JP3067846B2 - パターン検査方法及び装置 - Google Patents
パターン検査方法及び装置Info
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- G06V10/44—Local feature extraction by analysis of parts of the pattern, e.g. by detecting edges, contours, loops, corners, strokes or intersections; Connectivity analysis, e.g. of connected components
- G06V10/443—Local feature extraction by analysis of parts of the pattern, e.g. by detecting edges, contours, loops, corners, strokes or intersections; Connectivity analysis, e.g. of connected components by matching or filtering
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- G06V10/70—Arrangements for image or video recognition or understanding using pattern recognition or machine learning
- G06V10/74—Image or video pattern matching; Proximity measures in feature spaces
- G06V10/75—Organisation of the matching processes, e.g. simultaneous or sequential comparisons of image or video features; Coarse-fine approaches, e.g. multi-scale approaches; using context analysis; Selection of dictionaries
- G06V10/751—Comparing pixel values or logical combinations thereof, or feature values having positional relevance, e.g. template matching
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、多値振幅フィールドに
よって表わされるパターンを検査する方法であって： -前記フィールド内の相対的に異なる複数個のそれぞれ
の部分から、それぞれの振幅値の集合を選択するステッ
プと； -各々が、大きさで順序付けた対応する振幅値の集合内
で或る所定のランクを有する振幅値を表わす複数の特性
数量の少なくとも1つを前記各振幅値の集合に対して生
成するステップと； を具えているパターン検査方法に関するものである。本
発明はこのような方法を実施するための装置にも関する
ものである。
よって表わされるパターンを検査する方法であって： -前記フィールド内の相対的に異なる複数個のそれぞれ
の部分から、それぞれの振幅値の集合を選択するステッ
プと； -各々が、大きさで順序付けた対応する振幅値の集合内
で或る所定のランクを有する振幅値を表わす複数の特性
数量の少なくとも1つを前記各振幅値の集合に対して生
成するステップと； を具えているパターン検査方法に関するものである。本
発明はこのような方法を実施するための装置にも関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】この種の方法はヨーロッパ特許出願第89
202 124.7号（米国特許出願第390327号）明細書から既
知である。この既知の方法は、振幅値が第１組の点で高
く、第２組の点で低いパターンを検出することを目的と
している。例えばデータ点のフィールドによるカメラ像
における斯様なパターンは、明るい領域(第1組)と暗い
領域(第2組)とが組合わさったようなものである。既知
の方法では、第１組における振幅が全て或る所定のしき
い値以上となり、しかも第2組における全ての振幅が斯か
るしきい値以下となる場合に、パターンが検出されると
云える。この従来法の問題は、斯様なしきい値がある
か、否かを判定することにある。このために、既知の方
法はフィールド内の所定の関連位置に位置付けられる振
幅が異なる２つの組を考慮している。次いで、第１組に
て見つけた振幅値の範囲の最低の境界値Ｌを求め、且つ
第２組における最高境界値Ｈを求める。最低境界値Ｌが
最高境界値Ｈより大きい場合に、上述したようなしきい
値が存在し、パターンが検出される。
202 124.7号（米国特許出願第390327号）明細書から既
知である。この既知の方法は、振幅値が第１組の点で高
く、第２組の点で低いパターンを検出することを目的と
している。例えばデータ点のフィールドによるカメラ像
における斯様なパターンは、明るい領域(第1組)と暗い
領域(第2組)とが組合わさったようなものである。既知
の方法では、第１組における振幅が全て或る所定のしき
い値以上となり、しかも第2組における全ての振幅が斯か
るしきい値以下となる場合に、パターンが検出されると
云える。この従来法の問題は、斯様なしきい値がある
