JP3052049B2 - 偏向横波用電磁超音波トランスデューサ - Google Patents
偏向横波用電磁超音波トランスデューサInfo
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- JP3052049B2 JP3052049B2 JP7347206A JP34720695A JP3052049B2 JP 3052049 B2 JP3052049 B2 JP 3052049B2 JP 7347206 A JP7347206 A JP 7347206A JP 34720695 A JP34720695 A JP 34720695A JP 3052049 B2 JP3052049 B2 JP 3052049B2
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- coil
- spiral
- insulating sheet
- shear wave
- ultrasonic transducer
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- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、導電材料の表面及
び内部の傷の検出、残留応力の検出、材料特性（弾性係
数、減衰係数）の測定、荷重、熱等による材料内部の損
傷、劣化を検出する偏向横波用電磁超音波トランスデュ
ーサに関するものである。
び内部の傷の検出、残留応力の検出、材料特性（弾性係
数、減衰係数）の測定、荷重、熱等による材料内部の損
傷、劣化を検出する偏向横波用電磁超音波トランスデュ
ーサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は電磁超音波トランスデューサの計
測原理を説明するための図である。電磁超音波トランス
デューサは導電性材料（被測定物）２の表面にスペーサ
３ａを介在させて互いに磁気方向の異なる永久磁石３、
３を配置し、該永久磁石３、３の下部に配置した渦巻状
の平面コイル５を配置した構成である。なお、永久磁石
３、３の代りに同様な磁界を形成する電磁石でも良い。
測原理を説明するための図である。電磁超音波トランス
デューサは導電性材料（被測定物）２の表面にスペーサ
３ａを介在させて互いに磁気方向の異なる永久磁石３、
３を配置し、該永久磁石３、３の下部に配置した渦巻状
の平面コイル５を配置した構成である。なお、永久磁石
３、３の代りに同様な磁界を形成する電磁石でも良い。
【０００３】永久磁石３は導電性材料２の深さ方向に静
磁場４を形成し、平面コイル５にコントローラ１８から
高周波電流７を流すと、導電性材料２の表面にその電流
７と逆向きの渦電流８が発生し、この渦電流８と静磁場
４の相互作用。所謂フレミングの左手の法則により、ロ
ーレンツ力９が発生し、導電性材料２の内部の自由電子
に働き、イオンなどに衝突し、静磁場４と高周波電流７
の方向に垂直な運動を導電性材料２の内部に励起させ、
超音波の横波１０を発生させる。
磁場４を形成し、平面コイル５にコントローラ１８から
高周波電流７を流すと、導電性材料２の表面にその電流
７と逆向きの渦電流８が発生し、この渦電流８と静磁場
４の相互作用。所謂フレミングの左手の法則により、ロ
ーレンツ力９が発生し、導電性材料２の内部の自由電子
に働き、イオンなどに衝突し、静磁場４と高周波電流７
の方向に垂直な運動を導電性材料２の内部に励起させ、
超音波の横波１０を発生させる。
【０００４】上記超音波の横波１０が矢印１１の方向に
進行し、導電性材料２の表面や内部の傷、欠陥、結晶粒
界、組織変化等、端面で反射し矢印１２に示すように進
み表面近傍に達すると、力１３が発生し、この力１３と
静磁場４との相互作用により渦電流１４を発生する。こ
の渦電流１４を平面コイル５により検出し、プリアンプ
１６で増幅し、更に主アンプ１７で増幅し、コントロー
ラ１８に送る。該コントローラ１８はこれを解析し、導
電性材料２の内部の傷、欠陥、結晶粒界、組織変化等を
計測する。
進行し、導電性材料２の表面や内部の傷、欠陥、結晶粒
