JP3078394B2 - 切り出し装置及びそれを用いた半導体ｉｃの切り出し方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、傾斜して設置されたレ
ール部材からワークを１個毎に切り出し、整列配置させ
る切り出し機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、ＩＣ製造工程において、個片Ｉ
Ｃを処理するＩＣハンドラー、捺印装置、リードスキャ
ナー等では、チューブ状のマガジンに入れられている個
片ＩＣを、１個ずつに分離・整列し、次工程のロボット
等によりピックアップできる位置（以下、単に「ピック
位置」と言う）に移す装置、すなわち切り出し装置が必
要となる。図４は、従来のＩＣハンドラーで使用されて
いる切り出し装置の一例を示した概略構成側面図であ
る。図において、この切り出し装置は、３０〜４０度傾
斜して設置されたレール部材５１と、このレール部材５
１の下端側に設けられたシャッター６０と、レール部材
５１の下端側に連結した状態で配置される切り出しステ
ージ５２とを備え、レール部材５１上を滑り落ちた個片
ＩＣ５０が切り出しステージ５２上に載置されるように
なっている。また、この切り出しステージ５２の前側下
部には、支軸５３を介して直進ガイド５４が取り付けら
れており、この直進ガイド５４がシリンダー５５の動作
に連動して前後する。

【０００３】一方、切り出しステージ５２の後側下部に
は、アーム５６および支軸５７を介してカムフォロアー
５８が取り付けられている。またアーム５６には、レー
ル部材５１のシャッター６０と対応して、開閉ピン５９
が後方に延ばされた状態で設けられている。更に、レー
ル部材５１の下端側における下方には、板カム６１が配
設されている。

【０００４】また、図中６２は直進ガイド５４のスライ
ド量を調整するためのスライド調整ネジで、図中６３は
レール部材５１上の個片ＩＣ５０が脱落するのを防止す
るため、レール部材５１の上面側に配設されたガイド板
である。

【０００５】次に、この切り出し装置の動作について説
明する。ここでの切り出しステージ５２は、シリンダ５
５の動作により、直進ガイド５４と共に図中点線で示す
ピック位置と実線で示すテイク位置とに移動する。そし
て、切り出しステージ５２がピック位置にあるときシャ
ッター６０は閉じており、レール部材５１を滑り落ちた
個片ＩＣ５０はレール部材５１上で停止（待機）してい
る。

【０００６】次いで、シリンダ５５が動作して、直進ガ
イド５４と共に切り出しステージ５２がシリンダ５５側
に引かれて移動すると、カムフォロアー５８が板カム６
１の傾斜面６１ａに接触する。このまま、さらに引かれ
て移動すると、この傾斜面６１ａの案内で切り出しステ
ージ５２はレール部材５１の傾きと同じ傾きになるまで
回動し、その後レール部材５１の下端側に連結される。
また、このときシャッター６０が開閉ピン５９により押
されて開き、個片ＩＣ５０が１つだけ切り出しステージ
５２上に自然落下して載る。

【０００７】続いて、この切り出しステージ５２上にあ
る個片ＩＣ５０は図示せぬバキューム溝で吸着され、さ
らにシリンダ５５の動作により直進ガイド５４と共にピ
ック位置へ移動する。また、この移動でシャッター６０
より開閉ピン５９が離れて再びシャッター６０が閉じ、
一連の動作が終了する。一方、上記切り出し装置で切り
出された個片ＩＣ５０は、個片ＩＣハンドラーであれば
ピックアンドプレイス、若しくはロボットハンドにより
テスト工程へ送られて処理され、捺印機であれば同様な
方法でスタンプ工程へ送られて処理されることになる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の切り出し装置においては、傾斜して設置されたレール
部材５１上を個片ＩＣ５０が自然落下にて滑り落ちるよ
うになっているため、シャッター６０を開いてから個片
ＩＣ５０が切り出しステージ５２に切り出されるまでの
時間（以下、切り出し時間と称す）がかかり過ぎるう
え、各個片ＩＣ５０間の切り出し時間にもバラツキが生
じるといった問題があった。また、個片ＩＣ５０の端面
には、モールド工程で発生したバリが完全に除去されず
に残っていることがあり、このような場合は、残ったバ
リが互いに重なり合って引っ掛かった状態となるため、
個片ＩＣ５０間の分離がスムースに行われないという不
都合があった。