か、否かを判定することにある。このために、既知の方
法はフィールド内の所定の関連位置に位置付けられる振
幅が異なる２つの組を考慮している。次いで、第１組に
て見つけた振幅値の範囲の最低の境界値Ｌを求め、且つ
第２組における最高境界値Ｈを求める。最低境界値Ｌが
最高境界値Ｈより大きい場合に、上述したようなしきい
値が存在し、パターンが検出される。
【０００３】この方法を実施する既知の装置はランク値
を用いている。振幅が相対的に異なる振幅値の或る集合
におけるランクｎのランク値Ｒとは、この集合に値Ｒよ
りも大きな振幅値が確実に（ｎ−１）個存在するような
集合からの振幅値のことである。（振幅を必ずしも相対
的に相違させる必要のない場合には、この規定はもっと
複雑となり、即ちこの場合には、集合における値Ｒより
も大きな振幅値をｎ個より少くし、且つ少くともｎ個の
振幅は値Ｒより小さくないものとする必要がある）。
を用いている。振幅が相対的に異なる振幅値の或る集合
におけるランクｎのランク値Ｒとは、この集合に値Ｒよ
りも大きな振幅値が確実に（ｎ−１）個存在するような
集合からの振幅値のことである。（振幅を必ずしも相対
的に相違させる必要のない場合には、この規定はもっと
複雑となり、即ちこの場合には、集合における値Ｒより
も大きな振幅値をｎ個より少くし、且つ少くともｎ個の
振幅は値Ｒより小さくないものとする必要がある）。
【０００４】従って、ランク１における或る値を選択す
るフィルタは最高の振幅値を発生し、ランクＮ（ここに
Ｎは集合における振幅値の数とする）における振幅値を
選択するフィルタは最低の振幅値を発生する。ランクフ
ィルタを用いる理由は、斯様なフィルタは、いろいろな
例にて、振幅の集合を明瞭に抽出しなくても、有効に実
現し得るからである。かくして得た値を既知の装置の比
較器に供給し、ＬがＨ以上となる場合に検出信号を形成
する。或いは又、比較器はＬがＨより所定量以上となる
場合に検出信号を確保することができる。
るフィルタは最高の振幅値を発生し、ランクＮ（ここに
Ｎは集合における振幅値の数とする）における振幅値を
選択するフィルタは最低の振幅値を発生する。ランクフ
ィルタを用いる理由は、斯様なフィルタは、いろいろな
例にて、振幅の集合を明瞭に抽出しなくても、有効に実
現し得るからである。かくして得た値を既知の装置の比
較器に供給し、ＬがＨ以上となる場合に検出信号を形成
する。或いは又、比較器はＬがＨより所定量以上となる
場合に検出信号を確保することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の方法及び装置は
良好に機能するも、振幅値を大きいものとすべき一方の
組と、振幅値を小さいものとすべき他方の組との２つの
組が存在する実質上２進的なパターン検出問題に限定さ
れ、ここで問題となるのは、容認できるしきい値が存在
するか否かを判定すべきことだけにある。
良好に機能するも、振幅値を大きいものとすべき一方の
組と、振幅値を小さいものとすべき他方の組との２つの
組が存在する実質上２進的なパターン検出問題に限定さ
れ、ここで問題となるのは、容認できるしきい値が存在
するか否かを判定すべきことだけにある。
【０００６】本発明の目的は斯様な方法及び装置の可能
性を拡大し、もっと異なる方法でパターン検出を行うこ
とにある。
性を拡大し、もっと異なる方法でパターン検出を行うこ
とにある。
【０００７】本発明は、冒頭にて述べたパターン検査装
置において、少なくとも3つの振幅値の集合を選択し、
且つ前記方法がさらに：-前記特性数量を、相対的か、
それぞれの所定のしきい値との比較か、これら双方の比
較によって少なくとも2つの比較結果を生成するステッ
プと；-前記比較結果を論理演算して、前記振幅値の集
合を表わすパターン認識信号を生成するステップと；を
具えていることを特徴とする。比較結果をを少くとも１
つの他の比較結果で確認することにより、空間フィール
ドにて検出するパターン構成を増やすことができる。こ
の場合には、２つ以上の振幅値の集合間の関係が一層複
雑になる。一層複雑な関係の例は、低い境界値Ｌl及び
高い境界値Ｈlを有する第１組の振幅値の集合と、低い境
界値Ｌ2及び高い境界値Ｈ2をそれぞれ有する第２組の振
幅値の集合との２つの集合間でオーバーラップする。こ
のオーバーラップの検出は、２つの比較、即ち、Ｌl＜Ｈ
2,Ｌ2＜Ｈlを比較する論理ＡＮＤ回路によって行う。
置において、少なくとも3つの振幅値の集合を選択し、
且つ前記方法がさらに：-前記特性数量を、相対的か、
それぞれの所定のしきい値との比較か、これら双方の比
較によって少なくとも2つの比較結果を生成するステッ
プと；-前記比較結果を論理演算して、前記振幅値の集
合を表わすパターン認識信号を生成するステップと；を
具えていることを特徴とする。比較結果をを少くとも１
つの他の比較結果で確認することにより、空間フィール
ドにて検出するパターン構成を増やすことができる。こ
の場合には、２つ以上の振幅値の集合間の関係が一層複
雑になる。一層複雑な関係の例は、低い境界値Ｌl及び
高い境界値Ｈlを有する第１組の振幅値の集合と、低い境
界値Ｌ2及び高い境界値Ｈ2をそれぞれ有する第２組の振
幅値の集合との２つの集合間でオーバーラップする。こ
のオーバーラップの検出は、２つの比較、即ち、Ｌl＜Ｈ
2,Ｌ2＜Ｈlを比較する論理ＡＮＤ回路によって行う。
【０００８】グレイレベル像に２つ以上の振幅値の集合
を含む関係の例として、第１振幅範囲から第２振幅範囲
への隣接遷移及び第２振幅範囲から第３振幅範囲への隣
