JP3044232U - 液体加熱装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本考案は、前記実情に鑑みてなされたもの
で、小型で加熱能力が高く、製造が簡単でコストが低
く、加熱能力を容易に変更可能で、しかもメンテナンス
が容易な液体加熱装置を提供する。 【解決手段】入口と出口を有し、加熱されるべき液体を
通過させる透光性の内管と、前記内管の外側に前記内管
を囲繞するように、所定の間隔を隔てて配設され、入口
と出口とを有し、前記液体を通過させる透光性の外管
と、前記外管と前記内管との間に形成される空間内に配
設された複数の放射加熱体とを具備し、前記放射加熱体
は、前記放射加熱体同志が所定の間隔を以て同心円状に
配列されるように、その両端電極部の一方が第１の支持
具により支持され、他方が第２の支持具によって支持さ
れるものであって、前記第１の支持具と前記第２の支持
具は対応する同一形状にそれぞれ複数個に分割され、前
記放射加熱体は対応する同一形状の分割された前記第１
の支持具および前記第２の支持具ごとに、前記外管と前
記内管との間に形成される前記空間内に、挿入、抜き出
しの構造をなしている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する分野】

本考案は、液体加熱装置に係り、特に、腐食性薬液等の温度制御に用いられる 液体加熱装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

強腐食性薬液を一般産業用に用いる場合は、液温によって反応速度が大幅に変 化するため、常に、液温の制御には綿密な注意を払う必要がある。そこで、液温 の制御を行うために恒温槽等の各種の温度制御装置が開発されている。

【０００３】 このような温度制御装置の配管部には、腐蝕性の強い薬液が通過するため、配 管部には耐腐蝕性材料であるフッ素樹脂等が用いられ、熱交換部にも薬液に対し て耐性を持たせるため各種の工夫がなされている。その中で、熱源としてハロゲ ンランプを用いた液体加熱装置では以下のような提案がなされている。 図１１に示すように、液体加熱装置５０は、その全体が透明石英ガラスからな り、処理液導入口５１と排出口５２とを有する外管５３内に複数の円筒状の透明 石英ガラスからなる内管５４を挿通し、各内管５４内に熱源としてのハロゲンラ ンプ５５をそれぞれ設置したものである。 この液体加熱装置５０によると、処理液導入口５１から流入された液体５６が 排出口５２に向けて通過する際に、ハロゲンランプ５５からの放射熱によって加 熱される。

【０００４】 この液体加熱装置５０では、ハロゲンランプ５５をそれぞれ内管５４内に配設 しているため、ハロゲンランプ５５のフィラメント５５ａが断線した場合には、 各内管５４からハロゲンランプ５５をそれぞれ抜き出すことにより、その交換を 行うことができる。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】 しかしながら、この従来の液体加熱装置５０では、処理液導入口５１と排出口 ５２とを有する外管５３にハロゲンランプ５５を設置するための円筒状の内管５ ４を複数配設する構造上、透明石英ガラス管からなる外管５３に内管挿通孔を形 成し内管５４を外管５３に溶接する等、種々の難しい加工をしなければならない という問題があった。 また、加熱能力を高めるためには、特に熱源であるハロゲンランプ５５の本数 を増やす必要があるが、従来の構造では、加工が困難であり高度の溶接技能を要 する内管５４の数も同時に増やさなければならず、これがコストの高騰の原因と なっている。 また、この従来の液体加熱装置５０は、ハロゲンランプ５５が外管５３の内側 に配設される構造である以上、その設置可能本数は外管５３の内径と内管５４の 外径との関係によって制約されるため、加熱能力の増加要請に対して制限があり 、小型化も困難であった。 また、必要に応じてハロゲンランプ５５の本数を増減したい場合、内管５４の 数を後からでは増減できないため、コスト面で無駄が避けられず、各種要求に対 してフレキシブルに対応できなかった。 さらに、この液体加熱装置５０では、ハロゲンランプ５５のフィラメント５５ ａが断線した場合には、ハロゲンランプ５５はそれぞれ内管５４内に配設されて いる構造上、各内管５４から一本毎に抜き出さなければ、その交換を行うことが できず、複数のハロゲンランプ５５を取り替える場合には、取換え作業に時間が かかり、メンテナンス上問題があった。

