JP3072909B2 - ホログラムの回折効率測定方法およびその装置 - Google Patents
ホログラムの回折効率測定方法およびその装置Info
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Description
装置に使用されるホログラムの性能の一つである回折効
率を測定する方法およびその装置に関するものである。
にレーザビームを用いる方法が知られている。レーザビ
ームを用いる方法とはホログラムにレーザビームを入射
した際の、ホログラムに記録されている干渉縞によって
回折された1次回折光の光強度とホログラムに入射する
前のレーザビームの光強度との比からホログラムのレー
ザビーム入射点における回折効率を得るものである。
方法であるため、ホログラム全体に渡る回折効率分布を
測定することができないという問題がある。
の回折効率を測定可能とすることである。
た波長を有するレーザー光を干渉縞が記録されたホログ
ラムの全体に照射して該ホログラムを直進して透過する
透過光の強度(I0)を測定すること、 前記ホログラムに入射する前記レーザー光の入射光の
強度(Ii)を測定すること、 前記ホログラムの特定部位に入射する前記レーザー光
の入射光の強度(IiA)を測定すること、 前記ホログラムの特定部位のノイズ光の強度(InA)
を測定すること、 前記4つの強度に基づいて下記式により前記ホログラ
ムの回折効率(η)を求めること、 η=(1−I0/Ii−InA/IiA)×100% という技術的手段を採用したものである。
できる。
進して透過する透過光の強度であり、IiAおよびI′iA
は前記特定部位にに入射する前記レーザー光の入射光の
強度であり、I′1Aは前記特定部位における前記ホログ
ラムの一次回折光の強度である。
特定部位のノイズ光の強度(InA)を測定することによ
り、ホログラムの回折効率を測定したが、このノイズ光
の強度(InA)は、予め設定された値であってもよい。
縞を作成する際に用いたレーザー光の波長と同一であっ
てもよい。
する手段と、 該手段により拡大されたレーザービームがその全体に
入射され、干渉縞が記録されたホログラムと、 前記ホログラムに入射する前記レーザー光の入射光
(Ii)および前記ホログラムを直進して透過する透過光
(I0)が入力される撮像機と、 前記ホログラムの特定部位に入射する前記レーザー光
の入射光の強度(I′iA)、該特定部位にの前記ホログ
ラムの一次回折光の強度(I′1A)、および該特定部位
の前記ホログラムを直進して透過する透過光の強度(I
0A)を測定する点効率測定手段と、 前記撮像機からの前記光の強度および前記点効率測定
手段からの前記光の強度を基に下記式に基づいて前記ホ
ログラムの前記回折効率を測定する回折効率計算手段
と、 を具備する η=(1−I0/Ii−InA/IiA)×100% InA/IiA=1−η′A−I0A/IiA η′A=I′1A/I′iA という技術的手段を採用してもよい。
ではなく、ホログラム全体に渡る回折効率を測定するこ
とができる。
定することができる。従って、一点のみの回折効率を測
定する場合に比べて精度のよい測定が期待できる。
る。
22aとベースプレート23とを用いボルト24によってベー
ス20に固定されている。以下に述べるすべての構成部品
は光学レール21にかみ合わされたキャリア22b上に配置
されており、光学レール21上を、レール21の軸線方向に
移動可能である。
及びレーザホルダによって支持され、レーザ光源1から
出射されたレーザビーム2の高さ及び出射方向(以後光
軸と呼ぶ)を調整可能となっている。NDフィルタ25及び
可変式NDフィルタ26はレーザビーム2を必要な明るさに
調節するフィルタであり、各フィルタはそれぞれホルダ
25a及び26bにて支持されている。NDフィルタ25は通常第
1図に描かれている位置にあるが、後で述べる点効率測
定時にのみホルダ25aをレーザビーム2がNDフィルタ26
に直接入射可能となる位置まで横方向に移動可能な構成
としてある。可変式NDフィルタ26は、CCDカメラ10に取
り込まれる収束光9の光強度がCCDカメラ10のダイナミ
ックレンジ内に収まる明るさに調節するものである。各
NDフィルタ25及び26を通過したレーザビーム2は、光軸
に対し45度傾けて配置されたハーフミラー27によって直
進するレーザビーム2aと、光軸に対し90度の方向に反射
されたレーザビーム2bとに分割される。直進するレーザ
ビーム2aは、ハーフミラー27と同様に光軸に対し45度傾
けて配置されたミラー29によって光軸に対し90度の方向
に反射される。反射されたレーザビーム2cは、その進行
方向に配置されたミラー30によってレーザビーム2cの進
行方向に対し90度回転した方向、すなわちレーザビーム
2aの進行方向と逆向きのレーザビーム2dとなる。レーザ