界、組織変化等、端面で反射し矢印１２に示すように進
み表面近傍に達すると、力１３が発生し、この力１３と
静磁場４との相互作用により渦電流１４を発生する。こ
の渦電流１４を平面コイル５により検出し、プリアンプ
１６で増幅し、更に主アンプ１７で増幅し、コントロー
ラ１８に送る。該コントローラ１８はこれを解析し、導
電性材料２の内部の傷、欠陥、結晶粒界、組織変化等を
計測する。
【０００５】図４は従来の偏向横波用電磁超音波トラン
スデューサの概略構成を示す図である。平面コイル４１
には２本のエナメル線を相隣あうように手巻きし樹脂で
固めたものを用い、０．１ｍｍ程度の保護フィルム４２
を平面コイル４１（送信用コイル４１ａ、受信用コイル
４１ｂ）に接着することにより、強磁性体の被測定物
（図示せず）の計測時の永久磁石４３と該被測定物（図
示せず）の間の磁力により、設置時の平面コイル４１の
損傷を防ぐようにしている。なお、図４（ａ）は偏向横
波用電磁超音波トランスデューサの平面図、同図（ｂ）
は同図（ａ）のＡ−Ａ断面図である。また、４３ａは互
いに磁気方向の異なる永久磁石４３と４３の間に介在す
るスペースである。
スデューサの概略構成を示す図である。平面コイル４１
には２本のエナメル線を相隣あうように手巻きし樹脂で
固めたものを用い、０．１ｍｍ程度の保護フィルム４２
を平面コイル４１（送信用コイル４１ａ、受信用コイル
４１ｂ）に接着することにより、強磁性体の被測定物
（図示せず）の計測時の永久磁石４３と該被測定物（図
示せず）の間の磁力により、設置時の平面コイル４１の
損傷を防ぐようにしている。なお、図４（ａ）は偏向横
波用電磁超音波トランスデューサの平面図、同図（ｂ）
は同図（ａ）のＡ−Ａ断面図である。また、４３ａは互
いに磁気方向の異なる永久磁石４３と４３の間に介在す
るスペースである。
【０００６】また、従来の電磁超音波発生検出コイルと
しては、例えば特開昭５３−１０７８号公報に開示する
ように、２重渦巻状コイルを絶縁板の両側に設け、送信
用コイルと受信用コイルを分けているもの、特開昭６２
−２７７５５５号公報に開示するように、平行型コイル
を片面に設け、送受信を１つのコイルで行なうようにし
たもの、特開昭５３−２３０６６号公報に開示するよう
に、平行型コイルを印刷技術を用いて８字状（向きの異
なるコイルが２つ配置されている）に片面に設けたもの
がある。
しては、例えば特開昭５３−１０７８号公報に開示する
ように、２重渦巻状コイルを絶縁板の両側に設け、送信
用コイルと受信用コイルを分けているもの、特開昭６２
−２７７５５５号公報に開示するように、平行型コイル
を片面に設け、送受信を１つのコイルで行なうようにし
たもの、特開昭５３−２３０６６号公報に開示するよう
に、平行型コイルを印刷技術を用いて８字状（向きの異
なるコイルが２つ配置されている）に片面に設けたもの
がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記従来構成の偏向横
波用電磁超音波トランスデューサにおいては、上記のよ
うに設置時の平面コイル４１の損傷を防ぐため、保護フ
ィルム４２を平面コイル４１に接着する必要があった。
また、受信用コイル４１と送信用コイルを同一平面に隣
合うように配置されているため平面コイル４１が大型化
し、小型化できないという問題があった。また、平面コ
イル４１はエナメル線を手巻きするので、線間のばらつ
きによりトランスデューサの性能にばらつきが生じ、安
定した品質が得られなかった。さらに外形寸法も大きく
なるという問題もあった。
波用電磁超音波トランスデューサにおいては、上記のよ
うに設置時の平面コイル４１の損傷を防ぐため、保護フ
ィルム４２を平面コイル４１に接着する必要があった。
また、受信用コイル４１と送信用コイルを同一平面に隣
合うように配置されているため平面コイル４１が大型化
し、小型化できないという問題があった。また、平面コ
イル４１はエナメル線を手巻きするので、線間のばらつ
きによりトランスデューサの性能にばらつきが生じ、安
定した品質が得られなかった。さらに外形寸法も大きく
なるという問題もあった。