【０００９】本発明は、上記問題に鑑みてなされたもの
であり、切り出し時間を短縮させるとともに、各ワーク
間の切り出し時間のバラツキを抑え、且つワーク間の分
離性をも向上させることが可能な切り出し装置を提供す
ることを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するためになされたもので、ワークの進行方向を案内す
る案内溝路が長手方向に沿って形成され、且つ所定角度
だけ傾斜して設置されたレール部材と、このレール部材
の上面側に案内溝路を覆う状態で取り付けられたガイド
板と、一端側を固定部とし他端側を自由端部としたもの
であって、その固定部がガイド板に固定され、その自由
端部がレール部材の切り出し位置においてガイド板から
案内溝路側に突出して配置された弾性部材と、一端側を
取付部とし他端側をストッパー部としたものであって、
その取付部がレール部材の下面側に設けた支軸に軸着さ
れ、そのストッパー部が上記切り出し位置において案内
溝路上に突出して配置されたシャッターと、支軸に連結
した操作部材を作動させて、その支軸を中心にシャッタ
ーを開方向と閉方向とに回転させる駆動部とを具備した
ものである。

【００１１】

【作用】本発明の切り出し装置においては、駆動部の駆
動によって操作部材を作動させると、支軸を中心にして
シャッターが開方向と閉方向とに回転する。また、レー
ル部材の案内溝路に沿って滑り落ちてくる最初のワーク
は、その案内溝路上に突出して配置されたシャッターの
ストッパー部に当接してレール部材の切り出し位置に停
止させられる。ここで、シャッターを開方向に回転させ
ると、切り出し位置に停止させられた最初のワークが切
り出しステージへと切り出される。この状態からシャッ
ターのを閉方向に回転させると、最初のワークに続いて
案内溝路上を滑り落ちてきた次のワークが、シャッター
のストッパー部によって、ガイド板側に押し上げられる
とともに、レール部材の後端側に幾分押し戻される。そ
して、ガイド板とシャッターのストッパー部とに挟持さ
れた状態で、レール部材の切り出し位置に停止させられ
る。更に、この状態からシャッターを開方向に回転させ
ると、上記切り出し位置に停止させられた次のワーク
が、シャッターのストッパー部に押し出されるようにし
て切り出しステージへと切り出される。後は、同様に以
降のワークが順次切り出しステージに切り出されてい
く。

【００１２】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。図１は、実施例における切り出し装置の概
略構成側面図である。図において、１はレール部材であ
り、これは所定角度、例えば３０〜４０°傾斜して設置
されている。また、レール部材１には長手方向に沿って
案内溝路２が形成されている。この案内溝路２は、レー
ル部材１を滑り落ちるワーク（本例では個片ＩＣをい
う）の進行方向を案内するもので、後述する個片ＩＣ２
５の端子部分を逃げられるように断面が略逆コ字形（図
３参照）に形成されている。ここで、レール部材１は、
その下端側の所定位置（次に切り出されるワークが待機
する位置）を切り出し位置としている。

【００１３】また、レール部材１の上面側には、案内溝
路２を覆う状態でガイド板３が取り付けられている。こ
のガイド板３は、案内溝路２に沿って滑り落ちる個片Ｉ
Ｃがレール部材１から脱落するのを防止するためのもの
である。

【００１４】一方、図中４は、例えば板バネによって構
成された弾性部材であり、この弾性部材４は、一端側を
固定部５とし他端側を自由端部６としている。これら各
部のうち、一方の固定部５には図示せぬ小孔が貫通して
明けられている。そして固定部５は、この小孔を通して
ガイド板３の螺子穴（不図示）にねじ込まれた取付螺子
７によってガイド板３に固定されている。これに対して
他方の自由端部６は、例えば弾性部材４の先端側を部分
的に折り曲げることにより、レール部材１の切り出し位
置においてガイド板３から案内溝路２側に突出して配置
されている。

【００１５】更に、図１において、８はシャッター、９
は操作部材、１０は駆動部であり、これらの構成につい
ては、図１及び図２〜図４を用いて以下に説明する。こ
こで、図２は実施例における切り出し装置の外観側面図
であり、図３は図２のＡ矢視図、図４は図２のＢ矢視図
である。

【００１６】まず、シャッター８の構成から説明する
と、これは一端側を取付部１１とし他端側をストッパー
部１２としている。これら各部のうち、一方の取付部１
１には図示せぬ貫通孔が明けられている。この貫通孔は
レール部材１の下面側に設けられた支軸１３に嵌合され
ている。更に、取付部１１にはセットスクリュウ１４が
螺合されており、このセットスクリュウ１４の先端部を
支軸１３の外面に圧接することにより取付部１１が支軸
１３に軸着されている。これに対して他方のストッパー
部１２は、レール部材１の先端側に形成された切欠溝１
６に嵌まり込んだかたちで、レール部材１の切り出し位
置において案内溝路２上に突出して配置されている。こ
こで、上述した支軸１３は、レール部材１下面の両側に
固定された一対の軸受部材１５，１５に回動自在に支持
されている。

