール12とが一対一の対応で直接つながるようになって
いる。
【0052】なお、本実施形態では、半田ボール12が
一列に七個ずつ列設してあり、ホール13が各ホール群
に四段ずつ形成してあるが、特にこれに限定されるもの
ではなく、任意の複数個の半田ボール12に対して任意
の複数段からなるホール13を対応させることができ
る。
一列に七個ずつ列設してあり、ホール13が各ホール群
に四段ずつ形成してあるが、特にこれに限定されるもの
ではなく、任意の複数個の半田ボール12に対して任意
の複数段からなるホール13を対応させることができ
る。
【0053】また、図5に示したように、本実施形態で
は、ホール13が基板両側面に開口してそれぞれホール
13が対応する通電部14に連通するようにしてある
が、これを基板の一側面あるいは側面の三方,四方に開
口するようにしてもよい。
は、ホール13が基板両側面に開口してそれぞれホール
13が対応する通電部14に連通するようにしてある
が、これを基板の一側面あるいは側面の三方,四方に開
口するようにしてもよい。
【0054】このように本実施形態のボール・グリッド
・アレイ型パッケージによれば、プロービング用のホー
ル13を各半田ボール12に対応して複数形成してある
ので、所定のホール13に接触棒を挿入するのみで、検
査したい半田ボール12に対し、より容易かつ確実に接
触棒を接触させることができ、LSI回路の測定,評価
等の作業をさらに効率よく行うことができる。また、複
数のホール13を形成することで、パッケージの放熱効
果についてもさらに向上させることができる。
・アレイ型パッケージによれば、プロービング用のホー
ル13を各半田ボール12に対応して複数形成してある
ので、所定のホール13に接触棒を挿入するのみで、検
査したい半田ボール12に対し、より容易かつ確実に接
触棒を接触させることができ、LSI回路の測定,評価
等の作業をさらに効率よく行うことができる。また、複
数のホール13を形成することで、パッケージの放熱効
果についてもさらに向上させることができる。
【0055】[第三実施形態]次に、本発明のボール・
グリッド・アレイ型パッケージの第三実施形態について
図6〜図10を参照して説明する。図6は、本発明の第
三実施形態に係るボール・グリッド・アレイ型パッケー
ジを示す概略図であり、(a)は底面図を、(b)は正
面図を示している。
グリッド・アレイ型パッケージの第三実施形態について
図6〜図10を参照して説明する。図6は、本発明の第
三実施形態に係るボール・グリッド・アレイ型パッケー
ジを示す概略図であり、(a)は底面図を、(b)は正
面図を示している。
【0056】図7は、本実施形態に係るボール・グリッ
ド・アレイ型パッケージの溝部に実装するチップ部品と
してバイパスコンデンサを採用した場合の電気回路図を
示している。図8は、本実施形態に係るボール・グリッ
ド・アレイ型パッケージの溝に抵抗を実装し、終端抵抗
とした場合の電気回路図である。
ド・アレイ型パッケージの溝部に実装するチップ部品と
してバイパスコンデンサを採用した場合の電気回路図を
示している。図8は、本実施形態に係るボール・グリッ
ド・アレイ型パッケージの溝に抵抗を実装し、終端抵抗
とした場合の電気回路図である。
【0057】図9は、本実施形態に係るボール・グリッ
ド・アレイ型パッケージの溝にチップ部品を実装し、電
極を介して半田ボールに接続した状態の要部拡大正面図
である。図10は、本実施形態に係るボール・グリッド
・アレイ型パッケージの溝にチップ部品を実装し、直接
半田ボールに接続した状態の要部拡大正面図である。
ド・アレイ型パッケージの溝にチップ部品を実装し、電
極を介して半田ボールに接続した状態の要部拡大正面図
である。図10は、本実施形態に係るボール・グリッド
・アレイ型パッケージの溝にチップ部品を実装し、直接
半田ボールに接続した状態の要部拡大正面図である。
【0058】図6に示すように、本実施形態に係るパッ
ケージ20は、上述した第一実施形態と同様に、基板2
0aの上面に樹脂封止されたLSI21が実装され、基
板20aの下面に複数の半田ボール22をマトリックス
状に配設し、各半田ボール22を、基板内部の通電部
(図示省略)を介してLSI21と通電することにより
外部端子を構成したBGA型パッケージである。