【０００８】また、特開昭５３−１０７８号公報に開示
したものは、コイルを送信用と受信用に分けているが、
接続で２つのコイルのアース部を共通していないため、
Ｓ／Ｎ比が悪く、且つゲインも劣る。
したものは、コイルを送信用と受信用に分けているが、
接続で２つのコイルのアース部を共通していないため、
Ｓ／Ｎ比が悪く、且つゲインも劣る。
【０００９】また、特開昭６２−２７７５５５号公報に
開示したものは、平行型コイルを片面に設け、送受信を
１つのコイルで行なうようにしているため、Ｓ／Ｎ比が
悪く、且つゲインも劣る。
開示したものは、平行型コイルを片面に設け、送受信を
１つのコイルで行なうようにしているため、Ｓ／Ｎ比が
悪く、且つゲインも劣る。
【００１０】また、特開昭５３−２３０６６号公報に開
示したものは、片面に平行型コイルを印刷技術を用いて
８字状に設けているため、寸法が大きくなり、また接続
で２つのコイルのアース部を共通していないため、Ｓ／
Ｎ比が悪く、且つゲインも劣る。
示したものは、片面に平行型コイルを印刷技術を用いて
８字状に設けているため、寸法が大きくなり、また接続
で２つのコイルのアース部を共通していないため、Ｓ／
Ｎ比が悪く、且つゲインも劣る。
【００１１】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、トランスデューサの性能向上、品質の安定、精密・
小型化を図った偏向横波用電磁超音波トランスデューサ
を提供することを目的とする。
で、トランスデューサの性能向上、品質の安定、精密・
小型化を図った偏向横波用電磁超音波トランスデューサ
を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項１に記載の発明は、絶縁シートの両面に形成した
導電性材料からなる渦巻状コイルを該絶縁シートを介在
させて該両渦巻状コイルが互いに対向一致するように配
置すると共に、絶縁シートの両面に配置した渦巻状コイ
ルはそれぞれ独立しその一方の端部はスルーホールを介
して他方の面に通じて外部線と接続し、他方はアース部
を共通にし、それぞれ絶縁材に覆われた構成の平面渦巻
コイルを具備し、該両渦巻状コイルの一方を電磁的作用
によって超音波を発生する送信用とし、他方を検知用と
することを特徴とする。
請求項１に記載の発明は、絶縁シートの両面に形成した
導電性材料からなる渦巻状コイルを該絶縁シートを介在
させて該両渦巻状コイルが互いに対向一致するように配
置すると共に、絶縁シートの両面に配置した渦巻状コイ
ルはそれぞれ独立しその一方の端部はスルーホールを介
して他方の面に通じて外部線と接続し、他方はアース部
を共通にし、それぞれ絶縁材に覆われた構成の平面渦巻
コイルを具備し、該両渦巻状コイルの一方を電磁的作用
によって超音波を発生する送信用とし、他方を検知用と
することを特徴とする。
【００１３】
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１は本発明の偏向横波用電磁超
音波トランスデューサの平面図、同図（ｂ）は同図
（ａ）のＡ−Ａ断面図である。本偏向横波用電磁超音波
トランスデューサは永久磁石（又は電磁石）２０と平面
渦巻コイル２１を具備する構成である。平面渦巻コイル
２１は絶縁シート２１−１の両面にエッチング又は印刷
技術を用いて形成した導電性材料からなる渦巻状コイル
２１−２と渦巻状コイル２１−３を該絶縁シート２１−
１を介在して互いに対向一致する（重なり合う）ように
配置し、更に渦巻状コイル２１−２の面と渦巻状コイル
２１−３の面に耐熱性で且つ絶縁性の接着材で絶縁シー
ト２１−６、２１−６を接着した構造である。
に基づいて説明する。図１は本発明の偏向横波用電磁超
音波トランスデューサの平面図、同図（ｂ）は同図
（ａ）のＡ−Ａ断面図である。本偏向横波用電磁超音波
トランスデューサは永久磁石（又は電磁石）２０と平面
渦巻コイル２１を具備する構成である。平面渦巻コイル
２１は絶縁シート２１−１の両面にエッチング又は印刷
技術を用いて形成した導電性材料からなる渦巻状コイル
２１−２と渦巻状コイル２１−３を該絶縁シート２１−