接遷移を含むエッジを検出することができる。或いは
又、既知のシステムでは一方の組の部分であったフィー
ルドの種々の部分を分解して、種々の操作を受けさせる
ことにより、位置に依存する一層精巧な処理をすること
ができる。例えばグレイレベルビデオ像のエッジ検出
は、エッジの両側の２組の振幅集合と、その間の第３組
の振幅集合との３つの集合組を設定することにより達成
することができる。この検出は、第３の組が最初の２つ
の組間の中間値を有する場合に確認した第２組の値より
も第１の組が高い値を有する場合だけに限定することが
できる。
を含む関係の例として、第１振幅範囲から第２振幅範囲
への隣接遷移及び第２振幅範囲から第３振幅範囲への隣
接遷移を含むエッジを検出することができる。或いは
又、既知のシステムでは一方の組の部分であったフィー
ルドの種々の部分を分解して、種々の操作を受けさせる
ことにより、位置に依存する一層精巧な処理をすること
ができる。例えばグレイレベルビデオ像のエッジ検出
は、エッジの両側の２組の振幅集合と、その間の第３組
の振幅集合との３つの集合組を設定することにより達成
することができる。この検出は、第３の組が最初の２つ
の組間の中間値を有する場合に確認した第２組の値より
も第１の組が高い値を有する場合だけに限定することが
できる。
【０００９】このために、第３組の集合範囲もデータ点
（振幅値）の空間フィールドからのデータ点の第３集合
によってスパンさせる必要がある。
（振幅値）の空間フィールドからのデータ点の第３集合
によってスパンさせる必要がある。
【００１０】本発明方法では、必ずしも第１、第２及び
第３振幅値の集合範囲を前記組からのデータ点の全振幅
値によってスパンさせる必要はない。実際上、好適な例
では、振幅値の第１、第２及び第３集合の各々は他の全
ての値よりももっと極端な値の振幅値の第１、第２及び
第３所定数以外データ点の各組からの全てのデータ点の
振幅値を含むようにする。（ここに所定数は零とするこ
とができる。）例えば数個の極端な値を除くことによっ
て、雑音による振幅値の変動に対する強さを増大させる
ことができる。振幅値の低い方の半部を除くことによっ
て、データ点の組における値の中間値によって画成され
る範囲を得ることができる。
第３振幅値の集合範囲を前記組からのデータ点の全振幅
値によってスパンさせる必要はない。実際上、好適な例
では、振幅値の第１、第２及び第３集合の各々は他の全
ての値よりももっと極端な値の振幅値の第１、第２及び
第３所定数以外データ点の各組からの全てのデータ点の
振幅値を含むようにする。（ここに所定数は零とするこ
とができる。）例えば数個の極端な値を除くことによっ
て、雑音による振幅値の変動に対する強さを増大させる
ことができる。振幅値の低い方の半部を除くことによっ
て、データ点の組における値の中間値によって画成され
る範囲を得ることができる。
【００１１】本発明はさらに、多値振幅フィールドによ
って表わされるパターンを検査する装置であって：-前
記フィールド内の相対的に異なる複数個のそれぞれの部
分から、それぞれの振幅値の集合を選択する選択手段
と；-各々が、大きさで順序付けた対応する振幅値の集
合内で或る所定のランクを有する振幅値を表わす複数の
特性数量の少なくとも1つを前記各振幅値の集合に対し
て生成する特性数量生成器と；を具えているパターン検
査装置において、前記選択手段が、少なくとも3つの振
幅値の集合を選択するように構成され、且つ前記装置が
さらに：-前記特性数量を相対的か、それぞれの所定の
しきい値との比較か、これら双方の比較によって少なく
とも2つの比較結果を生成する比較手段と；-前記比較結
果を論理演算して、前記振幅値の集合を表わすパターン
認識信号を生成するデータ処理手段と；を具えているこ
とを特徴とするパターン検査装置にある。上述した振幅
値の集合の境界値を表わすランク値としてそれぞれ取出
される２つ以上の入力信号を選択手段に供給することに
より、２つの入力信号から得られる決定を確認すること
ができる。
って表わされるパターンを検査する装置であって：-前
記フィールド内の相対的に異なる複数個のそれぞれの部
分から、それぞれの振幅値の集合を選択する選択手段
と；-各々が、大きさで順序付けた対応する振幅値の集
合内で或る所定のランクを有する振幅値を表わす複数の
特性数量の少なくとも1つを前記各振幅値の集合に対し
て生成する特性数量生成器と；を具えているパターン検
査装置において、前記選択手段が、少なくとも3つの振
幅値の集合を選択するように構成され、且つ前記装置が
さらに：-前記特性数量を相対的か、それぞれの所定の
しきい値との比較か、これら双方の比較によって少なく
とも2つの比較結果を生成する比較手段と；-前記比較結
果を論理演算して、前記振幅値の集合を表わすパターン
認識信号を生成するデータ処理手段と；を具えているこ
とを特徴とするパターン検査装置にある。上述した振幅
値の集合の境界値を表わすランク値としてそれぞれ取出
される２つ以上の入力信号を選択手段に供給することに
より、２つの入力信号から得られる決定を確認すること
ができる。
【００１２】斯様な装置融通性を高めるためには、所定
のランク及び所定の位置の双方をプログラム可能とする
のが望ましい。上記ランクをプログラムすることによ
り、最大振幅値（ランク１）又は最小振幅値（ランク
Ｎ、Ｎは組内のデータ点（振幅値）の数である）を選択
することができる。又、少数の極値、例えば、３又はＮ
−２を用いることにより、雑音による振幅値の変動に対
する感度を低減させることができる。更に、Ｎ／２のよ
うな他のランクを用いてデータ点の組からの値の中間値
