JP3070294U - 検査用探針装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 検査端子との接触抵抗を引き下げること
により検査に対する信頼性が高まり、部品点数が減少さ
れる改善された構造により、製造コストがダウンされ、
組立の作業性が向上される検査用探針装置を提供する。 【解決手段】 検査用探針装置は、バー状に形成されそ
の下部に支持部が形成された検査用探針と、前記検査用
探針の外表面上に巻き付きその下端部が前記支持部に掛
かって支持されるように設けられる弾性バネと、シリン
ダ状に形成され前記検査用探針の上端部分に挿入されそ
の下端部が前記弾性バネの上端部と接触して弾性的に支
持される検査接触用スリーブとを含み、前記スリーブの
上端部は検査対象物の検査接触面と弾性的に検査接触す
ることにより前記検査対象物からの電流を前記検査用探
針側に伝えることができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する技術分野】

本考案は検査用探針装置に係り、特に、検査端子との接触抵抗を引き下げるこ とにより検査に対する信頼性を高めることが可能であり、部品点数が減少される 改善された構造を実現することにより製造コストをダウンさせ、組立の作業性を 向上させることができる検査用探針装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

一般に、電子製品内には多くのチップが装着されており、これらチップは電子 製品の性能を決定する大切な役割をする。チップは電流が流れる導体からなるこ とが大部分であるが、最近は導体と不導体(絶縁体)との中間抵抗を有する半導体 が多用されている。

【０００３】 半導体は１０^-5〜１０^-8（Ωｍ）程度の抵抗率を持つ導電物質であって、一般 に、半導体チップ（chip）は四角形状の本体と、本体の両側から延長される複数 のリードとで構成される。これにより、リードを通じて電気的信号を本体側に入 力したり、出力したりすることができる。

【０００４】 これらチップはそれぞれ様々な機能を行うようになっており、電気的信号等が バスにより各チップに伝送される。このような回路基板が高密度に集積されて形 成されたチップが高密度集積マイクロチップであり、マイクロチップは電子製品 に装着されて製品の性能を決定する大切な役割をする。

【０００５】 従って、電子製品にチップが装着されて電子製品の組立が完成される前に、生 産された半導体チップが良品であるか不良品であるかを検査しなければならない 。

【０００６】 このように、チップテスト用検査ソケット装置を用いて、半導体チップを検査 する。

【０００７】 従って、電子製品のマイクロチップの状態が定常であるか否かを確認するため の検査装置による検査が必要である。このような検査のため、検査用探針装置が （probing device）が用いられ、多くの検査用探針装置は検査用ソケット装置 （probing socket device）に装着されて用いられる。

【０００８】 図１は従来の検査用探針装置を用いて検査対象物を検査することを示した状態 図である。この図面に示したように、検査用回路基板１０１上には検査用ソケッ ト１０３が装着されており、ソケット１０３の上部には検査対象物であるマイク ロチップ１０２が置かれることにより検査を受けることができるようになってい る。検査用ソケット１０３には多くの検査用探針装置１０５が装着されており、 探針装置１０５の上端部には連結用ワイヤ（wire）１０７が連結されている。こ れにより、探針装置１０５の下部末端部が検査対象用マイクロチップ１０２の多 地点と接触された状態でマイクロチップ１０２からの電流が探針装置１０５の本 体及び探針装置１０５の上端部のワイヤを通じて回路基板１０１側に流れること により、検査対象用チップ１０２の検査が行われるようになっている。

【０００９】 探針装置１０５は、図２に示したように、バレル状に形成された外筒１１１と 外筒１１１内にスライディング移動可能に設けられる検査用探針１１７等で構成 されている。外筒１１１の上端部には連結用ワイヤ１０７が連結されており、外 筒１１１の上端部領域の外表面の一地点が外周方向に沿ってコーキングされるこ とにより半径方向内側に陥没されて、輪状の上部係止爪１１３が形成されている 。又、外筒１１１の下部領域にも外表面の二箇所が相対向するようにコーキング されて、下部係止爪１１５が相対向配置されている。

【００１０】 外筒１１１内には、図３に示したように、圧縮コイルバネ１２１が受容されて おり、圧縮コイルバネ１２１の上端部は外筒１１１の上部係止爪１１３に係止さ れて支持される。又、回路基板１０１と直接接触するバー状の検査用探針１１７ が外筒１１１内に受容されており、探針１１７の上端部が圧縮コイルバネ１２１ の下端部と接触することにより探針１１７が弾性的に支持されるようになってい る。