ケージ20は、上述した第一実施形態と同様に、基板2
0aの上面に樹脂封止されたLSI21が実装され、基
板20aの下面に複数の半田ボール22をマトリックス
状に配設し、各半田ボール22を、基板内部の通電部
(図示省略)を介してLSI21と通電することにより
外部端子を構成したBGA型パッケージである。
【0059】そして、本実施形態のパッケージ20は、
基板20aの下面に、複数の半田ボール22の各周囲を
囲む格子状に溝23を形成してある。この溝23は、図
6に示すように、基板20aの下面に、各半田ボール2
2の間を通る格子状に形成された凹状の溝となってお
り、溝内にチップ部品24を配設できるようになってい
る。そして、この溝23の任意の箇所に実装されたチッ
プ部品24は、電極25を介して隣接している半田ボー
ル22,22同士を接続するようになっている。
基板20aの下面に、複数の半田ボール22の各周囲を
囲む格子状に溝23を形成してある。この溝23は、図
6に示すように、基板20aの下面に、各半田ボール2
2の間を通る格子状に形成された凹状の溝となってお
り、溝内にチップ部品24を配設できるようになってい
る。そして、この溝23の任意の箇所に実装されたチッ
プ部品24は、電極25を介して隣接している半田ボー
ル22,22同士を接続するようになっている。
【0060】図7に示すように、通常のLSI回路にお
いては、LSI21と電源26間の配線において、寄生
インダクタンス27a,27bが生ずることがある。こ
の場合、図7に示すバイパスコンデンサ24a等が存在
しない場合には、LSI21のスイッチングの際に、電
源26からLSI21に流れ込む電流が寄生インダクタ
ンス27a,27bを通過することでスイッチングノイ
ズが発生することになる。このため、バイパスコンデン
サ24aを追加実装することで、このスイッチングノイ
ズを低減させることができるが、バイパスコンデンサ2
4aをLSI21の電源端子から遠い位置に搭載したの
では、ノイズ除去の効果は低くなってしまう。
いては、LSI21と電源26間の配線において、寄生
インダクタンス27a,27bが生ずることがある。こ
の場合、図7に示すバイパスコンデンサ24a等が存在
しない場合には、LSI21のスイッチングの際に、電
源26からLSI21に流れ込む電流が寄生インダクタ
ンス27a,27bを通過することでスイッチングノイ
ズが発生することになる。このため、バイパスコンデン
サ24aを追加実装することで、このスイッチングノイ
ズを低減させることができるが、バイパスコンデンサ2
4aをLSI21の電源端子から遠い位置に搭載したの
では、ノイズ除去の効果は低くなってしまう。
【0061】一方、図8に示すように、LSI回路にお
いて、複数のLSI21a,LSI21bが配線により
接続される場合、配線の特性インピーダンスと受信側入
力インピーダンスの不整合により、反射ノイズが発生す
る場合がある。この場合、改善策として図8に示す終端
抵抗24bを配置することにより、インピーダンス整合
を図ることが可能となるが、この場合にも、図7の場合
と同様に、終端抵抗24bがLSI21bに対して遠い
位置にあると、改善効果が期待できない。
いて、複数のLSI21a,LSI21bが配線により
接続される場合、配線の特性インピーダンスと受信側入
力インピーダンスの不整合により、反射ノイズが発生す
る場合がある。この場合、改善策として図8に示す終端
抵抗24bを配置することにより、インピーダンス整合
を図ることが可能となるが、この場合にも、図7の場合
と同様に、終端抵抗24bがLSI21bに対して遠い
位置にあると、改善効果が期待できない。
【0062】そこで、本実施形態では、LSI21の外
部端子となる半田ボール22の周囲を囲む格子状に溝2
3を形成することにより、チップ部品24の実装スペー
スを確保し、かつ、半田ボール22の直近に抵抗,コン
デンサ等のチップ部品24を搭載できるようにしたもの
である。
部端子となる半田ボール22の周囲を囲む格子状に溝2
3を形成することにより、チップ部品24の実装スペー
スを確保し、かつ、半田ボール22の直近に抵抗,コン
デンサ等のチップ部品24を搭載できるようにしたもの
である。
【0063】これにより、溝23を利用してチップ部品
24を、半田ボール状のLSIパッケージ端子22の直