１を介在して互いに対向一致する（重なり合う）ように
配置し、更に渦巻状コイル２１−２の面と渦巻状コイル
２１−３の面に耐熱性で且つ絶縁性の接着材で絶縁シー
ト２１−６、２１−６を接着した構造である。
【００１５】渦巻状コイル２１−２及び渦巻状コイル２
１−３のいずれか一方は電磁超音波を発する送信用で、
他方は検知作用を有する受信用になっている。どちらが
上面にくるかは決まっていないが、電磁超音波トランス
デューサは、送信より受信特性の方が優れているので、
通常、送信面が被計測材料側に位置することが多い。
１−３のいずれか一方は電磁超音波を発する送信用で、
他方は検知作用を有する受信用になっている。どちらが
上面にくるかは決まっていないが、電磁超音波トランス
デューサは、送信より受信特性の方が優れているので、
通常、送信面が被計測材料側に位置することが多い。
【００１６】次に、上記構成の偏向横波用電磁超音波ト
ランスデューサの製造方法を図２に基づいて説明する。
先ず、図２の（１）に示すように、所定の外形寸法に切
断した厚さ２５μｍ程度の耐熱性のある絶縁シート（例
えばポリイミド系の樹脂シート）２１−６に厚さ１８〜
７５μｍ程度の銅箔２１−４を接着材で接着したものを
２枚用意する。
ランスデューサの製造方法を図２に基づいて説明する。
先ず、図２の（１）に示すように、所定の外形寸法に切
断した厚さ２５μｍ程度の耐熱性のある絶縁シート（例
えばポリイミド系の樹脂シート）２１−６に厚さ１８〜
７５μｍ程度の銅箔２１−４を接着材で接着したものを
２枚用意する。
【００１７】次に、図２の（２）に示すように、銅箔２
１−４をエッチング処理して渦巻き状に形成し渦巻状コ
イル２１−２、２１−３のパターンを形成する。なお、
該パターンは回路印刷技術を用いて形成しても良いこと
は当然である。
１−４をエッチング処理して渦巻き状に形成し渦巻状コ
イル２１−２、２１−３のパターンを形成する。なお、
該パターンは回路印刷技術を用いて形成しても良いこと
は当然である。
【００１８】次に、図２の（３）に示すように、渦巻状
コイル２１−２、２１−３のパターンが形成された絶縁
シート２１−６のパターン形成側の面に耐熱性の接着材
２１−５を塗布する。この接着材２１−５は後述する絶
縁シートを接着するだけでなく、渦巻状コイル２１−
２、２１−３の隣合うパターン（線）間の絶縁材として
の役割も果たす。
コイル２１−２、２１−３のパターンが形成された絶縁
シート２１−６のパターン形成側の面に耐熱性の接着材
２１−５を塗布する。この接着材２１−５は後述する絶
縁シートを接着するだけでなく、渦巻状コイル２１−
２、２１−３の隣合うパターン（線）間の絶縁材として
の役割も果たす。
【００１９】次に、図２の（４）に示すように、耐熱性
のある絶縁シート２１−１を渦巻状コイル２１−２、２
１−３の上面に接着する。
のある絶縁シート２１−１を渦巻状コイル２１−２、２
１−３の上面に接着する。
【００２０】次に、図２の（５）に示すように、絶縁シ
ート２１−１の上面に接着材２１−５を塗布する。
ート２１−１の上面に接着材２１−５を塗布する。
【００２１】次に、図２の（６）に示すように、同図の
（２）で作成した渦巻状コイル２１−２又は２１−３の
パターンが形成された絶縁シート２１−６を同図の
（５）で作成した絶縁シート２１−１の上の接着材２１
−５に接着して平面渦巻きコイル２１が完成する。な
お、渦巻状コイル２１−２及び２１−３の一方の端部は
スルーホール２２により絶縁シート２１−６を通して他
方の面に通じ外部リード線と接続し、他方の端部はアー
ス部を共通にするように接続する（図１参照）。
（２）で作成した渦巻状コイル２１−２又は２１−３の
パターンが形成された絶縁シート２１−６を同図の
（５）で作成した絶縁シート２１−１の上の接着材２１
−５に接着して平面渦巻きコイル２１が完成する。な
お、渦巻状コイル２１−２及び２１−３の一方の端部は
スルーホール２２により絶縁シート２１−６を通して他
方の面に通じ外部リード線と接続し、他方の端部はアー
ス部を共通にするように接続する（図１参照）。
【００２２】上記製造方法に基づいて、図１に示す構成