【００１１】 探針１１７の外表面上には、両側部位の二箇所に長手方向に沿って所定長さの グルーブ（groove）１１９が形成されている。探針１１７は外筒１１１の各下部 係止爪１１５が各グルーブ１１９内に位置するように外筒内に受容されており、 グルーブ１１９の長手方向の両側壁部が下部係止爪１１５に係止されることによ り、探針１１７の運動距離が制限される。又、探針１１７のグルーブ１１９以外 の外表面が外筒１１１の内壁面と面接触することにより、探針１１７の下部に形 成された接触尖部を通じて伝導される電流が面接触部を通じて外筒１１１の本体 側に流れ、外筒１１１のワイヤ１０７を通じて外部に抜け出ることができるよう になっている。

【００１２】 このような構成により、マイクロチップ１０２を検査する時には、検査のため 、ソケット１０３の上部にマイクロチップ１０２を安着させ、ソケット１０３に 設けられた加圧部（図示せず）がマイクロチップ１０２を下方に加圧することに より、マイクロチップ１０２が探針装置１０５の探針１１７と接触するようにな る。

【００１３】 探針１１７の下端部の検査尖部がマイクロチップ１０２の底面と接触した状態 で探針１１７は外筒１１１内で後方に離隔される。後方に離隔された探針１１７ は圧縮コイルバネ１２１を圧縮しつつグルーブの長さくらい移動した後に、グル ーブ１１９の下部側の端部領域が外筒１１１の下部係止爪１１５に係止されるこ とにより、離隔阻止される。

【００１４】 この状態で、マイクロチップ１０２からの電流は、探針１１７の検査尖部を通 じて探針１１７の本体側に流れ探針１１７のグルーブ１１９部分を除外した外表 面と面接触する外筒１１１の内壁面を通じて外筒１１１の本体部側に流れ外筒１ １１の上端部のワイヤ１０７を通じて外部に抜け出るようになる。又、外筒１１ １の内壁面を通じて流れる電流の一部は圧縮コイルバネ１２１を通じてもワイヤ １０７側に流れる。従って、回路基板１０１から電流が探針装置１０５を通じて 別途に設けられた検査装置（図示せず）に流れることにより、マイクロチップ１ ０２の検査が行われる。

【００１５】 検査が終わると、ソケット１０３の加圧部がマイクロチップ１０２に対する加 圧を解除して、マイクロチップ１０２が上方に移動する。これにより、探針１１ ７がマイクロチップ１０２の底面の検査端子から離脱され、外筒１１１内の圧縮 コイルバネ１２１の弾性復元力によりスライディング移動して検査前の位置に帰 るようになる。

【００１６】 このように行われる検査に対する信頼性は探針装置１０５による円滑な電流の 流れにより決定される。そのため、検査対象物であるマイクロチップ１０２と探 針１１７の検査接触面の接触面積が広いほどに流れる電流量が多いので、一定の 電圧下での接触抵抗を引き下げることができる。

【００１７】 ところが、探針１１７の検査接触尖部が尖った形状に形成されて、マイクロチ ップ１０２との接触面積が広くないので、接触抵抗が大きいので検査に対する信 頼性が低いという問題がある。

【００１８】 又、従来の探針装置１０５は、外筒１１１と、外筒１１１内に設けられる検査 用探針１１７と、外筒１１１内で検査用探針を囲む圧縮コイルバネ１２１等で比 較的複雑に構成されているので、組立が複雑であり、組立の作業性が高くないと の問題もある。又、部品点数が多いので製造コストアップの短所もある。

【００１９】

【考案が解決しようとする課題】

従って、本考案の目的は、前記の問題点に鑑み、検査端子との接触抵抗を引き 下げることにより検査に対する信頼性を高めることが可能であり、部品点数が減 少される改善された構造を実現することにより製造コストをダウンさせ、組立の 作業性を向上させることができる検査用探針装置を提供することを目的とする。

【００２０】

【課題を解決するための手段】

本考案は、前記課題を解決するため、バー状に形成されその下部に支持部が形 成された検査用探針と、前記検査用探針の外表面上に巻き付きその下端部が前記 支持部に掛かって支持されるように設けられる弾性バネと、シリンダ状に形成さ れ、前記検査用探針の上端部分に挿入されてその下端部が前記弾性バネの上端部 と接触することにより弾性的に支持される検査接触用スリーブとを含み、前記ス リーブの上端部は検査対象物の検査接触面と弾性的に検査接触することにより前 記検査対象物からの電流を前記検査用探針側に伝えることを特徴とする。

【００２１】 ここで、前記検査接触用スリーブはその下端部に支持用フランジが円周方向に 沿って外向突出されており、前記弾性バネの上端部と直接接触することが好まし い。

【００２２】 これにより、検査接触用スリーブの上端面が検査対象物の検査接触面と均一に 接触することにより、検査端子との接触抵抗が減少して検査に対する信頼性が高 まる。又、従来より、検査用探針と、弾性バネと、スリーブとで構成される簡単 な構造により、製造コストがダウンされ、組立の作業性が向上される。

【考案の実施の形態】

【００２３】 以下、添付した図面を参照して本考案の実施例を詳しく説明する。

【００２４】 図４は本考案による検査用探針装置の分解斜視図であり、図５は図４の検査用 探針装置を用いて検査対象物を検査する状態を示した一部切取断面図である。こ れら図面に示したように、本考案による検査用探針装置は、バー状に形成されそ の下部に支持部２０１が形成された検査用探針２００と、検査用探針２００の外 表面上に巻き付きその下端部が前記支持部２０１に掛かって支持されるように設 けられる弾性バネ２０５と、シリンダ状に形成され検査用探針２００の上端部分 に挿入されてその下端部が前記弾性バネ２０５の上端部と接触することにより弾 性的に支持される検査接触用スリーブ２１０とで構成される。

【００２５】 検査用探針２００は円形バー状に形成されており、その下部領域には円形の支 持部２０１が円形バーの外表面に外向突出されている。

【００２６】 検査用探針２００の外表面上に挿入される弾性バネ２０５は圧縮コイルバネで あって、検査用探針２００の最上端部分を除外した上部領域の殆どを覆うように 装着されている。

【００２７】 検査用探針２００の上端部に填め込まれるスリーブ２１０は、内部の空いてい るシリンダ状に形成されその下端部には支持用フランジ２１１が円周方向に沿っ て外向突出されている。これにより、この支持用フランジ２１１が弾性バネ２０ ５の上端部と直接接触する。又、このスリーブ２１０の上端部は、検査対象物２ ２０の検査接触面と弾性的に検査接触することにより検査対象物２２０からの電 流を検査用探針２２０側に伝えることができるようになっている。

【００２８】 これにより、検査対象物２２０からの検査電流はスリーブ２１０の上端部を通 じてスリーブ２１０に伝達され、続いて、スリーブ２１０と接触している検査用 探針２００に流れて検査用探針２００の下部にある検査装置に伝達されるように なっている。

【００２９】 この時、スリーブ２１０の上端部が検査対象物２２０の検査接触面と比較的均 一に接触するので、接触抵抗が従来より著しく小さくなることにより、検査に対 する信頼性が高まる。

【００３０】 以下、本考案による検査用探針装置を組み立てる過程を説明する。

【００３１】 前記検査用探針装置を組み立てる時には、先に検査用探針２００を検査装置に 装着し、探針２００の長手方向に弾性バネを２０５を簡単に填め込む。その後、 探針２００の上端部分にスリーブ２１０を挿入することにより組立が完成される 。

【００３２】 従来の探針装置がバレル状の外筒内に探針及び弾性バネ等を装着する比較的複 雑な組立工程を経ることに比べて、本考案による組立工程はとても簡単であり短 時間内に組立が行われるので、組立工の数が減り、組立の作業性が顕著に向上さ れる。又、比較的製造コストの高い外筒が本考案では用いられないので、製造コ ストダウンの効果がある。

【００３３】 特に、従来の考案において、外筒１１１の外表面の多接点で、外周方向に沿っ てコーキングすることにより生ずる半径方向内側への陥没がとても複雑な作業を 通じて行われるので、外筒を採択するというのはことが作業性を阻害する大きい 要因として作用した。

【００３４】 一方、スリーブは様々な形状への変形が可能である。図６は本考案の他の実施 例を示した図面である。この図に示したように、スリーブの上端部を尖った形状 に形成することにより、従来のスリーブを一部改造して用いることができる。こ れは従来のスリーブ製造用金型を再活用することができるので経済的にも利益で ある。

【００３５】

【考案の効果】

前述したように、本考案によると、検査接触用スリーブの上端面が検査対象物 の検査接触面と均一に接触することにより、検査端子との接触抵抗を引き下げる ことにより検査に対する信頼性を高める。

【００３６】 又、従来より、検査用探針と、弾性バネと、スリーブとで構成される簡単な構 造により、製造コストがダウンされ、組立の作業性が向上される。

【提出日】平成１２年２月１８日（２０００．２．１８）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】 【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する技術分野】

本考案は検査用探針装置に係り、特に、検査端子との接触抵抗を引き下げるこ とにより検査に対する信頼性を高めることが可能であり、部品点数が減少される 改善された構造を実現することにより製造コストをダウンさせ、組立の作業性を 向上させることができる検査用探針装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

一般に、電子製品内には多くのチップが装着されており、これらチップは電子 製品の性能を決定する大切な役割をする。チップは電流が流れる導体からなるこ とが大部分であるが、最近は導体と不導体（絶縁体）との中間抵抗を有する半導 体が多用されている。

【０００３】 半導体は１０^-5〜１０^-8（Ωｍ）程度の抵抗率を持つ導電物質であって、一般 に、半導体チップ（chip）は四角形状の本体と、本体の両側から延長される複数 のリードとで構成される。これにより、リードを通じて電気的信号を本体側に入 力したり、出力したりすることができる。

【０００４】 これらチップはそれぞれ様々な機能を行うようになっており、電気的信号等が バスにより各チップに伝送される。このような回路基板が高密度に集積されて形 成されたチップが高密度集積マイクロチップであり、マイクロチップは電子製品 に装着されて製品の性能を決定する大切な役割をする。従って、電子製品にチッ プが装着されて電子製品の組立が完成される前に、生産された半導体チップが良 品であるか不良品であるかを検査しなければならない。

【０００５】 このように、電子製品のマイクロチップの状態が正常であるか否かを確認する ための検査装置に、検査用探針装置（probing device）が用いられ、多くの検査 用探針装置は検査用ソケット装置（probing socket device)に装着されて用いら れる。

【０００６】 図１は従来の検査用探針装置を用いて検査対象物を検査することを示した状態 図である。この図面に示すように、検査用回路基板１０１上には検査用ソケット １０３が装着されており、ソケット１０３の上部には検査対象物であるマイクロ チップ１０２が置かれることによって検査されるようになっている。

【０００７】 検査用ソケット１０３には多くの検査用探針装置１０５が装着されており、探 針装置１０５の下端部には連結用ロッド１０７が連結されている。探針装置１０ ５の上端部が検査対象用マイクロチップ１０２の多地点と接触した状態で、マイ クロチップ１０２からの電流が探針装置１０５の本体及び探針装置１０５の下端 部のロッドを通じて回路基板１０１側に流れ、これによって、検査対象用チップ １０２の検査が行われるようになっている。

【０００８】 探針装置１０５は、図２に示すように、バレル状に形成された外筒１１１と外 筒１１１内にスライディング移動可能に設けられる検査用探針１１７等で構成さ れている。外筒１１１の下端部には連結用ロッドが連結されている。外筒１１１ 内には、図３に示すように圧縮コイルバネ１２１が受容されており、この圧縮コ イルバネ１２１によって検査用探針１１７が外筒１１１内で弾性的に支持されて いる。

【０００９】 探針１１７の外表面は外筒１１１の内壁面と面接触し、探針１１７の上部に形 成された接触尖部を通じて伝導される電流は面接触部を通じて外筒１１１の本体 側に流れ、外筒１１１のロッド１０７を通じて外部に抜け出ることができるよう になっている。

【００１０】 このような構成により、マイクロチップ１０２を検査する時には、検査のため 、ソケット１０３の上部にマイクロチップ１０２を安着させ、ソケット１０３に 設けられた加圧部（図示せず）がマイクロチップ１０２を下方に加圧することに より、マイクロチップ１０２が探針装置１０５の探針１１７と接触する。こうし て、マイクロチップ１０２の底面に探針１１７の上端部の検査尖部が接触した状 態で、探針１１７は外筒１１１内の圧縮コイルバネ１２１を圧縮しつつ下方にス ライドする。

【００１１】 この状態で、マイクロチップ１０２からの電流は、探針１１７の検査尖部を通 じて探針１１７の本体側に流れ、さらに探針１１７の外表面と面接触する外筒１ １１の内壁面を通じて外筒１１１の本体部側に流れて、外筒１１１の下端部のロ ッド１０７を通じて外部に抜け出るようになる。又、外筒１１１の内壁面を通じ て流れる電流の一部は圧縮コイルバネ１２１を通じてもロッド１０７側に流れる 。こうして、電流が探針装置１０５を通じて別途に設けられた検査装置（図示せ ず）に流れることにより、マイクロチップ１０２の検査が行われる。

【００１２】 検査が終わると、ソケット１０３の加圧部がマイクロチップ１０２に対する加 圧を解除して、マイクロチップ１０２が上方に移動する。これにより、探針１１ ７がマイクロチップ１０２の底面の検査端子から離れ、外筒１１１内の圧縮コイ ルバネ１２１の弾性復元力によりスライディング移動して検査前の位置に戻るよ うになる。

【００１３】 このように行われる検査に対する信頼性は、探針装置１０５による円滑な電流 の流れにより決定される。そのため、検査対象物であるマイクロチップ１０２と 探針１１７の検査接触面の接触面積が広いほど流れる電流量が多くなり、一定の 電圧下での接触抵抗を引き下げることができる。

【００１４】 ところが、探針１１７の検査接触尖部が尖った形状に形成されて、マイクロチ ップ１０２との接触面積が広くないので、接触抵抗が大きく、このため検査に対 する信頼性が低いという問題がある。

【００１５】 又、従来の探針装置１０５は、外筒１１１と、外筒１１１内に設けられる検査 用探針１１７と、外筒１１１内で検査用探針を支持する圧縮コイルバネ１２１等 で比較的複雑に構成されているので、組立が複雑であり、組立の作業性が高くな いとの問題もある。又、部品点数が多いので製造コストアップの短所もある。

【００１６】

【考案が解決しようとする課題】

従って本考案の目的は、前記の問題点に鑑み、検査端子との接触抵抗を引き下 げることにより検査に対する信頼性を高めることが可能であり、部品点数が減少 される改善された構造を実現することにより製造コストをダウンさせ、組立の作 業性を向上させることができる検査用探針装置を提供することを目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】

本考案は、前記課題を解決するため、バー状に形成されその下部に支持部が形 成された検査用探針と、前記検査用探針の外表面上に巻き付きその下端部が前記 支持部に掛かって支持されるように設けられる弾性バネと、シリンダ状に形成さ れ、前記検査用探針の上端部分に挿入されてその下端部が前記弾性バネの上端部 と接触することにより弾性的に支持される検査接触用スリーブとを含み、前記ス リーブの上端部は検査対象物の検査接触面と弾性的に検査接触することにより前 記検査対象物からの電流を前記検査用探針側に伝えることを特徴とする。

【００１８】 ここで、前記検査接触用スリーブはその下端部に支持用フランジが円周方向に 沿って外向突出されて、前記弾性バネの上端部と直接接触する構成であることが 好ましい。

【００１９】 これにより、検査接触用スリーブの上端面が検査対象物の検査接触面と均一に 接触することにより、検査端子との接触抵抗が減少して検査に対する信頼性が高 まる。又、従来のものに比べて、検査用探針と弾性バネとスリーブとで構成され る簡単な構造により、製造コストがダウンされ、組立の作業性が向上される。

【００２０】

【考案の実施の形態】

以下、添付した図面を参照して本考案の実施例を詳しく説明する。図４は本考 案による検査用探針装置の分解斜視図であり、図５は図４の検査用探針装置を用 いて検査対象物を検査する状態を示した断面図である。

【００２１】 これら図面に示すように、本考案による検査用探針装置は、バー状に形成され その下部に支持部２０１が形成された検査用探針２００と、検査用探針２００の 外表面上に巻き付きその下端部が前記支持部２０１に掛かって支持されるように 設けられる弾性バネ２０５と、シリンダ状に形成され検査用探針２００の上端部 分が挿入されてその下端部が前記弾性バネ２０５の上端部と接触することにより 弾性的に支持される検査接触用スリーブ２１０とで構成される。

【００２２】 検査用探針２００は円形バー状に形成されており、その下部領域には円形の支 持部２０１が円形バーの外表面に外向突出されている。

【００２３】 検査用探針２００の外表面上に挿入される弾性バネ２０５は圧縮コイルバネで あって、検査用探針２００の最上端部分を除外した上部領域の殆どを覆うように 装着される。

【００２４】 検査用探針２００の上端部に填め込まれるスリーブ２１０は、内部に空洞を有 するシリンダ状に形成され、その下端部には支持用フランジ２１１が円周方向に 沿って外向突出されている。これにより、この支持用フランジ２１１が弾性バネ ２０５の上端部と直接接触する。又、このスリーブ２１０の上端部は、検査対象 物２２０の検査接触面と弾性的に接触することにより検査対象物２２０からの電 流を検査用探針２００側に伝えることができるようになっている。