近に搭載することで、LSI21の外部端子の直近で終
端することができ、回路の低ノイズ化を実現できる。ま
た、従来のBGA型パッケージのように、マザーボード
側等に配線をとって追加部品を搭載する必要がなくな
り、実装面積の低減と作業の容易化を図ることもでき
る。さらに、基板下面を格子状に通る溝23を設けたこ
とにより、マザーボード側へ実装後のパッケージ20の
放熱効果を上げることができる。なお、上述した第二実
施形態の基板10aの下面に形成した溝15は、本実施
形態における溝23と同様のものである。
24を、半田ボール状のLSIパッケージ端子22の直
近に搭載することで、LSI21の外部端子の直近で終
端することができ、回路の低ノイズ化を実現できる。ま
た、従来のBGA型パッケージのように、マザーボード
側等に配線をとって追加部品を搭載する必要がなくな
り、実装面積の低減と作業の容易化を図ることもでき
る。さらに、基板下面を格子状に通る溝23を設けたこ
とにより、マザーボード側へ実装後のパッケージ20の
放熱効果を上げることができる。なお、上述した第二実
施形態の基板10aの下面に形成した溝15は、本実施
形態における溝23と同様のものである。
【0064】なお、図6及び図9に示すように、溝23
内に搭載したチップ部品24と半田ボール22との接続
は、通常は電極25,25を介して行う。また、この電
極25は、電源,グランドラインとの接続も可能であ
る。
内に搭載したチップ部品24と半田ボール22との接続
は、通常は電極25,25を介して行う。また、この電
極25は、電源,グランドラインとの接続も可能であ
る。
【0065】ただし、図10に示すように、溝23の幅
を、隣接する半田ボール22同士の間隔と同じ幅に形成
した場合には、図9に示すように、電極25を介するこ
となく半田ボール22とチップ部品24を直接接触させ
て接続することもできる。このように、溝23の幅は、
隣接する半田ボール22,22同士の間隔を最大として
任意に変更することもでき、搭載するチップ部品24の
大きさ等に応じて適宜選択的に変更することが可能であ
る。
を、隣接する半田ボール22同士の間隔と同じ幅に形成
した場合には、図9に示すように、電極25を介するこ
となく半田ボール22とチップ部品24を直接接触させ
て接続することもできる。このように、溝23の幅は、
隣接する半田ボール22,22同士の間隔を最大として
任意に変更することもでき、搭載するチップ部品24の
大きさ等に応じて適宜選択的に変更することが可能であ
る。
【0066】このように本実施形態のボール・グリッド
・アレイ型パッケージによれば、各半田ボール22の周
囲を囲むように溝23を形成してあるので、この溝23
に追加したい抵抗やコンデンサ等のチップ部品24を任
意に実装することができ、しかも、実装したチップ部品
24を所望の半田ボール22と電極25を介して直接接
続させることができる。
・アレイ型パッケージによれば、各半田ボール22の周
囲を囲むように溝23を形成してあるので、この溝23
に追加したい抵抗やコンデンサ等のチップ部品24を任
意に実装することができ、しかも、実装したチップ部品
24を所望の半田ボール22と電極25を介して直接接
続させることができる。
【0067】これにより、きわめて簡易な構造のみによ
って、従来は困難であったLSIの外部端子近傍への追
加部品の実装も容易かつ確実に行え、LSI回路の低ノ
イズ化等のノイズ対策も簡易かつ有効に実現することが
できる。また、基板10aの下面に溝23を形成するこ
とで、基板10aの下面における放熱面積を拡大するこ
とができ、マザーボードへ実装後のパッケージ20全体
の放熱効果を上げることもできる。
って、従来は困難であったLSIの外部端子近傍への追
加部品の実装も容易かつ確実に行え、LSI回路の低ノ
イズ化等のノイズ対策も簡易かつ有効に実現することが
できる。また、基板10aの下面に溝23を形成するこ
とで、基板10aの下面における放熱面積を拡大するこ
とができ、マザーボードへ実装後のパッケージ20全体
の放熱効果を上げることもできる。
【0068】[第四実施形態]次に、本発明のボール・
グリッド・アレイ型パッケージの第四実施形態について
図11及び図12を参照して説明する。図11は、本発
明の第四実施形態に係るボール・グリッド・アレイ型パ