の偏向横波用電磁超音波トランスデューサに用いる平面
渦巻コイルを製作した。寸法例は下記の通りである。絶
縁シート２１−１の外形寸法は長さＬ＝４０ｍｍ、幅Ｗ
＝２５ｍｍ、厚さＨ＝０．０２５ｍｍである。該絶縁シ
ート２１−１の両面に幅Ｗ１＝０．１ｍｍ、間隔Ｌ１＝
０．１ｍｍ、厚さＨ１＝０．０１８ｍｍ、巻回数４４の
渦巻状コイル２１−２及び２１−３を形成した。該渦巻
状コイル２１−２及び２１−３の抵抗値は５０Ω、イン
ダクタンス４０μＨで、実用上十分な感度を有するトラ
ンスデューサの平面渦巻コイル２１が得られる。
の偏向横波用電磁超音波トランスデューサに用いる平面
渦巻コイルを製作した。寸法例は下記の通りである。絶
縁シート２１−１の外形寸法は長さＬ＝４０ｍｍ、幅Ｗ
＝２５ｍｍ、厚さＨ＝０．０２５ｍｍである。該絶縁シ
ート２１−１の両面に幅Ｗ１＝０．１ｍｍ、間隔Ｌ１＝
０．１ｍｍ、厚さＨ１＝０．０１８ｍｍ、巻回数４４の
渦巻状コイル２１−２及び２１−３を形成した。該渦巻
状コイル２１−２及び２１−３の抵抗値は５０Ω、イン
ダクタンス４０μＨで、実用上十分な感度を有するトラ
ンスデューサの平面渦巻コイル２１が得られる。
【００２３】偏向横波用電磁超音波トランスデューサに
図１に示すような構成を採用することにより、下記のよ
うな優れた作用効果が得られる。
図１に示すような構成を採用することにより、下記のよ
うな優れた作用効果が得られる。
【００２４】第１に、絶縁シート２１−１は数十ミクロ
ン程度の例えばポリイミド系の耐熱性絶縁シートであ
り、該絶縁シート２１−１を挟んで受信用コイルとなる
渦巻状コイル２１−２又は２１−３と受信用コイルとな
る渦巻状コイル２１−３又は２１−２は対向一致する
（重なり合う）位置にあるので、送信した波（超音波の
横波）の反射波を同じ位置で捕らえることができ、精度
のよい計測が可能である。
ン程度の例えばポリイミド系の耐熱性絶縁シートであ
り、該絶縁シート２１−１を挟んで受信用コイルとなる
渦巻状コイル２１−２又は２１−３と受信用コイルとな
る渦巻状コイル２１−３又は２１−２は対向一致する
（重なり合う）位置にあるので、送信した波（超音波の
横波）の反射波を同じ位置で捕らえることができ、精度
のよい計測が可能である。
【００２５】第２に、渦巻状コイル２１−２及び２１−
３のコイル間隔Ｌ１が精度良く作成されるので、安定し
た超音波の受信が可能となる。
３のコイル間隔Ｌ１が精度良く作成されるので、安定し
た超音波の受信が可能となる。
【００２６】第３に、絶縁シート２１−６の接着に絶縁
性の接着材２１−５を用いることにより、渦巻状コイル
２１−２及び２１−３のコイル間の絶縁も可能となり、
計測時１０００Ｖ前後の電圧に耐え得ることが可能にな
る。
性の接着材２１−５を用いることにより、渦巻状コイル
２１−２及び２１−３のコイル間の絶縁も可能となり、
計測時１０００Ｖ前後の電圧に耐え得ることが可能にな
る。
【００２７】第４に、従来の渦巻状コイルにエナメル線
等の被覆銅線を手巻したものに比較し、両面にコイルを
配置することにより、小型化、精密化が可能になると共
に、絶縁シート２１−６が保護フィルムの役割を兼ねる
ことができる。
等の被覆銅線を手巻したものに比較し、両面にコイルを
配置することにより、小型化、精密化が可能になると共
に、絶縁シート２１−６が保護フィルムの役割を兼ねる
ことができる。
【００２８】第５に、スルーホール２２を介して、反対
面でリード線との接合部とすることにより、被測定物と
渦巻状コイル２１−２又は２１−３の間に凹凸をなくす
ることが可能となる。
面でリード線との接合部とすることにより、被測定物と
渦巻状コイル２１−２又は２１−３の間に凹凸をなくす
ることが可能となる。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように本願請求項に記載の
発明によれば、下記のような優れた効果が得られる。 （１）絶縁シートの両面に導電性材料からなる渦巻状コ
イルを該絶縁シートを介在して両渦巻状コイルが互いに
対向一致するように配置し、いずれか一方を受信用、他
方を送信用とするので、従来のように同一平面に隣合っ