【０００６】 本考案は、前記実情に鑑みてなされたもので、小型で加熱能力が高く、製造が 簡単でコストが低く、加熱能力を容易に変更可能で、しかもメンテナンスが容易 な液体加熱装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

そこで本考案の液体加熱装置では、入口と出口を有し、加熱されるべき液体を 通過させる透光性の内管と、前記内管の外側に前記内管を囲繞するように、所定 の間隔を隔てて配設され、入口と出口とを有し、前記液体を通過させる透光性の 外管と、前記外管と前記内管との間に形成される空間内に配設された複数の放射 加熱体とを具備し、前記放射加熱体は、前記放射加熱体同志が所定の間隔を以て 同心円状に配列されるように、その両端電極部の一方が第１の支持具により支持 され、他方が第２の支持具によって支持されるものであって、前記第１の支持具 と前記第２の支持具は対応する同一形状にそれぞれ複数個に分割され、前記放射 加熱体は対応する同一形状の分割された前記第１の支持具および前記第２の支持 具ごとに、前記外管と前記内管との間に形成される前記空間内に、挿入、抜き出 しの構造をなしたことを特徴とする。

【０００８】

【考案の実施の形態】

図１で示す本考案実施例の液体加熱装置３１は、半導体ウェハの湿式洗浄工程 における薬液処理装置の温度制御システムで用いられるものである。 この薬液処理装置３０は、処理液１０が充填された処理槽３２から配管３３を 介して、ポンプ３４によって処理液１０を循環し、液体加熱装置３１で熱交換を 行い、フィルタ３５を介して温度制御およびパーティクル除去のなされた処理液 １０を処理槽３２に戻すように構成されている。

【０００９】 本考案の第１の実施例として示す液体加熱装置３１は、図２に示すように、入 口８と出口９を有し、加熱されるべき液体１０を通過させる透光性の内管１と、 内管１の外側に当該内管１を囲繞するように、所定の間隔を隔てて配設され、入 口６と出口７とを有し、液体１０を通過させる環状の管からなる透光性の外管２ と、当該外管２と内管１との間に形成される空間内に同心状に配設された８本の ハロゲンランプ３と、ハロゲンランプ３の両端に配設された電極部のうち一方の 電極部３ｃを支持する第１の支持具４と、ハロゲンランプ３の他方の電極部３ｄ を支持する第２の支持具５と、第１の支持具４、第２の支持具５をそれぞれ回動 自在に支承するとともに、外管２を位置決めする環状のリブ１１、１２とから構 成されている。

【００１０】 このうち、内管１は、第１の支持具４、第２の支持具５の中心部にそれぞれ形 成された内管挿通用の孔４ａ、５ａ内に挿通し、一端で第１の支持具４を回動自 在に支承し、また他端で第２の支持具５を回動自在に支承する透光性の石英ガラ ス管である。また、内管１の外周面１ａの両端部には、図示せぬ配管を介して、 外管２の出口７に連通する入口８と、液体加熱装置３１の外部に連通する出口９ が形成されている。 一方、外管２は、ハロゲンランプ３の透明ガラス管３ａを囲繞するように配設 される内周面２ａと、環状のリブ１１、１２によりその開口端部２ｃ、２ｄを両 端から挟まれ固定される外周面２ｂとからなる透光性の石英ガラスで形成された 中空環状の管であり、外周面２ｂには、液体加熱装置３１の外部に連通する入口 ６と、図示せぬ配管を介して内管１の入口８に連通する出口７とが形成されてい る。