ッケージを示す概略正面図である。図12は、高抵抗率
の半田ボールを採用した本実施形態に係るボール・グリ
ッド・アレイ型パッケージの電気回路図を示している。
グリッド・アレイ型パッケージの第四実施形態について
図11及び図12を参照して説明する。図11は、本発
明の第四実施形態に係るボール・グリッド・アレイ型パ
ッケージを示す概略正面図である。図12は、高抵抗率
の半田ボールを採用した本実施形態に係るボール・グリ
ッド・アレイ型パッケージの電気回路図を示している。
【0069】図11に示すように、本実施形態に係るパ
ッケージ30は、上述した第一〜第三実施形態と同様、
基板30aの上面に樹脂封止されたLSI31が実装さ
れ、基板30aの下面に複数の半田ボール32をマトリ
ックス状に配設し、各半田ボール32を、基板内部の通
電部(図示省略)を介してLSI31と通電することに
より外部端子を構成したBGA型パッケージである。そ
して、本実施形態に係るパッケージ30は、LSI31
の外部端子となる半田ボール32を高抵抗率材料により
形成するようにしてある。
ッケージ30は、上述した第一〜第三実施形態と同様、
基板30aの上面に樹脂封止されたLSI31が実装さ
れ、基板30aの下面に複数の半田ボール32をマトリ
ックス状に配設し、各半田ボール32を、基板内部の通
電部(図示省略)を介してLSI31と通電することに
より外部端子を構成したBGA型パッケージである。そ
して、本実施形態に係るパッケージ30は、LSI31
の外部端子となる半田ボール32を高抵抗率材料により
形成するようにしてある。
【0070】図12に示すように、LSI回路において
は、複数のLSI31a,LSI31bが配線34を介
して接続される場合に、配線34の特性インピーダンス
と受信側入力インピーダンスの不整合によって、反射ノ
イズが発生する場合があり、インピーダンス整合をとり
反射ノイズを低減させる必要がある。そこで、本実施形
態では、LSI31の外部端子となる半田ボール32自
体の抵抗率を高いものとすることで、直列終端を行うこ
とができ、高速対応,低ノイズ化が可能となる。すなわ
ち、図12に示すように、高抵抗率の半田ボール32を
有することで直列終端抵抗となり、配線34とのインピ
ーダンス整合を可能としたものである。
は、複数のLSI31a,LSI31bが配線34を介
して接続される場合に、配線34の特性インピーダンス
と受信側入力インピーダンスの不整合によって、反射ノ
イズが発生する場合があり、インピーダンス整合をとり
反射ノイズを低減させる必要がある。そこで、本実施形
態では、LSI31の外部端子となる半田ボール32自
体の抵抗率を高いものとすることで、直列終端を行うこ
とができ、高速対応,低ノイズ化が可能となる。すなわ
ち、図12に示すように、高抵抗率の半田ボール32を
有することで直列終端抵抗となり、配線34とのインピ
ーダンス整合を可能としたものである。
【0071】具体的には、本実施形態ではパッケージ3
0に、終端抵抗に用いられる抵抗部品と同等の、通常の
半田ボールより高い抵抗率をもつ半田ボール32を製造
して取り付けてある。なお、本実施形態における抵抗率
の高い半田ボール32は、パッケージ30に備えられる
半田ボール32のすべてを高抵抗率のものとすることも
でき、あるいは、高抵抗率の半田ボール32を一部と
し、通常の抵抗率の半田ボール32と併用することもで
きる。
0に、終端抵抗に用いられる抵抗部品と同等の、通常の
半田ボールより高い抵抗率をもつ半田ボール32を製造
して取り付けてある。なお、本実施形態における抵抗率
の高い半田ボール32は、パッケージ30に備えられる
半田ボール32のすべてを高抵抗率のものとすることも
でき、あるいは、高抵抗率の半田ボール32を一部と
し、通常の抵抗率の半田ボール32と併用することもで
きる。
【0072】ここで、すべての半田ボール32を高抵抗
率とすると、LSI31の各端子(ピン)に対して直列
終端抵抗をもたせることと等価となり、新たに抵抗部品
を搭載する必要がなくなる効果がある。また、特性面か
らも、抵抗部品をパッケージ30から引き出した配線上
に搭載するよりも、半田ボール自体に抵抗率をもたせる
ことで、LSI31の端子に少しでも近い位置に抵抗を
配設でき、より良好な特性を得ることができる。
率とすると、LSI31の各端子(ピン)に対して直列