ビーム2dは、ディスク面に多数の径の異なる穴を有し、
ディスクの回転によりその穴を選択できる可変ピンホー
ル31を通過しスペーシャルフィルタ3に入射される。ス
ペーシャルフィルタ3は、対物レンズ3aと図示せぬ心出
し機構及びピンホールとから成り、レーザビーム2dは対
物レンズ3aによって収束され対物レンズ固有の焦点距離
の位置においてレーザビーム2dのビーム径が最小となり
以後は発散光2eとなる。上記の焦点位置とピンホールの
中心とが重なるように心出し機構によって対物レンズ3a
及びピンホールの位置を調整させる。発散光2eは、発散
光2eが平行光5となる位置に配置された凸レンズ4によ
って平行光化され、ホログラム6に入射される。ホログ
ラム6は干渉縞が記録された公知の透過型であり、全体
が円板状であって、該ホログラム6はホルダ6aによって
支持されている。ホルダ6aは図示せぬ並進ステージ及び
回転ステージ6b上に配置されている。ホログラム6は上
記並進ステージによって矢印×の方向に移動可能であ
り、また回転ステージ6bによって矢印θの方向に回転可
能である。更に、ホルダ6aは光軸を中心に回転可能な構
造となっておりこれらの動作によってホログラム6の位
置決めを可能としている。
によって遮断される外輪部分及びホログラム6に記録さ
れている干渉縞によって回折される図示せぬ回折成分を
除いた直進する0次透過光7は、凸レンズ8によって収
束され、その収束光9はCCDカメラ10に取り込まれる。
取り込まれた収束光9は0次透過光強度分布画像データ
として後述する画像メモリ11に記録される。
束光9はホログラム6への入射光となり、入射光強度分
布画像データとして画像メモリ11に記録される。なお、
レーザビームの波長は、ホログラム6の干渉縞記録時の
レーザビームの波長と同一としてあり、例えば670n・m
である。
理手段について第2図、第4図及び第5図を用いて説明
する。第2図はホログラムへの入射光及び出射光を描い
た図、第4図はデータ処理手段の構成図、第5図は回折
効率判定手段のフローチャートである。
入射される入射光Iiは(第1図の平行光5)は様々な方
向へ分岐して出射する。出射光には、ホログラム6に記
録された干渉縞により回折された1次回折光I1とホログ
ラム6に直進して透過した0次透過光I0との他に、次な
る出射光成分がある。即ち、1次回折光I1の回折角θ1
よりも大きな回折角で回折するN次回折光In(N=1,2,
…)、光軸に関して上記N次回折光Inと対称な位置に回
折されるマイナスN次回折光In′(N′=−1,−2,
…)、入射光Iiのホログラム6上の入射点に関して上記
In及びIn′と対称な方向へ反転される反射光IR及び
IR′、更にホログラム6の内部で散乱される図示せぬ散
乱光ISなどがある。
外の光を本発明においては総じてノイズ光INと呼ぶ。そ
して、入射光Iiと各出射光との関係は次式で表される。
強度Iiに対する1次回折光強度I1の比で与えられる。
折効率ηの計算式が求まる。
成分を含んでいるため正確な値を直接知ることはできな
い。しかし、従来の回折効率測定法を用いればノイズ光
Inを間接的に求めることが可能となる。
ラム6内お特定部位の点Aにおける回折効率η′Aは
(2)式より次の様になる。
る1次回折光及び入射光の強度である。
(3)式を用いて次の様になる。
おける光強度である。
に等しいとすると、 上式を変形し、 上式がホログラム内の点Aにおけるノイズ光成分とな
る。上式(6)で計算されたノイズ光をホログラム6の
ノイズ光の代表値とすれば、本発明による、ホログラム
6の任意の点における回折効率ηは(3)式に(6)式
を代入した次式で与えられる。
求めるための光学系を第1図及び第3図を用いて説明す
る。ハーフミラー27によって光軸に対し90度の方向に反
射されたレーザビーム2bはミラー28によって90度反射さ
れ、ホログラム6に垂直に入射される。第3図はレーザ
ビームの経路を示した図である。ミラー28がNの位置に
あるときレーザビーム2bはホログラム6内の点aに入射
し、ホログラム6によって回折された1次回折光I′1a
が光センサ34(光パワーメータ)に入射される。また、
ミラー28がMの位置にあるときはレーザビーム2bはホロ
グラム6には入射せずに直接センサ34に入射する。この
ビームはホログラム6へ入射する前のビームと同じなの
で、このビームを入射光I′iAとすると、I′1aとから
点aにおける回折効率ηaは次の式で求められる。
べる。まず、ホログラム6への入射光Iiの面分布はCCD
カメラ10によって撮影され上記Iiは入射光面分布画像Pi
として画像メモリ11に送られ、CPU12内のメモリ12aにて
保管される。同時に、CRT等の画像表示手段13によって
面分布画像が表示される。一方、0次透過光I0もCCDカ
メラ10によって撮影され、0次透過光面分布画像P0とし