【００１１】 また、第１の支持具４、第２の支持具５は、それぞれ外管２の開口部２ｅ、２ ｆを塞ぐように配設され、その外周でそれぞれ外管２の開口端部２ｃ、２ｄを保 持する環状のリブ１１、１２内に回動自在に支承されるともに、その内周で内管 １により回動自在に支承されている。なお、この第１の支持具４、第２の支持具 ５は、その内面が鏡面加工された金属板により構成されている。 次に、第１の支持具４、第２の支持具５の取付態様を説明するが、この第１の 支持具４と第２の支持具５はその外径が異なるだけで、他は同一なので第２の支 持具５を代表して説明する。

【００１２】 図２のＡ−Ａ拡大断面図で示す図３のように、第２の支持具５の断面は円形状 であり、中央に内管１を挿通する内管挿通用の孔５ａが形成されているとともに 、この内管挿通用の孔５ａの外周に、同心円状に等間隔で、ハロゲンランプ３の 電極端子部３ｄを挿通するためのハロゲンランプ挿通用の孔５ｂが８つ形成され ている。なお、図２で示すように、第１の支持具４の直径は外管２の内周面２ａ の直径より小径に、第２の支持具５の直径は外管２の内周面２ａの直径より大径 になるように設定されている。 さらに、第１の支持具４は、図２のＣ−Ｃ拡大断面図で示す図５のように、そ れぞれハロゲンランプ挿通用の孔４ｂを４つ具備するよう内管挿通用の孔４ａを 中心として２分割されており、上側に位置する上部支持部４ｃと、下側に位置す る下部支持部４ｄとから構成されている。一方、第２の支持具５は、図３で示す ように、第１の支持具４の上部支持部４ｃ、下部支持部４ｄにそれぞれ対応する 同一形状の２個に分割された上部支持部５ｃ、下部支持部５ｄから構成されてい る。

【００１３】 この第１の支持具４、第２の支持具５によれば、図２で示すように第１の支持 具４、第２の支持具５はそれぞれ外管２を固定するリブ１１、１２に支承されて いるので、各ハロゲンランプ３の両端の電極端子部３ｃ、３ｄをそれぞれ第１の 支持具４、第２の支持具５のハロゲンランプ挿通用の各孔４ｂ、５ｂに挿通する ことにより、各ハロゲンランプ３を外管２の内周面２ａから一定の間隔を隔てて 位置決め固定できる。なお、これにより、図２および図２のＢ−Ｂ拡大断面図を 示す図４のように、各ハロゲンランプ３の透明ガラス管３ａと外管２の内周面２ ａの間には、空間Ｐが形成される。さらに、図２で示すように内管１の両端を第 １の支持具４、第２の支持具５の内管挿通用の孔４ａ、５ａにそれぞれ挿通する ことにより、内管１を外管２、ハロゲンランプ３から所定の空間を隔てて位置決 め固定できる。なお、これにより、内管１の外周面１ａとハロゲンランプ３の透 明ガラス管３ａの間には、所定の空間Ｓが形成される。

【００１４】 また、第２の支持具５のいずれか一方の支持部を図２と同一部分を同一符号で 示す図８のように矢印Ｄ方向、または、Ｅ方向に移動させると、第２の支持具５ の一方の支持部により一端を支持され、また他端を第１の支持具４の一方の支持 部により支持されたハロゲンランプ３は、一体となって移動するとともに、外管 ２と内管１との間に形成された空間Ｐ、Ｓ内から抜き出され、または、挿入され る。