に基づいてパターンの識別を行うこともできる。
のランク及び所定の位置の双方をプログラム可能とする
のが望ましい。上記ランクをプログラムすることによ
り、最大振幅値（ランク１）又は最小振幅値（ランク
Ｎ、Ｎは組内のデータ点（振幅値）の数である）を選択
することができる。又、少数の極値、例えば、３又はＮ
−２を用いることにより、雑音による振幅値の変動に対
する感度を低減させることができる。更に、Ｎ／２のよ
うな他のランクを用いてデータ点の組からの値の中間値
に基づいてパターンの識別を行うこともできる。
【００１３】幾つかのパターン検出で問題にになるの
は、パターン検出を１つの位置でだけ行う必要があるこ
とにある。しかし、多くの問題は、例えばビデオ像のパ
ターンを検索する場合のように、パターン検出を多くの
位置で試みなければならないことにある。こうした場合
には、前記特性数量生成器が前記データ処理手段に結合
される複数個のランク値フィルタを具えるようにするの
が有利である。
は、パターン検出を１つの位置でだけ行う必要があるこ
とにある。しかし、多くの問題は、例えばビデオ像のパ
ターンを検索する場合のように、パターン検出を多くの
位置で試みなければならないことにある。こうした場合
には、前記特性数量生成器が前記データ処理手段に結合
される複数個のランク値フィルタを具えるようにするの
が有利である。
【００１４】
【実施例】図面につき本発明の実施例を説明する。本発
明によるパターン検査の例を図１に示す。この例では、
多値振幅フィールド100 の種々の部分を評価するために
３つの各テンプレートを用いる。フィールド100 の各マ
スク内の数字は、このマスクに関連する振幅値を表わ
す。
明によるパターン検査の例を図１に示す。この例では、
多値振幅フィールド100 の種々の部分を評価するために
３つの各テンプレートを用いる。フィールド100 の各マ
スク内の数字は、このマスクに関連する振幅値を表わ
す。
【００１５】例えば、ビデオ画像のパターン認識という
面においては、これらの数字は画素のグレイ値を表わ
す。例えばリモートセンシングに適用する場合には、こ
れらの数字は測定した数量の値、例えば温度又は或る基
準点からの距離の値を表わす。
面においては、これらの数字は画素のグレイ値を表わ
す。例えばリモートセンシングに適用する場合には、こ
れらの数字は測定した数量の値、例えば温度又は或る基
準点からの距離の値を表わす。
【００１６】なお、本発明による方法及び装置の使用
は、図１に示した例のような２次元フィールドに限定さ
れるものではない。本発明による方法の１次元フィール
ドでの使用は、例えば、或る(ひずんだ)ディジタル信号
における所定パターンを探索することにある。又、３次
元フィールドに本発明方法を用いることは、例えば、或
る物体のコンピュータトモグラフィ検査により得られた
データフィールドの所定パターンを探索することにあ
る。更に、多値振幅を有する検査すべきフィールドは、
図１の例によって示したように（同様な）要素に細分割
する必要もない。又、サブマスクに関連付けて考慮する
フィールドのそれぞれの部分に代表的な個別の値を割当
てるものとする場合には、或る所定のパターンに対する
連続フィールドを検査することもできる。
は、図１に示した例のような２次元フィールドに限定さ
れるものではない。本発明による方法の１次元フィール
ドでの使用は、例えば、或る(ひずんだ)ディジタル信号
における所定パターンを探索することにある。又、３次
元フィールドに本発明方法を用いることは、例えば、或
る物体のコンピュータトモグラフィ検査により得られた
データフィールドの所定パターンを探索することにあ
る。更に、多値振幅を有する検査すべきフィールドは、
図１の例によって示したように（同様な）要素に細分割
する必要もない。又、サブマスクに関連付けて考慮する
フィールドのそれぞれの部分に代表的な個別の値を割当
てるものとする場合には、或る所定のパターンに対する
連続フィールドを検査することもできる。
【００１７】求めようとするパターン情報は102で示す
ようなパターンに視覚化される。この特定のパターン
を、比較的高い振幅値が所望されるセグメントを示す部
分104と、中間振幅値が所望されるセグメントを示す部
分106 と、比較的低い振幅値が所望されるセグメントを
示す部分108 とに分割する。パターン102 における×印
は無関係な（気にしなくてよい）部分を示す。３つのテ
ンプレート110, 112及び114が一緒になってパターン102
を表わし、即ち、テンプレート110 はパターン102におけ
る部分104のコントリビューションに関係し、テンプレー
ト112 は部分106のコントリビューションに関係し、テン
プレート114 は部分108のコントリビューションに関係
する。
ようなパターンに視覚化される。この特定のパターン
を、比較的高い振幅値が所望されるセグメントを示す部
分104と、中間振幅値が所望されるセグメントを示す部
分106 と、比較的低い振幅値が所望されるセグメントを
示す部分108 とに分割する。パターン102 における×印
は無関係な（気にしなくてよい）部分を示す。３つのテ
ンプレート110, 112及び114が一緒になってパターン102
を表わし、即ち、テンプレート110 はパターン102におけ
る部分104のコントリビューションに関係し、テンプレー
ト112 は部分106のコントリビューションに関係し、テン
プレート114 は部分108のコントリビューションに関係
する。
【００１８】これらのテンプレートをフィールド100 に