て画像メモリ11に送られ、画像表示手段13に表示され
る。Pi及びP0は回折効率計算手段12bに送られ、前述の
(7)式を用いて回折効率面分布Efを計算する。Efは画
像メモリ11に記憶され画像表示手段13に表示される。ま
たEfは回折効率判定手段12cに送られる。回折効率判定
手段12cは公知の画像処理手法であるn値化処理を行う
手段であり、n−1個のしきい値を与えて回折効率面分
布Efをn段階に区切ったn値回折効率分布Enは画像メモ
リ11に記憶されるとともに、基準を満足するかどうかの
合否判定を行い画像表示手段13に表示される。なお、画
像メモリ11のP0は後述のホログラム6の特定部位A点の
0次透過光も含むものである。
ートで説明する。
プ102で入射光であることを確認し、ステップ103で入射
光を画像メモリ11を取込む。次に、ステップ104におい
て、0次透過光であることを確認し、ステップ105にて
後述の点効率測定を行いステップ106で0次透過光を取
込む。この際、先に取り込んだ入射光はCPU12内のメモ
リ12aに退避させておく。
テップ201においてホログラム6の特定部位A点に入射
されたレーザビームの入射位置(第3図のA点)を、直
進する透過光がCCDカメラ10内のCCD素子に入射した位置
として検出し、この位置に対応するステップ103,106に
おいて各々取り込まれた入射光および透過光における位
置の強度IiA,Ii0を回折効率計算手段12bに送る。一方、
ステップ202において、前述の操作に基づき、ホログラ
ム6内のある点Aにおける入射ビーム及び1次回折ビー
ムの強度を測定(前記(4)式におけるI′1A,I′i0)
し、ステップ203でビーム入射点Aにおける回折効率
(前記(4)式)を計算し、ステップ204で前記η′A,
I′1A,I0Aを用いて前記(6)式によりノイズ光成分を
計算する。ステップ103及び106において取込んだ画像を
もとにステップ107においてホログラム6の回折効率
(前述の(7)式)を計算する。ステップ107の計算結
果を用いてステップ108で前述したn値化処理を行い。
ステップ109で処理結果を画像表示手段13を用いて表示
する。次に、ステップ110で、先のステップ107で求めた
回折効率結果の合否の判定を行い、ステップ111にて判
定結果を画像表示手段13に表示する。ステップ112で終
了となる。
HCCDカメラ10、画像メモリ11に取込まれるため、これら
の画素像が多ければ、ホログラム面の単位面積当りの分
解能が向上し、ホログラム面の傷、気泡等の欠陥の検出
を容易に行うことができる。
能である。
ラム毎にノイズ光成分を(6)式から計算するのではな
く、例えば1個のホログラムのノイズ光成分を求め、こ
れを代表値として(7)式に直接代入することにより、
測定対象の多数のホログラム毎のノイズ光成分を測定す
る必要がなくなる。これは、第1図のミラー27及び28,
第3図におけるセンサ34,更に第5図における点効率測
定ルーチン105がすべて不要となるため、上記実施例に
比べ簡単に回折効率を測定することが可能となる。
グラム等の反射型ホログラム6であってもよい。
は、ホログラムに干渉縞を記録させるレーザー光の波長
と同一にする必要はない。
ードで代用しても勿論よい。
る透過光強度を求めるために、該特定部位の後方側に第
3図の光パワーメータ34を配置し、部特定部位における
透過光の強度を直接に求めるようにしても勿論よい。
るホログラムの回折効率測定にも適用できる。
はホログラムへの入射光及び出射光を示す図、第3図は
レーザビームの経路を示す図、第4図はデータ処理手段
の構成を示す図、第5図は回折効率測定のフローチャー
トを示す図である。 1……レーザー光源,6……ホログラム,10……CCDカメ
ラ,11……画像メモリ,12……CPU,12a……メモリ,12b…
…回折効率計算手段,12c……回折効率判定手段,27,28,3
4……点効率測定手段をなすミラー,光パワーメータ。
Claims (8)
- 【請求項1】予め設定された波長を有するレーザー光を
干渉縞が記録されたホログラムの全体に照射して該ホロ
グラムを直進して透過する透過光の強度(I0)を測定す
ること、 前記ホログラムに入射する前記レーザー光の入射光の強
度(Ii)を測定すること、 前記ホログラムの特定部位に入射する前記レーザー光の
入射光の強度(IiA)を測定すること、 前記ホログラムの特定部位のノイズ光の強度(InA)を
測定すること、 前記4つの強度に基づいて下記式により前記ホログラム
の回折効率(η)を求めること、 η=(1−I0/Ii−InA/IiA)×100% を特徴とするホログラムの回折効率測定方法。 - 【請求項2】予め設定された波長を有するレーザー光を
干渉縞が記録されたホログラムの全体に照射して該ホロ
グラムを直進して透過する透過光の強度(I0)を測定す