終端抵抗をもたせることと等価となり、新たに抵抗部品
を搭載する必要がなくなる効果がある。また、特性面か
らも、抵抗部品をパッケージ30から引き出した配線上
に搭載するよりも、半田ボール自体に抵抗率をもたせる
ことで、LSI31の端子に少しでも近い位置に抵抗を
配設でき、より良好な特性を得ることができる。
【0073】一方、高抵抗率の半田ボール32を通常の
抵抗率の半田ボールと併用した場合には、LSI31の
各ピンのうち、低周波でノイズに強いピンに対してのみ
高抵抗率の半田ボール32を使用し、それ以外のピンに
対しては通常の半田ボールを使用するといった、LSI
31の各ピンの特性に応じた抵抗の使い分けが可能とな
る。
抵抗率の半田ボールと併用した場合には、LSI31の
各ピンのうち、低周波でノイズに強いピンに対してのみ
高抵抗率の半田ボール32を使用し、それ以外のピンに
対しては通常の半田ボールを使用するといった、LSI
31の各ピンの特性に応じた抵抗の使い分けが可能とな
る。
【0074】このように本実施形態のボール・グリッド
・アレイ型パッケージによれば、LSI31の外部端子
となる半田ボール32として抵抗率の高いものを採用し
ているので、半田ボール32自体によって直列終端実現
でき、LSI回路の高速対応,低ノイズ化を効果的に図
ることができる。
・アレイ型パッケージによれば、LSI31の外部端子
となる半田ボール32として抵抗率の高いものを採用し
ているので、半田ボール32自体によって直列終端実現
でき、LSI回路の高速対応,低ノイズ化を効果的に図
ることができる。
【0075】なお、本発明のボール・グリッド・アレイ
型パッケージは、上述した第一〜第四実施形態に限定さ
れるものではなく、本発明の要旨の範囲内での変更実施
が可能である。また、上述した第一〜第四実施形態は、
それぞれ任意に組み合わせて実施することができる。
型パッケージは、上述した第一〜第四実施形態に限定さ
れるものではなく、本発明の要旨の範囲内での変更実施
が可能である。また、上述した第一〜第四実施形態は、
それぞれ任意に組み合わせて実施することができる。
【0076】
【発明の効果】以上説明したように本発明のボール・グ
リッド・アレイ型パッケージによれば、BGA型パッケ
ージの基板の側面から内部にプローブを挿入して基板内
の通電部に接触可能なホールを設けることにより、装置
等に実装後の半田ボールに対してもプロービングを行う
ことができる。
リッド・アレイ型パッケージによれば、BGA型パッケ
ージの基板の側面から内部にプローブを挿入して基板内
の通電部に接触可能なホールを設けることにより、装置
等に実装後の半田ボールに対してもプロービングを行う
ことができる。
【0077】また、本発明によれば、半田ボールを配設
した基板下面に、半田ボール周囲を囲む溝を設けて抵抗
やコンデンサ等の追加のチップ部品を実装可能とするこ
とにより、LSIの外部端子の近傍に直接チップ部品を
搭載することができ、ノイズ対策を有効に改善,実現で
きるとともに、さらに、BGA型パッケージの半田ボー
ル自体によって各種のノイズや反射に対する改善も可能
となる。
した基板下面に、半田ボール周囲を囲む溝を設けて抵抗
やコンデンサ等の追加のチップ部品を実装可能とするこ
とにより、LSIの外部端子の近傍に直接チップ部品を
搭載することができ、ノイズ対策を有効に改善,実現で
きるとともに、さらに、BGA型パッケージの半田ボー
ル自体によって各種のノイズや反射に対する改善も可能
となる。
【図1】本発明の第一実施形態に係るボール・グリッド
・アレイ型パッケージを示す概略斜視図である。
・アレイ型パッケージを示す概略斜視図である。
【図2】図1に示すボール・グリッド・アレイ型パッケ
ージの要部断面図であり、(a)は図1におけるA−A
線断面図、(b)は同じくB−B線断面図を示してい
る。
ージの要部断面図であり、(a)は図1におけるA−A
線断面図、(b)は同じくB−B線断面図を示してい
る。
【図3】図1に示すボール・グリッド・アレイ型パッケ
ージをプロービングしている状態の概略斜視図である。
ージをプロービングしている状態の概略斜視図である。
【図4】本発明の第二実施形態に係るボール・グリッド
・アレイ型パッケージを示す概略斜視図であり、(a)
は上面側から見た状態を、(b)は下面側から見た状態