【００１５】 次に、放射加熱体を構成する各ハロゲンランプ３は、図２で示すように、ハロ ゲン含有ガスの封入された透明ガラス管３ａと、この透明ガラス管３ａ内に配設 されたフィラメント３ｂと、第１の支持具に支持され、フィラメント３ｂに電圧 を印加する電極端子部３ｃと、第２の支持具に支持され、他のハロゲンランプ３ の電極端子部３ｄと接続する電極端子部３ｄとから構成される。なお、各電極端 子部３ｃ、３ｄは、それぞれ第１の支持具４、第２の支持具５にそれぞれ形成さ れた８個の挿通孔４ｂ、５ｂに挿通し、図２で示すように、第１の支持具４、第 ２の支持具５の外側に突出している。また、第１の支持具４および第２の支持具 ５の上部支持部４ｃ、５ｃまたは下部支持部４ｄ、５ｄに挿通するハロゲンラン プ３は、図２のＣ−Ｃ拡大断面図で示す図５のように、それぞれ第１の支持具４ 側でハロゲンランプ３の電極部３ｃから導出される電極リード１３が２本ごとに 電気的に相互接続されており、図２で示すように、第２の支持具５側で電極リー ド１４が導出せしめられたシングルエンド構造をなしている。なお、これらのハ ロゲンランプ３では、回路を概念図で示す図６のように、例えば単相２００Ｖが ８本のリード１４に印加されるように回路接続される。

【００１６】 この液体加熱装置３１で、第１の支持具４および第２の支持具５に支持されて いる８本のハロゲンランプ３のうちいずれかのハロゲンランプ３を抜き出し、ま たは挿入する手順について説明するが、第１の支持具４の一方の上部支持部４ｃ およびこれに対応する第２の支持具５の一方の支持部５ｃに支持されているいず れかのハロゲンランプ３を抜き出し、挿入する場合を代表して説明する。

【００１７】 第１の支持具４の一方の上部支持部４ｃおよび第２の支持具５の一方の支持部 ５ｃに支持されているいずれかのハロゲンランプ３を抜き出すには、図３で示す ように第１の支持具４および第２の支持具５を同時に回動し、図３と同一部分を 同一符号で示す図７のように、抜き出そうとするハロゲンランプ３を支持してい る第１の支持具４の一方の支持部４ｃおよび第２の支持具５の一方の支持部５ｃ を、それぞれ第１の支持具４の他方の支持部４ｄ、第２の支持具５の他方の支持 部５ｄの上に配置させる。そして、図８で示す矢印Ｄの方向に、抜き出そうとす るハロゲンランプ３を支持している第２の支持具５の一方の支持部５ｃを移動さ せる。これにより抜き出そうとするハロゲンランプ３を、第１の支持部の一方の 支持部４ｃおよび第２の支持部５の一方の支持部５ｃと、これらに支持されてい る他のハロゲンランプ３とともに、内管１と外管２の間に形成された空間内から 第２の支持具５側に抜き出すことができる。このとき、第１の支持具４の他方の 支持部４ｄ、第２の支持具５の他方の支持部５ｄの内管挿通用の挿通孔４ａ、５ ａを形成する円弧部４ｆ、５ｆで内管１を保持しているので、内管１と外管２が 所定の空間を隔てた状態は維持される。また、第１の支持具４および第２の支持 具５の分割された支持部４ｃ、４ｄ、５ｃ、５ｄはリブ１１、１２および内管１ に対して回動自在であるから、外管２の出口７と内管１の入り口８とを連通する 図示せぬ配管を取り外す必要はなく、抜き出すことが可能である。なお、液体加 熱装置３１から４本のハロゲンランプ３を抜き出した状態を図２と同一部分を同 一符号で示す図９、および、図９のＦ−Ｆ拡大断面図を示す図１０で示した。