【００１７】操作部材９は、支軸１３の一端に軸着され
た略く字形の回動レバー１７と、この回動レバー１７の
下端に取り付けられたカムフォロアー１８と、回動レバ
ー１７の上端に設けられた掛止ピン１９とによって構成
されている。ここで、レール部材１の側面には掛止ピン
２０が設けられており、このレール部材１側の掛止ピン
２０と操作部材９側の掛止ピン１９とにコイルバネ２１
の端部が掛止されている。そして、操作部材９はコイル
バネ２１の引っ張り力によって常に一方向に付勢されて
いる。同時に、この状態では、上述したシャッター８が
コイルバネ２１の引っ張り力によって切欠溝１６の端壁
に圧接され、これによりシャッター８のストッパー部１
２がレール部材１の案内溝路２上に突出した状態に保持
されている。

【００１８】駆動部１０は、例えば、エアーシリンダ２
２と、このエアーシリンダ２２のロッド先端に取り付け
られた押圧部材２３とによって構成されたもので、その
押圧部材２３が、上述したカムフォロアー１８の下側外
周面に近接して配置されている。なお、駆動部１０の構
成としては、エアーシリンダ２２を用いたもの以外に
も、例えば直動カムを用いたものや、或いはクランク機
構を利用したものなど、種々の変更が可能である。

【００１９】また、図１において、２４は切り出しステ
ージであり、この切り出しステージ２４は、図示せぬ移
動手段によりレール部材１の下端側に連結した状態で配
置される。そして、レール部材１の案内溝路２に沿って
滑り落ちてきた個片ＩＣ２５（後述）は、レール部材１
の切り出し位置から一個ごとに切り出しステージ２４へ
と切り出されるようになっている。

【００２０】次に、本実施例に係わる切り出し装置の動
作について説明する。まず、図１に示す状態から駆動部
１０を駆動させると、エアーシリンダ２２のロッドが延
出して押圧部材２３が上方に変位する。これにより、操
作部材９のカムフォロアー１８が押圧部材２３によって
押し上げられ、操作部材９の回動レバー１７が所定方向
に回転する。また、この回動レバー１７の回転に従って
支軸１３も回転し、更にこの支軸１３の回転に従ってシ
ャッター８が開方向Ｃに回転する。こうしてシャッター
８が開方向Ｃに回転すると、レール部材１の切り出し位
置において案内溝路２が開放された状態となるため、個
片ＩＣ２５はレール部材１上を滑り落ちて切り出し位置
から切り出しステージ２４へと切り出される（図５参
照）。

【００２１】続いて、駆動部１０の駆動によりエアーシ
リンダ２２のロッドを引き戻して押圧部材２３を元の位
置まで変位させると、コイルバネ２１の引っ張り力によ
って操作部材９の回動レバー１７が所定方向に回転し、
これに従ってシャッター８が閉方向Ｄに回転する。この
時、シャッター８のストッパー部１２は、先に切り出さ
れた個片ＩＣ２５に続いて切り出し位置に滑り落ちてき
た次の個片ＩＣ２５の下面に当接し、そのまま次の個片
ＩＣ２５をガイド板３側に押し上げる。その際、個片Ｉ
Ｃ２５の上面には弾性部材４の撓みによる押圧力が加わ
り、この押圧力が個片ＩＣ２５とシャッター８との当接
部分に摩擦力を生じさせる。そして、この摩擦力が生じ
たままシャッター８がさらに回転動作することにより、
個片ＩＣ２５はレール部材１の上端側に幾分（２ｍｍ程
度）押し戻される。また、ストッパー部１２によって押
し上げられた個片ＩＣ２５の上面は、ガイド板３より突
出して配置された弾性部材４の自由端部６に圧接された
後、ガイド板３とシャッター８のストッパー部１２とに
挟持された状態で、切り出しにおける個片ＩＣ２５の停
止状態が保持される（図６参照）。

【００２２】この状態から再びシャッター８を開方向Ｃ
に回転させると、シャッター８のストッパー部１２と個
片ＩＣ２５の下面との当接部分に生じる摩擦力により、
個片ＩＣ２５はストッパー部１２に押し出されるように
して切り出しステージ２４へと切り出される（図７参
照）。以降は、同様の動作が繰り返されて、各個片ＩＣ
２５が一個ごとにレール部材１の切り出し位置から切り
出しステージ２４へと切り出されていく。