を示している。
・アレイ型パッケージを示す概略斜視図であり、(a)
は上面側から見た状態を、(b)は下面側から見た状態
を示している。
【図5】図4に示す本実施形態に係るボール・グリッド
・アレイ型パッケージの断面側面図である。
・アレイ型パッケージの断面側面図である。
【図6】本発明の第三実施形態に係るボール・グリッド
・アレイ型パッケージを示す概略図であり、(a)は底
面図を、(b)は正面図を示している。
・アレイ型パッケージを示す概略図であり、(a)は底
面図を、(b)は正面図を示している。
【図7】本発明の第三実施形態に係るボール・グリッド
・アレイ型パッケージの溝部に実装するチップ部品とし
てバイパスコンデンサを採用した場合の電気回路図を示
している。
・アレイ型パッケージの溝部に実装するチップ部品とし
てバイパスコンデンサを採用した場合の電気回路図を示
している。
【図8】本発明の第三実施形態に係るボール・グリッド
・アレイ型パッケージの溝に抵抗を実装し、終端抵抗と
した場合の電気回路図である。
・アレイ型パッケージの溝に抵抗を実装し、終端抵抗と
した場合の電気回路図である。
【図9】本発明の第三実施形態に係るボール・グリッド
・アレイ型パッケージの溝にチップ部品を実装し、電極
を介して半田ボールに接続した状態の要部拡大正面図で
ある。
・アレイ型パッケージの溝にチップ部品を実装し、電極
を介して半田ボールに接続した状態の要部拡大正面図で
ある。
【図10】本発明の第三実施形態に係るボール・グリッ
ド・アレイ型パッケージの溝にチップ部品を実装し、直
接半田ボールに接続した状態の要部拡大正面図である。
ド・アレイ型パッケージの溝にチップ部品を実装し、直
接半田ボールに接続した状態の要部拡大正面図である。
【図11】本発明の第四実施形態に係るボール・グリッ
ド・アレイ型パッケージを示す概略正面図である。
ド・アレイ型パッケージを示す概略正面図である。
【図12】本発明の第四実施形態に係る高抵抗率の半田
ボールを採用したボール・グリッド・アレイ型パッケー
ジの電気回路図を示している。
ボールを採用したボール・グリッド・アレイ型パッケー
ジの電気回路図を示している。
1 プローブ 1a 接触棒 10 パッケージ 10a 基板 11 LSI 12 半田ボール 13 ホール 20 パッケージ 20a 基板 21 LSI 22 半田ボール 23 溝 24 チップ部品 25 電極 30 パッケージ 30a 基板 31 LSI 32 半田ボール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 酒井 浩行 神奈川県川崎市中原区小杉町一丁目403 番地 日本電気テレコムシステム株式会 社内 (72)発明者 佐藤 正樹 神奈川県川崎市中原区小杉町一丁目403 番地 日本電気テレコムシステム株式会 社内 (56)参考文献 特開 平9−260434(JP,A) 特開 平7−183666(JP,A) 特開 平9−246424(JP,A) 実開 昭59−11449(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 23/12 H01L 21/60
Claims (5)
- 【請求項1】 基板の上面に電子部品を実装するととも
に、この基板の下面に複数の半田ボールをマトリックス
状に配設し、この複数の各半田ボールを、前記基板内部
に備えた複数の通電部を介して前記電子部品と通電する
ことにより端子を構成したボール・グリッド・アレイ型
パッケージにおいて、 前記基板の少なくとも一の側面に開口するとともに、当
該基板内部の前記複数の各通電部まで連通したホールを
備え、 このホールに、検査用の接触棒を挿入することにより、
当該接触棒の先端が前記複数の各通電部に接触すること
を特徴としたボール・グリッド・アレイ型パッケージ。 - 【請求項2】 前記ホールが、 前記マトリックス状に配設された半田ボールの各列ごと
に形成され、前記基板の少なくとも一側面に開口すると
ともに、前記半田ボールの各列に沿って前記通電部近傍
を通過する複数のホール本体と、 この複数の各ホール本体から前記複数の各通電部にそれ
ぞれ連通する複数の溝部と、からなり、 前記複数の各ホール本体から、先端鉤形に形成した前記
検査用の接触棒を挿入することにより、当該接触棒の先