ること、 前記ホログラムに入射する前記レーザー光の入射光の強
度(Ii)を測定すること、 前記ホログラムの特定部位に入射する前記レーザー光の
入射光の強度(IiA)を測定すること、 前記ホログラムの特定部位のノイズ光の強度(InA)を
予め設定すること、 前記4つの強度に基づいて下記式により前記ホログラム
の回折効率(η)を求めること、 η=(1−I0/Ii−InA/IiA)×100% を特徴とするホログラムの回折効率測定方法。 - 【請求項3】前記ノイズ光は下記式に求められることを
特徴とする請求項(1)記載のホログラムの回折効率測
定方法。 InA/IiA=1−η′A−I0A/IiA η′A=I′1A/I′iA 但し、I0Aは前記特定部位において前記ホログラムを直
進して透過する透過光の強度であり、IiAおよびI′iA
は前記特定部位に入射する前記レーザー光の入射光の強
度であり、I′1Aは前記特定部位における前記ホログラ
ムの一次回折光の強度である。 - 【請求項4】前記レーザー光の波長は、前記ホログラム
の前記干渉縞を作成する際に用いてレーザー光の波長と
同一であることを特徴とする請求項(1)または(2)
のいづれか1項記載のホログラムの回折効率測定方法。 - 【請求項5】予め設定された波長を有するレーザー光を
干渉縞が記録されたホログラムの全体に照射して該ホロ
グラムを直進して透過する透過光の強度(I0)を測定す
る第1ステップと、 前記ホログラムに入射する前記レーザー光の入射光の強
度(Ii)を測定する第2ステップと、 前記ホログラムの特定部位に入射する前記レーザー光の
入射光の強度(IiA)を測定する第3ステップと、 前記ホログラムの特定部位のノイズ光の強度(InA)を
測定する第4ステップと、 を具備し、 前記第1ステップ〜第4ステップを順次行い、各ステッ
プにより測定した各光の強度に基づいて、 η=(1−I0/II−InA/IiA)×100% の式により、前記ホログラムの回折効率(η)を求める
ことを特徴とするホログラムの回折効率測定方法。 - 【請求項6】前記ノイズ光は下記式に求められることを
特徴とする請求項(5)記載のホログラムの回折効率測
定方法。 InA/IiA=1−η′A−I0A/IiA η′A=I′1A/I′iA 但し、I0Aは前記特定部位において前記ホログラムを直
進して透過する透過光の強度であり、IiAおよびI′iA
は前記特定部位に入射する前記レーザー光の入射光の強
度であり、I′1Aは前記特定部位における前記ホログラ
ムの一次回折光の強度である。 - 【請求項7】レーザー光源と、 該レーザー光源から出射されるレーザービームを拡大す
る手段と、 該手段により拡大されたレーザービームがその全体に入
射され、干渉縞が記録されたホログラムと、 前記ホログラムに入射する前記レーザー光の入射光
(Ii)および前記ホログラムを直進して透過する透過光
(I0)が入力される撮像機と、 前記ホログラムの特定部位に入射する前記レーザー光の
入射光の強度(I′iA)、該特定部位の前記ホログラム
の一次回折光の強度(I′1A)、およひ該特定部位の前
記ホログラムを直進して透過する透過光の強度(I0A)
を測定する点効率測定手段と、 前記撮像機からの前記光の強度および前記点効率測定手
段からの前記光の強度を基に下記式に基づいて前記ホロ
グラムの前記回折効率を測定する回折効率計算手段と、 を具備する η=(1−I0/Ii−InA/IiA)×100% InA/IiA=1−η′A−I0A/IiA η′A=I′1A/I′iA ことを特徴とするホログラムの回折効率測定装置。 - 【請求項8】前記撮像機はCCDカメラより構成されてい
ることを特徴とする請求項(7)記載のホログラムの回
折効率測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP02268694A JP3072909B2 (ja) | 1990-10-05 | 1990-10-05 | ホログラムの回折効率測定方法およびその装置 |
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JPH04145341A JPH04145341A (ja) | 1992-05-19 |
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Family
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JP02268694A Expired - Lifetime JP3072909B2 (ja) | 1990-10-05 | 1990-10-05 | ホログラムの回折効率測定方法およびその装置 |
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