関連付けることによって、テンプレートのそれぞれの窓
内のフィールド値を反映する振幅値の集合組116, 118及
び120 をそれぞれ生成する。これらの各組に対する検出
振幅値を、それぞれの組に対して122, 124及び126 で示
すように、順序付けた数列に配列する。
関連付けることによって、テンプレートのそれぞれの窓
内のフィールド値を反映する振幅値の集合組116, 118及
び120 をそれぞれ生成する。これらの各組に対する検出
振幅値を、それぞれの組に対して122, 124及び126 で示
すように、順序付けた数列に配列する。
【００１９】パターン認識するには、例えば斯くして得
た振幅値に対し、数列122 に関連する高い振幅範囲の下
限値が数列124 に関連する中間振幅範囲の上限値よりも
大きく、且つ数列126 に関連する低い振幅範囲の上限値
が数列124 に関連する中間振幅範囲の下限値よりも小さ
くなるようにする必要がある。上述した例では、各限界
値が斯かる必要条件に適うから、テンプレート110, 112
及び114 とフィールドとが整合する。他の判定基準を定
式化して整合を確認することもできる。例えば、各数列
の下限値と上限値との差を規定して、多少目立つ特徴部
分の有無に応じてパターン検出を制御することができ
る。それぞれの特性(振幅)数量は必ずしも下限値又は上
限値に等しくする必要はない。中間の振幅値を選定し
て、例えば、上述した例にて中間振幅範囲を表わすこと
ができる。同様に、122, 124及び126のように順序付け
た数列の他のランク(順位)に発生する振幅値を特性数量
を表わすものとして選定することができる。
た振幅値に対し、数列122 に関連する高い振幅範囲の下
限値が数列124 に関連する中間振幅範囲の上限値よりも
大きく、且つ数列126 に関連する低い振幅範囲の上限値
が数列124 に関連する中間振幅範囲の下限値よりも小さ
くなるようにする必要がある。上述した例では、各限界
値が斯かる必要条件に適うから、テンプレート110, 112
及び114 とフィールドとが整合する。他の判定基準を定
式化して整合を確認することもできる。例えば、各数列
の下限値と上限値との差を規定して、多少目立つ特徴部
分の有無に応じてパターン検出を制御することができ
る。それぞれの特性(振幅)数量は必ずしも下限値又は上
限値に等しくする必要はない。中間の振幅値を選定し
て、例えば、上述した例にて中間振幅範囲を表わすこと
ができる。同様に、122, 124及び126のように順序付け
た数列の他のランク(順位)に発生する振幅値を特性数量
を表わすものとして選定することができる。
【００２０】図2は本発明によるパターン検査の他の例
を示す。この場合の検出すべきパターン202 は、明るい
背景206 に対する暗いライン204 に関するものである。
この場合にも、×印は気にしない部分を示す。上述した
パターン構成を表わすには３つのテンプレートを用いる
のであって、左側のテンプレート210 は左側の背景部分
に対応し、中央のテンプレート212は暗いライン204 に
対応し、右側のテンプレート214 は右側の背景部分に対
応する。パターンを構成する種々の部分に別個のテンプ
レートを割当てることにより、各部分に対する振幅値の
コヒーレントな(連接した)組を生成し、これにより各組
を適切な方法で処理できるようにする。例えば、各振幅
値の組を位置に依存する条件のもとで検査することがで
きる。即ち、左側の背景を右側の背景とは別に処理する
ことができる。高振幅値の背景との振幅値の偏差は、パ
ターン認識にとっては許容することができ、この偏差は
右側と左側で互い相違してもかまわない。例えば、テン
プレート210 を多値振幅フィールド（図示せず）に関連
させる場合に、そのフィールドの左側の領域がノイズ又
は小さな点のような暗スポットで汚染されていても、そ
の左側の領域を認識することができる。即ち、順序付け
る振幅値には、テンプレート212 の該当部分に関連する
フィールドの部分にも生じ得る値が含まれる。こうした
偏差を考慮するためには、特性数量を表わす値のそれ相
当に順序付ける数列におけるランク(順位)を、これらの
振幅値が属する振幅範囲の上限又は下限値に関連させる
必要はない。さらなる説明については前述した従来技術
を参照されたい。
を示す。この場合の検出すべきパターン202 は、明るい
背景206 に対する暗いライン204 に関するものである。
この場合にも、×印は気にしない部分を示す。上述した
パターン構成を表わすには３つのテンプレートを用いる
のであって、左側のテンプレート210 は左側の背景部分
に対応し、中央のテンプレート212は暗いライン204 に
対応し、右側のテンプレート214 は右側の背景部分に対
応する。パターンを構成する種々の部分に別個のテンプ
レートを割当てることにより、各部分に対する振幅値の
コヒーレントな(連接した)組を生成し、これにより各組
を適切な方法で処理できるようにする。例えば、各振幅
値の組を位置に依存する条件のもとで検査することがで
きる。即ち、左側の背景を右側の背景とは別に処理する
ことができる。高振幅値の背景との振幅値の偏差は、パ
ターン認識にとっては許容することができ、この偏差は
右側と左側で互い相違してもかまわない。例えば、テン
プレート210 を多値振幅フィールド（図示せず）に関連
させる場合に、そのフィールドの左側の領域がノイズ又
は小さな点のような暗スポットで汚染されていても、そ
の左側の領域を認識することができる。即ち、順序付け
る振幅値には、テンプレート212 の該当部分に関連する