【００１８】 抜き出したハロゲンランプ３のうち、フィラメント３ｂが断線したハロゲンラ ンプ３を新しいものと取り替えた後、ハロゲンランプ３、これを支承する第１の 支持具４の一方の支持部４ｃおよび第２の支持具５の一方の支持部５ｃを、液体 加熱装置３１に設置するには、図７で示す抜き出した第１の支持具４の一方の支 持部４ｃ、第２の支持具５の一方の支持部５ｃの内管挿通用の挿通孔４ａ、５ａ を形成する円弧部４ｅ、５ｅを内管１の外周面１ａに係合させるとともに、図８ で示す矢印Ｅの方向から、外管２と内管１との間に形成される空間内に、第１の 支持具４の一方の支持部４ｃを挿入する。これにより挿入しようとしているハロ ゲンランプ３を、第１の支持具４の一方の支持部４ｃと、第２の支持具５の一方 の支持部５ｃと、これらに支持されている他のハロゲンランプ３とともに、第２ の支持具５側から挿入し、第１の支持具４、第２の支持具５がそれぞれリブ１１ 、１２に支承される状態に復帰させる。なお、このとき外管２の出口７と内管１ の入り口８とを連通する図示せぬ配管を取り外す必要はない。

【００１９】 この液体加熱装置３１によると、図２で示すように、外管２の入り口６から流 入された液体１０が外管２の出口７に向けて通過する際に、ハロゲンランプ３か ら空間Ｐを介して放射される放射熱によって液体１０を加熱することができる。 また、その後、外管２内で加熱された液体１０を、内管１の入口８に流入させ内 管１の出口９に向けて通過させる際に、ハロゲンランプ３から空間Ｓを介して放 射する放射熱によってさらに加熱することができる。

【００２０】 また、本考案の液体加熱装置３１では、熱源であるハロゲンランプ３の内側と 外側にそれぞれ空間Ｓ、空間Ｐを介して内管１、外管２を配設したから、ハロゲ ンランプ３の放射熱をハロゲンランプ３の内側と外側の両側で吸収することがで き、これにより損失熱を減少させ、熱交換効率を向上させることができる。

【００２１】 また、液体９を通過させる配管を内管１と内管１を所定の空間を介し囲繞する 外管２とで構成し、第１の支持具４、第２の支持具５により各ハロゲンランプ３ を内管１、外管２から夫々空間Ｓ、空間Ｐを隔てて配設したため、加熱体である ハロゲンランプ３との接触を避けることができ、内管１および外管２の局部的な 加熱による破損事故を回避できるとともに、放射熱によってのみ安全に効率良く 液体９を加熱することができる。

【００２２】 また、第１の支持具４、第２の支持具５の内面は鏡面加工されているため、空 間Ｓ、または空間Ｐを介してそれぞれ外管２の両端の開口部２ｅ、２ｆから外部 に向けて放出するハロゲンランプ３の光を第１の支持具４、第２の支持具５の鏡 面で反射させ、装置外への熱放散を抑制すると共に、反射光をも内管１および外 管２内の液体１０に導くことにより損失熱を減少させ、熱交換効率を向上させる ことができる。

【００２３】 また、各ハロゲンランプ３の電極端子部３ｃ、３ｄがそれぞれ第１の支持具４ 、第２の支持具５の外側に突出しているため、電極端子部３ｃ、３ｄは外気によ って冷却されるので、電極端子部３ｃ、３ｄの過熱によるハロゲンランプ３の寿 命低下も避けることができる。

【００２４】 また、本考案では、液体加熱装置３１に第１の支持具４、第２の支持具５を配 設して内管１と外管２の間に空間を形成し、この空間内にハロゲンランプ３を、 内管１と外管２とからそれぞれ所定の間隔を隔てて放射状に配設したため、従来 のような石英ガラス管の内側にハロゲンランプ３を配設する場合に較べハロゲン ランプ３の本数を容易に増やすことができ、加熱能力を容易に高めることができ る。また、従来のように、石英ガラス管の内側に放射加熱体挿通用の内管を形成 する必要がないため、製造に際し、内管を加工する段階で、設置するハロゲンラ ンプ３の本数を事前に決定する必要はない。したがって、この構造では、必要に 応じて第１の支持具および第２の支持具のみを取り替えることによりハロゲンラ ンプ３の数を変更し、容易に加熱能力を適宜変更することができる。