て受信用コイルと送信用コイルとを配置するのに比較
し、渦巻状コイルの小型化が可能になる。
発明によれば、下記のような優れた効果が得られる。 （１）絶縁シートの両面に導電性材料からなる渦巻状コ
イルを該絶縁シートを介在して両渦巻状コイルが互いに
対向一致するように配置し、いずれか一方を受信用、他
方を送信用とするので、従来のように同一平面に隣合っ
て受信用コイルと送信用コイルとを配置するのに比較
し、渦巻状コイルの小型化が可能になる。
【００３０】（２）絶縁シートの両面に配置した渦巻状
コイルの一方の渦巻状コイルを送信用とし、他方を受信
用とし、アース部を共通にするように両渦巻状コイルの
端部を接続するので、手作りでは製作できない性能の向
上、安定性、品質の均一化、小型・精密化、製作時間の
短縮そして理想的な平行コイルによる高性能化（Ｓ／Ｎ
比の改善）が可能になる。
コイルの一方の渦巻状コイルを送信用とし、他方を受信
用とし、アース部を共通にするように両渦巻状コイルの
端部を接続するので、手作りでは製作できない性能の向
上、安定性、品質の均一化、小型・精密化、製作時間の
短縮そして理想的な平行コイルによる高性能化（Ｓ／Ｎ
比の改善）が可能になる。
【図１】本発明の偏向横波用電磁超音波トランスデュー
サの概略構成を示す図で、同図（ａ）は平面図、同図
（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
サの概略構成を示す図で、同図（ａ）は平面図、同図
（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図２】本発明の偏向横波用電磁超音波トランスデュー
サの平面渦巻コイルの製造方法を説明する図である。
サの平面渦巻コイルの製造方法を説明する図である。
【図３】電磁超音波トランスデューサの計測原理を説明
するための図である。
するための図である。
【図４】従来の偏向横波用電磁超音波トランスデューサ
の概略構成を示す図で、同図（ａ）は平面図、同図
（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
の概略構成を示す図で、同図（ａ）は平面図、同図
（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【符号の説明】 ２０ 永久磁石（又は電磁石） ２１ 平面渦巻コイル ２１−１ 絶縁シート ２１−２ 渦巻状コイル ２１−３ 渦巻状コイル ２１−４ 銅箔 ２１−５ 接着材 ２１−６ 絶縁シート
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭53−1078（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−302360（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−111662（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 29/00 - 29/28
Claims (1)
- 【請求項１】 絶縁シートの両面に形成した導電性材料
からなる渦巻状コイルを該絶縁シートを介在させて該両
渦巻状コイルが互いに対向一致するように配置すると共
に、絶縁シートの両面に配置した渦巻状コイルはそれぞ
れ独立しその一方の端部はスルーホールを介して他方の
面に通じて外部線と接続し、他方はアース部を共通に
し、それぞれ絶縁材に覆われた構成の平面渦巻コイルを
具備し、該両渦巻状コイルの一方を電磁的作用によって
超音波を発生する送信用とし、他方を検知用とすること
を特徴とする偏向横波用電磁超音波トランスデューサ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7347206A JP3052049B2 (ja) | 1995-12-13 | 1995-12-13 | 偏向横波用電磁超音波トランスデューサ |
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