【００２３】このように本実施例の切り出し装置におい
ては、最初の個片ＩＣ２５が切り出された後、それに続
いて切り出し位置に停止させられる２番目以降の個片Ｉ
Ｃ２５がシャッター８のストッパー部１２に押し出され
るようにして強制的に切り出しステージ２４へと切り出
される。その結果、従来の自然落下による切り出し方式
に比べると、格段に切り出し時間が短縮されるととも
に、各個片ＩＣ２５間の切り出し時間のバラツキが抑え
られる。

【００２４】また、切り出しステージ２４に切り出され
た個片ＩＣ２５の後に続いて切り出し位置に停止させら
れる次の個片ＩＣ２５が、シャッター８のストッパー部
１２によって、ガイド板３側に押し上げられるととも
に、レール部材１の上端側に幾分押し戻されるようにな
っているため、たとえ個片ＩＣ２５の端面にバリが残っ
ていたとしても、バリの重なりによる引っ掛かりが起こ
らなくなり、個片ＩＣ２５間の分離が確実に行われるよ
うになる。

【００２５】なお、上記実施例の構成においては、シャ
ッター８と操作部材９とを別々に設けるようにしたが、
本発明はこれに限らず、シャッター８と操作部材９とを
一体に構成するようにしてもよい。また、本実施例の切
り出し装置においては、シャッター８の開閉動作を行う
駆動部１０を、切り出しステージ２４を移動させるため
の駆動系や、切り出されたワークをピックアップするロ
ボットの駆動系などに連動させるようにすれば、より高
速で且つ安定した切り出し動作を行わせることが可能と
なる。

【００２６】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、レ
ール部材の切り出し位置に停止させられたワークが、シ
ャッターのストッパー部に押し出されるようにして強制
的に切り出しステージへと切り出されるため、従来の自
然落下による切り出し方式に比べて格段に切り出し時間
が短縮されるとともに、各ワーク間の切り出し時間のバ
ラツキが抑えられる。また、切り出しステージに切り出
されたワークの後に続いて切り出し位置に停止させられ
るワークが、シャッターのストッパー部によって、ガイ
ド板側に押し上げられるとともに、レール部材の上端側
に幾分押し戻されるようになっているため、たとえワー
クの端面にバリが残っていたとしても、バリの重なりに
よる引っ掛かりが起こらなくなり、ワーク間の分離が確
実に行われるようになる。これにより、切り出し装置に
おけるワーク間の分離性が大幅に向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例における切り出し装置の概略構成側面図
である。

【図２】実施例における切り出し装置の外観側面図であ
る。

【図３】図２のＡ矢視図である。

【図４】図２のＢ矢視図である。

【図５】切り出し装置の動作説明図（その１）である。

【図６】切り出し装置の動作説明図（その２）である。

【図７】切り出し装置の動作説明図（その３）である。

【図８】従来の概略構成側面図である。

【符号の説明】

１ レール部材 ２ 案内溝路 ３ ガイド板 ４ 弾性部材 ５ 固定部 ６ 自由端部 ８ シャッター ９ 操作部材 １０ 駆動部 １１ 取付部 １２ ストッパー部 ２５ 個片ＩＣ（ワーク）

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークの進行方向を案内する案内溝路が
   長手方向に沿って形成され、且つ所定角度だけ傾斜して
   設置されたレール部材と、 前記レール部材の上面側に前記案内溝路を覆う状態で取
   り付けられたガイド板と、 一端側を固定部とし他端側を自由端部としたものであっ
   て、前記固定部が前記ガイド板に固定され、前記自由端
   部が前記レール部材の切り出し位置において前記ガイド
   板から前記案内溝路側に突出して配置された弾性部材
   と、 一端側を取付部とし他端側をストッパー部としたもので
   あって、前記取付部が前記レール部材の下面側に設けた
   支軸に軸着され、前記ストッパー部が前記切り出し位置
   において前記案内溝路上に突出して配置されたシャッタ
   ーと、 前記支軸に連結した操作部材を作動させて、前記支軸を
   中心に前記シャッターを開方向と閉方向とに回動させる
   駆動部とを具備したことを特徴とする切り出し装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の切り出し装置を用いて半
   導体ＩＣを切り出すことを特徴とする半導体ＩＣの切り
   出し方法。