【００２５】 また、図７に示した従来の液体加熱装置３１のように、石英ガラス管にハロゲ ンランプ３を挿通する放射加熱体挿通用の孔を形成する加工を行う必要がないな ど、装置構造が単純となり、製造コストを低くすることができる。

【００２６】 なお、前記実施例では放射加熱体としてハロゲンランプ３を８本配設したが、 必要に応じて適宜変更可能である。また、この複数の放射加熱体のうち必要に応 じて加熱する放射加熱体を選定し、給電を制御することにより、パワーを調整す ることも可能である。さらに、第１の支持具４のいずれか一方の支持部とこれに 対応する第２の支持具５の一方の支持部との間に支持されるハロゲンランプ３は 電極リード１４が第２の支持具５側のみに導出したシングルエンド構造で接続さ れているので、このうちのいずれかのハロゲンランプ３を予備用として使用する 場合には、第２の支持部５に導出された電極リード１４の接続換えを行うのみで 簡単に修復することができ、メンテナンスも容易である。

【００２７】 前記実施例では、加熱手段から所定の間隔を隔てて配管、すなわち内管１およ び外管２を配設し、放射熱によって加熱する構造を採用するとともに、放射加熱 体として近赤外線光を出力するハロゲンランプ３で構成し、配管である内管１お よび外管２にはこの近赤外線光を透過する透光性の石英ガラス管を使用するため 、配管自体が光を吸収して、温度が上昇することもない。したがって、配管が急 激な温度上昇により損傷を受けるおそれもない。なお、前記実施例では、放射加 熱体をハロゲンランプ３としたが、これに限定されることなく、他の放射加熱体 、例えば赤外線加熱体で構成してもよい。 また、前記実施例では、配管を石英ガラス管で構成したが、使用目的に応じた 耐薬品性、耐熱性および耐圧性を有し、放射熱を透過する材料であればよい。

【００２８】 さらに、この実施例の液体加熱装置３１の外側を断熱材で包むようにすれば、 外管２から熱伝導や輻射による外側への熱放散を抑制し、液体加熱装置の熱交換 効率をさらに高めることができる。

【００２９】 また、この液体加熱装置３１では、第１の支持具４および第２の支持具５をそ れぞれ上部支持部４ｃ、５ｃおよび下部支持部４ｄ、５ｄとで構成し、これらを 外管２が固定されている環状のリブ１１、１２に回動自在に支承させるようにし たから、第１の支持具４の一方の支持部とこれに対応する第２の支持具５の一方 の支持部を抜き出す場合であっても、第１の支持具４の他方の支持部とこれに対 応する第２の支持具５の他方の支持部の円弧部で内管１を支持でき、外管２と内 管１とは所定の間隔を隔てた状態を維持することができるとともに、第１の支持 具４の一方の支持部およびこれに対応する第２の支持具５の一方の支持部に支承 されている４本のハロゲンランプ３を、同時に内管１と外管２との間に形成され た空間から抜き出すことができる。また、この際、外管２の出口７と内管１の入 り口８とを連通する図示せぬ配管を取り外す必要もない。したがって、ハロゲン ランプ３のフィラメント３ｂが複数切れた場合であっても、取換え作業に時間が かかることはなく、メンテナンスが容易である。

【００３０】 また、前記実施例では、第１の支持具４および第２の支持具５を、対応する同 一形状にそれぞれ２個に分割したが、２個に限定せず、対応する同一形状に複数 個に分割するものでもよい。

【００３１】 さらに、前記実施例では、出口９側に外管２の内周面２ａの直径より小径の第 １の支持具を配設し、入り口８側に外管２の内周面２ａの直径より大径の第２の 支持具を配設し、入り口８側からハロゲンランプ３を挿入、抜き出しを行ったが 、これに限定せず、内管の配管の位置や形状に応じて変更可能であり、例えば出 口９側に第２の支持具５を配設し、入り口８側に第１の支持具４を配設して、出 口９側から挿入、抜き出しを行うようにしてもよい。