フィールドの部分にも生じ得る値が含まれる。こうした
偏差を考慮するためには、特性数量を表わす値のそれ相
当に順序付ける数列におけるランク(順位)を、これらの
振幅値が属する振幅範囲の上限又は下限値に関連させる
必要はない。さらなる説明については前述した従来技術
を参照されたい。
【００２１】図３は本発明による装置 300の一例を示
す。この装置 300はデータ処理ユニット 302を具え、そ
の複数の入力端子304a---304nは複数のランク値フィル
タ306a---306n に結合させる。ランク値フィルタ306a--
-306n の各々は、特定のランク値フィルタに結合される
関連するテンプレート（図示せず）の窓内のフィールド
値を表わす順序付けた振幅値のそれぞれの組から取出さ
れる或る特性数量を伝送する。各々が順序付けられたそ
れぞれの振幅値の組における或る所定のランクの振幅値
である特性数量を受けると、データ処理ユニット302は
そのランクの対ごとに比較して、これにより比較結果を
示す論理値を発生する。次いでこれらの論理値を或る論
理関数に従って相互に関連させて、所定の相関の有無を
示す出力数量を示す信号を出力端子308に発生させるこ
とができる。
す。この装置 300はデータ処理ユニット 302を具え、そ
の複数の入力端子304a---304nは複数のランク値フィル
タ306a---306n に結合させる。ランク値フィルタ306a--
-306n の各々は、特定のランク値フィルタに結合される
関連するテンプレート（図示せず）の窓内のフィールド
値を表わす順序付けた振幅値のそれぞれの組から取出さ
れる或る特性数量を伝送する。各々が順序付けられたそ
れぞれの振幅値の組における或る所定のランクの振幅値
である特性数量を受けると、データ処理ユニット302は
そのランクの対ごとに比較して、これにより比較結果を
示す論理値を発生する。次いでこれらの論理値を或る論
理関数に従って相互に関連させて、所定の相関の有無を
示す出力数量を示す信号を出力端子308に発生させるこ
とができる。
【００２２】種々の特性数量間の相互関係の検査を可視
化する本発明による第２例の装置 400を図4A−図4Cに示
す。この装置 400はデータ処理ユニット 402を具え、そ
の入力端子404a, 404b及び404cはランク値フィルタ406
a, 406b及び406cにそれぞれ結合させる。各個々のフィ
ルタにより検査するフィールドの部分をそれぞれフィル
タ406a, 406b及び406c内にＰ，Ｑ及びＲで示してある。
フィルタ406aは、このフィルタにより検査するフィール
ドの部分Ｐ内に生じる最小振幅値を示す数量Ａを発生す
るようにプログラムする。フィルタ406bは、フィールド
の関連部分Ｑ内に生じる中間振幅値を示す数量Ｂを発生
するようにプログラムする。又、フィルタ406cは、フィ
ールドの部分Ｒ内に生じる最大振幅を示す数量Ｃを発生
するようにプログラムする。これらの特性数量が図４Ｂ
に示すような論理関係を満足する場合、即ち最大値Ａが
最小値Ｃより大きく、中間値Bがこれらの間にある（こ
れは図4Cにも示してある）場合に、データ処理ユニット
402は確認出力信号Ｅを出力する。
化する本発明による第２例の装置 400を図4A−図4Cに示
す。この装置 400はデータ処理ユニット 402を具え、そ
の入力端子404a, 404b及び404cはランク値フィルタ406
a, 406b及び406cにそれぞれ結合させる。各個々のフィ
ルタにより検査するフィールドの部分をそれぞれフィル
タ406a, 406b及び406c内にＰ，Ｑ及びＲで示してある。
フィルタ406aは、このフィルタにより検査するフィール
ドの部分Ｐ内に生じる最小振幅値を示す数量Ａを発生す
るようにプログラムする。フィルタ406bは、フィールド
の関連部分Ｑ内に生じる中間振幅値を示す数量Ｂを発生
するようにプログラムする。又、フィルタ406cは、フィ
ールドの部分Ｒ内に生じる最大振幅を示す数量Ｃを発生
するようにプログラムする。これらの特性数量が図４Ｂ
に示すような論理関係を満足する場合、即ち最大値Ａが
最小値Ｃより大きく、中間値Bがこれらの間にある（こ
れは図4Cにも示してある）場合に、データ処理ユニット
402は確認出力信号Ｅを出力する。
【００２３】他の相互関係の検査を可視化する本発明の
第３例の装置 500を図5A−5Cにつき説明する。本例装置
500はデータ処理ユニット 502を具え、そのデータ入力
端子504a, 504b, 504c及び504dはランク値フィルタ505
a, 505b, 505c及び505dにそれぞれ結合させる。フィー
ルドの各部分をＰ，Ｑ及びＲと称し、これらの各部分を
各ランク値フィルタにより検査する。フィルタ505aは、
部分P内に生じる最大振幅値を示す数量Ａを発生させる
ために部分Ｐを検査するようにプログラムする。フィル
タ505bは、部分Ｑに生じる最小振幅値を示す特性数量Ｂ
を発生させるために部分Ｑを検査するようにプログラム
する。フィルタ505c及び505dは共にフィールドの部分Ｒ
を検査し、フィルタ505cは部分Ｒ内の最大値を示す数量
Ｃを発生し、フィルタ505dは部分Ｒ内の最小値を示す数
量Ｄを発生する。最小値Ｄが最大値Ａより大きく、Ｃ及
びＢがその間の値である場合に、データ処理ユニット 5
02は図5Bの関係に従って確認出力信号Ｅを発生する。更
に、その相関関係を図5Cに示してある。
第３例の装置 500を図5A−5Cにつき説明する。本例装置
500はデータ処理ユニット 502を具え、そのデータ入力
端子504a, 504b, 504c及び504dはランク値フィルタ505