端が、前記溝部を介して前記複数の各通電部に接触する
請求項1記載のボール・グリッド・アレイ型パッケー
ジ。 - 【請求項3】 前記半田ボールの各列に沿って形成され
る各ホールが、前記ホール本体を当該列の半田ボールに
対応して複数形成したホール群からなり、 このホール群の各ホール本体が、当該列の対応する半田
ボールと通電した各通電部に連通する溝部を有する請求
項2記載のボール・グリッド・アレイ型パッケージ。 - 【請求項4】 基板の上面に電子部品を実装するととも
に、この基板の下面に複数の半田ボールをマトリックス
状に配設し、この複数の各半田ボールを、前記基板内部
に備えた複数の通電部を介して前記電子部品と通電する
ことにより端子を構成したボール・グリッド・アレイ型
パッケージにおいて、 前記基板の下面に、前記複数の半田ボールの各周囲を囲
む格子状に溝を形成す るとともに、この溝にチップ部品
を配設し、かつ、前記チップ部品を介して前記複数の半
田ボールのうち隣接する半田ボール同士を接続したボー
ル・グリッド・アレイ型パッケージ。 - 【請求項5】 基板の上面に電子部品を実装するととも
に、この基板の下面に複数の半田ボールをマトリックス
状に配設し、この複数の各半田ボールを、前記基板内部
に備えた複数の通電部を介して前記電子部品と通電する
ことにより端子を構成したボール・グリッド・アレイ型
パッケージにおいて、 前記複数の半田ボールの全部又は一部を高抵抗率材料に
より形成したことを特徴とするボール・グリッド・アレ
イ型パッケージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10159720A JP3080924B2 (ja) | 1998-06-08 | 1998-06-08 | ボール・グリッド・アレイ型パッケージ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10159720A JP3080924B2 (ja) | 1998-06-08 | 1998-06-08 | ボール・グリッド・アレイ型パッケージ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11354674A JPH11354674A (ja) | 1999-12-24 |
JP3080924B2 true JP3080924B2 (ja) | 2000-08-28 |
Family
ID=15699815
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10159720A Expired - Fee Related JP3080924B2 (ja) | 1998-06-08 | 1998-06-08 | ボール・グリッド・アレイ型パッケージ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3080924B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003031710A (ja) * | 2001-07-12 | 2003-01-31 | Mitsumi Electric Co Ltd | モノリシックicパッケージ |
JP2004281960A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-07 | Renesas Technology Corp | 符号間干渉抑制抵抗を用いた超高速インタフェース |
JP2013096829A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Toshiba Corp | 測定用保持具及び測定装置 |
JP6434274B2 (ja) | 2014-10-27 | 2018-12-05 | ローム株式会社 | 半導体装置 |
-
1998
- 1998-06-08 JP JP10159720A patent/JP3080924B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11354674A (ja) | 1999-12-24 |
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