【００３２】 また、前記実施例では、第１の支持具のそれぞれの支持部とこれに対応する第 ２の支持具の支持部との間に支持されるハロゲンランプ３を片側から電極リード が導出されるシングルエンド構造で接続したが、シングルエンド構造に限定せず 、両端から電極リードが導出されるダブルエンド型のハロゲンランプを使用して もよい。

【００３３】

【考案の効果】

以上説明してきたように、本考案の液体加熱装置によれば、液体を通過させる 配管を、内管と内管を所定の空間を介して囲繞する外管とで構成し、支持具によ りハロゲンランプを内管、外管から夫々空間を隔てて配設したため、従来のよう にガラス管にハロゲンランプを設置するための円筒状の管を挿通する必要はなく 、ガラス管に円筒状の管を挿通する孔を形成し円筒状の管を溶接する等の種々の 難しい加工が不要で、安価に製造することが可能となる。

【００３４】 また、加熱能力を高めるために熱源であるハロゲンランプの本数を増やす場合 であっても、本考案の液体加熱装置によれば、ガラス管に円筒状の管を挿通する 孔を形成し円筒状の管を溶接する等の種々の難しい加工が不要で、配管であるガ ラス管の構造が単純であるため、製造に際し、高度のガラス溶接技能を要しない 。したがって、製造コストを低くすることができる。

【００３５】 また、本考案の液体加熱装置では、液体を通過させる配管を内管と内管を所定 の空間を介して囲繞する外管とで構成し、支持具によりハロゲンランプを内管、 外管から夫々空間を隔てて放射状に配設する構造であるため、配管を加工する段 階で、放射加熱体の本数を事前に決定する必要もなく、必要に応じて放射加熱体 の配設数を変更し、また、必要に応じてこの配設された複数の放射加熱体のうち 加熱する放射加熱体を選定して使用することも可能であるから、加熱能力を適宜 変更することができる。さらに、ハロゲンランプをシングルエンド構造に接続し 、ハロゲンランプのいずれかを予備用として使用すれば、フィラメントが断線し た場合に、片側に導出された電極リードの接続換えを行うのみで簡単に修復する ことができ、メンテナンスも容易にすることができる。

【００３６】 また、本考案の液体加熱装置は放射加熱体を配管である内管と外管とから所定 の空間を介して配設し、内管の外周に放射状に配設する構造であるため、従来の ように放射加熱体の設置本数が配管であるガラス管の内径によって制約されると いうことはなく、加熱能力の増加を図ることが可能である。

【００３７】 また、熱源であるハロゲンランプの内側と外側にそれぞれ空間を介して内管、 外管を配設したから、ハロゲンランプの放射熱をハロゲンランプの内側と外側の 両側で吸収することができ、これにより損失熱を減少させ、熱交換効率を向上さ せることができる。

【００３８】 また、本考案の液体加熱装置によれば、放射熱によって加熱するとともに、ハ ロゲンンランプから外部に逃げる光を支持具で反射させてその熱放散を抑制する ように構成したため、小型を維持しつつ、熱交換効率を高くすることができる。 また、放射加熱体をハロゲンランプなどの近赤外線光を発するもので構成し、配 管にはこの近赤外線光を透過する石英ガラス管を用いれば、配管自体が光を吸収 して温度が上昇することもなく、これにより配管が急激な温度上昇により損傷を 受けるおそれもなく安全である。