a, 505b, 505c及び505dにそれぞれ結合させる。フィー
ルドの各部分をＰ，Ｑ及びＲと称し、これらの各部分を
各ランク値フィルタにより検査する。フィルタ505aは、
部分P内に生じる最大振幅値を示す数量Ａを発生させる
ために部分Ｐを検査するようにプログラムする。フィル
タ505bは、部分Ｑに生じる最小振幅値を示す特性数量Ｂ
を発生させるために部分Ｑを検査するようにプログラム
する。フィルタ505c及び505dは共にフィールドの部分Ｒ
を検査し、フィルタ505cは部分Ｒ内の最大値を示す数量
Ｃを発生し、フィルタ505dは部分Ｒ内の最小値を示す数
量Ｄを発生する。最小値Ｄが最大値Ａより大きく、Ｃ及
びＢがその間の値である場合に、データ処理ユニット 5
02は図5Bの関係に従って確認出力信号Ｅを発生する。更
に、その相関関係を図5Cに示してある。
【図１】 本発明によるパターン認識の第１例を示す。
【図２】 本発明によるパターン認識の第２例を示す。
【図３】 本発明による第１例の装置を示す。
【図４】 図4A−4Cは本発明による第２例の装置を示
す。
す。
【図５】 図5A−5Cは本発明による第３例の装置を示
す。
す。
100 多値フィールド 102 求めようとするパターン 104 高振幅部分のセグメント 106 中振幅部分のセグメント 108 低振幅部分のセグメント 110, 112, 114 テンプレート 116, 118, 120 振幅値の組 122, 124, 126 振幅値の数列 202 検出すべきパターン 204 暗いライン 206 明るい背景部分 210，212，214 テンプレート 300 パターン検査装置 302 データ処理ユニット 304a〜304n 入力端子 306a〜306n ランク値フィルタ 400 パターン検査装置 402 データ処理ユニット 404a〜404n 入力端子 406a〜406n ランク値フィルタ 500 パターン検査装置 502 データ処理装置 504a〜504d データ入力端子 505a〜505d ランク値フィルタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (73)特許権者 590000248 Ｇｒｏｅｎｅｗｏｕｄｓｅｗｅｇ １, 5621 ＢＡ Ｅｉｎｄｈｏｖｅｎ， Ｔ ｈｅ Ｎｅｔｈｅｒｌａｎｄｓ (72)発明者 ヘールト ナイジョルト オランダ国 5621 ベーアー アインド ーフェンフルーネバウツウェッハ １ (72)発明者 エリック ヘンドリック ヨゼフ パー スーン オランダ国 5621 ベーアー アインド ーフェンフルーネバウツウェッハ １ (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G06T 7/00 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (5)
- 【請求項１】 多値振幅フィールドによって表わされる
パターンを検査する方法であって： -前記フィールド内の相対的に異なる複数個のそれぞれ
の部分から、複数個のそれぞれの振幅値の集合を選択す
るステップと； -各々が、大きさで順序付けた対応する振幅値の集合内
で或る所定のランクを有する振幅値を表わす複数の特性
数量の少なくとも1つを前記各振幅値の集合に対して生
成するステップと； を具えているパターン検査方法において、 少なくとも3つの振幅値の集合を選択し、且つ前記方法
がさらに： -前記特性数量を、相対的か、それぞれの所定のしきい
値との比較か、これら双方の比較によって少なくとも2
つの比較結果を生成するステップと； -前記比較結果を論理演算して、前記振幅値の集合を表
わすパターン認識信号を生成するステップと； を具えていることを特徴とするパターン検査方法。 - 【請求項２】 前記全ての特性数量の各々が、対応する
振幅値の集合内における大きさ順のそれぞれの所定ラン
クでの各振幅値を表わすことを特徴とする請求項１に記
載の方法。 - 【請求項３】 多値振幅フィールドによって表わされる
パターンを検査する装置であって： -前記フィールド内の相対的に異なる複数個のそれぞれ
の部分から、それぞれの振幅値の集合を選択する選択手
段と； -各々が、大きさで順序付けた対応する振幅値の集合内
で或る所定のランクを有する振幅値を表わす複数の特性
数量の少なくとも1つを前記各振幅値の集合に対して生
成する特性数量生成器と； を具えているパターン検査装置において、 前記選択手段が、少なくとも3つの振幅値の集合を選択
するように構成され、 且つ前記装置がさらに： -前記特性数量を相対的か、それぞれの所定のしきい値
との比較か、これら双方の比較によって少なくとも2つ
の比較結果を生成する比較手段と； -前記比較結果を論理演算して、前記振幅値の集合を表
わすパターン認識信号を生成するデータ処理手段と； を具えていることを特徴とするパターン検査装置。 - 【請求項４】 前記特性数量生成器が前記データ処理手
段に結合される複数個のランク値フィルタを具えている
ことを特徴とする請求項3に記載の装置。 - 【請求項５】 前記ランク値フィルタをプログラム可能
手段としたことを特徴とする請求項４に記載の装置。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL90201732.6 | 1990-06-29 | ||