【００２５】 これにより、検査対象物２２０からの検査電流はスリーブ２１０の上端部を通 じてスリーブ２１０に伝達され、続いて、スリーブ２１０と接触している検査用 探針２００に流れて検査用探針２００の下部にある検査装置に伝達されるように なっている。

【００２６】 このとき、スリーブ２１０の上端部が検査対象物２２０の検査接触面と比較的 均一に接触するので、接触抵抗が従来より著しく小さくなることにより、検査に 対する信頼性が高まる。

【００２７】 本考案による検査用探針装置を組立てるときには、先に検査用探針２００を検 査装置に装着し、探針２００の長手方向に弾性バネを２０５を簡単に填め込む。 その後、探針２００の上端部分にスリーブ２１０を挿入することにより組立が完 成される。

【００２８】 従来の探針装置がバレル状の外筒内に探針及び弾性バネ等を装着する比較的複 雑な組立工程を経ることに比べて、本考案による組立工程はとても簡単であり短 時間内に組立が行われるので、組立工数が減り、組立の作業性が顕著に向上され る。又、比較的製造コストの高い外筒が本考案では用いられないので、コストダ ウンの効果がある。

【００２９】 なお、スリーブは様々な形状への変形が可能である。図６は本考案の他の実施 例を示した図面である。この図に示したように、スリーブの上端部を尖った形状 に形成することにより、従来のスリーブを一部改造して用いることができる。こ れは従来のスリーブ製造用金型を再活用することができるので経済的にも有益で ある。

【００３０】

【考案の効果】

前述したように、本考案によると、検査接触用スリーブの上端面が検査対象物 の検査接触面と均一に接触し、検査端子との接触抵抗を引き下げることにより検 査に対する信頼性を高める。又、従来のものに比べ、検査用探針と、弾性バネと 、スリーブとで構成される簡単な構造により、製造コストがダウンされ、組立の 作業性が向上される。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の検査用探針装置を用いて検査対象物を検
査することを示した状態図である。

【図２】図１の探針装置の斜視図である。

【図３】図２の探針装置の断面図である。

【図４】本考案による検査用探針装置の分解斜視図であ
る。

【図５】図４の検査用探針装置を用いて検査対象物を検
査する状態を示した一部切取断面図である。

【図６】本考案による他の実施例を示した図である。

【符号の説明】

２００ 探針 ２０１ 支持部 ２０５ 弾性バネ ２１０ スリーブ ２１１ フランジ ２２０ 検査対象物

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【手続補正書】

【提出日】平成１２年２月１８日（２０００．２．１
８）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】

【書類名】 明細書

【考案の名称】 検査用探針装置

【実用新案登録請求の範囲】

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の検査用探針装置を用いて検査対象物を検
査することを示した状態図である。

【図２】図１の探針装置の斜視図である。

【図３】図２の探針装置の断面図である。

【図４】本考案による検査用探針装置の分解斜視図であ
る。

【図５】図４の検査用探針装置を用いて検査対象物を検
査する状態を示した断面図である。

【図６】本考案による他の実施例を示した図である。

【符号の説明】 ２００ 検査用探針 ２０１ 支持部 ２０５ 弾性バネ ２１０ 検査用接触スリーブ ２１１ 支持用フランジ ２２０ 検査対象物

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】全図

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

【図２】

【図３】

【図４】

【図５】

【図６】

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 バー状に形成されその下部に支持部が形
   成された検査用探針と、前記検査用探針の外表面上に巻
   き付きその下端部が前記支持部に掛かって支持されるよ
   うに設けられる弾性バネと、シリンダ状に形成され前記
   検査用探針の上端部分に挿入されてその下端部が前記弾
   性バネの上端部と接触することにより弾性的に支持され
   る検査接触用スリーブとを含み、 前記スリーブの上端部は検査対象物の検査接触面と弾性
   的に検査接触することにより前記検査対象物からの電流
   を前記検査用探針側に伝えることを特徴とする検査用探
   針装置。
2. 【請求項２】 前記検査接触用スリーブはその下端部に
   支持用フランジが円周方向に沿って外向突出されてお
   り、前記弾性バネの上端部と接触することを特徴とする
   請求項１に記載の検査用探針装置。