【００３９】 また、本考案の液体加熱装置では、第１の支持具および第２の支持具をそれぞ れ上部支持部および下部支持部とで構成し、これらを内管に回動自在に支承させ 、さらに外管が固定されている環状のリブにそれぞれ回動自在に支承させるよう にしたから、第１の支持具の一方の支持部とこれに対応する第２の支持具の一方 の支持部に支持されているハロゲンランプを抜き出す場合であっても、第１の支 持具の他方の支持部とこれに対応する第２の支持具の他方の支持部の円弧部で内 管を支持でき、外管と内管とが所定の間隔を隔てた状態を維持できるともに、第 １の支持具の一方の支持部および第２の支持具の一方の支持部に支承されている ４本のハロゲンランプを、同時に内管と外管との間に形成された空間から抜き出 すことができる。また、この際、外管の出口と内管の入り口とを連通する図示せ ぬ配管等を取り外す必要もない。したがって、ハロゲンランプのフィラメントが 複数切れた場合であっても、取り換え作業に時間がかかることはなく、メンテナ ンスが安全に行え、また容易にすることができる。

【００４０】 したがって、本考案では、小型で加熱能力が高く、制作が簡単で製造コストが 低く、加熱能力を容易に変更可能で、メンテナンスが容易な液体加熱装置を提供 することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本考案実施例の加熱装置が用いられる
薬液処理システムを示す図。

【図２】図２は、本考案の液体加熱装置を示す図。

【図３】図３は、図２のＡ−Ａ拡大断面図。

【図４】図４は、図２のＢ−Ｂ拡大断面図。

【図５】図５は、図２のＣ−Ｃ拡大断面図。

【図６】図６は、本考案の液体加熱装置のハロゲンラン
プの回路接続を示す図。

【図７】図７は、本考案の液体加熱装置のハロゲンラン
プを交換する手順を示す図。

【図８】図８は、本考案の液体加熱装置のハロゲンラン
プを交換する手順を示す図。

【図９】図９は、本考案の液体加熱装置のハロゲンラン
プを交換する手順を示す図。

【図１０】図１０は、図９のＦ−Ｆ拡大断面図。

【図１１】図１１は、従来の液体加熱装置を示す図。

【符号の説明】

１…内管 ２…外管 ３…ハロゲンランプ ３ｃ…一方の電極端子部 ３ｄ…他方の電極端子部 ４…第１の支持具 ５…第２の支持具 ４ｃ、５ｃ…上部支持部 ４ｄ、５ｄ…下部支持部 ６…外管の入り口 ７…外管の出口 ８…内管の入り口 ９…内管の出口 １０…液体 ３１…液体加熱装置 Ｓ…空間 Ｐ…空間

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【手続補正書】

【提出日】平成９年８月１３日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】実用新案登録請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【実用新案登録請求の範囲】

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 入口と出口を有し、加熱されるべき液体
   を通過させる透光性の内管と、 前記内管の外側に前記内管を囲繞するように、所定の間
   隔を隔てて配設され、入口と出口とを有し、前記液体を
   通過させる透光性の外管と、 前記外管と前記内管との間に形成される空間内に配設さ
   れた複数の放射加熱体とを具備し、 前記放射加熱体は、前記放射加熱体同志が所定の間隔を
   以て同心円状に配列されるように、その両端電極部の一
   方が第１の支持具により支持され、他方が第２の支持具
   によって支持されるものであって、 前記第１の支持具と前記第２の支持具は対応する同一形
   状にそれぞれ複数個に分割され、 前記放射加熱体は対応する同一形状の分割された前記第
   １の支持具および前記第２の支持具ごとに、前記外管と
   前記内管との間に形成される前記空間内に、挿入、抜き
   出しの構造をなしたことを特徴とする請求項１記載の液
   体加熱装置。
2. 【請求項２】 前記各放射加熱体は、ハロゲンランプで
   あることを特徴とする請求項１記載の液体加熱装置。
3. 【請求項３】 前記放射加熱体は、各分割された前記第
   １の支持具側のみで前記各放射加熱体の電極部から導出
   される電極リードが所定のグループごとに電気的に接続
   され、各分割された前記第２の支持具側で電極リードが
   導出せしめられたシングルエンド構造をなしたことを特
   徴とする請求項１または２記載の液体加熱装置。