| EP90201732A EP0463242B1 (en) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | Method of processing pattern data on the basis of ranked amplitude values, apparatus for performing the method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0620054A JPH0620054A (ja) | 1994-01-28 |
| JP3067846B2 true JP3067846B2 (ja) | 2000-07-24 |
Family
ID=8205046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3182873A Expired - Fee Related JP3067846B2 (ja) | 1990-06-29 | 1991-06-29 | パターン検査方法及び装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0463242B1 (ja) |
| JP (1) | JP3067846B2 (ja) |
| DE (1) | DE69028398T2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994016499A2 (en) * | 1993-01-16 | 1994-07-21 | Bangham James A | Signal processing system |
| DE69410191T2 (de) * | 1993-08-26 | 1998-09-24 | Canon Kk | Auf Übergangspegeldaten basierte OCR-Klassifikation |
| JP3583138B2 (ja) * | 1994-05-05 | 2004-10-27 | グラマン エアロスペース コーポレーション | 複合画像中で関与しているオブジェクトを探索し、識別する方法及び装置 |
| US5809171A (en) * | 1996-01-05 | 1998-09-15 | Mcdonnell Douglas Corporation | Image processing method and apparatus for correlating a test image with a template |
| US6865295B2 (en) * | 2001-05-11 | 2005-03-08 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Palette-based histogram matching with recursive histogram vector generation |
| US7167574B2 (en) * | 2002-03-14 | 2007-01-23 | Seiko Epson Corporation | Method and apparatus for content-based image copy detection |
| JP4767595B2 (ja) * | 2005-06-15 | 2011-09-07 | パナソニック株式会社 | 対象物検出装置及びその学習装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3322705A1 (de) * | 1983-06-24 | 1985-01-10 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Verfahren und schaltungsanordnung zur videoschnellen bestimmung des medianwertes eines auswertefensters |
| NL8802078A (nl) * | 1988-08-23 | 1990-03-16 | Philips Nv | Werkwijze voor het herkennen van een patroon in een veld met een meerwaardige amplitude, inrichting voor het uitvoeren van een dergelijke werkwijze. |
-
1990
- 1990-06-29 DE DE69028398T patent/DE69028398T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-06-29 EP EP90201732A patent/EP0463242B1/en not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-06-29 JP JP3182873A patent/JP3067846B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0463242B1 (en) | 1996-09-04 |
| EP0463242A1 (en) | 1992-01-02 |
| DE69028398T2 (de) | 1997-03-20 |
| JPH0620054A (ja) | 1994-01-28 |
| DE69028398D1 (de) | 1996-10-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |